專利名稱：襯底搬進(jìn)搬出裝置和方法及襯底搬送裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于把半導(dǎo)體襯底、液晶襯底等板狀的襯底從存放容器搬出或搬進(jìn)存放容器的襯底搬進(jìn)搬出裝置和襯底搬進(jìn)搬出方法，和從存放容器把上述襯底搬送到處理裝置等的襯底搬送裝置和襯底搬送方法。
本申請是要求2003年8月20提出申請的日本國專利申請第2003-296453號和日本國專利申請第2003-296454號的優(yōu)先權(quán)，在這里引用其內(nèi)容。
背景技術(shù)：
現(xiàn)在，在半導(dǎo)體等襯底的制造工序中，多片該襯底貯存在存放容器內(nèi)，用襯底搬進(jìn)搬出裝置從該存放容器搬出并送到襯底搬送裝置，通過該襯底搬送裝置搬送給襯底處理裝置進(jìn)行規(guī)定處理。另外，規(guī)定處理結(jié)束后的襯底，從襯底處理裝置用襯底搬送裝置送到襯底搬進(jìn)搬出裝置，用該襯底搬進(jìn)搬出裝置再度搬進(jìn)存放容器。制作這樣的襯底的各裝置，已有各式各樣的裝置，通常設(shè)置在潔凈室內(nèi)，使襯底不受塵埃等的影響。
就上述襯底搬進(jìn)搬出裝置來說，雖然提供各式各樣的裝置，然而作為其中之一種利用驅(qū)動滾筒從存放容器搬進(jìn)搬出襯底而為眾所周知。
例如，如圖28所示，襯底搬進(jìn)搬出裝置100具有襯底支承臺101和載置臺102，該襯底支承臺101在使水平存放多片襯底A的存放容器110下降后，從存放容器110下部形成的開口部106插入存放容器110，從襯底支承部105舉起而脫離存放容器110的襯底支承部105上所載置的襯底A，該載置臺102在存放容器110的外部與存放容器110的搬進(jìn)搬出口鄰接配置。
另外，在襯底支承臺101和載置臺102的上部，設(shè)置沿搬進(jìn)搬出方向旋轉(zhuǎn)的滾筒103，104。另外，該兩滾筒103，104互相受圖中未示出的電機(jī)等驅(qū)動源驅(qū)動，以使旋轉(zhuǎn)方向和旋轉(zhuǎn)速度同步。
在用該襯底搬進(jìn)搬出裝置100從存放容器110搬出襯底A的情況下，首先用圖中未示出的升降機(jī)構(gòu)使存放容器110向襯底支承臺101下降。存放容器110下降后，襯底支承臺101從開口部106插入存放容器110內(nèi)，上部的滾筒103和存放容器110的最下層襯底A接觸。然后，隨著存放容器110進(jìn)一步下降，滾筒103從襯底支承部105舉起襯底A使之脫離。
襯底脫離時，兩滾筒103，104開始轉(zhuǎn)動。兩滾筒103，104轉(zhuǎn)動時，滾筒103，104的摩擦阻力對襯底A起作用，然后襯底A向滾筒103，104的旋轉(zhuǎn)方向移動。即，襯底A從存放容器110內(nèi)通過搬進(jìn)搬出口搬到載置臺102。因此，能從存放容器110搬出襯底A。另外，通過進(jìn)行上述的相反動作，也可能把襯底A搬進(jìn)存放容器110內(nèi)。
另外，襯底搬進(jìn)搬出裝置100，通過使?jié)L筒轉(zhuǎn)動，從存放容器搬出搬入襯底，然而例如也有保持襯底從存放容器取出或塞進(jìn)去搬出搬入的襯底搬進(jìn)搬出裝置也是眾所周知的(例如，參照特開平8-37220號公報(段號碼0006-009，第1-3圖)和第2575717號專利公報(從第二頁右段上33段-從第四頁右段上22段，第1-3圖))。
就上述襯底搬送裝置來說，例如，為了在多個存放容器和襯底處理裝置之間能有效地搬送襯底，在存放容器和襯底處理裝置之間設(shè)置的軌道上移動的襯底搬送裝置是眾所周知的。
另外，作為如上述搬送襯底裝置的搬送裝置，眾所周知有能以搬入柄和搬出柄從搬入位置移送襯底到搬出位置的襯底移載裝置(例如，特開平11-227943號公報(參照段號碼0013-0030，第1-4圖)，和把被搬送的襯底有效正確地定位并放置在規(guī)定位置的潔凈室用移載裝置(參照例如，特開平7-10267號公報(段號碼0010-0030，第1-6圖))等。
在上述的襯底搬進(jìn)搬出裝置50中，由于利用滾筒53，54和襯底的摩擦力搬進(jìn)搬出襯底，所以在使?jié)L筒53，54的速度急速降低時，滾筒53，54的轉(zhuǎn)速和摩擦力的平衡被破壞，有時發(fā)生襯底在滾筒53，54上滑動的問題。為此，只能用一定的速度搬進(jìn)搬出襯底，襯底的搬進(jìn)搬出需要時間。
另外，必需在襯底支承臺51和載置部5雙方設(shè)置轉(zhuǎn)動的滾筒53，54，另外需要使兩滾筒53，54的轉(zhuǎn)速同步，因而使襯底搬進(jìn)搬出裝置50的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化。
在上述的襯底搬送裝置中，搬送存放容器內(nèi)存放的襯底時，由于在與存放容器中搬進(jìn)搬出襯底的襯底搬進(jìn)搬出裝置之間必需進(jìn)行該襯底的交接，所以需要在存放容器和襯底搬送裝置之間設(shè)置襯底搬進(jìn)搬出裝置的設(shè)置空間。因此，存在收容各裝置的潔凈室大型化的問題。特別是在移動軌道上移動的襯底搬送裝置中，對多個存放容器配置襯底搬進(jìn)搬出裝置，因而襯底搬進(jìn)搬出裝置占用的設(shè)置空間很多，潔凈室等大型化是明顯的。
本發(fā)明考慮到這樣的情況，其目的在于提供一種構(gòu)成簡單設(shè)置空間小且能迅速地搬進(jìn)搬出襯底的襯底搬進(jìn)搬出裝置和襯底搬進(jìn)搬出方法以及襯底搬送裝置和襯底搬送方法。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供的襯底搬進(jìn)搬出裝置在存放襯底的存放容器搬進(jìn)或搬出上述襯底。其具有鄰接所述存放容器而配置且載置所述襯底的載置臺；設(shè)置在該載置臺上在所述襯底的搬進(jìn)搬出方向可移動并保持所述襯底的保持部；在所述載置臺上在所述搬進(jìn)搬出方向可移動地支承該保持部保持的所述襯底的襯底支承機(jī)構(gòu)。
若采用本發(fā)明，使載置臺上設(shè)置的保持部向存放容器移動，保持存放容器內(nèi)存放的襯底。通過向離開存放部的搬出方向移動保持襯底的保持部，將襯底從存放容器搬到載置臺上。在進(jìn)行與上述相反的動作時，把襯底從載置臺上搬進(jìn)存放容器內(nèi)。
