專利名稱：用于泵送高粘度流體的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于精確地分配流體的泵及與其相關(guān)的方法，以及由這些泵和方法制成的各種產(chǎn)品。
背景技術(shù)：
本發(fā)明涉及可用于分配流體、尤其是昂貴、粘性、高純度、及/或?qū)Ψ肿蛹羟忻舾械牧黧w的泵系統(tǒng)。本發(fā)明也涉及諸如硅芯片和晶片的微電子器件、微電子基片、以及由這些泵系統(tǒng)和方法制造的回路。與現(xiàn)有技術(shù)的系統(tǒng)相比，通過本發(fā)明可以實(shí)現(xiàn)潛在地提高這種產(chǎn)品的質(zhì)量和產(chǎn)量。
本發(fā)明相關(guān)背景的總的方面在先前的美國專利5167837、5772899和2256429中公開。在這些方面，本發(fā)明具有多種用途，但是尤其可應(yīng)用于微電子工業(yè)。在該工業(yè)中的趨勢為在更小的基片上擠進(jìn)更大量的電路，電路的幾何形狀持續(xù)縮小，持續(xù)使用昂貴的材料，并相應(yīng)地對無污染的潔凈室和制造、過濾和處理所用的設(shè)備的需求持續(xù)并不斷地增長。有可能重要的是，由于經(jīng)濟(jì)和其他原因，持續(xù)要求提高最終產(chǎn)品產(chǎn)量。
前述美國專利5167837、5772899和5516429提出了很多情況，并提出了很多用途。本發(fā)明旨在進(jìn)一步改進(jìn)該技術(shù)，并且在不相關(guān)的技術(shù)中有可能地利用這種改進(jìn)。
尤其是，用于通過泵送和分配系統(tǒng)的被處理流體的流動路徑的進(jìn)一步簡化和豎直取向可以減小污染、空氣滯留、或類似問題的風(fēng)險(xiǎn)，同時(shí)，提供了所需的被處理流體的過濾、分配以及其他處理的類似的或提高的可靠性。在本發(fā)明中的制造和設(shè)計(jì)上的改進(jìn)允許整個(gè)被處理流體流動路徑被涂敷或由特氟隆或其他類似的無污染材料加工，進(jìn)一步降低了污染問題的可能性。
如上所述，前述美國專利5167837、5516429、和5772899提出并解決了很多問題。尤其是，這些裝置引入了一種膜片型流體分配系統(tǒng)，在某些實(shí)施例中，該系統(tǒng)包括兩個(gè)分離的計(jì)算機(jī)控制泵，以分配精確量的流體。然而，在這些專利中的優(yōu)選實(shí)施例表明被處理流體在稍微曲折路徑中運(yùn)行而通過泵系統(tǒng)。在一些用途中，這種路徑對于可能滯留于流體或系統(tǒng)中的雜質(zhì)氣泡沒有賦予最佳的排氣作用。例如，即使不需要重新啟動，當(dāng)流體源容器間歇地變化時(shí)，也會不可避免地引入一些少量的氣泡。金屬或其它可能被污染的材料的流動路徑的各部分導(dǎo)致流體相應(yīng)的不期望的污染的風(fēng)險(xiǎn)(雖然很小)。
如這些先前的專利所示，在較小比例的用途中，這種氣泡或污染物會潛在地在一定程度上損害最終產(chǎn)品。另外，例如，這種氣泡或污染物在改變流體源容器時(shí)需要一定時(shí)間，將氣泡從系統(tǒng)中逸出，否則，會損害流體分配系統(tǒng)的精度(同樣在少部分的用途中)。雖然這些先前的專利和發(fā)明在該方面作用良好，并且對他們之前的現(xiàn)有技術(shù)來說是很大的進(jìn)步，雖然這些專利可以輕易地用來對付上述問題，但本發(fā)明在該方面提供了改進(jìn)。
其他的益處來自于流體的流動路徑的簡化。通過簡化和減少系統(tǒng)中所包含的部件的數(shù)量，可以相應(yīng)地簡化組裝和維護(hù)?？赡芨匾氖?，可以減少連接點(diǎn)、密封配合、以及相關(guān)的潛在泄漏點(diǎn)的數(shù)量，從而直接降低夾帶污染空氣的風(fēng)險(xiǎn)或類似問題。另外，縮短和重新排列流動路徑可以減少系統(tǒng)殼體占地面積的尺寸，換句話說與現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)相比使系統(tǒng)更緊湊，由此為泵系統(tǒng)用戶相應(yīng)地減少了有價(jià)值的工廠空間。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是提供一種流體分配系統(tǒng)，該系統(tǒng)提供了在此所討論的改進(jìn)的性能和優(yōu)點(diǎn)。該系統(tǒng)中，當(dāng)系統(tǒng)處于正常的豎直位置時(shí)，流體從入口到出口基本上垂直地流動，且遍及流動路徑上提供了特氟隆或類似的無污染潤濕表面。在其優(yōu)選實(shí)施例中，與現(xiàn)有技術(shù)的系統(tǒng)相比，流動路徑得以簡化，包括較少的配合和連接(部分是由于將各種部件一體形成為單獨(dú)一個(gè)整體構(gòu)件)。
本發(fā)明的另一目的是提供一種以精確控制方式處理流體的裝置，該裝置包括第一泵送裝置和第二泵送裝置的組合，二者流體連通，其中，流體運(yùn)行路徑隨著流體流過第一泵送裝置和第二泵送裝置而基本上始終如一地向上。如上所述，第一泵送裝置和第二泵送裝置與流體接觸的表面優(yōu)選地都由相對無污染材料、如特氟隆等制造或涂敷有該材料。尤其是，在潔凈室環(huán)境中有利于將該系統(tǒng)用于高純度流體等。
該裝置還可以包括第一泵送裝置和第二泵送裝置之間的過濾裝置，在這種情況下，流體運(yùn)行路徑優(yōu)選地隨著流體流過第一泵送裝置、過濾裝置、和第二泵送裝置而基本上保持始終如一地向上，并且，所有或基本上所有接觸表面為無污染的。在優(yōu)選實(shí)施例中，泵頭部(pump head)和其中的閥實(shí)際上由特氟隆制造，并且沿著流動路徑的所有配合都是由特氟隆形成的錐形配合(flare fitting)，或否則具有對所使用流體(subject fluid)無污染的潤濕表面。對于本發(fā)明的無污染方面，無限制地包括各種形式的特氟隆(TFE&PFA)、Kalrez(一種氟化的特氟隆狀彈性體)或其它材料。在本發(fā)明中可用的多種適宜的配合中，可以輕易地實(shí)現(xiàn)商用的Furon Flare GripPFA管配合。
