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      一種物理研磨組合物的制作方法

      文檔序號:3799089閱讀:243來源:國知局
      一種物理研磨組合物的制作方法
      【專利摘要】本發(fā)明公開了一種物理研磨組合物,其特征在于,包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):烷基芳基碘酸鈉11-13份,磷酸三鈉9-14份,硫酸3-8份,烷基芳基磺酸鈉9-15份,空心玻璃微珠2-3份,抗氧劑1-2份,親水基表面活性劑9-15份,磷化液4-6份,納米石墨粉1-2份,氨水7-13份,聚丙烯7-10份,聚乙烯9-16份,氫氧化鋁7-13份,山梨醇11-18份,甘油1-8份,氯化鈣2-5份。本發(fā)明的化學(xué)機械研磨劑中包括親水基表面潔性劑材料,可以降低化學(xué)機械研磨劑和正在水性薄膜間的表面張力,使化學(xué)機械研磨劑和琉水性薄膜更緊密貼合。
      【專利說明】一種物理研磨組合物

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及一種物理研磨組合物。

      【背景技術(shù)】
      [0002]在半導(dǎo)體制造中,化學(xué)機械研磨(CMP)技術(shù)可以實現(xiàn)整個晶圓的平坦化,成為芯片制造工藝中重要的步驟之一。在化學(xué)機械研磨中,化學(xué)機械研磨劑(Slurry)是化學(xué)機械研磨技術(shù)的關(guān)鍵要素之一,其性能直接影響拋光后表面的質(zhì)量。設(shè)計化學(xué)機械研磨劑時,希望能達(dá)到去除速率高、平面度好、膜厚均勻、無殘留、缺陷少等效果。


      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種物理研磨組合物。
      [0004]為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
      一種物理研磨組合物,其特征在于,包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):烷基芳基碘酸鈉11-13份,磷酸三鈉9-14份,硫酸3-8份,烷基芳基磺酸鈉9-15份,空心玻璃微珠2-3份,抗氧劑1-2份,親水基表面活性劑9-15份,磷化液4-6份,納米石墨粉1-2份,氨水7-13份,聚丙烯
      7-10份,聚乙烯9-16份,氫氧化鋁7-13份,山梨醇11-18份,甘油1-8份,氯化鈣2-5份。
      [0005]本發(fā)明的化學(xué)機械研磨劑中包括親水基表面潔性劑材料,可以降低化學(xué)機械研磨劑和正在水性薄膜間的表面張力,使化學(xué)機械研磨劑和琉水性薄膜更緊密貼合,從而減少琉水性薄膜表面上的殘留物和顆粒等缺陷,改善化學(xué)機械研磨的效果。

      【具體實施方式】
      [0006]實施例1
      一種物理研磨組合物,其特征在于,包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):烷基芳基碘酸鈉11-13份,磷酸三鈉9-14份,硫酸3-8份,烷基芳基磺酸鈉9-15份,空心玻璃微珠2-3份,抗氧劑1-2份,親水基表面活性劑9-15份,磷化液4-6份,納米石墨粉1-2份,氨水7-13份,聚丙烯
      7-10份,聚乙烯9-16份,氫氧化鋁7-13份,山梨醇11-18份,甘油1-8份,氯化鈣2-5份。
      【權(quán)利要求】
      1.一種物理研磨組合物,其特征在于,包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):烷基芳基碘酸鈉11-13份,磷酸三鈉9-14 份,硫酸3-8份,烷基芳基磺酸鈉9-15份,空心玻璃微珠2-3份,抗氧劑1-2份,親水基表面活性劑9-15份,磷化液4-6份,納米石墨粉1-2份,氨水7-13份,聚丙烯7-10份,聚乙烯9-16份,氫氧化鋁7-13份,山梨醇11-18份,甘油1-8份,氯化鈣2-5份。
      【文檔編號】C09K3/14GK104046319SQ201410282411
      【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年6月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月23日
      【發(fā)明者】范向奎 申請人:青島寶泰新能源科技有限公司
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