紅外線處理裝置及紅外線處理方法
【專利摘要】在干燥裝置(10)中，通過(guò)紅外線加熱器(30)向以卷對(duì)卷方式搬運(yùn)的薄板狀涂膜(82)輻射紅外線并進(jìn)行干燥，其中，所述紅外線加熱器(30)具有：通過(guò)加熱來(lái)輻射紅外線的燈絲(32)；和用于吸收超過(guò)3.5μm波長(zhǎng)的紅外線并覆蓋燈絲(32)的內(nèi)管(36)及外管(40)。另外，通過(guò)第二冷媒來(lái)冷卻涂膜(82)中的、來(lái)自紅外線加熱器的紅外線所照射的部分(爐體(12)內(nèi)的部分)。冷卻機(jī)構(gòu)(60)通過(guò)傳送帶(61)可搬運(yùn)地支撐涂膜(82)。對(duì)水冷輥(65)而言，第二冷媒比帶子(62)的環(huán)更靠近內(nèi)側(cè)而穿過(guò)的方式形成第二流道(65a)。
【專利說(shuō)明】
紅外線處理裝置及紅外線處理方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種紅外線處理裝置及紅外線處理方法。

【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有技術(shù)中，使用紅外線的照射和鼓風(fēng)而對(duì)干燥對(duì)象進(jìn)行干燥等處理的紅外線處理裝置已被人共知。例如，在專利文獻(xiàn)I中，公開(kāi)了一種使用將狹縫狀鼓風(fēng)噴嘴和棒狀加熱器并列配置的帶噴嘴的加熱器的干燥裝置。作為棒狀加熱器，公開(kāi)了使用將碳燈絲作為發(fā)熱體的石英玻璃中波紅外線加熱器。在該帶噴嘴的加熱器中，通過(guò)具備噴嘴和加熱器，用加熱器對(duì)干燥對(duì)象進(jìn)行加熱，并且通過(guò)來(lái)自噴嘴的鼓風(fēng)來(lái)去除由加熱而揮發(fā)的水等成分，由此能夠有效地進(jìn)行干燥。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn):
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本國(guó)特開(kāi)2001-330368號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的課題
[0007]其中,存在使用紅外線對(duì)以卷對(duì)卷(role to role)方式搬運(yùn)的薄板狀的處理對(duì)象進(jìn)行處理的情況。在該情況中，若由紅外線導(dǎo)致處理對(duì)象過(guò)熱，則由熱膨脹或處理后的熱收縮而產(chǎn)生應(yīng)力，由此導(dǎo)致處理對(duì)象發(fā)生變形等的問(wèn)題。為了抑制這種問(wèn)題，可以想到在冷卻處理對(duì)象的同時(shí)對(duì)處理對(duì)象進(jìn)行處理。但是，存在如下情況:當(dāng)如專利文獻(xiàn)I所述的干燥裝置那樣用鼓風(fēng)和加熱器進(jìn)行處理時(shí)，即使通過(guò)鼓風(fēng)進(jìn)行冷卻，也無(wú)法充分地冷卻處理對(duì)象。另外，若為了充分地冷卻而增大鼓風(fēng)的風(fēng)速或流量，則產(chǎn)生薄板狀的處理對(duì)象抖動(dòng)等現(xiàn)象，從而對(duì)處理對(duì)象導(dǎo)致不良影響。
[0008]本發(fā)明是為了解決這種課題而提出的，其主要目的在于，當(dāng)向處理對(duì)象輻射紅外線而進(jìn)行處理時(shí)，充分地冷卻處理對(duì)象，同時(shí)充分地抑制處理對(duì)象的抖動(dòng)。
[0009]解決課題的方法
[0010]本發(fā)明的紅外線處理裝置，其是向薄板狀的處理對(duì)象輻射紅外線而進(jìn)行處理的紅外線處理裝置，其特征在于，
[0011 ] 所述紅外線處理裝置具備:
[0012]搬運(yùn)單元，其用于以卷對(duì)卷方式向搬運(yùn)方向搬運(yùn)所述處理對(duì)象；及
[0013]紅外線加熱器，其具有:發(fā)熱體，其通過(guò)加熱來(lái)輻射紅外線；管，其用于吸收超過(guò)3.5μπι波長(zhǎng)的紅外線并覆蓋該發(fā)熱體，所述紅外線加熱器用于向處理對(duì)象輻射紅外線；
[0014]冷卻單元，其通過(guò)液體來(lái)冷卻所述處理對(duì)象中的、來(lái)自所述紅外線加熱器的紅外線所照射的部分。
[0015]在該本發(fā)明的紅外線處理裝置中，通過(guò)紅外線加熱器，向以卷對(duì)卷方式搬運(yùn)的薄板狀處理對(duì)象輻射紅外線而進(jìn)行處理，其中，紅外線加熱器具有:發(fā)熱體，其通過(guò)加熱來(lái)輻射紅外線；及管，其用于吸收超過(guò)3.5μπι波長(zhǎng)的紅外線并覆蓋發(fā)熱體。另外，通過(guò)液體來(lái)冷卻處理對(duì)象中的、來(lái)自紅外線加熱器的紅外線所照射的部分。因此，能夠通過(guò)液體冷卻處理對(duì)象，并且能夠通過(guò)紅外線加熱器對(duì)處理對(duì)象進(jìn)行處理。而且，使用液體進(jìn)行冷卻，因此，例如與使用鼓風(fēng)進(jìn)行冷卻的情況相比提高冷卻效率，并能能夠充分地冷卻處理對(duì)象。另外，使用液體進(jìn)行冷卻，因此，與使用鼓風(fēng)進(jìn)行冷卻的情況相比，能夠充分地抑制薄板狀的處理對(duì)象的抖動(dòng)。此外，對(duì)紅外線加熱器而言，用于吸收超過(guò)3.5 μ m波長(zhǎng)的紅外線的管覆蓋發(fā)熱體。因此，從紅外線加熱器輻射的紅外線是近紅外線(波長(zhǎng)為0.7-3.5 μ m的紅外線區(qū)域)的比率增大的紅外線。近紅外線例如能夠有效地切斷處理對(duì)象中的水、溶劑等的分子中的氫鍵等，因此，能夠有效地對(duì)處理對(duì)象進(jìn)行處理(例如干燥、脫水等)。通過(guò)使用這種紅外線加熱器，即使通過(guò)液體來(lái)使處理對(duì)象的溫度維持在較低溫度，也能夠進(jìn)行充分的處理。此夕卜，本發(fā)明的紅外線處理裝置，可以作為連續(xù)地搬運(yùn)處理對(duì)象并向搬運(yùn)中的處理對(duì)象輻射紅外線而進(jìn)行處理的連續(xù)式裝置構(gòu)成，也可以作為在向處理對(duì)象輻射紅外線而進(jìn)行處理期間停止搬運(yùn)的間歇式裝置構(gòu)成。另外，紅外線加熱器是一個(gè)以上即可，具備多個(gè)也可。進(jìn)一步地，所述紅外線加熱器也可以具備冷媒流道，所述冷媒流道可流通用于冷卻所述管的冷媒。所述紅外線加熱器具有多個(gè)所述管，所述冷媒流道也可以是由該多個(gè)管包圍的空間。
[0016]在本發(fā)明的紅外線處理裝置中，所述冷卻單元可搬運(yùn)地支撐所述處理對(duì)象也可。此時(shí)，“可搬運(yùn)地支撐處理對(duì)象”包括:以不能自行搬運(yùn)處理對(duì)象并不妨礙搬運(yùn)的方式支撐的情況、及自行搬運(yùn)處理對(duì)象的情況。
[0017]在本發(fā)明的紅外線處理裝置中，所述冷卻單元也可以具有液體流道形成構(gòu)件，所述液體流道形成構(gòu)件用于形成可以使所述液體流通的液體流道。