本發(fā)明的另一目的是提供一種上述特征的系統(tǒng)或裝置。其中，第一泵送裝置包括可從下部上拆卸的上頭部，并且設(shè)置了用于暫時(shí)將上頭部固定到下部上以在它們之間形成泵送腔室的裝置。優(yōu)選地是，上頭部包括一體形成的閥裝置，該閥裝置被構(gòu)造成在其之后將被處理流體在大致向上的路徑中引導(dǎo)向上頭部中一體形成的過濾腔室。尤其是，一體的閥利于在較低壓力下過濾粘性流體或其他流體，并減小了對流體的分子剪切，這部分是通過提供穿過閥的較大和較少阻礙(與現(xiàn)有技術(shù)相比)的流動路徑而實(shí)現(xiàn)的。閥也減小了由于流體通過閥移動而形成的壓差或壓力降。
本發(fā)明的另一目的是提供一種具有上述特征的系統(tǒng)或裝置，其中，第二泵送裝置包括可以從下部上拆卸的上頭部，帶有暫時(shí)將上頭部固定到下部上以在它們之間形成泵送腔室的裝置。同樣優(yōu)選地是，第二泵送裝置的上頭部包括其中一體形成的T形流體流動路徑，其中T形為所使用流體提供了從泵送腔室到上頭部分配部分的大致指向上的流動路徑。優(yōu)選的T形流動路徑包括用于在所使用流體被第一泵送裝置泵出后接收該流體的輸入部分，而當(dāng)裝置處于正常的豎直取向時(shí)，來自第二泵的上頭部的分配部分高于輸入部分。
本發(fā)明的另一目的是提供一種具有上述特征的系統(tǒng)和裝置，其中，第二泵送裝置大致位于第一泵送裝置之上，而當(dāng)裝置處于正常的豎直取向時(shí)，從第一泵送裝置的出口到第二泵送裝置的入口的流體運(yùn)行路徑不包括任何向下指向的部分。
本發(fā)明的再一目的是提供一種用于分配流體的裝置，其包括第一膜片型泵的組合，該膜片型泵具有泵頭部，泵頭部包括一體地形成于第一膜片型泵中的閥，以控制流體的流量。該裝置還可以包括第二膜片型泵，其大致位于第一膜片型泵之上，并且被構(gòu)造成接收被第一膜片型泵泵出的流體，并具有從第一膜片型泵到第二膜片型泵的大致向上的流體路徑。
本發(fā)明的另一目的是涉及一種過濾器之上或上游的排氣閥，以允許選擇性地排出夾帶于所使用流體中的任何氣體。優(yōu)選地是，排氣閥也可以用作減壓閥或安全閥，以防止所使用流體以及系統(tǒng)本身的壓力超過選定值。同樣優(yōu)選地是，排氣閥定位于過濾腔室內(nèi)的較高點(diǎn)。
本發(fā)明的其他目的是提供一種用于過濾和分配流體的方法，包括一個(gè)或多個(gè)如下步驟提供一體地形成于第一泵送裝置的上頭部內(nèi)的閥裝置，閥裝置被構(gòu)造成接收所使用流體，并在大致向上的路徑中引導(dǎo)來自第一泵送腔室的流體；啟動第一泵送元件，以便從流體源吸入所使用流體；以及進(jìn)一步啟動第一泵送元件，以將所使用流體從第一泵送元件中向上分配。在優(yōu)選實(shí)施例中，閥在上面語句中所述的吸入和分配步驟中改變流體的流動，如上所述，各步驟還可以包括提供一體形成于第一泵送元件的上頭部的過濾腔室，以及在上頭部內(nèi)提供從第一泵送元件通過閥裝置到達(dá)過濾腔室的大致指向上的流動路徑，由此，第一泵送元件的進(jìn)一步啟動將所使用流體從第一泵送元件引導(dǎo)到過濾腔室。
本發(fā)明的方法的其他步驟包括提供大致位于第一泵送元件之上的第二泵送元件，并在它們之間提供流體流動路徑，由此，所使用流體在第一泵送元件和第二泵送元件之間不會向下流動，并且沿著非向下的流動路徑泵送所使用流體。
本發(fā)明的另一目的是提供一種裝置和方法，該方法包括提供第二泵送元件下游的閥，用于選擇性地分配所使用流體或?qū)⑺褂昧黧w返回到流體源，其中，下游的閥大致為零排量閥，其不會不理想地污染或?qū)怏w引入所使用流體中。尤其是，優(yōu)選地閥降低或消除了操縱閥將排出流體(如將流體從分配管路上排出)的可能性，該排量將不利地影響分配或其他方面的精度或系統(tǒng)的性能。
雖然本發(fā)明在此就高純度、粘度流體的分配加以描述，本發(fā)明可以應(yīng)用于多種其他用途中。此外，雖然在此討論的優(yōu)選實(shí)施例包括兩個(gè)泵送裝置，且過濾裝置夾在他們之間，本發(fā)明的有益的方面可以在沒有過濾裝置、或只有一個(gè)帶或不帶過濾裝置的泵送裝置下予以實(shí)現(xiàn)。
如同現(xiàn)有技術(shù)的系統(tǒng)一樣，本發(fā)明提供了一種分配系統(tǒng)，其允許使用計(jì)算機(jī)或其他自動的數(shù)字控制系統(tǒng)，以用于(控制)分配的速率和間隔，以及用于在系統(tǒng)工作過程中，控制流過系統(tǒng)的流體方向和流體壓力。因而，本發(fā)明的再一目的是提供一種分配系統(tǒng)，該系統(tǒng)使操縱的靈活性很大，使其適用于各種用途。該系統(tǒng)可以由步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)或類似的技術(shù)、并通過各種計(jì)算機(jī)軟件、硬件以及有線或無線通信系統(tǒng)控制。
本發(fā)明的其他目的包括提供相對短的流體流動路徑，以便不易于引入污染物，并提供相對更緊湊的泵結(jié)構(gòu)，其留有較少的占地面積(與現(xiàn)有技術(shù)的裝置相比)。
本發(fā)明的另一目的是提供一種由上述裝置或方法制造的集成電路芯片或其他微電子器件。
本發(fā)明的其他目的和優(yōu)點(diǎn)將從以下的說明書和附圖中得以明白，說明書和附圖只為了說明的目的。


圖1是本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的立體圖；圖2是相同系統(tǒng)的另一個(gè)立體圖，該圖是從相對的上角看到的，以使出該組件的背側(cè)；圖3是沿圖1的線3-3截取的剖面圖；圖4是沿圖3的線4-4截取的剖面圖；圖5是沿圖3的線5-5截取的剖面圖；圖6是沿圖1的線6-6截取的剖面圖；圖7是沿圖1的線7-7截取的剖面圖；圖8是大致示出本發(fā)明的優(yōu)選操縱方法的流程圖；圖9是與圖1類似的立體圖，但示出了本發(fā)明多種實(shí)施例中的一個(gè)；
