一種涂布裝置和涂布系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種涂布裝置和涂布系統(tǒng)。該涂布裝置用于將膜層材料涂布于基板上以形成相應(yīng)膜層，包括：相互連接的涂布頭和供應(yīng)單元，供應(yīng)單元用于向涂布頭提供膜層材料，涂布頭用于吐出膜層材料并將其涂布到基板上，還包括回收單元，用于在涂布頭的膜層材料吐出速度和運(yùn)動(dòng)速度不在勻速狀態(tài)時(shí)，將供應(yīng)單元供應(yīng)至涂布頭的膜層材料進(jìn)行回收。該涂布裝置通過設(shè)置回收單元，使涂布裝置在處于工作不穩(wěn)定階段時(shí)，供應(yīng)至涂布頭的膜層材料被回收，從而確保了膜層涂布的均勻性和穩(wěn)定性，這能使涂布形成的膜層的厚度更加均勻，而且很少出現(xiàn)不良，進(jìn)而改善了該涂布裝置的涂布質(zhì)量，同時(shí)還提高了該涂布裝置的工作效率。
【專利說明】一種涂布裝置和涂布系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及液晶顯示器生產(chǎn)中的成膜【技術(shù)領(lǐng)域】，具體地，涉及一種涂布裝置和涂布系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示裝置(LCD:Liquid Crystal Display)因其體積小、功耗低、無福射等特點(diǎn)已成為目前平板顯示裝置中的主流產(chǎn)品，顯示面板是液晶顯示裝置進(jìn)行顯示的主要器件。
[0003]在顯示面板的生產(chǎn)過程中，采用涂布設(shè)備涂布形成顯示面板中的一些膜層(如光刻膠膜層、柵絕緣層、鈍化層、平坦層等)是常見的顯示面板中膜層的制備方法。在高世代液晶顯示裝置的生產(chǎn)中，涂布設(shè)備通常采用狹縫式涂布頭在基板上涂布相應(yīng)的膜層材料，以形成相應(yīng)的膜層。
[0004]涂布設(shè)備的基本工作過程為:涂布頭以一定速度沿基板表面從基板的一側(cè)邊緣移動(dòng)到相對(duì)的另一側(cè)邊緣，同時(shí)，涂布頭中以一定的速度吐出膜層材料，隨著涂布頭的移動(dòng)，膜層材料就能涂布到基板的表面以形成相應(yīng)的膜層。通常，涂布設(shè)備在基板上涂布膜層材料形成相應(yīng)膜層分為三個(gè)階段:起始階段、中間階段和終止階段。在起始階段，涂布頭開始從基板的一側(cè)邊緣從速度為零開始加速運(yùn)動(dòng)，直至加速到涂布頭的運(yùn)動(dòng)速度達(dá)到某個(gè)既定運(yùn)動(dòng)速度；同步地，涂布頭的吐出膜層材料的速度也開始從零加速，直至加速到某個(gè)既定的膜層材料吐出速度。在中間階段，涂布頭以既定運(yùn)動(dòng)速度和既定膜層材料吐出速度勻速運(yùn)行。在終止階段，涂布頭在即將移動(dòng)到達(dá)基板的另一側(cè)邊緣之前開始減速，直至其運(yùn)動(dòng)速度從既定運(yùn)動(dòng)速度減速為零，且其膜層材料吐出速度從既定膜層材料吐出速度減速為零。
[0005]如圖1所示，涂布設(shè)備在工作的起始階段(即T時(shí)間段內(nèi))和終止階段(圖1中未示出)，涂布頭的膜層材料吐出速度曲線4和運(yùn)動(dòng)速度曲線5很難完美配合，這使得膜層6涂布的均勻性和穩(wěn)定性很難保證，從而很容易導(dǎo)致膜層6涂布出現(xiàn)不良，使最終形成的膜層6很難達(dá)到理想的效果，同時(shí)，還降低了膜層6制備過程中的產(chǎn)線效率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述技術(shù)問題，提供一種涂布裝置和涂布系統(tǒng)。該涂布裝置通過設(shè)置回收單元，確保了膜層涂布的均勻性和穩(wěn)定性，從而不僅改善了該涂布裝置的涂布質(zhì)量，而且提高了該涂布裝置的工作效率。
