專利名稱：保管及處理設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是有關(guān)于一種將多段收納半導(dǎo)體基板及液晶用基板等的被處理物的卡匣保管用自動倉庫、以及將從該卡匣取出的被處理物進(jìn)行加工處理的處理裝置進(jìn)行組合的保管及處理設(shè)備。
背景技術(shù)：
上述的保管及處理設(shè)備包括具有貨物支持架的卡匣收納區(qū)域于水平方向及垂直方向立體地配設(shè)的棚架、沿該棚架的正面?zhèn)刃凶叩娜氤鰩煊眯凶咂鹬貦C、以該起重機從上述卡匣收納區(qū)域的既定位置的卡匣內(nèi)將被處理物取出并送至并設(shè)于上述棚架的背面?zhèn)鹊谋惶幚砦锶〕鲞\送裝置。上述被處理物取出運送裝置是記載于特開2003-261221號公報及特開平7-231031號公報，在卡匣內(nèi)上下隔著小間隔，進(jìn)入所支持的各被處理物之間，舉起上側(cè)的被處理物而拉出至卡匣外的同時，將被處理物送至處理裝置內(nèi)的既定位置的機器人形態(tài)的被處理物取出運送裝置是已知。
實用新型內(nèi)容在上述的被處理物取出運送裝置兼用的保管及處理設(shè)備中，該被處理物取出運送裝置將被處理物一片一片取出的卡匣必須正確地支持于既定位置，因此，用自動倉庫的起重機將搬出的卡匣運送至設(shè)置于自動倉庫的棚架的背面?zhèn)鹊亩ㄎ慌_，在該卡匣定位臺上，將卡匣矯正于水平面上的既定位置后，利用上述被處理物取出運送裝置從卡匣定位臺上的卡匣內(nèi)將被處理物取出，這樣的構(gòu)造是一般的，但是，在如此的自動倉庫的外側(cè)設(shè)置具有卡匣位置矯正裝置的卡匣定位臺的構(gòu)造，不僅設(shè)備全體占據(jù)較大的面積，在棚架內(nèi)的卡匣搬出位置與該卡匣定位臺之間必須要有卡匣搬運裝置，設(shè)備的成本也會提高。為了解決此問題，考慮將具有上述卡匣位置矯正裝置的卡匣定位臺設(shè)置于棚架內(nèi)的卡匣搬出位置，若安裝于地板上的習(xí)知的卡匣定位臺設(shè)置于棚架內(nèi)，則由于在設(shè)置棚架的地板上將卡匣定位臺安裝于棚架內(nèi)，通過設(shè)置棚架的地板的構(gòu)造以及組裝于棚架最下段的機器類，為了在棚架內(nèi)安裝卡匣定位臺，棚架下的地板的加強以及組裝于棚架最下段的機器類的位置變更是必要的，因此安裝卡匣定位臺所需的成本會提高。
為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，本實用新型的目的在于提供一種保管及處理設(shè)備，其整體的占據(jù)面積較小，不會增加設(shè)備成本。以后述的實施例的參照符號表示，本實用新型的保管及處理設(shè)備包括于水平方向與垂直方向立體地配設(shè)、并具有貨物支持架9a、9b的卡匣收納區(qū)域5的棚架3A；設(shè)置于該棚架3A的正面?zhèn)鹊娜氤鰩煊眯凶咂鹬貦C4；其特征是該保管及處理設(shè)備還包括設(shè)于該棚架的背面?zhèn)鹊谋惶幚砦锶〕霭徇\裝置；設(shè)置在鄰接于所述被處理物取出運送裝置的位置上的卡匣收納區(qū)域5中的一卡匣位置矯正裝置KP；設(shè)于上述棚架的背面?zhèn)鹊奶幚硌b置，所述卡匣位置矯正支持裝置取代該貨物支持架9a、9b而安裝于安裝貨物支持架的棚架支柱6a、6b。