圖10是與圖2類似的立體圖，但為圖9的系統(tǒng)的立體圖，從如圖9所示的相對的上角看到；圖11a是圖9和10的系統(tǒng)的俯視圖，示出了面向圖9和10所示的相反方向的系統(tǒng)的進(jìn)入和排出口(本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解系統(tǒng)的配合可以在各個(gè)方向內(nèi)取向以及各個(gè)位置處)；圖11b是與圖11a相同的圖9和10的系統(tǒng)的俯視圖，但是包括不同的剖面線13-13，除此之外還示出了面向圖9和10所示的方向的相反方向的系統(tǒng)的進(jìn)入口和排出口；圖12是沿圖11a的線12-12截取的剖面圖，為了清楚的目的，在此所討論的優(yōu)選的三通閥從本圖中省略掉；圖13是沿圖11b的線13-13截取的剖面圖；以及圖14與圖10相似，但是是從所剩余的上角中的一個(gè)(不同于圖9和10示出的那兩個(gè))看到的圖9的系統(tǒng)的立體圖，并且同樣示出了面向圖10所示的方向的相反方向的系統(tǒng)的排出口，代表伺服電機(jī)組件的兩個(gè)下部單元(圖10所示的元件293并與圖10和14二者中示出的上部單元283相對應(yīng))在本圖中未示出，以便更好地看到優(yōu)選的壓力傳感器285和295。
具體實(shí)施例方式
參照附圖，尤其是圖1和圖2，圖1示出了根據(jù)本發(fā)明教導(dǎo)所構(gòu)造的泵送和分配系統(tǒng)10的優(yōu)選實(shí)施例。優(yōu)選地是，該系統(tǒng)包括第一泵送裝置或主泵20，以及第二泵送系統(tǒng)或從泵30，他們工作連接，以從進(jìn)入口12向排出口46泵送流體。如在此所述，過濾裝置可以包括在主泵和從泵20和30之間，或優(yōu)選地在主泵20(如在此所描述的)之內(nèi)，以過濾被處理流體。
關(guān)于該優(yōu)選系統(tǒng)的部件和操縱的總的原理及其泵送機(jī)構(gòu)在美國專利5167837、5516429以及5772899中描述，這些專利合并于此作為參考。本發(fā)明的優(yōu)選操縱方法的概況在圖8中示出。從初始的流體源60(圖8)獲取的流體通過主泵20的工作而經(jīng)由進(jìn)入口12吸入系統(tǒng)10中，作為該過程的一部分，定位一個(gè)主泵中的整體的三通閥140，以便允許流體被吸入膜片型第一泵18中(通過向下移動其膜片，如上述專利中所解釋的)。然后啟動閥140以允許流體從泵18向上通過閥140并最終通過過濾器27流動。一個(gè)或多個(gè)排氣閥或單向閥(如排氣閥36和單向閥49)可以沿著流動路徑包括在適宜的位置處，以排除不期望的夾帶氣體，并防止不期望的回流，如在此進(jìn)一步討論的那樣。排氣閥36可以將流體返回到流體源60(如圖8所示)，或返回到廢水排水溝(未示出)。當(dāng)不通過排氣閥36從過濾器中排出時(shí)，流體優(yōu)選地運(yùn)行到第二膜片型泵44，該泵優(yōu)選地通向另一個(gè)三通閥99(見圖8閥99可以為任意的適宜的閥，如在此描述的零排量無污染閥，并可以定位于任何適宜的位置處。雖然該閥一般遠(yuǎn)離第二泵44，以便接近實(shí)際分配量并改善精確控制最終的分配、滴落、吸回等的能力)。第二閥99可以選擇性地啟動，以引導(dǎo)回流到流體源，或分配到基片或其他微電子芯片或正在處理的裝置(device-in-process)上(未示出)。
本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解到在上述美國專利5167837、5516429和5772899中公開的很多一般概念可以以同樣的說服力應(yīng)用于本發(fā)明中。一些對現(xiàn)有技術(shù)發(fā)明的重要改進(jìn)在此公開或描述。
為了舉例說明，而不是為了限制，隨著流體流過系統(tǒng)10，用于所使用流體的整個(gè)流動路徑優(yōu)選地基本朝上，(然而，顯而易見的是如果流體由閥99導(dǎo)引回到流體源，那么流體向下返回到其初始高度)。這種優(yōu)選的向上的流動路徑包括優(yōu)選地將進(jìn)入口12實(shí)際上盡可能低地定位在第一泵送元件20上，優(yōu)選地是，流動路徑的僅有的向下流動部分由于流體被吸入相應(yīng)的泵送腔室18和44中而出現(xiàn)。本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解到這種向下流動利于泵的注滿和系統(tǒng)的其他有益的性能和包裝(包括利于將優(yōu)選的液壓膜片泵以及泵頭部和過濾器實(shí)際包裝在相對小的占地面積中)，并且在任何情況下，靠近每個(gè)泵送腔室18和44的下游部件和元件的優(yōu)選的垂直對齊和構(gòu)造減少否則可能發(fā)生的氣體夾雜或相關(guān)問題。例如，優(yōu)選實(shí)施例提供了從這些泵送腔室18和44的最上部的相應(yīng)區(qū)域到排氣閥36(見圖6)和第二泵46的排出口的相對小的垂直通道22、23和45(見圖3和7)。因此，在優(yōu)選實(shí)施例中，任何向下的流動緊接著是向上流動(通過膜片泵在向上方向上強(qiáng)制所使用流體向上流動)，這有助于清除所夾帶的空氣并使所使用流體的整體向上流動得以繼續(xù)。
類似地為了舉例說明而不是為了限制，并如在此更全面地解釋的，整個(gè)流動路徑優(yōu)選地包括比現(xiàn)有技術(shù)系統(tǒng)更少的配合，這些配合和流動路徑本身優(yōu)選地由特氟隆或類似材料制造或由該材料涂敷，以進(jìn)一步減小被處理流體污染的風(fēng)險(xiǎn)。優(yōu)選地是，如上所述，諸如商用的Flare Grip PFA管配合的錐形配合可以輕易地實(shí)現(xiàn)。
在圖3中，優(yōu)選實(shí)施例被示為包括通過將上頭部120與下部122組裝并在他們之間密封并固定柔性膜片124所形成的第一泵送腔室18。密封元件127優(yōu)選地由特氟隆或類似的無污染材料制成或由該材料涂敷。