[0007]本發(fā)明提供一種涂布裝置，用于將膜層材料涂布于基板上以形成相應(yīng)膜層，包括:相互連接的涂布頭和供應(yīng)單元，所述供應(yīng)單元用于向所述涂布頭提供所述膜層材料，所述涂布頭用于吐出所述膜層材料并將其涂布到所述基板上，還包括回收單元，用于在所述涂布頭的膜層材料吐出速度和運(yùn)動(dòng)速度不在勻速狀態(tài)時(shí)，將所述供應(yīng)單元供應(yīng)至所述涂布頭的所述膜層材料進(jìn)行回收。
[0008]優(yōu)選地,所述回收單元包括回收管路、動(dòng)力元件和控制元件,所述動(dòng)力元件設(shè)置在所述回收管路中，所述控制元件與所述動(dòng)力元件電連接；
[0009]所述回收管路用于在回收過程中對(duì)所述膜層材料進(jìn)行輸送，所述回收管路的入口對(duì)應(yīng)位于所述涂布頭的膜層材料吐出口的上方，用于吸入所述供應(yīng)單元供應(yīng)至所述吐出口的所述膜層材料，所述回收管路的出口與所述供應(yīng)單元連接，用于將回收的所述膜層材料輸出至所述供應(yīng)單元；
[0010]所述動(dòng)力元件用于產(chǎn)生回收動(dòng)力，以使所述供應(yīng)單元供應(yīng)至所述吐出口的所述膜層材料能從所述回收管路的入口吸入，并從所述回收管路的出口輸出；
[0011]所述控制元件用于判斷所述涂布頭的所述膜層材料吐出速度和所述運(yùn)動(dòng)速度是否處于勻速狀態(tài)，并根據(jù)判斷結(jié)果控制所述動(dòng)力元件的開啟和關(guān)閉。
[0012]優(yōu)選地，所述控制元件包括第一采集模塊、第二采集模塊、判斷模塊和處理模塊，所述第一采集模塊和所述第二采集模塊分別與所述判斷模塊連接，所述判斷模塊與所述處理模塊連接；
[0013]所述第一采集模塊用于實(shí)時(shí)采集所述涂布頭的所述膜層材料吐出速度；
[0014]所述第二采集模塊用于實(shí)時(shí)采集所述涂布頭的所述運(yùn)動(dòng)速度；
[0015]所述判斷模塊用于判斷所述涂布頭的所述膜層材料吐出速度和所述運(yùn)動(dòng)速度是否處于勻速狀態(tài)；
[0016]所述處理模塊用于根據(jù)所述判斷模塊的判斷結(jié)果對(duì)所述動(dòng)力元件進(jìn)行開啟和關(guān)閉。
[0017]優(yōu)選地，所述第一采集模塊采用流量傳感器，所述第二采集模塊采用速度傳感器。
[0018]優(yōu)選地,所述動(dòng)力元件采用真空泵或壓力泵。
[0019]優(yōu)選地，所述回收單元還包括防倒流元件，所述防倒流元件設(shè)置在所述回收管路的入口處，用于在所述動(dòng)力元件關(guān)閉時(shí)，防止吸入到所述回收管路內(nèi)部的所述膜層材料從所述回收管路的入口流出。
[0020]優(yōu)選地，所述供應(yīng)單元包括依次連接的盛放機(jī)構(gòu)、第一加壓機(jī)構(gòu)、緩沖機(jī)構(gòu)、第二加壓機(jī)構(gòu)、真空脫氣機(jī)構(gòu)和過濾機(jī)構(gòu)，所述回收管路的出口與所述盛放機(jī)構(gòu)連接，所述過濾機(jī)構(gòu)與所述涂布頭連接；
[0021 ] 所述盛放機(jī)構(gòu)用于盛放所述膜層材料；
[0022]所述第一加壓機(jī)構(gòu)用于對(duì)所述盛放機(jī)構(gòu)中盛放的所述膜層材料加壓，以使所述盛放機(jī)構(gòu)中的所述膜層材料輸出至所述緩沖機(jī)構(gòu)；
[0023]所述緩沖機(jī)構(gòu)用于對(duì)所述膜層材料進(jìn)行壓力緩沖，并將其輸出至所述第二加壓機(jī)構(gòu)中；
[0024]所述第二加壓機(jī)構(gòu)用于對(duì)所述膜層材料進(jìn)行再次加壓，以使所述膜層材料輸出至所述真空脫氣機(jī)構(gòu)中；
[0025]所述真空脫氣機(jī)構(gòu)用于使所述膜層材料內(nèi)部的氣泡排出；
