專利名稱：一種可溶性聚酰亞胺涂層膠及其制備方法和用途的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種可溶性聚酰亞胺涂層膠及其制備方法和用途。
高性能可溶性聚酰亞胺材料具有優(yōu)異的耐熱穩(wěn)定性能、力學(xué)機械性能、介電和絕緣性能、耐輻射、抗α-射線、抗潮濕、抗化學(xué)腐蝕、對多種基質(zhì)的粘接性能良好，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子及其集成電路工業(yè)的芯片鈍化層膜、緩沖內(nèi)涂膜、焊接點保護膜以及多層金屬互連結(jié)構(gòu)的層間絕緣膜等。
聚酰亞胺的性能與其化學(xué)分子結(jié)構(gòu)有著密切的關(guān)系，調(diào)節(jié)其分子結(jié)構(gòu)可適當修飾其性能，使之滿足特殊的應(yīng)用要求。大多數(shù)聚酰亞胺材料是不熔不溶的聚合物，既不能加熱熔融也不能溶解在常用的有機溶劑中(K.L.Mittal,Ed.Polyimides:Synthesis,Characterization and Applications,Ellenville,NY,1982,Plenum Press,N.Y.1984)。通常需要使用其前置體一聚酰胺酸溶液進行涂膜，然后經(jīng)加熱亞胺化或化學(xué)亞胺化方法將其轉(zhuǎn)變成聚酰亞胺薄膜材料。加熱亞胺化需要在200-350℃的溫度范圍進行，常常引起電子器件中的焊接點尤其是低熔點焊錫的熔融脫落或重結(jié)晶等現(xiàn)象，甚至使電子器件裂化或損壞?；瘜W(xué)亞胺化是在有機酸酐和有機堿混合物或其他化學(xué)試劑的存在下將聚酰胺酸轉(zhuǎn)化成聚酰亞胺，在此過程中經(jīng)常伴隨著異亞胺化生成聚異酰亞胺的反應(yīng)。另外，亞胺化的過程很難進行完全，亞胺化程度一般不超過95％。因此，可溶性的完全預(yù)亞胺化的聚酰亞胺溶液對于半導(dǎo)體和電子元器件的制造是非常理想的，使用時只要除去所用的溶劑即可得到所需的涂層薄膜。
可溶性的聚酰亞胺可通過選擇有機芳香族四酸二酐和有機芳香族二胺的類型及其配比得到(S.J.Huang and A.E.Hoyt,The Synthesis of Soluble Polyimides,TRIP 1995,3(8),262-271)。含氟的有機四酸二酐如4,4’-(六氟異丙基)雙鄰苯二甲酸二酐和含氟的有機二胺如2,2’-雙(三氟甲基)-4,4’-二氨基聯(lián)苯等常常被用于合成可溶性的聚酰亞胺(S.Sasaki,S.Nishi,Synthesis of fluorinated polyimides,in M.K.Ghosh and K.L.Mittal Ed.“Polyimides,Fundamental&Applications”,Marcel Dekker,Inc.1996,P71-120)。3,3’,4,4’-二苯甲醚四酸二酐和3,3’,4,4’-三苯二醚四酸二酐等也可以和適當?shù)挠袡C二胺反應(yīng)生成聚酰胺酸，然后經(jīng)加熱亞胺化或化學(xué)亞胺化等方法轉(zhuǎn)化成可溶性的聚酰亞胺溶液(F.W.Harris and L.H.Lanier,Structure-Solubility Relationships in Polymers,Academic Press,1977,183)。但是正如前面所述，由化學(xué)亞胺化方法制備的可溶性聚酰亞胺常常伴隨著聚異酰亞胺，而且亞胺化反應(yīng)不完全，因此，采用上述方法很難得到高純度的聚酰亞胺涂層膠。