至少稍微類似于上述美國專利5167837、5516429和5772899(尤其是參照每個(gè)專利中的圖2)，膜片124和下部122優(yōu)選地構(gòu)造成可以通過步進(jìn)電機(jī)組件、伺服電機(jī)或類似裝置精確控制膜片的致動和彎曲(并于是泵送所使用流體或被處理流體)，將流體排入膜片124之下的空間125或從該空間排出。在優(yōu)選實(shí)施例中，這可以通過將相對不可壓縮的工作流體通過導(dǎo)管或通道126(在其相對端-未示出-連接到步進(jìn)電機(jī)組件180或等價(jià)部件上)泵送。本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解到如下所述通道126可以為任何適宜的結(jié)構(gòu)，包括(在很多變型中)諸如圖13所示的通道226的內(nèi)部通道。諸如基座161的基座元件優(yōu)選地由適宜的堅(jiān)固材料制造，盡管由于所使用流體不會暴露于基座或其中的通道而對其無污染要求較低。圖1和2中的位置反饋指示器184和194以及限位開關(guān)182和192(圖1和圖2)優(yōu)選地設(shè)置在活塞或步進(jìn)電機(jī)組件上，以利于系統(tǒng)10的控制和操縱。在本發(fā)明的很多利用光學(xué)限位開關(guān)282和292的可供選擇的實(shí)施例中(如圖9-14中所示出的)，探測指示器284和294優(yōu)選地與活塞一起移動并從活塞上伸出。
在很多可供選擇的實(shí)施例中，膜片制動裝置的結(jié)構(gòu)與上述美國專利5167837、5516429和5772899的所述圖2中所示的類似?？梢约庸こ鲇糜谥聞恿黧w的一體通道，或否則在基座161中以不同的方向上設(shè)置該通道，如圖12(圖12示出了這種用于啟動從泵的通道255)和圖13(圖13示出了用于啟動主泵的通道226)的可供選擇的實(shí)施例所示的示例。
上頭部120和下部122可以彼此通過各種機(jī)構(gòu)保持于工作關(guān)系。優(yōu)選地是，螺母128通過落座于上頭部120外部的溝槽中的定位凸緣129固定在上頭部120上，并與下部122外側(cè)上的相應(yīng)的螺紋部130嚙合。雖然用于螺母128和下部122的材料可以是多種多樣的，優(yōu)選地他們由金屬制成，以提供頭部120和122可以重復(fù)嚙合組裝的強(qiáng)度。在優(yōu)選實(shí)施例中，元件130和128上的螺紋相對粗，以相應(yīng)地使兩部分120和122能夠快速組裝和拆卸，以用于第一泵送裝置20的維護(hù)和其他保養(yǎng)。較大的螺紋也比小螺紋或細(xì)螺紋相對容易地清理。
上頭部120也優(yōu)選地構(gòu)成由單獨(dú)一塊特氟隆或類似材料形成或制造的整體元件，如在此所解釋的，這個(gè)整體特征允許各種結(jié)構(gòu)和元件直接合并于頭部本身上，有助于改善所使用流體的流動路徑和減少潛在的污染連接的上述益處。
尤其是，整體元件120優(yōu)選地其中包括一整體形成或加工的閥組件140(見圖3和4)，閥140優(yōu)選地為三通閥，允許(如上所述)選擇性地(1)從連接到進(jìn)入口12的流體源通過閥140流到泵送腔室18，以及(2)從泵送腔室18向上通過閥140，并隨后通過過濾器27。在優(yōu)選實(shí)施例中，閥裝置140包括與美國專利5261442中公開的相似的一些方面，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員可以意識到各種各樣的特定閥結(jié)構(gòu)中的任一種都可以滿足要求。
雖然本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例在整體元件120內(nèi)包括有一體形成的三通閥，本發(fā)明可供選擇的實(shí)施例可以利用其他的閥結(jié)構(gòu)，或可以不利用任何閥裝置。例如，一個(gè)可供選擇的實(shí)施例可以利用單向閥，該單向閥與相對于從泵30在此描述的單向閥49類似、沿著進(jìn)入口12和泵送腔室18之間的流體流動路徑定位。如本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解的，單向閥將作用為允許所使用流體流入泵送腔室18，然而，當(dāng)流體自泵送腔室18被施力時(shí)，將防止流體流回到流體源。
在任何情況下，優(yōu)選地是流體從泵送腔室(在其分配行程)通過整體元件120內(nèi)的大致垂直的通道22和23流動。
本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解到優(yōu)選地設(shè)置在整體結(jié)構(gòu)120中的閥140、通道22和23、以及其他元件在此可以通過包括機(jī)加工、鉆孔、切割或其他形成上頭部120的任何適宜的裝置形成，上頭部120本身的材料替代了現(xiàn)有技術(shù)裝置中使用的各種接頭，并與現(xiàn)有技術(shù)的裝置相比優(yōu)選地簡化了所使用流體的流動路徑。
優(yōu)選的閥組件140的細(xì)節(jié)在圖4中示出，其中，所使用流體通過進(jìn)入口12吸入系統(tǒng)中，如在此所示，配合13(類似于在此描述的其他配合)優(yōu)選地包括無污染的(例如特氟隆或由特氟隆涂敷)錐形配合。錐形配合一般用在半導(dǎo)體工業(yè)中。典型地是，諸如螺母205(圖9和12)的螺母靠近最終的管接頭設(shè)置，而該導(dǎo)管利用特殊的工具或工藝向外成錐形(擴(kuò)口或拉伸)，并然后套在配合的心軸上滑移。擰緊螺母以便錐形管以密封關(guān)系固定到位。
