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      氣障性合成樹脂制容器及其制造裝置以及裝入物品的氣障性合成樹脂制容器的制作方法

      文檔序號(hào):4388833閱讀:204來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:氣障性合成樹脂制容器及其制造裝置以及裝入物品的氣障性合成樹脂制容器的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及氣障性合成樹脂制容器及其制造裝置以及裝入物品的氣障性合成樹脂制容器。
      背景技術(shù)
      當(dāng)前,合成樹脂制容器作為飲料等的包裝容器正在普及。例如作為啤酒等易氧化的內(nèi)裝物的包裝容器,要求氣障性。
      但是,作為飲料用容器當(dāng)前用得最多的容器的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯(PET)制瓶子不能滿足啤酒所要求的氣障性。
      一般來(lái)說(shuō),為了補(bǔ)償PET樹脂的氣障性,把瓶子壁取為多層結(jié)構(gòu),制造取為PET樹脂和氣障性樹脂的疊層結(jié)構(gòu)的瓶子。
      代替這些,作為提供氣障性容器的手段最近引人注目的是通過(guò)CVD(化學(xué)氣相成長(zhǎng))的涂層技術(shù)。
      特別是所謂DLC(類金剛石碳)蒸氣沉積的技術(shù)可以賦予包裝容器以非常高的氣障性。
      此一DLC蒸氣沉積法在特許第2788412號(hào)、特開平11-256331號(hào)、特開2000-43875號(hào)等中公開,關(guān)于DLC膜及其性質(zhì)在特許第2788412號(hào)中詳細(xì)公開。
      在這些公報(bào)中具體地公開的容器是在容器內(nèi)壁上形成DLC膜,在特開2000-43875號(hào)中雖然說(shuō)到可以在容器外壁上形成DLC膜,但是關(guān)于其制造裝置等完全沒(méi)有具體的公開。
      如果在容器內(nèi)壁上形成DLC膜,則特別是在內(nèi)裝物為飲料的場(chǎng)合存在著消費(fèi)者的抵抗感。

      發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明在于提供一種適于在容器外壁上涂敷DLC膜的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,以及由它所制造的氣障性合成樹脂制容器和裝入物品的氣障性合成樹脂制容器。
      為要在容器外壁上涂敷DLC膜,設(shè)置配置于容器內(nèi)部的內(nèi)部電極是必不可少的。在所謂細(xì)口容器中,即使可以從細(xì)口的開口部把內(nèi)部電極插入容器內(nèi)部,該內(nèi)部電極的外徑對(duì)于容器筒部的直徑來(lái)說(shuō)也過(guò)小,無(wú)法在外壁表面上大致均勻地形成DLC膜。
      在本發(fā)明中DLC膜成膜的對(duì)象有開口部、與之延續(xù)的筒部和封閉前述筒部的底部,決定取為作為開口部的最小內(nèi)徑與筒部的最大內(nèi)徑之差小的廣口的合成樹脂容器,在其外壁上形成類金剛石碳膜。作為廣口的容器,是開口部的最小內(nèi)徑大于筒部的最大內(nèi)徑的類型,和開口部的最小內(nèi)徑小于筒部的最大內(nèi)徑,且其差在20mm以內(nèi)的類型。
      根據(jù)這些廣口容器用的本發(fā)明的一種形態(tài)的制造裝置可以包括支持前述容器的前述開口部的基臺(tái),突出地配置于前述基臺(tái)上,經(jīng)由前述開口部插入前述容器內(nèi)的內(nèi)部電極,氣密地保持支持于前述基臺(tái)上的前述容器的周圍空間的外部電極,將前述周圍空間真空排氣的真空泵,向前述周圍空間供給含有碳原子的氣體的氣體供給裝置,以及用前述內(nèi)部電極和前述外部電極,在前述周圍空間中生成等離子體用的等離子體激勵(lì)部。
      在本發(fā)明的一種形態(tài)中,從廣口的開口部插入容器內(nèi)部的內(nèi)部電極的外徑對(duì)于容器筒部的內(nèi)徑可以確保足夠的大。在此一制造裝置中,在容器外壁與外部電極的周圍空間中形成含有碳原子的氣體的等離子體,可以在容器的外壁上大致均勻地形成DLC膜。
