專利名稱：用于懸掛襯底載體的高架傳送凸緣和支撐件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明通常涉及半導(dǎo)體器件制造，更尤其涉及襯底載體的高架傳送凸緣和用來(lái)通過(guò)高架傳送凸緣懸掛襯底載體的支撐件。
背景技術(shù)：
用在計(jì)算機(jī)、監(jiān)視器等中的半導(dǎo)體器件制作在諸如硅襯底、玻璃襯底等上。這些器件通過(guò)一系列諸如薄膜淀積工藝、氧化或氮化工藝、蝕刻工藝、拋光工藝、以及熱處理和光刻工藝的制造步驟形成。盡管許多制造步驟可以在單一加工臺(tái)中完成，但至少對(duì)一些制造步驟來(lái)講，襯底一般必須在加工臺(tái)之間傳輸。
為了在加工臺(tái)和其它位置之間傳送，襯底通常存放在盒中或容器中(以下共同地稱之為“襯底載體”)。雖然襯底載體可以在加工臺(tái)之間人工運(yùn)送，但是襯底載體的傳送一般是自動(dòng)完成的。例如，襯底載體的自動(dòng)處理可以由機(jī)器人完成，通過(guò)一個(gè)終端操縱裝置，機(jī)器人提升襯底載體。作為一個(gè)例子，已經(jīng)提出終端操縱裝置通過(guò)連接在襯底載體頂部提供的凸緣來(lái)提升襯底載體。公知的終端操縱裝置類型包括一支撐板和從支撐板向下和向內(nèi)延伸出的鉤，用來(lái)限定T型切槽。切槽可以在載體凸緣上及周圍水平移動(dòng)。從終端操縱裝置鉤向上伸出的銷被提供與裝備在凸緣上的止回爪相匹配。
襯底載體的成功傳輸與傳送需要高度精確地控制襯底載體的位置。期望提供共同易于對(duì)固有的襯底載體進(jìn)行定位的一襯底載體支撐件和一高架傳送凸緣。
發(fā)明概述在發(fā)明的第一方面，提供用于支撐襯底載體的第一裝置。第一裝置包括適于與襯底載體本體匹配的高架傳送凸緣和高架載體支撐件。高架傳送凸緣有第一邊和比第一邊寬的且在第一邊對(duì)面的第二邊。
在發(fā)明的第二方面，提供一種襯底載體。該襯底載體包括(1)適于支撐一個(gè)或多個(gè)襯底的襯底載體本體；(2)適于與襯底載體本體匹配和適于與高架載體支撐件匹配的高架傳送凸緣。高架傳送凸緣有第一邊和比第一邊寬的且在第一邊對(duì)面的第二邊。
在發(fā)明的第三方面，提供用于支撐襯底載體的第二裝置。第二裝置包括通過(guò)高架傳送凸緣適于懸掛襯底載體的高架載體支撐件。高架載體支撐件有第一邊和比第一邊寬的且在第一邊對(duì)面的第二邊。按照這些和發(fā)明的其它方面的方法和系統(tǒng)作為許多其它方面。
本發(fā)明的其它特點(diǎn)和方面將從對(duì)下列典型實(shí)施例、附屬權(quán)利要求和附圖的詳細(xì)描述中變得更加十分明顯。


圖1是高架傳送設(shè)備傳輸?shù)谝缓偷诙d體時(shí)，高架傳送設(shè)備的部分的透視正視圖；圖2是圖1所示高架載體支撐件和高架傳送凸緣組合件沿縱向分解的透視正視圖；圖3是圖2所示高架載體支撐件和高架傳送凸緣的分解組合件的底面平面圖；圖4是圖2所示高架載體支撐件和高架傳送凸緣的分解組合件的底平面圖；圖5和圖6是高架載體支撐件的第一刀片接收裝置和高架傳送凸緣的第一刀片(包括橫截面)相應(yīng)部分的透視圖；圖7-8是高架載體支撐件和高架傳送凸緣相同部分的簡(jiǎn)單剖視圖；圖9是圖1中利用在高架載體支撐件和高架傳送凸緣之間獨(dú)創(chuàng)性地匹配的高架傳送裝置部分的局部透視剖視圖，其中在高架傳送裝置攜帶載體所經(jīng)路徑中，存在的一物體碰撞載體；圖10-12是高架載體支撐件的第一刀片接收裝置和高架傳送凸緣的第一刀片相應(yīng)部分的剖視圖，這些圖描述了導(dǎo)致從圖1的高架傳送設(shè)備中取出載體的分離過(guò)程；圖13是說(shuō)明該構(gòu)件另一實(shí)施例中高架載體支撐件的第一刀片接收裝置和高架傳送凸緣的第一刀片的部分的剖視圖；圖14是按照本發(fā)明通過(guò)高架傳送凸緣構(gòu)成以支撐襯底載體的多個(gè)掛架的透視圖；以及圖15是圖14中掛架的透視圖，其中通過(guò)它的高架傳送凸緣，頂掛架支撐襯底載體。
詳細(xì)描述本發(fā)明提供一種襯底載體的高架傳送凸緣和通過(guò)高架傳送凸緣支撐載體的相應(yīng)高架支撐件。襯底載體可以是適于僅存儲(chǔ)一個(gè)襯底的單襯底載體或者是適于存儲(chǔ)許多襯底的多襯底載體。在一個(gè)方面，高架支撐件如此裝配以致于支撐件提供在高架傳送凸緣可以接近支撐件的方向上從寬窗口到窄窗口變化，捕獲窗口用于捕獲高架傳送凸緣。在第二方面，高架傳送凸緣和高架支撐件如此裝配以致于當(dāng)高架傳送凸緣由高架支撐件支撐時(shí)，除了垂直方向，高架傳送凸緣禁止在任何方向上相對(duì)于高架支撐件移動(dòng)。在更進(jìn)一步方面，高架傳送凸緣和高架支撐件如此裝配以致于所支撐的襯底載體在與載體行進(jìn)的反方向上碰撞時(shí)，載體的高架傳送凸緣將從高架支撐件中分離，允許載體脫落。
這些方面的每一個(gè)認(rèn)為有其自己獨(dú)創(chuàng)性的一面，然而，至少在一個(gè)實(shí)施例中的高架傳送凸緣和高架支撐件可以體現(xiàn)上述的每一個(gè)方面。附圖和下列描述提供一包含了以上確定的每一個(gè)有其獨(dú)創(chuàng)性方面的具體結(jié)構(gòu)。圖1-12的結(jié)構(gòu)僅僅是示范，設(shè)計(jì)其功能與發(fā)明一致的可變換的結(jié)構(gòu)是可以理解的。
圖1是高架傳送設(shè)備103沿著高架傳送設(shè)備103的可移動(dòng)軌道109在第一縱向107上傳輸?shù)谝缓偷诙d體105a、105b時(shí)，高架傳送設(shè)備103的部分101的透視正視圖。通過(guò)固定到第一載體105a并放在其中心的具有獨(dú)創(chuàng)性的第一高架傳送凸緣113a，高架傳送設(shè)備103的具有獨(dú)創(chuàng)性的第一高架載體支撐件111a支撐第一載體105a，通過(guò)固定到第二載體105b并放在其中心的具有獨(dú)創(chuàng)性的第二高架傳送凸緣113b，高架傳送設(shè)備103的具有獨(dú)創(chuàng)性的第二高架載體支撐件111b支撐第二載體105b。相對(duì)于襯底載體105a、105b，高架傳送凸緣113a、113b也可以采用其它位置。
