一種環(huán)保型拋光物的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種環(huán)保型拋光物，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì)：磷酸7-9份，磷酸二氫鉀2-5份，磷酸氫二鉀3-6份，乙烯基雙硬脂酰胺8-13份，硬脂酸單甘油酯5-7份，馬來酸酐2-3份，聚乙烯酯1-2份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯4-8份，氯苯9-14份，氯化亞鐵11-17份，納米氧化鎂1-8份，二甲基二巰基乙酸異辛酯錫13-20份，鹽酸3-8份，納米氧化銅7-13份，納米銀0.5份。本發(fā)明的有益效果是：制備簡單，拋光效果明顯，性能穩(wěn)定。
【專利說明】一種環(huán)保型拋光物

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種環(huán)保型拋光物。

【背景技術(shù)】
[0002]對增加內(nèi)存或硬盤容量的需求以及內(nèi)存或硬盤小型化的趨勢(因為計算機設(shè)備中需要更小磁盤驅(qū)動器)持續(xù)不斷，強調(diào)內(nèi)存或硬盤片制造方法的重要性，包括這類盤片的平坦化或拋光，以確保性能最佳。盡管存在幾種用于與半導(dǎo)體裝置制造相關(guān)的化學(xué)機械拋光(CMP)組合物及方法，但是幾乎沒有常規(guī)的CMP方法或商購的CMP組合物非常適于內(nèi)存或硬盤片的平坦化或拋光。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種環(huán)保型拋光物。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
一種環(huán)保型拋光物，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):磷酸7-9份，磷酸二氫鉀
2-5份，磷酸氫二鉀3-6份，乙烯基雙硬脂酰胺8-13份，硬脂酸單甘油酯5-7份，馬來酸酐
2-3份，聚乙烯酯1-2份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯4-8份，氯苯9-14份，氯化亞鐵11-17份，納米氧化鎂1-8 份，二甲基二巰基乙酸異辛酯錫13-20份，鹽酸3-8份，納米氧化銅7-13份，納米銀0.5份。
[0005]本發(fā)明的有益效果是:制備簡單，拋光效果明顯，性能穩(wěn)定。

【具體實施方式】
[0006]實施例1
一種環(huán)保型拋光物，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):磷酸7-9份，磷酸二氫鉀
2-5份，磷酸氫二鉀3-6份，乙烯基雙硬脂酰胺8-13份，硬脂酸單甘油酯5-7份，馬來酸酐
2-3份，聚乙烯酯1-2份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯4-8份，氯苯9-14份，氯化亞鐵11-17份，納米氧化鎂1-8份，二甲基二巰基乙酸異辛酯錫13-20份，鹽酸3-8份，納米氧化銅7-13份，納米銀0.5份。
【權(quán)利要求】
1.一種環(huán)保型拋光物，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):磷酸7-9份，磷酸二氫鉀2-5份，磷酸氫二鉀3-6份，乙烯基雙硬脂酰胺8-13份，硬脂酸單甘油酯5-7份，馬來酸酐2-3份，聚乙烯酯1-2份，三甲硅基甲基磷酸二甲酯4-8份，氯苯9-14份，氯化亞鐵11-17份，納米氧化鎂1-8份，二甲基二巰基乙酸異辛酯錫13-20份，鹽酸3-8份，納米氧化銅7-13份，納米銀0.5份 。
【文檔編號】C09G1/02GK104046264SQ201410291998
【公開日】2014年9月17日 申請日期:2014年6月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月26日
【發(fā)明者】范向奎 申請人:青島寶泰新能源科技有限公司