有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備,包括涂覆腔和位于涂覆腔后道的固化腔,涂覆腔內(nèi)設(shè)有用于吸附薄膜液并使薄膜液涂覆于硅片上的滾輪,所述滾輪上設(shè)有孔徑大小不一的孔;所述涂覆腔內(nèi)還設(shè)有滾輪傳動(dòng)速度控制模塊;所述固化腔內(nèi)設(shè)有用于控制固化腔內(nèi)溫度的加熱裝置。本實(shí)用新型提供的有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備,其能在硅片上制備均勻且厚度可控的薄膜并使之固化,可使多晶硅片制絨突破現(xiàn)有結(jié)構(gòu),形成均勻的絨面,進(jìn)而進(jìn)一步提升電池片的效率。本設(shè)備成本低廉,結(jié)構(gòu)簡單,穩(wěn)定性好,且與現(xiàn)行的半導(dǎo)體工藝和太陽能電池工藝兼容。
【專利說明】有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實(shí)用新型涉及有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)薄膜用于工業(yè)制造中的許多方面,例如在半導(dǎo)體中用于刻蝕特殊圖形的模版,在太陽電池中用于制作選擇性發(fā)射極等,尚無應(yīng)用于太陽能電池制絨方面。
[0003]在多晶硅太陽電池制造過程中,硅片表面制絨是關(guān)鍵的環(huán)節(jié)。制絨的效果直接影響了最終電池片的轉(zhuǎn)換效率和成品率。目前多晶硅多用酸性溶液來制絨。但是常規(guī)酸制絨會(huì)導(dǎo)致絨面不均勻、反射率高等問題。所以多晶硅片制絨還需突破現(xiàn)有的結(jié)構(gòu),進(jìn)而創(chuàng)造更低的反射率和更均勻的絨面。如果在多晶硅片上涂覆有機(jī)薄膜并固化,可使多晶硅片制絨的方法突破現(xiàn)有思維,形成新型結(jié)構(gòu),具有更低的反射率和均勻的絨面,進(jìn)而進(jìn)一步提升電池片的效率。
[0004]所以,有機(jī)薄膜對產(chǎn)品的性能有著至關(guān)重要的影響,同時(shí)要求容易涂覆固化及去除。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備,其能在硅片上涂覆均勻且厚度可控的有機(jī)薄膜。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型的技術(shù)方案是設(shè)計(jì)一種有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備,包括涂覆腔和位于涂覆腔后道的固化腔,涂覆腔內(nèi)設(shè)有用于均勻吸附薄膜液并使薄膜液均勻涂覆于硅片上的滾輪,所述滾輪上設(shè)有孔徑大小不一的孔;所述涂覆腔內(nèi)還設(shè)有用于控制涂覆薄膜厚度的滾輪傳動(dòng)速度控制模塊;所述固化腔內(nèi)設(shè)有用于控制固化腔內(nèi)溫度的加熱裝置。
[0007]優(yōu)選的,所述涂覆腔還連接有用于盛放有機(jī)溶液的存儲(chǔ)腔和用于輸送有機(jī)溶液的循環(huán)泵,所述涂覆腔、循環(huán)泵和存儲(chǔ)腔通過管道連接。
[0008]優(yōu)選的,所述固化腔內(nèi)還設(shè)有用于實(shí)時(shí)監(jiān)控硅片溫度的測溫裝置。
[0009]優(yōu)選的,所述加熱裝置為電阻加熱裝置或光照加熱裝置。
[0010]優(yōu)選的,所述電阻加熱裝置配有加熱功率控制模塊;所述光照加熱裝置配有輻照強(qiáng)度控制模塊。
[0011]優(yōu)選的,所述有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備還包括位于涂覆腔前道的上料臺(tái)和位于固化腔后道的下料臺(tái),用于配合涂覆薄膜、固化完成流水線生產(chǎn)。
[0012]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和有益效果在于:提供一種有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備,其能在硅片上制備均勻且厚度可控的薄膜并使之固化,可使多晶硅片制絨突破現(xiàn)有結(jié)構(gòu),形成均勻的絨面,進(jìn)而進(jìn)一步提升電池片的效率。本設(shè)備成本低廉,結(jié)構(gòu)簡單,穩(wěn)定性好,且與現(xiàn)行的半導(dǎo)體工藝和太陽能電池工藝兼容。
[0013]本設(shè)備主要包括涂覆腔和固化腔。涂覆腔設(shè)有特殊性能的滾輪,可使有機(jī)溶液均勻吸附于滾輪上,再通過滾輪的傳動(dòng)使該溶液均勻涂覆于硅片上,可實(shí)現(xiàn)單面或雙面涂覆。
[0014]均勻的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在:本設(shè)備包含的涂覆腔設(shè)有不同材料且可人工替換的滾輪,滾輪根據(jù)需涂覆不同材料的薄膜需求:如親水性或親油性等特點(diǎn)被人工選擇,使薄膜液均勻吸附于滾輪上,再通過滾輪的傳動(dòng)使薄膜膠液均勻涂覆于硅片上。
