專利名稱：可收縮流體容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總體上涉及用于工業(yè)液體傳送系統(tǒng)中的流體容器領(lǐng)域。具體地，本發(fā)明涉及一種幫助使液體化學(xué)流中的氣體微泡的形成最小化的流體容器。

背景技術(shù)：
在許多工業(yè)加工應(yīng)用中，流體容器被用作用于液體傳送系統(tǒng)的工藝液體的來源。流體容器時常被裝配在遠離使用端設(shè)備的位置處并被填充。在這種情況下，使用端設(shè)備接著直接將流體容器組裝到液體傳送系統(tǒng)內(nèi)或者從流體容器中將液體騰空到連接到液體傳送系統(tǒng)的儲存器內(nèi)。
在特定的工業(yè)加工應(yīng)用中，穿過液體傳送系統(tǒng)的液體中的氣體微泡的存在可能具有不良影響。例如，當液體沉積到基板上以形成層時，所沉積的液體中存在微泡可能會在沉積層或后續(xù)的沉積層中造成缺陷。根據(jù)流體容器和液體傳送系統(tǒng)中的壓力狀態(tài)，流體容器和/或液體傳送系統(tǒng)中存在頂隙氣體(headspace gas)可能會有助于在液流中形成微泡。
在半導(dǎo)體工業(yè)中，例如，生產(chǎn)集成電路的普通制造步驟包括將光阻溶液沉積到硅片上。光阻溶液中存在微泡典型地將在后續(xù)的加工步驟中在芯片的表面上產(chǎn)生缺陷部位。隨著集成電路上的特征已持續(xù)變得越來越小，微泡的存在已對集成電路的質(zhì)量造成漸增的危險。此外，當在工業(yè)液體傳送系統(tǒng)中觀察到微泡時，系統(tǒng)通常要進行凈化直到微泡被消除為止，從而可以造成昂貴的化學(xué)液體浪費。因此，較有利的是消除液體傳送系統(tǒng)中微泡的存在或使微泡的存在最小化。
所給出的與微泡形成有關(guān)的問題需要一種可移除頂隙氣體并幫助減少穿過液體傳送系統(tǒng)的液體中的微泡形成的流體容器。


發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為一種用于處理液體的流體容器，所述流體容器包括用于儲存液體的內(nèi)部容積。所述內(nèi)部容積限定主室和輔助室。所述主室用于將液體分配到液體傳送系統(tǒng)的流動路徑中，所述輔助室用于容納物質(zhì)。配件被密封到所述流體容器并限定與所述流體容器的所述內(nèi)部容積相連通的端口。



圖1是液體傳送系統(tǒng)的方塊圖； 圖2是包括泵的圖1的液體傳送系統(tǒng)的方塊圖； 圖3A是包括升高的流體容器的圖1的液體傳送系統(tǒng)的方塊圖； 圖3B是包括機械力施加器的圖1的液體傳送系統(tǒng)的方塊圖； 圖3C是包括流體壓力施加器的圖1的液體傳送系統(tǒng)的方塊圖； 圖4A是裝備有集氣輔助室的可收縮襯管(collapsible liner)的前視圖； 圖4B是在密封集氣輔助室之前沿圖4A的線4-4所截得的橫截面； 圖4C是在密封集氣輔助室之后沿圖4A的線4-4所截得的橫截面； 圖5A是具有分配室和收集室的可收縮襯管的前視圖； 圖5B是在密封收集室之前沿圖5A的線5-5所截得的橫截面；以及 圖5C是在密封收集室之后沿圖5A的線5-5所截得的橫截面。
盡管上述的圖示闡明了本發(fā)明的幾個實施例，然而其它實施例也是可預(yù)期的，如在討論中所提及。在所有情況中，本披露內(nèi)容作為說明而非限制性呈現(xiàn)了本發(fā)明。應(yīng)該理解的是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以提出落在本發(fā)明的范圍和原理本質(zhì)內(nèi)的許多其它的修改及實施例。圖示可以不按比例畫出。相同的參考符號在所有的圖示中用于表示相同的部分。

具體實施例方式 從流體容器和液體傳送系統(tǒng)的流動路徑消除頂隙氣體對于抑制在穿過流動路徑的液體中形成微泡是很重要的。同樣地，本發(fā)明關(guān)于一種流體容器，所述流體容器能夠從流體容器的內(nèi)部容積和/或液體傳送系統(tǒng)的流動路徑消除頂隙氣體。本發(fā)明進一步關(guān)于一種流體容器，所述流體容器能夠從液體傳送系統(tǒng)的流動路徑接收液體和/或頂隙氣體、消除對單獨的垂直排出(plumbed drain)的需求、以及允許儲存液體以供稍后使用。