針對實施上述構(gòu)造的本實用新型，具體而言，上述卡匣位置矯正支持裝置15由分別安裝于卡匣收納區(qū)域(被處理物取出作業(yè)區(qū)域5A)兩側(cè)的前后一對棚架支柱6a、6b的左右一對的單元18A、18B所構(gòu)成，在各單元18A、18B上，設(shè)有使卡匣K在水平面上全方位自由移動地支持的前后方向多個支持裝置19、以及將所支持的卡匣K矯正至既定位置(矯正卡匣位置KP)的壓押裝置20a、20b。
在上述構(gòu)造的本實用新型的保管及處理設(shè)備中，通過入出庫用起重機，保管于棚架的卡匣收納區(qū)域的卡匣從卡匣收納區(qū)域內(nèi)(同一棚架內(nèi)的卡匣矯正支持裝置取代貨物支持架而安裝著的收納區(qū)域)搬出，以上述起重機移載至該卡匣矯正支持裝置上時的卡匣位置(姿勢)從被處理物取出運送裝置所見于水平方向無論偏移多少，都可由該卡匣位置矯正支持裝置將位置矯正于既定位置上，因此由被處理物取出運送裝置從搬出的卡匣內(nèi)取出的被處理物的該被處理物取出運送裝置的位置(姿勢)是固定的，接著由該被處理物取出運送裝置將被處理物確實地運送至下一段的處理裝置側(cè)的既定位置上。
但是在本實用新型的構(gòu)造中，在使用被處理物取出運送裝置時，由于必備的卡匣位置矯正用的裝置并不配設(shè)于棚架外，對于入出庫，無須習(xí)知的棚架內(nèi)的卡匣搬出位置與棚架外的卡匣位置矯正裝置的卡匣定位臺之間所必要的卡匣搬運裝置，同時設(shè)備全體的占有面積也可變小。甚至在本實用新型中，由于安裝于地板上的卡匣定位臺不設(shè)置于棚架內(nèi)，僅卡匣位置矯正支持裝置在棚架的卡匣收納區(qū)域內(nèi)取代貨物支持架而安裝于棚架支柱上，棚架下的地板的構(gòu)造與組裝于棚架最下段的機器類無關(guān)，可簡單容易且廉價地形成相當(dāng)于具備習(xí)知的卡匣位置矯正裝置的卡匣定位支持臺的卡匣搬出部。
又，如在上述的保管及處理設(shè)備的構(gòu)造，在卡匣收納區(qū)域的左右兩側(cè)，將安裝于前后一對的棚架支柱的貨物支持架，換成構(gòu)成卡匣位置矯正裝置的左右二個單元，以此簡單方法實施本實用新型。
本實用新型所述的保管及處理設(shè)備，其中該支持裝置包括基板；圓盤狀的支持盤，在該基板上經(jīng)由圓周方向上的多個支持架在水平面上的全方位可自由移動地支持；以及偏壓保持裝置，設(shè)于該基板上并偏壓于該支持盤。
本實用新型所述的保管及處理設(shè)備，其中該壓押裝置包括可動體，具有一驅(qū)動機構(gòu)，使該可動體在相對于在被處理物取出作業(yè)區(qū)域的平面上的矯正卡匣位置的中心的遠(yuǎn)近方向的直線路徑上往復(fù)移動；多個垂直軸滾子，樞軸支撐于可動體上，卡匣的角部可嵌合于該等垂直軸滾子。
根據(jù)本實用新型的一種保管及處理設(shè)備，其整體的占據(jù)面積較小，不會增加設(shè)備成本。


圖1為本實用新型的一實施例的主要部分的縱向側(cè)視圖。
圖2為同一實施例的主要部分的橫向平面圖。
圖3為同一實施例中形成于棚架內(nèi)的被處理物取出作業(yè)區(qū)域的平面圖。
圖4為上述被處理物取出作業(yè)區(qū)域的主視圖。
圖5A為設(shè)于上述被處理物取出作業(yè)區(qū)域的卡匣位置矯正支持裝置的支持手段的一例的橫向平面圖。
圖5B為圖5A的縱向平面圖。
圖6A為上述卡匣位置矯正支持裝置的壓押裝置的一例的平面圖。
圖6B為圖6A中沿X-X線的剖視圖。
具體實施方式
