專(zhuān)利名稱：加工裝置的門(mén)開(kāi)閉裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在各種加工裝置等中所使用的有用的門(mén)開(kāi)閉裝置，更加詳細(xì)地說(shuō)，是涉及例如設(shè)置于潔凈室等那樣的受限制的作業(yè)空間內(nèi)，在其中進(jìn)行作業(yè)的熱處理爐、真空加壓退火裝置、真空熱處理裝置、加壓脫泡裝置等的門(mén)開(kāi)閉裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)今，在各種的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中，開(kāi)發(fā)使用高精度的制品。這些制品一般是在設(shè)置于潔凈室內(nèi)的各種生產(chǎn)加工裝置中進(jìn)行制造作業(yè)。例如，使用液晶制造顯示器裝置的真空加壓退火裝置、真空熱處理裝置、加壓加熱裝置、液晶注入裝置、加壓脫泡裝置等(以下統(tǒng)稱為加工裝置)，為阻止異物混入液晶內(nèi)，在高度凈化的潔凈室內(nèi)的作業(yè)成為必須。再有，伴隨著最近的液晶顯示器裝置的大型化，上述加工裝置的實(shí)際上進(jìn)行加熱真空處理等的作業(yè)處理室，用于將被加工物取出放入該作業(yè)處理室的開(kāi)口部、以及密封遮擋該開(kāi)口部的門(mén)等，也被要求與目前相比相當(dāng)大型化的結(jié)構(gòu)。
另外，在這些加工裝置中使用的門(mén)，為了高度保持該加工裝置的作業(yè)處理室內(nèi)部的氣密度，通常是由一張(單式)具有大尺寸的鋼制部件而形成的(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。這是由于若門(mén)是由多個(gè)門(mén)形成元件構(gòu)成，則從各門(mén)形成元件之間產(chǎn)生空氣泄漏的可能性增高，僅此就可妨礙處理室內(nèi)的高氣密維持性能。
特開(kāi)2001-214975號(hào)公報(bào)(第3頁(yè)，第1圖)但是，潔凈室自身在其HEPA過(guò)濾器的性能確保上、或者在建筑基準(zhǔn)法的限制上，不可能無(wú)限制的大型化，即使是大型的潔凈室，通常高度也被限制在3500mm左右。另外，因?yàn)楸仨氃谶@樣被限制了高度的潔凈室內(nèi)進(jìn)行作業(yè)，在上述各種的加工裝置中，例如在向上述各種的加工裝置內(nèi)取出放入形成液晶顯示器裝置的基本部件的大型原玻璃時(shí)所開(kāi)閉的大型的單式門(mén)，在開(kāi)閉時(shí)，因?yàn)殚T(mén)被房頂或地面阻礙而使開(kāi)閉受阻，從而不能向上下方向開(kāi)閉，所以通常在潔凈室內(nèi)，實(shí)施向上述各種加工裝置設(shè)置場(chǎng)所的左右方向可橫方向移動(dòng)的裝置。
但是，在向這樣的左右方向(橫方向)的門(mén)開(kāi)閉方式中，該各種加工裝置的門(mén)部分的尺寸例如若是2500mm，則至少在該各種加工裝置的左右一側(cè)上，有必要預(yù)先保證僅用于容許至少2500mm的門(mén)移動(dòng)的空間。這樣的空間僅僅是為了保證向高價(jià)的潔凈室內(nèi)的門(mén)的開(kāi)閉，顯而易見(jiàn)，在經(jīng)濟(jì)方面是非常浪費(fèi)的。今后象這樣的原玻璃的尺寸，伴隨著從所謂第4代向第5代、進(jìn)一步從第5代向第6代的逐漸轉(zhuǎn)換，將被要求有更加廣闊的空間。因此，強(qiáng)烈地要求消除象這樣浪費(fèi)的空間即死空間，而如何消除相關(guān)的死空間已成為在目前業(yè)界的極大課題。

發(fā)明內(nèi)容
