專利名稱：大型基板收容盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板收容盒，更具體地說，涉及大型基板收容盒的構(gòu)造。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器等中使用玻璃基板，在其制造工藝中，為了在工序間輸送、儲存玻璃基板，使用以多張積存的狀態(tài)保持該玻璃基板的基板收容盒。
近年來，平板顯示器等不斷朝大型化發(fā)展，例如在液晶顯示器中使用的玻璃基板的大小，以前最大尺寸為1100mm(短邊尺寸)×1300mm(長邊尺寸)，但是目前進(jìn)一步加大，考慮如1500mm(短邊尺寸)×1800mm(長邊尺寸)、1800mm(短邊尺寸)×2100mm(長邊尺寸)等，并且認(rèn)為以后玻璃基板的大小會加速地大型化。其結(jié)果，將導(dǎo)致基板收容盒也會隨著玻璃基板的大型化而大型化。而且，關(guān)于玻璃基板的厚度，認(rèn)為今后也會趨向薄型化。因此，由于基板的大型化和薄型化，由大型基板的自重引起的撓曲也將成為不能忽視的問題。
在此，在將特開2001-146295號公報所公開的基板收容盒用作為大型基板收容盒的情況下，為了避免由大型基板的自重引起的撓曲，需要向內(nèi)方較長地伸出長肋。但是，在加長了長肋的情況下，向基板收容盒輸送搬出基板時使用的輸送臂支撐基板的區(qū)域就會成為基板的中央部，就會造成輸送基板時基板撓曲的問題。另外，為了避免這一問題，也可以考慮將輸送臂的形狀形成為魚骨狀(fish bone型)，但是這樣就需要特殊形狀的輸送臂。并且，在輸送基板時的輸送臂的動作中，需要有避免長肋的運(yùn)動，所以需要在上下的長肋的間隔中包含用于輸送臂的運(yùn)動的距離，從而無法提高基板收容盒的基板收容效率。
另外，將特開平11-35089號公報所公開的基板收容盒適用于大型基板時，基板的撓曲不會成為問題。但是，設(shè)置著連接框架的兩側(cè)面的梁部件，其結(jié)果，梁部件專有的區(qū)域不能利用于輸送臂的動作空間，因而不能提高基板收容盒的基板收容效率。

發(fā)明內(nèi)容
為此，本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種大型基板收容盒，其在向基板收容盒收容大型基板時，大型基板的撓曲不會成為問題，而且能夠提高基板收容盒的基板收容效率。
為了解決上述問題，基于本發(fā)明的大型基板收容盒，可從前面?zhèn)冗M(jìn)行大型基板的存取，并以疊層狀態(tài)收容上述大型基板，其特征在于具有以下的構(gòu)成。
首先，具有基底部件；從該基底部件的后端部側(cè)向上方豎立的后側(cè)部件；和以在上下方向以規(guī)定的間隔配置多個的狀態(tài)支撐在上述后側(cè)部件上、并從上述后側(cè)部件向前方延伸設(shè)置的多個基板支撐機(jī)構(gòu)。并且，上述基板支撐機(jī)構(gòu)，由從上述后側(cè)部件向前方延伸、并在左右方向以規(guī)定的間隔多個設(shè)置的支撐框架部件構(gòu)成。
根據(jù)由上述構(gòu)成形成的大型基板收容盒，在基板支撐機(jī)構(gòu)中，因?yàn)樵谧笥曳较蛞砸?guī)定的間隔設(shè)置多個的支撐框架部件被從后側(cè)部件向前方延伸設(shè)置，所以可以不使大型基板產(chǎn)生撓曲地在基板支撐機(jī)構(gòu)中支撐基板。
而且，由于支撐框架部件從后側(cè)部件向前方延伸設(shè)置，所以可以在支撐框架部件的左右方向上產(chǎn)生空間，在該空間中插入用于輸送大型基板的輸送臂。其結(jié)果，即使對于設(shè)置為叉狀的輸送臂的進(jìn)出，也不必超出需要地設(shè)置輸送臂的動作空間，從而提高基板收容盒中的基板的收容效率。
而且，在上述發(fā)明中，最好為了阻止上述大型基板向左右方向的移動，進(jìn)而具有設(shè)置在上述基板支撐機(jī)構(gòu)的左右的兩外側(cè)的基板側(cè)面引導(dǎo)機(jī)構(gòu)。根據(jù)該構(gòu)成，可以阻止收容在大型基板收容盒中的大型基板向左右方向的移動，從而在大型基板收容盒內(nèi)穩(wěn)定地支撐大型基板。


圖1是表示實(shí)施方式1的大型基板收容盒的構(gòu)成的整體立體圖。
圖2是表示實(shí)施方式2的第4基板支撐機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的立體圖。
圖3是圖2中的A向視端面圖。
圖4是表示實(shí)施方式3的支撐框架的構(gòu)成的立體圖。
圖5(A)和(B)是表示實(shí)施方式4的第4基板支撐機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的立體圖。
圖6是表示實(shí)施方式4的第4基板支撐機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的側(cè)視圖。