1986年，T.Kaneda等人發(fā)現(xiàn)(Journal of Applied Polymer Science,1986,32,3133-3149)，對-羥基苯甲酸等可以加速聚酰胺酸的亞胺化反應(yīng)。1996年，M.Oba等人(Journal of Polymer Science,Part A Polymer Chemistry,Edition,1996,34(4),651-658)系統(tǒng)研究了含有羥基(或氨基)和羧基(或磺酸基)的雙功能團有機芳香族化合物如對-羥基苯甲酸、對氨基苯磺酸等在較低的溫度下將某些聚酰胺酸幾乎全部轉(zhuǎn)化為聚酰亞胺的反應(yīng)。M.Atsushi等人(Jpn Kokai Tokkyo Koho JP06,172,646)和O.Juichi等(Jpn Kokai Tokkyo Koho JP 09,12,719)公開了將這些雙功能團化合物加入聚酰胺酸中以促使其轉(zhuǎn)化為聚酰亞胺的方法。
本發(fā)明克服了目前可溶性聚酰亞胺制備方法難于得到高純度材料的缺點，而提供一種采用雙功能團的有機化合物作為亞胺化促進劑使聚酰胺酸完全轉(zhuǎn)化成可溶性的聚酰亞胺。本發(fā)明的另一個目的是提供一種可溶性聚酰亞胺的制備方法。
本發(fā)明所述的聚酰亞胺涂層膠由下述的化合物及其混合物合成1)有機溶劑體系；2)芳香族有機四酸二酐及其混合物；3)芳香族有機二胺及其混合物；4)助粘劑。各種組成的含量如表1所示。
表1聚酰亞胺涂層膠的組成及其含量(重量百分數(shù))
本發(fā)明所述的有機溶劑體系系指極性溶劑為N-甲基吡咯烷酮、N,N’-二甲基乙酰胺、N,N’-二甲基甲酰胺以及由上述溶劑和其它有機溶劑為乙二醇丁醚乙酸酯、乙二醇乙醚乙酸酯等形成的混合物體系。
本發(fā)明所述的芳香族四酸二酐及其混合物系指高純度的3,3’,4,4’-二苯甲醚四酸二酐、3,3’,4,4’-三苯二醚四酸二酐、4,4’-(六氟異丙基)雙鄰苯二甲酸二酐、4,4’-(2,2,2-三氟-1-苯乙基)雙鄰苯二甲酸二酐及3,3’,4,4’-二苯甲醚四酸二酐與4,4’-(六氟異丙基)雙鄰苯二甲酸二酐按1∶1、1∶4、4∶1不同比例組成的混合物。純度＞99.0％，金屬鈉離子含量低于2-3ppm，氯離子含量低于2-3ppm。
本發(fā)明所述的芳香族有機二胺及其混合物系指高純度的4,4’-二氨基二苯醚、3,4’-二氨基二苯醚、3,3’-二氨基二苯醚、2,4’-二氨基二苯醚、1,3-雙(4’-氨基酚基)苯、1,4-雙(4’-氨基酚基)苯、1,3-雙(3’-氨基酚基)苯、1,4-雙(3’-氨基酚基)苯及4,4’-二氨基二苯醚與3,4’-二氨基二苯醚按1∶2、1∶3、1∶4不同比例組成的混合物。純度＞99.0％，金屬鈉離子含量低于2-3ppm，氯離子含量低于2-3ppm。
本發(fā)明所述的助粘劑系指可增加其粘接性能的有機硅化合物為雙-(γ-氨丙基)四甲基硅氧烷、雙-(γ-氨丁基)四甲基硅氧烷、雙-(γ-氨丙基)四甲基聚硅氧烷、雙-(γ-氨丁基)四甲基聚硅氧烷、雙-(γ-氨丙基)四苯基硅氧烷、雙-(γ-氨丙基)四苯基聚硅氧烷、雙-(γ-氨丁基)四苯基硅氧烷、雙-(γ-氨丁基)四苯基聚硅氧烷。
