專利名稱：轉(zhuǎn)移裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將移載工件移載到載體工件的轉(zhuǎn)移(transfer)裝置。
背景技術(shù)：
以往，作為例如用于進(jìn)行電子元件的安裝的裝置，存在將小片狀的移載工件移載到載體工件的表面的規(guī)定位置的轉(zhuǎn)移裝置。作為轉(zhuǎn)移裝置，例如存在具有保持移載工件而旋轉(zhuǎn)的移載頭的裝置。在該轉(zhuǎn)移裝置中，例如利用凸輪使移載頭的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)暫時(shí)停止，由此可精度良好地實(shí)施移載工件的接收和向載體工件的移載(例如參照專利文獻(xiàn)1)。
然而，在上述現(xiàn)有的轉(zhuǎn)移裝置中具有以下的問(wèn)題。即，有可能會(huì)因?yàn)樯鲜鲆戚d頭的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作的暫時(shí)停止而無(wú)法充分地提高移載效率的問(wèn)題。
專利文獻(xiàn)1日本特開(kāi)平10-145091號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明鑒于上述現(xiàn)有的轉(zhuǎn)移裝置的問(wèn)題而提出，目的在于提供一種移載效率高的轉(zhuǎn)移裝置。
第一發(fā)明的轉(zhuǎn)移裝置，包括保持并搬送移載工件的第一搬送機(jī)構(gòu)、保持并搬送載體工件的第二搬送機(jī)構(gòu)、及用于從上述第一搬送機(jī)構(gòu)接收上述移載工件并將其移載到上述載體工件的移載機(jī)構(gòu)，其特征在于，上述移載機(jī)構(gòu)具有2個(gè)以上在同一圓周上旋轉(zhuǎn)而搬送上述移載工件的末端執(zhí)行器，該各末端執(zhí)行器與至少任一個(gè)其他的上述末端執(zhí)行器獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)，上述各末端執(zhí)行器具備保持上述移載工件的保持面，且可使上述保持面沿上述各末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)退。
在上述第一發(fā)明的轉(zhuǎn)移裝置中，上述各末端執(zhí)行器可以與至少任一個(gè)其他的末端執(zhí)行器獨(dú)立地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。因此，根據(jù)上述各末端執(zhí)行器，可一邊對(duì)應(yīng)于基于上述第一搬送機(jī)構(gòu)的上述移載工件的搬送速度及搬送位置等的變化，一邊有效地接收上述移載工件。根據(jù)上述各末端執(zhí)行器，可一邊對(duì)應(yīng)于基于上述第二搬送機(jī)構(gòu)的上述載體工件的搬送速度及目標(biāo)移載位置等，一邊高精度地將上述移載工件實(shí)施移載。因此，根據(jù)上述轉(zhuǎn)移裝置，在接收或移載上述移載工件時(shí)，可以在不使上述末端執(zhí)行器停止的情況下維持高的位置精度。
進(jìn)而，上述第一發(fā)明的上述各末端執(zhí)行器可使保持上述移載工件的保持面沿上述旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)退而構(gòu)成。因此，在上述轉(zhuǎn)移裝置中，可根據(jù)由上述第一搬送機(jī)構(gòu)所搬送的上述移載工件的位置、上述第二搬送機(jī)構(gòu)中的載體工件的位置偏移等使上述保持面產(chǎn)生進(jìn)退。因此，根據(jù)上述轉(zhuǎn)移裝置，能夠以更高的位置精度來(lái)移載上述移載工件。
如上所述，在上述轉(zhuǎn)移裝置中，能夠在不使上述各末端執(zhí)行器暫時(shí)停止的情況下有效地移載上述移載工件。進(jìn)而，根據(jù)上述各末端執(zhí)行器，由于能夠使上述保持面沿上述旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)退，因此能夠以高的位置精度來(lái)移載上述移載工件。