在為解決上述課題的本發(fā)明中，提供了一種對(duì)向受限制的作業(yè)空間內(nèi)設(shè)置的加工裝置的處理室的門(mén)進(jìn)行開(kāi)閉的開(kāi)閉裝置。用于封閉前端部在多個(gè)開(kāi)口部被隔開(kāi)的處理室的門(mén)開(kāi)閉裝置，具有與開(kāi)口部的數(shù)量相同的多個(gè)門(mén)元件、和各自獨(dú)立起動(dòng)這些門(mén)元件的起動(dòng)裝置，在移動(dòng)一個(gè)門(mén)元件、將一個(gè)開(kāi)口部開(kāi)放，從處理室取出規(guī)定的制品、或者向其中供給制品期間，其他的門(mén)元件將處理室的其他的開(kāi)口部封閉，通過(guò)該開(kāi)放的一個(gè)開(kāi)口部，從處理室中取出制品或者在供給完成后，將其他的門(mén)元件移動(dòng)到與前述的一個(gè)門(mén)元件接近的位置，開(kāi)放其他的開(kāi)口部，反復(fù)進(jìn)行同樣的作業(yè)。


圖1是裝備有本發(fā)明的門(mén)開(kāi)閉裝置的加工裝置的正視圖。
圖2是如圖1所示的加工裝置的剖視圖。
圖3是其他的實(shí)施例的拆下門(mén)開(kāi)閉裝置后的狀態(tài)的加工裝置的正視圖。
圖4是表示用于開(kāi)閉門(mén)元件的裝置的圖。
圖5是表示用于開(kāi)閉門(mén)元件的其他裝置的圖。
圖6是說(shuō)明動(dòng)作的圖。
圖7是進(jìn)一步說(shuō)明其他的動(dòng)作的圖。
圖8是表示可以適用于本發(fā)明的門(mén)開(kāi)閉裝置的密封裝置的一例的概略圖。
具體實(shí)施例方式
在下述中，就有關(guān)向潔凈室設(shè)置的加工裝置的門(mén)開(kāi)閉裝置進(jìn)行闡述，本發(fā)明的加工裝置，特別是液晶顯示器制造裝置，例如是作為用于真空加壓退火裝置、真空熱處理裝置、加壓加熱裝置、液晶注入裝置、加壓脫泡裝置、真空熱處理裝置等的加工裝置的門(mén)開(kāi)閉裝置可以有用地使用的裝置，另外，在潔凈室以外，也可以作為在某種程度上被限制范圍、特別是高度方向的尺寸被限制的空間內(nèi)所使用的這些加工裝置的門(mén)開(kāi)閉裝置，可期待較好的效果。
圖1是裝備有本發(fā)明的門(mén)開(kāi)閉裝置的加工裝置的正視圖，圖2是其剖視圖。圖3是其他實(shí)施例的拆下門(mén)開(kāi)閉裝置后的狀態(tài)的加工裝置的正視圖。再有，圖4及圖5是表示用于開(kāi)閉門(mén)的裝置的圖，圖6及圖7是說(shuō)明動(dòng)作的圖。另外，在圖8中，表示可適用于本發(fā)明的門(mén)開(kāi)閉裝置的密封裝置的一例的概略圖。
如圖1所示，本發(fā)明的加工裝置10通過(guò)高度調(diào)整用腳部11，適當(dāng)?shù)嘏渲迷跊](méi)有圖示的潔凈室內(nèi)。此加工裝置10具有進(jìn)行熱處理等作用的密封處理室12(參照?qǐng)D1及圖2)，該密封處理室12具有大致矩形形狀，用于對(duì)例如沒(méi)有圖示的原玻璃、彩色濾色器、液晶注入晶格等在內(nèi)部進(jìn)行熱處理。此處理室12提供了僅可以處理具有規(guī)定尺寸的原玻璃等大小的空間。再有，在此處理室12內(nèi)，為了能夠一次處理多個(gè)原玻璃等，用于使多個(gè)原玻璃等大致呈水平配設(shè)的多個(gè)水平棚部13，從處理室的近前側(cè)向里側(cè)或者左右方向配列成上下的層。
在此處理室12的正面部分上，如圖2及圖3所示，將中間部通過(guò)在水平方向延伸的追加密封部18隔斷，各自形成具有大致呈矩形形狀的上下一對(duì)開(kāi)口部20、22。在這些開(kāi)口部20、22的外側(cè)周?chē)瑖@該開(kāi)口部的周?chē)?，配設(shè)有與本案申請(qǐng)人的申請(qǐng)有關(guān)的專(zhuān)利第2933514號(hào)所開(kāi)示的真空高壓室密封裝置24。