以下根據(jù)附加圖式說明本實用新型的具體實施例，在圖1及圖2中，1為自動倉庫，包括在中間為形成起重機行走通路2而立設(shè)左右二列的棚架3A、3B，以及在起重機行走通路2內(nèi)沿棚架3A、3B行走的入出庫用起重機4。由于各棚架3A、3B在水平方向與垂直方向立體地具有多個卡匣收納區(qū)域5，在水平方向鄰接的卡匣收納區(qū)域5之間立設(shè)有隔壁框8，其包括前后一對棚架支柱6a、6b與架設(shè)于兩棚架支柱6a、6b之間的連結(jié)材7所構(gòu)成，各卡匣收納區(qū)域5，包括在其左右兩側(cè)的隔壁框8中的前后一對的棚架支柱6a、6b上，以相同高度安裝著的左右一對的貨物支持架9a、9b。又，雖然圖示省略，各棚架3A、3B的隔壁框8，在與起重機通路側(cè)(正面?zhèn)?成相反側(cè)的里面?zhèn)然蛏隙瞬浚词乖诟叨雀叩那闆r下，其中間高度也由連結(jié)材相互連結(jié)而一體化。不用說，棚架3A、3B是以跨接于起重機行走通路2上的連結(jié)材連結(jié)。
由于入出庫用起重機4為習(xí)知的裝置，其上下兩端部是由敷設(shè)于地板的下部軌道10與架設(shè)于行走通路上側(cè)的上部軌道(圖示省略)導(dǎo)引而自走，而圖例所示者是在下部軌道10所支持導(dǎo)引的臺車部11上立設(shè)有前后兩根支柱12，并在兩支柱12間升降的升降架13上設(shè)置的移載裝置14。又圖標(biāo)的移載裝置14是通過左右兩側(cè)的棚架3A、3B的卡匣收納區(qū)域5內(nèi)的進(jìn)出移動以及伴隨升降架13升降的升降移動所組合而成的叉起動作(forking)，在與卡匣收納區(qū)域5之間移載卡匣的移動叉起型的裝置。
單側(cè)的棚架3A的卡匣收納區(qū)域5內(nèi)，在最下段的一個卡匣收納區(qū)域中，卡匣位置矯正支持裝置15取代在其它卡匣收納區(qū)域5所具備的貨物支持架9a、9b，而安裝于左右兩側(cè)的隔壁框8的一對棚架支柱6a、6b上，而變成被處理物取出作業(yè)區(qū)域5A。在棚架3A的背面?zhèn)?，連結(jié)鄰接的隔壁框8的連結(jié)材及背面壁材存在的情況下，該等連結(jié)材及背面壁材等在上述被處理物取出作業(yè)區(qū)5A的背面?zhèn)缺怀?，該被處理物取出作業(yè)區(qū)域5A的背面?zhèn)葹殚_放。然后在棚架3A的背面?zhèn)仍O(shè)有具備被處理物取出運送裝置16的處理裝置17，鄰接于該被處理物取出作業(yè)區(qū)域5A。
在被處理物取出作業(yè)區(qū)域5A中取代貨物支持架9a、9b而設(shè)置的卡匣位置矯正支持裝置15，如圖3及圖4所示，由左右一對往前后方向延伸的單元18A、18B所構(gòu)成，各單元18A、18B經(jīng)由適當(dāng)?shù)闹Ъ芤月菟ò惭b于被處理物取出作業(yè)區(qū)域5A的左右兩側(cè)的隔壁框8的前后一對棚架支柱6a、6b的內(nèi)側(cè)面上。然后，在該等各單元18A、18B上，分別在水平面上的全方位上自由移動地支持卡匣K的底面左右兩側(cè)部的支持裝置19，在前后方向上以適當(dāng)間隔設(shè)置多個(圖示為三個)，同時在兩單元18A、18B支持的卡匣K的對角2個位置，在一端部上設(shè)有向該被處理物取出作業(yè)區(qū)域5A中的平面上的矯正卡匣位置KP的中心O壓押的壓押裝置20a、20b。