在載置臺的上部設(shè)置襯底支承機(jī)構(gòu)，在搬進(jìn)搬出襯底時，支承整個襯底，因而被保持部保持的襯底能穩(wěn)定順利地移動。另外，在由保持部保持襯底的狀態(tài)下使其移動，因而可靠地搬進(jìn)搬出襯底，同時可按照保持部的移動速度改變搬進(jìn)搬出速度，能迅速搬進(jìn)搬出襯底。進(jìn)而，在進(jìn)行襯底的搬入出時，不需要給襯底支承機(jī)構(gòu)動力，只要向保持部供給移動所必要的動力就行，所以使結(jié)構(gòu)簡化。
在本發(fā)明，上述保持部具備把持上述襯底的把持機(jī)構(gòu)是理想的。由此，保持部在用把持機(jī)構(gòu)把持了襯底端部的狀態(tài)下進(jìn)行該襯底的搬進(jìn)搬出。所以，能夠從存放容器以更加可靠穩(wěn)定的狀態(tài)進(jìn)行搬進(jìn)搬出。
在本發(fā)明，上述保持部具備吸附上述襯底的吸附機(jī)構(gòu)是理想的。由此，保持部在用吸附機(jī)構(gòu)吸住襯底端部的狀態(tài)下進(jìn)行該襯底的搬進(jìn)搬出。所以，不會弄傷襯底，能夠可靠地進(jìn)行搬進(jìn)搬出。
在本發(fā)明，上述襯底支承機(jī)構(gòu)是繞與上述搬進(jìn)搬出方向垂直的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)自如地支承的滾筒是理想的。由此，襯底用保持部搬進(jìn)搬出載置臺期間用滾筒支承，所以能夠經(jīng)常穩(wěn)定的狀態(tài)搬進(jìn)搬出襯底。另外，因為襯底和滾筒點接觸，所以降低了摩擦力，能夠順利地進(jìn)行搬進(jìn)搬出，因而能更加迅速地搬進(jìn)搬出襯底。另外，因為接觸面積很小，所以難以給襯底造成損傷。
在本發(fā)明，上述支承機(jī)構(gòu)，是通過向上述襯底下面噴出空氣使該襯底從上述載置臺浮起的浮起機(jī)構(gòu)是理想的。由此，襯底用保持部搬進(jìn)搬出載置臺的期間，襯底借助于浮起機(jī)構(gòu)而浮起。這樣，在使襯底浮起的狀態(tài)進(jìn)行搬進(jìn)搬出，能防止與載置臺的上面接觸等，能減少給襯底造成的沖擊等負(fù)荷。另外，能防止灰塵等附著在襯底上。
本發(fā)明提供在存放襯底的存放容器搬進(jìn)或搬出上述襯底的襯底搬進(jìn)搬出方法，其具備用保持部保持上述襯底端部的保持工序和使保持上述襯底的上述保持部在上述襯底的搬進(jìn)搬出方向移動的移動工序。
若采用本發(fā)明，在保持工序用保持部保持襯底以后，在移動工序使保持部移動，將襯底搬出存放容器之外。另外，進(jìn)行上述的相反動作，從存放容器外將襯底搬進(jìn)存放容器內(nèi)。這樣，只使保持部移動能容易地進(jìn)行襯底的搬進(jìn)搬出，不需要設(shè)置用于搬進(jìn)搬出的另外裝置。所以，能實現(xiàn)構(gòu)成容易。
另外，因為可通過使保持部移動速度變化而使襯底的搬入搬出速度變化，所以能迅速地進(jìn)行襯底的搬入搬出。
在本發(fā)明，在上述移動工序時，在上述搬進(jìn)搬出方向可移動地支承上述襯底是理想的。由此，即使用保持部只保持襯底端部使之移動，也能穩(wěn)定另外順利地在搬進(jìn)搬出方向移動襯底。
若采用涉及該發(fā)明的襯底搬進(jìn)搬出裝置和襯底搬進(jìn)搬出方法，只由在載置臺設(shè)置的保持部的移動，就能搬進(jìn)搬出襯底。這時，在保持了襯底的狀態(tài)下使其移動，所以能可靠地搬進(jìn)搬出襯底，同時可通過使保持部移動速度變化而使襯底的搬進(jìn)搬出速度變化，能迅速地進(jìn)行襯底的搬進(jìn)搬出。另外，不必設(shè)置用于搬進(jìn)搬出的另外機(jī)構(gòu)，只要向保持部提供移動必要的動力就行，所以能夠?qū)崿F(xiàn)構(gòu)成得容易。
另外，在襯底搬進(jìn)搬出時，在載置臺的上部設(shè)置襯底支承機(jī)構(gòu)，因而在支承整個襯底的狀態(tài)下可進(jìn)行搬進(jìn)搬出。所以，用保持部保持襯底使之移動時，能穩(wěn)定襯底使其順利地移動。
本發(fā)明提供襯底搬送裝置，其在存放襯底的存放容器和處理上述襯底的襯底處理裝置之間搬送上述襯底，其具備對上述存放容器搬進(jìn)搬出上述襯底的移載機(jī)構(gòu)；搭載該移載機(jī)構(gòu)，載置在上述存放容器搬進(jìn)搬出的上述襯底的載置臺；在該載置臺與上述襯底處理裝置之間交接上述襯底的交接機(jī)構(gòu)；在上述存放容器和上述襯底處理裝置之間設(shè)置的移動軌道；搭載上述載置臺和上述交接機(jī)構(gòu)并在上述移動軌道上可移動的移動臺。
若采用本發(fā)明，可用移載機(jī)構(gòu)從存放容器內(nèi)到載置臺進(jìn)行襯底的搬進(jìn)搬出。在載置臺上載置的襯底借助移動臺在移動軌道上移動搬送到襯底處理裝置。然后，用交接機(jī)構(gòu)從載置臺送到襯底處理裝置進(jìn)行規(guī)定處理。進(jìn)行上述相反動作時，襯底就從襯底處理裝置向存放容器搬送，并搬進(jìn)存放容器。
在移動臺上，搭載從存放容器搬進(jìn)搬出襯底的載置臺和把襯底送到襯底處理裝置的交接機(jī)構(gòu)，因而能多功能使用，不需要另外設(shè)置現(xiàn)有的襯底搬進(jìn)搬出裝置等專用進(jìn)行搬進(jìn)搬出的裝置。所以，不需要更多的設(shè)置空間而有效地利用小空間就能進(jìn)行襯底的搬進(jìn)搬出和搬送。
在本發(fā)明，上述移載機(jī)構(gòu)是被與上述搬進(jìn)搬出方向垂直的被旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的驅(qū)動滾筒是理想的。由此，從存放容器把襯底搬進(jìn)搬出載置臺時，在使驅(qū)動滾筒旋轉(zhuǎn)時，襯底在驅(qū)動滾筒的上面向搬進(jìn)搬出方向移動。即，在襯底的下面和滾筒的表面之間摩擦力作用使襯底移動。所以，能更加可靠另外順利地進(jìn)行襯底的搬進(jìn)搬出。
在本發(fā)明，上述移載機(jī)構(gòu)是在上述搬進(jìn)搬出方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的具有環(huán)形帶的驅(qū)動傳送帶是理想的。由此，從存放容器把襯底搬進(jìn)搬出載置臺時，環(huán)形帶旋轉(zhuǎn)時，襯底在環(huán)形帶上載置的狀態(tài)下向搬進(jìn)搬出方向移動。此時，襯底因為全面載置在環(huán)形帶上，所以能在可靠另外穩(wěn)定狀態(tài)進(jìn)行襯底的搬入出。