      進(jìn)而,在容器內(nèi)壁上形成DLC膜時(shí),像特許第2788412號(hào)那樣,要求外部電極取為與容器的外形幾乎相似形,還產(chǎn)生外部電極的加工復(fù)雜而高價(jià)的問(wèn)題。在本發(fā)明的一種形態(tài)中由于外部電極的形狀沒(méi)有必要一定取為與容器外形的相似形,所以也可以解決上述問(wèn)題。
      再者,外部電極的內(nèi)壁面與前述筒部的外壁面的離開距離可以設(shè)定成10~25mm。這樣一來(lái),確保氣體在前述周圍空間中的順利的移動(dòng),并且可以在前述周圍空間中激勵(lì)有助于向容器外壁上的成膜的等離子體。
      在本發(fā)明的另一種形態(tài)中,這樣一來(lái),可以提供在這些制造裝置中制造,形成了類金剛石碳膜的氣障性合成樹脂制容器。
      在根據(jù)本發(fā)明的一種形態(tài)的制造裝置中,在容器的開口部的最小內(nèi)徑大于筒部的最大內(nèi)徑的廣口容器的場(chǎng)合,內(nèi)部電極可以取為實(shí)質(zhì)上貼緊于容器的內(nèi)表面上的形狀。
      內(nèi)部電極可以內(nèi)藏給該內(nèi)部電極與容器的內(nèi)表面之間排氣的排氣部。這樣一來(lái),可以防止空氣等從內(nèi)部電極與容器的內(nèi)表面之間的空間漏進(jìn)處理空間。
      可以有把來(lái)自前述氣體供給裝置的氣體從支持于前述基臺(tái)上的前述容器的前述開口部一側(cè)引入前述容器的周圍的氣體引入口。進(jìn)而,可以跨越前述容器的前述開口部的全圓周環(huán)狀地形成此一氣體引入口。這樣一來(lái),在容器的圓周方向上氣體均勻地流動(dòng),所形成的膜的膜質(zhì)和膜厚在圓周方向上均一化。在此一場(chǎng)合,外部電極可以在前述容器上與前述底部對(duì)峙的位置上有連接于前述真空泵上的氣體排出口。此外,在此一場(chǎng)合,氣體排出口的直徑出于與排氣導(dǎo)納的關(guān)系,設(shè)定得大于環(huán)狀的前述氣體引入口的內(nèi)外徑的尺寸差。
      在環(huán)狀的氣體引入口的氣體引入方向的上游,可以設(shè)置形成氣體引入室的外周壁。在此一場(chǎng)合,可以還包括在該氣體引入室內(nèi)預(yù)備激勵(lì)前述氣體的預(yù)備激勵(lì)部。這樣一來(lái),可以在到達(dá)容器的開口部以前就把氣體等離子體化。此一預(yù)備激勵(lì)部雖然可以采用微波等各種激勵(lì)手段,但是也可以用一對(duì)電極來(lái)形成。在此一場(chǎng)合,一對(duì)電極的一方通過(guò)前述內(nèi)部電極從前述容器的開口部向外側(cè)露出而形成,前述一對(duì)電極的另一方可以在前述外部電極和前述外周壁的某一方上形成。
      可以有使前述外周壁相對(duì)前述外部電極接近遠(yuǎn)離的驅(qū)動(dòng)裝置。此一驅(qū)動(dòng)裝置可以與前述外周壁一起經(jīng)由前述基臺(tái)相對(duì)于前述外部電極的內(nèi)外來(lái)驅(qū)動(dòng)前述內(nèi)部電極。
      前述內(nèi)部電極可以有配置于前述開口部?jī)?nèi)并保持前述容器的保持部,和從前述保持部向上延伸的電極棒部。這里,容器在前述開口部可以有薄壁而向外側(cè)擴(kuò)展的卷邊用突緣。為了不在此一突緣上形成類金剛石碳膜,用絕緣構(gòu)件來(lái)形成保持前述突緣的前述保持部的外周面就可以了。
      前述容器可以有從前述底部向外突出的多個(gè)腳部。在此一場(chǎng)合,內(nèi)部電極可以在與多個(gè)腳部對(duì)峙的位置上有多個(gè)突起部。
      根據(jù)本發(fā)明的另外一種形態(tài)的制造裝置是在包括開口部,與之延續(xù)的筒部和封閉前述筒部的底部的合成樹脂制容器的外壁上形成膜的裝置,其處理對(duì)象不限定于廣口容器,也可以是細(xì)口容器等其他容器。
      這種根據(jù)本發(fā)明的另外一種形態(tài)的制造裝置包括支持前述容器的前述開口部的基臺(tái),突出地配置于前述基臺(tái)上,經(jīng)由前述開口部插入前述容器內(nèi)的內(nèi)部電極,氣密地保持支持于前述基臺(tái)上的前述容器的周圍空間的外部電極,將前述周圍空間真空排氣的真空泵,向前述周圍空間供給含有碳原子的氣體的氣體供給裝置,用前述內(nèi)部電極和前述外部電極在前述周圍空間中生成等離子體用的等離子體激勵(lì)部,以及把來(lái)自前述氣體供給裝置的氣體從支持于前述基臺(tái)上的前述容器的前述開口部一側(cè)引入前述容器的周圍的環(huán)狀的氣體引入口。
      設(shè)置環(huán)狀氣體引入口的效果是氣體在容器的圓周方向上均勻地流動(dòng),所形成的膜的膜質(zhì)和膜厚在圓周方向上均一化,此一效果除了廣口容器、細(xì)口容器之外,就其他種種容器來(lái)說(shuō)也可以收到。