第二發(fā)明的轉(zhuǎn)移裝置，包括保持并搬送移載工件的第一搬送機(jī)構(gòu)、保持并搬送載體工件的第二搬送機(jī)構(gòu)、及用于從上述第一搬送機(jī)構(gòu)接收上述移載工件并將其移載到上述載體工件的移載機(jī)構(gòu)，其特征在于，上述移載機(jī)構(gòu)具有2個(gè)以上在同一圓周上旋轉(zhuǎn)而搬送上述移載工件的末端執(zhí)行器，該各末端執(zhí)行器與至少任一個(gè)其他的上述末端執(zhí)行器獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)，上述各末端執(zhí)行器具備保持上述移載工件的保持面，且該保持面可圍繞其法線方向的中心軸旋轉(zhuǎn)。
上述第二發(fā)明的轉(zhuǎn)移裝置，與上述第一發(fā)明同樣，上述各末端執(zhí)行器可以與至少任一個(gè)其他的末端執(zhí)行器獨(dú)立地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。因此，與上述第一發(fā)明同樣，在接收或移載上述移載工件時(shí)，可以在不使上述末端執(zhí)行器停止的情況下維持高的位置精度。
進(jìn)而，在上述第二發(fā)明的上述各末端執(zhí)行器中，能夠使上述保持面圍繞其法線方向的中心軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。因此，在上述轉(zhuǎn)移裝置中，能夠根據(jù)由上述第一搬送機(jī)構(gòu)所搬送的上述移載工件的姿勢(shì)、或上述第二搬送機(jī)構(gòu)中的上述載體工件的姿勢(shì)而使上述保持面適當(dāng)?shù)匦D(zhuǎn)。因此，根據(jù)上述轉(zhuǎn)移裝置，能夠以更高的位置精度來(lái)移載上述移載工件。
如上所述，在上述轉(zhuǎn)移裝置中，能夠在不使上述各末端執(zhí)行器暫時(shí)停止的情況下有效地移載上述移載工件。進(jìn)而，根據(jù)上述各末端執(zhí)行器，由于能夠使上述保持面旋轉(zhuǎn)，因此能夠以非常高的精度來(lái)移載上述移載工件。


圖1是表示實(shí)施例1中的轉(zhuǎn)移裝置的構(gòu)成圖。
圖2是說(shuō)明實(shí)施例1中移載工件相對(duì)于載體工件的配置的說(shuō)明圖。
圖3是表示實(shí)施例1中的移載機(jī)構(gòu)的主視圖。
圖4是表示實(shí)施例1中的移載機(jī)構(gòu)的截面構(gòu)造的剖面圖(圖2中的A-A線向視剖面圖)。
圖5是表示實(shí)施例1中的同軸旋轉(zhuǎn)體的組裝構(gòu)造的立體圖。
圖6是將實(shí)施例1中的保持面的周邊構(gòu)造加以放大來(lái)表示的放大剖面圖(圖4中的B部分的放大圖)。
圖7是實(shí)施例1中的保持面的主視圖(圖6中的C向視圖)。
圖8A是個(gè)別地表示實(shí)施例1中的同軸旋轉(zhuǎn)體的剖面圖。
圖8B是個(gè)別地表示實(shí)施例1中的同軸旋轉(zhuǎn)體的剖面圖。
圖8C是個(gè)別地表示實(shí)施例1中的同軸旋轉(zhuǎn)體的剖面圖。
圖9是表示實(shí)施例1中配置在同一圓周上的末端執(zhí)行器的說(shuō)明圖。
圖10是說(shuō)明實(shí)施例1中的末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的曲線圖。
圖11是說(shuō)明實(shí)施例1中的單一的末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的曲線圖。
圖12是表示實(shí)施例2中的移載機(jī)構(gòu)的截面構(gòu)造的構(gòu)成圖。
圖13是表示實(shí)施例2中的導(dǎo)向槽的放大剖面圖(圖12中的D-D線向視剖面圖)。