圖2是圖1所示高架載體支撐件111a和高架傳送凸緣113a組合件沿縱向107分解的透視正視圖。高架載體支撐件111a包含支撐板115和固定支撐板115頂面以及適于牢固地將高架載體支撐件111a連接至高架傳送設(shè)備103的可移動(dòng)軌道109上的連接夾持裝置117。高架載體支撐件111a進(jìn)一步包括同樣固定在支撐板115頂面以及適于沿移動(dòng)軌道109對(duì)高架載體支撐件111a提供輔助支撐的撓性吊鉤119。第一刀片接收裝置121a固定在支撐板115的第一側(cè)邊123a下，第二刀片接收裝置121b固定在支撐板115第一側(cè)邊123a對(duì)面的第二側(cè)邊123b下。高架載體支撐件111a的各個(gè)構(gòu)件可以用任何適宜的連接裝置(如，螺釘，螺栓，粘結(jié)劑等)連接在一起。高架載體支撐件111a的所有或部分構(gòu)件可以整體地形成。
高架傳送凸緣113a包含通過(guò)如緊固器孔127等的合適的緊固裝置適于連接到載體(如，第一載體105a(圖1))的凸緣板125。第一刀片129a從凸緣板125的第一側(cè)邊131a向下延伸，第二刀片129b(圖2中不可見(jiàn)但圖3可看到)從凸緣板125的第二側(cè)邊131b向下延伸。加強(qiáng)延伸部分133從凸緣板125的第三側(cè)邊131c向下延伸。
如下面將進(jìn)一步解釋，第一刀片接收裝置121a適于容納第一刀片129a，以及第二刀片接收裝置121b適于容納第二刀片129b。下面也將進(jìn)一步解釋，在高架載體支撐件111a的第一和第二刀片接收裝置121a、121b容納高架傳送凸緣113a的相應(yīng)的第一和第二刀片129a、129b之前，高架載體支撐件111a的支撐板115、第一刀片接收裝置121a和第二刀片接收裝置121b一起確定一個(gè)高架傳送凸緣113a適于通過(guò)的高架凸緣捕獲窗口137。
圖3是圖2所示高架載體支撐件111a和高架傳送凸緣113a的分解組合件的底面平面圖。高架載體支撐件111a和高架傳送凸緣113a沿與高架載體支撐件111a的中心平面(未單獨(dú)示出)和高架傳送凸緣113a的中心平面(未單獨(dú)示出)相吻合的垂直平面135對(duì)齊。參照?qǐng)D1，垂直平面135最好與高架傳送設(shè)備103的垂直方向的可移動(dòng)軌道109對(duì)齊，然而，按照本發(fā)明，也可以提供其它方向(如，以一角度，或平行但不偏移(offset))。
高架凸緣捕獲窗口137在圖3中以一條線表示。高架載體支撐件111a允許高架傳送凸緣113a從圖3所示高架傳送凸緣113a的相對(duì)位置并通過(guò)高架凸緣捕獲窗口137向高架載體支撐件111a方向前進(jìn)。
第一刀片接收裝置121a以相對(duì)于高架載體支撐件111a的中心平面(未單獨(dú)示出)的第一角度139a被定位，第二刀片接收裝置121b以相對(duì)于高架載體支撐件111a的中心平面的第二角度139b被定位。第一角度139a和第二角度139b最好相等，相對(duì)于高架載體支撐件111a的中心平面(未單獨(dú)示出)，使得第二刀片接收裝置121b與第一刀片接收裝置121a鏡面對(duì)稱。在一個(gè)實(shí)施例中，在第一刀片接收裝置121a和第二刀片接收裝置121b之間的第三角度141大約是60度。其它角度也可以使用(如，包括大約10-20度這樣小的角度)。正如將明顯地看到的那樣，第三角度141范圍的選擇與如下將解釋的高架載體支撐件111a和高架傳送凸緣113a的幾何形狀的其它方面有關(guān)。
第一刀片129a以相對(duì)于高架傳送凸緣113a的中心平面(未單獨(dú)示出)的第四角度139c被定位，以及第二刀片129b以相對(duì)于高架傳送凸緣113a的中心平面(未單獨(dú)示出)的第五角度139d被定位。第四角度139c和第五角度139d最好相等，使得相對(duì)于高架傳送凸緣113a的中心平面(未單獨(dú)示出)，第二刀片129b與第一刀片129a鏡面對(duì)稱。在一個(gè)實(shí)施例中，在第一刀片129a和第二刀片129b之間的第六角度143大約是60度。其它角度也可以使用。由于高架載體支撐件111a和高架傳送凸緣113a之間適當(dāng)?shù)南嗷ビ绊?，第三角?41和第六角度143最好是基本上相等。
圖4是圖2所示高架載體支撐件111a和高架傳送凸緣113a的分解組合件的底平面圖。除高架傳送凸緣113a已經(jīng)從相對(duì)于在圖3中擁有的相對(duì)于高架載體支撐件111a(見(jiàn)虛線圖)的位置送進(jìn)、通過(guò)高架凸緣捕獲窗口137、以及所示位于相對(duì)于高架載體支撐件111a的嵌入位置之外，圖4和圖3是相似的。在這個(gè)嵌入位置，基本上一起形成剪切的“V”型或剪切的人字型的第一和第二刀片129a和129b與相應(yīng)的第一和第二刀片接收裝置121a、121b(也基本上形成剪切的V型或剪切的人字型)構(gòu)成緊密間隔的關(guān)系，但還不是完全匹配。這稱之為高架傳送凸緣113a的集結(jié)(staging position)位置。
雖然可以使高架傳送凸緣113a向前移動(dòng)通過(guò)高架凸緣捕獲窗口137，以使高架傳送凸緣113a與高架載體支撐件111a匹配，但本發(fā)明提供并解釋下列論述，即高架傳送凸緣113a也能夠從高架載體支撐件111a的下面升起而呈現(xiàn)出圖4的嵌入位置(而不是用水平元件接近)。然后高架傳送凸緣113a的第一刀片129a和第二刀片129b發(fā)生與圖4所示的相似的繼續(xù)縱向前移以分別與高架載體支撐件111a的第一刀片接收裝置121a和第二刀片接收裝置121b匹配并由其牢固地支撐。正如在以下圖5-12所顯示和所描述的，圖4中所描畫的V-V截面代表了正交截割第一刀片接收裝置121a和第一刀片129a的橫截面。
圖5和圖6是高架載體支撐件111a的第一刀片接收裝置121a和高架傳送凸緣113a的第一刀片129a(包括橫截面)的相應(yīng)部分的透視圖，而圖7-8是高架載體支撐件111a和高架傳送凸緣113a的相同部分的簡(jiǎn)單剖面圖。圖5-8描述了導(dǎo)致高架載體支撐件111a的第一刀片接收裝置121a和第二刀片接收裝置121b(未示出)支撐高架傳送凸緣113a的第一刀片129a和第二刀片129b(未示出)的匹配過(guò)程。