[0018]在具有液體流道形成構(gòu)件這一方案的本發(fā)明的紅外線處理裝置中，所述冷卻單元具有傳送帶(belt conveyer),所述傳送帶具有用于支撐所述處理對(duì)象、且與該處理對(duì)象一同向所述搬運(yùn)方向可旋轉(zhuǎn)的環(huán)狀帶子(belt)，形成于所述液體流道形成構(gòu)件的所述液體流道設(shè)置成，使所述液體在比所述帶子的內(nèi)周面更靠近內(nèi)側(cè)的位置而穿過(guò)所述液體流道，并且該液體流道形成構(gòu)件和穿過(guò)所述液體流道的液體中的至少一方可接觸于所述帶子的內(nèi)周面中的所述處理對(duì)象側(cè)。這樣，用傳送帶支撐處理對(duì)象，因此，能夠減小從搬運(yùn)單元附加于處理對(duì)象的搬運(yùn)方向的張力并對(duì)處理對(duì)象進(jìn)行搬運(yùn)。由此，能夠進(jìn)一步抑制基于張力的搬運(yùn)對(duì)象的變形。另外，由于經(jīng)由帶子冷卻搬運(yùn)對(duì)象，因此，能夠進(jìn)一步抑制流過(guò)液體流道的液體(水滴)或異物等附著在處理對(duì)象的背面等。此時(shí)，所述傳送帶具有用于使所述帶子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)單元，通過(guò)該驅(qū)動(dòng)單元來(lái)使所述帶子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，從而搬運(yùn)所述處理對(duì)象也可。另外，對(duì)所述傳送帶而言，通過(guò)伴隨所述處理對(duì)象的搬運(yùn)而產(chǎn)生的摩擦力來(lái)使所述帶子從動(dòng)地旋轉(zhuǎn)(不進(jìn)行自行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng))，而不是自行搬運(yùn)處理對(duì)象也可。
[0019]在該情況下，對(duì)所述傳送帶而言，在所述帶子形成有多個(gè)孔，紅外線處理裝置也可以具備吸附單元，所述吸附單元用于使所述帶子的孔的內(nèi)部減壓而使所述處理對(duì)象吸附在所述帶子。這樣，通過(guò)使處理對(duì)象吸附在帶子，可以經(jīng)由帶子更加均勻地冷卻處理對(duì)象，并且能夠更加抑制處理對(duì)象的抖動(dòng)。
[0020]在具有液體流道形成構(gòu)件這一方案的本發(fā)明的紅外線處理裝置中，所述液體流道形成構(gòu)件也可以是在內(nèi)部形成有所述液體流道的冷卻輥(roll)。
[0021]在具有液體流道形成構(gòu)件這一方案的本發(fā)明的紅外線處理裝置中，所述冷卻單元具有傳送帶，所述傳送帶具有用于可搬運(yùn)地支撐所述處理對(duì)象、且與該處理對(duì)象一同向所述搬運(yùn)方向可旋轉(zhuǎn)的環(huán)狀帶子，所述帶子作為在內(nèi)部形成有所述液體流道的所述液體流道形成構(gòu)件而構(gòu)成也可。
[0022]在本發(fā)明的紅外線處理裝置中，所述紅外線加熱器也可以配置在比所述處理對(duì)象更靠近鉛垂上側(cè)的位置。這樣，例如冷卻單元從鉛垂下側(cè)冷卻處理對(duì)象的情況下，與冷卻單元的位置無(wú)關(guān)地，容易直接向處理對(duì)象照射來(lái)自紅外線加熱器的波長(zhǎng)為3.5 μ m以下的紅外線。
[0023]在具有液體流道形成構(gòu)件這一方案的本發(fā)明的紅外線處理裝置中，所述液體流道形成構(gòu)件也可以形成有所述液體流道，所述液體流道朝向所述處理對(duì)象側(cè)形成開(kāi)口，并且所述液體與所述處理對(duì)象直接地或間接地接觸的同時(shí)可以流通在所述液體流道。此時(shí)，“與處理對(duì)象間接地接觸”是指，經(jīng)由其他構(gòu)件與處理對(duì)象接觸。在該情況下，冷卻單元采用具備上述傳送帶的結(jié)構(gòu)，所述液體流道形成構(gòu)件也可以形成有所述液體流道，所述液體與所述帶子的內(nèi)周面中的所述處理對(duì)象側(cè)接觸且可以流通在所述液體流道。這樣一來(lái)，液體與帶子接觸，因此，例如與液體經(jīng)由液體流道形成構(gòu)件而冷卻帶子(及處理對(duì)象)的情況相t匕，能夠更加提高冷卻效率。
[0024]在該情況下，所述液體流道形成構(gòu)件也可以具有彈性體，所述彈性體配置在所述開(kāi)口的所述搬運(yùn)方向的兩端并與所述處理對(duì)象直接地或間接地接觸。這樣，能夠更加抑制液體從液體流道的開(kāi)口部分向外部泄漏的現(xiàn)象。在該情況下，所述彈性體也可以包圍所述開(kāi)口的外周。這樣，能夠進(jìn)一步抑制液體的泄漏。
[0025]在液體流道形成構(gòu)件形成有朝向處理對(duì)象側(cè)形成開(kāi)口的液體流道這一方案的本發(fā)明的紅外線處理裝置中，所述紅外線加熱器也可以配置在所述液體流道內(nèi)。這樣，與獨(dú)立地配置紅外線加熱器和液體流道形成構(gòu)件的情況相比，能夠使紅外線處理裝置的結(jié)構(gòu)變得緊湊。另外，通過(guò)流過(guò)液體流道的液體來(lái)也能夠冷卻紅外線加熱器的表面。此時(shí)，“紅外線加熱器配置在液體流道內(nèi)”是指，只要紅外線加熱器的至少一部分配置在液體流道內(nèi)即可。例如，紅外線加熱器貫通液體流道、或貫通液體流道及液體流道形成構(gòu)件也可。
[0026]在紅外線加熱器配置在液體流道內(nèi)這一方案的本發(fā)明的紅外線處理裝置中，所述液體的紅外線最大穿透波長(zhǎng)在3.5μπι以下的紅外線區(qū)域也可。這樣，液體容易穿透波長(zhǎng)為3.5μπι以下的紅外線，因此，能夠進(jìn)一步抑制由紅外線加熱器周?chē)囊后w吸收波長(zhǎng)為3.5μπι以下的紅外線而引起的降低處理效率的現(xiàn)象。此外，就所述液體而言，對(duì)波長(zhǎng)為3.5μπι以下紅外線的總透光率為80%以下也可。
[0027]在本發(fā)明的紅外線處理裝置中，對(duì)所述液體流道形成構(gòu)件而言，形成所述液體流道的表面可以由反射波長(zhǎng)為3.5 μ m以下的紅外線的紅外線反射材料構(gòu)成。這樣，對(duì)液體流道形成構(gòu)件而言，形成液體流道的表面由紅外線反射材料構(gòu)成，且處理對(duì)象側(cè)形成開(kāi)口，因此，能夠使從紅外線加熱器向處理對(duì)象以外的方向輻射的波長(zhǎng)為3.5μπι以下的紅外線，朝向處理對(duì)象反射。由此，能夠更加提高處理效率。此外，“形成所述液體流道的表面由反射波長(zhǎng)為3.5μπι以下的紅外線的紅外線反射材料構(gòu)成”包括:整個(gè)液體流道形成構(gòu)件由紅外線反射材料構(gòu)成的情況、及僅僅是形成液體流道的表面由紅外線反射材料構(gòu)成的情況。
[0028]本發(fā)明的紅外線處理裝置，也可以在減壓狀態(tài)下或真空狀態(tài)下的氣氛中對(duì)所述處理對(duì)象進(jìn)行所述處理。在減壓狀態(tài)下相對(duì)難以進(jìn)行鼓風(fēng)，在真空狀態(tài)下無(wú)法進(jìn)行鼓風(fēng)。因此，在這種氣氛下進(jìn)行處理的情況下，使用液體冷卻處理對(duì)象的意義重大。
[0029]本發(fā)明的紅外線處理方法是基于紅外線處理裝置的紅外線處理方法，
[0030]紅外線處理裝置具備:
[0031]搬運(yùn)單元，其用于以卷對(duì)卷方式向搬運(yùn)方向搬運(yùn)薄板狀處理對(duì)象；及
[0032]紅外線加熱器，其具有:發(fā)熱體，其通過(guò)加熱來(lái)輻射紅外線，及管，其用于吸收超過(guò)3.5 μ m波長(zhǎng)的紅外線并覆蓋該發(fā)熱體，
[0033]紅外線處理方法包括:從所述紅外線加熱器向所述處理對(duì)象輻射紅外線，并且通過(guò)液體來(lái)冷卻該處理對(duì)象中的、來(lái)自所述紅外線加熱器的紅外線所照射的部分的工藝。