本發(fā)明所述的聚酰亞胺涂層膠的制備方法按下述步驟進行在氮氣或氬氣保護下，按重量百分數(shù)將精制的芳香族有機二胺或其混合物1.0-10.0份在攪拌下溶解于精制的70-96份有機溶劑體系中，待固體全部溶解后，加入0.01-1.0份助粘劑，在0-25℃下，加入3.0-20份精制的芳香族四酸二酐，反應(yīng)在連續(xù)攪拌下持續(xù)6-24小時，得到透明的均相粘稠液體，將5-10份亞胺化促進劑溶液在攪拌下加入該溶液中，升溫至100-160℃反應(yīng)0.5-8小時，冷卻至室溫后，將得到的液體分散到300-500份的有機分散劑中，收集沉降的固體，用甲醇溶劑洗滌3次，然后在40-60℃干燥得到聚酰亞胺固體粉狀物。
將上述固體粉狀物5-30份溶解于70-95份有機溶劑中，過濾得到聚酰亞胺涂層膠。該涂層膠經(jīng)涂膜后，加熱除去溶劑可得到所需的高性能聚酰亞胺薄膜材料。
表2聚酰亞胺涂層膠的基本性能
本發(fā)明所述的亞胺化促進劑系指可加速聚酰胺酸轉(zhuǎn)化為聚酰亞胺的有機化合物為對-羥基苯甲酸、對-羥基苯乙酸、對-羥基苯丙酸、對-羥基苯丁酸、間-羥基苯甲酸、間-羥基苯乙酸、間-羥基苯丙酸、間-羥基苯丁酸、對-羥基苯磺酸、對-氨基苯甲酸、間-氨基苯甲酸。
本發(fā)明所述的有機分散劑系指可將聚酰亞胺從溶液中沉淀出來的有機溶劑為乙醚、四氫呋喃、甲醇、乙醇、丙醇、異丙醇、水、石油醚。
本發(fā)明所述的聚酰亞胺涂層膠的用途系指用于制備成半導(dǎo)體芯片的鈍化層膜、電子器件的緩沖內(nèi)涂膜、焊接點保護膜、LCD的取向膜以及多層金屬互連結(jié)構(gòu)的層間絕緣膜。
本發(fā)明的聚酰亞胺涂層膠可采用適當?shù)姆椒ㄈ缢ν糠?、浸漬法、噴涂法或絲網(wǎng)印刷等方法涂覆在基質(zhì)(如單晶硅、氧化硅、金屬鋁、金屬鎳等)的表面上，采用下述的階梯升溫法加熱使聚酰亞胺的溶劑揮發(fā)完全，階梯升溫的程序如表3所示。
表3聚酰亞胺的階梯升溫程序
*視具體的應(yīng)用情況決定是否需要該步驟處理采用該方法得到的薄膜均勻致密、韌性好。在凸凹的表面上也可得到連續(xù)、致密的保護膜。所得薄膜的基本物理性能如表4所示。
表4聚酰亞胺薄膜的基本物理性能
本發(fā)明公開一類具有良好儲存穩(wěn)定性和粘覆性、操作簡單、工藝溫度低于180-200℃、適用于低溫焊料(＜200℃)作為焊接點或耐熱性能較低的電子器件的制造工藝的聚酰亞胺涂層膠的制備方法和在半導(dǎo)體及微電子工業(yè)中的應(yīng)用。
本發(fā)明公開制備高純度聚酰亞胺涂層膠的技術(shù)。首先由芳香族四酸二酐及其混合物、芳香族二胺及其混合物、助粘劑在有機溶劑中反應(yīng)生成聚酰亞胺前置體一聚酰胺酸溶液，然后經(jīng)化學(xué)催化方法使其轉(zhuǎn)變成可溶性的聚酰亞胺。將所生成的聚酰亞胺純化處理后，調(diào)配成適用于高純度的聚酰亞胺涂層膠。本制造方法工藝簡單，生產(chǎn)成本低，工藝條件容易控制、重復(fù)性好。涂層膠的儲存穩(wěn)定性好，容易運輸儲存且不易潮解，固化工藝簡單、工藝溫度低、易操作。
該涂層膠與單晶硅、氧化硅、金屬鋁、鎳、銅等的表面浸潤性好、粘覆性優(yōu)良，固化后形成的薄膜質(zhì)地均勻、力學(xué)性能優(yōu)良，介電性能和絕緣性能優(yōu)異，適于微電子元器件的緩沖內(nèi)涂膜、芯片鈍化保護膜、焊接點的保護膜、α-粒子遮擋膜以及多層金屬互連電路的層間絕緣膜等。