[0026]所述過濾機(jī)構(gòu)用于對(duì)所述膜層材料進(jìn)行過濾，并將過濾后的所述膜層材料輸出至所述涂布頭。
[0027]優(yōu)選地，所述供應(yīng)單元還包括檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)與所述第一加壓機(jī)構(gòu)電連接，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)用于實(shí)時(shí)檢測(cè)所述盛放機(jī)構(gòu)中是否盛放有足量的所述膜層材料，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制所述第一加壓機(jī)構(gòu)的開啟和關(guān)閉。
[0028]優(yōu)選地，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)采用液位傳感器或重力傳感器。
[0029]本發(fā)明還提供一種涂布系統(tǒng)，包括上述涂布裝置。
[0030]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明所提供的涂布裝置，通過設(shè)置回收單元，使涂布裝置在處于工作不穩(wěn)定階段時(shí)(即涂布頭的膜層材料吐出速度和運(yùn)動(dòng)速度不在勻速狀態(tài)時(shí))，供應(yīng)至涂布頭的膜層材料被回收，即供應(yīng)至涂布頭的膜層材料不會(huì)涂布到基板上，從而確保了膜層涂布的均勻性和穩(wěn)定性，這能使涂布形成的膜層的厚度更加均勻，而且很少出現(xiàn)不良，進(jìn)而改善了該涂布裝置的涂布質(zhì)量，同時(shí)還提高了該涂布裝置的工作效率。
[0031]本發(fā)明所提供的涂布系統(tǒng)，通過采用上述涂布裝置，提高了該涂布系統(tǒng)進(jìn)行膜層涂布的均勻性和穩(wěn)定性，從而不僅改善了該涂布系統(tǒng)的涂布質(zhì)量，同時(shí)還提高了該涂布系統(tǒng)的工作效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0032]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中涂布設(shè)備中的涂布頭在工作起始階段的運(yùn)行曲線圖及相應(yīng)的膜層涂布結(jié)果示意圖；
[0033]圖2為本發(fā)明實(shí)施例1中涂布裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖3為圖2中的涂布頭沿AA剖切線進(jìn)行剖切的剖視圖；
[0035]圖4為圖2中涂布裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖5為圖4中控制元件的結(jié)構(gòu)框圖。
[0037]其中的附圖標(biāo)記說明:
[0038]1.涂布頭；11.吐出口 ；2.供應(yīng)單元；21.盛放機(jī)構(gòu)；22.第一加壓機(jī)構(gòu)；23.緩沖機(jī)構(gòu)；24.第二加壓機(jī)構(gòu)；25.真空脫氣機(jī)構(gòu)；26.過濾機(jī)構(gòu)；27.檢測(cè)機(jī)構(gòu)；3.回收單元；31.回收管路；311.入口 ；312.出口 ；32.動(dòng)力元件；33.控制元件；331.第一采集模塊；332.第二采集模塊；333.判斷模塊；334.處理模塊；4.涂布頭的膜層材料吐出速度曲線；
5.涂布頭的運(yùn)動(dòng)速度曲線；6.膜層。

【具體實(shí)施方式】
[0039]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明提供的一種涂布裝置和涂布系統(tǒng)作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0040]實(shí)施例1:
[0041]本實(shí)施例提供一種涂布裝置，用于將膜層材料涂布于基板上以形成相應(yīng)膜層，如圖2、圖3和圖4所示，包括:相互連接的涂布頭I和供應(yīng)單元2，供應(yīng)單元2用于向涂布頭I提供膜層材料，涂布頭I用于吐出膜層材料并將其涂布到基板上，還包括回收單元3，用于在涂布頭I的膜層材料吐出速度和運(yùn)動(dòng)速度不在勻速狀態(tài)時(shí)，將供應(yīng)單元2供應(yīng)至涂布頭I的膜層材料進(jìn)行回收。
[0042]回收單元3的設(shè)置，使涂布裝置在處于工作不穩(wěn)定階段時(shí)(即涂布頭I的膜層材料吐出速度和運(yùn)動(dòng)速度不在勻速狀態(tài)時(shí)，如起始階段和終止階段)，供應(yīng)至涂布頭I的膜層材料被回收，即供應(yīng)至涂布頭I的膜層材料不會(huì)涂布到基板上，從而確保了膜層涂布的均勻性和穩(wěn)定性，這能使涂布形成的膜層的厚度更加均勻，而且很少出現(xiàn)不良，同時(shí)還提高了膜層的制備效率。
[0043]其中，回收單元3包括回收管路31、動(dòng)力元件32和控制元件33，動(dòng)力元件32設(shè)置在回收管路31中，控制元件33與動(dòng)力元件32電連接?；厥展苈?1用于在回收過程中對(duì)膜層材料進(jìn)行輸送，回收管路31的入口 311對(duì)應(yīng)位于涂布頭I的膜層材料吐出口 11的上方，用于吸入供應(yīng)單元2供應(yīng)至吐出口 11的膜層材料(該膜層材料只是被供應(yīng)至吐出口 11，但還未被吐出口 11吐出)，回收管路31的出口 312與供應(yīng)單元2連接，用于將回收的膜層材料輸出至供應(yīng)單元2。如此能夠確保經(jīng)回收單元3回收的膜層材料不會(huì)被浪費(fèi)，而是回到供應(yīng)單元2被重新利用。動(dòng)力元件32用于產(chǎn)生回收動(dòng)力，以使供應(yīng)單元2供應(yīng)至吐出口11的膜層材料能從回收管路31的入口 311吸入，并從回收管路31的出口 312輸出?？刂圃?3用于判斷涂布頭I的膜層材料吐出速度和運(yùn)動(dòng)速度是否處于勻速狀態(tài)，并根據(jù)判斷結(jié)果控制動(dòng)力元件32的開啟和關(guān)閉。這里需要說明的是，動(dòng)力元件32開啟時(shí)產(chǎn)生回收動(dòng)力,動(dòng)力元件32關(guān)閉時(shí)不產(chǎn)生回收動(dòng)力。
[0044]本實(shí)施例中，如圖4和圖5所示，控制元件33包括第一采集模塊331、第二采集模塊332、判斷模塊333和處理模塊334，第一采集模塊331和第二采集模塊332分別與判斷模塊333連接，判斷模塊333與處理模塊334連接。第一采集模塊331用于實(shí)時(shí)采集涂布頭I的膜層材料吐出速度。第二采集模塊332用于實(shí)時(shí)采集涂布頭I的運(yùn)動(dòng)速度。判斷模塊333用于判斷涂布頭I的膜層材料吐出速度和運(yùn)動(dòng)速度是否處于勻速狀態(tài)。處理模塊334用于根據(jù)判斷模塊333的判斷結(jié)果對(duì)動(dòng)力元件32進(jìn)行開啟和關(guān)閉。
[0045]控制元件33的上述設(shè)置，能使回收單元3對(duì)涂布裝置在工作過程中的不穩(wěn)定階段的判斷更加智能，從而確保了膜層涂布的均勻性和穩(wěn)定性，同時(shí)還提高了膜層的制備效率。
[0046]本實(shí)施例中，第一采集模塊331采用流量傳感器，第二采集模塊332采用速度傳感器。本實(shí)施例中，涂布頭I在電機(jī)的帶動(dòng)下沿基板表面移動(dòng)，因此該速度傳感器在本實(shí)施例中為測(cè)量電機(jī)轉(zhuǎn)速的轉(zhuǎn)速傳感器。該流量傳感器用于測(cè)量單位時(shí)間內(nèi)從涂布頭I吐出的膜層材料的量，由于在涂布裝置工作的起始階段，膜層材料不會(huì)從涂布頭I的吐出口 11吐出，而被回收單元3回收，所以流量傳感器在起始階段測(cè)量的是單位時(shí)間內(nèi)由供應(yīng)單元2供應(yīng)至吐出口 11的膜層材料的量。