在本發(fā)明，上述移載機(jī)構(gòu)具備保持上述襯底的保持部和在上述搬進(jìn)搬出方向可移動地支承被該保持部保持的上述襯底的襯底支承機(jī)構(gòu)是理想的。由此，從存放容器把襯底搬進(jìn)搬出載置臺時，通過在用保持部保持襯底的狀態(tài)下在搬進(jìn)搬出方向移動進(jìn)行襯底的搬進(jìn)搬出。這樣，只移動保持部就能容易地進(jìn)行襯底的搬進(jìn)搬出，可實現(xiàn)結(jié)構(gòu)簡單。另外，能夠按照保持部的移動速度調(diào)整襯底的搬進(jìn)搬出速度，因而迅速地進(jìn)行襯底的搬進(jìn)搬出。進(jìn)而，襯底的搬進(jìn)搬出時，襯底是用襯底支承機(jī)構(gòu)可移動地支承著的，因而能實現(xiàn)搬進(jìn)搬出的穩(wěn)定，順利。
在本發(fā)明，襯底支承機(jī)構(gòu)通過向上述襯底下面噴出空氣使該襯底從上述載置臺浮起的浮起機(jī)構(gòu)是理想的。由此，從存放容器向載置臺搬進(jìn)搬出襯底時，借助于浮起機(jī)構(gòu)而使襯底浮起，用保持部保持襯底使其向搬進(jìn)搬出方向移動，進(jìn)行襯底的搬進(jìn)搬出。這樣，因為在浮起狀態(tài)使襯底移動，所以能防止與載置臺的上面等的接觸，能減少給襯底造成的沖擊等負(fù)荷。另外，能防灰塵等附著在襯底上。
本發(fā)明提供襯底搬送方法，其通過是通過在存放襯底的存放容器和處理上述襯底的襯底處理裝置之間，經(jīng)由載置在上述存放容器搬進(jìn)搬出的上述襯底的載置臺、以及在該載置臺和上述襯底處理裝置之間交接上述襯底的交接機(jī)構(gòu)搬送上述襯底。其具有在上述存放容器和前記載置臺之間搬進(jìn)搬出上述襯底的搬進(jìn)搬出工序；在上述載置臺和上述交接機(jī)構(gòu)之間轉(zhuǎn)移上述襯底的轉(zhuǎn)移工序；在前記載置臺和上述襯底處理裝置之間移動上述交接機(jī)構(gòu)的移動工序；在上述交接機(jī)構(gòu)和上述襯底處理裝置之間交接上述襯底的交接工序。
若采用本發(fā)明，在搬進(jìn)搬出工序?qū)⒁r底從存放容器搬到載置臺。搬到載置臺后的襯底在轉(zhuǎn)移工序轉(zhuǎn)移到交接機(jī)構(gòu)，在移動工序移送到襯底處理裝置。然后，在交接工序從交接機(jī)構(gòu)送到襯底處理裝置。實施與上述各工序相反的順序時，襯底就從襯底處理裝置搬送到存放容器，存放到存放容器里。
這樣，就能夠多功能地進(jìn)行在存放容器搬進(jìn)搬出襯底，對交接機(jī)構(gòu)的交接，在存放容器與襯底處理裝置之間移動襯底，向襯底處理裝置交接襯底。所以，能夠有效地利用小空間，高效地進(jìn)行襯底的搬進(jìn)搬出和搬送。
在本發(fā)明，上述轉(zhuǎn)移工序和上述移動工序同時進(jìn)行是理想的。由此，由于在載置臺和襯底交接機(jī)構(gòu)之間進(jìn)行襯底的交接期間進(jìn)行存放容器和襯底處理裝置之間的移動，所以更加有效率完成搬送，能縮短搬送時間。
在本發(fā)明，上述搬進(jìn)搬出工序時同時搬進(jìn)搬出多個上述襯底是理想的。由此，可高效地搬送襯底，能實現(xiàn)更加縮短時間。
若采用有關(guān)本發(fā)明的襯底搬送裝置和襯底搬送方法，在移動臺上搭載從存放容器搬進(jìn)搬出襯底的載置臺和將該襯底送到襯底處理裝置的交接機(jī)構(gòu)，因而能夠多能機(jī)能地進(jìn)行搬進(jìn)搬出工序，轉(zhuǎn)移工序，移動工序和交接工序。所以，不需要另外設(shè)置專用進(jìn)行現(xiàn)有的襯底搬進(jìn)搬出裝置等搬進(jìn)搬出的裝置，不需要更多的設(shè)置空間，有效地利用小空間就能進(jìn)行襯底的搬進(jìn)搬出和搬送。


圖1是表示利用本發(fā)明第1實施例的襯底搬進(jìn)搬出裝置制作襯底的裝置整體的立體圖；圖2是表示本發(fā)明襯底搬進(jìn)搬出裝置實施例立體圖；圖3是圖2所示的線籠正面圖；圖4是圖2所示的線籠側(cè)面圖；圖5是圖2所示的線籠上面圖；圖6是表示使線籠下降后，襯底支承臺從線籠下部開口插入后的狀態(tài)的立體圖；圖7是表示圖6的狀態(tài)的側(cè)面圖；圖8是表示通過使線籠下降，襯底支承臺舉起處于線籠內(nèi)的最底處的襯底使其脫離襯底支承部后的狀態(tài)的側(cè)面圖；圖9是表示在圖8的狀態(tài)下，移動載置臺的保持部件使其位于襯底端部的下部后的狀態(tài)的側(cè)面圖；圖10是表示用保持部件的吸附口吸附保持襯底的同時移動保持部件，從線籠搬出襯底后的狀態(tài)側(cè)面圖；圖11是表示利用本發(fā)明第二實施例的襯底搬送裝置制作襯底的裝置整體的立體圖；圖12是圖11所示的襯底搬送裝置的立體圖；圖13是圖12所示的線籠的正面圖；圖14是圖12所示的線籠的側(cè)面圖；圖15是圖12所示的線籠的上面圖；圖16是圖12所示的襯底搬送裝置構(gòu)成品的襯底載置臺的上面圖；圖17是圖12所示的襯底搬送裝置構(gòu)成品的襯底載置臺的后面圖；圖18是用于說明從襯底支承臺向襯底載置臺搬運襯底并交接到襯底處理裝置、表示襯底支承臺上載置襯底，相鄰該襯底支承臺配置有襯底載置臺的狀態(tài)的側(cè)面圖；
圖19是表示從圖18的狀態(tài)，使上部載置臺移動到第二棒狀部件的上方，同時把該襯底搬到上部載置臺后的狀態(tài)的側(cè)面圖；圖20是表示從圖19的狀態(tài)，使上部載置臺下降使襯底換乘到第二棒狀部件后的狀態(tài)的側(cè)面圖；圖21是表示從圖20的狀態(tài)，使襯底載置臺整體上升，使襯底支承臺的高度和上部載置臺的高度成為同一高度，同時把襯底搬到該上部載置臺后的狀態(tài)的側(cè)面圖；圖22是表示從圖21的狀態(tài)，使上部載置臺下降使襯底換乘到第一棒狀部件后的狀態(tài)側(cè)面圖；圖23是表示從圖22的狀態(tài)，使襯底載置臺移動直到襯底處理裝置以后，向前方推出第二棒狀部件，使襯底交接到襯底處置裝置后的狀態(tài)側(cè)面圖；圖24是表示從圖23的狀態(tài)，向前方推出第一棒狀部件把襯底交接到襯底處置裝置的狀態(tài)的側(cè)面圖；圖25是表示利用本發(fā)明第三實施例的襯底搬送裝置制作襯底的裝置全體立體圖；圖26是表示在圖25所示的襯底搬送裝置中用交接機(jī)構(gòu)從襯底支承臺接收襯底的狀態(tài)的立體圖；圖27是表示移載機(jī)構(gòu)另一例的側(cè)面圖；圖28是表示現(xiàn)有的襯底搬進(jìn)搬出裝置的一例的側(cè)面圖。