圖14是表示實(shí)施例3中的其他轉(zhuǎn)移裝置的構(gòu)成圖。
(符號(hào)說(shuō)明)
1轉(zhuǎn)移裝置10同軸旋轉(zhuǎn)體2移載工件21載體工件3第一搬送機(jī)構(gòu)5第二搬送機(jī)構(gòu)6、6a、6b移載機(jī)構(gòu)70s保持面701滑動(dòng)構(gòu)件703保持臺(tái)座71～76末端執(zhí)行器(end effector)具體實(shí)施方式
在上述第一及上述第二發(fā)明的轉(zhuǎn)移裝置中，上述各末端執(zhí)行器可以與至少任一個(gè)其他的末端執(zhí)行器獨(dú)立地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。因此，例如相比于使所有的末端執(zhí)行器一體地旋轉(zhuǎn)的情況，能夠自由度高、且有效地進(jìn)行上述移載工件的接收及傳送。特別是在上述轉(zhuǎn)移裝置中，若實(shí)施旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中的上述末端執(zhí)行器的速度控制，則能夠控制上述末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)位置。而且，能夠調(diào)整上述各末端執(zhí)行器接收上述移載工件的時(shí)序。由此，能夠吸收上述第一搬送機(jī)構(gòu)中的上述移載工件的搬送方向的位置的偏差，從而能夠相對(duì)于上述載體工件以高的位置精度來(lái)移載上述移載工件。特別是在使所有的上述末端執(zhí)行器能夠相互獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)而構(gòu)成時(shí)，能夠進(jìn)一步提高本發(fā)明的作用效果。
同樣，若控制旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中的上述末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)位置，則能夠調(diào)整將上述移載工件移載到上述載體工件的時(shí)序。因此，能夠提高上述移載工件相對(duì)于上述載體工件的移載精度。
如上所述，根據(jù)上述第一及上述第二發(fā)明的轉(zhuǎn)移裝置，利用配置在上述第一搬送機(jī)構(gòu)與上述第二搬送機(jī)構(gòu)之間的上述移載機(jī)構(gòu)的作用，能夠一邊吸收上述第一搬送機(jī)構(gòu)中的上述移載工件的搬送方向的位置的偏差等，一邊以高精度且高效率將該移載工件移載到上述載體工件。
進(jìn)而，上述第一及上述第二發(fā)明的轉(zhuǎn)移裝置，具有在同一圓周上旋轉(zhuǎn)的多個(gè)上述末端執(zhí)行器。而且，若利用該多個(gè)上述末端執(zhí)行器，則可以一邊抑制該各末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)速度，一邊極高效率地移載上述移載工件。例如，若利用被獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)控制的6個(gè)上述末端執(zhí)行器，則能夠以該各末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)周期的1/6的高速周期來(lái)移載上述移載工件。
上述第一及上述第二發(fā)明的轉(zhuǎn)移裝置，例如可以利用在RF-TAG的制造過(guò)程中、紙尿布、衛(wèi)生棉或棉球等的制造過(guò)程中。例如在RF-TAG的制造過(guò)程中，可以將上述轉(zhuǎn)移裝置應(yīng)用在將插入機(jī)構(gòu)(interposer)移載到天線片的過(guò)程中。進(jìn)而，例如在紙尿布、衛(wèi)生棉等的制造過(guò)程中，可以將上述轉(zhuǎn)移裝置應(yīng)用在將粘接帶或吸水墊等移載到聚乙烯等的樹(shù)脂薄膜或無(wú)紡布等的過(guò)程中。