[0047]需要說明的是，對(duì)第一采集模塊331和第二采集模塊332所采用的具體器件不作限定，只要確保第一采集模塊331和第二采集模塊332能夠?qū)崿F(xiàn)各自的功能即可。
[0048]另外需要說明的是，為了使基板上膜層材料的涂布從一開始就比較均勻，需要在涂布開始之前，將涂布裝置的涂布頭I設(shè)置于基板以外且距離基板為一設(shè)定距離的位置，這樣在涂布裝置開始工作之后，涂布頭I在距離基板為設(shè)定距離的范圍內(nèi)即可完成運(yùn)動(dòng)速度和膜層材料吐出速度的加速，即當(dāng)涂布頭I運(yùn)動(dòng)到基板的膜層材料涂布的起始邊緣時(shí)，其運(yùn)動(dòng)速度和膜層材料吐出速度恰好都達(dá)到勻速狀態(tài)，這樣便可確?；迳夏硬牧贤坎嫉木鶆蛐院头€(wěn)定性。
[0049]本實(shí)施例中，動(dòng)力元件32采用真空泵或壓力泵。當(dāng)然，動(dòng)力元件32也可以是產(chǎn)生回收動(dòng)力的其它形式的泵(如旋葉泵等)或器件，只要確保動(dòng)力元件32產(chǎn)生的回收動(dòng)力能將供應(yīng)單元2供應(yīng)至吐出口 11的膜層材料從回收管路31的入口 311吸入，并從回收管路31的出口 312輸出即可，對(duì)動(dòng)力元件32的具體實(shí)現(xiàn)形式不作限定。
[0050]本實(shí)施例中，回收單元3還包括防倒流元件(圖中未示出)，防倒流元件設(shè)置在回收管路31的入口 311處，用于在動(dòng)力元件32關(guān)閉時(shí)，防止吸入到回收管路31內(nèi)部的膜層材料從回收管路31的入口 311流出。防倒流元件的設(shè)置能使膜層材料在回收過程中不會(huì)從回收管路31中返回并流出，從而確保了膜層材料在回收過程中不會(huì)被浪費(fèi)，同時(shí)，還能確保涂布裝置在膜層材料涂布過程中不會(huì)因?yàn)榛厥盏哪硬牧铣霈F(xiàn)倒流而對(duì)膜層材料的正常涂布造成影響，從而保證了膜層材料涂布的均勻性和穩(wěn)定性，進(jìn)而保證了涂布形成的膜層的質(zhì)量并提高了膜層的制備效率。
[0051]如圖4所示，供應(yīng)單元2包括依次連接的盛放機(jī)構(gòu)21、第一加壓機(jī)構(gòu)22、緩沖機(jī)構(gòu)23、第二加壓機(jī)構(gòu)24、真空脫氣機(jī)構(gòu)25和過濾機(jī)構(gòu)26，回收管路31的出口 312與盛放機(jī)構(gòu)21連接，過濾機(jī)構(gòu)26與涂布頭I連接。盛放機(jī)構(gòu)21用于盛放膜層材料。第一加壓機(jī)構(gòu)22用于對(duì)盛放機(jī)構(gòu)21中盛放的膜層材料加壓，以使盛放機(jī)構(gòu)21中的膜層材料輸出至緩沖機(jī)構(gòu)23。緩沖機(jī)構(gòu)23用于對(duì)膜層材料進(jìn)行壓力緩沖，并將其輸出至第二加壓機(jī)構(gòu)24中。由于經(jīng)第一加壓機(jī)構(gòu)22加壓后輸出至緩沖機(jī)構(gòu)23中的膜層材料速度不穩(wěn)定，所以需要通過緩沖機(jī)構(gòu)23對(duì)其進(jìn)行緩沖，以利于供應(yīng)單元2對(duì)膜層材料的均勻穩(wěn)定供應(yīng)。第二加壓機(jī)構(gòu)24用于對(duì)膜層材料進(jìn)行再次加壓，以使膜層材料輸出至真空脫氣機(jī)構(gòu)25中。真空脫氣機(jī)構(gòu)25用于使膜層材料內(nèi)部的氣泡排出，以免對(duì)涂布形成的膜層造成不良影響(如膜層厚度不均勻等)。過濾機(jī)構(gòu)26用于對(duì)膜層材料進(jìn)行過濾，并將過濾后的膜層材料輸出至涂布頭
