實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴的制作方法
【專利摘要】一種實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴，包括相對(duì)設(shè)置圍成一個(gè)腔體的第一板體和噴嘴主體，噴嘴主體設(shè)置連通所述腔體的供液通道，第一板體設(shè)置連通所述腔體的復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔，所述第一板體側(cè)立設(shè)置，噴嘴主體設(shè)置在第一板體的第一表面，第一板體的第二表面設(shè)置第二板體，所述第二表面靠近下端處向所述第一表面凹陷形成與第一表面平行的第三表面，第二板體的下半段與所述第三表面相對(duì)且相隔一定距離從而圍成一條噴涂狹縫，第二板體的下端伸出噴嘴主體的底面，所述復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔貫穿所述第一表面和第三表面。本組合工藝噴嘴不但能夠減緩噴涂液對(duì)噴涂表面的沖擊壓力，而且能夠?qū)崿F(xiàn)均勻噴涂。
【專利說明】實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及噴涂用的噴嘴，特別是組合式工藝噴嘴，主要應(yīng)用于芯片顯影工藝領(lǐng)域(但不限于顯影工藝)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著光刻技術(shù)的提高以及芯片特征尺寸的不斷縮小，顯影工藝中對(duì)顯影設(shè)備及顯影噴嘴的要求越來越高，不僅要求噴涂均勻，同時(shí)也要求噴涂時(shí)液體對(duì)噴涂表面的沖擊或壓力較小?，F(xiàn)有的一些顯影噴嘴存在噴涂不均勻、噴涂液對(duì)噴涂表面沖擊過大，破壞噴涂表面的質(zhì)量等問題。因此，對(duì)于設(shè)計(jì)新型結(jié)構(gòu)噴嘴的要求也就越來越迫切。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴，以解決現(xiàn)有芯片顯影工藝中噴嘴存在噴涂不均勻以及噴涂液對(duì)噴涂表面沖擊過大的技術(shù)問題。
[0004]為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供的一種實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴包括相對(duì)設(shè)置圍成一個(gè)腔體的第一板體和噴嘴主體，噴嘴主體設(shè)置連通所述腔體的供液通道，第一板體設(shè)置連通所述腔體的復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔，其中，所述第一板體側(cè)立設(shè)置，噴嘴主體設(shè)置在第一板體的第一表面，第一板體的第二表面設(shè)置第二板體，所述第二表面靠近下端處向所述第一表面凹陷形成與第一表面平行的第三表面，第二板體的下半段與所述第三表面相對(duì)且相隔一定距離從而圍成一條噴涂狹縫，第二板體的下端伸出噴嘴主體的底面，所述復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔貫穿所述第一表面和第三表面。
[0005]在上述實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴中，優(yōu)選地，第二板體的下半段包括與所述第三表面相向的第四表面以及與所述第三表面相背的第五表面，第四表面與水平面垂直，由上向下第五表面逐漸接近第四表面、且二者的下端重合。
[0006]在上述實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴中，優(yōu)選地，所述第五表面和第四表面之間的夾角不大于60度。
[0007]在上述實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴中，優(yōu)選地，所述復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔與所述噴嘴主體底面的距離不大于10毫米，所述第二板體的下端與所述噴嘴主體底面的距離不大于3毫米。
[0008]在上述實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴中，優(yōu)選地，所述噴涂狹縫的寬度不大于I毫米。
[0009]在上述實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴中，優(yōu)選地，所述復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔的深徑比(深度:直徑)為2-10，所述復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔沿所述第一板體的長邊方向排列成一排或多排。
[0010]在上述實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴中，優(yōu)選地，所述噴嘴主體、第一板體和第二板體均呈長條狀，噴嘴主體上用于與第一板體結(jié)合的第六表面具有用于構(gòu)成所述腔體的槽體，第六表面的上邊緣處和兩個(gè)豎邊緣處設(shè)置第一凹條使得在所述槽體口部形成法蘭面；第一板體的第一表面的上邊緣和兩個(gè)豎邊緣設(shè)置第一突條，第一表面與所述法蘭面密封配合且第一突條與所述第一凹條配合。