      金屬制罐蓋最好是雙重卷邊在此一容器的開口部上所形成的卷邊用突緣上。因?yàn)橛媒饘僦乒奚w可以確保罐蓋處的氣障性。在此一場(chǎng)合,前述金屬蓋所雙重卷邊的前述突緣既可以形成類金剛石碳膜,也可以不形成。因?yàn)榇艘徊糠值臍庹闲钥梢杂媒饘偕w來(lái)確保。如果不在突緣上形成類金剛石碳膜,則可以防止容器的變形,可以消除類金剛石碳可能帶給雙重卷邊的不良影響。在開口部的封閉機(jī)構(gòu)本身沒(méi)有氣障性的場(chǎng)合,例如在塑料蓋的場(chǎng)合,最好是在突緣上也形成類金剛石碳膜。


      圖1是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的容器(PET制罐)的概略說(shuō)明圖。
      圖2是在圖1中所示的容器中灌裝了啤酒后雙重卷邊金屬蓋的PET制罐啤酒的概略說(shuō)明圖。
      圖3是表示作為圖1中所示的容器用的制造裝置的本發(fā)明的第1
      圖4是表示作為圖1中所示的容器用的制造裝置的本發(fā)明的第2
      圖5是表示作為圖1中所示的容器用的制造裝置的本發(fā)明的第3
      圖6是表示作為與圖1不同的容器用的制造裝置的本發(fā)明的第4
      具體實(shí)施例方式
      下面,參照附圖就本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
      &lt;第1實(shí)施例&gt;
      (PET制罐和裝入啤酒的PET制罐的說(shuō)明)圖1是氣障性合成樹脂制容器例如PET制罐等容器10的圖,此一容器10包括開口部12,與之延續(xù)的筒部14和封閉該筒部14的底部16。
      在開口部12上形成向外擴(kuò)展的薄壁的突緣12A。底部16作為例如可以自立的結(jié)構(gòu)有例如5個(gè)腳部16A。
      開口部12的最小內(nèi)徑Dmin小于筒部14的最大內(nèi)徑Dmax,而且其差為20mm以內(nèi),容器10是所謂廣口容器。
      圖2示出在此一容器10中灌裝內(nèi)裝物例如啤酒,在開口部12的突緣12A上雙重卷邊了金屬例如鋁制罐蓋20的裝入啤酒的PET制罐30。
      在圖1和圖2中所示的容器10的筒部14和底部16的外壁上形成DLC膜18(參照?qǐng)D1),未形成DLC膜18的突緣12A用圖2中所示的鋁制罐蓋20覆蓋,靠DLC膜18和鋁制罐蓋20來(lái)確保對(duì)內(nèi)部的啤酒的氣障性。此外,雖然雙重卷邊的突緣12A例如形成比筒部14薄壁而容易卷邊地形成,但是在此一部分上不形成DLC膜,借此維持其柔軟性。
      (制造裝置的構(gòu)成及制法的說(shuō)明)圖3示出制造圖1中所示的容器10用的制造裝置之一例。再者,在圖3中,用粗線表示容器10的斷面(圖4也同樣)。圖3中所示的制造裝置大致區(qū)分包括基臺(tái)100、下部固定板110、外部電極120、上部升降板130、內(nèi)部電極140、匹配箱150和高頻電源160。
      在圖3中,在絕緣性的基臺(tái)100的中央臺(tái)階部102上倒立放置著容器10。此一基臺(tái)100固定于下部固定板110。設(shè)有能夠?qū)Υ艘换_(tái)100接近遠(yuǎn)離地升降的筒狀的外部電極120。此一外部電極120固定于靠未畫出的驅(qū)動(dòng)裝置升降的上部可動(dòng)板130。
      在外部電極120和上部可動(dòng)板130的中心連接著氣體引入管122,能夠從未畫出的氣體源供給一種或多種氣體。此外,在外部電極120的下端側(cè),在圓周方向上連接著多個(gè)真空排氣管124。此一真空排氣管124的連接高度位置低于放置在基臺(tái)100的中央臺(tái)階部102上的突緣12A的高度位置。此一真空排氣管124連接于未畫出的真空泵上。此外,在外部電極120的下端設(shè)有密封與基臺(tái)100之間的間隙的O形圈等密封構(gòu)件126。
      在基臺(tái)100的中央臺(tái)階部102上設(shè)有配置于容器10的內(nèi)部的內(nèi)部電極140。此一內(nèi)部電極140包括配置于開口部12的突緣12A內(nèi)并保持容器10的保持部142,和從該保持部142向上延伸,外徑小于保持部142的電極棒部144。保持部142的至少外壁也可以用絕緣材料來(lái)形成。