1。過濾機(jī)構(gòu)26能將膜層材料中存在的較大顆粒物或纖維等雜質(zhì)過濾去除掉，從而保證了涂布形成的膜層的質(zhì)量。
[0052]本實(shí)施例中，供應(yīng)單元2還包括檢測(cè)機(jī)構(gòu)27，檢測(cè)機(jī)構(gòu)27與第一加壓機(jī)構(gòu)22電連接，檢測(cè)機(jī)構(gòu)27用于實(shí)時(shí)檢測(cè)盛放機(jī)構(gòu)21中是否盛放有足量的膜層材料，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制第一加壓機(jī)構(gòu)22的開啟和關(guān)閉。這里需要說明的是，第一加壓機(jī)構(gòu)22開啟，則第一加壓機(jī)構(gòu)22對(duì)盛放機(jī)構(gòu)21中盛放的膜層材料加壓，盛放機(jī)構(gòu)21中的膜層材料被輸出；第一加壓機(jī)構(gòu)22關(guān)閉，則第一加壓機(jī)構(gòu)22不對(duì)盛放機(jī)構(gòu)21中盛放的膜層材料加壓，盛放機(jī)構(gòu)21中的膜層材料不再被輸出。檢測(cè)機(jī)構(gòu)27的設(shè)置，能夠確保涂布裝置整個(gè)涂布過程的連貫性，從而確保了膜層涂布的均勻性和穩(wěn)定性。
[0053]本實(shí)施例中，檢測(cè)機(jī)構(gòu)27采用液位傳感器或重力傳感器。如液位傳感器通過檢測(cè)盛放機(jī)構(gòu)21中的膜層材料的液位是否低于最低要求液位，如果低于最低要求液位，則說明膜層材料已不足，需要及時(shí)向盛放機(jī)構(gòu)21中補(bǔ)充膜層材料，或者，立刻停止涂布工作，以免膜層材料不足而對(duì)涂布形成的膜層質(zhì)量造成影響。重力傳感器是通過檢測(cè)盛放機(jī)構(gòu)21中膜層材料的重量是否低于最低重量要求，從而來判斷盛放機(jī)構(gòu)21中是否有足量的膜層材料。
[0054]當(dāng)然，檢測(cè)機(jī)構(gòu)27還可以采用其他的能夠?qū)崿F(xiàn)其檢測(cè)功能的器件。這里對(duì)檢測(cè)機(jī)構(gòu)27所采用的具體器件不作限定。
[0055]上述結(jié)構(gòu)的涂布裝置的具體工作過程為:在涂布的起始階段:在啟動(dòng)涂布裝置之前，先將涂布裝置的涂布頭I設(shè)置于基板以外且距離基板為一設(shè)定距離的位置；然后啟動(dòng)涂布裝置(即供應(yīng)單元2開始向涂布頭I提供膜層材料)，同時(shí)啟動(dòng)回收單元3，在該設(shè)定距離的范圍內(nèi)，涂布頭I的運(yùn)動(dòng)速度和膜層材料吐出速度都從零開始加速，由于這兩個(gè)速度在起始階段均未達(dá)到勻速狀態(tài)，所以回收單元3在起始階段保持對(duì)供應(yīng)單元2供應(yīng)至涂布頭I的膜層材料進(jìn)行回收，即將供應(yīng)至涂布頭I的膜層材料全部回收并輸送回供應(yīng)單元
2。當(dāng)涂布頭I運(yùn)動(dòng)至基板邊緣時(shí)(也即上述設(shè)定距離被走完時(shí))，涂布頭I的運(yùn)動(dòng)速度和膜層材料吐出速度恰好都達(dá)到勻速狀態(tài)，涂布過程進(jìn)入中間階段，此時(shí)回收單元3關(guān)閉(即回收單元3不再對(duì)膜層材料進(jìn)行回收)，供應(yīng)至涂布頭I的膜層材料從涂布頭I勻速吐出并涂布到基板上，由于涂布頭I的運(yùn)動(dòng)速度和膜層材料吐出速度都達(dá)到了穩(wěn)定狀態(tài)，所以使涂布到基板上的膜層材料厚度也非常均勻，這使得涂布于基板上的膜層材料的厚度從一開始就能保持均勻，從而確保了基板上形成膜層的厚度的均勻性。