專利名稱：半導(dǎo)體工藝用手推車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工藝用手推車，且特別涉及一種可保護(hù)其上物品的半導(dǎo)體
工藝用手推車。
背景技術(shù)：
隨著晶圓尺寸從8寸增加到12寸，用于放置晶圓的晶圓承載盒(Wafer
F皿tShipping Opening Box，F(xiàn)OSB)或者前開(kāi)式晶盒(Front Opening Unified Pod，F(xiàn)OUP)
及它們的零配件的尺寸也越來(lái)越大，使得晶盒的重量不斷增加。如果這些物料都是自動(dòng)作
業(yè)的話，那么這種尺寸及重量的增加可能不會(huì)引起任何重大的人體生物工程風(fēng)險(xiǎn)。 但是，全自動(dòng)化作業(yè)是不能完全實(shí)現(xiàn)的，因此不可避免地還是存在人工搬運(yùn)的情
況，例如芯片測(cè)量、將晶盒搬運(yùn)到人工貨架等環(huán)節(jié)。隨著越來(lái)越多的芯片制造商往亞洲轉(zhuǎn)
移，而多數(shù)作業(yè)人員為女性，晶盒的尺寸及重量問(wèn)題變得更為明顯。 現(xiàn)有技術(shù)中通常采用具有多層固定式擱架的手推車來(lái)進(jìn)行搬運(yùn)，每層放置兩個(gè)晶 盒，然而現(xiàn)有手推車在設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)上具有明顯缺陷，其無(wú)法固定晶盒，同時(shí)也不具有擋桿，容 易在運(yùn)輸過(guò)程中造成晶盒移動(dòng)甚至是掉落，手推車由于是人為控制制動(dòng)，也很容易造成推 車傾覆，以上原因都會(huì)造成晶盒的損壞，從而造成其中的晶圓刮傷、污染甚至是破損。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提出一種半導(dǎo)體工藝用手推車，改善現(xiàn)有手推車的結(jié)構(gòu)，以減少在目 前推車在設(shè)計(jì)上的缺陷從而容易造成產(chǎn)品在運(yùn)輸過(guò)程的損壞。 為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提出一種半導(dǎo)體工藝用手推車，包括底座、車身、 隔板和推車手柄，所述車身由車身?xiàng)U架組成，所述隔板將車身?xiàng)U架分段，其中每一段車身?xiàng)U 架的上段具有滑道，手推車第一側(cè)面和第二側(cè)面分別具有擋桿，設(shè)置于相鄰兩層隔板之間， 每一根所述擋桿的兩端分別設(shè)置在同一側(cè)面的兩個(gè)滑道中，其中所述擋桿位于滑道頂端時(shí) 由固定螺栓限位，當(dāng)松開(kāi)固定螺栓后，擋桿滑動(dòng)到滑道最底端。 可選的，所述手推車第三側(cè)面和第四側(cè)面分別具有弧形阻擋桿，設(shè)置于相鄰兩層 隔板之間的兩段車身?xiàng)U架之間。 可選的，所述每層隔板上具有多個(gè)固定部，所述固定部的外周高于所述隔板表面。 可選的，固定部的外周高度為小于等于3mm。 可選的，所述底座上具有車輪，車輪和底座之間具有硬性彈簧。 可選的，所述推車手柄根據(jù)其與車身的連接處為中心拉動(dòng)，車輪具有剎車片通過(guò)
連桿連接于推車手柄，當(dāng)向下拉動(dòng)推車手柄時(shí)，帶動(dòng)剎車片制動(dòng)車輪。 本實(shí)用新型提出的半導(dǎo)體工藝用手推車，在車身四周設(shè)置活動(dòng)的擋桿可以防止產(chǎn) 品從旁邊滑落，不會(huì)妨礙取放產(chǎn)品同時(shí)更加方便、安全；推車手柄可連接控制車輪上的剎 車片，制動(dòng)性能優(yōu)越；車輪上方采用硬性彈簧，可以起到很好的防震效果；滑道采用定長(zhǎng)固 定，節(jié)省物料開(kāi)支。
圖1所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體工藝用手推車結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的手推車取放產(chǎn)品時(shí)的示意圖。 圖3所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的手推車運(yùn)輸時(shí)的示意圖。 圖4 圖6所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的擋桿在滑道中運(yùn)動(dòng)的示意圖。