眾所周知，氣體可以以物理方式而非化學(xué)反應(yīng)或相互作用溶解在液體中。如果氣體在液體中的溶解度降低，則無需經(jīng)歷化學(xué)反應(yīng)或相互作應(yīng)而溶解在液體中的氣體可以從溶液中出來并形成微泡。在均衡狀態(tài)下將溶解在液體中的氣體的總體積依賴于液體的組成、氣體的組成、氣體的分壓以及溫度。如果液體和氣體的組成固定，并且溫度保持恒定，則氣體在液體中的溶解度與氣體在液體表面上的壓力成正比。除非另做規(guī)定，否則術(shù)語“氣體”在此意指包括大氣以及任何其它氣體或氣體組合。
圖1至圖3C顯示用于將液體從液體容器傳送到下游過程的液體傳送系統(tǒng)的方塊圖。圖1和圖2被包括在用于說明液體傳送系統(tǒng)中有助于微泡形成的狀態(tài)。圖3A至圖3C被包括在用于說明抑制微泡形成的液體傳送系統(tǒng)。在此的術(shù)語“微泡”意指包括(1)無需放大就可被人眼看到的氣泡、以及(2)小到不放大或通過其它檢測裝置無法看到的氣泡。
如圖1中所示，液體傳送系統(tǒng)包括通過流動路徑18與下游過程16相連通的流體容器14。液體被從流體容器14供應(yīng)到流動路徑18的入口端20并沿著流動路徑18傳送到與下游過程16相連通的流動路徑18的出口端22。流體容器14中的液體具有與均衡壓力Peq成比例的溶解在所述液體中的氣體體積，其中所述均衡壓力為使氣體在其下會暴露給液體并變得大致與液體相均衡的壓力。假定液體在Peq下暴露給氣體足夠的時間周期，則液體對于已溶解的氣體變得大致飽和。在許多工業(yè)加工應(yīng)用中，Peq將等于大氣壓。
如圖1中所示，流體容器14中的液體在流體容器14內(nèi)受到初始壓力Pi。當液體進入入口端20并經(jīng)由流動路徑18流動到出口端22時，液體受到流動壓力Pf，所述流動壓力表示流動路徑中給定點處的流動壓力。Pf沿著入口端20與出口端22之間的流動路徑18變化，以形成造成流體從入口端20流動到出口端22的壓力梯度。
流過液體傳送系統(tǒng)的飽和液體的壓力下降會造成在液體中形成氣體微泡。在圖1的液體傳送系統(tǒng)中，微泡形成在流體路徑18中通常發(fā)生在Pf下降到低于Peq時。壓力下降到低于Peq會降低氣體在液體中的溶解度，造成液體變得超飽和，從而造成已溶解的氣體從溶液中出來并形成微泡。因此，通過使流動路徑中的液體的壓力保持在至少與使液體變得與氣體相均衡的壓力一樣高的水平可以抑制微泡形成。即，通過使Pf保持在等于或大于Peq的水平可以抑制微泡形成。在許多工業(yè)加工應(yīng)用中，這意味著可防止液體的壓力下降到低于大氣壓。
液體傳送系統(tǒng)可以包括位于流體路徑中的泵，所述泵用于計量和/或幫助通過流體路徑的液體流動。圖2是圖1的液體傳送系統(tǒng)的方塊圖，其中流動路徑14包括泵24。在特定的液體傳送系統(tǒng)的構(gòu)造中，泵24通常在流動路徑18的吸入側(cè)26設(shè)置小于Pi的Pf。例如，當流體容器14的高度低于泵24時，或者當流體路徑18內(nèi)存在充分的摩擦力時，必須設(shè)置小于Pi的Pf以使液體沿著流動路徑18從流體容器14流動到泵24。如果這樣做，Pf會下降到低于Peq，在流動路徑18中的液體中可能會形成微泡。因此，通過防止Pf下降到低于Peq可以抑制這種微泡的形成。對于液體傳送系統(tǒng)中的微泡形成的另外討論見名為“Liquid Delivery System”的同時待審的申請，該申請在此并入本文供參考。
圖3A至圖3C顯示可防止Pf下降到低于Peq的圖1的液體傳送系統(tǒng)的不同實例。在圖3A中，流體容器14相對于流動路徑18升高了距離28以防止Pf下降到低于Peq。例如，在Peq等于大氣壓的工業(yè)加工應(yīng)用中，使流體容器14升高距離28可防止Pf大致下降到低于大氣壓。通過相對于液體傳送系統(tǒng)的其它部分升高流體容器會產(chǎn)生用作緩沖器的正液壓頭(positive hydraulichead)，以吸收壓力的降低而不具有達到低于大氣壓水平的壓力。因此，通過相對于液體傳送系統(tǒng)的其它部分升高流體容器可以抑制微泡形成。
