本發(fā)明涉及拋光的技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種氧化鋁拋光液。
背景技術(shù):
氧化鋁拋光液主要是針對(duì)大規(guī)模集成電路、發(fā)光二極管(led)藍(lán)寶石襯底以及手機(jī)、手表等藍(lán)寶石蓋板的拋光,由于氧化鋁粉末的硬度大,拋光時(shí)容易對(duì)藍(lán)寶石襯底或者蓋板造成劃傷,使得藍(lán)寶石襯底或蓋板的良率下降。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本發(fā)明的目的是提供一種氧化鋁拋光液,解決上述現(xiàn)有技術(shù)問題中的一個(gè)或者多個(gè)。
本發(fā)明提供一種氧化鋁拋光液的制備方法,包括以下步驟:
s1、將重量百分比為0.2%的koh固體加入去離子水中,進(jìn)行攪拌溶解;
s2、將按重量百分比為0.4%的聚丙烯鈉和重量百分比為0.2%的分散劑溶于s2的堿溶液中,通過超聲進(jìn)行分散;
s3、將重量百分比10%的氧化鋁粉末加入s2中的水溶液中,使用攪拌棒進(jìn)行攪拌,得到所述氧化鋁拋光液。
在一些實(shí)施方式中,分散劑為黃原膠、硅藻酸鈉或者cmc中的一種或者多種。所選的分散劑為優(yōu)選的,其分散效果佳,氧化鋁粉末在分散劑中能48h不沉降,48h后沉降,也可通過搖晃使其分散均勻。
在一些實(shí)施方式中,氧化鋁粉末的粒徑為3微米。粒徑為優(yōu)選的粒徑,過小的粒徑,其拋光速率慢,過大的粒徑也容易對(duì)藍(lán)寶石襯底造成劃傷。
具體實(shí)施方式
下面的實(shí)施案例,對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
實(shí)施案例1:
s1、將重量百分比為0.2%的koh固體加入去離子水中,進(jìn)行攪拌溶解;
s2、將按重量百分比為0.4%的聚丙烯鈉和重量百分比為0.2%的黃原膠溶于s2的堿溶液中,通過超聲進(jìn)行分散;
s3、將重量百分比10%,粒徑為3微米的氧化鋁粉末加入s2中的水溶液中,使用攪拌棒進(jìn)行攪拌,得到所述氧化鋁拋光液。
實(shí)施案例2:
s1、將重量百分比為0.2%的koh固體加入去離子水中,進(jìn)行攪拌溶解;
s2、將按重量百分比為0.4%的聚丙烯鈉和重量百分比為0.2%的cmc溶于s2的堿溶液中,通過超聲進(jìn)行分散;
s3、將重量百分比10%,粒徑為3微米的氧化鋁粉末加入s2中的水溶液中,使用攪拌棒進(jìn)行攪拌,得到所述氧化鋁拋光液。
實(shí)施案例3:
s1、將重量百分比為0.2%的koh固體加入去離子水中,進(jìn)行攪拌溶解;
s2、將按重量百分比為0.4%的聚丙烯鈉和重量百分比為0.2%的硅藻酸鈉溶于s2的堿溶液中,通過超聲進(jìn)行分散;
s3、將重量百分比10%,粒徑為3微米的氧化鋁粉末加入s2中的水溶液中,使用攪拌棒進(jìn)行攪拌,得到所述氧化鋁拋光液。
性能測(cè)試:拋光實(shí)驗(yàn)條件為采用法國(guó)presi公司的mecatech334型號(hào)拋光機(jī)進(jìn)行拋光試驗(yàn),拋光工件為c-向藍(lán)寶石基片,拋光壓力為2.80dan,下盤轉(zhuǎn)速為90rpm,上盤轉(zhuǎn)速為60rpm,拋光液流量為20ml/min,選用suba600型拋光墊,其表面為聚氨酯材料。
表一:在相同的條件下,將實(shí)施例中的氧化鋁拋光液分別進(jìn)行拋光實(shí)驗(yàn),一共拋3車,每車2小時(shí),拋光速率如下表
本發(fā)明提供的實(shí)施方案,該氧化鋁拋光液對(duì)藍(lán)寶石的拋光速率快,且拋完后得到的藍(lán)寶石表面質(zhì)量高。
以上表述僅為本發(fā)明的優(yōu)選方式,應(yīng)當(dāng)指出,對(duì)本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下,還可以做出若干變形和改進(jìn),這些也應(yīng)視為發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。