具體實(shí)施方式為了更了解本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容，特舉具體實(shí)施例并配合所附圖說(shuō)明如下。 請(qǐng)參考圖1，圖1所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的半導(dǎo)體工藝用手推車結(jié)構(gòu)示意 圖。本實(shí)用新型提出一種半導(dǎo)體工藝用手推車，包括底座110、車身100、多層隔板200和推 車手柄170，所述車身100由車身?xiàng)U架組成，所述多層隔板200將車身?xiàng)U架分成多段(本實(shí) 施例中分為第一段車身?xiàng)U架120和第二段車身?xiàng)U架130)，其中每一段車身?xiàng)U架120、 130的 上段具有滑道300，手推車第一側(cè)面和第二側(cè)面(圖中所示為手推車前進(jìn)方向的左右兩側(cè) 面)分別具有多根擋桿400 (圖中只顯示了一側(cè)的擋桿和滑道)，設(shè)置于相鄰兩層隔板200 之間的兩段車身?xiàng)U架之間，例如是兩根第一段車身?xiàng)U架120之間或者兩根第二段車身?xiàng)U架 130之間，所述每一根擋桿400的兩端分別設(shè)置在同一側(cè)面的滑道300中，其中所述擋桿 400的位于滑道300頂端并由固定螺栓限位，此時(shí)各層隔板200在手推車側(cè)面留出最大空 間，方便作業(yè)員取放產(chǎn)品(請(qǐng)參考圖2)，取放完畢當(dāng)松開(kāi)固定螺栓后，擋桿400滑動(dòng)到滑道 300最底端，由于滑道300最底端的位置位于上下兩個(gè)相鄰隔板200之間大約中間處，因此 產(chǎn)品被擋桿400阻擋而不會(huì)從手推車左右兩側(cè)滑出跌落造成損壞(請(qǐng)參考圖3)。 根據(jù)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，所述手推車第三側(cè)面和第四側(cè)面(圖中所示為手推 車前進(jìn)方向前后兩側(cè)面)分別具有多根弧形阻擋桿180，設(shè)置于相鄰兩層隔板200之間的兩 段車身?xiàng)U架之間，例如是兩根第一段車身?xiàng)U架120之間或者兩根第二段車身?xiàng)U架130之間， 從而保證手推車在運(yùn)輸過(guò)程中產(chǎn)品不會(huì)從前后兩側(cè)滑出跌落造成損壞。 進(jìn)一步的，所述每層隔板200上具有多個(gè)固定部210，所述固定部210的外周高于 所述隔板200的表面，在本實(shí)用新型較佳實(shí)施例中，固定部210的外周高度為小于等于3mm， 如此保證產(chǎn)品例如是模具或者晶盒放置于固定部210中而不會(huì)在運(yùn)輸過(guò)程中滑動(dòng)，從而避 免產(chǎn)品損壞例如是晶圓的刮傷或污染。 所述底座IIO上具有車輪140，車輪140和底座IIO之間具有硬性彈簧150，可有效 的起到防震作用，保證產(chǎn)品不受損壞。所述推車手柄170根據(jù)其與車身100的連接處為中 心拉動(dòng)，車輪140具有剎車片160通過(guò)連桿連接于推車手柄170，當(dāng)向下拉動(dòng)推車手柄170 時(shí)，帶動(dòng)剎車片160制動(dòng)車輪140，從而使得手推車具有良好的制動(dòng)性，避免手推車因?yàn)橹?動(dòng)性差而傾覆，造成產(chǎn)品損壞。 再請(qǐng)參考圖4 圖6，圖4 圖6所示為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的擋桿在滑道中運(yùn) 動(dòng)的示意圖?；?00側(cè)邊插入有螺栓500進(jìn)入滑道300，初始位置時(shí)螺栓500位于滑道 300中，擋桿400端部位于螺栓500上方，由螺栓500阻擋擋桿400的下滑。