專利名稱：有機電致發(fā)光元件制程的基板傳送裝置的制作方法
技術領域：
本設計屬于一種傳送裝置，特別是指一種有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置。
已知的有機電致發(fā)光顯示器制程設施配置如


圖1所示，于一帶狀基板傳送區(qū)91的兩側分設有預處理單元921，921＇、顯示面板制備單元922，922＇、發(fā)光材料鍍膜單元923，923＇、陰極鍍膜單元924，924＇及封裝單元925，925＇等獨立的密封區(qū)域?；逵扇肟?3送入前，需將整個基板傳送區(qū)91抽至真空狀態(tài)，然后推入預處理單元921，并配合該單元的氣體環(huán)境而調整其真空度，或噴入保護性的純化氣體如氮氣或氬氣，進行如清洗等程序；預處理完畢后，需再使整個基板傳送區(qū)91呈現(xiàn)真空狀態(tài)，才將基板推出預處理單元921，及送至顯示面板制備單元922；如此依序完成整個制程。此等設施的主要缺點在于基板由一單元移至另一單元時，往往需將整個基板傳送區(qū)抽至真空狀態(tài)，而后可能需調整其真空度或再破真空而曝大氣，不僅容易造成基板受空氣污染且耗費動力，各單元的空間配置亦受限于流程，且對于不同操作時間的單元可能造成延宕或累積，且對設備的維修保養(yǎng)不易。
本設計的另一目的在提供一種有機電致發(fā)光顯示器(OEDL)制程的基板傳送裝置，可使基板于傳送過程中免現(xiàn)遭外界大氣污染，并減少動力的耗費。
為實現(xiàn)上述目的一種有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，主要包括一基板傳動腔，該基板傳動腔由一殼體形成一密閉空間，其內部可容置基板，該殼體另一設有開口，而該開口具有一閘門；至少一制程區(qū)，該制程區(qū)由一殼體形成一密閉空間，該殼體另設有一開口，而該開口具有一閘門，該制程區(qū)內部尚包括一制程機臺；及一用以將該基板傳動腔移至該制程機臺的移動單元，該基板傳動腔移動開口對應于該制程機臺開口位置；一用以銜接該基板傳動腔移動開口與該制程機臺開口的銜接單元；及一用以控制該基板傳動腔密閉空間及/或該制程區(qū)密閉空間內部環(huán)境的環(huán)境控制單元。
一般有機電致發(fā)光顯示器制程中包括預處理單元、顯示面板制備單元、發(fā)光材料鍍膜單元、陰極鍍膜單元及封裝單元。然而各單元可能于不同氣體環(huán)境中操作，因此于基板傳送過程中，基板傳動腔需先調整至如各制程機臺的環(huán)境條件，再進行基板的傳送。
本設計主要包括的一基板傳動腔、一制程區(qū)、一移動單元、一銜接單元及一環(huán)境控制單元，其形式及功能則分述如下。
基板傳動腔由一殼體形成一密閉空間，其內部可容置基板，該殼體則設有具閘門的開口。本設計的基板傳動腔世界形勢本身設有輪子而可自由移動，以便該基板傳動腔移動至該制程機臺，并可使該基板傳動腔移動的開口對應于該制程機臺的開口位置。基板傳動腔的殼體尚可設置供人員取出或置入基板的工作門，或增設復數(shù)個閘門，以由不同方向傳送基板，也可設一視窗以檢視內部狀態(tài)。而基板傳動腔與制程機臺得對應設置適當?shù)亩ㄎ辉缯婵战宇^或扣件，使彼此緊密接合。
上述的制程區(qū)亦由一殼體形成一密閉空間，該殼體并設有具閘門的開口。該制程區(qū)的內部包括至少一制程機臺及一基板存取單元。其中該制程機臺用以進行有機電致發(fā)光顯示器制作過程中的特定程序；而該基板存取單元通常為一機械手臂，用以將有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送于該基板傳動腔與該制程機臺之間。
銜接單元用以銜接該基板傳動腔的開口與該制程機臺的開口，促使該基板傳動腔的密閉空間與該制程機臺的密閉空間相通且保持密閉。該銜接單元可僅為類似如扣件或真空接頭等的定位元件，亦可設有一基板定位轉換腔，使其一端固接于制程區(qū)的閘門外側，另一端則設有定位元件以便與基板傳動腔緊密接合。
上述的環(huán)境控制單元可用以控制該基板傳動腔的密閉空間及/或該制程區(qū)的密閉空間的內部環(huán)境，其通常包括一抽氣泵、一氣體輸入器及一環(huán)境偵測器，用以控制基板傳動腔或制程區(qū)內的環(huán)境如壓力、溫度、氧氣、水分及保護性氣體的含量。該氣體輸入器用以輸入保護性氣體如純化之氮氣、氬氣或其他可保護基板不受污染的氣體；該環(huán)境偵測器除可偵測壓力、氧氣及水分等含量外，亦可增設控制功能，當該環(huán)境偵測器設于該基板傳動腔內部時，可隨時調整其環(huán)境以保護基板；該環(huán)境控制單元可為基板傳動腔專用，亦可為與制程機臺共用。上述裝置可視需要而設于適當位置，如單獨設于制程區(qū)周邊，或于不影響制程及傳送功能，且整體重量可接受的狀況下，容置于基板傳動腔或基板定位轉換腔中。
由本設計的基板傳送裝置，使基板傳送前，可先以環(huán)境控制單元調整基板傳動腔內部環(huán)境至如各制程機臺，再開啟二者間的閘門，然后以基板存取單元如機械手臂進行基板的傳送；傳送完成后，再視需要以氣體輸入器械將保護性氣體輸入基板傳動腔內部，并移動至下一制程單元。本設計于傳送過程因保持真空或充滿可保護基板的氣體，可使基板免遭外界大氣污染，且由于各模塊的制程可獨立操作，益使各制程設備的廠房配置更具有彈性。
以下結合附圖和實施例作具體說明，其中
圖1為已知的基板傳送相關設施的配置示意圖，圖2為本設計實施例1的俯視圖，圖3為本設計實施例2的立體示意圖。