實例1將44.11g 4,4’-二氨基二苯醚在攪拌下加入850g N-甲基吡咯烷酮中。待固體全部溶解后加入2.88g雙-(γ-氨丙基)四甲基硅氧烷。在0-4℃下加入103.01g 4,4’-(六氟異丙基)雙鄰苯二甲酸二酐。反應(yīng)在20-25℃下進行20小時，得到1000g均相粘稠液體。將70.56g對-羥基苯乙酸加入上述溶液中，在攪拌下升溫至140-160℃，反應(yīng)2-3小時。冷卻至室溫后，將該溶液分散到3000g乙醇中，收集析出的固體，用甲醇洗滌3次，在40-60℃下真空干燥。稱取20g干燥后的固體粉末，加入80g N-甲基吡咯烷酮。待固體全部溶解后過濾，得到聚酰亞胺涂層膠。將用上述方法制備的聚酰亞胺涂層膠采用適當方法涂覆在半導(dǎo)體器件管芯及所需保護的部位，在烘箱或熱臺上采用階梯升溫方法加熱除掉溶劑后即可得到致密、粘覆性好的保護薄膜。經(jīng)該過程處理的器件在后續(xù)的塑封過程中不易崩裂；塑封后的器件抗?jié)駸嵝阅苊黠@改善，在高溫下具有很低的漏電流和很好的抗擊穿性能。
實例2將55.48g 3,4’-二氨基二苯醚在攪拌下加入850g N-甲基吡咯烷酮中。待固體全部溶解后加入4.03g雙-(γ-氨丁基)四甲基硅氧烷。在0-4℃下加入90.48g 3,3’4,4’-二苯甲醚四酸二酐。反應(yīng)在20-25℃下反應(yīng)24小時，得到1000g均相粘稠液體。將80.57g間-羥基苯甲酸加入上述溶液中，在攪拌下升溫至140-160℃，反應(yīng)2-3小時。冷卻至室溫后，將該溶液分散到3000g甲醇中，收集析出的固體，并用甲醇洗滌3次，在40-60℃下真空干燥。稱取20g干燥后的固體粉末，加入80g N,N’-二甲基乙酰胺。待固體全部溶解后過濾，得到聚酰亞胺涂層膠。
實例3將53.09g 1,3-雙(4’-氨基酚基)苯在攪拌下加入850g N-甲基吡咯烷酮中。待固體全部溶解后加入10.43g雙-(γ-氨丙基)四苯基聚硅氧烷。在0-4℃下加入86.47g 4,4’-(2,2,2-三氟-1-苯乙基)雙鄰苯二甲酸二酐。反應(yīng)在20-25℃下反應(yīng)20小時，得到1000g均相粘稠液體。將52.81g對-羥基苯甲酸加入上述溶液中，在攪拌下升溫至140-160℃，反應(yīng)2小時。冷卻至室溫后，將該溶液分散到4000g丙醇中，收集析出的固體，并用甲醇洗滌3次，在40-60℃下真空干燥。稱取20g干燥后的固體粉末，加入80g N,N’-二甲基甲酰胺。待固體全部溶解后過濾，得到聚酰亞胺涂層膠。
實例4將46.31g 2,4’-二氨基二苯醚在攪拌下加入850g N-甲基吡咯烷酮中。待固體全部溶解后加入5.73g雙-(γ-氨丙基)四甲基聚硅氧烷。在0-4℃下加入97.95g 3,3’4,4’-三苯二醚四酸二酐。反應(yīng)在20-25℃下反應(yīng)24小時，得到1000g均相粘稠液體。將80.92g對-羥基苯丙酸加入上述溶液中，在攪拌下升溫至140-160℃，反應(yīng)2小時。冷卻至室溫后，將該溶液分散到4000g異丙醇中，收集析出的固體，并用甲醇洗滌3次，在40-60℃下真空干燥。稱取20g干燥后的固體粉末，加入53g N-甲基吡咯烷酮和個27g乙二醇乙醚乙酸酯。待固體全部溶解后過濾，得到聚酰亞胺涂層膠。
