專利名稱：一種晶圓運(yùn)輸車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及晶圓運(yùn)輸裝置，特別涉及一種具有活動擱架的晶圓運(yùn)輸車。
背景技術(shù)：
隨著晶圓尺寸從8寸增加到12寸，用于放置晶圓的前開式晶盒(FOUP) 及其零配件的尺寸也越來越大，使得晶盒的重量不斷增加， 一個(gè)載滿晶圓的 FOUP的重量約為9.8Kg。如果這些物料都是自動作業(yè)的話，那么這種尺寸及重 量的增加可能不會引起任何重大的人體生物工程風(fēng)險(xiǎn)。但是，全自動化作業(yè)是 不能完全實(shí)現(xiàn)的，因此不可避免地還是存在人工搬運(yùn)的情況，例如芯片測量、 將晶盒搬運(yùn)到人工貨架等環(huán)節(jié)。隨著越來越多的芯片制造商往亞洲轉(zhuǎn)移，而多 數(shù)作業(yè)人員為女性，F(xiàn)OUP的尺寸及重量問題變得更為明顯。
從人體生物工程學(xué)的角度而言，搬運(yùn)重物時(shí)最理想的搬運(yùn)高度應(yīng)當(dāng)在人的 腰部上下。而隨著現(xiàn)行潔凈室的運(yùn)行成本及工作效率的提高，將運(yùn)送FOUP的 推車的擱架高度設(shè)在作業(yè)人員腰部這樣一個(gè)單一高度是不實(shí)際的，這樣會大大 影響運(yùn)輸效率。通常，采用具有雙層固定式擱架的運(yùn)輸車來進(jìn)行搬運(yùn)，每層放 置兩個(gè)前開式晶盒，那么必然至少會有一層擱架的高度是不符合人體生物工程 學(xué)要求的。作業(yè)人員需要重復(fù)由低到高或由高到低放置前開式晶盒的動作，如 果不能遵從正確的舉放技巧的話，會導(dǎo)致作業(yè)人員背部及腰部的持續(xù)性慢性疼 痛，從而嚴(yán)重影響員工的身心健康。
因此，如何提供一種符合人體生物工程學(xué)原理的晶圓運(yùn)輸車已成為業(yè)界亟 待解決的技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種新的晶圓運(yùn)輸車，該運(yùn)輸車的多層擱架均 能調(diào)到符合人體工程學(xué)原理的高度，從而避免作業(yè)人員因晶盒放置位置過高或
過低而導(dǎo)致搬運(yùn)時(shí)出現(xiàn)的人體損傷。
為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本實(shí)用新型提供了一種晶圓運(yùn)輸車，包括車身和兩 層擱架，其中，上層擱架由兩塊擱板4交接至一軸桿而組成，所迷軸桿固定在車
身的支架上，兩塊擱板可繞軸桿轉(zhuǎn)動，并具有一展開狀態(tài)和一收攏狀態(tài)；車身 上固定有兩組滑輪，每組滑輪上均跨設(shè)有拉繩，所述拉繩的一端固定在下層擱 架上，通過拉動拉繩的另一端可升起下層擱架。
所述下層擱架的底部還設(shè)有活動金屬柱，所述拉繩的一端連接至活動金屬 柱，通過拉動拉繩的另一端升起活動金屬柱而托起下層擱架。
所述擱板的底部與車身支架之間通過阻尼彈簧連接。
所述擱板底部開有兩道滑槽，滑槽內(nèi)設(shè)有滑動件，且每個(gè)滑動件與相應(yīng)的 活動金屬柱之間通過一滑輪繩相連，所述的滑輪繩跨設(shè)在滑輪上。
所述的下層擱架與車身底座之間還設(shè)有緩沖裝置，例如阻尼彈簧。
所述車身的兩側(cè)位于滑輪下方的位置設(shè)有一組卡榫，所迷的卡榫通過鉸接
結(jié)構(gòu)與車身相連；車身上還裝有卡#4丑，以控制卡榫的收合。
與現(xiàn)有的具有多層固定式擱架的晶圓運(yùn)輸車相比，本實(shí)用新型的運(yùn)輸車采 用了可收攏的上層擱架，通過滑輪和拉繩可將下層擱架升起，使作業(yè)人員在存 取晶盒時(shí)，其作業(yè)高度可保持在符合人體工程學(xué)的最佳位置，避免了不必要的 人體損傷。


本實(shí)用新型的晶圓運(yùn)輸車由以下的實(shí)施例及附圖給出。