[0034]在該本發(fā)明的紅外線處理方法中，能夠得到與上述的本發(fā)明的紅外線處理裝置相同的效果，例如，當(dāng)向處理對(duì)象輻射紅外線而進(jìn)行處理時(shí)，能夠得到充分地冷卻處理對(duì)象的同時(shí)充分地抑制處理對(duì)象的抖動(dòng)的效果。另外，通過(guò)使用具有用于吸收超過(guò)3.5μπι波長(zhǎng)的紅外線并覆蓋該發(fā)熱體的管的紅外線加熱器，在通過(guò)液體來(lái)使處理對(duì)象的溫度維持在較低溫度的狀態(tài)下，也能夠充分地進(jìn)行處理。此外，在該紅外線處理方法中，可以采用如上所述的紅外線處理裝置的各種方案，另外，也可以增加如實(shí)現(xiàn)如上所述的紅外線處理裝置的各功能的工藝。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0035]圖1是干燥裝置10的縱剖視圖。
[0036]圖2是圖1的A-A剖視圖。
[0037]圖3是變形例的干燥裝置110的縱剖視圖。
[0038]圖4是變形例的干燥裝置210的縱剖視圖。
[0039]圖5是圖4的B-B剖視圖。
[0040]圖6是第二流道形成構(gòu)件270的立體圖。
[0041]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0042]10:干燥裝置；12:爐體；12a:空間；13:前端面；14:后端面;15、16:開(kāi)口 ；20:搬運(yùn)機(jī)構(gòu);21、22:滾筒;23、24:驅(qū)動(dòng)輥;25、26:從動(dòng)輥；30:紅外線加熱器；32:燈絲；34:電氣配線；36:內(nèi)管；37:溫度傳感器；38:加熱器主體；40:外管；42:蓋體；44:配線引出部；46:第一冷媒出入口 ；48:第一流道；49:支架；50:電力供給源；52:第一冷媒供應(yīng)源；54:第二冷媒供應(yīng)源；56:進(jìn)氣裝置；60:冷卻機(jī)構(gòu)；61:傳送帶；62:帶子；62a:上側(cè)部分；62b:下側(cè)部分；63、64:驅(qū)動(dòng)輥；65:水冷輥；65a:第二流道；66:吸附輥；80:薄板；82:涂膜；90:控制器；110:干燥裝置；160:冷卻機(jī)構(gòu)；161:傳送帶；162:帶子；162a:上側(cè)部分；162b:下側(cè)部分；162c:第二流道；162d:外壁；162e:內(nèi)壁；165:從動(dòng)輥；210:干燥裝置；260:冷卻機(jī)構(gòu)；261:傳送帶；270:第二流道形成構(gòu)件；270a:第二流道；271:開(kāi)口 ；272:第二冷媒出入口 ；275、275a-275d:防漏橡膠。

【具體實(shí)施方式】
[0043]接著，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方案進(jìn)行說(shuō)明。圖1是示出作為本發(fā)明紅外線處理裝置的一實(shí)施方案的干燥裝置10的縱剖視圖。圖2是圖1的A-A剖視圖。對(duì)干燥裝置10而言，其使用紅外線對(duì)涂布在由PET薄膜(film)構(gòu)成的薄板80上的涂膜82進(jìn)行干燥，并具備爐體12、搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20、紅外線加熱器30、冷卻機(jī)構(gòu)60、及控制器90。干燥裝置10作為連續(xù)式干燥爐構(gòu)成:該連續(xù)式干燥爐將在上表面形成有作為處理對(duì)象(干燥對(duì)象)的涂膜82的薄板80，通過(guò)搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20以卷對(duì)卷方式向搬運(yùn)方向(圖1的右方向)搬運(yùn)的同時(shí)進(jìn)行處理(干燥)。
[0044]爐體12是以大致長(zhǎng)方體形成的絕熱構(gòu)造體，分別在前端面13及后端面14具有開(kāi)口 15、16。開(kāi)口 15成為向爐體12內(nèi)部搬入薄板80時(shí)的搬入口。開(kāi)口 16成為向爐體12外部搬出薄板80時(shí)的搬出口。就該爐體12而言，從前端面13至后端面14的長(zhǎng)度例如為lm-6m。在爐體12的內(nèi)部空間12a配置有紅外線加熱器30、或冷卻機(jī)構(gòu)60的傳送帶61等。
[0045]搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20是以卷對(duì)卷方式向搬運(yùn)方向搬運(yùn)薄板80的機(jī)構(gòu)。搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20具備:滾筒21，其設(shè)置在爐體12的前方(圖1的左側(cè));滾筒22，其設(shè)置在爐體12的后方(圖1的右側(cè))。另外，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20具備:驅(qū)動(dòng)輥23及從動(dòng)輥25，其在搬運(yùn)方向配置在滾筒21和開(kāi)口 15之間；驅(qū)動(dòng)輥24及從動(dòng)輥26，其在搬運(yùn)方向配置在開(kāi)口 16和滾筒22之間。驅(qū)動(dòng)輥23及從動(dòng)輥25作為一對(duì)夾持輥構(gòu)成。就該驅(qū)動(dòng)輥23及從動(dòng)輥25而言，從上下方向?qū)Ρ“?0施加壓力而夾住薄板80，由此將被該驅(qū)動(dòng)輥23及從動(dòng)輥25夾住的薄板80的部分作為邊界，在薄板80中分開(kāi)搬運(yùn)方向的上流和下流的張力的同時(shí)搬運(yùn)薄板80。驅(qū)動(dòng)輥24及從動(dòng)輥26相同也作為一對(duì)夾持輥構(gòu)成。
[0046]紅外線加熱器30是向穿過(guò)爐體12內(nèi)的涂膜82照射紅外線的裝置，并且配置在比薄板80 (及涂膜82)更靠近鉛垂上側(cè)(是薄板80的表面?zhèn)龋瑘D1的上側(cè))的位置。紅外線加熱器30在爐體12的前后方向以大致均等的間隔配置有多個(gè)(在本實(shí)施方案中是六個(gè))。該多個(gè)紅外線加熱器30均為相同的結(jié)構(gòu)，并以其長(zhǎng)尺寸方向與涂膜82的搬運(yùn)方向垂直相交(長(zhǎng)尺寸方向?yàn)閳D2的左右方向)的方式安裝。下面，對(duì)一個(gè)紅外線加熱器30的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。
[0047]如圖1及圖2所示，紅外線加熱器30具備:加熱器主體38，其以內(nèi)管36包圍作為發(fā)熱體的燈絲32的方式形成；外管40，其以包圍該加熱器主體38的方式形成；有底筒狀蓋體42，其氣密性地嵌入于外管40的兩端；第一流道48，其形成在加熱器主體38和外管40之間并可以使第一冷媒流通；及溫度傳感器37，其用于檢測(cè)外管40的表面溫度。
[0048]燈絲32若被加熱則會(huì)輻射紅外線，在本實(shí)施方案中為W(鎢)制。此外，作為燈絲32的材料，除此之外可以列舉N1-Cr合金、Mo、Ta、及Fe-Cr-Al合金等。該燈絲32從電力供給源50供應(yīng)電力，例如若通電加熱至700-1700°C，則輻射出在波長(zhǎng)為3.5 μ m以下(例如3μπι附近)的紅外線區(qū)域具有峰值的紅外線。與該燈絲32連接的電氣配線34經(jīng)由設(shè)置在蓋體42的配線引出部44而以氣密方式向外部引出，并連接于電力供給源50。內(nèi)管36及外管40由紅外線吸收材料形成，該紅外線吸收材料作為使從燈絲32輻射的電磁波中的、3.5μπι以下波長(zhǎng)的紅外線穿過(guò)并吸收超過(guò)3.5μπι波長(zhǎng)的紅外線的濾光器，而發(fā)揮功能。作為使用于內(nèi)管36及外管40的這種紅外線穿透材料，例如除了鍺、硅、藍(lán)寶石、氟化鈣、氟化鋇、硒化鋅、硫化鋅、硫硒碲玻璃、及透光性氧化鋁陶瓷等之外，還可以列舉可穿透紅外線的石英玻璃等。在本實(shí)施方案中，內(nèi)管36及外管40均由石英玻璃形成。