支持裝置19只要是卡匣K的底面左右兩側(cè)部在水平面上的全方位自由移動地支持著，任何的構(gòu)造都可以(例如特開2001-2213號公報所示的浮動單元(floating unit))，說明圖5所示的基本構(gòu)造的一例，支持裝置19包括基板21、在該基板21上經(jīng)由圓周方向上的多個支持架22、在水平面上的全方位可自由移動地支持的圓盤狀的支持盤23、以及使在支持架22上移動的支持盤23回歸至既定位置而保持的偏壓保持裝置24。圖式的各支持架由于具有可自轉(zhuǎn)地嵌合支持固定在基板21上的承座25的球體26，支持盤23的平坦面23a由各支持架22的球體26點狀接觸地搭載。又，偏壓保持裝置24包括在基板21上的各支持架22的中間位置向上突設(shè)的內(nèi)側(cè)彈簧卡合軸27、在支持盤23的底面?zhèn)雀髦С旨?2的中間位置向下突設(shè)的外側(cè)彈簧卡合軸28、以及在內(nèi)外兩彈簧卡合軸27、28之間放射狀張設(shè)的多條同一長度、同一強度的拉伸線圈彈簧29。支持盤23，通過搭載于該支持盤23上的卡匣K的水平方向的移動，該移動方向的相反側(cè)的拉伸線圈彈簧29彈性的抵抗拉張而與該卡匣K一體地于水平方向移動，通過除去卡匣K，被拉張的拉伸線圈彈簧29的彈性回復(fù)力回到原位置，即，配列成放射狀的各拉伸線圈彈簧29自動回復(fù)至同一長度的原點位置。
圖式所示壓押裝置20a、20b，如圖6所示，為二根垂直軸滾子31a、31b樞軸支撐于可動體30上，而使卡匣K的角部嵌合于該等兩垂直軸滾子31a、31b，同時該可動體30設(shè)有相對于在被處理物取出作業(yè)區(qū)域5A的平面上的矯正卡匣位置KP的中心O的遠(yuǎn)近方向的直線路徑上往復(fù)移動的驅(qū)動機構(gòu)32。該驅(qū)動機構(gòu)32可利用以馬達(dá)驅(qū)動的齒條齒輪方式或旋轉(zhuǎn)螺旋方式。然后，該等兩壓押裝置20a、20b，如圖3及圖6的實線所示，相對于上述矯正卡匣位置KP的中心O，可動體30位于最遠(yuǎn)的后退極限位置的狀態(tài)下待機，當(dāng)可動體30通過驅(qū)動機構(gòu)32移動至最接近矯正卡匣位置KP的中心O的前進(jìn)極限位置時，如圖3及圖6的假想線所示，各可動體30上的垂直軸滾子31a、31b是抵接于與上述矯正卡匣位置KP一致的卡匣K的對角方向的二個角部。
因此，如圖3的假想線所示，當(dāng)兩壓押裝置20a、20b的可動體30位于后退極限位置時，以該等兩壓押裝置20a、20b的各垂直軸滾子31a、31b的接線所形成的四角形區(qū)域A內(nèi)，將該卡匣K的底面左右兩側(cè)部用兩單元18A、18B的各支持裝置19支持而移載卡匣K，在相關(guān)的狀態(tài)下，驅(qū)動兩單元18A、18B的各壓押裝置20a、20b，使該可動體30從后退極限位置移動至前進(jìn)極限位置，借此在上述四角形區(qū)域A內(nèi)，從矯正卡匣位置KP偏移的卡匣K做位置矯正，使其與該矯正卡匣位置KP一致。
卡匣K為將習(xí)知的板狀的被處理物P從前后任何一側(cè)水平地自由出入而支持于上下多個段上。該卡匣K被搬入習(xí)知的自動倉庫1中，并由入出庫用起重機4，在該卡匣K的底面左右兩側(cè)部由左右一對貨物支持架9a、9b支持的狀態(tài)下，被收納保管于棚架3A、3B的卡匣收納區(qū)域5。此時，相對于卡匣K的被處理物P的出入方向(前后方向)，與相對于卡匣收納區(qū)域5的起重機4的移載裝置14的卡匣移載方向(出入方向)一致，卡匣K被收納保管于卡匣收納區(qū)域5內(nèi)。