在上述第一發(fā)明中，優(yōu)選將上述保持面設(shè)成可圍繞其法線方向的中心軸旋轉(zhuǎn)。
此時(shí)，可根據(jù)由上述第一搬送機(jī)構(gòu)所搬送的移載工件的姿態(tài)、或第二搬送機(jī)構(gòu)中的載體工件的姿勢(shì)使上述保持面適當(dāng)?shù)匦D(zhuǎn)。因此，根據(jù)上述轉(zhuǎn)移裝置，能夠以更高的位置精度來(lái)移載移載工件。
在上述第一及上述第二發(fā)明中，上述轉(zhuǎn)移裝置具有用于控制上述各末端執(zhí)行器進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)的旋轉(zhuǎn)速度及旋轉(zhuǎn)位置的控制機(jī)構(gòu)，該控制機(jī)構(gòu)優(yōu)選進(jìn)行如下控制而構(gòu)成使從上述第一搬送機(jī)構(gòu)接收上述工件時(shí)的上述末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)速度與上述第一搬送機(jī)構(gòu)的搬送速度大體一致，且使將上述工件移送到上述第二搬送機(jī)構(gòu)時(shí)的上述末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)速度與上述第二搬送機(jī)構(gòu)的搬送速度大體一致。
此時(shí)，在同一圓周上旋轉(zhuǎn)的上述各末端執(zhí)行器，能夠一邊維持各自的旋轉(zhuǎn)順序，一邊與上述第一搬送機(jī)構(gòu)的搬送動(dòng)作同步地、在相對(duì)速度大約為零的狀態(tài)下從第一搬送機(jī)構(gòu)接收上述移載工件。之后，上述各末端執(zhí)行器能夠與上述第二搬送機(jī)構(gòu)的搬送動(dòng)作同步地、在相對(duì)速度大約為零的狀態(tài)下將上述移載工件移送到上述第二搬送機(jī)構(gòu)。
在上述轉(zhuǎn)移裝置中，在從上述第一搬送機(jī)構(gòu)接收上述移載工件時(shí)，上述第一搬送機(jī)構(gòu)與上述末端執(zhí)行器的相對(duì)速度大約為零。另外，在將上述移載工件朝向上述第二搬送機(jī)構(gòu)移送時(shí)，上述第二搬送機(jī)構(gòu)與上述末端執(zhí)行器的相對(duì)速度大約為零。因此，上述移載機(jī)構(gòu)能夠在不使上述末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)動(dòng)作停止的情況下，連續(xù)地接收被連續(xù)地搬送而來(lái)的上述移載工件，之后將所接收的上述移載工件連續(xù)地移送到上述第二搬送機(jī)構(gòu)。
在上述轉(zhuǎn)移裝置中，接收或移送上述工件時(shí)的上述各搬送機(jī)構(gòu)與上述末端執(zhí)行器的相對(duì)速度大約為零。因此，在上述轉(zhuǎn)移裝置中，能夠以極高的精度來(lái)實(shí)施上述移載工件的移載，且搬送中損傷上述移載工件的可能性極小。
特別是在上述第一搬送機(jī)構(gòu)與上述第二搬送機(jī)構(gòu)之間存在搬送速度差時(shí)，本發(fā)明的作用效果會(huì)更加有效。此時(shí)，通過(guò)適當(dāng)?shù)貙?duì)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中的上述末端執(zhí)行器進(jìn)行變速控制，能夠精度良好地對(duì)應(yīng)各自的搬送速度。在上述移載工件的接收時(shí)及移送時(shí)，若將上述末端執(zhí)行器與上述搬送機(jī)構(gòu)的相對(duì)速度設(shè)成大約為零，則能夠高度確保上述移載工件的搬送位置精度。