在圖5-8所描述的匹配過(guò)程中，第一刀片接收裝置121a(顯示匹配至高架傳送凸緣113a的支撐板115的下部)和第一刀片129a彼此相對(duì)移動(dòng)，第二刀片接收裝置121b(未示出)和第二刀片129b(未示出)也彼此相對(duì)移動(dòng)。除了第二刀片接收裝置121b(未示出)和第二刀片129b(未示出)之間的相對(duì)移動(dòng)趨向于與在圖5-8和圖10-12所示的第一刀片接收裝置121a和第一刀片129a之間的相對(duì)移動(dòng)相反或呈鏡像對(duì)稱外，作為每個(gè)分別配對(duì)的刀片和刀片接收裝置之間的相對(duì)移動(dòng)基本上相似。因此，圖5-8和圖10-12只闡明了第一刀片接收裝置121a和第一刀片129a之間的相對(duì)移動(dòng)，另一個(gè)成對(duì)的刀片—刀片接收裝置之間的相對(duì)移動(dòng)可以被理解為相同的鏡像對(duì)稱移動(dòng)。
在圖5-8以及在圖10-12中，支撐板115和第一刀片接收裝置121a顯示為兩個(gè)部件耦合在一起。然而，支撐板115和第一刀片接收裝置121a可以是一個(gè)單一部件。
參照?qǐng)D5，第一刀片接收裝置121a的第一接收表面121aa最好是平坦的，并適于結(jié)合與第一刀片129a匹配的第一刀片接收裝置121a、與同樣是平坦的第一刀片129a的第一刀片表面129aa(不可見(jiàn))可滑動(dòng)地連通。第一刀片接收裝置121a的第二接收表面121ab(不可見(jiàn))最好也是平坦的，并適于與第一刀片129a的第一刀片邊緣129ab接觸。至少在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，通過(guò)重力第一刀片邊緣129ab適于安裝進(jìn)第一刀片接收裝置121a并實(shí)現(xiàn)與第一刀片接收裝置121a的延伸頂點(diǎn)121ac接觸，延伸頂點(diǎn)121ac通過(guò)第一刀片接收裝置的第一接收表面121aa和第一刀片接收裝置的第二接收表面121ab之間的交叉來(lái)限定。如果需要的話，第一刀片接收裝置121a的第一接收表面121aa也適合于實(shí)現(xiàn)與第一刀片邊緣129ab的接觸。第一刀片接收裝置121a的延長(zhǎng)前緣121ad最好是位于第一刀片接收裝置121a的最右邊外延位置121ae上。前緣121ad的其它位置也可以采用。
圖5示出了在相對(duì)于圖4中描述和示出的高架載體支撐件111a的第一刀片接收裝置121a的合適的集結(jié)(staging position)位置中的高架傳送凸緣113a的第一刀片129a，該圖就是圖4所示的V-V截面圖。這個(gè)集結(jié)(stagingposition)位置為什么是適宜的理由是因?yàn)榈谝坏镀?29a靠近第一刀片接收裝置121a內(nèi)的接納位置，僅需要在縱向107(見(jiàn)圖1)方向被推向第一刀片接收裝置121a以及相對(duì)于第一刀片接收裝置121a將其放下以實(shí)現(xiàn)該接納。所示的集結(jié)(staging position)位置為什么是適宜的另一個(gè)理由是第一刀片129a可以從多個(gè)集結(jié)(staging position)位置進(jìn)入方向(例如，第一集結(jié)(stagingposition)位置進(jìn)入方向145a，第二集結(jié)(staging position)位置進(jìn)入方向145b等等)到達(dá)這個(gè)位置。
第一集結(jié)(staging position)位置進(jìn)入方向145a是以上圖4描述和示出的水平進(jìn)入方向。沿著傳輸設(shè)備(例如，圖1的高架傳送設(shè)備103)如果連續(xù)的載體支撐件之間(例如，圖1的第一載體105a和第二載體105b之間)存在足夠的縱向間距，則第一集結(jié)(staging position)位置進(jìn)入方向145a能夠容易地收容并具有連續(xù)及簡(jiǎn)便的優(yōu)點(diǎn)，由于在縱向107(見(jiàn)圖1)方向上高架傳送凸緣113a簡(jiǎn)單連續(xù)地移動(dòng)通過(guò)所示的集結(jié)(staging position)位置，因此第一刀片129a需要直接置于第一刀片接收裝置121a內(nèi)的接納位置上。
當(dāng)載體沿著傳輸設(shè)備(例如，圖1所示沿著高架傳送設(shè)備103的可移動(dòng)軌道109，第一載體105a和第二載體105b緊密地間隔配置)緊密地間隔配置時(shí)，第二集結(jié)(staging position)位置進(jìn)入方向145b可以實(shí)際上替代第一集結(jié)(staging position)位置進(jìn)入方向145a。第二集結(jié)(staging position)位置進(jìn)入方向145b是一垂直進(jìn)入方向，它通過(guò)利用第一刀片129a和第二刀片129b構(gòu)成V型結(jié)構(gòu)的事實(shí)，在刀片同刀片接收裝置121a、121b不接觸的情況下，能夠在由第一刀片接收裝置121a和第二刀片接收裝置121b形成的V型后面緊密地嵌入。
因?yàn)橥ㄟ^(guò)第一刀片129a和第二刀片129b構(gòu)成的V型結(jié)構(gòu)能夠在由第一刀片接收裝置121a和第二刀片接收裝置121b形成的V型結(jié)構(gòu)后面嵌入，因此高架傳送凸緣113a可以從高架載體支撐件111a的下面升起以及通過(guò)第一刀片接收裝置的前緣121ad和第一刀片接收裝置121a的最右邊外延位置121ae向上移動(dòng)，這樣第一刀片129a從第一刀片接收裝置121a的后面(例如，在縱向107方向后面)升高到第一刀片接收裝置121a以上，到達(dá)圖4和5中所示的合適的集結(jié)(staging position)位置。在沿著高架傳送設(shè)備103的可移動(dòng)軌道109的長(zhǎng)度方向的非常接近于高架載體支撐件111a支撐高架傳送凸緣113a的位置上，第二集結(jié)(staging position)位置進(jìn)入方向145b有將高架傳送凸緣113a引入高架傳送設(shè)備103的優(yōu)勢(shì)，以致于高架傳送凸緣113a和高架載體支撐件111a之間的縱向、橫向移動(dòng)只需要一個(gè)最小量就可使得高架傳送凸緣113a容納進(jìn)高架載體支撐件111a中。例如，在高架傳送凸緣113a升起期間，高架傳送凸緣113a的軌跡可以與高架載體支撐件111a的軌跡重疊。