上述真空高壓室密封裝置24具有以下所述的特征，在圖8中，表示了該真空高壓室密封裝置24的一例。如圖8所示，此真空高壓室密封裝置24是用于將在內(nèi)部進(jìn)行各種處理加工的相互鄰接的室D、E，通過(guò)門(mén)100密封密閉的裝置，是由容納在設(shè)置于室D、E的側(cè)壁140的表面280上的凹陷300內(nèi)的密封密閉部件180、和容納在該側(cè)壁140的表面280中與該凹陷300鄰接設(shè)置的其他的凹陷200內(nèi)的玻璃片160、及封閉該室的門(mén)100構(gòu)成的。玻璃片160將容納于凹陷200的其內(nèi)面通常向其外表面260的一方保持彈性，外表面260在開(kāi)閉門(mén)100時(shí)進(jìn)行對(duì)門(mén)的滑動(dòng)導(dǎo)向的功能，容納著密封密閉部件180的凹陷300通過(guò)控制閥連接到加壓裝置360或者減壓裝置400，通過(guò)這些加壓裝置360或者減壓裝置400的動(dòng)作，密封密閉部件180可以自由地在凹陷300內(nèi)出入，在密封作業(yè)前，玻璃片160的外表面260，比密封密閉部件180的前端部更向前方突出，據(jù)此，在開(kāi)閉門(mén)100的情況下，門(mén)100與密封密閉部件180沒(méi)有接觸，在密封作業(yè)時(shí)，密封密閉部件180的前端部對(duì)門(mén)100的面加壓接觸而移動(dòng)。
另外，在處理室12的正面部分的外方，為使加工前的原玻璃等的制品(沒(méi)有圖示)供給到該處理室12內(nèi)，或者將加工后的該制品從這里取出，其自身可以裝備公知的機(jī)器臂裝置16(參照?qǐng)D6及圖7)。
在開(kāi)口部20、22的前面，配置有與本發(fā)明相關(guān)的門(mén)開(kāi)閉裝置30，這些開(kāi)口部20、22通過(guò)構(gòu)成該門(mén)開(kāi)閉裝置30的門(mén)31，可自由開(kāi)閉地被密封密閉。另外，此門(mén)開(kāi)閉裝置30，不局限于具有如圖1及圖2所示的矩形形狀的處理室12，在如圖3所示具有圓筒形截面的處理室12a的加工裝置的其他裝置中，也可以同樣有用地使用。另外，在此處理室12、12a上，對(duì)應(yīng)需要，其自身可以容納公知的加熱裝置、真空裝置、加壓裝置、冷卻裝置等。
此門(mén)開(kāi)閉裝置30與前述密封裝置24協(xié)動(dòng)，開(kāi)閉自由地密封密閉作業(yè)處理室12、12a的開(kāi)口部。門(mén)開(kāi)閉裝置30在圖示的例中，是由門(mén)31、和起動(dòng)裝置36構(gòu)成，該門(mén)31由上下一對(duì)可密封的門(mén)元件32、34構(gòu)成，該起動(dòng)裝置36使這些門(mén)元件在上下方向可以獨(dú)立起動(dòng)。但是，此門(mén)開(kāi)閉裝置30，當(dāng)處理室12、12a的開(kāi)口部在3個(gè)或者其以上的數(shù)量的情況時(shí)，也可以是由與該開(kāi)口部的數(shù)量一致的3個(gè)或者其以上數(shù)量的門(mén)、和用于使這些門(mén)分別獨(dú)立起動(dòng)的起動(dòng)裝置構(gòu)成。
這些門(mén)元件32、34對(duì)應(yīng)于使用的裝置的特性，最好是由可以維持處理室12、12a的內(nèi)部為真空狀態(tài)或者高壓狀態(tài)、再有維持于高溫狀態(tài)或者低溫狀態(tài)而阻止空氣的流通、且具有可以符合處理室12、12a的條件的特性的材料來(lái)構(gòu)成。這些門(mén)元件32、34，其兩側(cè)面是通過(guò)具有公知的大致呈L形截面的導(dǎo)軌38、40(參照?qǐng)D4及圖5)來(lái)引導(dǎo)的。這些導(dǎo)軌在處理室12的前面位置向上下方向延伸，門(mén)元件緊密嵌入這些導(dǎo)軌內(nèi)，使其內(nèi)側(cè)可以滑動(dòng)。