在許多工業(yè)加工應(yīng)用中，相對于液體傳送系統(tǒng)的流動路徑升高流體容器可能是不切實際的。然而，通過將壓力施加到流體容器內(nèi)的液體以增加液體的壓力無需實際升高流體容器即可以模仿正液壓頭的效果。圖3B和圖3C每一個均說明用于將壓力施加到流體容器內(nèi)的液體以使Pi升高到高于Peq以防止Pf下降到低于Peq的系統(tǒng)。
圖3B顯示為了模擬升高流體容器14的效果通過機械力施加器32將機械力30施加到流體容器14以使Pi升高。適當?shù)臋C械力施加器的實例包括活塞或插塞。圖3C顯示為了模擬升高流體容器14的效果通過流體壓力施加器36將流體壓力34施加到流體容器14以使Pi升高。
如果在Pi大于Peq時，流體容器內(nèi)存在頂隙氣體，則增加的壓力會將額外的氣體驅(qū)趕到溶液內(nèi)，并且如果液體的壓力隨后下降到低于Pi，則可能會出現(xiàn)微泡的形成。因此，當Pi大于Peq時，流體容器14應(yīng)該大體無頂隙氣體以抑制微泡形成。本發(fā)明的流體容器的關(guān)鍵特征是從流體容器的內(nèi)部容積中移除頂隙氣體以抑制隨后的微泡形成的能力。
圖4A至圖4C顯示本發(fā)明的可收縮襯管，圖4A顯示可收縮襯管40的前視圖，圖4B顯示在以液體填充可收縮襯管40之后及在密封集氣輔助室之前沿圖4A的線4-4所截得的橫截面，以及圖4C顯示在以液體填充可收縮襯管40及密封集氣輔助室之后沿圖4A的線4-4所截得的橫截面?？墒湛s襯管40在液體傳送系統(tǒng)中可以用作流體容器或流體容器的部件。
可收縮襯管40具有密封在一起以限定用于保持液體的內(nèi)部容積46的頂膜42和底膜44。如圖4A中所示，陰影線表示膜42和44密封在一起的部分。內(nèi)部容積46具有主室50和連接到主室50的集氣輔助室52。主室50具有朝著輔助室52逐漸變窄的錐形壁54和56。
配件48被密封到可收縮襯管40以限定與內(nèi)部容積46相連通的端口。這種端口可以用于將液體供應(yīng)到內(nèi)部容積46內(nèi)。此外，配件48可以用于將液體從內(nèi)部容積46分配到流動路徑，或者可供選擇地，可以包括用于這種目的的另外配件。此外，配件48可以限定多個端口，并且可以位于流體容器上能夠與內(nèi)部容積46連通的任何位置處。在本發(fā)明的其它實施例中，多個配件與流體容器的內(nèi)部容積相連通。配件可以為現(xiàn)有技術(shù)中已知的任何設(shè)計，并且可以以任何組合位于流體容器上的任何位置處。
可以通過折疊柔性板材形成頂膜42和底膜44來形成可收縮襯管40。在一個實施例中，板材不能使氣體透過。適當?shù)牟牧系膶嵗ǚ酆衔?例如聚四氟乙烯(“PTFE”)和過氟烷氧基(perfluoroalkoxy，“PFA”))、聚乙烯、具有尼龍阻擋層的聚乙烯以及其組合。膜42和44的周邊部被密封在一起以形成內(nèi)部容積46。內(nèi)部容積46的形狀由膜42和44密封在一起的部分決定?？梢岳@著兩個膜相遇的整個周邊密封膜42和44，或者可供選擇地，可以留出周邊的一個或更多個區(qū)域不進行密封以容納任何數(shù)量的配件。此外，現(xiàn)有技術(shù)中已知的任何其它適當?shù)闹圃旆椒梢杂糜谛纬煽墒湛s襯管40。在一個實施例中，可收縮襯管40的膜42和44由易于緊緊地粘在一起的材料構(gòu)造成，從而阻礙空氣被捕集到內(nèi)部容積46內(nèi)。通過將靜電荷施加給膜可以實現(xiàn)或增強膜42和44彼此的吸引，以改善膜之間的吸引力并幫助從內(nèi)部容積46排除頂隙氣體。