參照?qǐng)D6示出的所有在以上圖5中描述的第一刀片接收裝置121a、第一刀片表面129aa以及第一刀片接收裝置121a的最右邊外延位置121ae。高架傳送凸緣113a在縱向107(見(jiàn)圖4)方向上開(kāi)始移動(dòng)，從而產(chǎn)生高架傳送凸緣113a和高架載體支撐件111a之間的相對(duì)移動(dòng)。具體地說(shuō)，高架傳送凸緣113a已經(jīng)向高架載體支撐件111a移動(dòng)，從而第一刀片邊緣129ab位于第一刀片接收裝置前緣121ad的正上方，并與第一刀片接收裝置121a的最右邊外延位置121ae對(duì)準(zhǔn)。
在第一刀片129a的第一刀片邊緣129ab和第一刀片接收裝置121a的前緣121ad之間存在第一間距147a。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，第一間距147a最好為3mm或更小，以及更好為1.5mm或更小。此外可以使用其它間距，在高架傳送凸緣113a的凸緣板125(圖2)和高架載體支撐件111a的支撐板115之間存在一第二間距147b。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，第二間距147b也最好為3mm或更小，以及更好為1.5mm或更小。可以使用其它間距。由于常規(guī)的半導(dǎo)體器件制造設(shè)備的清洗室空間特別昂貴，因此最好使例如第一間距147a和第二間距147b這樣的間距保持在一最小量。
應(yīng)該指出，當(dāng)高架傳送凸緣113a沿縱向107(見(jiàn)圖1)接近高架載體支撐件111a時(shí)，第一刀片129a沒(méi)有直接接近第一刀片接收裝置121a(例如，平行于圖5的橫截面)，使得沿第一刀片129a的一特定點(diǎn)(例如，圖6中所示的沿第一刀片129a的第一刀片邊緣129ab的點(diǎn)129aba)將沿法線方向通過(guò)到達(dá)第一刀片接收裝置121a和第一刀片接收裝置前緣121ad上的一個(gè)對(duì)應(yīng)點(diǎn)(例如，圖6中所示的沿第一刀片接收裝置前緣121ad的點(diǎn)121ada)。更確切地說(shuō)，當(dāng)高架傳送凸緣113a沿縱向107(見(jiàn)圖1)向高架載體支撐件111a前進(jìn)時(shí)，將發(fā)生第一刀片129a和第一刀片接收裝置121a之間的正交會(huì)合點(diǎn)的接合(例如，當(dāng)向相同的方向前進(jìn)時(shí)，第一刀片邊緣129ab的“線”與第一刀片接收裝置前緣121ad的“線”保持平行)及橫向相對(duì)移動(dòng)(例如，運(yùn)動(dòng)的第一刀片邊緣點(diǎn)129aba橫向通過(guò)第一刀片接收裝置前緣點(diǎn)121ada)。
由于這些沿高架傳送凸緣113a和高架載體支撐件111a在圖5-8和圖10-12的橫截面中采用的對(duì)應(yīng)的點(diǎn)(未單獨(dú)示出)并不都是假定為圖4中V-V方向橫截面上的那些點(diǎn)，而是應(yīng)假定按照高架傳送凸緣113a和高架載體支撐件111a之間的距離(例如，在高架傳送凸緣113a和高架載體支撐件111a上接近于圖4的V-V截面的點(diǎn)處取得的截面圖)在圖與圖間變化，而不需要改變以上所描述的高架傳送凸緣113a和高架載體支撐件111a的形式。
參照?qǐng)D7，高架傳送凸緣113a進(jìn)一步相對(duì)于高架載體支撐件111a移動(dòng)，以致于第一刀片邊緣129ab直接位于第一刀片接收裝置延伸頂點(diǎn)121ac之上。相對(duì)高架載體支撐件111a，利用在這一位置的高架傳送凸緣113a，可以允許第一刀片129a沿垂直路徑149a落下，使得第一刀片邊緣129ab與第一刀片接收裝置的延伸頂點(diǎn)121ac達(dá)到線性接觸。
可以選擇的是，在同一水平面中沿水平路徑149b，第一刀片129a被進(jìn)一步推向第一刀片接收裝置121a，導(dǎo)致了第一刀片邊緣129ab與第一刀片接收裝置的第二接納表面121ab線性接觸。作為另一個(gè)可選擇的方案，第一刀片129a移動(dòng)通過(guò)具有水平和垂直分量的斜的路徑149c，獲得一個(gè)與通過(guò)斜的路徑149c得到的結(jié)果相似的結(jié)果。在初始水平速度分量影響以后，斜的路徑149c尤其可以通過(guò)允許高架傳送凸緣113a下降或落到高架載體支撐件111a上得到。
作為一個(gè)例子，高架傳送凸緣113a(例如，高架傳送凸緣113是第一載體105的一部分)以與高架傳送設(shè)備103(例如，通過(guò)提供一水平傳送表面的電動(dòng)滾輪的配置或任何其它工具)的可移動(dòng)軌道109的速度相同的速度水平推進(jìn)。第一載體105的水平速度可以增加，以引起高架傳送凸緣113a“靠近”高架載體支撐件111a以及第一載體105(和附在其上的高架傳送凸緣113a)可以相對(duì)于高架載體支撐件111a下降或落下。
只要高架傳送凸緣113a通過(guò)第一刀片接收裝置前緣121ad而沒(méi)有碰到第一刀片接收裝置前緣121ad，并且與第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa、第一刀片接收裝置的第二接納表面121ab、或第一刀片接收裝置的延伸頂點(diǎn)121ac接觸，當(dāng)相對(duì)于高架載體支撐件111a，高架傳送凸緣113a的橫向位置如圖6所示時(shí)，或者甚至在圖5所示的第一刀片邊緣129ab越過(guò)第一刀片接收裝置前緣121ad之前，相似于斜的路徑149c的一個(gè)曲線路徑就可以創(chuàng)建。
參照?qǐng)D8，隨著第一刀片129a容納進(jìn)高架載體支撐件111a，所示的高架傳送凸緣113a由第一刀片接收裝置121a支撐。第一刀片邊緣129ab與第一刀片接收裝置的延伸頂點(diǎn)121ac線性接觸，以及第一刀片129a與第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa平坦接觸。