如圖1或者圖2所示，這些門(mén)元件32、34在密封處理室12時(shí)，各門(mén)元件32、34各自配置在開(kāi)口部20、22的前面位置，且前述密封裝置24在各門(mén)元件的四方的周?chē)史謩e膨脹狀態(tài)，各門(mén)32、34相對(duì)于前述導(dǎo)軌裝置38、40側(cè)，從處理室向外方壓出，保持密封狀態(tài)。
起動(dòng)裝置36、37由可以使各個(gè)門(mén)元件32、34相互獨(dú)立上下移動(dòng)的已公知的裝置構(gòu)成。例如，在如圖4所示的例中，起動(dòng)裝置36是由公知的復(fù)動(dòng)式的空氣缸36a構(gòu)成的，在外側(cè)的活塞臂42a上，固定有上側(cè)的門(mén)元件32的下方部分，在內(nèi)側(cè)的活塞臂44a上，固定有下側(cè)的門(mén)元件34的上方部分。另外，在如圖5所示的例中，起動(dòng)裝置37是由公知的電動(dòng)馬達(dá)那樣的驅(qū)動(dòng)裝置37a、和雙重作動(dòng)的螺旋機(jī)構(gòu)37b構(gòu)成的，在螺旋機(jī)構(gòu)37b中的外側(cè)的螺旋42b上，固定有上側(cè)的門(mén)元件32的上方部分，在內(nèi)側(cè)的螺旋44b上，固定有下側(cè)的門(mén)元件34的上方部分。起動(dòng)裝置并不限于這些，例如，也可以通過(guò)油壓缸等構(gòu)成。再有，設(shè)置多個(gè)公知的螺旋機(jī)構(gòu)或者空氣缸，使各個(gè)起動(dòng)裝置獨(dú)立在上下方向起動(dòng)各個(gè)門(mén)元件的構(gòu)成也是可以的，另外，這些起動(dòng)裝置不僅限于門(mén)元件的單側(cè)，也可以安裝在其兩側(cè)的各個(gè)位置上。此時(shí)，在門(mén)元件呈關(guān)閉狀態(tài)時(shí)，最好使這些門(mén)元件32、34和起動(dòng)裝置36、密封裝置24相互協(xié)動(dòng)，從而保持處理室12的密封。
下面關(guān)于本發(fā)明的動(dòng)作方法，就有關(guān)在加工裝置10、10a的內(nèi)部完成規(guī)定的作業(yè)，從加工裝置10、10a的處理室12、12a中取出完成加工的原玻璃、彩色濾色器、液晶注入晶格等的制品(沒(méi)有圖示)的順序進(jìn)行闡述。在使用空氣缸36a作為起動(dòng)裝置36的情況下(參照?qǐng)D4)，首先起動(dòng)該空氣缸36a，使內(nèi)側(cè)的活塞臂44a下降。伴隨著內(nèi)側(cè)活塞臂44a的下降，固定在該內(nèi)側(cè)活塞臂44a上的下側(cè)的門(mén)元件34，從密封著開(kāi)口部22的位置，如圖6中的符號(hào)50所示，沿導(dǎo)軌裝置38、40下降。當(dāng)下側(cè)的門(mén)元件34到達(dá)下降的最低位置時(shí)，活塞臂的動(dòng)作停止。此時(shí)，加工裝置10的下方的開(kāi)口部22呈完全開(kāi)放的狀態(tài)，上方的開(kāi)口部20呈被遮蔽的狀態(tài)。在此狀態(tài)中，從開(kāi)口部22插入機(jī)器臂裝置16，從加工裝置10內(nèi)的下方制品保持棚取出加工完成的原玻璃等的制品。