圖中基板定位轉換腔20的開口端21兩側設有鉤型定位元件221、222，當基板傳動腔10的柱型定位元件121，122扣合，以使二者緊密相連。當二者扣合后即可以抽氣泵40將基板定位轉換腔20抽真空。然后開啟閘門11，繼續(xù)將基板傳動腔10與基板定位轉換腔20內部的環(huán)境調整至如制程區(qū)30，并由設定于基板定位轉換腔20的環(huán)境偵測器60確認其壓力、氧氣及水份含量。
接著再開啟制程區(qū)30的第二閘門31，使設于制程區(qū)30的機械手臂33可將基板由制程機臺34、34＇或34＂經基板定位轉換腔20傳送至基板傳動腔10。
基板傳送完成后，制程區(qū)30的第二閘門31先予關閉，并由氣體輸入器50經基板定位轉換腔20輸入氮氣至基板傳動腔10。當基板傳動腔10內的氮氣壓力達定壓后，停止輸入氮氣并關閉第一閘門11。將基板定位轉換腔20兩側的鉤型定型元件121、122脫離基板傳動腔10的柱型定位元件121、122后，基板傳動腔10與基板定位轉換腔20便可完全分離，并循軌道80移至另一制程區(qū)30＇。
實施例2本實施例如圖3所示，本實施例大致與實施例1同，但制程區(qū)30的第二閘門31可與基板傳動腔10的第一閘門11以定位元件121、122及321、322直接扣合；而基板傳動腔10設有輪子可任意推移，且其前后皆設有閘門11，11＇，以利由不同方向傳送基板，內部的基板載臺14則可由升降部15移至適當高度。抽氣泵40、氣體輸入器50及環(huán)境偵測器60設于制程區(qū)30前，并以管線邊至基板傳動腔10。
本設計的基板傳送裝置，尤其其中可移動的基板傳動腔與各處理程序的制程區(qū)可獨立操作，并因其過程保持真空及密閉性，可使基板于傳送過程中免遭外界大氣污染，并減少動力的耗費。
權利要求1.一種有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，其特征在于，該裝置主要包括一基板傳動腔，該基板傳動腔由一殼體形成一密閉空間，其內部可容置基板，該殼體另一設有開口，而該開口具有一閘門；至少一制程區(qū)，該制程區(qū)由一殼體形成一密閉空間，該殼體另設有一開口，而該開口具有一閘門，該制程區(qū)內部尚包括一制程機臺；及一用以將該基板傳動腔移至該制程機臺的移動單元，該基板傳動腔移動開口對應于該制程機臺開口位置；一用以銜接該基板傳動腔移動開口與該制程機臺開口的銜接單元；及一用以控制該基板傳動腔密閉空間及/或該制程區(qū)密閉空間內部環(huán)境的環(huán)境控制單元。
2.如權利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，其特征在于，其中該基板傳送裝置包括一基板存取單元。
3.如權利要求2所述的有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，其特征在于，其中該基板存取單元為一機械手臂。
4.如權利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，其特征在于，其中該移動單元為一滑行軌道。
5.如權利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，其特征在于，其中該銜接單元為一基板定位轉換腔，該基板定位轉換腔的一端固接于制程區(qū)的閘門外側，另一端設有可與基板傳動腔緊密接合的定位元件。
6.如權利要求5所述的有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，其特征在于，其中該定位元件為一扣件。
7.如權利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，其特征在于，其中該銜接單元為一定位元件。
8.如權利要求7所述的有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，其特征在于，其中該定位元件為一扣件。
9.如權利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，其特征在于，其中該環(huán)境控制單元包括一氣體輸入器。
10.如權利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，其特征在于，其中該環(huán)境控制單元包括一抽氣泵。
11.如權利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，其特征在于，其中該環(huán)境控制單元包括一環(huán)境偵測器。
12.如權利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，其特征在于，其中該環(huán)境偵測器設于該基板傳動腔中。
13.如權利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置，其特征在于，其中該環(huán)境控制單元包括一去靜電離子源。
專利摘要本設計揭示一種有機電致發(fā)光顯示器制程的基板傳送裝置,包括一設于制程機臺前側,具有緩沖效果的基板定位轉換腔。本設計于傳送過程中因保持真空或充滿可保護基板的氣體,可使基板免遭外界大氣污染,且由于各模組的制程可獨立操作、增加制程操作彈性,使各制程設備的廠房配置更具空間效益。
文檔編號B65G47/74GK2487193SQ0122887
公開日2002年4月17日 申請日期2001年7月17日 優(yōu)先權日2001年7月17日
發(fā)明者張毅, 劉榮隆, 楊志仁, 郭志明, 王智益, 盧添榮 申請人:錸寶科技股份有限公司