      在下部固定板110的下表面上固定著匹配箱150,經(jīng)由通電軸部146與內(nèi)部電極140電連接。此一匹配箱150對(duì)從高頻電源160所供給的高頻電力進(jìn)行阻抗整合并供給到內(nèi)部電極140。
      在圖3的裝置中,在使外部電極140上升的狀態(tài)下,把容器10以開口部12朝下的倒立狀態(tài)放置在基臺(tái)100的中央臺(tái)階部102上。此時(shí),容器10的突緣12A與保持部142例如嵌合,以倒立狀態(tài)保持容器10。此外,內(nèi)部電極140的電極棒部144與容器10的內(nèi)壁不接觸地配置于容器10內(nèi)。再者,也可以使圖3的上下顛倒,使容器10成為正立狀態(tài)。
      此后,使外部電極120與上部可動(dòng)板130一起下降,使外部電極120下端的密封構(gòu)件126貼緊基臺(tái)100的上表面。借此,容器10的周圍空間靠基臺(tái)100與外部電極120氣密地密封。再者,外部電極120形成為圓筒狀,外部電極120的內(nèi)徑設(shè)定成比筒部14的外徑大20~50mm。因而,在容器10的筒部14的周圍,就在與離開距離10~25mm的外部電極120之間形成氣密的周圍空間。
      因?yàn)槿萜?0是廣口容器,特別是罐筒,故外部電極120可以是圓筒狀的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu),進(jìn)而由于容器肩部幾乎沒(méi)有縮徑,所以在容器10與外部電極120之間沒(méi)有無(wú)用的空間,抽真空的泵的容量或周期的縮短成為可能。
      接著,使未畫出的真空泵驅(qū)動(dòng),經(jīng)由真空排氣管124將容器10的周圍空間抽真空。如果該周圍空間達(dá)到規(guī)定的真空度,則從氣體引入管122引入處理氣體使處理氣體充滿周圍空間,并且經(jīng)由匹配箱150和通電軸部146把來(lái)自高頻電源160的高頻電力供給到內(nèi)部電極140。再者,也可以一邊以一定流量供給處理氣體一邊同時(shí)排氣,使周圍空間中的氣體壓力成為幾乎恒定的。此時(shí),最好是像圖3那樣配置氣體引入管122、真空排氣管124,以便處理氣體均勻地接觸于容器10的外壁上。
      通過(guò)以上的動(dòng)作,靠外部電極120和內(nèi)部電極140間的電場(chǎng)能量來(lái)激勵(lì),在容器10的周圍空間中生成等離子體。
      這里,如果作為處理氣體采用例如乙炔等含有碳原子的氣體,則由等離子體生成帶正電荷的碳離子。另一方面,內(nèi)部電極140自偏壓成負(fù)的電位。因此,正的碳離子向容器10的外壁飛翔,靠碰撞時(shí)的能量在外壁上碳彼此結(jié)合而形成致密的DLC膜18。這樣一來(lái),在容器10的筒部14和底部16上形成大致均勻的DLC膜18,可以確保氣障性。
      再者,因?yàn)樵谕痪?2A的內(nèi)側(cè)存在著外壁由絕緣材料所形成的保持部142,故在突緣12A的外壁上不形成DLC膜18。如果在突緣12A的外壁上不形成DLC膜18,則處理時(shí)間比較短就可以了,可以減少容器10變形的原因。
      此后,將周圍空間內(nèi)的處理氣體排氣,在周圍空間內(nèi)充入清洗氣體并恢復(fù)到大氣壓后,使外部電極120上升。借此可取出在外壁上形成了DLC膜18的容器10。
      &lt;第2實(shí)施例&gt;
      圖4示出與圖3不同的制造裝置。再者,對(duì)圖4中具有與圖3中所示的構(gòu)件同一功能的構(gòu)件賦予與圖3同一標(biāo)號(hào)而省略其詳細(xì)說(shuō)明。
      在圖4中,在外部電極200上經(jīng)由匹配箱150連接著高頻電源160,把內(nèi)部電極220經(jīng)由通電軸部222接地。因?yàn)槭沁@種構(gòu)成,故可使外部電極200固定于上部固定板210上,靠下部可動(dòng)板230使基臺(tái)100相對(duì)外部電極200接近、遠(yuǎn)離。此外,在氣體引入管122連接于外部電極200的上部中心的一方,多個(gè)真空排氣管124連接于基臺(tái)100上。這樣一來(lái),實(shí)現(xiàn)與圖3的制造裝置同樣的氣體的流動(dòng)。
      內(nèi)部電極220雖然與圖3同樣具有容器10的保持功能,但是在圖4中向容器10內(nèi)突出的長(zhǎng)度設(shè)定得短,例如內(nèi)部電極220的頂面設(shè)定于與容器10的肩部(從開口部向筒部過(guò)渡的過(guò)渡部分)相對(duì)應(yīng)的高度位置。