具體實施例方式
以下，參照圖1到圖10說明本發(fā)明的襯底搬進(jìn)搬出裝置的第一實施例。
如圖1所示，本實施例的基板搬進(jìn)搬出裝置1在存放多個襯底A的線籠(存放容器)10存取襯底A。線籠10具備在上下方向空出間隔設(shè)置并分別水平載置薄板狀襯底A的多個襯底支承部2、設(shè)于側(cè)部并沿水平方向搬進(jìn)搬出襯底A的搬進(jìn)搬出口3以及設(shè)于下部的下部開口4。
線籠10，如圖2到圖5所示，以鋁等金屬的框架5形成箱狀，在上述搬進(jìn)搬出口3以外的側(cè)部設(shè)置縱架5a，在上面和下面設(shè)置向與搬進(jìn)搬出口3的面垂直的方向設(shè)置的架5b和在與該架5b垂直的方向設(shè)置的兩條架5c。由該架5b和架5c包圍的開口形成下部開口4。在本實施例中，設(shè)置六處下部開口4。
另外，在對向的縱架5a間，設(shè)置水平地支承襯底A的襯底支承部2。襯底支承部2，例如是直徑細(xì)的金屬絲等繩狀物，可在高度方向密集地存放襯底A。
如圖2所示，線籠10由升降裝置20保持并使之可升降。在線籠10的下方設(shè)置襯底支承臺25，其用升降裝置20使線籠10下降時，從下部開口4插入線籠10內(nèi)向上推最下邊的襯底A，使在線籠10內(nèi)的襯底A脫離襯底支承部2。
升降裝置20，通過與線籠10的圖中未示出的嵌合部嵌合保持線籠10。另外，被圖中未示出的控制部控制升降線籠10。
襯底支承臺25，在前后左右方向以留出規(guī)定間隔的狀態(tài)鄰接配置在基礎(chǔ)臺26上。襯底支承臺25分為六個以便從各個下部開口4向線籠10內(nèi)插入，上述規(guī)定間隔設(shè)為上述架5b，5c間不干涉的間隔。
另外，在襯底支承臺25的上部，設(shè)置沿襯底A的搬進(jìn)搬出方向自由移動地支承該襯底A的多個滾筒27。滾筒27繞沿著與襯底A的搬進(jìn)搬出方向垂直的方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸B支承可自由轉(zhuǎn)動。
襯底搬進(jìn)搬出裝置1具備襯底保持機(jī)構(gòu)30。襯底保持機(jī)構(gòu)30具備在線籠10的外部鄰接搬進(jìn)搬出口3配置的載置臺31、設(shè)置成在該載置臺31上在襯底A的搬進(jìn)搬出方向可移動并保持在線籠10內(nèi)用支承襯底A的上述襯底支承部2保持的襯底A端部的保持部32。
襯底保持機(jī)構(gòu)30，有鄰接襯底支承臺25配置的基礎(chǔ)臺33。在基礎(chǔ)臺33上，通過可使載置臺31旋轉(zhuǎn)360度的旋轉(zhuǎn)部34安裝載置臺31。載置臺31設(shè)置成與支承臺25高度相同，水平載置襯底A。
在載置臺31的上面配置沿襯底A的搬進(jìn)搬出方向延伸的三條移動槽35，其在與搬進(jìn)搬出方向垂直的方向空出規(guī)定間隔。在三條移動槽35中安裝沿著各移動槽35可移動的保持部32。各保持部32，通過圖中未示出的控制部控制移動速度，同時分別同步移動。
在保持部32，如圖8到圖10所示，設(shè)置從下面吸住襯底A的吸附口(吸附機(jī)構(gòu))36。吸附口36，與圖中未示出的真空泵等連接，通過使該真空泵動作可吸住保持襯底A。
如圖2所示，在載置臺31的上部，設(shè)置保持該襯底A沿襯底A的搬進(jìn)搬出方向自由移動的滾筒(襯底支承機(jī)構(gòu))37。滾筒37繞沿著與襯底A的搬進(jìn)搬出方向垂直的方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸B支承可自由轉(zhuǎn)動，并在各移動槽35間沿著搬進(jìn)搬出方向配置多個。，如圖8到圖10所示，調(diào)整滾筒37以使?jié)L筒37的上部與保持部32的滾筒27上部高度相同。
進(jìn)而，如圖1所示，鄰接襯底保持機(jī)構(gòu)30配設(shè)移動軌道45，在移動軌道45上可移動地安裝襯底搬送裝置51，其搬送載置在載置臺31上的襯底A到規(guī)定處理該襯底A的襯底處理裝置7上。
襯底搬送裝置51具備在水平方向自由移動的多關(guān)節(jié)臂52，在該多關(guān)節(jié)臂52的頂端安裝多個棒狀部件53。再者，棒狀部件53借助于多關(guān)節(jié)臂52插入載置臺31上的圖中未示出的切口槽，就能從下邊舉起在載置臺31上所載置的襯底A并裝到多個棒狀部件53上。這樣，從載置臺31取得襯底A的同時搬送給襯底處理裝置7進(jìn)行規(guī)定處理，搬送用襯底處理裝置7進(jìn)行規(guī)定處理后的襯底A并送到載置臺31。
下面對通過這樣構(gòu)成的襯底搬進(jìn)搬出裝置1從線籠10搬出襯底A的情況進(jìn)行說明。
首先，如圖2所示，用升降裝置20保持線籠10。在線籠10內(nèi)在高度方向空出間隔水平地存放多個襯底A。將襯底A載置在線籠10內(nèi)的襯底支承部2上。保持了線籠10以后，通過控制部使升降裝置20動作，使線籠10朝向襯底支承臺25下降。由于襯底支承臺25配置成與線籠10的底面安裝的架5b，5c間不干涉，所以如圖6所示，襯底支承臺25從線籠10的各個下部開口4插入線籠10內(nèi)。
在襯底支承臺25插入線籠10內(nèi)時，如圖7所示，配置在襯底支承臺25上面的各滾筒27就相對地上升。然后，進(jìn)而使線籠10下降時，如圖8所示，滾筒27上部接觸位于線籠10最下層的襯底A下面舉起襯底A離開襯底支承部2。襯底A脫離后，控制部就控制升降裝置20使下降暫且停止。這時，襯底支承臺25的滾筒27和載置臺31的滾筒37成了相同高度。
襯底A脫離襯底支承部2時，如圖9所示，控制部就使保持部32沿著移動槽35向接近搬進(jìn)搬出口3的方向(即搬入方向)移動，使其位于襯底A端部下面。在該狀態(tài)下，開動真空泵使襯底A吸附在吸附口36。由此，使襯底A端部保持在保持部32。