圖7是表示實(shí)施方式5的支撐框架的構(gòu)成的第1整體立體圖。
圖8是表示實(shí)施方式5的支撐框架的構(gòu)成的第2整體立體圖。
圖9是表示實(shí)施方式5的支撐框架的構(gòu)成的第3整體立體圖。
圖10是表示實(shí)施方式5的支撐框架的構(gòu)成的第4整體立體圖。
圖11是表示實(shí)施方式5的支撐框架的構(gòu)成的第5整體立體圖。
圖12是表示實(shí)施方式5的支撐框架的構(gòu)成的第6整體立體圖。
圖13是表示實(shí)施方式5的支撐框架的構(gòu)成的第7整體立體圖。
圖14是表示實(shí)施方式5的支撐框架的構(gòu)成的第8整體立體圖。
圖15是表示實(shí)施方式5的支撐框架的構(gòu)成的第9整體立體圖。
圖16是表示實(shí)施方式5的支撐框架的其它構(gòu)成的側(cè)視圖。
圖17是表示實(shí)施方式6的支撐框架向后側(cè)框架的第1安裝構(gòu)造的圖，(A)是局部側(cè)視圖，(B)是局部后視圖，(C)是局部俯視圖。
圖18是表示實(shí)施方式6的支撐框架向后側(cè)框架的第2安裝構(gòu)造的圖，(A)是局部側(cè)視圖，(B)是局部后視圖，(C)是局部俯視圖。
圖19是表示實(shí)施方式6的支撐框架向后側(cè)框架的第3安裝構(gòu)造的圖，(A)是局部側(cè)視圖，(B)是局部后視圖，(C)是局部俯視圖。
圖20是表示實(shí)施方式7的大型基板收容盒的構(gòu)成的整體立體圖。
圖21是表示實(shí)施方式8的大型基板收容盒中使用的保護(hù)罩的構(gòu)成的整體立體圖。
圖22是表示實(shí)施方式8的大型基板收容盒中使用的保護(hù)罩的其它構(gòu)成的整體立體圖。
圖23是表示其它實(shí)施方式的大型基板收容盒的構(gòu)成的局部整體立體圖。
圖中19a-平行部，19b-豎立部，100、500-大型基板收容盒，101、102、103、104-底面外框架，110、111、112、113-拐角框架，120、121、122、123-上面外框架，130、131、132、133、134、135-基板側(cè)面引導(dǎo)框架，140、141、142、143、501-基底框架，145、146、147、148-后側(cè)框架，145A-長孔，160、161、162、163、170、171、172、173、180、181、182、183、190、191、192、193、401、402、403、404、405、406、407、408、409、504-支撐框架，160A、160B-延長部，190a、190b、190c、193a、193b、193c-基板側(cè)面引導(dǎo)框架，190d-突起部，190e、190f、190g-支撐突起，190h-貫通孔，201、202、203、204、205、206、207、208、209、210、211、212-輔助板，221、222、223-基板側(cè)面引導(dǎo)銷，302-輔助銷，301-推進(jìn)螺母，401a-曲面區(qū)域，401b、402b-平坦面區(qū)域，402a-本體部，403a、404a-頭端側(cè)支撐框架，403b、404b-中間支撐框架，403c、404c-后端側(cè)支撐框架，405a、408a-本體框架，404b、404c、404d-開口部，407a、407b-側(cè)邊框架，407c、407d、407e-連接框架，408b-半球狀部，409a-頭端側(cè)部，409b-后端側(cè)部，409c-折曲部，502-后側(cè)部件，503-背部框架，510-輔助板，520-基板側(cè)面引導(dǎo)銷，601、602、611、636、637、634、635-銷，603、604-C型墊圈，605、631-上側(cè)塊體，607-位置調(diào)節(jié)用螺栓，621-塊體，622-螺紋部件，623-螺母，641-墊片，800-玻璃基板，900、950-保護(hù)罩。
具體實(shí)施例方式
以下，參照附圖對基于本發(fā)明的大型基板收容盒的各實(shí)施方式進(jìn)行說明。
(實(shí)施方式1)參照圖1對本實(shí)施方式的大型基板收容盒100的概略構(gòu)成進(jìn)行說明。
圖1是表示本實(shí)施方式的大型基板收容盒100的構(gòu)成的整體立體圖。此外，為了便于說明，省略部分圖示。
該大型基板收容盒100的目的在于可以從其前面?zhèn)却嫒【哂?500mm(短邊尺寸)×1800mm(長邊尺寸)、1800mm(短邊尺寸)×2100mm(長邊尺寸)等的大小的玻璃基板(圖中箭頭S方向)，并將該玻璃基板以疊層狀態(tài)收容，還具有以矩形配置的底面外框架101、102、103、104、和按照連接底面外框架101與底面外框架104的方式、在左右方向以規(guī)定間隔配置的基底框架140、141、142、143。在與底面外框架102、103、104對向的上方側(cè)，設(shè)置著上面外框架120、121、122、123，通過設(shè)置于底面外框架101、102、103、104的四個角的拐角框架110、111、112、113，連接底面外框架101、102、103、104和上面外框架120、121、122。并且，在前面?zhèn)纫部梢圆捎貌辉O(shè)置上面外框架123的構(gòu)造。