當可收縮襯管40內(nèi)需要大致為零的頂隙狀態(tài)時，內(nèi)部容積46首先被填充足以完全以液體填滿主室50的液體量。為了從主室50最佳地移除頂隙氣體，可收縮襯管40應(yīng)該被垂直定向成使輔助室52具有最高高度而主室50具有最低高度。這種定向會促進頂隙氣體聚集在輔助室52內(nèi)，使得氣/液界面58位于輔助室52內(nèi)。主室50的錐形壁54和56進一步促進頂隙氣體朝著輔助室52移動。如圖4B和圖4C中所示，在界面58位于氣孔52內(nèi)且主室50大致無頂隙氣體之后，輔助室52與主室50密封，從而將頂隙氣體捕集到輔助室52內(nèi)。為了從主室50最大限度的移除頂隙氣體，輔助室52在界面58下方的位置處被密封。
可以使用現(xiàn)有技術(shù)中已知的任何適當?shù)姆椒芊廨o助室52。圖4C顯示可以用于使輔助室52與主室50密封的夾緊機構(gòu)59的實例。
圖5A至圖5C顯示本發(fā)明的流體容器的另一個實施例，所述實施例使得可以從液體傳送系統(tǒng)的流動路徑的出口收集液體和/或頂隙氣體。圖5A顯示可收縮襯管60的前視圖；圖5B顯示在以液體填充分配室之后及在密封收集室之前沿圖5A的線5-5所截得的可收縮襯管60的橫截面；以及圖5C顯示在密封收集室、自收集室分配液體、以及將液體收集在收集室中之后沿圖5A的線5-5所截得的可收縮襯管60的橫截面。類似于可收縮襯管40，可收縮襯管60可以用作用于液體傳送系統(tǒng)的流體容器或這種流體容器的部件。
可收縮襯管60具有由如圖5A中的陰影線所表示密封在一起的頂膜64和底膜66所限定的內(nèi)部容積62。內(nèi)部容積62包括分配室68、收集室70、以及連接分配室68和收集室70的通道72。在一個實施例中，分配室68和收集室70的壁部朝著通道72逐漸變窄。懸掛孔73可以形成于膜64和66內(nèi)以容納用于垂直懸吊可收縮襯管60的支承件。
可以按照用于可收縮襯管40的上述方法形成可收縮襯管60。膜64和66的一部分可以密封在一起以形成內(nèi)部容積62，且圖5A中的陰影線表示膜64和66密封在一起的部分。可以繞著兩個膜相遇的整個周邊密封兩個膜，或者可供選擇地，可以留出周邊的一個或更多個區(qū)域不進行密封以容納任何數(shù)量的配件。
類似于可收縮襯管40，可收縮襯管60可以被設(shè)置成獲得零頂隙狀態(tài)。通道72可以被密封以終止分配室68與收集室70之間的連通并將頂隙氣體隔離在收集室70內(nèi)。使用用于可收縮襯管40的上述方法可以在分配室68內(nèi)獲得零頂隙狀態(tài)。例如，如圖5B中所示，可收縮襯管60被填充并定向成使液體與頂隙氣體之間的界面58位于通道72內(nèi)。通道72接著類似于圖4C中的可收縮襯管40在界面58下方被夾斷。同樣地，收集室70可以用作類似于可收縮襯管40的輔助室52的集氣室。在一個實施例中，夾孔74被設(shè)置在膜64和66中以插入用于密封通道72的夾緊裝置。
配件76和78被密封到可收縮襯管60以限定與內(nèi)部容積62連通的端口。配件76位于與收集室70相對的分配室68的一端，并且配件78位于與分配室68相對的收集室70的一端。在其它實施例中，具有任何數(shù)量端口的任何數(shù)量的配件可以在提供至內(nèi)部容積62的入口的任何位置處密封到可收縮襯管40。
配件76和78分別可以與流動路徑的入口端和流動路徑的出口端相匹配，從而將各配件放置成與流動路徑相連通。在這種構(gòu)造中，分配室68中的液體可以被分配到流動路徑內(nèi)，并且來自流動路徑的液體可以收集在收集室70中。圖5C顯示在液體已從分配室68分配到流動路徑內(nèi)之后的具有收集在密封的收集室70內(nèi)的液體的可收縮襯管60。圖5C中的虛線表示分配室68在將液體分配到流動路徑內(nèi)之前的橫截面。收集室中所收集的液體可以保留用于以后使用或丟棄。同樣地，收集室的功能可以為儲存容器或廢物儲存器。具體地，收集室可以用于容納用于從流動路徑清除頂隙氣體或其它污染物的液體。
收集室70中所收集的液體通過未密封的通道72可以排到分配室68內(nèi)。此外，液體在被排回分配室68內(nèi)之前可以在收集室70內(nèi)達到均衡，從而減少氣體在液體中的溶解量并阻礙微泡的形成。