[0011]在上述實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴中，優(yōu)選地，第一板體的第三表面的兩個(gè)豎邊緣設(shè)置第二突條，第二板體的下半段向第三表面突出且部分地嵌于第三表面的兩個(gè)豎邊緣的第二突條之間。
[0012]本發(fā)明通過第一板體和噴嘴主體配合實(shí)現(xiàn)供液主流道的密封，通過第二板體與第一板體配合形成噴涂狹縫，噴涂液不直接噴射到噴涂表面而是首先噴射到第二板體然后沿第二板體經(jīng)噴涂狹縫流至噴涂表面，因此能夠減緩噴涂液對(duì)噴涂表面的沖擊壓力。另一方面，噴涂液噴射到第二板體沿第二板體表面流向噴涂表面的過程中容易在第二板體底部形成均勻的水幕而實(shí)現(xiàn)均勻噴涂。
[0013]此外，相較于現(xiàn)有顯影工藝噴嘴，本發(fā)明工藝噴嘴體積小，結(jié)構(gòu)簡單，結(jié)構(gòu)工藝性強(qiáng)，能夠滿足顯影工藝發(fā)展的要求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為較佳實(shí)施例實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2為其噴嘴主體的主視圖；
[0016]圖3為其噴嘴主體的A-A剖視圖；
[0017]圖4為其第一板體的主視圖；
[0018]圖5為其第一板體的側(cè)視放大圖；
[0019]圖6為其第二板體的主視圖；
[0020]圖7為其第二板體的側(cè)視圖；
[0021]圖8為圖7中B部的放大圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明。
[0023]參照?qǐng)D1-8，本實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴包括噴嘴主體1、第一板體2和第二板體3，它們均呈長條狀。
[0024]第一板體2側(cè)立設(shè)置，噴嘴主體I設(shè)置在第一板體2左側(cè)且與第一板體2的第一表面2b密封結(jié)合,即噴嘴主體I與第一板體2相對(duì)設(shè)置,二者圍成一個(gè)腔體4。噴嘴主體I設(shè)置連通腔體4的供液通道la，第一板體2設(shè)置連通腔體4的復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔2a。
[0025]第二板體3設(shè)置在第一板體2的第二表面2b,第二表面2c靠近下端處向第一表面2b凹陷形成與第一表面2b平行的第三表面2d，第二板體3的下半段與第三表面2d相對(duì)且相隔一定距離從而圍成一條噴涂狹縫5，第二板體3的下端伸出噴嘴主體I的底面，所述復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔2a貫穿第一表面2b和第三表面2d。
[0026]使用時(shí)，噴涂液從供液通道Ia流入腔體4，經(jīng)復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔2a噴射到第二板體3，然后沿第二板體3表面經(jīng)噴涂狹縫5向下流至噴涂表面。由于噴涂液不是直接噴射到噴涂表面，而是噴射到第二板體3后再流到噴涂表面，所以有效減緩了流體的壓力，使得噴涂液對(duì)噴涂表面的沖擊大大降低，從而有效解決了噴涂液出射壓力過大對(duì)噴涂表面產(chǎn)生過大沖擊的難題。同時(shí)，噴涂液噴射到第二板體3沿第二板體3表面向下流向噴涂表面的過程中容易在第二板體3底部形成均勻的水幕，從而能夠提高噴涂的均勻性。
[0027]為了使噴涂液在第二板體3底部不易聚集而順利流下，較佳實(shí)施例中將第二板體3的底部設(shè)計(jì)為銳角結(jié)構(gòu)。具體來說，第二板體3的下半段包括與第三表面2d相向的第四表面3a以及與所述第三表面2d相背的第五表面3b，第四表面3a與水平面垂直，由上向下第五表面3b逐漸接近第四表面3a、且二者(即第四表面3a和第五表面3b)的下端重合。使用中噴涂液是沿著第四表面3a向下流。第五表面3b和第四表面3a之間的夾角不大于60度時(shí)能夠達(dá)到最好效果。
[0028]本發(fā)明提出了通過縮短噴涂液在第四表面3a (或者說第二板體3)向下流過的距離的方式來進(jìn)一步提高噴涂的均勻性。具體可以通過對(duì)噴液孔2a與噴嘴主體I底面的距離進(jìn)行優(yōu)化(該優(yōu)化可以通過結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)，例如可采用將噴液孔2a靠近腔體4的底面的方式，但不局限于此方式)、以及通過對(duì)第二板體3的下端與噴嘴主體I底面的距離進(jìn)行優(yōu)化。通常，噴液孔2a與噴嘴主體I底面的距離不大于10毫米，第二板體3的下端與噴嘴主體I底面的距離不大于3毫米時(shí)，能夠在第二板體3底部形成均勻的水幕，能夠在噴涂表面實(shí)現(xiàn)均勻噴涂。
[0029]噴涂狹縫5的寬度最好小于或等于I毫米。
[0030]噴液孔2a的深徑比可以設(shè)計(jì)為2-10，復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔2a可以沿第一板體2的長邊方向排列成一排，也可排列成多排。