另外，上述移載機(jī)構(gòu)優(yōu)選具有將一體地旋轉(zhuǎn)的1或2個(gè)以上的上述末端執(zhí)行器一體地保持的同軸旋轉(zhuǎn)體、及將至少2個(gè)以上的上述同軸旋轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)支承而在軸方向相鄰配置在同軸上的3個(gè)以上的軸承，該各軸承由大致圓筒狀的內(nèi)環(huán)、外插于該內(nèi)環(huán)而配置的大致圓筒狀的外環(huán)、及能夠?qū)崿F(xiàn)上述內(nèi)環(huán)與上述外環(huán)的相對(duì)旋轉(zhuǎn)的軸承件機(jī)構(gòu)所構(gòu)成，上述各軸承中在軸方向的中間配置的1或2個(gè)以上的中間軸承的上述內(nèi)環(huán)與相鄰的其他上述軸承的上述外環(huán)連結(jié)而構(gòu)成一體地旋轉(zhuǎn)，并且將上述同軸旋轉(zhuǎn)體的任一個(gè)一體地保持，上述各軸承中在軸方向的端部配置的上述軸承中的一個(gè)，上述內(nèi)環(huán)與相鄰的其他上述軸承的上述外環(huán)連結(jié)而構(gòu)成一體地旋轉(zhuǎn)，并且將上述同軸旋轉(zhuǎn)體的任一個(gè)一體地保持，且上述外環(huán)固定于上述移載機(jī)構(gòu)的構(gòu)造構(gòu)件，上述各軸承中在軸方向的端部配置的上述軸承中的另一個(gè)，上述外環(huán)與相鄰的其他上述軸承的上述內(nèi)環(huán)連結(jié)而構(gòu)成一體地旋轉(zhuǎn)，且上述內(nèi)環(huán)固定于上述移載機(jī)構(gòu)的構(gòu)造構(gòu)件，在上述各外環(huán)中，與相鄰的上述軸承的上述內(nèi)環(huán)一體地連結(jié)的上述外環(huán)，分別與被獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)控制的外部馬達(dá)的輸出軸連結(jié)。
此時(shí)，通過(guò)將相鄰的一個(gè)軸承的內(nèi)環(huán)與另一個(gè)軸承的外環(huán)加以連結(jié)，能夠?qū)崿F(xiàn)由多個(gè)軸承所構(gòu)成的一體的軸承構(gòu)造。即，可實(shí)現(xiàn)上述各同軸旋轉(zhuǎn)體相互支承其他的同軸旋轉(zhuǎn)體的構(gòu)造。
進(jìn)而，若實(shí)現(xiàn)如此的支承構(gòu)造，則通過(guò)從上述外部馬達(dá)供給外環(huán)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力，能夠?qū)⒁惑w地保持于上述內(nèi)環(huán)的同軸旋轉(zhuǎn)體及一體的末端執(zhí)行器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。在此，例如由3個(gè)同軸旋轉(zhuǎn)體所構(gòu)成時(shí)，若從3個(gè)方向來(lái)賦予旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力，則能夠?qū)⒆饔糜诟鬏S承的朝向軸心的外壓(應(yīng)力)平均化而加以抑制。
此外，作為上述外部馬達(dá)，除了可利用伺服控制系統(tǒng)原動(dòng)機(jī)外，還可利用能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的控制的直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。另外，上述外部馬達(dá)的輸出軸與上述外環(huán)可以直接地連結(jié)，還可經(jīng)由齒輪或同步帶等間接地連結(jié)。
另外，上述轉(zhuǎn)移裝置優(yōu)選具備用于檢測(cè)由上述第一搬送機(jī)構(gòu)所搬送的上述移載工件的搬送位置及搬送速度的第一計(jì)測(cè)部。
此時(shí)，能夠根據(jù)上述第一搬送機(jī)構(gòu)中的上述移載工件的搬送位置及搬送速度來(lái)控制上述末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。例如，相比于利用上述第一搬送機(jī)構(gòu)的控制信息等間接的信息來(lái)控制上述末端執(zhí)行器的情況，更能夠高速且高精度地接收上述移載工件。
