專利名稱：多功能清洗模塊及應(yīng)用該模塊的清洗設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平板顯示器的制造設(shè)備，尤其涉及一種因部件集成化而減小了所需安裝空間尺寸的多功能清洗模塊，和應(yīng)用該多功能清洗模塊的清洗設(shè)備。
背景技術(shù)：
圖1a是平板顯示器制造設(shè)備中傳統(tǒng)的清洗設(shè)備的方框圖。圖1b是結(jié)構(gòu)示意圖。
參照圖1a和圖1b，傳統(tǒng)的清洗設(shè)備包括具有裝載部分和卸載部分的驅(qū)動部，具有O3處理部分、刷部分、噴嘴部分、以及D.I.(去離子水)噴淋部分的清洗部，以及干燥部。
驅(qū)動部的裝載部分將玻璃基片(圖中未示出)送入清洗設(shè)備，而驅(qū)動部的卸載部分將玻璃基片送出清洗設(shè)備。
清洗部清除玻璃基片上的污物和雜質(zhì)。
干燥部用于干燥經(jīng)過清洗步驟之后殘余在玻璃基片上的清洗劑例如去離子水。
在上述步驟中，玻璃基片通過其下面的支承件進(jìn)行移動。
可是，在傳統(tǒng)的清洗設(shè)備中，包含清洗的生產(chǎn)步驟和其它除清洗步驟之外的生產(chǎn)步驟難于銜接地連續(xù)進(jìn)行，這是因?yàn)榍逑床康陌惭b面積過大，導(dǎo)致降低FAB效率。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明旨在徹底解決由于上述現(xiàn)有技術(shù)的局限性和缺點(diǎn)造成的一個(gè)或多個(gè)問題。
本發(fā)明的目的是提供一種多功能清洗模塊，其通過部件集成化而減小了所需地安裝空間尺寸，并且能有效地控制FAB空間。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是通過應(yīng)用該多功能清洗模塊從而提高平板顯示器的產(chǎn)量。
本發(fā)明再一個(gè)目的是提供多功能清洗模塊中的新的部件。
為了達(dá)到發(fā)明目的，并根據(jù)在此概括的和廣義描述的發(fā)明目的，本發(fā)明包括多個(gè)氣簾、eximer紫外光照射裝置、刷、高速噴淋裝置、和空氣刮刀，它們依次被連續(xù)地設(shè)置在一個(gè)平面上，而玻璃基片可以被連續(xù)地插入這些部分中。
此外，根據(jù)本發(fā)明的清洗設(shè)備包括具有一個(gè)裝載部分和一個(gè)卸載部分的驅(qū)動部以及多功能清洗模塊。


本發(fā)明通過下文給出的詳細(xì)描述和附圖將被得到充分的理解。附圖僅被作為示意解釋用，并不對本發(fā)明構(gòu)成限制，其中圖1a是平板顯示器生產(chǎn)設(shè)備中傳統(tǒng)的清洗設(shè)備的方框圖，圖1b是結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是表示根據(jù)本發(fā)明的多功能清洗模塊的示意性透視圖。
圖3a是表示根據(jù)本發(fā)明的多功能清洗模塊中的eximer紫外光照射裝置的示意圖，圖3b是圖3a的剖面圖，圖3c是圖3b的側(cè)視圖。
圖4a是表示根據(jù)本發(fā)明的多功能清洗模塊中的高速噴淋裝置的視圖，圖4b是圖4a的局部放大圖。
圖5a是表示高速噴淋裝置的另一個(gè)實(shí)施例的視圖，而圖5b是圖5a的局部放大圖。
圖6是用于解釋圖5a和圖5b的參考視圖。
圖7是表示高速噴淋裝置另一個(gè)實(shí)施例的視圖。
圖8是表示高速噴淋裝置另一個(gè)實(shí)施例的視圖。