在底面外框架102和上面外框架120之間，設(shè)置著基板側(cè)面引導(dǎo)框架130、131、132，在底面外框架104和上面外框架122之間，設(shè)置著基板側(cè)面引導(dǎo)框架133、134、135。
在基底框架140、141、142、143的后端部側(cè)，設(shè)置著向上方豎立的后側(cè)框架145、146、147、148，在其各自的上端部，連接著上面外框架121。
在后側(cè)框架145上，以規(guī)定的間距在上下方向疊層設(shè)置著向前方延伸的支撐框架160、170、180、190。同樣地，在后側(cè)框架146上，以規(guī)定的間距在上下方向疊層設(shè)置著向前方延伸的支撐框架161、171、181、191，在后側(cè)框架147上，以規(guī)定的間距在上下方向疊層設(shè)置著向前方延伸的支撐框架162、172、182、192，在后側(cè)框架148上，以規(guī)定的間距在上下方向疊層設(shè)置著向前方延伸的支撐框架163、173、183、193。
這里，在支撐框架160、161、162、163上，構(gòu)成支撐同一玻璃基板的第1基板支撐機(jī)構(gòu)，按照其各自的上面處于相同高度位置的方式安裝在后側(cè)框架145～148上。同樣地，在支撐框架170、171、172、173上，構(gòu)成支撐同一玻璃基板的第2基板支撐機(jī)構(gòu)，按照其各自的上面處于相同高度位置的方式安裝在后側(cè)框架145～148上，在支撐框架180、181、182、183上，構(gòu)成支撐同一玻璃基板的第3基板支撐機(jī)構(gòu)，按照其各自的上面處于相同高度位置的方式安裝在后側(cè)框架145～148上，在支撐框架190、191、192、193上，構(gòu)成支撐同一玻璃基板的第4基板支撐機(jī)構(gòu)，按照其各自的上面處于相同高度位置的方式安裝在后側(cè)框架145～148上。
此外，作為各外框架、基底框架、拐角框架和后側(cè)框架所使用的材料，可以舉出不銹鋼、鋁、樹脂等、含碳纖維的碳纖維強(qiáng)化塑料材料等。
另外，作為基板側(cè)面引導(dǎo)框架所使用的材料，可以舉出樹脂(聚醚、醚酮、聚醚酰亞胺、聚碳酸酯等)、不銹鋼、鋁等、含碳纖維的碳纖維強(qiáng)化塑料材料等。
另外，作為支撐框架所使用的材料，可以舉出不銹鋼、鋁、碳、鈦、含碳纖維的碳纖維強(qiáng)化塑料材料等、上述材料與樹脂的復(fù)合品等。
(作用、效果)根據(jù)由上述構(gòu)成形成的大型基板收容盒100，因?yàn)椴辉O(shè)置從側(cè)面?zhèn)戎位宓闹尾考?，而僅從后側(cè)框架145～148向前方延伸設(shè)置在左右方向多個以規(guī)定間隔設(shè)置的支撐框架160～163、170～173、180～183、190～193，所以能夠通過從下方面?zhèn)戎尾ＡЩ宓恼w，而不使玻璃基板產(chǎn)生撓曲地、將玻璃基板均勻地支撐在支撐框架160～163、170～173、180～183、190～193上。
而且，因?yàn)閺暮髠?cè)部件向前方設(shè)置支撐框架160～163、170～173、180～183、190～193，所以能夠在支撐框架160～163、170～173、180～183、190～193的左右方向的相互之間產(chǎn)生空間，在該空間中插入用于輸送玻璃基板的輸送臂。其結(jié)果，即使在例如設(shè)置成叉狀的輸送臂進(jìn)出時，也不必超出需要地設(shè)置用于輸送臂的動作的空間，所以能夠在同一容積內(nèi)疊層更多的基板支撐機(jī)構(gòu)，能夠提高大型基板收容盒100的基板收容效率。
而且，在本實(shí)施方式中，設(shè)置有基板側(cè)面引導(dǎo)框架130～135，所以能夠阻止收容在大型基板收容盒100中的玻璃基板向左右方向的移動，在大型基板收容盒100內(nèi)穩(wěn)定地支撐玻璃基板。
(實(shí)施方式2)下面，作為實(shí)施方式2，參照圖2和圖3對上述大型基板收容盒100的變形例進(jìn)行說明。圖2是表示本實(shí)施方式的第4基板支撐機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的立體圖，圖3是圖2中的A向視端面圖。此外，在圖2中，作為代表例圖示了第4基板支撐機(jī)構(gòu)的構(gòu)成，但是其它的第1～第3基板支撐機(jī)構(gòu)也具有與本實(shí)施方式的第4基板支撐機(jī)構(gòu)同樣的構(gòu)成。