作為一個(gè)例子，在第一刀片邊緣129ab與第一刀片接收裝置的延伸頂點(diǎn)121ac剛剛達(dá)到線性接觸之前，隨著第一刀片邊緣129ab在頂部滑動(dòng)以及與第一刀片接收裝置的第二接納表面121ab線性接觸，第一刀片129a可能已經(jīng)向下和向右滑動(dòng)。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，第一刀片接收裝置的第二接納表面121ab最好與垂直平面成大約25度-30度角定位。這樣一個(gè)傾角保證第一刀片129a從第一刀片邊緣129ab與第一刀片接收裝置的第二接納表面121ab相接觸的點(diǎn)迅速向下移動(dòng)。其它角度可以使用。
可選擇的是，隨著第一刀片表面129aa在頂部滑動(dòng)以及與第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa平面接觸，第一刀片129a可能已經(jīng)向下和向左滑動(dòng)。在本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例中，第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa最好與垂直平面成大約25度-30度角定位?？梢圆捎闷渌慕?。
當(dāng)?shù)谝坏镀?29a被安置在第一刀片接收裝置121a內(nèi)(第二刀片129b被安置在第二刀片接收裝置121b內(nèi)(見(jiàn)圖4-5))時(shí)，通過(guò)由第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa引起的對(duì)第一刀片表面129aa產(chǎn)生的阻礙，在橫向與向后(例如縱向107的反向(見(jiàn)圖1))的方向上有利地限定了高架傳送凸緣113a。在本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例中，刀片和接納表面最好是平坦的以及相對(duì)于垂直方向具有附加定向以保證第一刀片表面129aa與第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa之間緊密配合。如以前提到的，第二刀片接收裝置以同樣的方式限定橫向移動(dòng)。不平坦的表面也可以使用。
同時(shí)通過(guò)由第一刀片接收裝置的第二接納表面121ab構(gòu)成的對(duì)第一刀片邊緣129ab產(chǎn)生的阻礙，在向前(例如縱向107(見(jiàn)圖1))的方向上有利地限定了高架傳送凸緣113a。無(wú)論何時(shí)第一刀片邊緣129ab和第一刀片接收裝置的第二接納表面121ab產(chǎn)生滑動(dòng)互連，第一刀片邊緣129ab可以稍圓一些(例如，破損的尖角、切成圓角的邊緣、截錐等等)以保證第一刀片邊緣129ab和第一刀片接收裝置的第二接納表面121ab平滑滑動(dòng)。
然而，應(yīng)該注意的是，在放置高架傳送凸緣113a于高架載體支撐件111a之上的過(guò)程期間，期望近乎絕對(duì)發(fā)生第一刀片邊緣129ab和第一刀片接收裝置的第二接納表面121ab之間的接合。即，一旦第一刀片邊緣129ab被放進(jìn)第一刀片接收裝置的延伸頂點(diǎn)121ac內(nèi)，以及在縱向107的方向上通過(guò)高架傳送設(shè)備103傳輸?shù)谝惠d體105a(見(jiàn)圖1)時(shí)，第一載體105a受到相對(duì)于高架載體支撐件111a趨于向前推進(jìn)高架傳送凸緣113a的外力的可能性相當(dāng)小。正如下面進(jìn)一步解釋的那樣，參照?qǐng)D9-12，高架傳送凸緣113a極有可能受到橫向推動(dòng)它的外力，或向后推動(dòng)它的外力，或這些力的結(jié)合。
圖9是利用在高架載體支撐件111a和高架傳送凸緣113a之間獨(dú)創(chuàng)性地匹配以在縱向107方向上承載第一載體105a的高架傳送裝置103的部分的局部透視剖視圖。物體151存在于高架傳送裝置103載有第一載體105a的路徑中，物體151碰撞第一載體105a的一個(gè)角105aa。物體151可以是一個(gè)機(jī)械裝置，例如由于程序錯(cuò)誤偏離了預(yù)定路徑的機(jī)器人、誤放的設(shè)備或其它物體。許多其他物件或器件可以有意或無(wú)意地放置在靠近高架傳送裝置103的位置，以致于在第一載體角105aa處與第一載體105a發(fā)生碰撞。
與第一載體105a的碰撞也可以通過(guò)物體(未單獨(dú)示出)撞擊第一載體105a的底部、側(cè)邊、頂部或后部產(chǎn)生。由于高架傳送裝置103的可移動(dòng)軌道109在縱向107方向上最好以高速運(yùn)載襯底載體，所以不希望一個(gè)物體從后面撞擊第一載體105a。
本發(fā)明的高架載體支撐件111a和高架傳送凸緣113a的優(yōu)點(diǎn)是，當(dāng)受到一個(gè)預(yù)定量的向后的或橫向的外力時(shí)，例如，諸如3磅或多一些，最好5磅或多一些，第一載體105a能夠可預(yù)測(cè)和可控制地從高架傳送裝置103上卸下。即，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，如果第一載體105a被從前面或側(cè)面指向第一載體105a的1或2磅的力撞擊，則高架傳送凸緣113a仍然保持在高架載體支撐件111a內(nèi)，以致于在縱向107方向上通過(guò)高架傳送裝置103繼續(xù)運(yùn)載第一載體105a。然而，如果第一載體105a被從前面或側(cè)面指向第一載體105a的7或8磅的力撞擊，則高架傳送凸緣113a優(yōu)先地從高架載體支撐件111a中脫離并且脫離高架傳送裝置103以及脫離通過(guò)由高架傳送裝置103運(yùn)載的其它襯底載體向下落下。
根據(jù)圖1和以上所述，當(dāng)在縱向107方向上沿可移動(dòng)軌道109通過(guò)高架傳送裝置103運(yùn)載第一載體105a時(shí)，相對(duì)于高架載體支撐件111a的高架傳送凸緣113a部分上的橫向相對(duì)移動(dòng)、從前至后的相對(duì)移動(dòng)以及從后至前的相對(duì)移動(dòng)被限定，在高架傳送裝置103的正常工作中，這樣的移動(dòng)基本上被禁止。相對(duì)于高架載體支撐件111a的高架傳送凸緣113a的向下移動(dòng)同樣地被禁止。然而相對(duì)于高架載體支撐件111a的高架傳送凸緣113a的向上移動(dòng)通常不受限制。