在完成從下方開(kāi)口部22的取出后，再次起動(dòng)空氣缸36a，本次，使外側(cè)的活塞臂42a下降。伴隨著外側(cè)活塞臂42a的下降，固定在該外側(cè)活塞臂42a上的上側(cè)的門(mén)元件32，從密封著開(kāi)口部20的位置，如圖7中符號(hào)52所示，與門(mén)元件34同樣由導(dǎo)軌裝置38、40導(dǎo)向，下側(cè)的門(mén)元件向下方移動(dòng)呈開(kāi)放狀態(tài)，下降到已經(jīng)進(jìn)行了相對(duì)于處理室的制品的出入的開(kāi)口部22的規(guī)定位置。上側(cè)的門(mén)元件32下降到最低，當(dāng)該門(mén)元件32的下端到達(dá)與已經(jīng)位于下降位置的接近于下側(cè)的門(mén)元件34a的上端的規(guī)定位置時(shí)，活塞臂的動(dòng)作停止。此時(shí)，加工裝置10、10a的上方的開(kāi)口部20，如圖7所示，呈完全開(kāi)放狀態(tài)。在此狀態(tài)下，從該開(kāi)口部20向處理室內(nèi)起動(dòng)機(jī)器臂裝置16，從加工室10、10a內(nèi)的上方的制品保持棚取出完成加工的原玻璃等的制品。
另一方面，在為了處理被加工制品，向處理室內(nèi)供給該制品時(shí)，門(mén)元件32、34在圖7所示的位置時(shí)，首先使用機(jī)械臂向加工裝置10、10a的處理室12、12a的上方部分的制品保持棚13進(jìn)行供給。其后，通過(guò)與上述相反的動(dòng)作，將上方的門(mén)元件32提升到可關(guān)閉上方的開(kāi)口部20的規(guī)定位置。此時(shí)，下方的開(kāi)口部22，如圖6所示，呈開(kāi)放狀態(tài)。因此，從該下方的開(kāi)口部22向處理室內(nèi)供給制品。制品的供給完成后，通過(guò)與上述相反的動(dòng)作，將下方的門(mén)元件34提升到可關(guān)閉上方的開(kāi)口部22的規(guī)定位置。門(mén)元件若到達(dá)各個(gè)規(guī)定的上方位置后，會(huì)使密封裝置24膨出，呈遮蔽加工裝置10、10a內(nèi)部的處理室12、12a的狀態(tài)。在此狀態(tài)下，在處理室內(nèi)，相對(duì)于制品實(shí)施規(guī)定的處理。當(dāng)然，最初門(mén)元件32、34處于圖6所示的位置時(shí)，通過(guò)開(kāi)口部22向處理室12、12a的下方部分進(jìn)行供給，其后，向處理室的上方部分的供給也是可能的。
起動(dòng)裝置36即使是在螺旋機(jī)構(gòu)36b的情況下，也通過(guò)與上述實(shí)質(zhì)相同的方法，可以容易地完成制品的取出及供給。
本發(fā)明是一種加工裝置的門(mén)開(kāi)閉裝置，是使遮蔽向受限制的作業(yè)空間內(nèi)設(shè)置的加工裝置10、10a的處理室12、12a的門(mén)開(kāi)閉的門(mén)開(kāi)閉裝置30，其特征在于，處理室其前端部被分為多個(gè)開(kāi)口部，在其開(kāi)口部的周?chē)渲糜忻芊庋b置，門(mén)開(kāi)閉裝置30具有與開(kāi)口部的數(shù)量相同的多個(gè)門(mén)元件32、34，和各自獨(dú)立起動(dòng)這些門(mén)元件的起動(dòng)裝置36、37，驅(qū)動(dòng)一個(gè)門(mén)元件，只開(kāi)放一個(gè)開(kāi)口部，在從處理室取出規(guī)定的制品，或者向這里供給制品期間，其他的門(mén)元件密閉其他的開(kāi)口部。通過(guò)一個(gè)開(kāi)口部，從該空間室中取出制品或者在供給完成后，其他的門(mén)元件移動(dòng)到與前述的一個(gè)門(mén)元件鄰接的位置開(kāi)放，反復(fù)進(jìn)行同樣的作業(yè)。
