Led用藍(lán)寶石襯底研磨液的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及藍(lán)寶石晶體材料加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種LED用藍(lán)寶石襯底研磨液。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石單晶(Sapphire)，又稱白寶石，分子式為Al2O3，透明，與天然寶石具有相同的光學(xué)特性和力學(xué)性能，有著很好的熱特性，極好的電氣特性和介電特性，并且防化學(xué)腐蝕，對紅外線透過率高，有很好的耐磨性，硬度僅次于金剛石，達(dá)莫氏9級，在高溫下仍具有較好的穩(wěn)定性，熔點(diǎn)為2030°C，所以被廣泛應(yīng)用于工業(yè)、國防、科研等領(lǐng)域，越來越多地用作固體激光、紅外窗口、半導(dǎo)體芯片的襯底片、精密耐磨軸承等高技術(shù)領(lǐng)域中零件的制造材料。
[0003]作為繼s1、GaAs之后的第三代半導(dǎo)體材料的GaN，其在器件上的應(yīng)用被視為20世紀(jì)90年代后半導(dǎo)體最重大的事件，使得半導(dǎo)體發(fā)光二極管(LED)和激光器上了一個新的臺階。由于GaN是很難制備的材料，必須在其它襯底材料上生長薄膜。作為GaN的襯底材料有多種，包括藍(lán)寶石、碳化硅、硅、氧化鎂、氧化鋅等，其中藍(lán)寶石是最主要的襯底材料(90 % )，目前已能在藍(lán)寶石上外延出高質(zhì)量的GaN材料，并已研制出GaN基藍(lán)色發(fā)光二極管及激光二極管。
[0004]隨著世界范圍內(nèi)節(jié)能減排任務(wù)的推進(jìn)，冷光源被越來越多的國家所提倡并采用。但由于性價(jià)比較低，該技術(shù)發(fā)展放緩。低成本、高效率的實(shí)現(xiàn)LED襯底材料藍(lán)寶石晶體的表面加工是提高性價(jià)比的關(guān)鍵因素之一，隨著藍(lán)寶石襯底材料需求量的日益增加及表面質(zhì)量要求的日益提高，對藍(lán)寶石襯底表面加工技術(shù)的研宄顯得尤為重要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于提供一種拋光效率高，環(huán)保污染物的LED用藍(lán)寶石襯底研磨液。
[0006]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):
[0007]一種LED用藍(lán)寶石襯底研磨液，由以下重量份數(shù)的組分制成:去離子水70-90份、叔丁醇5-15份、硬脂酸3-5份、乙二醇3-5份、金剛石粉5-15份、碳化鎢5_15份、碳化鉻4-6份、氮化鈦4-6份、鎳粉4-6份、煅燒高嶺土 0.1-0.3份、鎢酸鹽0.1-0.3份、茶葉堿1_2份、消光微粉蠟1.5-2.5份、納米碳化鈦4-6份、環(huán)氧大豆油1.5-2.5份、二苯基硅二醇2_4份、非晶態(tài)二氧化硅2-4份、磷鎢酸鉀2-4份、甲基丙稀酸甲酯1-2份、苯甲酸0.4-0.6份、醋酸乙酯0.4-0.6份。
[0008]各組分的較佳重量份數(shù)為:去離子水80份、叔丁醇10份、硬脂酸4份、乙二醇4份、金剛石粉10份、碳化鎢10份、碳化鉻5份、氮化鈦5份、鎳粉5份、煅燒高嶺土 0.2份、鎢酸鹽0.2份、茶葉堿1.5份、消光微粉蠟2份、納米碳化鈦5份、環(huán)氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶態(tài)二氧化硅3份、磷鎢酸鉀3份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份。
[0009]上述研磨液的制備方法為:把上述各組分混合攪拌均勻，在研磨機(jī)內(nèi)研磨到細(xì)度小于等于5微米，裝罐即可。
[0010]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明成分簡單，成本低，制作工藝易實(shí)現(xiàn)，研磨的藍(lán)寶石襯底表面粗糙度低、平整度好、無明顯劃痕且易于清洗，符合工業(yè)生產(chǎn)的需求。
【具體實(shí)施方式】
[0011]為了使本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。
[0012]實(shí)施例1