      在圖4的制造裝置中,雖然不像圖3的制造裝置那樣利用使正電荷的碳離子向自偏壓成負(fù)電位的電極一側(cè)飛翔,但是靠由外部電極200與內(nèi)部電極220之間的強(qiáng)電場(chǎng)所激勵(lì)的等離子體中的碳離子,可以在容器10的筒部14和底部16上形成DLC膜18。
      這里,如圖1中所示,容器10的開口部12的最小內(nèi)徑Dmin與筒部14的最大內(nèi)徑Dmax之差為20mm以內(nèi),容器10是所謂廣口容器。另一方面,具有稍小于其開口部12的最小內(nèi)徑Dmin的外徑的內(nèi)部電極220可以在容器10內(nèi)部確保比較寬廣的面積。由此,即使內(nèi)部電極不像圖3那樣一定突出到容器10內(nèi)部的深處,也可在容器10的周圍空間中形成足以激勵(lì)等離子體的電場(chǎng)。
      再者,容器10的突緣12A因?yàn)楸唤饘偕w20卷邊,所以與圖3的制造裝置的場(chǎng)合同樣,取為不形成DLC膜18的結(jié)構(gòu)。
      &lt;第3實(shí)施例&gt;
      圖5是使圖3的制造裝置變形的裝置。在圖5中,外部電極120在與容器10的底部16對(duì)峙的位置上有連接于未畫出的真空泵上的氣體排出口124。此外,外部電極120具有從支持于基臺(tái)100上的容器10的開口部12一側(cè)把來(lái)自未畫出的氣體供給裝置的氣體引入容器10的周圍的多個(gè)氣體引入口122。進(jìn)而,圖5中所示的內(nèi)部電極300,在其頂部上與容器10的多個(gè)腳部16A對(duì)峙的位置上有多個(gè)突起部302。在此一內(nèi)部電極300上貫通地設(shè)有排氣部304。此一排氣部304連通于設(shè)在基臺(tái)100上的排氣部102,排氣部102連接于未畫出的真空泵上。
      如果用圖5中所示的制造裝置,則從容器10的開口部12側(cè)的多個(gè)氣體引入口122所引入的氣體沿容器10的外壁與外部電極120之間的空間上升,在從氣體排氣口124排氣的過(guò)程中被等離子體化,靠此一等離子體中的碳離子可以在容器10的筒部14和底部16的外壁上形成DLC膜18。根據(jù)多個(gè)氣體引入口122的設(shè)定位置,可以在容器10的突緣12A上不形成DLC膜18。
      此外,由于經(jīng)由排氣部102、304給內(nèi)部電極300與容器10的內(nèi)壁之間的空間排氣,所以消除空氣等從此一空間漏到處理空間的情況。此外,在內(nèi)部電極300與容器10的內(nèi)壁之間的空間中不建立無(wú)用的等離子體,而且可以把容器10真空吸附于基臺(tái)100一側(cè)。
      進(jìn)而,由于在內(nèi)部電極100的頂部有多個(gè)突起部302,所以在從容器10的底部16突出的腳部16A上所形成的DLC膜18的膜厚被均勻化。
      &lt;第4實(shí)施例&gt;
      圖6示出在與圖1不同類型的廣口容器上形成DLC膜的制造裝置。此一廣口容器400包括開口部402、筒部404和底部406。此一容器10開口部402是最大直徑,筒部404的直徑例如隨著接近于底部406而減小。換句話說(shuō),容器400是開口部402的最小直徑大于筒部404的最大直徑的類型的廣口容器。
      接下來(lái),就制造裝置進(jìn)行說(shuō)明。在絕緣性的基臺(tái)500上設(shè)有露出電極510和內(nèi)部電極520。內(nèi)部電極520為與容器400的內(nèi)壁形狀相應(yīng)的形狀,內(nèi)部電極520實(shí)質(zhì)上成為貼緊容器400的內(nèi)壁的形狀。在本實(shí)施例中也是,分別在內(nèi)部電極520上設(shè)置排氣部522,在露出電極510上設(shè)置排氣部512,在基臺(tái)500上設(shè)置排氣部502,可以對(duì)容器400的內(nèi)壁與內(nèi)部電極520之間的空間排氣。
      在露出電極510上連接著貫通基臺(tái)500延伸的電極棒514。在此一電極棒514上經(jīng)由匹配箱150連接著高頻電源160。
      接地的外部電極530有與容器400的外壁形狀幾乎相似形的空洞部532,在其下端側(cè)設(shè)有氣體引入口534,在其上端設(shè)有排氣口536。氣體引入口534通過(guò)把內(nèi)部電極520設(shè)定于圖6中所示的處理位置上,在容器400的開口部402的周圍形成環(huán)狀的開口。再者,排氣口536的直徑設(shè)定成大于環(huán)狀的氣體引入口534的內(nèi)外徑的尺寸差。
      在外部電極530的下方,設(shè)有在與基臺(tái)500之間形成氣體引入室540用的外周壁550。在此一外周壁550上形成連接著氣體引入管560的氣體引入部552。