根據(jù)本發(fā)明，在加工裝置10、10a的處理室12、12a上至少形成2個(gè)開(kāi)口部，且這些開(kāi)口部通過(guò)各自獨(dú)立的門(mén)元件32、34密封。因此，在接近處理室12、12a時(shí)，沒(méi)有必要將處理室的開(kāi)口部全體一次開(kāi)放，可以最初是上方部分，接著是下方部分，或者最初是下方部分接著是上方部分，和可以僅一個(gè)開(kāi)口部開(kāi)放。因此，即使在限制高度的潔凈室等中作業(yè)時(shí)，因?yàn)榭梢詫?duì)各個(gè)密閉開(kāi)口部的多個(gè)門(mén)元件從上方或者下方打開(kāi)進(jìn)行作業(yè)，沒(méi)有必要如至此那樣將單式的門(mén)全體向左右一次打開(kāi)，因此，不需要在潔凈室內(nèi)設(shè)置用于容納開(kāi)放的門(mén)的大的死空間，從而成功地消除了有關(guān)常年的死空間的課題。即，本發(fā)明，通過(guò)在開(kāi)口部20、22的周?chē)?，配置本案申?qǐng)人在先申請(qǐng)的專(zhuān)利第2933514號(hào)所開(kāi)示的密封裝置24，即使將至此的單式的門(mén)變更為復(fù)式的門(mén)，也可以完全阻止從各門(mén)的連接部附近的空氣的泄漏，據(jù)此，將被要求大型化的單式的門(mén)變更為復(fù)式的門(mén)是可能的，因此，將大型化的門(mén)向上下方向分離，分別地開(kāi)閉也是可能的，這樣一來(lái)，就消除了死空間的問(wèn)題。
即，作業(yè)中的門(mén)元件的開(kāi)放，與以往的將單式的大門(mén)全體一次向加工裝置的左右至少一側(cè)完全開(kāi)放處理室的尺寸部分的情況相比較，由于在本發(fā)明中，僅向下方移動(dòng)例如處理室的尺寸的1/2的距離就可以開(kāi)放，所以可減少高價(jià)的潔凈室的死空間，另外，也可以使加工裝置內(nèi)的處理室的溫度變化減少，據(jù)此，還可以得到該處理室內(nèi)溫度效率的上升。另外，顯而易見(jiàn)，若更多地設(shè)定門(mén)元件的數(shù)量及開(kāi)口部的數(shù)量，就可以減少因此的門(mén)元件開(kāi)放的死空間。
在本發(fā)明的實(shí)施例中，只就門(mén)元件在上下方向開(kāi)閉的情況進(jìn)行了闡述，但并不限定于此，根據(jù)需要，在下列情況下也可以使用，例如在將原玻璃等的制品縱向配置、對(duì)其進(jìn)行加工處理的加工裝置中，將向左右分割為多個(gè)(例如分割為2個(gè))的門(mén)元件的各一半向左右兩側(cè)、或者向一個(gè)方向進(jìn)行開(kāi)閉的情況下，也可以有用地使用。
權(quán)利要求
1.一種加工裝置的門(mén)開(kāi)閉裝置，是在向被限制的作業(yè)空間內(nèi)設(shè)置的加工裝置(10、10a)的處理室(12、12a)的前端部設(shè)有多個(gè)開(kāi)口部(20、22)，對(duì)在各開(kāi)口部的周?chē)渲糜忻芊庋b置(24)的該處理室的門(mén)進(jìn)行開(kāi)閉的門(mén)開(kāi)閉裝置(30)，其特征在于，門(mén)開(kāi)閉裝置(30)具有由與開(kāi)口部的數(shù)量相同的多個(gè)門(mén)元件(32、34)構(gòu)成的門(mén)(31)、和各自獨(dú)立起動(dòng)這些門(mén)元件的起動(dòng)裝置(36、37)，且各個(gè)該開(kāi)口部分別由一個(gè)門(mén)元件(32、34)可自由開(kāi)閉地遮蔽而構(gòu)成；在移動(dòng)一個(gè)門(mén)元件，將一個(gè)開(kāi)口部開(kāi)放，從處理室取出規(guī)定的制品、或者向其中供給制品期間，其他的門(mén)元件將處理室的其他的開(kāi)口部封閉，通過(guò)該開(kāi)放的一個(gè)開(kāi)口部，從處理室中取出制品或者在供給完成后，將其他的門(mén)元件移動(dòng)到與前述的一個(gè)門(mén)元件接近的位置，開(kāi)放其他的開(kāi)口部，反復(fù)進(jìn)行同樣的作業(yè)。
2.如權(quán)利要求1所述的門(mén)開(kāi)閉裝置，其特征在于，是加工裝置為液晶顯示器制造裝置的門(mén)開(kāi)閉裝置。