使用本發(fā)明可以從流體容器中的液體移除頂隙氣體而不會使任何頂隙氣體排放到周圍的環(huán)境中。本發(fā)明的這個特征會減少頂隙氣體從流體容器內(nèi)排放時可以出現(xiàn)的有價值液體的浪費，并且提供用于從保持有毒或腐蝕性液體的流體容器移除頂隙氣體的安全裝置。
盡管已參考優(yōu)選實施例說明了本發(fā)明，然而本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將會意識到在不偏離本發(fā)明的本質(zhì)和范圍的前提下可以對形式和細節(jié)進行變更。
權(quán)利要求書(按照條約第19條的修改)
1.一種用于處理液體的可收縮流體容器，所述流體容器用于連接到液體傳送系統(tǒng)的流動路徑，所述流體容器包括
用于儲存液體的內(nèi)部容積，所述內(nèi)部容積限定主室和輔助室，所述主室用于將液體分配到所述流動路徑中，所述輔助室用于容納物質(zhì)，所述內(nèi)部容積適于允許所述輔助室與所述主室密封；以及
密封到所述流體容器的配件，所述配件限定與所述流體容器的所述內(nèi)部容積相連通的端口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收縮流體容器，其中所述物質(zhì)為頂隙氣體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收縮流體容器，其中所述物質(zhì)為來自所述流動路徑的液體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收縮流體容器，其中所述主室和所述輔助室相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可收縮流體容器，其中所述輔助室相對于所述主室定位成捕集頂隙氣體。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可收縮流體容器，其中所述主室朝著所述輔助室逐漸變窄。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可收縮流體容器，其中所述輔助室朝著所述主室逐漸變窄。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可收縮流體容器，其中可封通道連接所述主室和所述輔助室。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收縮流體容器，其中所述內(nèi)部容積由柔性襯管限定。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的可收縮流體容器，其中所述柔性襯管由不能透過氣體的材料制成。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收縮流體容器，其中出口配件被密封到所述流體容器以限定與所述內(nèi)部容積的所述主室相連通的端口，入口配件被密封到所述流體容器以限定與所述內(nèi)部容積的所述輔助室相連通的端口。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收縮流體容器，其中所述流體容器用于處理加工微觀結(jié)構(gòu)中所使用的液體。
13.一種用于以液體填充流體容器以使頂隙減至最小的方法，所述方法包括
提供用于將液體保持在具有主室和輔助室的內(nèi)部容積內(nèi)的流體容器，所述輔助室連接到所述主室；
所述流體容器的所述內(nèi)部容積填充有大量液體，使得所述主室含有液體而所述輔助室含有頂隙氣體；以及
使所述輔助室與所述主室密封脫開，使得頂隙氣體被捕集在所述輔助室內(nèi)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述內(nèi)部容積由柔性襯管限定。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中所述柔性襯管使氣體不能透過。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述主室朝著所述輔助室逐漸變窄。