本變形例的特征為，取代上述的基板側(cè)面引導(dǎo)框架130～135，在支撐框架190的外側(cè)的面上設(shè)置基板側(cè)面引導(dǎo)框架190a、190b、190c，在支撐框架193的外側(cè)的面上設(shè)置基板側(cè)面引導(dǎo)框架193a、193b、193c。
如圖3所示，該基板側(cè)面引導(dǎo)框架190a具有向外側(cè)平行延伸的平行部19a、和從平行部19a的端部向上方延伸的豎立部19b。其它的基板側(cè)面引導(dǎo)框架190b、190c、193a、193b、193c也具有相同的構(gòu)成。
另外，作為基板側(cè)面引導(dǎo)框架所使用的材料，可以舉出鋁、不銹鋼、樹脂、含碳纖維的碳纖維強(qiáng)化塑料材料等。
另外，在本變形例中，在支撐框架190、191、192、193的頭端部分，分別設(shè)置有用于抑制被收容的玻璃基板向前方側(cè)移動的突起部190d。作為該突起部所使用的材料，使用具有粘性的防發(fā)塵性或耐磨損性良好的樹脂等，作為防發(fā)塵性良好的樹脂，可以舉出彈性體類樹脂，作為耐磨損性良好的樹脂，可以舉出聚醚醚酮等。
(作用、效果)在本變形例中，也能夠得到與上述實(shí)施方式1的大型基板收容盒100同樣的作用效果。而且，通過采用設(shè)置基板側(cè)面引導(dǎo)框架190a、190b、190c、193a、193b、193c的構(gòu)成，與上述圖1所示的大型基板收容盒100的構(gòu)造相比較，可以不需要基板側(cè)面引導(dǎo)框架130～135，同時不需要拐角框架110、113、底面外框架102、104以及上面外框架120、122，所以能夠?qū)崿F(xiàn)大型基板收容盒的輕量化。
(實(shí)施方式3)下面，作為實(shí)施方式3，參照圖4對上述大型基板收容盒100的其它變形例進(jìn)行說明。圖4是表示本實(shí)施方式的支撐框架160、170、180、190的構(gòu)成的立體圖。此外，在圖4中僅圖示了支撐框架160、170、180、190，但是相反側(cè)的支撐框架163、173、183、193也具有同樣的構(gòu)成。
本變形例的特征為，取代上述實(shí)施方式1的基板側(cè)面引導(dǎo)框架130～135，而如圖4所示，在支撐框架160的外側(cè)的側(cè)面，以規(guī)定間隔設(shè)置著向外側(cè)伸出的輔助板201、202、203，同樣地，在支撐框架170上也以規(guī)定間隔設(shè)置著向外側(cè)伸出的輔助板204、205、206，在支撐框架180上也以規(guī)定間隔設(shè)置著向外側(cè)伸出的輔助板207、208、209，在支撐框架190上也以規(guī)定間隔設(shè)置著向外側(cè)伸出的輔助板210、211、212。此外，作為輔助板所使用的材料，可以舉出不銹鋼、鋁、樹脂等、含碳纖維的碳纖維強(qiáng)化塑料材料等。
另外，在輔助板201～212的各自的頭端部設(shè)置著貫通孔，按照穿過輔助板201、204、207、210的各貫通孔的方式固定著基板側(cè)面引導(dǎo)銷221，同樣地，按照穿過輔助板202、205、208、211的各貫通孔的方式固定著基板側(cè)面引導(dǎo)銷222，按照穿過輔助板203、206、209、212的各貫通孔的方式固定著基板側(cè)面引導(dǎo)銷223。
作為基板側(cè)面引導(dǎo)銷所使用的材料，使用具有粘性的防發(fā)塵性或耐磨損性良好的樹脂等，作為防發(fā)塵性良好的樹脂，可以舉出彈性體類樹脂，作為耐磨損性良好的樹脂，可以舉出聚醚醚酮等。
(作用、效果)在本變形例中，也能夠得到與上述實(shí)施方式1的大型基板收容盒100同樣的作用效果。而且，通過采用設(shè)置基板側(cè)面引導(dǎo)銷221～223的構(gòu)成，與上述圖1所示的大型基板收容盒100的構(gòu)造相比較，可以不需要基板側(cè)面引導(dǎo)框架130～135，同時不需要拐角框架110、113、底面外框架102、104以及上面外框架120、122，所以能夠?qū)崿F(xiàn)大型基板收容盒的輕量化。
(實(shí)施方式4)下面，作為實(shí)施方式4，參照圖5和圖6對上述大型基板收容盒100的其它變形例進(jìn)行說明。圖5(A)、(B)是表示本實(shí)施方式的第4基板支撐機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的立體圖，圖6是表示本實(shí)施方式的第4基板支撐機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的側(cè)視圖。此外，在圖5和圖6中，作為代表例，僅圖示了第4基板支撐機(jī)構(gòu)的構(gòu)成，但是其它的第1～第3基板支撐機(jī)構(gòu)也具有與本實(shí)施方式的第4基板支撐同樣的構(gòu)成。