圖9a和9b是表示根據(jù)本發(fā)明的多功能清洗模塊中的V型空氣刮刀的視圖。
圖10是用于解釋依照本發(fā)明所述多功能清洗模塊中的驅(qū)動部工作原理的視圖。
圖11是用于解釋驅(qū)動部另一個(gè)工作原理的視圖。
圖12a是表示根據(jù)本發(fā)明的多功能清洗模塊中的驅(qū)動部的一個(gè)實(shí)施例的平面圖，圖12b是圖12a的側(cè)視圖。
圖13a是表示驅(qū)動部另一個(gè)實(shí)施例的平面圖，圖13b是圖13a的側(cè)視圖。
圖14是根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的清洗設(shè)備示意性側(cè)視圖。
圖15是根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的清洗設(shè)備示意性側(cè)視圖。
具體實(shí)施例方式
下面，將結(jié)合附圖對本發(fā)明的多功能清洗模塊和應(yīng)用該模塊的清洗設(shè)備做詳細(xì)的闡述。
圖2是表示根據(jù)本發(fā)明的多功能清洗模塊的示意性透視圖。
根據(jù)本發(fā)明的多功能清洗模塊包括多個(gè)氣簾1、eximer紫外光照射裝置2、刷3、高速噴淋裝置4、和空氣刮刀5，它們依次地設(shè)置在一個(gè)平面上，而玻璃基片可以被連續(xù)地插入這些部分中。
多個(gè)氣簾1被用來隔絕上述部件之間可能產(chǎn)生的相互干擾。
另一方面，本發(fā)明的多功能清洗模塊中的每一個(gè)包含空氣刮刀的部件，和傳統(tǒng)的清洗模塊相比都做了改進(jìn)，且各種清洗功能同時(shí)作用于玻璃基片。
參照圖2，本發(fā)明多功能清洗模塊有如下構(gòu)造氣簾-eximer紫外光照射裝置-刷-高速噴淋裝置-氣簾-空氣刮刀-氣簾。而且，根據(jù)本發(fā)明，對應(yīng)如下的功能和目的有可能提供各種構(gòu)造。
1)氣簾-刷-高速噴淋裝置-氣簾-空氣刮刀-氣簾-eximer紫外光照射裝置-氣簾2)氣簾-eximer紫外光照射裝置-氣簾-刷-高速噴淋裝置-氣簾-空氣刮刀-氣簾-eximer紫外光照射裝置-氣簾3)氣簾-eximer紫外光照射裝置-氣簾-高速噴淋裝置-氣簾-空氣刮刀-氣簾4)氣簾-高速噴淋裝置-氣簾-空氣刮刀-氣簾-eximer紫外光照射裝置-氣簾5)氣簾-eximer紫外光照射裝置-氣簾-高速噴淋裝置-氣簾-空氣刮刀-氣簾-eximer紫外光照射裝置-氣簾依照本發(fā)明的另一方面，除了用于上述列出的1)-5)的構(gòu)造，可以應(yīng)用執(zhí)行特定功能的其他構(gòu)造。
例如，高速噴淋裝置可以被用作蝕刻裝置或顯影裝置。即，在上述方面，高速噴淋裝置噴淋去離子水；而當(dāng)被用作蝕刻裝置或顯影裝置時(shí)，高速噴淋裝置噴淋蝕刻劑或顯影劑。
下面，將結(jié)合附圖對依照本發(fā)明所述多功能清洗模塊中的部件做詳細(xì)的說明。
eximer紫外光照射裝置圖3a是表示根據(jù)本發(fā)明的多功能清洗模塊中的eximer紫外光照射裝置的示意圖。
參照圖3a，eximer紫外光照射裝置2包括燈殼113、圓柱形石英管115、在圓柱形石英管115內(nèi)的紫外燈117。
eximer紫外光照射裝置2構(gòu)造成對由紫外燈117產(chǎn)生的O3(臭氧)外流進(jìn)行補(bǔ)充加壓，并維持O3的恒定濃度，O3濃度優(yōu)選地為50-500ppm。eximer紫外光照射裝置2構(gòu)造為流入口→空氣或N2氣注入口→流出口→燈殼→流出口→空氣或N2氣注入口→流出口。