[0031]在較佳實(shí)施例中，噴嘴主體I上用于與第一板體2結(jié)合的第六表面Ib具有用于構(gòu)成所述腔體4的槽體lc，第六表面Ib的上邊緣處和兩個(gè)豎邊緣處設(shè)置第一凹條Id使得在所述槽體Ic 口部形成法蘭面Ie ;對(duì)應(yīng)地，第一板體2的第一表面2b的上邊緣和兩個(gè)豎邊緣設(shè)置第一突條2e，第一表面2b與所述法蘭面Ie密封配合且第一突條2e與所述第一凹條Id配合，實(shí)現(xiàn)噴嘴主體I和第一板體2的裝配。
[0032]較佳實(shí)施例中，還在第一板體2的第三表面2d的兩個(gè)豎邊緣設(shè)置第二突條2f，第二板體3的下半段向第三表面2d突出且部分地嵌于第三表面的兩個(gè)豎邊緣的第二突條2f之間，從而實(shí)現(xiàn)第一板體2和第二板體3的裝配。上述的密封可采用粘性膠密封。
[0033]本工藝噴嘴用于IC (集成電路芯片)制造領(lǐng)域光刻工藝中顯影工藝的顯影液輸出，能夠解決現(xiàn)有顯影噴嘴噴涂不均勻問題以及噴涂液對(duì)噴涂表面的過大沖擊問題。但本工藝噴嘴不局限于在顯影工藝使用。
[0034]以上通過具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做了詳細(xì)的說明，這些具體的描述不能認(rèn)為本發(fā)明僅僅限于這些實(shí)施例的內(nèi)容。本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明構(gòu)思、這些描述并結(jié)合本領(lǐng)域公知常識(shí)做出的任何改進(jìn)、等同替代方案，均應(yīng)包含在本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴，包括相對(duì)設(shè)置圍成一個(gè)腔體(4)的第一板體(2)和噴嘴主體(I)，噴嘴主體設(shè)置連通所述腔體的供液通道(Ia)，第一板體設(shè)置連通所述腔體的復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔(2a)，其特征在于:所述第一板體側(cè)立設(shè)置，噴嘴主體設(shè)置在第一板體的第一表面(2b),第一板體的第二表面(2c)設(shè)置第二板體(3),所述第二表面靠近下端處向所述第一表面凹陷形成與第一表面(2b)平行的第三表面(2d)，第二板體的下半段與所述第三表面相對(duì)且相隔一定距離從而圍成一條噴涂狹縫(5)，第二板體的下端伸出噴嘴主體的底面，所述復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔貫穿所述第一表面和第三表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴，其特征在于:第二板體(3)的下半段包括與所述第三表面相向的第四表面(3a)以及與所述第三表面相背的第五表面(3b)，第四表面與水平面垂直，由上向下第五表面逐漸接近第四表面、且二者的下端重合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴，其特征在于:所述第五表面(3b)和第四表面(3a)之間的夾角不大于60度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴，其特征在于:所述復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔(2a)與所述噴嘴主體底面的距離不大于10毫米，所述第二板體(3)的下端與所述噴嘴主體底面的距離不大于3毫米。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴，其特征在于:所述噴涂狹縫(5)的寬度不大于I毫米。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴，其特征在于:所述復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔(2a)的深徑比為2-10，所述復(fù)數(shù)個(gè)噴液孔(2a)沿第一板體(2)的長邊方向排列成一排或多排。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴，其特征在于: 所述噴嘴主體、第一板體和第二板體均呈長條狀， 噴嘴主體(I)上用于與第一板體(2)結(jié)合的第六表面(Ib)具有用于構(gòu)成所述腔體(4)的槽體(Ic)，第六表面的上邊緣處和兩個(gè)豎邊緣處設(shè)置第一凹條(Id)使得在所述槽體(Ic) 口部形成法蘭面(Ie)； 第一板體(2)的第一表面(2b)的上邊緣和兩個(gè)豎邊緣設(shè)置第一突條(2e)，第一表面與所述法蘭面密封配合且第一突條(2e)與所述第一凹條(Id)配合。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的實(shí)現(xiàn)均勻噴涂低沖擊的組合工藝噴嘴，其特征在于:第一板體的第三表面(2d)的兩個(gè)豎邊緣設(shè)置第二突條(2f)，第二板體(3)的下半段向第三表面(2d)突出且部分地嵌于第三表面的兩個(gè)豎邊緣的第二突條(2f)之間。
【文檔編號(hào)】B05C5/02GK103691623SQ201310717844
【公開日】2014年4月2日 申請(qǐng)日期:2013年12月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月23日
【發(fā)明者】劉學(xué)平, 徐強(qiáng), 王漢, 向東, 牟鵬, 段廣洪 申請(qǐng)人:清華大學(xué)深圳研究生院