17.一種用于從液體傳送系統(tǒng)的流動路徑收集物質(zhì)的方法，所述方法包括
提供具有分配室和收集室的流體容器，所述分配室保持液體；
將所述分配室連接到所述流動路徑的入口端；
將所述收集室連接到所述流動路徑的出口端；
使所述收集室與所述分配室密封；以及
將來自所述流動路徑的物質(zhì)收集在所述收集室中。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述流體容器具有連接所述分配室和所述收集室的通道。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，其中使所述收集室與所述分配室密封包括密封所述分配室與所述收集室之間的所述通道，以防止所述收集室中所收集的物質(zhì)進入所述分配室中。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，進一步包括
未密封所述通道，以使所述收集室中所收集的物質(zhì)中的至少一些進入所述分配室。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述物質(zhì)為來自所述流動路徑的液體。
22.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，進一步包括
將液體從所述分配室供應(yīng)到所述液體傳送系統(tǒng)的所述流動路徑中。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，其中使所述收集室與所述分配室密封包括
在將液體供應(yīng)到所述流動路徑中之前從所述流體容器的所述分配室移除頂隙氣體，其中通過密封所述分配室與所述收集室之間的通道從所述分配室移除頂隙氣體，使得所述頂隙氣體被捕集到所述收集室中。
24.一種將使用權(quán)利要求1的可收縮流體容器分配材料作為半導(dǎo)體制造過程的一部分來制造半導(dǎo)體裝置的方法。
25.根據(jù)權(quán)利要求24所述的方法，其中所述材料為光阻溶液。
權(quán)利要求
1.一種用于處理液體的可收縮流體容器，所述流體容器用于連接到液體傳送系統(tǒng)的流動路徑，所述流體容器包括
用于儲存液體的內(nèi)部容積，所述內(nèi)部容積限定主室和輔助室，所述主室用于將液體分配到所述流動路徑中，所述輔助室用于容納物質(zhì)；以及
密封到所述流體容器的配件，所述配件限定與所述流體容器的所述內(nèi)部容積相連通的端口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收縮流體容器，其中所述物質(zhì)為頂隙氣體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收縮流體容器，其中所述物質(zhì)為來自所述流動路徑的液體。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收縮流體容器，其中所述主室和所述輔助室相連。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可收縮流體容器，其中所述輔助室相對于所述主室定位成捕集頂隙氣體。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的可收縮流體容器，其中所述主室朝著所述輔助室逐漸變窄。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可收縮流體容器，其中所述輔助室朝著所述主室逐漸變窄。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的可收縮流體容器，其中可封通道連接所述主室和所述輔助室。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收縮流體容器，其中所述內(nèi)部容積由柔性襯管限定。