本變形例的特征為，例如，為了減輕自重?fù)锨洼d荷撓曲，將構(gòu)成第4基板支撐機(jī)構(gòu)的支撐框架190的從側(cè)面?zhèn)瓤吹男螤?，形成為隨著從頭端側(cè)靠近后側(cè)框架145而逐漸增加上下方向的厚度的構(gòu)造，并且，在前端部分設(shè)置向下方凸起的半圓狀的突出部190e、190e，在該突出部190e、190e上形成貫通孔190h、190h。其它的支撐框架191～193也具有與支撐框架190同樣的形狀，在支撐框架191的頭端部設(shè)置著形成有貫通孔191h、191h的突出部191e、191e，在支撐框架192的頭端部設(shè)置著形成有貫通孔192h、192h的突出部192e、192e，在支撐框架193的頭端部設(shè)置著形成有貫通孔193h、193h的突出部193e、193e。
另外，在設(shè)置于各支撐框架190～193的貫通孔190h～193h中，貫通插有輔助銷302。為了防止輔助銷302的脫落，輔助銷302的兩端部由推進(jìn)螺母(push nut)301固定。作為輔助銷所使用的材料，可以舉出不銹鋼、鋁、碳、鈦等，作為推進(jìn)螺母所使用的材料，可以舉出不銹鋼、鋁等。
(作用、效果)在本變形例中，也能夠得到與上述實(shí)施方式1的大型基板收容盒100同樣的作用效果。而且，通過用輔助銷302連接各支撐框架190～193的頭端部，即使在各支撐框架自身產(chǎn)生朝向下方的撓曲的情況下，也能夠使各支撐框架撓曲量相同，所以不會對被支撐的玻璃基板施加三維的撓曲，能夠抑制玻璃基板的三維形變的發(fā)生。
此外，在圖5(A)所示的構(gòu)造中，表示了僅在支撐框架190～193上貫穿輔助銷302的構(gòu)造，但是如圖5(B)所示，通過在拐角框架110、113上也采用貫穿輔助銷302的構(gòu)造，可以大幅度減少支撐框架190～193上產(chǎn)生的撓曲量。
另外，如圖6所示，即使在設(shè)置突出部190e的情況下，通過將支撐框架190自身的形狀形成為所謂的錐形形狀，使支撐框架190的后端部的厚度(L3)為支撐框架190的頭端部的厚度(L1)和支撐框架190的撓曲量(L2)的合計(jì)厚度左右，能夠一邊充分確保支撐框架190的支撐強(qiáng)度，一邊提高大型基板收容盒100的基板收容效率。
(實(shí)施方式5)下面，作為實(shí)施方式5，參照圖7～圖15對適用于上述大型基板收容盒100的支撐框架的具體構(gòu)造進(jìn)行說明。在大型基板收容盒100中，由于玻璃基板的重量較重(例如在1800mm×2100mm×1.1mm的情況下為約10400g)，所以支撐框架需要有充分的強(qiáng)度。另一方面，需要減輕大型基板收容盒整體的自重。因而，作為兼具強(qiáng)度和輕量化這2個要素的支撐框架，可以舉出以下的圖7～圖15所示的支撐框架的構(gòu)造。圖7～圖15是表示個支撐框架的構(gòu)造的整體立體圖。
圖7所示的支撐框架401由圓筒構(gòu)造形成，具有越靠向后端部而外徑和內(nèi)徑越大的大致圓錐形狀。而且，在支撐框架401的上面?zhèn)龋瑥闹醒氩康筋^端部側(cè)的區(qū)域設(shè)置著沿用圓筒的外周面的曲面區(qū)域401a，從中央部到后端部側(cè)的區(qū)域設(shè)置著平坦面區(qū)域401b。
圖8所示的支撐框架402具有本體部402a、和在全長上設(shè)置在上面?zhèn)鹊钠教姑鎱^(qū)域402b，其中本體部402a具有越靠向后端部而外徑和內(nèi)徑越大的大致圓錐形狀。
圖9所示的支撐框架403具有由三分構(gòu)造形成的頭端側(cè)支撐框架403a、中間支撐框架403b和后端側(cè)支撐框架403c，作為整體而具有越靠向后端部而外徑和內(nèi)徑越大的大致圓錐形狀。
圖10所示的支撐框架404具有由三分構(gòu)造形成的頭端側(cè)支撐框架404a、中間支撐框架404b和后端側(cè)支撐框架404c，均具有在下方具有開口側(cè)的“コ”字形的橫截面形狀。
圖11所示的支撐框架405具有本體框架405a，并為了實(shí)現(xiàn)本體框架405a的輕量化而在上面?zhèn)仍O(shè)置著細(xì)長形狀的開口部404b、404c、404d，其中本體框架405a具有在下方具有開口側(cè)的“コ”字形的橫截面形狀。
圖12所示的支撐框架406形成為在下方具有開口側(cè)的“コ”字形的橫截面形狀，在側(cè)壁部，按照后端部的上下方向?qū)挾?S2)比頭端部的上下方向?qū)挾?S1)寬的方式，使其寬度逐漸增大。
圖13所示的支撐框架407形成為在頭端側(cè)具有頂點(diǎn)的三角形形狀的平面形狀，設(shè)置著構(gòu)成側(cè)邊的側(cè)邊框架407a、407b，和相互連接側(cè)邊框架407a、407b的連接框架407c、407d、407e。