當(dāng)整個(gè)基板上的膜層涂布完畢時(shí)，涂布頭I的運(yùn)動(dòng)速度和膜層材料吐出速度都從勻速狀態(tài)開始減速，涂布過程進(jìn)入終止階段，此時(shí)，回收單元3再次開啟，即回收單元3開始將供應(yīng)至涂布頭I的膜層材料全部回收并輸送回供應(yīng)單元2，終止階段中回收單元3的開啟能夠防止膜層涂布結(jié)束后膜層材料繼續(xù)從涂布頭I吐出，從而避免了對(duì)膜層材料的浪費(fèi)，同時(shí)還確保了基板上形成膜層的均勻性和穩(wěn)定性。當(dāng)涂布頭I的運(yùn)動(dòng)速度和膜層材料吐出速度減速為零時(shí)，關(guān)閉回收單元3。
[0056]實(shí)施例1的有益效果:實(shí)施例1中所提供的涂布裝置，通過設(shè)置回收單元，使涂布裝置在處于工作不穩(wěn)定階段時(shí)，供應(yīng)至涂布頭的膜層材料被回收，即供應(yīng)至涂布頭的膜層材料不會(huì)涂布到基板上，從而確保了膜層涂布的均勻性和穩(wěn)定性，這能使涂布形成的膜層的厚度更加均勻，而且很少出現(xiàn)不良，進(jìn)而改善了該涂布裝置的涂布質(zhì)量，同時(shí)還提高了該涂布裝置的工作效率。
[0057]實(shí)施例2:
[0058]本實(shí)施例提供一種涂布系統(tǒng)，包括實(shí)施例1中的涂布裝置。
[0059]通過采用實(shí)施例1中的涂布裝置，提高了該涂布系統(tǒng)進(jìn)行膜層涂布的均勻性和穩(wěn)定性，從而改善了該涂布系統(tǒng)的涂布質(zhì)量，同時(shí)還提高了該涂布系統(tǒng)的工作效率。
[0060]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種涂布裝置，用于將膜層材料涂布于基板上以形成相應(yīng)膜層，包括:相互連接的涂布頭和供應(yīng)單元，所述供應(yīng)單元用于向所述涂布頭提供所述膜層材料，所述涂布頭用于吐出所述膜層材料并將其涂布到所述基板上，其特征在于，還包括回收單元，用于在所述涂布頭的膜層材料吐出速度和運(yùn)動(dòng)速度不在勻速狀態(tài)時(shí)，將所述供應(yīng)單元供應(yīng)至所述涂布頭的所述膜層材料進(jìn)行回收。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述回收單元包括回收管路、動(dòng)力元件和控制元件，所述動(dòng)力元件設(shè)置在所述回收管路中，所述控制元件與所述動(dòng)力元件電連接; 所述回收管路用于在回收過程中對(duì)所述膜層材料進(jìn)行輸送，所述回收管路的入口對(duì)應(yīng)位于所述涂布頭的膜層材料吐出口的上方，用于吸入所述供應(yīng)單元供應(yīng)至所述吐出口的所述膜層材料，所述回收管路的出口與所述供應(yīng)單元連接，用于將回收的所述膜層材料輸出至所述供應(yīng)單元； 所述動(dòng)力元件用于產(chǎn)生回收動(dòng)力，以使所述供應(yīng)單元供應(yīng)至所述吐出口的所述膜層材料能從所述回收管路的入口吸入，并從所述回收管路的出口輸出； 所述控制元件用于判斷所述涂布頭的所述膜層材料吐出速度和所述運(yùn)動(dòng)速度是否處于勻速狀態(tài)，并根據(jù)判斷結(jié)果控制所述動(dòng)力元件的開啟和關(guān)閉。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂布裝置，其特征在于，所述控制元件包括第一采集模塊、第二采集模塊、判斷模塊和處理模塊，所述第一采集模塊和所述第二采集模塊分別與所述判斷模塊連接，所述判斷模塊與所述處理模塊連接； 所述第一采集模塊用于實(shí)時(shí)采集所述涂布頭的所述膜層材料吐出速度； 所述第二采集模塊用于實(shí)時(shí)采集所述涂布頭的所述運(yùn)動(dòng)速度； 所述判斷模塊用于判斷所述涂布頭的所述膜層材料吐出速度和所述運(yùn)動(dòng)速度是否處于勻速狀態(tài)； 所述處理模塊用于根據(jù)所述判斷模塊的判斷結(jié)果對(duì)所述動(dòng)力元件進(jìn)行開啟和關(guān)閉。