3.如權(quán)利要求2所述的門(mén)開(kāi)閉裝置，其特征在于，液晶顯示器制造裝置是熱處理爐、真空加壓退火裝置、真空熱處理裝置、加壓脫泡裝置、液晶注入裝置、加壓加熱裝置中的任何一個(gè)。
4.如權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的門(mén)開(kāi)閉裝置，其特征在于，被限制的作業(yè)空間是潔凈室。
5.如權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的門(mén)開(kāi)閉裝置，其特征在于，處理室具有保持被加工制品的棚部(13)，相對(duì)于該棚部，機(jī)械臂裝置(16)進(jìn)行供給以及/或者取出被加工制品。
6.如權(quán)利要求5所述的門(mén)開(kāi)閉裝置，其特征在于，被加工制品是原玻璃、彩色濾光器、液晶注入晶格中的任何一個(gè)。
7.如權(quán)利要求1至6中的任一項(xiàng)所述的門(mén)開(kāi)閉裝置，其特征在于，門(mén)元件對(duì)應(yīng)于所使用的裝置的特性，為了將處理室(12)的內(nèi)部維持于真空狀態(tài)、或者高壓狀態(tài)、再有是高溫狀態(tài)或者低溫狀態(tài)，可以阻止空氣的流通，由具有符合處理室的條件的特性的材料構(gòu)成。
8.如權(quán)利要求1至7中的任一項(xiàng)所述的門(mén)開(kāi)閉裝置，其特征在于，起動(dòng)裝置(36、37)為了使各自的門(mén)元件(32、34)相互獨(dú)立驅(qū)動(dòng)，在開(kāi)口部的一側(cè)配置。
9.如權(quán)利要求1至7中的任一項(xiàng)所述的門(mén)開(kāi)閉裝置，其特征在于，起動(dòng)裝置(36、37)為了使各自的門(mén)元件(32、34)相互獨(dú)立驅(qū)動(dòng)，在開(kāi)口部的兩側(cè)分別配置。
10.如權(quán)利要求8或9所述的門(mén)開(kāi)閉裝置，其特征在于，起動(dòng)裝置是由復(fù)動(dòng)式的空氣缸(36a)、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置(37a)以及雙重動(dòng)作的螺旋機(jī)構(gòu)(37b)、復(fù)動(dòng)式的油壓缸中的任何一個(gè)構(gòu)成的。
全文摘要
本發(fā)明涉及加工裝置的門(mén)開(kāi)閉裝置，加工裝置(10、10a)的處理室(12、12a)，其前端部被分為多個(gè)開(kāi)口部(20、22)，在開(kāi)口部的周?chē)渲糜忻芊庋b置(24)。裝置(30)具有由與開(kāi)口部的數(shù)量相同的門(mén)元件(32、34)構(gòu)成的門(mén)(31)，和各自獨(dú)立驅(qū)動(dòng)門(mén)元件的起動(dòng)裝置(36、37)，將一個(gè)門(mén)元件只移動(dòng)一個(gè)開(kāi)口部的尺寸部分，在從處理室取出規(guī)定的制品，或者向這里供給制品期間，其他的門(mén)元件密閉其他的開(kāi)口部，從該處理室中取出制品或者在供給完成后，其他的門(mén)元件移動(dòng)到與前述的一個(gè)門(mén)元件鄰接的位置，開(kāi)放至此關(guān)閉的開(kāi)口部，反復(fù)進(jìn)行同樣的作業(yè)。
文檔編號(hào)B65G49/00GK1485558SQ0310167
公開(kāi)日2004年3月31日 申請(qǐng)日期2003年1月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月24日
發(fā)明者河原勝 申請(qǐng)人:協(xié)真工程株式會(huì)社