實例5將48.18g 3,3’-二氨基二苯醚在攪拌下加入850g N-甲基吡咯烷酮中。待固體全部溶解后加入6.29g雙-(γ-氨丙基)四苯基硅氧烷。在0-4℃下加入39.28g 3,3’4,4’-二苯甲醚四酸二酐和1∶1g4,4’-(六氟異丙基)雙鄰苯二甲酸二酐。反應(yīng)在20-25℃下反應(yīng)24小時，得到1000g均相粘稠液體。將91.27g對-羥基苯丁酸加入上述溶液中，在攪拌下升溫至140-160℃，反應(yīng)2小時。冷卻至室溫后，將該溶液分散到4000g水中，收集析出的固體，并用甲醇洗滌3次，在40-60℃下真空干燥。稱取20g干燥后的固體粉末，加入53g N-甲基吡咯烷酮和27g乙二醇丁醚乙酸酯。待固體全部溶解后過濾，得到聚酰亞胺涂層膠。
實例6將15.04g 4,4’-二氨基二苯醚和30.07g 3,4’-二氨基二苯醚在攪拌下加入850g N-甲基吡咯烷酮中。待固體全部溶解后加入5.92g雙-(γ-氨丁基)四甲基聚硅氧烷。在0-4℃下加入14.71g 3,3’4,4’-二苯甲醚四酸二酐和84.27g4,4’-(六氟異丙基)雙鄰苯二甲酸二酐。反應(yīng)在20-25℃下反應(yīng)24小時，得到1000g均相粘稠液體。將82.60g對-羥基苯磺酸加入上述溶液中，在攪拌下升溫至140-160℃，反應(yīng)2小時。冷卻至室溫后，將該溶液分散到3000g乙醚中，收集析出的固體，并用甲醇洗滌3次，在40-60℃下真空干燥。稱取20g干燥后的固體粉末，加入53g N,N’-二甲基甲酰胺和27g乙二醇丁醚乙酸酯。待固體全部溶解后過濾，得到聚酰亞胺涂層膠。
實例7將12.89g 4,4’-二氨基二苯醚和38.66g 3,4’-二氨基二苯醚在攪拌下加入850g N-甲基吡咯烷酮中。待固體全部溶解后加入7.11g雙-(γ-氨丁基)四苯基硅氧烷。在0-4℃下加入67.26g 3,3’4,4’-二苯甲醚四酸二酐和24.08g4,4’-(六氟異丙基)雙鄰苯二甲酸二酐。反應(yīng)在20-25℃下反應(yīng)24小時，得到1000g均相粘稠液體。將82.47g間-羥基苯乙酸加入上述溶液中，在攪拌下升溫至140-160℃，反應(yīng)2小時。冷卻至室溫后，將該溶液分散到3000g四氫呋喃中，收集析出的固體，并用甲醇洗滌3次，在40-60℃下真空干燥。稱取20g干燥后的固體粉末，加入53g N,N’-二甲基乙酰胺和27g 乙二醇丁醚乙酸酯。待固體全部溶解后過濾，得到聚酰亞胺涂層膠。
實例8將8.27g 4,4’-二氨基二苯醚和33.06g 3,4’-二氨基二苯醚在攪拌下加入850g N-甲基吡咯烷酮中。待固體全部溶解后加入12.16g雙-(γ-氨丁基)四苯基聚硅氧烷。在0-4℃下加入96.51g 4,4’-(六氟異丙基)雙鄰苯二甲酸二酐。反應(yīng)在20-25℃下進行20小時，得到1000g均相粘稠液體。將72.20g間-羥基苯丙酸加入上述溶液中，在攪拌下升溫至140-160℃，反應(yīng)2-3小時。冷卻至室溫后，將該溶液分散到3000g石油醚中，收集析出的固體，用甲醇洗滌3次，在40-60℃下真空干燥。稱取20g干燥后的固體粉末，加入53g N,N’-二甲基乙酰胺和27g乙二醇乙醚乙酸酯。待固體全部溶解后過濾，得到聚酰亞胺涂層膠。
實例9將69.39g 1,4-雙(4’-氨基酚基)苯在攪拌下加入850g N-甲基吡咯烷酮中。待固體全部溶解后加入3.10g雙-(γ-氨丙基)四甲基硅氧烷。在0-4℃下加入77.51g 3,3’4,4’-二苯甲醚四酸二酐。反應(yīng)在20-25℃下進行20小時，得到1000g均相粘稠液體。將90.05g間-羥基苯丁酸加入上述溶液中，在攪拌下升溫至140-160℃，反應(yīng)2-3小時。冷卻至室溫后，將該溶液分散到3000g乙醇中，收集析出的固體，用甲醇洗滌3次，在40-60℃下真空干燥。稱取20g干燥后的固體粉末，加入53g N,N’-二甲基甲酰胺和27g乙二醇乙醚乙酸酯。待固體全部溶解后過濾，得到聚酰亞胺涂層膠。