另外，優(yōu)選具備用于檢測(cè)上述第二搬送機(jī)構(gòu)的上述載體工件的表面的目標(biāo)移載位置及其移動(dòng)速度的第二計(jì)測(cè)部。
此時(shí)，能夠根據(jù)上述載體工件的表面的上述目標(biāo)移載位置或其移動(dòng)速度來(lái)控制上述末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。例如，相比于利用上述第二搬送機(jī)構(gòu)的控制信息等間接的信息來(lái)控制末端執(zhí)行器的情況，更能夠高速且高精度地對(duì)上述移載工件實(shí)施移載。
另外，優(yōu)選具備用于檢測(cè)保持于上述末端執(zhí)行器的上述保持面的上述移載工件的姿勢(shì)及位置的第三計(jì)測(cè)部。
此時(shí)，利用上述第三計(jì)測(cè)部能夠檢測(cè)出上述保持面上的上述移載工件的姿勢(shì)及位置。而且，根據(jù)該檢測(cè)結(jié)果來(lái)調(diào)整上述移載工件的姿勢(shì)或位置，能夠抑制上述移載工件的位置偏移等。因此，能夠以更高的位置精度將上述移載工件移載到上述載體工件上。
另外，對(duì)于上述第一及第二搬送機(jī)構(gòu)而言，上述第一及第二搬送機(jī)構(gòu)優(yōu)選具有自轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)體或并進(jìn)的輸送帶，在上述旋轉(zhuǎn)體或上述輸送帶的表面載置上述移載工件或上述載體工件并搬送。
此時(shí)，利用上述圓柱形狀體或上述輸送帶而能夠構(gòu)成搬送效率高的轉(zhuǎn)移裝置。
另外，上述移載工件優(yōu)選是安裝RF-TAG用的IC芯片的同時(shí)形成了從該IC芯片的電極電性延伸設(shè)置的放大電極的插入機(jī)構(gòu)，上述載體工件優(yōu)選是將無(wú)線通信用的天線圖案形成在片基板上的天線片。
此時(shí)，利用上述第一或上述第二發(fā)明的轉(zhuǎn)移裝置，能夠有效地生產(chǎn)構(gòu)成精度良好的RF-TAG的電子零件。
(實(shí)施例1)本例是關(guān)于將移載工件2移載到載體工件21的轉(zhuǎn)移裝置1的例子。關(guān)于其內(nèi)容參照?qǐng)D1～圖11來(lái)說(shuō)明。
本例的轉(zhuǎn)移裝置1，如圖1所示，包括將移載工件2加以保持而搬送的第一搬送機(jī)構(gòu)3、將載體工件21加以保持而搬送的第二搬送機(jī)構(gòu)5、及從第一搬送機(jī)構(gòu)3接收移載工件2并將其移載到第二搬送機(jī)構(gòu)5的載體工件21的移載機(jī)構(gòu)6。
上述移載機(jī)構(gòu)6具有2個(gè)以上在同一圓周上旋轉(zhuǎn)而搬送移載工件2的末端執(zhí)行器71～76，該各末端執(zhí)行器71～76與至少任一個(gè)其它末端執(zhí)行器獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)。
各末端執(zhí)行器71～76具備用于保持移載工件2的保持面70s，且可使保持面70s沿各末端執(zhí)行器71～76的旋轉(zhuǎn)軸CL(參照?qǐng)D4)進(jìn)退。
以下，對(duì)該內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
本例的轉(zhuǎn)移裝置1是用于制造RF-TAG的裝置。該轉(zhuǎn)移裝置1如圖2所示，將已形成有天線41的RF-TAG零件當(dāng)作載體工件21，將RF收發(fā)信處理用的電子零件當(dāng)作移載工件2來(lái)實(shí)施移載工序。
載體工件21是在由材質(zhì)PET所構(gòu)成的薄膜構(gòu)件的表面設(shè)有天線41的工件。移載工件2是將RF收發(fā)信處理用的IC安裝在樹(shù)脂片的表面并且設(shè)有放大電極的插入機(jī)構(gòu)。載體工件21設(shè)有從天線41延伸設(shè)置的一對(duì)端子42，將移載工件2安裝在該端子41之間。此外，在本例中，作為移載工件2相對(duì)于載體工件21的配置精度實(shí)現(xiàn)了數(shù)百微米到數(shù)十微米的精度。