圖中，附圖標(biāo)記116代表N2氣注入口，箭頭A代表空氣注入方向，而箭頭O代表空氣流出方向。另一方面，玻璃基片10下方的箭頭代表上浮流體流動的方向。
圖3b是圖3a的剖面圖，圖3c是側(cè)視圖。
參照圖3a和圖3b，圓柱形石英管115設(shè)有紫外燈117和反射膜115a。通過這種結(jié)構(gòu)，紫外燈117發(fā)出的光被匯聚向玻璃基片10，由此提高了光效率。此時(shí)，反射膜115a通過鍍覆具有光反射特性的物質(zhì)而制得。
通過N2氣注入口注入的N2氣使圓柱形石英管115和紫外燈117之間的空隙保持N2氣環(huán)境下，由此可以減少氧氣對紫外光的損耗。
紫外燈117包括多個(gè)外電極117a、一內(nèi)電極117b、和一燈電源117c。
圖中，外電極117a設(shè)在除S區(qū)域之外的區(qū)域，從而提高光效率。
下面，將結(jié)合附圖對紫外光照射過程做詳細(xì)的說明。
首先，玻璃基片10通過傳輸裝置(圖中未示出)被插入該設(shè)備，并保持在被下文中將提及的噴射閥懸浮的狀態(tài)。此時(shí)，通過控制從噴射閥噴出的上浮流體的噴射強(qiáng)度，使玻璃基片10和燈殼113之間保持適當(dāng)?shù)拈g隙。
其次，空氣進(jìn)入燈殼113，而N2氣通過N2氣注入口注入圓柱形石英管115內(nèi)。隨后，開啟燈電源117c，并從而在外電極117a和內(nèi)電極117b之間形成電場，從而產(chǎn)生紫外光。此時(shí)，為了增加輻射效率，燈電源117c的頻率最好為20kHz-200kHz，這類似于燈電源117c的內(nèi)部氣體例如氙、氪、氡保持亞穩(wěn)態(tài)。
由紫外燈117產(chǎn)生的部分紫外光通過圓柱形石英管115照射到玻璃基片10的表面，而其它部分的紫外光被反射膜115a反射并然后照射到玻璃基片10的表面。
高速噴淋裝置圖4a是表示根據(jù)本發(fā)明的多功能清洗模塊中的高速噴淋裝置的視圖，而圖4b是圖4a的局部放大圖。
參照圖4a和圖4b，首先，清洗劑通過具有小面積的流入口30以清洗劑的量為Qs，壓力為Ps的狀態(tài)流入。之后，從流入口30流出的清洗劑的速度從水槽40中的高速變?yōu)榈退?。此外，通過多孔板50的清洗劑變?yōu)閷恿鞑U(kuò)散到玻璃基片的表面上(圖中未示出)。
圖5a是表示高速噴淋裝置另一個(gè)實(shí)施例的視圖，圖5b是圖5a的局部放大圖。圖6是用于解釋圖5a和圖5b的參考視圖。
參照附圖，通過多孔板50產(chǎn)生的層流被連接裝置60分層(exfoliated)從而產(chǎn)生旋渦?？梢酝ㄟ^控制連接裝置60的尺寸a和相鄰連接裝置的間距b，來消除旋渦。為了避免旋渦，在這個(gè)實(shí)施例中，間距b是尺寸a的3-5倍。
在圖中，Pm是多孔板50下部的壓力，h是相鄰噴嘴之間的間隙，F(xiàn)m是作用在間隙h上的力。為了補(bǔ)償相鄰噴嘴之間的間隙的彈性變化而設(shè)置了連接裝置70。
圖7是表示高速噴淋裝置另一個(gè)實(shí)施例的視圖。
在這個(gè)實(shí)施例中，借助于速度能和碰撞能同時(shí)對玻璃基片10的上部和下部進(jìn)行清洗。
圖8是表示高速噴淋裝置另一個(gè)實(shí)施例的視圖。
在這個(gè)實(shí)施例中，和圖7類似，高速噴淋裝置連續(xù)設(shè)置在一平面上以及上和下部。
圖7、圖8的結(jié)構(gòu)是以圖4-圖6為基礎(chǔ)。因此其部件的詳細(xì)描述被省略。