通過上述保持工序保持了襯底A后，如圖10所示，使保持部32向離開搬進(jìn)搬出口3的方向(即搬出方向)移動。
通過該移動工序，襯底A從線籠10內(nèi)通過搬進(jìn)搬出口3搬到載置臺31上。另外，在搬出時，襯底A由滾筒27，37整個面上加以支承，因而即使用保持部32只吸住端部移動，也能穩(wěn)定另外順利地搬出。另外，由于通過控制部改變保持部32的移動速度，所以能迅速地搬出襯底A。尤其是，因為滾筒27，37和襯底A是點接觸，減少了滾筒27，37與襯底A的摩擦阻力，所以能迅速地搬出襯底A。
從線籠10搬出襯底A并載置到載置臺31上后，用圖1和圖2所示的旋轉(zhuǎn)部34使載置臺31旋轉(zhuǎn)180度。然后，使圖1所示的襯底搬送裝置51移動并鄰接載置臺31。在該狀態(tài)下?lián)u動使多關(guān)節(jié)臂52轉(zhuǎn)動，讓棒狀部件53插入載置臺31的切口槽，從下邊舉起襯底A并載置在棒狀部件53上。這時，真空泵停止動作，釋放由保持機(jī)構(gòu)32吸引保持的襯底A。
載置襯底A后，襯底搬送裝置51沿著移動軌道45移動直到襯底處理裝置7，把襯底A送到該襯底處理裝置7內(nèi)。然后，用襯底處理裝置7規(guī)定處理后的襯底A再由襯底搬送裝置51搬送存放到圖中未示出的存放規(guī)定處理結(jié)束后的襯底A的存放容器內(nèi)。
而把襯底A送給襯底搬送裝置51上的載置臺31，再借助于旋轉(zhuǎn)部34旋轉(zhuǎn)回原來的位置，鄰接搬進(jìn)搬出口3配置。然后，開動升降裝置20使線籠10下降，重復(fù)進(jìn)行上述的動作搬出下一個襯底A。
而在本實施例中，襯底搬進(jìn)搬出裝置1從線籠10搬出襯底A，然而也可以把線籠10作為存放用襯底處理裝置7規(guī)定處理后的襯底A的容器而使用，接收通過襯底搬送裝置41搬送來的襯底A并搬進(jìn)線籠10內(nèi)。這種場合，進(jìn)行搬出相反的動作，搬進(jìn)襯底A。
如上所述，若采用該襯底搬進(jìn)搬出裝置1和襯底搬進(jìn)搬出方法，在用保持部32吸住保持襯底A端部的保持工序以后，進(jìn)行移動工序使該保持部32沿離開搬進(jìn)搬出口3的搬進(jìn)搬出方向移動，可從線籠10搬出襯底A。
此時，由于在襯底支承臺25和載置臺31的上部設(shè)置滾筒27、37，所以能在支承整個襯底A的狀態(tài)搬出，可使襯底A穩(wěn)定另外順利地移動。另外，由于在用保持部32在吸住保持襯底的狀態(tài)下移動，因而能可靠地搬出襯底A，同時能按照保持部32的移動速度改變搬出速度，能迅速地搬出襯底A。尤其是在襯底支承臺25側(cè)上不需要動力，只要向保持部32提供移動的動力就行，所以能夠?qū)崿F(xiàn)結(jié)構(gòu)的簡化。
另外，保持部32，在用吸附口36吸住襯底A端部的狀態(tài)下搬出該襯底A，所以不會弄傷襯底A而能夠可靠地搬進(jìn)搬出。
進(jìn)而，襯底A和滾筒27、37是點接觸式的，故摩擦力減少，因此能更加迅速地搬出襯底A。另外，因為接觸面積小，所以不易對襯底A造成損傷。
另外，采用通過向襯底A的下面噴出空氣使該襯底A浮起的浮起機(jī)構(gòu)，就能防止襯底A與襯底支承臺25及載置臺31的上部接觸，可降低給予襯底A的沖擊等負(fù)荷，同時能防止附著灰塵等。
另外，保持部雖然通過真空泵動作在吸附口吸住并保持襯底，但是不限于此，只要是能保持襯底端部的結(jié)構(gòu)就可以。另外，也可設(shè)置從上下方向夾住把持襯底的把持機(jī)構(gòu)保持住襯底。在這種場合，由于能更加可靠地保持襯底，因而即使搬進(jìn)搬出速度變化，也能穩(wěn)定搬進(jìn)搬出襯底。
其次，參照圖11到圖24說明涉及本發(fā)明的襯底搬送裝置第二實施例。另外，對上述第1實施例中已經(jīng)說過的構(gòu)成要素采用同一標(biāo)號并省略說明。
本實施例的襯底搬送裝置11具備載置臺41、交接機(jī)構(gòu)44和移動臺46。載置臺41具備以鄰接襯底支承臺25配置的狀態(tài)在線籠10搬進(jìn)搬出襯底A的驅(qū)動滾筒(移載機(jī)構(gòu))40和調(diào)整驅(qū)動滾筒40與搬進(jìn)搬出口3的相對位置的升降部(升降機(jī)構(gòu))49。交接機(jī)構(gòu)44具備載置襯底A可移動的第一臂42和第二臂43，就用兩臂42、43在載置臺41和襯底處理裝置7之間交接襯底A。移動臺46為板狀，載置交接機(jī)構(gòu)44和載置臺41，用電機(jī)47在襯底支承臺25和襯底處理裝置20之間設(shè)置的一對移動軌道45上移動。
在移動臺46上，設(shè)置基礎(chǔ)臺48。在基礎(chǔ)臺48的上部，設(shè)置可相對基礎(chǔ)臺48升降的升降部49。在升降部49的上部，設(shè)置可相對垂直軸旋轉(zhuǎn)360度的旋轉(zhuǎn)部50，在旋轉(zhuǎn)部50上安裝載置臺41和交接機(jī)構(gòu)44。載置臺41和交接機(jī)構(gòu)44用升降部49使雙方一起升降，同時用旋轉(zhuǎn)部50旋轉(zhuǎn)360度。
載置臺41，如圖12，圖16和圖17所示，有下部載置臺55和上部載置臺56。下部載置臺55形成具有傾斜切除一端側(cè)的兩個角的頂端部55a的板狀，安裝在旋轉(zhuǎn)部50上。另外，載置臺56也要形成具有頂端部56a并成為和下部載置臺55同一外形。通過安裝于四個角的上下滑塊57和下部載置臺55連接。因此，上部載置臺56相對下部載置臺55可升降。進(jìn)而，在上部載置臺56的中央，從頂端部56a向與該頂端部56a對置的一側(cè)形成長方形的開口部58。
在開口部58的中央的下部載置臺55上，借助圖中未示出的升降機(jī)構(gòu)配設(shè)中央載置臺56b。將中央載置臺56b設(shè)為和上部載置臺56相同的高度，就能和上部載置臺56同步升降。
在上部載置臺56和中央載置臺56b上，沿著開口部58的長度方向空出規(guī)定間隔設(shè)置驅(qū)動滾筒40。繞沿著與搬進(jìn)搬出方向(開口部58的長度方向)垂直的方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸B可轉(zhuǎn)動地支承著驅(qū)動滾筒40，并用圖中未示出的電機(jī)驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。