[0015]厚度可控性體現(xiàn)在:滾輪上設(shè)有孔徑大小不一的孔,連帶涂覆腔設(shè)有的滾輪傳動(dòng)速度控制模塊,可以控制涂覆薄膜厚度。
[0016]利用該設(shè)備涂覆固化的薄膜用于太陽電池中,利用有機(jī)薄膜的孔洞結(jié)構(gòu)對硅片表面氣泡進(jìn)行過濾,形成蟲洞型結(jié)構(gòu),降低太陽光的表面反射率,從而進(jìn)一步提升電池片效率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0017]圖1是本實(shí)用新型的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例,對本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步描述。以下實(shí)施例僅用于更加清楚地說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案,而不能以此來限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0019]本實(shí)用新型具體實(shí)施的技術(shù)方案是:
[0020]如圖1所示,一種有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備,包括涂覆腔2和位于涂覆腔2后道的固化腔3,涂覆腔2內(nèi)設(shè)有用于均勻吸附薄膜液并使薄膜液均勻涂覆于硅片上的滾輪5,所述滾輪5上設(shè)有孔徑大小不一的孔;所述涂覆腔2內(nèi)還設(shè)有用于控制涂覆薄膜厚度的滾輪傳動(dòng)速度控制模塊;所述固化腔3內(nèi)設(shè)有用于控制固化腔3內(nèi)溫度的加熱裝置。
[0021]所述涂覆腔2還連接有用于盛放有機(jī)溶液的存儲(chǔ)腔7和用于輸送有機(jī)溶液的循環(huán)泵6,所述涂覆腔2、循環(huán)泵6和存儲(chǔ)腔7通過管道連接。
[0022]所述固化腔3內(nèi)還設(shè)有用于實(shí)時(shí)監(jiān)控硅片溫度的測溫裝置。
[0023]所述加熱裝置為電阻加熱裝置或光照加熱裝置。
[0024]所述電阻加熱裝置配有加熱功率控制模塊;所述光照加熱裝置配有輻照強(qiáng)度控制模塊。
[0025]所述有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備還包括位于涂覆腔2前道的上料臺(tái)I和位于固化腔3后道的下料臺(tái)4,用于配合涂覆薄膜、固化完成流水線生產(chǎn)。
[0026]所述有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備還包括用于輸送硅片的輸送輥8。
[0027]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式,應(yīng)當(dāng)指出,對于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下,還可以做出若干改進(jìn)和潤飾,這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備,其特征在于,包括涂覆腔和位于涂覆腔后道的固化腔,涂覆腔內(nèi)設(shè)有用于吸附薄膜液并使薄膜液涂覆于硅片上的滾輪,所述滾輪上設(shè)有孔徑大小不一的孔;所述涂覆腔內(nèi)還設(shè)有滾輪傳動(dòng)速度控制模塊;所述固化腔內(nèi)設(shè)有用于控制固化腔內(nèi)溫度的加熱裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備,其特征在于,所述涂覆腔還連接有用于盛放有機(jī)溶液的存儲(chǔ)腔和用于輸送有機(jī)溶液的循環(huán)泵,所述涂覆腔、循環(huán)泵和存儲(chǔ)腔通過管道連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備,其特征在于,所述固化腔內(nèi)還設(shè)有用于實(shí)時(shí)監(jiān)控硅片溫度的測溫裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備,其特征在于,所述加熱裝置為電阻加熱裝置或光照加熱裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備,其特征在于,所述電阻加熱裝置配有加熱功率控制模塊;所述光照加熱裝置配有輻照強(qiáng)度控制模塊。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備,其特征在于,所述有機(jī)薄膜涂覆設(shè)備還包括位于涂覆腔前道的上料臺(tái)和位于固化腔后道的下料臺(tái)。
【文檔編號(hào)】B05C9/04GK203508294SQ201320595856
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月26日
【發(fā)明者】章圓圓, 區(qū)升舉, 張麗娟, 陳培良 申請人:常州時(shí)創(chuàng)能源科技有限公司