圖9中描述的物體151可使第一載體105a受到側(cè)向和向后的外力，此外力依據(jù)縱向107方向高架傳送裝置103的速度、第一載體105a撞擊物體151時(shí)的角度、第一載體105a的寬度(例如，在物體151和第一載體105a之間發(fā)生碰撞時(shí)，與可移動(dòng)軌道109間的距離)而不同。然而，高架載體支撐件111a最好在水平面上限定高架傳送凸緣113a的扭曲移動(dòng)和平移。因此，為了防止對(duì)高架傳送裝置103的可移動(dòng)軌道109的破壞，由碰撞引起的水平力應(yīng)設(shè)法改變其方向。
正如在縱向107方向從高架傳送凸緣113a前部看到的，第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa(圖5)向后傾斜，由第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa和第二刀片接收裝置121b(見(jiàn)圖2)上其對(duì)應(yīng)物的表面形成的水平切邊V型結(jié)構(gòu)從接近高架傳送凸緣113a前部的窄的面到接近高架傳送凸緣113a后部的寬的面的方向增大。形成向后擴(kuò)展的錐形V型結(jié)構(gòu)的兩個(gè)向后傾斜的表面的結(jié)合提供了匹配表面(例如，第二刀片129b上的第一刀片表面129aa和(見(jiàn)圖2)其對(duì)應(yīng)物的表面(未示出))可以相對(duì)于高架傳送凸緣113a向上及向后運(yùn)動(dòng)，當(dāng)它們向上及向后運(yùn)動(dòng)時(shí)，匹配表面沿與它們相對(duì)應(yīng)的支持表面移動(dòng)并與之保持匹配。
在工作狀態(tài)時(shí)，上述向后和向上傾斜表面的V型裝置與第一載體105a受到的向后及橫向的沖力相配合，此沖力易引起(例如，在碰撞期間)第一載體105a的高架傳送凸緣113a相對(duì)于高架傳送裝置103的高架載體支撐件111a向上及向后移動(dòng)。高架傳送凸緣113a可以脫離高架載體支撐件111a，由此引起第一載體105a從高架傳送裝置103上落下。參考圖10-12，這種結(jié)合將在下面進(jìn)行解釋。
圖10-12是高架載體支撐件111a的第一刀片接收裝置121a和高架傳送凸緣113a的第一刀片129a相應(yīng)部分的剖視圖，這些圖描述了導(dǎo)致從高架傳送設(shè)備103中取出第一載體105a的分離過(guò)程。參照?qǐng)D10，在垂直于圖5-6所示的第一刀片129a延伸方向上對(duì)高架傳送凸緣113a施加力F1，此力是從圖10所示的第一載體105a與物體151之間碰撞中產(chǎn)生的力。
如果沒(méi)有由第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa產(chǎn)生的對(duì)高架傳送凸緣113a的第一刀片129a的橫向移動(dòng)所形成的阻礙，在高架傳送凸緣113a存在于圖8所示的水平面內(nèi)的水平方向上，力F1推動(dòng)第一刀片129a遠(yuǎn)離第一刀片接收裝置121a。然而，因?yàn)橛捎谠诘谝坏镀邮昭b置的第一接納表面121aa與第一刀片表面129aa之間的平面耦合導(dǎo)致第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa阻止高架傳送凸緣113a的正面橫向移動(dòng)，因此相對(duì)于作為一個(gè)整體的高架載體支撐件111a來(lái)說(shuō)，通過(guò)第一刀片表面129aa向上及向后的滑動(dòng)或移動(dòng)，高架傳送凸緣113a反抗力F1。
如上所述，相對(duì)于高架載體支撐件111a的高架傳送凸緣113a的向后移動(dòng)意味著在位于高架傳送凸緣113a上截取圖10的橫截面點(diǎn)(未示出)當(dāng)?shù)谝坏镀砻?29aa沿第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa方向向上滑動(dòng)時(shí)移入頁(yè)面，圖10-12中使用了在高架傳送凸緣113a的不同點(diǎn)截取的高架傳送凸緣113a的橫截面。
再參照?qǐng)D10，響應(yīng)力F1，在153方向上，第一刀片129a的第一刀片表面129aa沿高架載體支撐件111a的第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa向上滑，其與第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa的斜向155對(duì)準(zhǔn)。因?yàn)楦呒軅魉屯咕?13a的第一刀片表面129aa與第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa是平坦的接合，以及因?yàn)楦呒軅魉屯咕?13a另一側(cè)上的互補(bǔ)表面(未示出)同時(shí)移動(dòng)，因此在第一載體105a和物體151(見(jiàn)圖9)碰撞之前，當(dāng)它升起時(shí)，只要沿高架傳送設(shè)備103(見(jiàn)圖8)通過(guò)高架載體支撐件111a運(yùn)送，高架傳送凸緣113a趨于保持其采取的水平方位。另外，當(dāng)高架傳送凸緣113a相對(duì)于高架載體支撐件111a升起并向后移動(dòng)時(shí)，共同接合表面的上述裝置可以使高架傳送凸緣113a的中心平面(未示出)與高架傳送設(shè)備103的可移動(dòng)軌道109保持基本對(duì)準(zhǔn)。
參照?qǐng)D11，高架傳送凸緣113a已完全從高架載體支撐件111a卸出并處于向上的拋體運(yùn)動(dòng)方向，如由拋體運(yùn)動(dòng)路徑157所示，脫離第一刀片接收裝置的第一接納表面121aa的斜面155。高架傳送凸緣113a不再限定在它的垂直運(yùn)動(dòng)中并且可以向下通過(guò)且遠(yuǎn)離高架載體支撐件111a。
