一種pecvd工序用的防傾斜小推車的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及晶硅太陽能電池片制備領(lǐng)域，具體地涉及一種PECVD工序用的防傾斜小推車。
【背景技術(shù)】
[0002]在晶硅太陽能電池片的制備技術(shù)中，通常采用PECVD工藝鍍膜。在鍍膜工藝中，將經(jīng)過制絨、擴散、刻蝕工藝的硅片，通過背對背地方式將硅片插入石墨舟中，然后使用小推車將石墨舟運輸至設備的上料口，進行PECVD鍍膜工藝。在現(xiàn)有技術(shù)中，首先將石墨舟置于小推車上，承載石墨舟的平板設置方式有兩種，其一是水平方向設置，由此決定了員工采用垂直方式插片，該種方式增加了員工的操作強度，同時增加了硅片報廢的比例；其二是通過小推車的設計結(jié)構(gòu)來調(diào)整石墨舟的傾斜角度，有利于員工操作，但是在調(diào)整石墨舟傾斜角度的過程中，容易出現(xiàn)石墨舟滑落等導致石墨舟破損的現(xiàn)象。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種PECVD工序用的防傾斜小推車，防止員工在使用小推車過程中將小推車傾斜，導致石墨舟的報廢。
[0004]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)解決方案是:一種PECVD工序用的防傾斜小推車，包括支架，下壓手柄，直角固定支架，彈簧，下壓手柄擋板，石墨舟支撐平板，錐形彈簧固定桿，旋轉(zhuǎn)軸承，石墨舟支撐平板的支架，控制傾斜角度的支架，所述的直角固定支架和下壓手柄擋板依次固定在石墨舟支撐平板的支架上；所述的彈簧兩端分別固定在直角固定支架的直角端；所述的下壓手柄擋板的上端的寬度A小于擋板的寬度B，通過彈簧和下壓手柄擋板控制石墨舟傾斜角度。
[0005]本發(fā)明的有益效果是通過使用防傾斜小推車，能防止小推車意外傾斜時自動卡死，很大程度上減少了石墨舟的報廢，大大降低了生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0006]圖1本發(fā)明提供的PECVD工序用的防傾斜小推車的正視圖
圖中:1代表支架，2代表下壓手柄，3代表石墨舟支撐平板，4代表錐形彈簧固定桿，5代表石墨舟支撐平板的支架
圖2本發(fā)明提供的PECVD工序用的防傾斜小推車的側(cè)視圖圖3本發(fā)明提供的PECVD工序用的防傾斜小推車的防傾斜裝置正視圖圖中:a代表直角固定支架，b代表彈簧，c代表下壓手柄擋板，A代表下壓手柄擋板的上端寬度，B代表下壓手柄擋板寬度
圖4本發(fā)明提供的PECVD工序用的防傾斜小推車的防傾斜裝置側(cè)視圖圖5本發(fā)明提供的PECVD工序用的防傾斜小推車的錐形彈簧固定桿的正視圖圖6本發(fā)明提供的PECVD工序用的防傾斜小推車的錐形彈簧固定桿的側(cè)視圖圖7本發(fā)明提供的PECVD工序用的防傾斜小推車的控制傾斜角度的支架的正視圖圖8本發(fā)明提供的PECVD工序用的防傾斜小推車的控制傾斜角度的支架的側(cè)視圖。
【具體實施方式】
[0007]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的技術(shù)方案作進一步詳細說明。
[0008]在本【具體實施方式】中，一種PECVD工序用的防傾斜小推車主要包括支架，下壓手柄，直角固定支架，彈簧，下壓手柄擋板，石墨舟支撐平板，錐形彈簧固定桿，旋轉(zhuǎn)軸承，控制傾斜角度的支架，石墨舟支撐平板的支架。將直角固定支架和下壓手柄擋板依次固定在石墨舟支撐平板的支架上；彈簧兩端分別固定在直角固定支架的直角端；下壓手柄擋板的上端的寬度A小于擋板的寬度B，通過彈簧和下壓手柄擋板控制石墨舟傾斜角度。當石墨舟發(fā)生側(cè)滑時，下壓手柄擋板阻擋下壓手柄繼續(xù)下滑，并通過彈簧控制下滑距離。當使用過程中不涉及到插片及旋轉(zhuǎn)石墨舟時，將下壓手柄擋板插在直角固定支架和石墨舟支撐平板的支架之間，方便且不影響使用。
【主權(quán)項】
1.一種PECVD工序用的防傾斜小推車，包括支架，下壓手柄，直角固定支架，彈簧，下壓手柄擋板，石墨舟支撐平板，錐形彈簧固定桿，旋轉(zhuǎn)軸承，石墨舟支撐平板的支架，控制傾斜角度的支架，其特征在于:所述的直角固定支架和下壓手柄擋板依次固定在石墨舟支撐平板的支架上；所述的彈簧兩端分別固定在直角固定支架的直角端。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種PECVD工序用的防傾斜小推車，包括支架，下壓手柄，直角固定支架，彈簧，下壓手柄擋板，石墨舟支撐平板，錐形彈簧固定桿，旋轉(zhuǎn)軸承，石墨舟支撐平板的支架，控制傾斜角度的支架，所述的直角固定支架和下壓手柄擋板依次固定在石墨舟支撐平板的支架上；所述的彈簧兩端分別固定在直角固定支架的直角端；所述的下壓手柄擋板的上端的寬度A小于擋板的寬度B，通過彈簧和下壓手柄擋板控制石墨舟傾斜角度。本發(fā)明的有益效果是通過使用防傾斜小推車，能防止小推車意外傾斜時自動卡死，很大程度上減少了石墨舟的報廢，大大降低了生產(chǎn)成本。
【IPC分類】B62B3/02, H01L31/18
【公開號】CN105711626
【申請?zhí)枴緾N201410715066
【發(fā)明人】繆愛群
【申請人】浙江鴻禧能源股份有限公司