本發(fā)明這個(gè)方面的多個(gè)實(shí)施例中的一個(gè)示于圖12中，圖12示出了具有環(huán)或榫舌202的管接頭201，榫舌202以密封的關(guān)系配裝到頭部220(該頭部對應(yīng)于圖3的頭部120)上的相應(yīng)的溝槽203中。在圖12的實(shí)施例中，管接頭201示為與定位肩臺或板204整體形成。螺釘或螺栓206(圖9)或其他方法和裝置被用于將該配合件固定到頭部220上。在優(yōu)選實(shí)施例中，頭部220的優(yōu)選的特氟隆材料不能輕易并可靠地直接與螺釘嚙合(諸如在螺釘206直接擰入頭部220的特氟隆材料中會發(fā)生的)，于是，一個(gè)或多個(gè)桿207(圖12)設(shè)置在孔208(該孔可以為盲孔或鉆通整個(gè)頭部)中。本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解到孔的任一端或兩端在外側(cè)至少一定程度可見(以允許鉆孔208，插入桿207，并如下所述操縱這些桿以與螺栓206捏合)，但是例如可以由三通閥上的板209覆蓋。在頭部220以允許螺栓206插入而不與特氟隆頭部220嚙合的尺寸和位置鉆出其他的孔(未示出)。桿207優(yōu)選地由不銹鋼制造，并包含橫向鉆出并攻絲的孔，以接收用于將彎管固定到蓋上的螺釘。螺釘206的端部優(yōu)選地定位成嚙合桿207中設(shè)置的橫向鉆出并攻絲的孔，且桿207中這些孔的螺紋和位置尺寸和位置與螺釘206對應(yīng)，從而螺釘206可以與其螺紋嚙合并緊固。桿207優(yōu)選地在其端部還具有一個(gè)或多個(gè)槽或其他結(jié)構(gòu)，從而他們可以通過螺絲刀等在孔208中旋轉(zhuǎn)，以利于將螺釘206與桿207對齊并嚙合，并從而將配合件緊固到頭部220上。
在很多可選的固定方法中，有時(shí)有益的是允許管接頭通過完整360度轉(zhuǎn)動或回轉(zhuǎn)，尤其是與固定到管接頭201上或與管接頭201一同形成的彎管配合相結(jié)合。為了提供這種轉(zhuǎn)動能力，可以在靠近頭部220的配合件外部設(shè)置扣環(huán)或類似的環(huán)形結(jié)構(gòu)，并且可以設(shè)置套筒或類似于板204的板件以與扣環(huán)或肩臺結(jié)合。套筒或類似于板204的板件然后可以如上所述地與頭部220接合，而回轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)可以在將螺釘或螺栓206擰緊之前，或優(yōu)選地甚至在螺釘或螺栓擰緊之后進(jìn)行。
為了使泵送腔室18填充以被處理流體(為了隨后將流體泵送過系統(tǒng)10的剩余部分)，閥140的中心柱塞組件在圖4中箭頭A的方向上壓下(通過計(jì)算機(jī)控制的空氣致動(未示出)通過開口146推動柱塞組件142的端部144-見在圖10的可供選擇的實(shí)施例中的以下描述)。在優(yōu)選實(shí)施例中，柱塞組件142的空氣致動優(yōu)選地由膜片控制，但另外可以由活塞控制。實(shí)際上，可以設(shè)置致動器(例如單獨(dú)的桿或柱塞(未示出))或其他機(jī)械機(jī)構(gòu)來致動柱塞組件144/142。在任何情況下，致動壓力必須克服彈簧148所施加的彈力，并且彈簧148將閥140保持于允許流體從泵送腔室18通過閥140而到達(dá)過濾器27流動的默認(rèn)位置。通過壓下柱塞142并壓縮彈簧148，允許流體通過進(jìn)入導(dǎo)管12，流過垂直通道22，并進(jìn)入泵送腔室18內(nèi)。當(dāng)壓力從柱塞142的端部144釋放時(shí)，彈簧148迫使柱塞返回到圖4所示的位置，實(shí)現(xiàn)了上述的從泵送腔室18通過閥140與過濾器27流體連通。
進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)這個(gè)閥的功能的優(yōu)選的是腎形的通道152(圖3和4所示)和154(由于線4-4的橫截面位置，僅在圖3中示出)。優(yōu)選地是，當(dāng)觀察圖3時(shí)，通道152向觀察著開口，而通道154在相反方向開口(背離觀察者，或朝向圖3的背面)。優(yōu)選的腎形152和154放大了否則會在流體流動中成為阻礙的地方，總體上改善了系統(tǒng)10的性能，并尤其是相對于所處理的對剪切敏感和/或高粘度的流體。參照圖3和4，本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解到第一膜片124的分配沖程迫使所使用流體向上流到通道中，并通過未被柱塞142占據(jù)的中心空間147流入環(huán)形通道149中，并此后流入面向后的腎形開口154，并通過通道23向上流到過濾器27。
對于要過濾所使用流體的用途中，上頭部優(yōu)選地還包括整體模制或加工的過濾器殼體或腔室160。腔室160優(yōu)選地包括可拆下的蓋元件162，以允許維護(hù)或接近過濾器元件27。為了在此描述得緊湊性、無污染和其他益處，蓋元件162優(yōu)選地也由整體一塊特氟隆或類似材料制造或加工。O形圈或類似的密封裝置166優(yōu)選地設(shè)置在蓋元件162和上頭部120之間，以防止在該連接處泄漏。螺母164(原理上與第一泵送裝置外下部的螺母128類似)優(yōu)選地將蓋元件螺紋連接到上頭部120上，并通過較粗的螺紋而輕易拆卸。然而，為了在該連接處提供改善的密封作用，并延長該連接處及其部件的壽命，螺母164優(yōu)選地也由聚丙烯、特氟隆、或一些類似的塑料材料制成。尤其是，這確保了連接處的螺紋的壽命長于例如螺母由金屬形成并由此侵蝕到上頭部120上形成的相應(yīng)的特氟隆螺紋中的情況下會發(fā)生的。
在圖9-14的可供選擇的實(shí)施例中，蓋元件262(對應(yīng)于圖1-8的蓋元件162；圖9-14中很多200系列的附圖標(biāo)記與圖1-8中100系列的附圖標(biāo)記具有類似的對應(yīng)性)向下延伸到腔室260中。然后O形圈266定位在外環(huán)形通道256內(nèi)，在例如整個(gè)蓋元件262和螺母264在系統(tǒng)加壓過程中垂直向上運(yùn)動的情況下，這有助于防止泄露(與圖1-8中的O形圈166的平面密封結(jié)構(gòu)相比)。尤其是，這種運(yùn)動的可能性會受到形成螺母164或264的材料影響(塑料螺母可能允許更大的這種運(yùn)動)。