實例10將69.39g 1,4-雙(3’-氨基酚基)苯在攪拌下加入850g N-甲基吡咯烷酮中。待固體全部溶解后加入3.10g雙-(γ-氨丙基)四甲基硅氧烷。在0-4℃下加入77.51g 3,3’4,4’-二苯甲醚四酸二酐。反應(yīng)在20-25℃下進行20小時，得到1000g均相粘稠液體。將68.53g間-氨基苯甲酸加入上述溶液中，在攪拌下升溫至140-160℃，反應(yīng)2-3小時。冷卻至室溫后，將該溶液分散到3000g乙醇中，收集析出的固體，用甲醇洗滌3次，在40-60℃下真空干燥。稱取20g干燥后的固體粉末，加入80g N-甲基吡咯烷酮。待固體全部溶解后過濾，得到聚酰亞胺涂層膠。
實例11將69.39g 1,3-雙(3’-氨基酚基)苯在攪拌下加入850g N-甲基吡咯烷酮中。待固體全部溶解后加入3.10g雙-(γ-氨丙基)四甲基硅氧烷。在0-4℃下加入77.51g 3,3’4,4’-二苯甲醚四酸二酐。反應(yīng)在20-25℃下進行20小時，得到1000g均相粘稠液體。將68.53g對-氨基苯甲酸加入上述溶液中在攪拌下升溫至140-160℃，反應(yīng)2-3小時。冷卻至室溫后，將該溶液分散到3000g乙醇中，收集析出的固體，用甲醇洗滌3次，在40-60℃下真空干燥。稱取20g干燥后的固體粉末，加入80g N-甲基吡咯烷酮。待固體全部溶解后過濾，得到聚酰亞胺涂層膠。
權(quán)利要求
1．一種可溶性聚酰亞胺涂層膠，其特征在于所述的聚酰亞胺涂層膠包括如下的組份和含量(重量百分數(shù))編號 組份 含量1有機溶劑體系 70-962芳香族有機四酸二酐及其混合物3.0-20.03芳香族有機二胺及其混合物0.99-9.04助粘劑0.01-1.0所述的有機溶劑體系為極性溶劑為N-甲基吡咯烷酮、N,N’-二甲基乙酰胺或N,N’-二甲基甲酰胺。所述的芳香族四酸二酐為3,3’,4,4’-二苯甲醚四酸二酐、3,3’,4,4’-三苯二醚四酸二酐、4,4’-(六氟異丙基)雙鄰苯二甲酸二酐或4,4’-(2,2,2-三氟-1-苯乙基)雙鄰苯二甲酸二酐。所述的芳香族有機二胺為4,4’-二氨基二苯醚、3,4’-二氨基二苯醚、3,3’-氨基二苯醚、2,4’-二氨基二苯醚、1,3-雙(4’-氨基酚基)苯、1,4-雙(4’-氨基酚基)苯、1,3-雙(3’-氨基酚基)苯或1,4-雙(3’-氨基酚基)苯。所述的助粘劑為可增加其粘接性能的有機硅化合物為雙-(γ-氨丙基)四甲基硅氧烷、雙-(γ-氨丁基)四甲基硅氧烷、雙-(γ-氨丙基)四甲基聚硅氧烷、雙-(γ-氨丁基)四甲基聚硅氧烷、雙-(γ-氨丙基)四苯基硅氧烷、雙-(γ-氨丙基)四苯基聚硅氧烷、雙-(γ-氨丁基)四苯基硅氧烷或雙-(γ-氨丁基)四苯基聚硅氧烷。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚酰亞胺涂層膠，其特征在于所述的有機溶劑體系為N-甲基吡咯烷酮、N,N’-二甲基乙酰胺、N,N’-二甲基甲酰胺和乙二醇丁醚乙酸酯或乙二醇乙醚乙酸酯的混合物體系。
3．根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚酰亞胺涂層膠，其特征在于所述的芳香族四酸二酐混合物為3,3’,4,4’-二苯甲醚四酸二酐和4,4’-(六氟異丙基)雙鄰苯二甲酸二酐分別按1∶1、1∶4或4∶1不同比例組成的混合物。