在下部載置臺55上，夾著中央載置臺56b，自由旋轉(zhuǎn)地安裝作為多關(guān)節(jié)臂的第一臂42的一端。在第一臂42的另一端，連接長度比開口部58的寬度要短一些的第一連接部件60，在第一連接部件上，安裝著第一棒狀部件61的一端。第一棒狀部件61的長度和開口部58的縱向大約相同，在和開口部58的縱向垂直的方向空出規(guī)定間隔安裝在第一連接部件60上。第一連接部件60和第一棒狀部件61借助于第一臂42能在開口部58內(nèi)在該開口部58的長度方向，即搬進(jìn)搬出方向移動。
在下部載置臺55，安裝作為多關(guān)節(jié)臂的第二臂43的一端，使其自由旋轉(zhuǎn)。在第二臂43的另一端，和上述同樣安裝第二連接部件62和第二棒狀部件63。第二棒狀部件63處于第一棒狀部件61正上方。
通過上下滑塊57沿上下方向移動上部載置臺56和中央載置臺56b時，具有驅(qū)動滾筒40的上部載置臺56和中央載置臺56b的上面相對第一棒狀部件61和第二棒狀部件63升降。另外，第一棒狀部件61和第二棒狀部件63，用第一臂42和第二臂43可在搬出方向移動。
第一臂42、第一連接部件60、第一棒狀部件61、第二臂43、第二連接部件62和第二棒狀部件63構(gòu)成交接機(jī)構(gòu)44。
另外，在本實施例中，滾筒27繞沿著與襯底A的搬進(jìn)搬出方向垂直的方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸B支承可自由轉(zhuǎn)動，由圖中未示出的電機(jī)驅(qū)動。
另外，在本實施例中，如圖18所示，作為初始設(shè)定，設(shè)定夾在第一棒狀部件61和第二棒狀部件63之間定位上部載置臺56。另外，第一棒狀部件61和第二棒狀部件63移動時，中央載置臺56b升降得第一棒狀部件61和第二棒狀部件63不干涉。
下面說明用這樣構(gòu)成的襯底搬送裝置11從線籠10搬送襯底A到襯底處理裝置7的情況。
首先，如圖12所示，用升降機(jī)構(gòu)30保持線籠10。在線籠10內(nèi)沿高度方向空出間隔水平存放多個襯底A。將襯底A載置在線籠10內(nèi)的襯底支承部2上。保持線籠10后，通過控制部使升降機(jī)構(gòu)30動作，使線籠10朝向襯底支承臺25下降。因為將襯底支承臺25配置成線籠10底面配合的框架5b，5c間不干涉，所以襯底支承臺25從線籠10的各下部開口4插入線籠10內(nèi)。
襯底支承臺25若插入線籠10內(nèi)，和安裝在襯底支承臺25上面的各滾筒27相對上升。然后，再使線籠10下降，滾筒27的上部接觸位于線籠10的最下層的襯底A下面并舉起襯底A，使其脫離襯底支承部2。襯底A一脫離，控制部就控制升降機(jī)構(gòu)30一度停止下降。這時，如圖18所示，襯底A成為載置在滾筒27上的狀態(tài)。
另外，這樣襯底A脫離期間，如圖11所示，用電機(jī)47使移動臺46移動使其鄰接襯底支承臺25，同時依靠旋轉(zhuǎn)部50定位，以使頂端部55a、56a和搬進(jìn)搬出口3對置。
然后，襯底A脫離后，如圖19所示，借助于上下滑塊57使上部載置臺56和中央載置臺56b上升，驅(qū)動滾筒40的上部位于從第二棒狀部件63的上部突出。然后，使載置臺35的滾筒27及上部載置臺56和中央載置臺56b的驅(qū)動滾筒40從線籠10內(nèi)到外部的方向(搬進(jìn)搬出方向)旋轉(zhuǎn)。這時，兩滾筒27、40以同一方向且同一速度旋轉(zhuǎn)。因此，兩滾筒27，40摩擦阻力對襯底A起作用，襯底A在兩滾筒27、40的旋轉(zhuǎn)方向移動。襯底A從線籠10內(nèi)通過搬進(jìn)搬出口3向搬進(jìn)搬出方向移動，裝載到上部載置臺56和中央載置臺56b的驅(qū)動滾筒40上。
按照上述搬進(jìn)搬出工序，將襯底A載置在上部載置臺56和中央載置臺56b上時，上部載置臺56和中央載置臺56b通過上下滑塊57下降到原來的位置。因為上部載置臺56和中央載置臺56b若下降，相對地從開口部58使第二棒狀部件63上升，所以就如56b圖20所示，把襯底A轉(zhuǎn)移到第二棒狀部件63的上面?？刂撇坷^續(xù)使升降機(jī)構(gòu)30動作使線籠10再次下降。由此，將下一個襯底A載置到襯底支承臺25上。
第二棒狀部件63上載置襯底A時，升降部49上升使第二棒狀部件63、第一棒狀部件61和上部載置臺56等全體上升。然后，如圖21所示，在襯底支承臺25的滾筒27的上面與上部載置臺56和中央載置臺56b的驅(qū)動滾筒40的上面高度成同一高度時，由升降部49使上升停止，使兩滾筒27、40旋轉(zhuǎn)，然后搬出下一個襯底A。即，裝載到上部載置臺56和中央載置臺56b上。
這樣，在搬進(jìn)搬出工序時，通過用升降部49相對搬進(jìn)搬出口3升降載置臺41，能夠搬出多個襯底A。
另外，如果下一個襯底A裝載到上部載置臺56和中央載置臺56b上時，上部載置臺56和中央載置臺56b借助于上下滑塊57再從初始位置下降。因為上部載置臺56和中央載置臺56b若下降，則相對地從開口部58使第一棒狀部件61上升，所以如圖22所示，就把襯底A移到第一棒狀部件61的上面。
按照上述轉(zhuǎn)移工序，在第一棒狀部件61和第二棒狀部件63上載置襯底A后，開動電機(jī)47沿著移動軌道45使移動臺46移動直到襯底處理裝置7。該移動工序后，使旋轉(zhuǎn)部50旋轉(zhuǎn)180度把頂端部55a、56a向著襯底處理裝置7進(jìn)行交接工序。搖動如圖12、圖16和圖17所示的第二臂43把第二連接部件62沿著開口部53的縱向推出。因此，如圖23所示，因為在前方推出第二棒狀部件63，所以載置于第二棒狀部件63上的襯底A進(jìn)入到襯底處理裝置7內(nèi)。進(jìn)入的襯底A由襯底處理裝置7內(nèi)例如升降桿64接收并加以規(guī)定處理。
另外，第二棒狀部件63返回原來的位置以后，通過升降部49使全體上升，同時用第一臂42推出第一連接部件60，如圖24所示，裝載于第一連接部件60上的襯底A也能進(jìn)入襯底處理裝置7。
進(jìn)而，根據(jù)與上述交接時相反的動作，在第一棒狀部件61和第二棒狀部件63上載置以襯底處理裝置7進(jìn)行規(guī)定處理后的襯底A，同時在上部載置臺56和中央載置臺56b上順序換載，并存放到存放規(guī)定處理結(jié)束后的襯底A的圖中未示出的存放容器內(nèi)。
