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      一種除塵滾涂的制造方法

      文檔序號:3721469閱讀:230來源:國知局
      一種除塵滾涂的制造方法
      【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種除塵滾涂機(jī)?,F(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行光膠滾涂時(shí)可能造成光膠厚薄不均。本實(shí)用新型包括:滾子,用于向一平面滾涂光膠;設(shè)置于滾子軸向的第一刮板,用以刮平平面上的光膠;設(shè)置于第一刮板與滾子之間的第二刮板,用以刮除滾子上的光膠;第二刮板位置高于第一刮板;還包括噴氣口,設(shè)置于滾子背向第一刮板的一側(cè),噴氣口連接一可控制的壓縮空氣源。本實(shí)用新型中第二刮板可刮除殘留在滾子上的光膠,防止殘留在滾子上的光膠滴落造成厚度不均;噴氣口可在滾涂同時(shí)吹走滾子前進(jìn)方向上的細(xì)微顆粒;第一刮板可刮平金屬片材上的光膠層;第二刮板上的導(dǎo)流孔和第一刮板上的光膠流道可收集第一刮板和第二刮板上刮下的光膠,防止光膠滴落。
      【專利說明】一種除塵滾涂機(jī)

      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本實(shí)用新型屬于加工設(shè)備,尤其涉及一種金屬蝕刻片加工過程中的金屬片材除塵滾涂機(jī)。

      【背景技術(shù)】
      [0002]金屬蝕刻片是將金屬片材經(jīng)化學(xué)浸濕后得到的帶有預(yù)定圖文的金屬結(jié)構(gòu),其被廣泛的應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域以及用做外觀裝飾件。
      [0003]現(xiàn)有的金屬蝕刻片加工方法,一般是通過在金屬片材上滾涂光膠,隨后通過帶有預(yù)設(shè)圖案的光罩進(jìn)行曝光使金屬片材上留下圖案化的光膠膜,隨后通過化學(xué)浸蝕,將金屬片材上沒有覆蓋光膠膜的部分腐蝕,留下的部分則形成金屬蝕刻片。
      [0004]光膠的滾涂直接關(guān)系到最終獲得金屬蝕刻片的圖紋精度,現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行光膠滾涂時(shí)可能造成光膠厚薄不均,較厚的區(qū)域在后續(xù)曝光過程中形成的圖案化的光膠膜中無法被去除,造成最終產(chǎn)品上出現(xiàn)錯(cuò)誤。


      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0005]針對現(xiàn)有的光膠滾涂技術(shù)存在的上述問題,本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案的主要目的是:提供一種可實(shí)現(xiàn)光膠滾涂厚度均勻的除塵滾涂機(jī)。
      [0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采用了如下的技術(shù)方案:
      [0007]一種除塵滾涂機(jī),其中,包括:
      [0008]滾子,用于向一平面滾涂光膠;
      [0009]設(shè)置于滾子軸向的第一刮板,用以刮平所述平面上的光膠;
      [0010]設(shè)置于所述第一刮板與所述滾子之間的第二刮板,用以刮除所述滾子上的光膠;
      [0011]所述第二刮板位置高于所述第一刮板;
      [0012]還包括噴氣口,設(shè)置于所述滾子背向所述第一刮板的一側(cè),所述噴氣口連接一可控制的壓縮空氣源。
      [0013]本實(shí)用新型的另一方面,所述第一刮板上設(shè)有光膠流道,用以將光膠引入預(yù)定位置。
      [0014]本實(shí)用新型的另一方面,所述第二刮板上設(shè)有導(dǎo)流孔,所述導(dǎo)流孔使所述第二刮板上的光膠流淌至所述第一刮板的所述光膠流道中。
      [0015]本實(shí)用新型的另一方面,所述光膠流道為一斜槽。
      [0016]本實(shí)用新型的另一方面,所述預(yù)定位置為一光膠回收容器。
      [0017]通過對本實(shí)用新型技術(shù)方案的實(shí)施,可以獲得以下技術(shù)效果:
      [0018]1,第二刮板可刮除殘留在滾子上的光膠,防止殘留在滾子上的光膠滴落造成厚度不均;
      [0019]2,噴氣口可在滾涂同時(shí)吹走滾子前進(jìn)方向上的細(xì)微顆粒;
      [0020]3,第一刮板可刮平金屬片材上的光膠層;[0021 ] 4,第二刮板上的導(dǎo)流孔和第一刮板上的光膠流道可收集第一刮板和第二刮板上刮下的光膠,防止光膠滴落,并可將收集的光膠回收。