圖11中所示的高架傳送凸緣113a已經(jīng)升起，以致于相對(duì)于第一刀片接收裝置的延伸頂點(diǎn)121ac來(lái)說(shuō)，第一刀片邊緣129ab至少達(dá)到一間距147c，其與第一刀片接收裝置的延伸頂點(diǎn)121ac上的第一刀片接收裝置前緣121ad的高度一致。因此，第一刀片邊緣129ab能在第一刀片接收裝置前緣121ad上通過(guò)而沒(méi)有第一刀片129a撞擊第一刀片接收裝置121a的危險(xiǎn)。間距147c最好為大約3mm，應(yīng)注意，間距147c的范圍是部分地依據(jù)所希望的分離力來(lái)選擇的，如以上所述，在此實(shí)施例中的分離力大約是5磅。若所希望的分離力小于5磅，可以選擇更小的間距147c，反之亦然。例如，在本發(fā)明的另一實(shí)施例中，需要一個(gè)大至20磅的力將第一載體105a從高架傳送設(shè)備103中取出。在這樣的實(shí)施例中，期望一個(gè)大一些的間距147c(例如，在一個(gè)實(shí)施例中大約是0.5英寸)。
參考圖12，借助描述拋體運(yùn)動(dòng)路徑157余下部分的第一刀片邊緣129ab上的點(diǎn)的運(yùn)動(dòng)，高架傳送凸緣113a向后、向下通過(guò)高架載體支撐件111a并遠(yuǎn)離它。與物體151碰撞后(見(jiàn)圖9)，為了慢慢地聚集第一載體105a，第一載體105a(見(jiàn)圖9)現(xiàn)在可以匯集在網(wǎng)狀物或其它類似裝置中。
進(jìn)一步的描述僅揭示了發(fā)明的典型實(shí)施例；對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，對(duì)以上揭示的落在本發(fā)明范圍內(nèi)的裝置和方法的修改是顯而易見(jiàn)的。例如，高架載體支撐件111a和高架傳送凸緣113a可由任何適合的材料組成(例如，那些自由滑動(dòng)的以及呈現(xiàn)長(zhǎng)久耐磨性的材料)。適用于高架載體支撐件和/或高架傳送凸緣的典型材料包括金屬(例如，不銹鋼，鋁等)，塑料(例如，聚碳酸酯，聚乙烯，其它超高分子重量或高密度塑料，尼龍，PTFE等)，或其它類似材料。塑料部件可以被模塑或用其它方法制造。
圖13是說(shuō)明該構(gòu)件另一實(shí)施例中高架載體支撐件111a的第一刀片接收裝置121a和高架傳送凸緣113a的第一刀片129a部分的剖視圖。參考圖13，第一刀片接收裝置121a的最右邊延伸部分121ae與第一刀片129a的第一刀片邊緣129ab都從垂直方向上成大約45度角(盡管能夠使用其它角度)。這樣一個(gè)構(gòu)造給高架傳送凸緣113a提供了一個(gè)比最右邊延伸部分121ae與第一刀片邊緣129ab之間沒(méi)有角度時(shí)更大的捕獲窗口。同樣地，當(dāng)成一角度時(shí)，在沒(méi)有對(duì)準(zhǔn)時(shí)，這些表面能夠互相相對(duì)滑動(dòng)并且能夠通過(guò)高架載體支撐件111a幫助捕獲高架傳送凸緣113a。
雖然在此已經(jīng)主要描述了供高架傳輸系統(tǒng)使用的高架載體支撐件111a和高架傳送凸緣113a，但高架載體支撐件111a(或其部分)可以在任何地點(diǎn)位置用來(lái)支撐和/或定位具有高架傳送凸緣113a的襯底載體是可以領(lǐng)會(huì)的。例如，高架載體支撐件111a(或其部分)可以用來(lái)支撐和/或定位在儲(chǔ)料器、襯底載體清洗器、局部存儲(chǔ)緩沖器中的襯底載體，這些作為諸如加熱爐或濕法清洗臺(tái)等加工工具、成批處理工具的一部分。
圖14是按照本發(fā)明通過(guò)高架傳送凸緣構(gòu)成支撐襯底載體的多個(gè)掛架175a-b的透視圖。可以使用多于或少于兩個(gè)的掛架。每個(gè)掛架175a-b包括支撐表面177a-b，其具有向該處耦合的(或在其內(nèi)形成的)刀片接收裝置121a、121b。掛架177a-b結(jié)果形成高架載體支撐件，其可以支撐具有如高架傳送凸緣113a(圖1-12)的高架傳送凸緣的襯底載體。例如，刀片接收裝置121a、121b的角度/尺寸可以與先前描述的相似。掛架177a-b可以安置在支撐襯底載體的任何位置(例如，在儲(chǔ)料器、襯底載體清洗器、局部存儲(chǔ)緩沖器內(nèi)，這些作為加工工具、成批處理工具等的一部分)。在發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中，掛架175a和/或175b可以移動(dòng)。例如，掛架175a和/或175b可以用來(lái)連接襯底載體至加工工具的供料口，或從加工工具的供料口斷開(kāi)襯底載體。
圖15是圖14中掛架175a-b的透視圖，其中通過(guò)它的高架傳送凸緣113a，頂掛架175a支撐襯底載體179。襯底載體179可以是單個(gè)襯底載體或可以適于裝有多個(gè)襯底載體的載體。正如將要明顯地看到的那樣，刀片接收裝置121a、121b和高架傳送凸緣113a的使用允許襯底載體以相對(duì)少的運(yùn)動(dòng)，在存儲(chǔ)架上進(jìn)行高堆積密度堆疊和存儲(chǔ)及將之從存儲(chǔ)架上移除。
高架傳送凸緣113a可以與開(kāi)口的襯底存放箱或支撐件一起使用。高架載體支撐件的刀片接收裝置可以與高架載體支撐件(相對(duì)水平方向)的前面至后面成角度；以及/或高架傳送凸緣的刀片邊緣以與高架傳送凸緣(相對(duì)水平方向)的前面至后面成角度。
因此，盡管本發(fā)明已在與其有關(guān)的典型實(shí)施例中披露，通過(guò)以下權(quán)利要求來(lái)限定的其它實(shí)施例落入本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)是可以領(lǐng)會(huì)的。
權(quán)利要求
1.一種用于支撐襯底載體的裝置，其包含適于與襯底載體本體匹配的高架傳送凸緣，和高架載體支撐件，高架傳送凸緣具有第一邊；以及比第一邊寬的且與第一邊相對(duì)的第二邊。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于高架傳送凸緣包括第三邊和第四邊，每一個(gè)都從第一邊向第二邊延伸。
3.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于第三邊和第四邊被大約以60度角隔開(kāi)。