[0049]加熱器主體38被兩端配置在蓋體42內(nèi)部的支架49所支撐。各蓋體42具有第一冷媒出入口 46。從第一冷媒供應(yīng)源52供應(yīng)的第一冷媒，從一側(cè)的第一冷媒出入口 46流入至第一流道48，并經(jīng)過(guò)第一流道48及另一側(cè)的第一冷媒出入口 46流向外部。流過(guò)第一流道48的第一冷媒例如是空氣或惰性氣體等氣體，通過(guò)與內(nèi)管36和外管40接觸而奪走熱量，從而冷卻各個(gè)管36、40。
[0050]就這種結(jié)構(gòu)的紅外線加熱器30而言，若從燈絲32輻射出在波長(zhǎng)為3.5 μ m以下的區(qū)域具有峰值的紅外線，則其中的3.5 μ m以下波長(zhǎng)的紅外線穿過(guò)內(nèi)管36或外管40而向穿過(guò)爐體12內(nèi)的薄板80的涂膜82照射。該波長(zhǎng)的紅外線具有優(yōu)異的切斷包含在薄板80的涂膜82的水分或溶劑的氫鍵的能力，并且能夠有效地蒸發(fā)水或溶劑而進(jìn)行干燥。此外，內(nèi)管36或外管40吸收超過(guò)3.5 μ m波長(zhǎng)的紅外線，但是被流過(guò)第一流道48的第一冷媒冷卻，因此，可以使從涂膜82蒸發(fā)的溶劑維持在小于燃點(diǎn)的溫度(例如200°C以下等)。
[0051]冷卻機(jī)構(gòu)60是，用于可搬運(yùn)地支撐涂膜82，并且通過(guò)作為液體的第二冷媒來(lái)對(duì)涂膜82中的、來(lái)自紅外線加熱器30的紅外線所照射的部分進(jìn)行冷卻的機(jī)構(gòu)。該冷卻機(jī)構(gòu)60具備傳送帶61及第二冷媒供應(yīng)源54。
[0052]傳送帶61是，用于支撐薄板80的鉛垂下側(cè)(是薄板80的背面?zhèn)?，圖1的下側(cè))，且將薄板80向搬運(yùn)方向搬運(yùn)的裝置。該傳送帶61具備:帶子62、驅(qū)動(dòng)輥63、驅(qū)動(dòng)輥64、水冷輥65、及吸附輥66。帶子62是，可與薄板80—起向搬運(yùn)方向旋轉(zhuǎn)(向圖1的順時(shí)針旋轉(zhuǎn))的環(huán)狀構(gòu)件。帶子62以環(huán)狀架設(shè)在驅(qū)動(dòng)輥63、驅(qū)動(dòng)輥64、水冷輥65、及吸附輥66。帶子62具有:作為涂膜82側(cè)(圖1的上側(cè))的部分的上側(cè)部分62a ;及作為與涂膜82相反側(cè)(圖1的下側(cè))的部分的下側(cè)部分62b，并且上側(cè)部分62a與薄板80的背面接觸而支撐薄板80及涂膜82。另外，在帶子62形成有在其厚度方向貫通自身的未圖示的多個(gè)孔。
[0053]驅(qū)動(dòng)輥63、64是，分別配置在空間12a內(nèi)的前側(cè)(圖1的左側(cè))、后側(cè)(圖1的右偵?的滾筒。通過(guò)該驅(qū)動(dòng)輥63、驅(qū)動(dòng)輥64的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，帶子62進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。多個(gè)水冷輥65、吸附輥66分別配置在搬運(yùn)方向的驅(qū)動(dòng)輥63和驅(qū)動(dòng)輥64之間。在本實(shí)施方案中，水冷輥65配置有三個(gè)，吸附輥66配置有兩個(gè)，水冷輥65和吸附輥66交替配置。水冷輥65是用于形成第二流道65a的圓筒狀構(gòu)件，該第二流道65a作為可以使第二冷媒流通的液體流道。水冷輥65具備:外管，其與帶子62的內(nèi)周面(上側(cè)部分62a的下表面及下側(cè)部分62b的上表面)接觸；內(nèi)管，其與外管以同心圓狀配置且直徑比外管小，其中，該外管和內(nèi)管之間的空間成為第二流道65a。另外，水冷輥65具有未圖示的兩個(gè)第二冷媒出入口，該第二冷媒出入口從第二流道65a通向水冷輥65的外部。從第二冷媒供應(yīng)源54供應(yīng)的第二冷媒從一側(cè)的第二冷媒出入口流入至第二流道65a，并經(jīng)過(guò)第二流道65a及另一側(cè)的第二冷媒出入口而流向外部。第二冷媒例如是水等液體，并經(jīng)由水冷輥65的外管、帶子62 (上側(cè)部分62a)、及薄板80而與涂膜82間接地接觸，從而冷卻涂膜82。吸附輥66是，在外周面形成有多個(gè)未圖示的孔的圓筒狀構(gòu)件。該吸附輥66的多個(gè)孔，在吸附輥66的內(nèi)部經(jīng)由配管與配置在爐體12外部的進(jìn)氣裝置56連接。另外，吸附輥66的多個(gè)孔以在吸附輥66的上端可以與上述帶子62的多個(gè)孔連通的方式構(gòu)成。由此，若進(jìn)氣裝置56進(jìn)行吸氣，經(jīng)由配管及吸附輥66的多個(gè)孔而對(duì)帶子62的上側(cè)部分62a的多個(gè)孔的內(nèi)部進(jìn)行減壓，由此使與帶子62的上側(cè)部分62a接觸的薄板80 (及涂膜82)吸附在上側(cè)部分62a。此外，就水冷輥65及吸附輥66而言，均作為從動(dòng)輥構(gòu)成，通過(guò)伴隨帶子62的旋轉(zhuǎn)而與帶子62內(nèi)周面之間產(chǎn)生的摩擦力，進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。水冷輥65及吸附輥66，例如優(yōu)選以油浴式軸承等滑動(dòng)阻力比較小的軸承進(jìn)行支撐。另外，在本實(shí)施方案中，驅(qū)動(dòng)輥63、驅(qū)動(dòng)輥64、水冷輥65、及吸附輥66均不存在于紅外線加熱器30的正下方的區(qū)域，而是從紅外線加熱器30向前后方向錯(cuò)開(kāi)位置而配置。
[0054]薄板80由PET薄膜構(gòu)成。對(duì)薄板80沒(méi)有特別的限定，但是，例如厚度為10-100 μ m、寬度為200-300mm。另外，涂膜82涂布于薄板80的上表面，例如涂膜82在干燥后作為用于MLCC(疊層陶瓷電容器)的薄膜而使用。涂膜82例如包含陶瓷粉末或金屬粉末、有機(jī)粘合劑、及有機(jī)溶劑。
[0055]控制器90作為以CPU為中心的微處理器構(gòu)成。就該控制器90而言，向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20的滾筒21、22、驅(qū)動(dòng)輥23、24或傳送帶61的驅(qū)動(dòng)輥63、64輸出控制信號(hào)，由此切換這些的旋轉(zhuǎn)和停止，或控制旋轉(zhuǎn)速度。由此，控制器90調(diào)整對(duì)薄板80向搬運(yùn)方向附加的張力、或調(diào)整涂膜82在爐體12內(nèi)的通過(guò)時(shí)間。另外，控制器90向電力供給源50輸出用于調(diào)整從電力供給源50向燈絲32供應(yīng)的電力大小的控制信號(hào)，由此單獨(dú)地控制紅外線加熱器30的燈絲32的溫度。另外，對(duì)于控制器90，輸入作為熱電偶的溫度傳感器37所檢測(cè)的外管40的溫度，或者向第一冷媒供應(yīng)源52的未圖示的開(kāi)關(guān)閥或流量調(diào)整閥輸出控制信號(hào)，從而單獨(dú)地控制流過(guò)紅外線加熱器30的第一流道48的第一冷媒的流量。進(jìn)一步地，控制器90向第二冷媒供應(yīng)源54的未圖示的開(kāi)關(guān)閥或流量調(diào)整閥輸出控制信號(hào)，由此控制流過(guò)水冷輥65的第二流道65a的第二冷媒的流量。