      【專利附圖】

      【附圖說明】
      [0022]圖1為本實(shí)用新型的除塵滾涂機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖;
      [0023]圖2為本實(shí)用新型的光膠流道的結(jié)構(gòu)示意圖。

      【具體實(shí)施方式】
      [0024]以下通過具體的實(shí)施例對本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行說明,在與本實(shí)用新型的實(shí)用新型目的無沖突的前提下,下文中提到的實(shí)施例以及實(shí)施例中的技術(shù)特征可以相互組口 ο
      [0025]如圖1和圖2所示,本實(shí)用新型提供一種除塵滾涂機(jī),其中,包括:
      [0026]滾子I,用于向一平面O滾涂光膠;
      [0027]設(shè)置于滾子I軸向的第一刮板2,用以刮平平面O上的光膠;
      [0028]設(shè)置于第一刮板2與滾子之間的第二刮板3,用以刮除滾子I上的光膠;
      [0029]第二刮板3位置高于第一刮板I ;
      [0030]還包括噴氣口 4,設(shè)置于滾子I背向第一刮板2的一側(cè),噴氣口 4連接一可控制的壓縮空氣源(未于圖中示出)。
      [0031]上述技術(shù)方案中,滾子I粘附光膠并通過在平面O上按預(yù)定方向滾動將光膠滾涂至平面O上,第一刮板2設(shè)置于背向滾子I滾動方向的一側(cè),用于將滾子I滾動進(jìn)過的平面上的光膠層刮平,防止光膠厚度不均,第二刮板3設(shè)置于第一刮板2與滾子I之間,用于刮除滾子I上多余的光膠,防止光膠聚集并滴落到平面O上。噴氣口 4可將壓縮空氣源產(chǎn)生的壓縮空氣噴出,由于噴氣口 4設(shè)置在滾子I滾動方向的一側(cè),因此噴氣口 4可在滾子I滾動過程中吹走滾子I前進(jìn)方向上的細(xì)小顆粒,從而可防止平面O上的細(xì)小顆?;蛘呖諝庵械募?xì)小顆粒對粘附在平面O上造成光膠層在后續(xù)曝光過程中存在缺陷。其中,平面O為金屬片材。
      [0032]本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中,第一刮板2上設(shè)有光膠流道21,用以將聚集在第一刮板2上的光膠引入預(yù)定位置。
      [0033]本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中,第二刮板3上設(shè)有導(dǎo)流孔31,導(dǎo)流孔31使聚集在第二刮板3上的光膠流淌至第一刮板2的光膠流道21中。
      [0034]本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中,光膠流道21為一斜槽。斜槽可引導(dǎo)其中的光膠在重力作用下流淌至預(yù)定位置。
      [0035]本實(shí)用新型的一種實(shí)施例中,預(yù)定位置為一光膠回收容器(未于圖中示出)。
      [0036]上述的實(shí)施例僅是本實(shí)用新型的部分體現(xiàn),并不能涵蓋本實(shí)用新型的全部,在上述實(shí)施例以及附圖的基礎(chǔ)上,本領(lǐng)域技術(shù)人員在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下可獲得更多的實(shí)施方式,因此這些不付出創(chuàng)造性勞動的前提下獲得的實(shí)施方式均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
      【權(quán)利要求】
      1.一種除塵滾涂機(jī),其特征在于,包括: 滾子,用于向一平面滾涂光膠; 設(shè)置于滾子軸向的第一刮板,用以刮平所述平面上的光膠; 設(shè)置于所述第一刮板與所述滾子之間的第二刮板,用以刮除所述滾子上的光膠; 所述第二刮板位置高于所述第一刮板; 還包括噴氣口,設(shè)置于所述滾子背向所述第一刮板的一側(cè),所述噴氣口連接一可控制的壓縮空氣源。
      2.如權(quán)利要求1所述的一種除塵滾涂機(jī),其特征在于,所述第一刮板上設(shè)有光膠流道,用以將光膠引入預(yù)定位置。
      3.如權(quán)利要求2所述的一種除塵滾涂機(jī),其特征在于,所述第二刮板上設(shè)有導(dǎo)流孔,所述導(dǎo)流孔使所述第二刮板上的光膠流淌至所述第一刮板的所述光膠流道中。
      4.如權(quán)利要求2所述的一種除塵滾涂機(jī),其特征在于,所述光膠流道為一斜槽。
      5.如權(quán)利要求3所述的一種除塵滾涂機(jī),其特征在于,所述預(yù)定位置為一光膠回收容器。
      【文檔編號】B05C11/00GK203935966SQ201420371423
      【公開日】2014年11月12日 申請日期:2014年7月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月7日
      【發(fā)明者】梁泰頻, 何公明 申請人:寧波東盛集成電路元件有限公司
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