一種低污染環(huán)保型化學(xué)機(jī)械拋光液的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及拋光液技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種低污染環(huán)保型化學(xué)機(jī)械拋光液。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體加工過程中，最初的半導(dǎo)體基片(襯底片)拋光沿用機(jī)械拋光、例如氧化鎂、氧化鋯拋光等，但是得到的晶片表面損傷是及其嚴(yán)重的。而單純的化學(xué)拋光，拋光速率較快，表面光潔度高，損傷低，完美性好，但表面平整度和平行度差，拋光后表面一致性差;單純的機(jī)械拋光表面一致性好，表面平整度高，但表面光潔度差，損傷層深。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決上述存在的問題，本發(fā)明提供一種低污染環(huán)保型化學(xué)機(jī)械拋光液。
[0004]本發(fā)明解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案為:一種低污染環(huán)保型化學(xué)機(jī)械拋光液，由以下質(zhì)量份數(shù)的原料制成:
四硼酸鈉11-15份，異丙醇3-6份，氮化硼6-7份，苯甲酸鈉5-7份，氧化鈰12-18份，氫氧化鋁1-4份，硬脂酰胺6-9份，磷酸二銨5-7份，三聚磷酸鈉3-4份，液態(tài)石蠟9-12份，乙二胺四乙酸6-8份，草酸鈉4-6份。
[0005]上述的低污染環(huán)保型化學(xué)機(jī)械拋光液，由以下質(zhì)量份數(shù)的原料制成:
四硼酸鈉13份，異丙醇5份，氮化硼6.4份，苯甲酸鈉6份，氧化鈰15份，氫氧化鋁2份，硬脂酰胺8份，磷酸二銨6份，三聚磷酸鈉3.5份，液態(tài)石蠟11份，乙二胺四乙酸7份，草酸鈉5份。
[0006]本發(fā)明解決技術(shù)問題所帶來的有益效果在于:本發(fā)明可以獲得較為完美的表面，又可以得到較高的拋光速率，得到的平整度比其他方法高兩個數(shù)量級，污染性小，環(huán)保性強(qiáng)。
【具體實施方式】
[0007]下面結(jié)合具體實施例對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0008]實施例1
一種低污染環(huán)保型化學(xué)機(jī)械拋光液，由以下質(zhì)量份數(shù)的原料制成:
四硼酸鈉11份，異丙醇3份，氮化硼6份，苯甲酸鈉5份，氧化鈰12份，氫氧化鋁I份，硬脂酰胺6份，磷酸二銨5份，三聚磷酸鈉3份，液態(tài)石蠟9份，乙二胺四乙酸6份，草酸鈉4份。
[0009]實施例2
一種低污染環(huán)保型化學(xué)機(jī)械拋光液，由以下質(zhì)量份數(shù)的原料制成:
四硼酸鈉13份，異丙醇5份，氮化硼6.4份，苯甲酸鈉6份，氧化鈰15份，氫氧化鋁2份，硬脂酰胺8份，磷酸二銨6份，三聚磷酸鈉3.5份，液態(tài)石蠟11份，乙二胺四乙酸7份，草酸鈉5份。
[0010]實施例3
一種低污染環(huán)保型化學(xué)機(jī)械拋光液，由以下質(zhì)量份數(shù)的原料制成:
四硼酸鈉15份，異丙醇6份，氮化硼7份，苯甲酸鈉7份，氧化鈰18份，氫氧化鋁4份，硬脂酰胺9份，磷酸二銨7份，三聚磷酸鈉4份，液態(tài)石蠟12份，乙二胺四乙酸8份，草酸鈉6份。
[0011]上述雖然對本發(fā)明的【具體實施方式】進(jìn)行了描述，但并非對本發(fā)明保護(hù)范圍的限制，所屬領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該明白，在本發(fā)明的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性勞動即可做出的各種修改或變形仍在本發(fā)明的保護(hù)范圍以內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種低污染環(huán)保型化學(xué)機(jī)械拋光液，其特征在于:由以下質(zhì)量份數(shù)的原料制成: 四硼酸鈉11-15份，異丙醇3-6份，氮化硼6-7份，苯甲酸鈉5-7份，氧化鈰12-18份，氫氧化鋁1-4份，硬脂酰胺6-9份，磷酸二銨5-7份，三聚磷酸鈉3-4份，液態(tài)石蠟9-12份，乙二胺四乙酸6-8份，草酸鈉4-6份。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低污染環(huán)保型化學(xué)機(jī)械拋光液，其特征在于:由以下質(zhì)量份數(shù)的原料制成: 四硼酸鈉13份，異丙醇5份，氮化硼6.4份，苯甲酸鈉6份，氧化鈰15份，氫氧化鋁2份，硬脂酰胺8份，磷酸二銨6份，三聚磷酸鈉3.5份，液態(tài)石蠟11份，乙二胺四乙酸7份，草酸鈉5份。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種低污染環(huán)保型化學(xué)機(jī)械拋光液，由以下質(zhì)量份數(shù)的原料制成：四硼酸鈉11-15份，異丙醇3-6份，氮化硼6-7份，苯甲酸鈉5-7份，氧化鈰12-18份，氫氧化鋁1-4份，硬脂酰胺6-9份，磷酸二銨5-7份，三聚磷酸鈉3-4份，液態(tài)石蠟9-12份，乙二胺四乙酸6-8份，草酸鈉4-6份。本發(fā)明可以獲得較為完美的表面，又可以得到較高的拋光速率，得到的平整度比其他方法高兩個數(shù)量級，污染性小，環(huán)保性強(qiáng)。
【IPC分類】C09G1/02
【公開號】CN105505228
【申請?zhí)枴緾N201510912925
【發(fā)明人】李盛明
【申請人】青島宏宇環(huán)保空調(diào)設(shè)備有限公司
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2015年12月11日