[0056]接著，對(duì)使用以這種方式構(gòu)成的干燥裝置10而對(duì)涂膜82進(jìn)行干燥的方案進(jìn)行說(shuō)明。首先，控制器90使?jié)L筒21、22、驅(qū)動(dòng)輥23、24、及驅(qū)動(dòng)輥63、64旋轉(zhuǎn)，并開(kāi)始搬運(yùn)薄板80。此外，如上所述，驅(qū)動(dòng)輥23、24及從動(dòng)輥25、26作為夾持輥而工作，由此幾乎不會(huì)在薄板80中的、驅(qū)動(dòng)輥23和驅(qū)動(dòng)輥24之間的部分施加來(lái)自滾筒21、22的張力。而且，在爐體12內(nèi)，傳送帶61的帶子62的上側(cè)部分62a從下方支撐薄板80并進(jìn)行搬運(yùn)。因此，能夠更加減小附加于薄板80中的、驅(qū)動(dòng)輥23和驅(qū)動(dòng)輥24之間的部分的張力。在本實(shí)施方案中，控制器90控制帶子62的旋轉(zhuǎn)速度，使得附加于爐體12內(nèi)的薄板80的張力，被抑制到不會(huì)使薄板80產(chǎn)生變形(拉伸)這種程度的較小值。
[0057]若采用上述方式，控制器90使搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20或傳送帶61的各滾筒旋轉(zhuǎn)，則薄板80從配置在干燥裝置10左端的滾筒21開(kāi)卷。另外，薄板80在從開(kāi)口 15搬入至爐體12內(nèi)的前一刻，通過(guò)未圖示的涂敷機(jī)將涂膜82涂布在薄板80的上表面。而且，涂布有涂膜82的薄板80向爐體12內(nèi)搬運(yùn)。此時(shí)，控制器90控制電力供給源50、第一冷媒供應(yīng)源52、及第二冷媒供應(yīng)源54。由此，薄板80在穿過(guò)爐體12內(nèi)的期間，形成在薄板80上表面的涂膜82通過(guò)照射來(lái)自紅外線加熱器30的紅外線而被干燥。另外，與此同時(shí)，流過(guò)第二流道65a的第二冷媒冷卻帶子62的上側(cè)部分62a，由此薄板80或涂膜82被冷卻。在本實(shí)施方案中，為了消除由熱膨脹或熱收縮所產(chǎn)生應(yīng)力而使涂膜82變形等問(wèn)題，還有，為了使薄板80的溫度成為PET薄膜的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度(約70°C )以下的規(guī)定值(例如60°C、50°C、及45°C等)，預(yù)先設(shè)定從第二冷媒供應(yīng)源54向第二流道65a供應(yīng)的第二冷媒的溫度或流量。由此，薄板80或涂膜82被第二冷媒冷卻，同時(shí)涂膜82被紅外線干燥而成為薄膜。此后，薄板80及薄膜(干燥后的涂膜82)從開(kāi)口 16搬出。被搬出的薄膜與薄板80 —同卷繞到設(shè)置于爐體12的右端的滾筒22。此后，薄膜從薄板80剝離，以規(guī)定形狀切開(kāi)并層疊，從而制造MLCC。此夕卜，就紅外線加熱器30的外管40而言，內(nèi)周面被第一冷媒冷卻。對(duì)控制器90而言，調(diào)整第一冷媒的流量而使外管40維持在小于溶劑燃點(diǎn)的溫度(例如200°C以下等)。
[0058]此時(shí)，如上所述，紅外線加熱器30具有用于吸收超過(guò)3.5 μ m波長(zhǎng)的紅外線的內(nèi)管36及外管40，因此，從紅外線加熱器30主要輻射3.5 μ m以下波長(zhǎng)的紅外線。就該波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線而言，即使在涂膜82被第二冷媒冷卻并保持在較低溫度的狀態(tài)下，也能夠從涂膜82有效地蒸發(fā)水或溶劑并進(jìn)行干燥。另外，作為PET薄膜的薄板80幾乎不會(huì)被該波長(zhǎng)區(qū)域的紅外線加熱。而且，薄板80被第二冷媒維持在自身的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以下的溫度。這樣，通過(guò)冷卻涂膜82或薄板80的同時(shí)干燥涂膜82，由此能夠抑制在涂膜82或薄板80產(chǎn)生由熱膨脹或干燥后的收縮引起的應(yīng)力，并能夠抑制由該應(yīng)力引起的涂膜82的變形。
[0059]此時(shí)，明確本實(shí)施方案的構(gòu)成要素和本發(fā)明的構(gòu)成要素的對(duì)應(yīng)關(guān)系。本實(shí)施方案的涂膜82相當(dāng)于本發(fā)明的處理對(duì)象，搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20相當(dāng)于搬運(yùn)單元，燈絲32相當(dāng)于發(fā)熱體，內(nèi)管36及外管40相當(dāng)于管，紅外線加熱器30相當(dāng)于紅外線加熱器，第二冷媒相當(dāng)于液體，冷卻機(jī)構(gòu)60相當(dāng)于冷卻單元。另外，第二流道65a相當(dāng)于液體流道，水冷輥65相當(dāng)于液體流道形成構(gòu)件及冷卻輥，吸附輥66及進(jìn)氣裝置56相當(dāng)于吸附單元。此外，在本實(shí)施方案中，通過(guò)說(shuō)明干燥裝置10的工作，明確本發(fā)明的紅外線處理方法的一例。
[0060]根據(jù)以上說(shuō)明的本實(shí)施方案的干燥裝置10，通過(guò)紅外線加熱器30向以卷對(duì)卷方式搬運(yùn)的薄板狀涂膜82輻射紅外線而進(jìn)行干燥，其中，紅外線加熱器30具有:燈絲32，其通過(guò)加熱而輻射紅外線；和內(nèi)管36及外管40，其用于吸收超過(guò)3.5 μ m波長(zhǎng)的紅外線并覆蓋燈絲32。另外，通過(guò)第二冷媒冷卻涂膜82中的、來(lái)自紅外線加熱器的紅外線所照射的部分(爐體12內(nèi)的部分)。因此，能夠通過(guò)第二冷媒冷卻涂膜82，同時(shí)能夠通過(guò)紅外線加熱器30干燥涂膜82。而且，由于使用作為液體的第二冷媒進(jìn)行冷卻，因此，例如與使用鼓風(fēng)進(jìn)行冷卻的情況相比，冷卻效率提高，并且能夠充分地冷卻涂膜82。另外，由于使用液體進(jìn)行冷卻，因此，與使用鼓風(fēng)進(jìn)行冷卻的情況相比，能夠充分地抑制薄板狀涂膜82的抖動(dòng)。從而，能夠充分地抑制由鼓風(fēng)對(duì)涂膜82引起的不良影響。具體而言，若對(duì)薄板80或涂膜82實(shí)施鼓風(fēng)，則存在鼓風(fēng)使薄板80或涂膜82抖動(dòng)而使涂膜82發(fā)生變形、或由于薄板80的抖動(dòng)而不能使涂膜82正確地涂布在薄板80上的情況，從而能夠更加抑制這種情況。另外，若向涂膜82表面實(shí)施鼓風(fēng)，則存在涂膜82表面變粗糙的情況，但是通過(guò)本實(shí)施方案能夠更加抑制這種情況。此外,對(duì)紅外線加熱器30而言，由紅外線吸收材料構(gòu)成的內(nèi)管36及外管40覆蓋燈絲32。因此，從紅外線加熱器30輻射的紅外線是近紅外線(波長(zhǎng)為0.7-3.5μπι的紅外線區(qū)域)的比率增大的紅外線。近紅外線能夠有效地切斷涂膜82中的水、溶劑等的分子中的氫鍵，因此能夠有效地進(jìn)行涂膜82的干燥。通過(guò)使用這種紅外線加熱器30，能夠在通過(guò)第二冷媒使涂膜82或薄板80的溫度維持較低溫度的狀態(tài)下，提高來(lái)自涂膜82的水分或溶劑的蒸發(fā)速度，從而能夠充分地進(jìn)行干燥。
[0061]另外，就冷卻機(jī)構(gòu)60而言，通過(guò)傳送帶61可搬運(yùn)地支撐涂膜82。就冷卻機(jī)構(gòu)60而言，使作為液體的第二冷媒與涂膜82間接地接觸而冷卻涂膜82，冷卻機(jī)構(gòu)60通過(guò)該間接的接觸對(duì)涂膜82進(jìn)行支撐。