另外，在本實施例中，襯底搬送裝置11是從線籠10搬出襯底A。也可以使用線籠10作為存放通過襯底處理裝置7進(jìn)行規(guī)定處理后的襯底A的容器，把規(guī)定處理結(jié)束后的襯底A搬進(jìn)線籠10內(nèi)。在這種情況下，進(jìn)行搬出的相反動作，也能搬進(jìn)襯底A。
另外，從線籠10把襯底A搬送到襯底處理裝置20時，搬出兩片襯底A，同時在第一棒狀部件61和第二棒狀部件63上換載并送到襯底處理裝置20。然而不只限于此。例如，作為用于把襯底A送給襯底處理裝置20的交接專用也可以使用第一棒狀部件61，也可以作為用從襯底處理裝置20于接收規(guī)定處理結(jié)束后襯底A的接收專用而使用第二棒狀部件63。這樣，交接機(jī)構(gòu)44也可以滿足適時目的使用第一棒狀部件61和第二棒狀部件63。
如上所述，根據(jù)該襯底搬送裝置11和襯底搬送方法，借助于襯底支承臺25的滾筒27和上部載置臺56和中央載置臺56b的驅(qū)動滾筒40，就能從線籠10向上部載置臺56搬出襯底A。另外，上述搬進(jìn)搬出工序后，通過連接第一臂42的第一棒狀部件61和連接第二臂43的第二棒狀部件63的轉(zhuǎn)移工序，載置到兩個棒狀部件61、63上，同時通過移動工序搬送直到襯底處理裝置7，而后，通過交接工序送到襯底處理裝置7。
這樣，搭載向移動臺46搬出襯底A的載置臺41和把襯底A遞給襯底處理裝置7的交接機(jī)構(gòu)44，因而可多功能使用，而不需要另外設(shè)置專門進(jìn)行現(xiàn)有的襯底搬進(jìn)搬出裝置等的搬進(jìn)搬出的裝置。所以，可不需要多余的設(shè)置空間，有效地利用小空間，進(jìn)行襯底A的搬進(jìn)搬出和搬送。
另外，因為可用升降部49使載置臺41相對搬進(jìn)搬出口3升降，搬出多個襯底A，所以可提高效率，縮短時間。
另外，從線籠10把襯底A搬出載置臺41時，利用驅(qū)動滾筒40，因而能可靠另外順利地進(jìn)行襯底A的搬出。進(jìn)而，根據(jù)本實施例的襯底搬送裝置11，從線籠10內(nèi)可通過驅(qū)動滾筒40順利地搬出每一片襯底A，所以襯底A即使是薄板狀在線籠10內(nèi)緊密存放，也能可靠地搬出。
另外，如上所述，在本實施例中，已說明了從線籠10搬出襯底A的情況，然而在搬進(jìn)襯底A時上述效果也是同樣的。
以下，參照圖25和圖26說明有關(guān)本發(fā)明襯底搬送裝置的第三實施例。另外，在以下的說明中，在第二實施例中說明過的同一構(gòu)成要素附加相同標(biāo)號，省略其說明。
對于第三實施例和第二實施例的不同點在于，在第二實施例中，在載置臺41上設(shè)置交接機(jī)構(gòu)44并成為一體構(gòu)造，而在第三實施例的襯底搬送裝置70則是在移動臺46上鄰接配設(shè)載置臺71和交接機(jī)構(gòu)72。
載置臺71，如圖25所示，作成從第二實施例的載置臺41去掉交接機(jī)構(gòu)44的結(jié)構(gòu)。另外，在移動臺46上，鄰接載置臺71的基礎(chǔ)臺48設(shè)置和基礎(chǔ)臺48一樣大小的基礎(chǔ)臺73。另外，在基礎(chǔ)臺73的上部與載置臺71同樣，設(shè)置相對基礎(chǔ)臺73能升降的升降部(升降機(jī)構(gòu))74，在升降部74的上部設(shè)置能繞垂直軸轉(zhuǎn)動旋轉(zhuǎn)360度的旋轉(zhuǎn)部75，在旋轉(zhuǎn)部75的上部安裝交接機(jī)構(gòu)72。即，第一臂42和第二臂43的一端可旋轉(zhuǎn)地安裝。因此，兩臂42、43共同用升降部74升降，同時借助于旋轉(zhuǎn)部75能旋轉(zhuǎn)。
說明按照這樣構(gòu)成的襯底搬送裝置70把襯底A搬送到襯底處理裝置20的情況。通過用升降機(jī)構(gòu)30使線籠10下降，在襯底支承臺25的滾筒27上載置襯底A后，以同方向、同-速度使兩驅(qū)動滾筒旋轉(zhuǎn)，從線籠10內(nèi)把襯底A搬到上部載置臺56和中央載置臺56b的驅(qū)動滾筒40上。該搬進(jìn)搬出工序后，如圖26所示，用電機(jī)47使移動臺46移動，同時通過兩旋轉(zhuǎn)部74和50各自旋轉(zhuǎn)90度，使上部載置臺56的頂端部56a與第一棒狀部件61和第二棒狀部件63的頂端對置。旋轉(zhuǎn)后，借助于第二臂43使第二棒狀部件63向前突出，然后插入開口部58。插入后，使升降部74上升從下邊舉起襯底A，載置轉(zhuǎn)移到第二棒狀部件63上。該轉(zhuǎn)移工序后，通過移動工序把移動臺46移動到襯底處理裝置7，而后，通過綜合進(jìn)行旋轉(zhuǎn)部75、升降部74、第二臂43的交接工序，把襯底A送到襯底處理裝置7內(nèi)。
另外，不限于上述的襯底A交接，例如也可以從上部載置臺56把襯底A載置在第一棒狀部件61上，然后送到襯底處理裝置7。另外，從襯底處理裝置20接收襯底A時，用第一棒狀部件61、第二棒狀部件63的哪個接收也可以。
由襯底支承臺和載置臺的兩個驅(qū)動滾筒搬出襯底，然而只要是搬進(jìn)搬出襯底的移載機(jī)構(gòu)，什么樣的構(gòu)造均可。例如，也可以利用朝著搬進(jìn)搬出方向有能旋轉(zhuǎn)的環(huán)狀帶的驅(qū)動傳送帶來搬進(jìn)搬出襯底。這時，整個襯底平面接觸載置在環(huán)狀帶上的狀態(tài)下搬進(jìn)搬出，因而能可靠且穩(wěn)定地進(jìn)行襯底的搬入搬出。
如第二實施例，也可采用具有沿搬進(jìn)搬出方向支承襯底A自由移動的滾筒27和把持襯底A的端部同時沿搬進(jìn)搬出方向可移動的保持部32的移載機(jī)構(gòu)。這時，可以只通過保持部32的移動進(jìn)行襯底A的搬進(jìn)搬出，能使結(jié)構(gòu)簡化。另外，能按照保持部32的移動速度調(diào)整襯底A的搬進(jìn)搬出速度，因而能迅速地進(jìn)行襯底A的搬進(jìn)搬出。另外，襯底A是由滾筒27支承并可移動，因而能實現(xiàn)搬進(jìn)搬出的穩(wěn)定順利。
如圖27所示，代替滾筒27，也可采用在襯底A下面噴出空氣使襯底A浮起的浮起機(jī)構(gòu)80。這時，在使襯底A浮起的狀態(tài)通過保持部32進(jìn)行搬進(jìn)搬出，因而能防止和載置臺31的上面等接觸，能減少給襯底A的沖擊等負(fù)荷。另外，能防止襯底A上附著灰塵等。所以，能進(jìn)一步提高襯底A的質(zhì)量。