[0013]一種LED用藍(lán)寶石襯底研磨液，由以下重量份數(shù)的組分制成:去離子水80份、叔丁醇10份、硬脂酸4份、乙二醇4份、金剛石粉10份、碳化鎢10份、碳化鉻5份、氮化鈦5份、鎳粉5份、煅燒高嶺土 0.2份、鎢酸鹽0.2份、茶葉堿1.5份、消光微粉蠟2份、納米碳化鈦5份、環(huán)氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶態(tài)二氧化硅3份、磷鎢酸鉀3份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份。
[0014]上述研磨液的制備方法為:把上述各組分混合攪拌均勻，在研磨機(jī)內(nèi)研磨到細(xì)度小于等于5微米，裝罐即可。
[0015]實(shí)施例2
[0016]一種LED用藍(lán)寶石襯底研磨液，由以下重量份數(shù)的組分制成:去離子水90份、叔丁醇5份、硬脂酸5份、乙二醇3份、金剛石粉15份、碳化鎢5份、碳化鉻6份、氮化鈦4份、鎳粉6份、煅燒高嶺土 0.1份、鎢酸鹽0.3份、茶葉堿I份、消光微粉蠟2.5份、納米碳化鈦4份、環(huán)氧大豆油2.5份、二苯基硅二醇2份、非晶態(tài)二氧化硅4份、磷鎢酸鉀2份、甲基丙稀酸甲酯2份、苯甲酸0.4份、醋酸乙酯0.6份。
[0017]上述研磨液的制備方法為:把上述各組分混合攪拌均勻，在研磨機(jī)內(nèi)研磨到細(xì)度小于等于5微米，裝罐即可。
[0018]實(shí)施例3
[0019]一種LED用藍(lán)寶石襯底研磨液，由以下重量份數(shù)的組分制成:去離子水70份、叔丁醇15份、硬脂酸3份、乙二醇5份、金剛石粉5份、碳化鎢15份、碳化鉻4份、氮化鈦6份、鎳粉4份、煅燒高嶺土 0.3份、鎢酸鹽0.1份、茶葉堿2份、消光微粉蠟1.5份、納米碳化鈦6份、環(huán)氧大豆油1.5份、二苯基硅二醇4份、非晶態(tài)二氧化硅2份、磷鎢酸鉀4份、甲基丙稀酸甲酯I份、苯甲酸0.6份、醋酸乙酯0.4份。
[0020]上述研磨液的制備方法為:把上述各組分混合攪拌均勻，在研磨機(jī)內(nèi)研磨到細(xì)度小于等于5微米，裝罐即可。
[0021]以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種LED用藍(lán)寶石襯底研磨液，其特征在于，由以下重量份數(shù)的組分制成:去離子水70-90份、叔丁醇5-15份、硬脂酸3-5份、乙二醇3_5份、金剛石粉5_15份、碳化鎢5_15份、碳化鉻4-6份、氮化鈦4-6份、鎳粉4-6份、煅燒高嶺土 0.1-0.3份、鎢酸鹽0.1-0.3份、茶葉堿1-2份、消光微粉蠟1.5-2.5份、納米碳化鈦4-6份、環(huán)氧大豆油1.5-2.5份、二苯基硅二醇2-4份、非晶態(tài)二氧化硅2-4份、磷鎢酸鉀2-4份、甲基丙稀酸甲酯1-2份、苯甲酸0.4-0.6份、醋酸乙酯0.4-0.6份。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的LED用藍(lán)寶石襯底研磨液物，其特征在于，由以下重量份數(shù)的組分制成:去離子水80份、叔丁醇10份、硬脂酸4份、乙二醇4份、金剛石粉10份、碳化鎢10份、碳化鉻5份、氮化鈦5份、鎳粉5份、煅燒高嶺土 0.2份、鎢酸鹽0.2份、茶葉堿1.5份、消光微粉蠟2份、納米碳化鈦5份、環(huán)氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶態(tài)二氧化硅3份、磷鎢酸鉀3份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份；制備時，將上述各組分混合攪拌均勻，在研磨機(jī)內(nèi)研磨到細(xì)度小于等于5微米，裝罐即可。
【專利摘要】一種LED用藍(lán)寶石襯底研磨液，由以下重量份數(shù)的組分制成：去離子水80份、叔丁醇10份、硬脂酸4份、乙二醇4份、金剛石粉10份、碳化鎢10份、碳化鉻5份、氮化鈦5份、鎳粉5份、煅燒高嶺土0.2份、鎢酸鹽0.2份、茶葉堿1.5份、消光微粉蠟2份、納米碳化鈦5份、環(huán)氧大豆油2份、二苯基硅二醇3份、非晶態(tài)二氧化硅3份、磷鎢酸鉀3份、甲基丙稀酸甲酯1.5份、苯甲酸0.5份、醋酸乙酯0.5份；制備時，將上述各組分混合攪拌均勻，在研磨機(jī)內(nèi)研磨到細(xì)度小于等于5微米，裝罐即可。本發(fā)明成分簡單，成本低，制作工藝易實(shí)現(xiàn)，研磨的藍(lán)寶石襯底表面粗糙度低、平整度好、無明顯劃痕且易于清洗，符合工業(yè)生產(chǎn)的需求。
【IPC分類】C09K3/14, C09G1/02
【公開號】CN104987839
【申請?zhí)枴緾N201510388669
【發(fā)明人】赫更民
【申請人】安徽德諾化工有限公司
【公開日】2015年10月21日
【申請日】2015年6月30日