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的涂布裝置，其特征在于，所述第一采集模塊采用流量傳感器，所述第二采集模塊采用速度傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂布裝置，其特征在于，所述動(dòng)力元件采用真空泵或壓力泵。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂布裝置，其特征在于，所述回收單元還包括防倒流元件，所述防倒流元件設(shè)置在所述回收管路的入口處，用于在所述動(dòng)力元件關(guān)閉時(shí)，防止吸入到所述回收管路內(nèi)部的所述膜層材料從所述回收管路的入口流出。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂布裝置，其特征在于，所述供應(yīng)單元包括依次連接的盛放機(jī)構(gòu)、第一加壓機(jī)構(gòu)、緩沖機(jī)構(gòu)、第二加壓機(jī)構(gòu)、真空脫氣機(jī)構(gòu)和過濾機(jī)構(gòu)，所述回收管路的出口與所述盛放機(jī)構(gòu)連接，所述過濾機(jī)構(gòu)與所述涂布頭連接； 所述盛放機(jī)構(gòu)用于盛放所述膜層材料； 所述第一加壓機(jī)構(gòu)用于對(duì)所述盛放機(jī)構(gòu)中盛放的所述膜層材料加壓，以使所述盛放機(jī)構(gòu)中的所述膜層材料輸出至所述緩沖機(jī)構(gòu)； 所述緩沖機(jī)構(gòu)用于對(duì)所述膜層材料進(jìn)行壓力緩沖，并將其輸出至所述第二加壓機(jī)構(gòu)中； 所述第二加壓機(jī)構(gòu)用于對(duì)所述膜層材料進(jìn)行再次加壓，以使所述膜層材料輸出至所述真空脫氣機(jī)構(gòu)中； 所述真空脫氣機(jī)構(gòu)用于使所述膜層材料內(nèi)部的氣泡排出； 所述過濾機(jī)構(gòu)用于對(duì)所述膜層材料進(jìn)行過濾，并將過濾后的所述膜層材料輸出至所述涂布頭。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的涂布裝置，其特征在于，所述供應(yīng)單元還包括檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)與所述第一加壓機(jī)構(gòu)電連接，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)用于實(shí)時(shí)檢測(cè)所述盛放機(jī)構(gòu)中是否盛放有足量的所述膜層材料，并根據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制所述第一加壓機(jī)構(gòu)的開啟和關(guān)閉。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的涂布裝置，其特征在于，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)采用液位傳感器或重力傳感器。
10.一種涂布系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的涂布裝置。
【文檔編號(hào)】B05C5/00GK104289379SQ201410488392
【公開日】2015年1月21日 申請(qǐng)日期:2014年9月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月22日
【發(fā)明者】龐立斌, 高雪松, 趙楊 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司