另外，上述第二、第三實施例中，在轉(zhuǎn)移工序后進(jìn)行了移動工序，然而不限于此，也可以同時進(jìn)行轉(zhuǎn)移工序和移動工序。這時，可更有效地搬送襯底A，縮短搬送時間。
以上說明了本發(fā)明令人滿意的實施例，然而本發(fā)明并不限于這些實施例。在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)，可能進(jìn)行結(jié)構(gòu)的添加、省略、置換及其變更。本發(fā)明不由上述的說明所限定，而是只根據(jù)權(quán)利要求書范圍限定。
權(quán)利要求
1.一種襯底搬進(jìn)搬出裝置(1)，其對存放襯底(A)的存放容器(10)搬進(jìn)或搬出所述襯底(A)，其特征在于，具備鄰接所述存放容器(10)而配置且載置所述襯底(A)的載置臺(31)；在該載置臺(31)上沿所述襯底(A)的搬進(jìn)搬出方向可移動地設(shè)置，保持所述襯底(A)的保持部(32)；在所述載置臺(31)上在所述搬進(jìn)搬出方向可移動地支承該保持部(32)所保持的所述襯底(A)的襯底支承機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的襯底搬進(jìn)搬出裝置(1)，其特征在于，所述保持部(32)具備把持所述襯底(A)的把持機(jī)構(gòu)。
3.如權(quán)利要求1所述的襯底搬進(jìn)搬出裝置(1)，其特征在于，所述保持部(32)具備吸附所述襯底(A)的吸附機(jī)構(gòu)(36)。
4.如權(quán)利要求1所述的襯底搬進(jìn)搬出裝置(1)，其特征在于，所述襯底支承機(jī)構(gòu)是繞與所述搬進(jìn)搬出方向垂直的旋轉(zhuǎn)軸自由轉(zhuǎn)動地被支承的滾筒(37)。
5如權(quán)利要求1所述的襯底搬進(jìn)搬出是裝置(1)，其特征在于，所述支承機(jī)構(gòu)是通過向所述襯底(A)的下面噴出空氣使該襯底(A)從所述載置臺(31)浮起的浮起機(jī)構(gòu)。
6.一種襯底搬進(jìn)搬出方法，其對存放襯底(A)的存放容器(10)搬入或搬出所述襯底(A)，其特征在于，具備用保持部(32)保持所述襯底(A)的端部的保持工序；使保持所述襯底(A)的所述保持部(32)在所述襯底(A)的搬進(jìn)搬出方向移動的移動工序。
7.如權(quán)利要求6所述的襯底搬進(jìn)搬出方法，其特征在于，在所述移動工序中，在所述搬進(jìn)搬出方向可移動地支承所述襯底(A)。
8.一種襯底搬送裝置(11)，其在存放襯底(A)的存放容器(10)和處理所述襯底(A)的襯底處理裝置(7)之間搬送所述襯底(A)，其特征在于，具備對所述存放容器(10)搬進(jìn)搬出所述襯底(A)的移載機(jī)構(gòu)；搭載該移載機(jī)構(gòu)，載置對所述存放容器(10)搬進(jìn)搬出的所述襯底(A)的載置臺(41)；在該載置臺(41)和所述襯底處理裝置(7)之間交接所述襯底(A)的交接機(jī)構(gòu)(44)；設(shè)于所述存放容器(10)和所述襯底處理裝置(7)之間的移動軌道(45)；搭載所述載置臺(41)和所述交接機(jī)構(gòu)(44)，在所述移動軌道(45)上可移動的移動臺(46)。
9.如權(quán)利要求8所述的襯底搬送裝置(11)，其特征在于，所述移載機(jī)構(gòu)是繞與所述搬進(jìn)搬出方向垂直的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的驅(qū)動滾筒(40)。
10.如權(quán)利要求8所述的襯底搬送裝置(11)，其特征在于，所述移載機(jī)構(gòu)是在所述搬進(jìn)搬出方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的具有環(huán)狀帶的驅(qū)動傳送帶。
11.如權(quán)利要求8所述的襯底搬送裝置(11)，其特征在于，所述移載機(jī)構(gòu)具備保持所述襯底(A)的保持部(32)、在所述搬進(jìn)搬出方向可移動地支承該保持部所保持的所述襯底(A)的襯底支承機(jī)構(gòu)。
12.如權(quán)利要求11所述的襯底搬送裝置(11)，其特征在于，襯底支承機(jī)構(gòu)是通過向所述襯底(A)的下面噴出空氣使該襯底(A)從所述載置臺(41)浮起的浮起機(jī)構(gòu)(80)。
13.一種襯底搬送方法，其在存放襯底(A)的存放容器(10)和處理所述襯底(A)的襯底處理裝置之間，經(jīng)由載置對所述存放容器(10)搬進(jìn)搬出的所述襯底(A)的載置臺(41)與在該載置臺(41)和所述襯底處理裝置(7)之間交接所述襯底(A)的交接機(jī)構(gòu)(44)搬送所述襯底(A)，其特征在于，具備在所述存放容器(10)和所述載置臺(41)之間搬進(jìn)搬出所述襯底(A)的搬進(jìn)搬出工序；在所述載置臺(41)和所述交接機(jī)構(gòu)(44)之間轉(zhuǎn)移所述襯底(A)的轉(zhuǎn)移工序；在所述載置臺(41)和所述襯底處理裝置(7)之間移動所述交接機(jī)構(gòu)(44)的移動工序；在所述交接機(jī)構(gòu)(44)和所述襯底處理裝置(7)之間交接所述襯底(A)的交接工序。
14.如權(quán)利要求13所述的襯底搬送方法，其特征在于，同時進(jìn)行所述轉(zhuǎn)移工序和所述移動工序。
15.如權(quán)利要求14所述的襯底搬送方法，其特征在于，所述搬進(jìn)搬出工序中，同時將多個所述襯底(A)搬進(jìn)搬出。
全文摘要
一種在存放襯底(A)的存放容器(10)搬入或搬出襯底(A)的襯底搬進(jìn)搬出裝置(1)。其具備載置襯底(A)的載置臺(31)、設(shè)置在載置臺(31)上在襯底(A)的搬進(jìn)搬出方向可移動的保持襯底(A)的保持部(32)、在載置臺(31)上在搬進(jìn)搬出方向可移動地支承在保持部(32)上保持的襯底(A)的滾筒(37)。
文檔編號B65G49/00GK1600658SQ200410090520
公開日2005年3月30日 申請日期2004年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月20日
發(fā)明者北澤保良 申請人:神鋼電機(jī)株式會社