4.如權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于每一個(gè)第三邊和第四邊都包括適于連接高架載體支撐件的支撐部件的連接部件。
5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于連接部件是刀片。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于每一個(gè)刀片具有鈍的刀片邊緣。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于每一個(gè)刀片有成圓角的刀片邊緣。
8.如權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于高架傳送凸緣的第三邊的刀片具有傾斜表面，以便與高架載體支撐件的第一支撐部件的傾斜表面相匹配；以及高架傳送凸緣的第四邊的刀片具有傾斜表面，以便與高架載體支撐件的第二支撐部件的傾斜表面相匹配。
9.一種襯底載體，其包含適于支撐一個(gè)或多個(gè)襯底的襯底載體本體；以及與襯底載體本體匹配和適于與高架載體支撐件匹配的高架傳送凸緣，高架傳送凸緣有第一邊；和比第一邊寬的且與第一邊相對(duì)的第二邊。
10.如權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于高架傳送凸緣包括第三邊和第四邊，每一個(gè)都從第一邊向第二邊延伸。
11.如權(quán)利要求10所述的裝置，其特征在于每一個(gè)第三邊和第四邊都包括適于連接高架載體支撐件的支撐部件的連接部件。
12.如權(quán)利要求11所述的裝置，其特征在于連接部件是刀片。
13.如權(quán)利要求12所述的裝置，其特征在于高架傳送凸緣的第三邊的刀片有傾斜表面，以便與高架載體支撐件的第一支撐部件的傾斜表面相匹配；以及高架傳送凸緣的第四邊的刀片有傾斜表面，以便與高架載體支撐件的第二支撐部件的傾斜表面相匹配。
14.一種用于支撐襯底載體的裝置，其包含適于通過(guò)高架傳送凸緣懸掛襯底載體的高架載體支撐件，高架載體支撐件有第一邊；以及比第一邊寬的且與第一邊相對(duì)的第二邊。
15.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于高架載體支撐件包括第三邊和第四邊，每一個(gè)邊都從第一邊向第二邊延伸。
16.如權(quán)利要求15所述的裝置，其特征在于第三邊和第四邊被大約以60度角隔開(kāi)。
17.如權(quán)利要求15所述的裝置，其特征在于每一個(gè)第三邊和第四邊都包括適于支撐高架傳送凸緣的連接部件的支撐部件。
18.如權(quán)利要求17所述的裝置，其特征在于支撐部件是適于接合高架傳送凸緣的刀片的凹槽。
19.如權(quán)利要求18所述的裝置，其特征在于高架載體支撐件的第三邊的凹槽有傾斜表面，以便與高架傳送凸緣的第一刀片的傾斜表面相匹配；以及高架載體支撐件的第四邊的凹槽有傾斜表面，以便與高架傳送凸緣的第二刀片的傾斜表面相匹配。
20.如權(quán)利要求19所述的裝置，其特征在于第三邊和第四邊的凹槽被大約以60度角隔開(kāi)。
21.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于高架載體支撐件是適于與在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備中用于傳輸襯底的高架傳輸系統(tǒng)相匹配。
22.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于高架載體支撐件適于與在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備中用于存儲(chǔ)襯底的存儲(chǔ)架相匹配。
23.如權(quán)利要求14所述的裝置，其特征在于至少在襯底載體至加工工具供料口的連接、襯底載體從加工工具供料口的斷開(kāi)這二者情形之一期間，高架載體支撐件適于支撐襯底載體。
24.一種支撐襯底載體的方法，包含提供襯底載體，它具有適于支撐一個(gè)或多個(gè)襯底的襯底載體本體；以及與襯底載體本體匹配和適于與高架載體支撐件匹配的高架傳送凸緣，高架傳送凸緣有第一邊；和比第一邊寬的且與第一邊相對(duì)的第二邊；提供適于通過(guò)高架傳送凸緣懸掛襯底載體的高架載體支撐件，高架載體支撐件有第一邊；和比第一邊寬的且與第一邊相對(duì)的第二邊；以及匹配高架傳送凸緣和高架載體支撐件以便支撐襯底載體。
25.權(quán)利要求24的方法，其特征在于匹配高架傳送凸緣和高架載體支撐件包含在高架載體支撐件的底面上至少升起高架傳送凸緣的頂面；以及把高架傳送凸緣往下落到與高架載體支撐件嚙合。
26.如權(quán)利要求25所述的方法，其特征在于在高架載體支撐件的底面上至少升起高架傳送凸緣的頂面包含升起高架傳送凸緣使得高架傳送凸緣的軌跡與高架傳送凸緣被升起時(shí)的高架載體支撐件的軌跡重疊。
27.如權(quán)利要求24所述的方法，其特征在于高架載體支撐件與在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備中用于傳輸襯底的高架傳輸系統(tǒng)相匹配。
28.如權(quán)利要求24所述的方法，其特征在于高架載體支撐件與在半導(dǎo)體器件制造設(shè)備中用于存儲(chǔ)襯底的存儲(chǔ)架相匹配。
全文摘要
在第一方面，提供用于支撐襯底載體的第一裝置。第一裝置包括適于與襯底載體本體匹配的高架傳送凸緣和高架載體支撐件。高架傳送凸緣有第一邊和比第一邊寬的且在第一邊對(duì)面的第二邊。且提供許多其它方面。
文檔編號(hào)B65G49/07GK1531053SQ200410035219
公開(kāi)日2004年9月22日 申請(qǐng)日期2004年1月27日 優(yōu)先權(quán)日2003年1月27日
發(fā)明者邁克爾·R·賴斯, 馬丁·R·埃利奧特, 羅伯特·B·勞倫斯, 杰弗里·C·赫金斯, 埃里克·安德魯·恩格爾哈德, B 勞倫斯, C 赫金斯, 安德魯 恩格爾哈德, R 埃利奧特, 邁克爾 R 賴斯 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料有限公司