圖14所示的支撐框架408具有由外徑約20mm左右的棒狀部件形成的本體框架408a。而且，從防止玻璃基板接觸時的玻璃基板的損傷的觀點(diǎn)出發(fā)，在本體框架408a的頭端部設(shè)置著半球狀部408b。
圖15所示的支撐框架409，是對外徑約15mm左右的棒狀部件進(jìn)行規(guī)定的彎曲加工而形成的，具有在頭端側(cè)折曲的2根棒狀部件靠近配置的頭端側(cè)部409，和按照比該頭端側(cè)部409a加寬其間隔的方式配置棒狀部件的后端側(cè)部409b。在后端側(cè)部409b的最后端部，設(shè)置著用于結(jié)合于后側(cè)框架上的折曲部409c。
此外，作為上述支撐框架所使用的材料，最好使用導(dǎo)電性的材料，例如，可以舉出鋁、不銹鋼、鈦、含碳纖維的碳纖維強(qiáng)化塑料材料等。
另外，對于從防止玻璃基板的脫落的觀點(diǎn)出發(fā)，如圖2所示，在支撐基板190的頭端部分設(shè)置突起部190d進(jìn)行了說明，但是如圖16所示，進(jìn)一步在支撐基板190自身上設(shè)置與玻璃基板800直接接觸、用來支撐玻璃基板800的支撐突起190e、190f、190g。該支撐突起190e、190f、190g的數(shù)量可以適當(dāng)變更，作為該支撐突起所使用的材料，使用具有粘性的防發(fā)塵性或耐磨損性良好的樹脂等，作為防發(fā)塵性良好的樹脂，可以舉出彈性體類樹脂，作為耐磨損性良好的樹脂，可以舉出聚醚醚酮等。
另外，當(dāng)以后側(cè)框架145的前面?zhèn)葹榛鶞?zhǔn)的玻璃基板800的長度為W1時，至少位于最頭端側(cè)的支撐突起190e所設(shè)置的位置(W2)，處于W1/2～W1的范圍內(nèi)。
(實(shí)施方式6)下面，參照圖17～圖19，對本實(shí)施方式的大型基板收容盒中的、支撐框架160向后側(cè)框架145的安裝構(gòu)造的詳細(xì)情況進(jìn)行說明。此外，作為代表例對支撐框架160向后側(cè)框架145的安裝構(gòu)造進(jìn)行說明，但是其它支撐框架向后側(cè)框架的安裝構(gòu)造也相同。
由于上述各實(shí)施方式中的支撐框架為長條狀，所以有可能其自身的撓曲會成為問題。例如，在支撐框架向后側(cè)框架安裝時，即使使支撐框架的根部分的向后側(cè)框架的安裝間距的誤差范圍為±(1mm～2mm)左右而進(jìn)行安裝，由于支撐框架的自重?fù)锨挠绊懀慰蚣艿念^端部分的上下的支撐框架的間距，也會產(chǎn)生±(5mm～7mm)左右的誤差。
因而，通過采用以下的圖17～圖19所示的安裝構(gòu)造，可以修正支撐框架的頭端部分的上下的支撐框架的間距，使其處于±(1mm～2mm)左右的誤差內(nèi)。
(第1安裝構(gòu)造)首先，參照圖17，對支撐框架160向后側(cè)框架145的第1安裝構(gòu)造進(jìn)行說明。圖17(A)是局部側(cè)視圖，圖17(B)是局部后視圖，圖17(C)是局部俯視圖。在支撐框架160的后端部，設(shè)置著從兩側(cè)夾持后側(cè)框架145的一對延長部160A、160B。延長部160A、160B和后側(cè)框架145，通過沿支撐框架160的延伸方向配置的銷601和銷602連接在一起，在各銷601和銷602的兩端部，嵌入有C型墊圈603、604。
銷601貫穿在設(shè)置于延長部160A、160B和后側(cè)框架145的圓孔中。而且，銷602貫通后側(cè)框架145內(nèi)的上側(cè)塊體605而配置，同時貫穿在設(shè)置于后側(cè)框架145的圓孔中，并且貫穿在設(shè)置于延長部160A、160B的、沿縱向延伸的長孔145A中。
由此，支撐框架160可以相對于后側(cè)框架145以銷601為中心轉(zhuǎn)動，可以對應(yīng)于長孔145A的長度上下移動銷602，其結(jié)果，可以調(diào)整支撐框架160的頭端部的位置。
在上側(cè)塊體605的下方，設(shè)置著下側(cè)塊體606，該下側(cè)塊體606通過銷611固定在后側(cè)框架145上。在上側(cè)塊體605和下側(cè)塊體606之間設(shè)置著位置調(diào)節(jié)用螺栓607等，可以固定支撐框架160的調(diào)整位置。而且，通過調(diào)節(jié)位置調(diào)節(jié)用螺栓607，可以調(diào)節(jié)上側(cè)塊體605和下側(cè)塊體606的間隔，其結(jié)果，也可以調(diào)節(jié)支撐框架160的頭端部的位置。
(第2安裝構(gòu)造)下面，參照圖18，對支撐框架160向后側(cè)框架145的第2安裝構(gòu)造進(jìn)行說明。圖18(A)是局部側(cè)視圖，圖18(B)是局部后視圖，圖18(C)是局部俯視圖。在支撐框架160的后端部，設(shè)置著從兩側(cè)夾持后側(cè)框架145的一對延長部160A、160B。延長部160A、160B和后側(cè)框架145，通過沿支撐框架160的延伸方向配置的銷601和銷602連接在一起，在各銷601和銷602的兩端部，嵌入有C型墊圈603、604。