過濾器元件27可以為任何適宜結(jié)構(gòu)的任何適宜的過濾器介質(zhì)。在很多適宜的過濾器27中，可以使用Millipore公司制造的、商標(biāo)和型號為PI-250Cartridge(品種號為DZUP CZI K1)和Wafergard F Cartridge(品種號為WGFG 40H P1)。優(yōu)選地是，過濾裝置一體地定位于第一泵20中，從而減小了流體流動路徑的總長度，或至少減少流動路徑內(nèi)所需的接頭數(shù)量。為了提供理想的無污染性能，過濾器27優(yōu)選地涂敷有特氟隆或類似材料或由該材料制造。
過濾器27優(yōu)選地適于隨著所使用流體從垂直通道23流到蓋元件162內(nèi)形成的流動路徑排出通道165而過濾該流體。為了確保所需的從垂直通道23流入過濾腔室，優(yōu)選實(shí)施例包括一個(gè)或多個(gè)突起部分170(見圖3和5)，以將過濾器元件27與過濾腔室的底部分隔開。以這種方式，過濾器裝置27不會覆蓋或阻擋流體從通道23的頂部流入過濾腔室中。在優(yōu)選實(shí)施例中，這些部分170通過在其中的過濾腔室加工過程中留下整體塊120的一部分而形成。如圖所示，四個(gè)這種部分170等間隔地圍繞中心開口23，盡管可以使用各種各樣的其他結(jié)構(gòu)或其他元件。
為了進(jìn)一步確保所需的不約束從垂直通道23流入過濾腔室，優(yōu)選實(shí)施例還包括錐口孔或錐形部分24(圖3和5)。
如同上頭部120內(nèi)的通道22和23一樣，在蓋元件162內(nèi)的排出通道165可以以任何適宜的方式(包括鉆或類似的機(jī)加工)形成或制造。通道165為所使用流體提供了通過蓋元件162的流動路徑，并優(yōu)選地連接到彎管167上(本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解到排出流動路徑可以為任何適宜的路徑，但優(yōu)選地不將流動向下導(dǎo)引)。雖然各種配合件和其他部件可以以適宜的方式彼此組裝，用于多處連接的優(yōu)選方法和結(jié)構(gòu)示于圖12和13中，并入在此所描述的。尤其是，這些圖示出了系統(tǒng)中的配合件(如彎管167)與各種特氟隆部件(如由特氟隆制造的主要的“大塊”元件)的固定。彎管167優(yōu)選地在其另一端部連接到另一特氟隆錐形配合件和導(dǎo)管169上，并然后連接到系統(tǒng)10的第二泵送裝置上，如在此所描述的。導(dǎo)管169優(yōu)選地由特氟隆或類似材料制造或由該材料涂敷。
蓋元件162優(yōu)選地還包括有排氣閥組件36(見圖6)，該組件可操縱地由機(jī)加工的通道174連接到過濾腔室內(nèi)的相對高點(diǎn)上(相應(yīng)的替換元件236和274例如在圖12和13中示出)。在優(yōu)選實(shí)施例中，排氣閥為全特氟隆的，并為二通常閉閥，其可以用于選擇性地將氣體從被處理流體中排出。很多適于此目的的閥中的一種由Furon公司(目前在3340East La PalmaAvenue，Anaheim，California 92806辦公，該公司與本說明書其他部分所提及的Furon相同)制造，并在美國專利5575311中公開。本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解到將這個(gè)排氣閥連接到系統(tǒng)內(nèi)的高點(diǎn)將允許排氣閥收集并排出可能夾雜于所使用流體中的不需要的氣體。此外，由于為了到達(dá)通道174中，氣體不需要穿過過濾器元件27(與必須這樣做而到達(dá)通道165相反)，所以這種氣體易于通過通道174排出(或圖12實(shí)施例中的通道274)，而不是通過蓋元件162的更居中的通道165排出。在本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例中，閥由泵控制器自動致動，并為用戶可編程的。另外，優(yōu)選并典型地是，閥在過濾循環(huán)開啟和結(jié)束時(shí)開啟一小段時(shí)間(優(yōu)選地為秒的數(shù)量級)。排氣閥36優(yōu)選地包括彈簧37，而通過彈簧的相關(guān)調(diào)節(jié)，可以設(shè)定其釋放壓力，使其能夠作用為安全閥或減壓閥，以確保所使用流體上的壓力不超過一定值，或在過濾器元件27堵塞等的情況下提供卸荷。
對于需要第二泵送裝置的應(yīng)用中(例如，在上述美國專利5167837、5516429以及5772899中描述的應(yīng)用中)，優(yōu)選地設(shè)置從泵或第二泵元件30(圖7)，優(yōu)選的泵30的很多方面與上述的第一泵送元件20類似，包括泵送腔室44，其中具有以精確控制方式由步進(jìn)電機(jī)(圖7中未示出，但在圖2中示作組件190，它可以將致動流體移動通過口55)或類似機(jī)構(gòu)致動的膜片。
從泵30可以相對于主泵20定位在各種位置處，但是優(yōu)選地足夠高以使流體流動路徑趨于向上通過泵20和30之間的導(dǎo)管169。尤其是，導(dǎo)管169優(yōu)選地隨著流體從第一泵20移動到第二泵30至少不向下延伸，由于這種向下的路徑會將氣體困在系統(tǒng)10的該部分中。在多種可供選擇的實(shí)施例中(未示出)，第二泵30甚至可以直接位于第一泵20之上，導(dǎo)致導(dǎo)管169或通道或泵20和30之間的連接部分基本垂直(并從而實(shí)際上沒有氣體夾雜其中的風(fēng)險(xiǎn))。然而，為了便于系統(tǒng)10的制造，以及便于組裝和保養(yǎng)，優(yōu)選實(shí)施例將第一泵20和第二泵30相對彼此如圖1和2所示那樣定位。
從泵30優(yōu)選地包括特氟隆或類似材料形成的整體的上部42，其整體特性提供了如在此所述的改善流動并減少污染的類似的可能性。優(yōu)選地是，在上部鉆出或否則加工或形成T形路徑，并包括與其他通道47成T字形的大致垂直的通道45。該通道47優(yōu)選地接收在穿過優(yōu)選的另一特氟隆錐形配合48(或其他無污染接頭)和一體地安裝于上部42內(nèi)的單向閥49之后從導(dǎo)管169流過來的流體。