圖l是本實(shí)用新型的晶圓運(yùn)輸車的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖2是晶圓運(yùn)輸車的上層擱架位于收攏狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖3是本實(shí)用新型第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖4是本實(shí)用新型第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖5是本實(shí)用新型第三實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下將對本實(shí)用新型的晶圓運(yùn)輸車作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
參見圖1,本實(shí)用新型的晶圓運(yùn)輸車包括車身IO和兩層擱架。上層擱架由
兩塊擱板31、 32和一軸桿33組成，擱板31、 32 4交接至軸桿33,并可繞軸桿 33轉(zhuǎn)動至一展開狀態(tài)或一收攏狀態(tài)。圖1所示的是展開狀態(tài)，在該狀態(tài)下，兩 塊擱板31、 32上可分別放置一晶盒40。下層擱架20為活動式擱架，通過滑輪 21與拉繩22的配合，可使下層擱架20在拉繩22的牽引下在車身IO內(nèi)作升降 運(yùn)動。
當(dāng)上層擱架上的晶盒40被作業(yè)人員取走后，需要繼續(xù)存取下層擱架20上 的晶盒40。參見圖2，當(dāng)作業(yè)人員通過拉繩22將下層擱架20升起時(shí)，擱板31、 32沿軸桿33轉(zhuǎn)動至收攏狀態(tài)，留出供晶盒40通過的通道。當(dāng)下層擱架2'0上升 到最大高度時(shí)，將擱架20固定，從而作業(yè)人員可以進(jìn)行晶盒40的取放工作。 雖然該高度略低于上層擱架的高度，但仍在符合人體工程學(xué)的合理高度范圍內(nèi)。
參見圖3,于本實(shí)用新型的第一實(shí)施例中，下層擱架20的底部對應(yīng)四個(gè)角 的位置還設(shè)有活動金屬柱23,拉繩22的一端固定在活動金屬柱23上，通過拉 動拉繩22的另一端升起活動金屬柱23而托起下層擱架20。上層擱架的兩塊擱 板31、 32的底部與車身支架11之間裝有阻尼彈簧34,該阻尼彈簧34將擱板 31、 32向上頂起，使擱板31、 32能自動轉(zhuǎn)到收攏位置。為了方便控制擱板31、 32的開合，在每塊擱板的底部開有兩道滑槽35，滑槽35內(nèi)嵌設(shè)有滑動件，例 如小滑輪(圖中未示出)。每個(gè)滑動件與相應(yīng)的活動金屬柱23之間通過滑輪繩 24相連，該滑輪繩24也跨設(shè)在滑輪21上。當(dāng)下層擱架20上升時(shí)，滑輪繩24 放松，滑動件沿著滑槽35向軸桿方向滑動，此時(shí)，阻尼彈簧34松解，擱板31、 32在阻尼彈簧34彈力的推動下漸漸向收攏位置轉(zhuǎn)動；當(dāng)下層擱架20下降時(shí)， 活動金屬柱34牽動滑輪繩24逐漸收緊，滑動件沿著滑槽35向遠(yuǎn)離軸桿的方向 滑動，此時(shí)，滑輪繩24給擱板31、 32—個(gè)向下的拉力，使擱板31、 32慢慢回 到展開位置。
參見圖4，于本實(shí)用新型的第二實(shí)施例中，下層擱架20和車身IO底座之間 還設(shè)有緩沖裝置，例如阻尼彈簧12。當(dāng)下層擱架20下降時(shí)，阻尼彈簧12可起 到緩沖作用，避免擱架20急速下降；當(dāng)拉動拉繩升起擱架20時(shí)，由于阻尼彈 簧12具有彈性恢復(fù)力，給擱架20—個(gè)向上的推力，因此可以達(dá)到省力的目的。
如圖5所示，于本實(shí)用新型的第三實(shí)施例中，車身10兩側(cè)位于滑輪21下