銷601貫穿在設(shè)置于延長部160A、160B和后側(cè)框架145的圓孔中。而且，銷602貫通后側(cè)框架145內(nèi)的塊體621而配置，同時貫穿在設(shè)置于后側(cè)框架145的圓孔中，并且貫穿在設(shè)置于延長部160A、160B的、沿縱向延伸的長孔145A中。
由此，支撐框架160可以相對于后側(cè)框架145以銷601為中心轉(zhuǎn)動，可以對應(yīng)于長孔145A的長度上下移動銷602，其結(jié)果，可以調(diào)整支撐框架160的頭端部的位置。
在塊體621中貫通設(shè)置沿上下方向延伸的螺紋部件622，在塊體621的上下端部，嵌入有螺紋結(jié)合于螺紋部件622上的螺母623。
因此，通過調(diào)節(jié)螺紋部件622，可以調(diào)節(jié)塊體621的上下位置，其結(jié)果，可以調(diào)節(jié)支撐框架160的頭端部的位置。
(第3安裝構(gòu)造)下面，參照圖19，對支撐框架160向后側(cè)框架145的第3安裝構(gòu)造進(jìn)行說明。圖19(A)是局部側(cè)視圖，圖19(B)是局部后視圖，圖19(C)是局部俯視圖。在支撐框架160的后端部，設(shè)置著從兩側(cè)夾持后側(cè)框架145的一對延長部160A、160B。延長部160A、160B和后側(cè)框架145，通過沿支撐框架160的延伸方向配置的銷601和銷602連接在一起，在各銷601和銷602的兩端部，嵌入有C型墊圈603、604。
銷601貫穿在設(shè)置于延長部160A、160B和后側(cè)框架145的圓孔中。而且，銷602貫通后側(cè)框架145內(nèi)的下側(cè)塊體632而配置，同時貫穿在設(shè)置于后側(cè)框架145的圓孔中，并且貫穿在設(shè)置于延長部160A、160B的、沿縱向延伸的長孔145A中。而且，下側(cè)塊體632通過銷636、637固定在后側(cè)框架145上。
由此，支撐框架160可以相對于后側(cè)框架145以銷601為中心轉(zhuǎn)動，可以對應(yīng)于長孔145A的長度上下移動銷602，其結(jié)果，可以調(diào)整支撐框架160的頭端部的位置。
而且，在下側(cè)塊體632的上方設(shè)置著上側(cè)塊體631，該上側(cè)塊體631通過銷634、635固定在后側(cè)框架145上。
而且，通過在下側(cè)塊體632和上側(cè)塊體631之間設(shè)置規(guī)定厚度的墊片641，可以進(jìn)行下側(cè)塊體632的定位的微調(diào)整。其結(jié)果，也可以進(jìn)行支撐框架160的頭端部的位置的微調(diào)整。
(實(shí)施方式7)下面，參照圖20，對本實(shí)施方式的大型基板收容盒500的概略構(gòu)成進(jìn)行說明。圖20是表示本實(shí)施方式的大型基板收容盒500的構(gòu)成的整體立體圖。
該大型基板收容盒500具有可將20張1800mm(短邊尺寸)×2000mm(長邊尺寸)×0.7mm的大小的玻璃基板上下方向疊層的構(gòu)成。
以規(guī)定的間隔在左右方向配置著4根基底框架501，在該基底框架501的后端部，分別設(shè)置著向上方豎立的后側(cè)部件502。4根后側(cè)部件502固定在以矩形框狀配置的背部框架503上。
在后側(cè)部件502上在上下方向上疊層設(shè)置著20層基板支撐機(jī)構(gòu)。作為構(gòu)成基板支撐機(jī)構(gòu)的支撐框架504，采用如上述的實(shí)施方式5的圖11所示的、被設(shè)成在下方具有開口側(cè)的“コ”字形的橫截面形狀、在上面?zhèn)葹榱藢?shí)現(xiàn)輕量化而設(shè)置有細(xì)長形狀的開口部的本體框架構(gòu)造。
而且，在支撐框架502的兩側(cè)面的外側(cè)設(shè)置著如上述的實(shí)施方式3的圖4所示的、由輔助板510和基板側(cè)面引導(dǎo)銷520構(gòu)成的基板側(cè)面引導(dǎo)框架。
并且，在支撐框架502的頭端部分，為了使支撐框架502的撓曲量均勻化，設(shè)置著如實(shí)施方式4的圖5所示的、向下方凸起的半圓狀的突出部和輔助銷(省略圖示)。
(作用、效果)上述實(shí)施方式7的大型基板收容盒500，為將上述各實(shí)施方式中的構(gòu)造組合的一例，可以得到上述實(shí)施方式的作用效果。
(實(shí)施方式8)在上述各實(shí)施方式中，從實(shí)現(xiàn)大型基板收容盒的輕量化的觀點(diǎn)出發(fā)，僅表示了保持基板所需的框架。但是，在保持基板的狀態(tài)下輸送大型基板收容盒時，需要防止由外界原因引起的基板的破損。