      再者,外周壁550可以與基臺(tái)500、露出電極510和內(nèi)部電極520整體地對(duì)外部電極530相對(duì)地接近、遠(yuǎn)離,設(shè)有進(jìn)行其接近、遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)的未畫出的驅(qū)動(dòng)裝置。
      接下來(lái)就圖6中所示的制造裝置的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。在使外周壁550與基臺(tái)500、露出電極510和內(nèi)部電極520整體地下降的狀態(tài)下,把容器400裝于內(nèi)部電極520上。然后,使外周壁550上升,設(shè)定成外部電極530和外周壁550氣密地連接的圖6中所示的狀態(tài)。
      然后,從排氣口406排氣,把氣體引入室540和與之連通的容器400的周圍空間抽真空。如果達(dá)到規(guī)定的真空度,則從氣體引入管560引入上述處理氣體,并且經(jīng)由匹配箱150把RF功率從高頻電源160供給到露出電極510和內(nèi)部電極520。
      引入氣體引入室540的氣體被在外加了RF功率的露出電極510與接地的外周壁550之間所形成的電場(chǎng)預(yù)備激勵(lì),在環(huán)狀的氣體引入口534的上游側(cè)生成等離子體。
      預(yù)備激勵(lì)了的氣體從環(huán)狀的氣體引入口534在其圓周方向以大致相等的速度引入容器400的周圍空間。引入此一周圍空間的氣體靠?jī)?nèi)部電極520與外部電極530之間的電場(chǎng)進(jìn)一步激勵(lì)而生成等離子體。
      通過(guò)這種等離子體的生成,可以在容器400的外壁上形成DLC膜18。特別是,靠在氣體引入口534的上游側(cè)的氣體引入室540中所生成的等離子體,可以在容器400的開口部402一側(cè)也形成DLC膜18。此外,因?yàn)閺沫h(huán)狀的氣體引入口534,氣體在容器400的周圍均等地流動(dòng),故可在容器400的圓周方向上形成均勻的膜厚和膜質(zhì)的DLC膜18。
      本發(fā)明并不僅限于上述實(shí)施例,在本發(fā)明的精神的范圍內(nèi)種種的變形實(shí)施是可能的。
      例如,雖然在上述實(shí)施例中作為處理氣體用乙炔,但是即使用甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、戊烷、己烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、十一烷、十二烷、二十烷之類飽和烴,或者乙烯、丙烯、甲基乙炔之類不飽和烴,或者苯、二甲苯、萘等芳香族烴的單體氣體,或者它們的組合,也同樣可以形成DLC膜18。進(jìn)而,即使在上述烴氣體的引入的同時(shí),引入氫、氮、氧或者氬氣的單體或它們的混合氣體,也可以形成與上述同樣的DLC膜18。
      此外,在用在開口部有螺紋部的塑料蓋作為蓋子的容器等中,把DLC膜形成到開口部,借此可以提高容器主體的氣障性。在此一場(chǎng)合,保持開口部的保持構(gòu)件也可以作為電極。
      此外,雖然在圖3中在基臺(tái)100上設(shè)置中央臺(tái)階部102,但是也可以取為平坦的基臺(tái),把排氣管連接于基臺(tái)100和絕緣構(gòu)件110上。
      此外,也可以在保持構(gòu)件和或內(nèi)部電極上設(shè)置連通路,以便可以同時(shí)對(duì)容器10的內(nèi)側(cè)空間和外側(cè)空間排氣。
      進(jìn)而,可以在上述的第1~第4實(shí)施例間追加、變更構(gòu)件,借此構(gòu)筑其他種種實(shí)施例。例如,圖6中所示的第4實(shí)施例并不僅限于開口部的最小直徑大于筒部的最大直徑的類型的廣口容器400,也適用于圖1中所示的類型的廣口容器10。在此一場(chǎng)合,對(duì)照?qǐng)D1中所示的廣口容器10更換內(nèi)部電極和外部電極就可以了。此外,也可以在圖3和圖4中所示的內(nèi)部電極140、220,基臺(tái)100等上也設(shè)置與圖5或圖6同樣的排氣部,將容器100與內(nèi)部電極140、220之間的空間抽真空。
      再者,在本發(fā)明的第4實(shí)施例中,并不僅限于以上述的兩種廣口容器為對(duì)象,也可以適用于細(xì)口容器等廣口容器以外的各種容器。特別是,如果設(shè)置環(huán)狀的氣體引入口、氣體引入室、預(yù)備激勵(lì)部等,則可以在各種容器的外壁上均勻地形成膜。在此一場(chǎng)合,膜的種類也并不僅限于類金剛石碳膜。