[0062]另外，冷卻機(jī)構(gòu)60具有傳送帶61，傳送帶61具有用于支撐涂膜82、且與涂膜82一同向搬運(yùn)方向可旋轉(zhuǎn)的環(huán)狀帶子62，對(duì)水冷輥65而言，以第二冷媒在比帶子62的內(nèi)周面更靠近內(nèi)側(cè)的位置而穿過(guò)的方式形成有第二流道65a，第二流道65a可與帶子62的內(nèi)周面中的涂膜82的一側(cè)、即上側(cè)部分62a的下表面接觸。由此，用傳送帶61支撐薄板80及涂膜82，因此，能夠減小從搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20向搬運(yùn)方向施加的張力并且進(jìn)行薄板80及涂膜82的搬運(yùn)。由此，能夠抑制基于張力的薄板80的變形，從而能夠進(jìn)一步抑制涂膜82的變形。另夕卜，經(jīng)由帶子62冷卻薄板80或涂膜82，因此，能夠進(jìn)一步抑制流過(guò)第二流道65a的第二冷媒(水滴)或異物等附著在薄板80的背面或涂膜82。進(jìn)一步地，在薄板80或涂膜82中的、穿過(guò)爐體12內(nèi)的部分的搬運(yùn)方向兩側(cè)，配置有作為夾持輥的驅(qū)動(dòng)輥23、24及從動(dòng)輥25、26，因此，能夠進(jìn)一步抑制附加于薄板80或涂膜82的搬運(yùn)方向的張力。
[0063]進(jìn)一步地，對(duì)傳送帶61而言，在帶子62形成有多個(gè)孔，干燥裝置10具備吸附輥66及進(jìn)氣裝置56，其用于對(duì)帶子62的孔內(nèi)部進(jìn)行減壓，并使薄板80或涂膜82吸附在帶子62。因此，通過(guò)使帶子62吸附在薄板80或涂膜82，可以經(jīng)由帶子62實(shí)現(xiàn)薄板80或涂膜82的更加均勻的冷卻，另外，能夠更加抑制薄板80或涂膜82的抖動(dòng)。
[0064]而且，紅外線加熱器30配置在比涂膜82更靠近鉛垂上側(cè)的位置。因此，與從鉛垂下側(cè)冷卻薄板80或涂膜82的冷卻機(jī)構(gòu)60的位置無(wú)關(guān)地，容易將來(lái)自紅外線加熱器的波長(zhǎng)為3.5 μ m以下的紅外線直接向涂膜82照射。
[0065]另外，驅(qū)動(dòng)輥63、驅(qū)動(dòng)輥64、水冷輥65、及吸附輥66均不存在于紅外線加熱器30的正下方的區(qū)域，而是從紅外線加熱器30向前后方向錯(cuò)開(kāi)而配置。因此，各滾筒難以被紅外線加熱器30加熱，并且提高基于第二冷媒的薄板80或涂膜82的冷卻效率。
[0066]此外，本發(fā)明不限定于上述的任何實(shí)施方案，在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)可以以各種方案實(shí)施。
[0067]例如，在上述實(shí)施方案中，在薄板80上形成的薄板狀的涂膜82作為干燥對(duì)象，但是干燥對(duì)象只要是薄板狀即可，并且不限于涂膜82。例如，從滾筒21開(kāi)卷并搬運(yùn)的薄板80自身也可以是干燥對(duì)象。
[0068]在上述實(shí)施方案中，水冷輥65經(jīng)由傳送帶61的帶子62而冷卻薄板80或涂膜82，但并不限于此，水冷輥65直接與薄板80的背面接觸而冷卻薄板80或涂膜82也可。該情況下，干燥裝置10也可以不具備傳送帶61 (帶子62)。
[0069]在上述實(shí)施方案中，水冷輥65及吸附輥66是從動(dòng)輥，但在這些中也可以有一個(gè)以上是驅(qū)動(dòng)輥。
[0070]在上述實(shí)施方案中，傳送帶61具有使帶子62旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)輥63、64，通過(guò)該驅(qū)動(dòng)輥63、64使帶子62旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，由此搬運(yùn)薄板80或涂膜82，但并不限于此。例如，代替驅(qū)動(dòng)輥63、驅(qū)動(dòng)輥64使用具備從動(dòng)輥的結(jié)構(gòu)也可。即，帶子62也可以通過(guò)伴隨搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20搬運(yùn)薄板80而產(chǎn)生的、與薄板80之間的摩擦力來(lái)從動(dòng)地旋轉(zhuǎn)，而不是傳送帶61自行搬運(yùn)薄板80或涂膜82。
[0071]在上述實(shí)施方案中，傳送帶61的帶子62由反射波長(zhǎng)為3.5μπι以下紅外線的紅外線反射材料形成也可。作為這種紅外線反射材料，例如可以舉出SUS304或鋁等金屬。這樣，帶子62能夠反射來(lái)自紅外線加熱器30的紅外線并向涂膜82輻射，因此，能夠更加有效地干燥涂膜82。該情況下，帶子62優(yōu)選使用對(duì)波長(zhǎng)為3.5 μ m以下的紅外線的總反射率為80%以上的材料。另外，在上述的水冷輥65直接與薄板80的背面接觸的方案的情況下，將構(gòu)成水冷輥65 (特別是水冷輥65的外周面)的構(gòu)件用紅外線反射材料形成也可。另外，不限于用紅外線反射材料形成帶子62或水冷輥65的情況，在表面形成由紅外線反射材料構(gòu)成的紅外線反射層也可。作為這種紅外線反射層的材料，例如可以列舉金、白金、及鋁等。紅外線反射層，例如通過(guò)濺射或CVD、噴鍍等成膜方法來(lái)涂覆帶子62或水冷輥65的表面而形成也可。
[0072]在上述實(shí)施方案中，使第二冷媒流通于配置在比帶子62的內(nèi)周面更靠近內(nèi)側(cè)的位置的水冷輥65內(nèi)的第二流道65a，但并不限于此。例如，在帶子62的內(nèi)部形成有第二流道也可。圖3是變形例的干燥裝置110的縱剖視圖。變形例的干燥裝置110，代替冷卻機(jī)構(gòu)60而具備冷卻機(jī)構(gòu)160。冷卻機(jī)構(gòu)160具備傳送帶161和第二冷媒供應(yīng)源54。傳送帶161具備:帶子162，其在內(nèi)部具有第二流道162c ;驅(qū)動(dòng)輥63、64 ;及多個(gè)(在圖3中是五個(gè))從動(dòng)輥165。帶子162例如是將金屬板一體成形或焊接而構(gòu)成的，帶子162具有:外壁162d，其構(gòu)成環(huán)的外周部分；內(nèi)壁162e，其構(gòu)成內(nèi)周部分；及未圖示的左側(cè)壁及右側(cè)壁，其將外壁162d和內(nèi)壁162e在左右端(圖3的紙面向外-向里方向的端部)連接。另外，由外壁162d、內(nèi)壁162e、左側(cè)壁及右側(cè)壁包圍的空間成為第二流道162c。就帶子162而言，其與驅(qū)動(dòng)輥63、64、及從動(dòng)輥165在內(nèi)壁162e的內(nèi)周面接觸，并以環(huán)狀架設(shè)在這些輥?zhàn)?。帶?62具有:上側(cè)部分162a，其作為涂膜82側(cè)(圖3的上側(cè))的部分；下側(cè)部分162b，其作為與涂膜82相反側(cè)(圖3的下側(cè))的部分，其中，上側(cè)部分162a (特別是，外壁162d的上表面)與薄板80的背面接觸并支撐薄板80及涂膜82。另外，就帶子162而言，在左側(cè)壁及右側(cè)壁分別具有一個(gè)未圖示的第二冷媒出入口，該第二冷媒出入口從第二流道162c通向帶子162的外部。從第二冷媒供應(yīng)源54供應(yīng)的第二冷媒從一側(cè)的第二冷媒出入口流入至第二流道162c，并經(jīng)過(guò)第二流道162c及另一側(cè)的第二冷媒出入口而流向外部。此外，從第二冷媒供應(yīng)源54至一側(cè)的第二冷媒出入口的配管，例如通過(guò)由樹(shù)脂等構(gòu)成的可撓性的管連接，以能夠跟隨帶子162的旋轉(zhuǎn)。此外，帶子162優(yōu)選由上述紅外線反射材料形成。在該變形例的干燥裝置110，也與上述的實(shí)施方案相同地，能夠用流過(guò)第二流道162c的第二冷媒冷卻涂膜82中的、來(lái)自紅外線加熱器30的紅外線所照射的部分。因此，與上述的實(shí)施方案相同地，當(dāng)向涂膜82輻射紅外線而進(jìn)行處理時(shí)，能夠充分地冷卻薄板80或涂膜82，同時(shí)能夠充分地抑制薄板80或涂膜82的抖動(dòng)。另外，與上述的實(shí)施方案相比，能夠冷卻整個(gè)帶子162，因此，能夠更加均勻地冷卻薄板80或涂膜82。另外，很容易充分地冷卻薄板80或涂膜82。此外，帶子162也可以具備多個(gè)柱狀的襯墊，該襯墊用于從上下方向支撐外壁162d和內(nèi)壁162e而保持兩者的間隔。