尤其是，單向閥49優(yōu)選地由特氟隆或類似的無污染材料形成，并防止泵送腔室44的泵送/分配沖程強(qiáng)行使流體返回到通道47并向過濾器27流動。反之，單向閥49使泵送腔室44的泵送/分配沖程強(qiáng)制流體進(jìn)一步向上而通過通道45，此后到達(dá)彎管51和特氟隆錐形配合52(上面相對于第一泵送元件20上的彎管167和配合168的評論以同等效力適用于彎管51和配合52)。可用作單向閥49的多種適宜閥中的一種為目前Furon銷售的，其零件號為MCV246。
為了強(qiáng)度和經(jīng)濟(jì)性，第二泵元件30的下部53優(yōu)選地由不銹鋼、鋁或一些其他金屬制造，而定位螺母54同樣由金屬制造。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解到各種各樣的材料可以用于這些元件，而不會背離本發(fā)明的范圍。
如上所述，從導(dǎo)管46中分配出來的流體優(yōu)選地被導(dǎo)引到另一個(gè)無污染的三通閥(未示出，但是在圖8中示意性示為元件99)，通過這個(gè)三通閥，所使用流體可以選擇性地返回到流體源60，或被分配到基片或其他微電子芯片或正在處理的裝置上(未示出)。在優(yōu)選實(shí)施例中，三通閥99為獨(dú)立的閥(與在第一泵送元件20中整體形成的閥140相反)，并經(jīng)過上述的無污染特氟隆錐形配合固定到導(dǎo)管46和返回導(dǎo)管(未示出，但在圖8中示出)。三通閥裝置99優(yōu)選地為零排量閥，從而閥致動時(shí)不會排出所使用流體。如上所述，并尤其是優(yōu)選的閥減少或消除了該閥工作將排出流體(如從分配路線上排出)的可能性，這種排出將不利地影響分配或其他方面的精度或系統(tǒng)的性能。
本領(lǐng)域技術(shù)人員也將理解到圖9-14的可供選擇的實(shí)施例包括另外的優(yōu)點(diǎn)。尤其是，第二泵230相對第一泵比圖1-8中的稍微高，而這兩個(gè)泵之間的導(dǎo)管269設(shè)置成非螺旋路徑。在泵上的各種配合(通過這些配合，流體進(jìn)入泵中，并從泵中排出)被改變方向以利于在有可能變動的位置和設(shè)備中使用。在圖10中，配合246設(shè)置成利于優(yōu)選的整體三通閥的空氣致動。
圖14也示出了分別與第一和第二步進(jìn)電機(jī)組件280和290相關(guān)的優(yōu)選的壓力傳感器285和295。但是代表伺服電機(jī)組件的兩個(gè)下部單元(圖10中示為元件293，并對應(yīng)與圖10和14中的上部單元283)如上所述在圖14中未示出，以便更清楚地看到傳感器285和295。本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解到傳感器被構(gòu)造成探測在相應(yīng)的第一和第二步進(jìn)電機(jī)組件280和290上的致動流體內(nèi)的壓力，并將該壓力傳送到計(jì)算機(jī)控制機(jī)構(gòu)(該計(jì)算機(jī)控制優(yōu)選地能夠探測并操縱組件10的其他輸入和方面)。傳感器可以被用于各種目的，包括(而不是限制)監(jiān)控回灌(負(fù))壓力；指示需要維護(hù)或更換過濾器(如通過監(jiān)控過濾器壓力或通過過濾器的壓差)；監(jiān)控分配壓力或整個(gè)壓力周期(這可以利用高級過程控制)；以及其他功能。
本發(fā)明的裝置和方法已經(jīng)帶有特定性地加以描述，但所公開的特定設(shè)計(jì)、構(gòu)造和步驟不用來限制本發(fā)明。可以對其作出各種修改，這對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是顯而易見的，所有這些修改將不背離本發(fā)明的精髓，并且所有這些變動和修改被認(rèn)為涵蓋于所附的權(quán)利要求書中。
權(quán)利要求
1.一種用于以精確控制方式處理流體的裝置，包括彼此流體連通的第一泵送裝置和第二泵送裝置；隨著流體流過所述第一泵送裝置和所述第二泵送裝置，所述第一泵送裝置和所述第二泵送裝置提供了基本上一直向上的流體流動路徑。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述第一泵送裝置和所述第二泵送裝置中的每一個(gè)包括接觸流體的表面，基本上所有所述接觸表面由相對無污染的材料制造或涂敷有該材料。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括在所述第一泵送裝置和所述第二泵送裝置之間的過濾器裝置，其中所述流體流動路徑隨著流體流過所述第一泵送裝置、所述過濾器裝置和所述第二泵送裝置基本上一直向上。
4.如權(quán)利要求3所述的裝置，其中，所述第一泵送裝置和第二泵送裝置中的每一個(gè)包括接觸流體的表面，基本上所有所述接觸表面由相對無污染的材料制造或涂敷有該材料。
5.如權(quán)利要求1或2或3或4所述的裝置，其中，所述第一泵送裝置包括可從下部上拆下的上頭部，和用于暫時(shí)將所述上頭部固定到所述下部上以在它們之間形成泵送腔室的裝置，其中所述上頭部包括在其中一體形成的閥裝置。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其中，所述閥裝置被構(gòu)造成接收來自被處理流體源的被處理流體的入流，并被構(gòu)造成此后以基本上指向上的路徑將這種流體引導(dǎo)到一體地形成于所述上頭部內(nèi)的過濾腔室，所述過濾腔室形成所述過濾器裝置的一部分。
7.如權(quán)利要求5所述的裝置，其中，所述閥裝置被構(gòu)造成為所使用流體提供從所述泵送腔室到一體地形成于所述上頭部內(nèi)的過濾腔室的基本指向上的流動路徑，所述過濾腔室形成所述過濾器裝置的一部分。
8.如權(quán)利要求1或2或3或4所述的裝置，其中，所述第二泵送裝置包括可從下部上拆下的上頭部，和用于暫時(shí)將所述上頭部固定到所述下部上以在它們之間形成泵送腔室的裝置，其中所述上頭部包括其中一體形成的T形流體流動路徑，所述T形路徑為所使用流體提供了從所述泵送腔室到所述上頭部的分配部分的大致指向上的流動路徑。