當(dāng)保管于棚架3A、3B的卡匣K內(nèi)的被處理物P被送進(jìn)處理裝置17做處理時，收納該處理對象的被處理物P的卡匣K，由入出庫用起重機4移換至棚架3A內(nèi)的被處理物取出作業(yè)區(qū)域5A內(nèi)。此時，被處理物取出作業(yè)區(qū)域5A所具備的卡匣位置矯正支持裝置15的左右一對單元18A、18B的各壓押裝置20a、20b是位于后退極限位置，卡匣K在圖3所示的四角形區(qū)域A內(nèi)，其底面左右兩側(cè)是以支持裝置19所支持，在水平面上全方位可自由移動狀態(tài)。在相關(guān)的狀態(tài)下，驅(qū)動兩單元18A、18B的各壓押裝置20a、20b，使可動體30移動至前進(jìn)極限位置，并做位置矯正使卡匣K與矯正卡匣位置KP一致。結(jié)果，移換至被處理物取出作業(yè)區(qū)域5A的卡匣K，從處理裝置17所具備的被處理物取出運送裝置16觀看，被處理物取出運送裝置16將該卡匣K內(nèi)的被處理物P正常取出而定位于可設(shè)置在處理裝置17內(nèi)的既定位置上的既定位置。
被處理物取出運送裝置16，如圖1及圖2所示，水平地進(jìn)入定位于被處理物取出作業(yè)區(qū)5A內(nèi)的既定位置上的卡匣K內(nèi)的取出對象的被處理物P的下側(cè)后，僅平行地上升至既定高度，從該取出對象的被處理物P從卡匣K側(cè)的支持杠桿稍微上舉之后后退移動，并具備板狀叉(fork)16a，使取出對象的被處理物P被拉出至卡匣K之外，從卡匣K內(nèi)拉出的被處理物P，由上述卡匣K內(nèi)拉出被處理物剛好相反的動作而載置于處理裝置17的既定位置上。
以上，在自動倉庫1的棚架3A、3B內(nèi)保管的卡匣K內(nèi)的被處理物P，可由處理裝置17處理，處理完畢的被處理物P，通過被處理物取出運送裝置16的板狀叉16a，返回在被處理物取出作業(yè)區(qū)域5A內(nèi)所支持的卡匣K的空的區(qū)域中，收納處理完畢的被處理物P的卡匣K，通過起重機4搬入保管于棚架3A、3B的空的卡匣收納區(qū)域5，通過起重機4搬出至自動倉庫1所具備的出庫用貨物流通部而出庫。又，從處理裝置17處理完畢的被處理物P直接搬出至自動倉庫1以外的場所，與上述被處理物取出運送裝置16相同的第二被處理物取出運送裝置追加并設(shè)于處理裝置17的同時，利用鄰接于該第二被處理物取出運送裝置的棚架3A內(nèi)的一個卡匣收納區(qū)域，構(gòu)成與上述被處理物取出作業(yè)區(qū)5A同一構(gòu)造的被處理物收納作業(yè)區(qū)域，將空的卡匣用起重機4移載至該被處理物收納作業(yè)區(qū)域，通過上述第二被處理物取出運送裝置，從處理裝置17將處理完畢的被處理物P取出，并收納于由上述被處理物收納作業(yè)區(qū)域所支持的空卡匣內(nèi)，在被處理物取出作業(yè)區(qū)域5A，被處理物P由被處理物取出運送裝置16取出而成為空的卡匣K，以起重機4收納于棚架3A、3B內(nèi)的空卡匣收納區(qū)域的同時，在上述被處理物收納作業(yè)區(qū)域內(nèi)，收納處理完畢的被處理物的卡匣，以起重機4再進(jìn)入棚架3A、3B，出庫至該自動倉庫1具備的出庫用貨物流通部。