V型空氣刮刀圖9a和9b是表示根據(jù)本發(fā)明的多功能清洗模塊中的V型空氣刮刀的視圖。
參照圖9a和圖9b，根據(jù)本發(fā)明的V型空氣刮刀5包括上和下空氣刮刀5a、5b，以及流入孔和流出孔(圖中未示出)。
在圖9a中，清洗劑被移向玻璃基片10的中心區(qū)域；而在圖9b中，清洗劑被移向玻璃基片10的邊側(cè)區(qū)域。
在這個(gè)實(shí)施例中，玻璃基片10是在V型空氣刮刀5靜止的狀態(tài)下移動。但是，也有可能在玻璃基片10是靜止的情況下，移動V型空氣刮刀5。
驅(qū)動部圖10是用于解釋根據(jù)本發(fā)明的多功能清洗模塊中的驅(qū)動部的工作原理的視圖。
參照圖10，驅(qū)動部的噴射閥包括水槽250和多孔板260。
首先，壓力為P2、量為Q2的上浮流體流入水槽250，這時(shí)，量Q2等同于水槽250中的量Q4，而水槽250中的壓力變小。
其次，不考慮能量損耗，假設(shè)勢能一樣，依據(jù)關(guān)于速度能轉(zhuǎn)化為壓力能的伯努利方程，水槽250中的壓力P4快速增長。
另一方面，因?yàn)槎嗫装?60的直徑小，上浮流體在水槽250中壓力均勻；并從而通過多孔板260，可以在噴射閥上和玻璃基片10下方維持均勻的壓力P6。
接著通過玻璃基片10均勻分布的重量W和均勻噴射壓力P6，使噴射閥和玻璃基片10之間保持均勻間隙h，從而玻璃基片10和噴射閥相互間不接觸。
標(biāo)記A代表玻璃基片10的運(yùn)動方向。
圖11是用于解釋驅(qū)動部另一個(gè)工作原理的視圖。
在這種情況下，由于噴射壓力和清洗劑的重量會引起重心瞬時(shí)振動，所以在玻璃基片10的上和下部提供噴射閥。上和下噴射閥各自距玻璃基片10的表面的距離小于1mm地設(shè)置；從而上噴射閥提供的壓力P1等于下噴射閥提供的壓力P2。
圖中，標(biāo)記250a和250b代表水槽，標(biāo)記260a和260b代表多孔板。
圖12a是表示根據(jù)本發(fā)明的多功能清洗模塊中的驅(qū)動部的一個(gè)實(shí)施例的平面圖，而圖12b是圖12a的側(cè)視圖。
參照圖12a和圖12b，驅(qū)動部包括驅(qū)動輥210、玻璃運(yùn)輸車(cart)270、運(yùn)輸線(wire)280、噴射閥290。
玻璃運(yùn)輸車270通過電力傳輸線(圖中未示出)與驅(qū)動輥210相連接。玻璃基片10被噴射閥290浮起，而后被放置在玻璃運(yùn)輸車270中。
圖13a是表示驅(qū)動部另一個(gè)實(shí)施例的平面圖，圖13b是圖13a的側(cè)視圖。
在這個(gè)實(shí)施例中，除了圖12a和圖12b中描述的玻璃運(yùn)輸車270之外，所有部件與前文所述相同。
圖14是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的清洗設(shè)備的示意性側(cè)視圖。
參照圖14，清洗設(shè)備包括進(jìn)行裝載和卸載玻璃基片10的驅(qū)動部340；具有多個(gè)氣簾、eximer紫外光照射裝置、刷、高速噴淋裝置、和空氣刮刀的多功能清洗模塊300，在此這些部件連續(xù)地布置在一個(gè)平面上，而玻璃基片可以被連續(xù)地插入其中；用于收集清洗劑350，例如去離子水的支撐板320；以及水槽330。
圖中，標(biāo)記A代表玻璃基片10的運(yùn)動方向，標(biāo)記B代表多功能清洗模塊300的運(yùn)動方向。
圖15是根據(jù)本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的清洗設(shè)備的示意性側(cè)視圖。
