一種存儲(chǔ)器用化學(xué)拋光組合物的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種存儲(chǔ)器用化學(xué)拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì)：表面活性劑1-3份，有機(jī)添加劑2-5份，調(diào)節(jié)劑1-3份，水性介質(zhì)50-55份，納米石墨粉1-2份，氨水7-13份，氫氧化鋁7-13份，空心玻璃微珠9-13份，山梨醇11-18份，聚丙烯7-10份，聚乙烯9-16份，甘油1-8份，二本甲酮7-16份，偶聯(lián)劑1-7份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，鈦酸酯偶聯(lián)劑1-2份，納米銀0.5份。本發(fā)明的有益效果是：制備簡(jiǎn)單，拋光效果明顯，性能穩(wěn)定。
【專利說(shuō)明】—種存儲(chǔ)器用化學(xué)拋光組合物

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種存儲(chǔ)器用化學(xué)拋光組合物。

【背景技術(shù)】
[0002]對(duì)增加內(nèi)存或硬盤(pán)容量的需求以及內(nèi)存或硬盤(pán)小型化的趨勢(shì)(因?yàn)橛?jì)算機(jī)設(shè)備中需要更小磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器)持續(xù)不斷，強(qiáng)調(diào)內(nèi)存或硬盤(pán)片制造方法的重要性，包括這類盤(pán)片的平坦化或拋光，以確保性能最佳。盡管存在幾種用于與半導(dǎo)體裝置制造相關(guān)的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)組合物及方法，但是幾乎沒(méi)有常規(guī)的CMP方法或商購(gòu)的CMP組合物非常適于內(nèi)存或硬盤(pán)片的平坦化或拋光。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種存儲(chǔ)器用化學(xué)拋光組合物。
[0004]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
一種存儲(chǔ)器用化學(xué)拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):表面活性劑1-3份，有機(jī)添加劑2-5份，調(diào)節(jié)劑1-3份，水性介質(zhì)50-55份，納米石墨粉1-2份，氨水7-13份，氫氧化鋁7-13份，空心玻璃微珠9-13份，山梨醇11-18份，聚丙烯7-10份，聚乙烯9-16份，甘油1-8份，二本甲酮7-16份，偶聯(lián)劑1-7份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，鈦酸酯偶聯(lián)劑1-2份，納米銀0.5份。
[0005]本發(fā)明的有益效果是:制備簡(jiǎn)單，拋光效果明顯，性能穩(wěn)定。

【具體實(shí)施方式】
[0006]實(shí)施例1
一種存儲(chǔ)器用化學(xué)拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):表面活性劑1-3份，有機(jī)添加劑2-5份，調(diào)節(jié)劑1-3份，水性介質(zhì)50-55份，納米石墨粉1-2份，氨水7-13份，氫氧化鋁7-13份，空心玻璃微珠9-13份，山梨醇11-18份，聚丙烯7-10份，聚乙烯9-16份，甘油1-8份，二本甲酮7-16份，偶聯(lián)劑1-7份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，鈦酸酯偶聯(lián)劑1-2份，納米銀0.5份。
【權(quán)利要求】
1.一種存儲(chǔ)器用化學(xué)拋光組合物，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):表面活性劑1-3份，有機(jī)添加劑2-5份，調(diào)節(jié)劑1-3份，水性介質(zhì)50-55份，納米石墨粉1-2份，氨水7-13份，氫氧化鋁7-13份，空心玻璃微珠9-13份，山梨醇11-18份，聚丙烯7-10份，聚乙烯9-16份，甘油1-8份，二本甲酮7-16份，偶聯(lián)劑1-7份，甲基三乙氧基硅烷14-19份，鈦酸酯 偶聯(lián)劑1-2份，納米銀0.5份。
【文檔編號(hào)】C09G1/02GK104046270SQ201410292072
【公開(kāi)日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2014年6月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月26日
【發(fā)明者】范向奎 申請(qǐng)人:青島寶泰新能源科技有限公司