4．根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚酰亞胺涂層膠，其特征在于所述的芳香族有機二胺混合物為4,4’-二氨基二苯醚和3,4’-二氨基二苯醚分別按1∶2、1∶3或1∶4不同比例組成的混合物。
5．根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚酰亞胺涂層膠的制備方法，其特征在于該聚酰亞胺涂層膠按下述步驟進行在氮氣或氬氣保護下，按重量百分數(shù)將芳香族有機二胺或其混合物0.99-9.0份在攪拌下溶解于70-96份有機溶劑體系中，待固體全部溶解后，加入0.01-1.0份助粘劑，在0-25℃下，加入3.0-20份芳香族四酸二酐或其混合物，反應(yīng)在連續(xù)攪拌下持續(xù)6-24小時，得到透明的均相粘稠液體，將5-10份亞胺化促進劑溶液在攪拌下加入該溶液中，升溫至100-160℃反應(yīng)0.5-8小時，冷卻至室溫后，將得到的液體分散到300-500份的有機分散劑中，收集沉降的固體，用甲醇洗滌3次，然后在40-60℃干燥得到聚酰亞胺固體粉狀物，將5-30份固體粉溶解于70-95份有機溶劑中，過濾得到聚酰亞胺涂層膠。
6．根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種聚酰亞胺涂層膠的制備方法，其特征在于所述的亞胺化促進劑為可加速聚酰胺酸轉(zhuǎn)化為聚酰亞胺的有機化合物為對-羥基苯甲酸、對-羥基苯乙酸、對-羥基苯丙酸、對-羥基苯丁酸、間-羥基苯甲酸、間-羥基苯乙酸、間-羥基苯丙酸、間-羥基苯丁酸、對-羥基苯磺酸、對氨基苯甲酸或間-氨基苯甲酸。
7．根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種聚酰亞胺涂層膠的制備方法，其特征在于所述的有機分散劑為可將聚酰亞胺從溶液中沉淀出來的有機溶劑為乙醚、四氫呋喃、甲醇、乙醇、丙醇、異丙醇、水或石油醚。
8．根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種聚酰亞胺涂層膠的用途，其特征在于用于制備成半導(dǎo)體芯片的鈍化層膜、電子器件的緩沖內(nèi)涂膜、焊接點保護膜或LCD的取向膜以及多層金屬互連結(jié)構(gòu)的層間絕緣膜。
全文摘要
本發(fā)明所述的可溶性聚酰亞胺涂層膠是由下述方法制備:在惰氣保護下,將芳香族有機二胺或其混合物溶解于有機溶劑中,全部溶解后加入助粘劑,0—25℃下加入芳香族四酸二酐或其混合物,反應(yīng)持續(xù)6—24小時,繼續(xù)加入亞胺化促進劑,100—160℃反應(yīng)0.5—8小時,冷卻后分散到有機分散劑中,收集固體,甲醇洗滌,干燥得到聚酰亞胺固體。將上述固體溶解于有機溶劑中,過濾得到聚酰亞胺涂層膠,經(jīng)熱處理可制備高性能聚酰亞胺薄膜材料。該材料可作為鈍化保護材料等,綜合性能優(yōu)異,可廣泛應(yīng)用于微電子及其它領(lǐng)域。
文檔編號C09J179/08GK1288925SQ99119200
公開日2001年3月28日 申請日期1999年9月21日 優(yōu)先權(quán)日1999年9月21日
發(fā)明者楊士勇, 何民輝, 張淑英, 楊素華 申請人:中國科學(xué)院化學(xué)研究所