在這個(gè)實(shí)施例中，除了多功能清洗模塊300是固定的之外，所有的部件與前文所述相同。
根據(jù)本發(fā)明，通過使用部件集成化的多功能清洗模塊，減小了安裝面積，并且可以有效地控制FAB空間。
此外，根據(jù)本發(fā)明，通過使用多功能清洗模塊，可以提高平板顯示器例如液晶顯示裝置的產(chǎn)量。
本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解，以上描述只是所公開裝置的優(yōu)選實(shí)施例，而在不違背本發(fā)明的范圍和精髓的情況下，可以對本發(fā)明作出各種改進(jìn)和變化。
權(quán)利要求
1.一種用于平板顯示器的多功能清洗模塊，包括多個(gè)氣簾；eximer紫外光照射裝置；刷；高速噴淋裝置；以及V型空氣刮刀，其中，氣簾、eximer紫外光照射裝置、刷、高速噴淋裝置、和空氣刮刀被連續(xù)地布置在一個(gè)平面上，而玻璃基片可以被連續(xù)地插入它們之中。
2.如權(quán)利要求1所述的多功能清洗模塊，其特征在于，eximer紫外光照射裝置包括燈殼、圓柱形石英管、以及在圓柱形石英管內(nèi)的紫外燈。
3.如權(quán)利要求2所述的多功能清洗模塊，其特征在于，紫外燈包括多個(gè)外電極、內(nèi)電極、和燈電源。
4.如權(quán)利要求2所述的多功能清洗模塊，其特征在于，反射膜設(shè)置在圓柱形石英管內(nèi)以便反射紫外燈產(chǎn)生的紫外光。
5.如權(quán)利要求1所述的多功能清洗模塊，其特征在于，高速噴淋裝置包括清洗劑在其內(nèi)流動的水槽以及用于使清洗劑變?yōu)閷恿鞑U(kuò)散到玻璃基片的表面上的多孔板。
6.如權(quán)利要求5所述的多功能清洗模塊，其特征在于，在玻璃基片的上和下部均設(shè)置有高速噴淋裝置。
7.如權(quán)利要求5所述的多功能清洗模塊，其特征在于，高速噴淋裝置噴淋蝕刻劑或顯影劑。
8.如權(quán)利要求1所述的多功能清洗模塊，其特征在于，V型空氣刮刀包括相對于玻璃基片的上空氣刮刀和下空氣刮刀，以及用于空氣的流入孔和流出孔。
9.如權(quán)利要求1所述的多功能清洗模塊，還包括驅(qū)動輥；玻璃運(yùn)輸車；用于運(yùn)送玻璃運(yùn)輸車的運(yùn)輸線；以及具有水槽和多孔板的噴射閥。
10.一種平板顯示器的清洗設(shè)備，包括進(jìn)行裝載和卸載玻璃基片的驅(qū)動部；具有多個(gè)氣簾、eximer紫外光照射裝置、刷、高速噴淋裝置、和空氣刮刀的多功能清洗模塊，在此這些部件連續(xù)地布置在一個(gè)平面上，而玻璃基片可以被連續(xù)地插入其中；用于收集清洗劑的支撐板；以及水槽。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種多功能清洗模塊,包括:多個(gè)氣簾、eximer紫外光照射裝置、刷、高速噴淋裝置、和空氣刮刀,在此這些部件被連續(xù)的布置在一個(gè)平面上,而玻璃基片可以被連續(xù)地插入它們之中。也公開了一種應(yīng)用該多功能清洗模塊的清洗設(shè)備,其包括:執(zhí)行裝載和卸載玻璃基片的驅(qū)動部以及所述多功能清洗模塊。
文檔編號B65G49/00GK1344590SQ01123278
公開日2002年4月17日 申請日期2001年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2000年6月29日
發(fā)明者樸庸碩, 韓占烈, 金貞真, 樸炳厚 申請人:株式會社D.M.S