9.如權(quán)利要求8所述的裝置，其中，所述T形路徑包括用于在所使用流體由所述第一泵送裝置泵出后接收該流體的輸入部分，并且當(dāng)所述裝置處于普通直立方向時(shí)，來自所述上頭部的所述分配部分定位成高于所述輸入部分。
10.如權(quán)利要求1或2或3或4所述的裝置，其中，所述第二泵送裝置大致在所述第一泵送裝置之上定位，而當(dāng)所述裝置處于其普通直立方向時(shí)，從所述第一泵送裝置的排出口到所述第二泵送裝置的進(jìn)入口的所述流體流動路徑不包括任何向下指向的部分。
11.一種用于分配流體的裝置，包括具有泵頭部的第一膜片型泵，所述頭部包括一體形成的三通閥，以控制流體流入到所述第一膜片型泵中。
12.如權(quán)利要求11所述的裝置，其特征在于，還包括基本上位于所述第一膜片型泵之上的第二膜片型泵，第二膜片型泵被構(gòu)造成接收由所述第一膜片型泵泵出的流體，從所述第一膜片型泵到所述第二膜片型泵的流體路徑大致向上。
13.如權(quán)利要求11或12所述的裝置，其特征在于，還包括一體地形成在所述第一膜片型泵的泵頭部內(nèi)的過濾器殼體。
14.如權(quán)利要求13所述的裝置，其中，所述泵頭部和閥為所述流體提供了一條從所述第一膜片型泵到所述過濾器殼體的大致直接向上的流動路徑。
15.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于，還包括所述過濾器殼體之上的排氣閥，以實(shí)現(xiàn)選擇性地將包含于所使用流體中的氣體排出。
16.如權(quán)利要求13所述的裝置，其中，基本上所有被所使用流體潤濕的表面由相對無污染材料制造或由該材料涂敷。
17.一種用于過濾和分配流體的方法，包括以下步驟提供一體形成于第一泵送元件的上頭部內(nèi)的閥裝置；所述閥裝置構(gòu)造成接收所使用流體并從所述第一泵送元件在基本向上的路徑中引導(dǎo)該流體；致動所述第一泵送元件以將所使用流體從流體源吸入；以及進(jìn)一步致動所述第一泵送元件，以將所使用流體從所述第一泵送元件向上分配。
18.如權(quán)利要求17所述的方法，其特征在于，還包括以下步驟提供一體形成于所述第一泵送元件的所述上頭部內(nèi)的過濾腔室，并在所述上頭部內(nèi)提供從所述第一泵送元件通過所述閥裝置到所述過濾腔室的大致指向上的流動路徑，由此，所述第一泵送元件的所述進(jìn)一步致動將所使用流體從所述第一泵送腔室向上引導(dǎo)到所述過濾腔室。
19.如權(quán)利要求17或18所述的方法，其特征在于，還包括以下步驟提供大致位于所述第一泵送元件之上的第二泵送元件，并在他們之間提供流體流動裝置，由此，所使用流體在所述第一泵送元件和所述第二泵送元件之間不會向下流動；并將所使用流體沿著所述非向下流動路徑泵送。
20.如權(quán)利要求17或18所述的方法，其特征在于，還包括沿著所使用流體的流動路徑提供至少一個(gè)排氣裝置以將任何夾帶的氣體從所使用流體中排出的步驟。
21.如權(quán)利要求17或18所述的方法，其特征在于，還包括提供所述第二泵送元件下游的閥，以用于選擇性分配所使用流體或?qū)⑺褂昧黧w返回到所述流體源，其中所述下游的閥為大致零排量閥，其不會不期望地排出所使用流體。
22.如權(quán)利要求17或18所述的方法，其中，基本上所有被所使用流體潤濕的表面由相對無污染材料制造或由該材料涂敷。
23.一種用于過濾和分配流體的裝置，包括第一膜片型泵送裝置；與所述第一膜片型泵送裝置流體連通的第二膜片型泵送裝置；以及在所述第一和第二泵送裝置之間的過濾裝置，由此，所述第一泵送裝置將流體基本垂直向上地泵送過所述過濾裝置；以及在所述過濾裝置和用于第二泵送裝置的殼體之間的流體流動裝置，其中所述流體流動裝置不包括所使用流體隨著其從所述過濾裝置流動到用于第二泵送裝置的所述殼體而向下流動。
24.如權(quán)利要求23所述的裝置，其特征在于，還包括靠近通向所述第一泵送裝置的進(jìn)入口并合并于所述流體流動裝置中的配合，其中，所述配合為具有對所使用流體無污染的潤濕表面的錐形配合。
25.一種用于過濾和分配流體的裝置，包括第一泵，其具有局部由上頭部限定的泵送腔室，所述上頭部包括整體形成于其中的閥和過濾腔室，所述過濾腔室基本設(shè)置在所述閥之上，且所述過濾腔室包括形成所述過濾腔室的上殼體的可拆卸的蓋元件，排出口和排氣口設(shè)置在所述過濾腔室較向上的位置處；以及在所述上頭部內(nèi)一體形成的基本垂直的流體流動路徑，以使流體從所述泵送腔室向所述過濾腔室流動。
26.如權(quán)利要求25所述的裝置，其中，所述上頭部通過金屬形成的螺母固定于下頭部上。
27.如權(quán)利要求25所述的裝置，其特征在于，還包括所述蓋元件和所述上頭部之間的O形密封圈，其中所述O形圈定位在所述上頭部的內(nèi)徑上。
28.一種用于在潔凈室型應(yīng)用中分配流體的主泵和從泵的組合，其中，所述主泵包括泵頭部，該泵頭部具有一體形成于其中的閥和過濾腔室，包括通過所述組合的流體流動路徑，該路徑由對所使用流體無污染的材料構(gòu)成，并且該路徑大致向上地從一進(jìn)入口進(jìn)入所述主泵并通過所述過濾腔室，并隨后通過所述從泵延伸。
29.如權(quán)利要求28所述的組合，其中，所述泵頭部和其中的所述閥由特氟隆制造。
30.如權(quán)利要求28或29所述的組合，其特征在于，還包括位于所述過濾腔室內(nèi)一高點(diǎn)處的排氣閥。
31.如權(quán)利要求30所述的組合，其中，所述排氣閥可以將夾帶的空氣從所使用流體中排出，并在所使用流體上的泵送壓力超過選定值時(shí)，可以提供卸荷。
32.一種微電子基片，由來自膜片型泵的流體淀積制造，該膜片型泵具有泵頭部，所述頭部包括一體形成的閥，以控制進(jìn)入所述膜片型泵的流體的流量。
全文摘要
公開了一種用于分配和過濾流體的系統(tǒng)，其中，流體流動路徑從流體入口通過流體分配部分基本垂直。基本上所有潤濕表面為特氟隆
文檔編號B67D7/58GK1402649SQ00816418
公開日2003年3月12日 申請日期2000年11月30日 優(yōu)先權(quán)日1999年11月30日
發(fā)明者格雷格·吉布森 申請人:米克羅利斯公司