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的可收縮流體容器，其中所述柔性襯管由不能透過氣體的材料制成。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收縮流體容器，其中出口配件被密封到所述流體容器以限定與所述內(nèi)部容積的所述主室相連通的端口，入口配件被密封到所述流體容器以限定與所述內(nèi)部容積的所述輔助室相連通的端口。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可收縮流體容器，其中所述流體容器用于處理加工微觀結(jié)構(gòu)中所使用的液體。
13.一種用于以液體填充流體容器以使頂隙減至最小的方法，所述方法包括
提供用于將液體保持在具有主室和輔助室的內(nèi)部容積內(nèi)的流體容器，所述輔助室連接到所述主室；
所述流體容器的所述內(nèi)部容積填充有大量液體，使得所述主室含有液體而所述輔助室含有頂隙氣體；以及
使所述輔助室與所述主室密封，使得頂隙氣體被捕集在所述輔助室內(nèi)。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述內(nèi)部容積由柔性襯管限定。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中所述柔性襯管使氣體不能透過。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述主室朝著所述輔助室逐漸變窄。
17.一種用于從液體傳送系統(tǒng)的流動路徑收集物質(zhì)的方法，所述方法包括
提供具有分配室和收集室的流體容器，所述分配室保持液體；
將所述分配室連接到所述流動路徑的入口端；
將所述收集室連接到所述流動路徑的出口端；以及
將來自所述流動路徑的物質(zhì)收集在所述收集室中。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述流體容器具有連接所述分配室和所述收集室的通道。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的方法，進一步包括
密封所述分配室與所述收集室之間的所述通道，以防止所述收集室中所收集的物質(zhì)進入所述分配室中。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的方法，進一步包括
未密封所述通道，以使所述收集室中所收集的物質(zhì)中的至少一些進入所述分配室。
21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述物質(zhì)為來自所述流動路徑的液體。
22.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，進一步包括
將液體從所述分配室供應(yīng)到所述液體傳送系統(tǒng)的所述流動路徑中。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的方法，進一步包括
在將液體供應(yīng)到所述流動路徑中之前從所述流體容器的所述分配室移除頂隙氣體，其中通過密封所述分配室與所述收集室之間的通道從所述分配室移除頂隙氣體，使得所述頂隙氣體被捕集到所述收集室中。
全文摘要
一種用于處理液體的可收縮流體容器。所述可收縮流體容器具有用于儲存液體的內(nèi)部容積(46)，所述內(nèi)部容積限定主室(50)和連接到主室(50)的輔助室(52)。輔助室(52)被定位成接收物質(zhì)。配件(48)被密封到可收縮流體容器(14)，從而限定與流體容器(14)的內(nèi)部容積(46)相連通的端口。
文檔編號B65B3/04GK101341071SQ200580023887
公開日2009年1月7日 申請日期2005年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2004年6月16日
發(fā)明者凱文·T·歐道格特, 羅伯特·E·安德魯斯, 約翰·泰特斯 申請人:先科材料有限公司