附圖中符號的簡單說明如下1自動倉庫；2起重機行走通路；3A、3B棚架；4入出庫用起重機；5卡匣收納區(qū)域；5A被處理物取出作業(yè)區(qū)域；6a、6b前后一對的貨物支持架；8隔壁框；9a、9b左右一對的貨物支持架；
13升降架；14移載裝置；15卡匣位置矯正支持裝置；16被處理物取出運送裝置；16a板狀叉；17處理裝置；18A、18B構(gòu)成卡匣位置矯正裝置的單元；19支持裝置；20a、20b壓押裝置；A載置卡匣的四角形區(qū)域；K卡匣；KP矯正卡匣位置；P板狀被處理物。
權(quán)利要求1.一種保管及處理設(shè)備，包括于水平方向與垂直方向立體地配設(shè)、并具有貨物支持架的卡匣收納區(qū)域的棚架；設(shè)置于該棚架的正面?zhèn)鹊娜氤鰩煊眯凶咂鹬貦C；其特征是該保管及處理設(shè)備還包括設(shè)于該棚架的背面?zhèn)鹊谋惶幚砦锶〕霭徇\裝置；設(shè)置在鄰接于所述被處理物取出運送裝置的位置上的卡匣收納區(qū)域中的一卡匣位置矯正裝置；設(shè)于上述棚架的背面?zhèn)鹊奶幚硌b置，所述卡匣位置矯正支持裝置取代該貨物支持架而安裝于安裝貨物支持架的棚架支柱。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的保管及處理設(shè)備，其特征是上述卡匣位置矯正裝置是由分別安裝于卡匣收納區(qū)域兩側(cè)的前后一對棚架支柱的左右一對單元所構(gòu)成，各單元包括在水平面上的全方位自由移動地支持卡匣的多個支持裝置、矯正被支持的卡匣的位置而將該卡匣定位于既定位置上的壓押裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的保管及處理設(shè)備，其特征是所述支持裝置包括基板；在所述基板上由圓周方向上的多個支持架支持的圓盤狀的支持盤；以及設(shè)于該基板上并偏壓于該支持盤的偏壓保持裝置。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的保管及處理設(shè)備，其特征是所述壓押裝置包括可動體，具有使該可動體在相對于在被處理物取出作業(yè)區(qū)域的平面上的矯正卡匣位置的中心的遠(yuǎn)近方向的直線路徑上往復(fù)移動的一驅(qū)動機構(gòu)；多個垂直軸滾子，樞軸支撐于可動體上，卡匣的角部可嵌合于這些垂直軸滾子。
專利摘要一種保管及處理設(shè)備，包括于水平方向與垂直方向立體地配設(shè)、并具有貨物支持架的卡匣收納區(qū)域的棚架；設(shè)置于該棚架的正面?zhèn)鹊娜氤鰩煊眯凶咂鹬貦C；其特征是該保管及處理設(shè)備還包括設(shè)于該棚架的背面?zhèn)鹊谋惶幚砦锶〕霭徇\裝置；設(shè)置在鄰接于所述被處理物取出運送裝置的位置上的卡匣收納區(qū)域中的一卡匣位置矯正裝置；設(shè)于上述棚架的背面?zhèn)鹊奶幚硌b置，所述卡匣位置矯正支持裝置取代該貨物支持架而安裝于安裝貨物支持架的棚架支柱。該保管及處理設(shè)備整體的占據(jù)面積較小，不會增加設(shè)備成本。
文檔編號B65G1/137GK2905710SQ20052012726
公開日2007年5月30日 申請日期2005年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月21日
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