      權(quán)利要求
      1.一種氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,是在有開口部、與之延續(xù)的筒部和封閉前述筒部的底部,前述開口部的最小內(nèi)徑大于前述筒部的最大內(nèi)徑的廣口的合成樹脂制容器的外壁上,形成類金剛石碳膜的裝置,其特征在于,包括支持前述容器的前述開口部的基臺(tái),突出地配置于前述基臺(tái)上,經(jīng)由前述開口部插入前述容器內(nèi)的內(nèi)部電極,氣密地保持支持于前述基臺(tái)上的前述容器的周圍空間的外部電極,將前述周圍空間真空排氣的真空泵,向前述周圍空間供給含有碳原子的氣體的氣體供給裝置,用前述內(nèi)部電極和前述外部電極,在前述周圍空間中生成等離子體用的等離子體激勵(lì)部。
      2.權(quán)利要求1中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,前述內(nèi)部電極為實(shí)質(zhì)上貼緊前述容器的內(nèi)表面的形狀。
      3.一種氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,是在有開口部、與之延續(xù)的筒部和封閉前述筒部的底部,前述開口部的最小內(nèi)徑小于前述筒部的最大內(nèi)徑,且其差在20mm以內(nèi)的廣口的合成樹脂制容器的外壁上,形成類金剛石碳膜的裝置,其特征在于,包括支持前述容器的前述開口部的基臺(tái),突出地配置于前述基臺(tái)上,經(jīng)由前述開口部插入前述容器內(nèi)的內(nèi)部電極,氣密地保持支持于前述基臺(tái)上的前述容器的周圍空間的外部電極,將前述外部電極前述周圍空間真空排氣的真空泵,向前述周圍空間供給含有碳原子的氣體的氣體供給裝置,用前述內(nèi)部電極和前述外部電極,在前述周圍空間中生成等離子體用的等離子體激勵(lì)部。
      4.權(quán)利要求1至3中的任何一項(xiàng)中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,前述內(nèi)部電極內(nèi)藏給前述內(nèi)部電極與前述容器的內(nèi)表面之間排氣的排氣部。
      5.權(quán)利要求1至4中的任何一項(xiàng)中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,包括從支持于前述基臺(tái)上的前述容器的前述開口部一側(cè),把來(lái)自前述氣體供給裝置的氣體引入前述容器的周圍的氣體引入口。
      6.權(quán)利要求5中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,前述氣體引入口跨越前述容器的前述開口部的全圓周環(huán)狀地形成。
      7.權(quán)利要求6中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,前述外部電極在前述容器上與前述底部對(duì)峙的位置上有連接于前述真空泵上的氣體排出口。
      8.權(quán)利要求7中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,前述氣體排出口的直徑設(shè)定成大于環(huán)狀的前述氣體引入口的內(nèi)外徑的尺寸差。
      9.權(quán)利要求5至8中的任何一項(xiàng)中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,在前述氣體引入口的氣體引入方向的上游設(shè)有形成氣體引入室的外周壁。
      10.權(quán)利要求9中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,還包括在前述氣體引入室內(nèi)預(yù)備激勵(lì)前述氣體的預(yù)備激勵(lì)部。
      11.權(quán)利要求10中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,前述預(yù)備激勵(lì)部用一對(duì)電極來(lái)形成,前述一對(duì)電極的一方通過(guò)前述內(nèi)部電極從前述容器的開口部向外側(cè)露出而形成,前述一對(duì)電極的另一方在前述外部電極和前述外周壁的某一方上形成。