[0073]在上述實(shí)施方案中，用于形成第二流道65a的水冷輥65的外管與帶子62的內(nèi)周面接觸，但并不限定于此，第二冷媒也可以直接與直接帶子62接觸。圖4是變形例的干燥裝置210的縱剖視圖。圖5是圖4的B-B剖視圖。圖6是第二流道形成構(gòu)件270的立體圖。此外，在圖6中，省略第二冷媒出入口 272的圖示。如圖4所示，就變形例的干燥裝置210而言，冷卻機(jī)構(gòu)260具有:傳送帶261及第二流道形成構(gòu)件270。傳送帶261除了不具備水冷輥65及吸附輥66之外，均與上述傳送帶61具有相同的結(jié)構(gòu)。第二流道形成構(gòu)件270是配置在帶子62的上側(cè)部分62a和下側(cè)部分62b之間、并以大致長(zhǎng)方體形成的結(jié)構(gòu)體。第二流道形成構(gòu)件270中的上側(cè)部分62a側(cè)的端部(圖4_6的上端)成為開(kāi)口 271。第二流道形成構(gòu)件270具有大致長(zhǎng)方體的空洞，該空洞具有朝向薄板80或涂膜82側(cè)的該開(kāi)口 271，該空洞內(nèi)成為第二流道270a。另外，在第二流道形成構(gòu)件270的兩處形成有第二冷媒出入口 272 (參照?qǐng)D5)，該第二冷媒出入口 272用于連接第二流道270a和第二流道形成構(gòu)件270的外部。從第二冷媒供應(yīng)源54供應(yīng)的第二冷媒從一側(cè)的第二冷媒出入口 272(圖5的左側(cè))流入至第二流道270a，并經(jīng)過(guò)第二流道270a及另一側(cè)的第二冷媒出入口 272 (圖5的右側(cè))而流向外部。另外，第二流道形成構(gòu)件270具有防漏橡膠275，該防漏橡膠275是包圍開(kāi)口 271的外周的樹(shù)脂制彈性體。防漏橡膠275具備:防漏橡膠275a、275b(參照?qǐng)D4、6)，其配置在開(kāi)口 271的搬運(yùn)方向的兩側(cè)(前后方向的兩側(cè))；及防漏橡膠275c、275d(參照?qǐng)D5、6)，其配置在開(kāi)口 271的左右方向的兩側(cè)。該防漏橡膠275以其上表面被帶子62的內(nèi)周面(上側(cè)部分62a的下表面)按壓的狀態(tài)配置。該變形例的干燥裝置210也與上述的實(shí)施方案相同地，能夠用流過(guò)第二流道270a的第二冷媒冷卻涂膜82中的、來(lái)自紅外線加熱器30的紅外線所照射的部分。因此，與上述的實(shí)施方案相同地，當(dāng)向涂膜82輻射紅外線而進(jìn)行處理時(shí)，能夠充分地冷卻薄板80或涂膜82，同時(shí)能夠充分地抑制薄板80或涂膜82的抖動(dòng)。另外，第二冷媒與帶子62直接接觸，因此，例如與第二冷媒經(jīng)由上述水冷輥65的外管或第二流道形成構(gòu)件270等液體流道形成構(gòu)件而冷卻帶子62 (及處理對(duì)象)的情況相t匕，能夠更加提高冷卻效率。進(jìn)一步地，防漏橡膠275與第二冷媒直接接觸的帶子62的內(nèi)周面接觸，因此，能夠進(jìn)一步抑制搬運(yùn)薄板80時(shí)第二冷媒從第二流道270a的開(kāi)口部分(開(kāi)口 271)向外部泄漏。另外，對(duì)于位于搬運(yùn)方向(圖4的右方向)的防漏橡膠275b，還發(fā)揮刮去附著在帶子62的第二冷媒的作用。此外，防漏橡膠275還可以僅具備位于搬運(yùn)方向兩側(cè)的防漏橡膠275a、275b。換言之，防漏橡膠275c、275d這些部分也可以不是彈性體。這是因?yàn)榈诙涿较虮容^容易沿搬運(yùn)方向的方向泄漏?；蛘撸痪邆浞缆┫鹉z275而使第二流道形成構(gòu)件270的上端直接與帶子62接觸也可。另外，在變形例的干燥裝置210中，采用不具有傳送帶261的方式，并且第二冷媒直接與薄板80的背面接觸也可。或者，在該變形例的干燥裝置210中，也可以將紅外線加熱器30配置在第二流道270a內(nèi)。例如，紅外線加熱器30以第二流道形成構(gòu)件270及第二流道270a垂直于搬運(yùn)方向(向圖5的左右方向)貫通的方式安裝也可。通過(guò)這種方式，也能夠用第二冷媒冷卻紅外線加熱器30的表面。該情況下，第二流道形成構(gòu)件270優(yōu)選由紅外線反射材料形成。另外，第二冷媒優(yōu)選使用紅外線的最大穿透波長(zhǎng)在3.5 μ m以下的紅外線區(qū)域的液體。另外，優(yōu)選使用對(duì)波長(zhǎng)為3.5 μ m以下紅外線的總透光率為80%以上的液體。通過(guò)使用容易穿透這種紅外線的材料，能夠?qū)?lái)自紅外線加熱器30的紅外線有效地向涂膜82輻射。對(duì)于帶子62或薄板80也相同地，優(yōu)選也使用容易穿透紅外線的材料。此外，薄板80自身為處理對(duì)象的情況下，薄板80不需要必須穿透紅外線。
[0074]在上述實(shí)施方案中，對(duì)干燥過(guò)程中的空間12a的氣氛沒(méi)有進(jìn)行說(shuō)明，但是空間12a可以是常壓，也可以是減壓狀態(tài)或真空狀態(tài)。此時(shí)，在減壓狀態(tài)下相對(duì)難以進(jìn)行鼓風(fēng)，在真空狀態(tài)下無(wú)法進(jìn)行鼓風(fēng)。因此，在這種氣氛下進(jìn)行干燥的情況下，使用作為液體的第二冷媒來(lái)冷卻薄板80或涂膜82等干燥對(duì)象的意義重大。
[0075]在上述實(shí)施方案中，對(duì)干燥裝置10而言，其具備朝向涂膜82的表面、或者與涂膜82的表面平行地進(jìn)行鼓風(fēng)的鼓風(fēng)裝置；或者也可以進(jìn)一步具備用于排出包括鼓風(fēng)的空間12a的氣氛的排氣裝置。即使干燥裝置10具備鼓風(fēng)裝置等，也能夠通過(guò)第二冷媒來(lái)充分地冷卻薄板80或涂膜82，因此，能夠形成適當(dāng)?shù)娘L(fēng)量或使風(fēng)速成為較小值，以充分地抑制有鼓風(fēng)對(duì)涂膜82產(chǎn)生的上述的不良影響。而且，通過(guò)進(jìn)行鼓風(fēng)，能夠迅速去除從涂膜82蒸發(fā)的水分或溶劑，因此，能夠更加提高干燥效率。另外，通過(guò)鼓風(fēng)裝置朝向薄板80或涂膜82中的、用傳送帶61所支撐的部分的表面進(jìn)行鼓風(fēng)，由此能夠進(jìn)一步抑制薄板80或涂膜82的抖動(dòng)。另外，干燥裝置10具有帶噴嘴的加熱器，該帶噴嘴的加熱器具備紅外線加熱器30、和成為鼓風(fēng)口的噴嘴，也可通過(guò)該帶噴嘴的加熱器同時(shí)進(jìn)行紅外線的輻射和鼓風(fēng)。
[0076]在上述實(shí)施方案中，干燥裝置10是連續(xù)式，但是只要是以卷對(duì)卷方式搬運(yùn)處理對(duì)象的，就不限定于此，例如間歇搬運(yùn)式也可。在間歇搬運(yùn)式的情況下，干燥裝置10例如也可以進(jìn)行如下工藝，在薄板80上形成涂膜82的涂膜形成工藝；搬運(yùn)薄板80并將涂膜82向爐體12內(nèi)部搬入的搬入工藝；在爐體12內(nèi)部停止薄板80的搬運(yùn)而干燥涂膜82的干燥工藝；及搬運(yùn)薄板80而將干燥后涂膜82搬出的搬出工藝。此時(shí)，為了能夠連續(xù)有效地干燥多個(gè)涂膜82，干燥爐10同時(shí)進(jìn)行涂膜82的干燥工藝、及隨后的涂膜82的涂膜形成工藝也可。相同地，同時(shí)進(jìn)行干燥后的涂膜82的搬出工藝、及隨后將被干燥的涂膜82的搬入工藝也可。通過(guò)采用間歇搬運(yùn)式，干燥爐10在干燥工藝中停止薄板80的搬運(yùn)，因此，例如在涂膜形成工藝中通過(guò)網(wǎng)板印刷等來(lái)形成涂膜82的情況下，能夠高精度地印刷涂膜82。