在實(shí)施方式1所示的大型基板收容盒100的情況下，尤其要防止由上方落下的物體引起的基板的破損。因而，如圖21所示，最好設(shè)置載置于大型基板收容盒100的上面外框架120、121、122、123上的保護(hù)罩900。該保護(hù)罩900具有可相對于上面外框架120、121、122、123裝卸的機(jī)構(gòu)(未圖示)，厚度約2mm左右，其材料可以舉出鋁、不銹鋼、樹脂等、含碳纖維的碳纖維強(qiáng)化塑料等。
而且，在實(shí)施方式7的大型基板收容盒500的情況下，由于基板的露出部分多，所以最好如圖22所示，設(shè)置覆蓋大型基板收容盒500的上面、下面、兩側(cè)面的筒狀的保護(hù)罩950。該保護(hù)罩950具有可相對于基底框架501和背部框架503裝卸的機(jī)構(gòu)(未圖示)，厚度約3mm左右，其材料可以舉出鋁、不銹鋼、樹脂等、含碳纖維的碳纖維強(qiáng)化塑料等。
此外，在上述實(shí)施方式4中，為了減輕自重?fù)锨洼d荷撓曲，而采用了在支撐框架的頭端部設(shè)置輔助銷的構(gòu)成，但是作為其它的構(gòu)成，也可以如圖23的局部的整體立體圖所示，采用在支撐框架的后端部側(cè)設(shè)置連通各支撐框架190～193的輔助板190F的構(gòu)成。同樣地，設(shè)置連通各支撐框架180～183的輔助板180F、連通各支撐框架170～173的輔助板170F。雖然未圖示，但是各支撐框架160～163也同樣。并且，最好各輔助框架170F～190F的兩端部連接在基板側(cè)面引導(dǎo)框架132、135上。
在此，由于增大了各支撐框架的后端部側(cè)的上下方向的寬度，所以可以考慮減小處于上下位置的各支撐框架的間隔。這時，通過將插入各支撐框架間的外部升降機(jī)的手的頭端部分變細(xì)，可以不增大處于上下位置的各支撐框架的間隔，而維持大型基板收容盒500的基板收容能力。
另外，雖然對玻璃基板用的大型基板收容盒進(jìn)行了說明，但是并不局限于玻璃基板，對于具有同樣性質(zhì)的基板，也可以適用本發(fā)明。
因此，本發(fā)明的技術(shù)范圍不僅僅由上述的實(shí)施方式解釋，而由發(fā)明方案的記載劃定。另外，涵蓋與發(fā)明方案范圍等同的含義和范圍內(nèi)的所有變更。
根據(jù)基于本發(fā)明的大型基板收容盒，能夠提供一種收容大型基板時的大型基板的撓曲不會成為問題，而且可以提高大型基板的收容效率的大型基板收容盒。
權(quán)利要求
1.一種大型基板收容盒，能從前面?zhèn)冗M(jìn)行大型基板的存取，并以疊層狀態(tài)收容上述大型基板，其特征在于，具有基底部件(140、141、142、143)，從上述基底部件(140、141、142、143)的后端部側(cè)向上方豎立的后側(cè)部件(145、146、147、148)，和以在上下方向以規(guī)定的間隔配置多個的狀態(tài)被支撐在上述后側(cè)部件(145、146、147、148)上、并從上述后側(cè)部件(145、146、147、148)向前方延伸設(shè)置的多個基板支撐機(jī)構(gòu)；并且，上述基板支撐機(jī)構(gòu)，由從上述后側(cè)部件(145、146、147、148)向前方延伸、并在左右方向以規(guī)定的間隔設(shè)置多個的支撐框架部件(160～163、170～173、180～183、190～193)構(gòu)成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大型基板收容盒，其特征在于為了阻止上述大型基板向左右方向的移動，還具有配置在上述基板支撐機(jī)構(gòu)的左右的兩外側(cè)的基板側(cè)面引導(dǎo)機(jī)構(gòu)(190a～190c、193a～193)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種大型基板收容盒，在向基板收容盒中收容大型基板時，大型基板的撓曲不會成為問題，而且可以提高基板收容盒中的基板的收容效率。其具體為在支撐框架上，構(gòu)成支撐同一玻璃基板的第1基板支撐機(jī)構(gòu)，并使其各自的上面處于相同高度位置地安裝在后側(cè)框架上。同樣地，在支撐框架上，構(gòu)成支撐同一玻璃基板的第2基板支撐機(jī)構(gòu)，并使其各自的上面處于相同高度位置地安裝在后側(cè)框架上。在支撐框架上，構(gòu)成支撐同一玻璃基板的第3基板支撐機(jī)構(gòu)，并使其各自的上面處于相同高度位置地安裝在后側(cè)框架上。在支撐框架上，構(gòu)成支撐同一玻璃基板的第4基板支撐機(jī)構(gòu)，使其各自的上面處于相同高度位置地安裝在后側(cè)框架上。
文檔編號B65D85/48GK1746084SQ20041006871
公開日2006年3月15日 申請日期2004年9月6日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月6日
發(fā)明者吉田俊雄, 山中昭浩, 島田浩幸 申請人:淀川惠德株式會社