      12.權(quán)利要求9至11中的任何一項(xiàng)中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,設(shè)置使前述外周壁對(duì)前述外部電極相對(duì)接近遠(yuǎn)離的驅(qū)動(dòng)裝置,前述驅(qū)動(dòng)裝置與前述外周壁一起經(jīng)由前述基臺(tái)相對(duì)于前述外部電極的內(nèi)外來(lái)驅(qū)動(dòng)前述內(nèi)部電極。
      13.權(quán)利要求1至12中的任何一項(xiàng)中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,前述內(nèi)部電極包括配置于前述開口部?jī)?nèi)并保持前述容器的保持部,從前述保持部向上延伸的電極棒部。
      14.權(quán)利要求13中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,前述容器在前述開口部上有薄壁而向外側(cè)擴(kuò)展的卷邊用突緣,保持前述突緣的前述保持部的外周面用絕緣構(gòu)件來(lái)形成。
      15.權(quán)利要求1至14中的任何一項(xiàng)中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,前述容器有從前述底部向外突出的多個(gè)腳部,前述內(nèi)部電極的頂部在與前述多個(gè)腳部對(duì)峙的位置上有多個(gè)突起部。
      16.權(quán)利要求1至15中的任何一項(xiàng)中所述的氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,其特征在于,前述外部電極的內(nèi)壁面與前述筒部的外壁面的離開距離設(shè)定成10~25mm。
      17.一種氣障性合成樹脂制容器的制造裝置,是在包括開口部、與之延續(xù)的筒部和封閉前述筒部的底部的合成樹脂制容器的外壁上形成膜的裝置,其特征在于,包括支持前述容器的前述開口部的基臺(tái),突出地配置于前述基臺(tái)上,經(jīng)由前述開口部插入前述容器內(nèi)的內(nèi)部電極,氣密地保持支持于前述基臺(tái)上的前述容器的周圍空間的外部電極,將前述周圍空間真空排氣的真空泵,向前述周圍空間供給含有碳原子的氣體的氣體供給裝置,用前述內(nèi)部電極和前述外部電極在前述周圍空間中生成等離子體用的等離子體激勵(lì)部,從支持于前述基臺(tái)上的前述容器的前述開口部一側(cè)把來(lái)自前述氣體供給裝置的氣體引入前述容器的周圍的環(huán)狀的氣體引入口。
      18.一種氣障性合成樹脂制容器,其特征在于,用權(quán)利要求1至17中的任何一項(xiàng)中所述的制造裝置來(lái)制造,在外壁上形成類金剛石碳膜。
      19.權(quán)利要求18中所述的氣障性合成樹脂制容器,其特征在于,前述開口部有薄壁且向外側(cè)擴(kuò)展的卷邊用突緣。
      20.一種裝入物品的氣障性合成樹脂制容器,其特征在于,在權(quán)利要求19中所述氣障性合成樹脂制容器內(nèi)裝入內(nèi)裝物,在前述突緣上雙重卷邊金屬制罐蓋。
      21.權(quán)利要求20中所述的裝入物品的氣障性合成樹脂制容器,其特征在于,在前述金屬蓋所雙重卷邊的前述突緣部上不形成類金剛石碳膜。
      全文摘要
      氣障性合成樹脂制容器(10)包括帶有突緣(12A)的開口部(12),從該開口部延續(xù)的筒部(14),以及封閉該筒部(14)的底部(16)。容器(10)是一種廣口容器,其中開口部(12)的最小內(nèi)徑Dmin大于筒部的最大內(nèi)徑Dmax。或者,容器(10)是一種廣口容器,其中開口部(12)的最小內(nèi)徑Dmin小于筒部的最大內(nèi)徑Dmax,相差不超過(guò)20mm。在此一容器(10)的筒部(14)和底部(16)的外壁上形成類金剛石碳膜(18)。在內(nèi)裝物灌入此一容器(10)后,金屬罐蓋(20)雙重卷邊在突緣(12A)上,借此保證整個(gè)罐的高氣障性。
      文檔編號(hào)B65D1/12GK1461275SQ02801310
      公開日2003年12月10日 申請(qǐng)日期2002年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2001年4月19日
      發(fā)明者島田清典 申請(qǐng)人:日精Asb機(jī)械株式會(huì)社
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