[0077]在上述實(shí)施方案中，作為干燥對(duì)象的涂膜82，示出了作為干燥后用于MLCC(疊層陶瓷電容器)的薄膜，但干燥對(duì)象并不限定于此。例如，涂膜82作為成為用于鋰離子二次電池的電極的涂膜也可。作為這種涂膜，例如，可以列舉將電極材料(正極活性物質(zhì)或負(fù)極活性物質(zhì))、粘合劑、導(dǎo)電材料、及溶劑一同混合而成的電極糊劑(paste)涂布在薄板80上等。另外，該情況的薄板80作為鋁或銅等的金屬薄板也可?；蛘?，涂膜82也可以用作LTCC (低溫?zé)商沾?或其他用于印制電路基板的薄膜。
[0078]在上述實(shí)施方案中，干燥裝置10使用紅外線干燥涂膜82，但只要使用紅外線對(duì)處理對(duì)象進(jìn)行處理的紅外線處理裝置即可，并不限定于干燥爐。作為使用紅外線的其他處理，例如，可以列舉處理對(duì)象的架橋、酰亞胺化等的化學(xué)反應(yīng)、或脫水、及退火等。
[0079]本申請(qǐng)主張于2013年8月12日申請(qǐng)的日本國(guó)專利申請(qǐng)第2013-167482號(hào)為優(yōu)先權(quán)基礎(chǔ)，其全部?jī)?nèi)容以參引方式納入本說(shuō)明書(shū)。
[0080]【產(chǎn)業(yè)上的可利用性】
[0081]本發(fā)明可適用于需要使用紅外線來(lái)進(jìn)行加熱或干燥等處理的產(chǎn)業(yè)、例如制造鋰離子二次電池的電極涂膜的電池產(chǎn)業(yè)、或制造MLCC或LTCC等的陶瓷產(chǎn)業(yè)等。
【權(quán)利要求】
1.一種紅外線處理裝置，其是向薄板狀的處理對(duì)象輻射紅外線而進(jìn)行處理的紅外線處理裝置，其特征在于， 所述紅外線處理裝置具備: 搬運(yùn)單元，其用于以卷對(duì)卷方式向搬運(yùn)方向搬運(yùn)所述處理對(duì)象；及 紅外線加熱器，其具有:發(fā)熱體，其通過(guò)加熱而輻射紅外線；管，其用于吸收超過(guò)3.5 μ m波長(zhǎng)的紅外線并覆蓋該發(fā)熱體，所述紅外線加熱器用于對(duì)所述處理對(duì)象輻射紅外線.冷卻單元，其通過(guò)液體來(lái)冷卻所述處理對(duì)象中的、來(lái)自所述紅外線加熱器的紅外線所照射的部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外線處理裝置，其特征在于， 所述冷卻單元可搬運(yùn)地支撐所述處理對(duì)象。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的紅外線處理裝置，其特征在于， 所述冷卻單元具有液體流道形成構(gòu)件，所述液體流道形成構(gòu)件用于形成可以使所述液體流通的液體流道。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紅外線處理裝置，其特征在于， 所述冷卻單元具有傳送帶，所述傳送帶具有用于可搬運(yùn)地支撐所述處理對(duì)象、且與該處理對(duì)象一同向所述搬運(yùn)方向可旋轉(zhuǎn)的環(huán)狀帶子， 形成于所述液體流道形成構(gòu)件的所述液體流道設(shè)置成，使所述液體在比所述帶子的內(nèi)周面更靠近內(nèi)側(cè)的位置穿過(guò)所述液體流道， 并且該液體流道形成構(gòu)件和穿過(guò)所述液體流道的液體中的至少一方可接觸于所述帶子的內(nèi)周面中的所述處理對(duì)象側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的紅外線處理裝置，其特征在于， 對(duì)所述傳送帶而言，在所述帶子形成有多個(gè)孔， 所述紅外線處理裝置具備吸附單元，所述吸附單元用于使所述帶子的孔的內(nèi)部減壓而使所述處理對(duì)象吸附在所述帶子。
6.根據(jù)權(quán)利要求3-5中任一項(xiàng)所述的紅外線處理裝置，其特征在于， 所述液體流道形成構(gòu)件是在內(nèi)部形成有所述液體流道的冷卻輥。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紅外線處理裝置，其特征在于， 所述冷卻單元具有傳送帶，所述傳送帶具有用于可搬運(yùn)地支撐所述處理對(duì)象、且與該處理對(duì)象一同向所述搬運(yùn)方向可旋轉(zhuǎn)的環(huán)狀帶子， 所述帶子作為在內(nèi)部形成有所述液體流道的所述液體流道形成構(gòu)件而構(gòu)成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的紅外線處理裝置，其特征在于， 所述紅外線加熱器配置在比所述處理對(duì)象更靠近鉛垂上側(cè)的位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的紅外線處理裝置，其特征在于， 所述液體流道形成構(gòu)件形成有所述液體流道，所述液體流道朝向所述處理對(duì)象側(cè)形成開(kāi)口，并且所述液體與所述處理對(duì)象直接地或間接地接觸的同時(shí)可以流通在所述液體流道。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的紅外線處理裝置，其特征在于， 所述液體流道形成構(gòu)件具有彈性體，所述彈性體配置在所述開(kāi)口的所述搬運(yùn)方向的兩端并與所述處理對(duì)象直接地或間接地接觸。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的紅外線處理裝置，其特征在于， 所述紅外線加熱器配置在所述液體流道內(nèi)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的紅外線處理裝置，其特征在于， 所述液體的紅外線的最大穿透波長(zhǎng)在3.5 μ m以下的紅外線區(qū)域。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的紅外線處理裝置，其特征在于， 對(duì)所述液體流道形成構(gòu)件而言，形成所述液體流道的表面由反射波長(zhǎng)為3.5μπι以下的紅外線的紅外線反射材料構(gòu)成。
14.一種紅外線處理方法，其是基于紅外線處理裝置的紅外線處理方法，其特征在于， 所述紅外線處理裝置具備: 搬運(yùn)單元，其用于以卷對(duì)卷方式向搬運(yùn)方向搬運(yùn)薄板狀處理對(duì)象；及 紅外線加熱器，其具有:發(fā)熱體，其通過(guò)加熱來(lái)輻射紅外線，管，其用于吸收超過(guò)3.5 μ m波長(zhǎng)的紅外線并覆蓋該發(fā)熱體， 所述紅外線處理方法包括:從所述紅外線加熱器向所述處理對(duì)象輻射紅外線，并且通過(guò)液體來(lái)冷卻該處理對(duì)象中的、來(lái)自所述紅外線加熱器的紅外線所照射的部分的工藝。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的紅外線處理方法，其特征在于， 在減壓狀態(tài)下或真空狀態(tài)下的氣氛中進(jìn)行所述工藝。
【文檔編號(hào)】B05D3/06GK104368510SQ201410391993
【公開(kāi)日】2015年2月25日 申請(qǐng)日期:2014年8月11日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月12日
【發(fā)明者】藤田雄樹(shù) 申請(qǐng)人:日本礙子株式會(huì)社