方的位置還設(shè)有卡榫13及相應(yīng)的卡#4丑14,卡榫13通過鉸接結(jié)構(gòu)與車身10相 連接，其自然狀態(tài)下的位置如圖5所示。當(dāng)下層擱架20升起時(shí)，卡榫13在擱 架20的推動下向車身IO的兩側(cè)收攏，從而使下層擱架20可以順利通過。當(dāng)擱 架20完全經(jīng)過卡榫13時(shí)，由于卡榫13所受的外力已撤銷，其義恢復(fù)到自然狀 態(tài)的位置。此時(shí)，松開拉繩22，則下層擱架20由卡榫13支撐并固定在圖示位 置。當(dāng)下層擱架20上的晶盒取放完畢后，通過按動卡榫鈕14收攏卡榫13,使 下層擱架20又可以下通行，回到初始位置。
本實(shí)用新型的晶圓運(yùn)輸車，還可根據(jù)需要進(jìn)行橫向和縱向的擴(kuò)展，改變成 三層以上的結(jié)構(gòu)，以實(shí)現(xiàn)運(yùn)輸效率的進(jìn)一步提高。任何對本實(shí)用新型的裝置結(jié) 構(gòu)作本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)熟知的替換、組合、分立，均不超出本實(shí)用新型的揭露以及 保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1、一種晶圓運(yùn)輸車，包括車身和兩層擱架，其特征在于上層擱架由兩塊擱板鉸接至一軸桿而組成，所述軸桿固定在車身的支架上，兩塊擱板可繞軸桿轉(zhuǎn)動，并具有一展開狀態(tài)和一收攏狀態(tài)；車身上固定有兩組滑輪，且每組滑輪上均跨設(shè)有拉繩，所述拉繩的一端固定在下層擱架上，通過拉動拉繩的另一端可升起下層擱架。
2、 如權(quán)利要求1所述的晶圓運(yùn)輸車，其特征在于所述下層擱架的底部還 設(shè)有活動金屬柱，所述拉繩的一端連接至活動金屬柱，通過拉動拉繩的另一端 升起活動金屬柱而托起下層擱架。
3、 如權(quán)利要求2所述的晶圓運(yùn)輸車，其特征在于所述擱板的底部與車身 支架之間通過阻尼彈簧連接。
4、 如權(quán)利要求2所述的晶圓運(yùn)輸車，其特征在于所述擱板底部開有兩道 滑槽，滑槽內(nèi)設(shè)有滑動件，且每個(gè)滑動件與相應(yīng)的活動金屬柱之間通過一滑輪 繩相連。
5、 如權(quán)利要求4所述的晶圓運(yùn)輸車，其特征在于所述的滑輪繩跨設(shè)在滑 輪上。
6、 如權(quán)利要求1所述的晶圓運(yùn)輸車，其特征在于所述的下層擱架與車身 底座之間還設(shè)有緩沖裝置。
7、 如權(quán)利要求6所述的晶圓運(yùn)輸車，其特征在于所述的緩沖裝置是阻尼 彈簧。
8、 如權(quán)利要求1所述的晶圓運(yùn)輸車，其特征在于所述車身的兩側(cè)位于滑 輪下方的位置設(shè)有一組卡榫，所述的卡榫通過鉸接結(jié)構(gòu)與車身相連。
9、 如權(quán)利要求8所述的晶圓運(yùn)輸車，其特征在于車身上還裝有卡榫鈕， 以控制卡榫的收合。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種晶圓運(yùn)輸車?，F(xiàn)有的雙層固定式擱架運(yùn)輸車所設(shè)置的擱架高度不符合人體工程學(xué)原理，且高度無法調(diào)節(jié)，使得作業(yè)人員從擱架上取放晶盒時(shí)容易傷及背部和腰部，長期作業(yè)對健康危害很大。為解決上述問題，本實(shí)用新型提供了一種具有可活動式擱架的晶圓運(yùn)輸車，其包括車身和兩層擱架，上層擱架由兩塊擱板鉸接至一軸桿而組成，所述軸桿固定在車身的支架上，兩塊擱板可繞軸桿轉(zhuǎn)動，并具有一展開狀態(tài)和一收攏狀態(tài)；車身上固定有兩組滑輪，每組滑輪上均跨設(shè)有拉繩，所述拉繩的一端固定在下層擱架上，通過拉動拉繩的另一端可升起下層擱架。采用本實(shí)用新型的運(yùn)輸車可將擱架調(diào)到符合人體工程學(xué)原理的高度，從而避免作業(yè)人員的人體損傷。
文檔編號B62B3/02GK201068158SQ20072007193
公開日2008年6月4日 申請日期2007年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月29日
發(fā)明者李雨庭 申請人:李雨庭