圖4所示為擋 桿400在滑道300中固定在滑道300頂端的示意圖，圖5所示為松開(kāi)螺栓500后擋桿400 滑下的示意圖，圖6所示為擋桿400下滑到滑道300的最底端的示意圖。[0023] 綜上所述，本實(shí)用新型提出的半導(dǎo)體工藝用手推車，在車身四周設(shè)置活動(dòng)的擋桿 可以防止產(chǎn)品從旁邊滑落，不會(huì)妨礙取放產(chǎn)品同時(shí)更加方便、安全；推車手柄可連接控制車 輪上的剎車片，制動(dòng)性能優(yōu)越；車輪上方采用硬性彈簧，可以起到很好的防震效果；滑道采 用定長(zhǎng)固定，節(jié)省物料開(kāi)支。 雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型。本實(shí) 用新型所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各 種的更動(dòng)與潤(rùn)飾。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種半導(dǎo)體工藝用手推車，包括底座、車身、隔板和推車手柄，其特征在于，所述車身由車身?xiàng)U架組成，所述隔板將車身?xiàng)U架分段，其中每一段車身?xiàng)U架的上段具有滑道，手推車第一側(cè)面和第二側(cè)面分別具有擋桿，設(shè)置于相鄰兩層隔板之間，每一根所述擋桿的兩端分別設(shè)置在同一側(cè)面的兩個(gè)滑道中，其中所述擋桿位于滑道頂端時(shí)由固定螺栓限位，當(dāng)松開(kāi)固定螺栓后，擋桿滑動(dòng)到滑道最底端。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工藝用手推車，其特征在于，所述手推車第三側(cè)面和 第四側(cè)面分別具有弧形阻擋桿，設(shè)置于相鄰兩層隔板之間的兩段車身?xiàng)U架之間。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工藝用手推車，其特征在于，所述每層隔板上具有多 個(gè)固定部，所述固定部的外周高于所述隔板表面。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體工藝用手推車，其特征在于，固定部的外周高度為小 于等于3mm。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體工藝用手推車，其特征在于，所述底座上具有車輪，車 輪和底座之間具有硬性彈簧。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體工藝用手推車，其特征在于，所述推車手柄根據(jù)其與 車身的連接處為中心拉動(dòng)，車輪具有剎車片通過(guò)連桿連接于推車手柄，當(dāng)向下拉動(dòng)推車手 柄時(shí)，帶動(dòng)剎車片制動(dòng)車輪。
專利摘要本實(shí)用新型提出一種半導(dǎo)體工藝用手推車，包括底座、車身、隔板和推車手柄，所述車身由車身?xiàng)U架組成，所述隔板將車身?xiàng)U架分段，其中每一段車身?xiàng)U架的上段具有滑道，手推車第一側(cè)面和第二側(cè)面分別具有擋桿，設(shè)置于相鄰兩層隔板之間，每一根所述擋桿的兩端分別設(shè)置在同一側(cè)面的兩個(gè)滑道中，其中所述擋桿位于滑道頂端時(shí)由固定螺栓限位，當(dāng)松開(kāi)固定螺栓后，擋桿滑動(dòng)到滑道最底端。本實(shí)用新型提出的半導(dǎo)體工藝用手推車，改善現(xiàn)有手推車的結(jié)構(gòu)，以減少在目前推車在設(shè)計(jì)上的缺陷從而容易造成產(chǎn)品在運(yùn)輸過(guò)程的損壞。
文檔編號(hào)B62B5/04GK201472435SQ200920207708
公開(kāi)日2010年5月19日 申請(qǐng)日期2009年8月11日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月11日
發(fā)明者趙慶國(guó), 黃臣 申請(qǐng)人:中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司