上述第一搬送機(jī)構(gòu)3，如圖1所示是大致為圓柱狀的旋轉(zhuǎn)體，將移載工件2保持在其外周面。該第一搬送機(jī)構(gòu)3從鄰接的移載工件供給裝置30接收移載工件2，之后將移載工件2移送到移載機(jī)構(gòu)6。移載工件供給裝置30由大致呈圓柱狀的輥將保持有移載工件2的連續(xù)帶(tape)送出。也可以取代其，作為從連續(xù)片材料將移載工件2個(gè)別地切離而供給到第一搬送機(jī)構(gòu)3的個(gè)片化供給裝置而構(gòu)成移載工件供給裝置30。
第一搬送機(jī)構(gòu)3如圖1所示，在點(diǎn)P1處將移載工件2移送到末端執(zhí)行器(在圖中為符號(hào)71的末端執(zhí)行器)。該第一搬送機(jī)構(gòu)3以大致一定間隔將移載工件2保持在外表面。在由旋轉(zhuǎn)輥所構(gòu)成的第一搬送機(jī)構(gòu)3的表面設(shè)有與未圖示的泵的吸引孔連通的孔(省略圖示)。而且，第一搬送機(jī)構(gòu)3通過(guò)將旋轉(zhuǎn)輥的表面的孔設(shè)為負(fù)壓而吸附保持移載工件2。另一方面，在點(diǎn)P1處，通過(guò)將旋轉(zhuǎn)輥的表面的孔設(shè)為正壓或是大氣壓而放開(kāi)移載工件2。此外，在本例中，第一搬送機(jī)構(gòu)3分別被未圖示的驅(qū)動(dòng)源及驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)控制為以大致一定速度進(jìn)行動(dòng)作。
上述第二搬送機(jī)構(gòu)5如圖1所示，具有輸送帶51。而且，該第二搬送機(jī)構(gòu)5在輸送帶51的表面大致隔著一定間隔保持并搬送載體工件21。在輸送帶51的表面設(shè)有與未圖示的泵的吸引口連通的孔(省略圖示)。而且，第二搬送機(jī)構(gòu)5通過(guò)將輸送帶51的表面的孔設(shè)為負(fù)壓而吸附保持載體工件21。此外，在本例中，第二搬送機(jī)構(gòu)5分別被未圖示的驅(qū)動(dòng)源及驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)控制為以大致一定速度進(jìn)行動(dòng)作。
此外，在本例中，將個(gè)片狀的載體工件21保持在輸送帶51上加以搬送。也可以取代其，由帶(belt)狀的保持構(gòu)件保持個(gè)片狀的載體工件21、或?qū)⒁戚d工件2安裝在利用印刷技術(shù)或照相技術(shù)等連續(xù)地設(shè)有天線41的連續(xù)帶狀的柔性(flexible)基板上，之后再實(shí)施個(gè)片化。
本例的轉(zhuǎn)移裝置1具有用于拍攝利用第一搬送機(jī)構(gòu)3而在搬送中的移載工件2的搬送狀態(tài)而得到畫(huà)像數(shù)據(jù)的攝像裝置(計(jì)測(cè)部)103。在本例中，對(duì)該畫(huà)像數(shù)據(jù)實(shí)施畫(huà)像處理而檢測(cè)出搬送中的移載工件2的搬送位置及搬送速度。而且，未圖示的控制機(jī)構(gòu)根據(jù)所檢測(cè)出的搬送位置及搬送速度來(lái)控制各末端執(zhí)行器71～76的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
進(jìn)而，本例的轉(zhuǎn)移裝置1如圖1所示，具備拍攝由末端執(zhí)行器71～76所保持的移載工件2的狀態(tài)的攝像裝置(計(jì)測(cè)部)106、及拍攝第二搬送機(jī)構(gòu)5中的移載工件2的搬送狀態(tài)的攝像裝置(計(jì)測(cè)部)105。根據(jù)由攝像裝置105、106所拍攝的畫(huà)像數(shù)據(jù)，可以進(jìn)行例如移載工件2或載體工件21的搬送間隔的異常、姿勢(shì)異常、異物存在等的異常檢測(cè)。
特別是在本例中，根據(jù)由攝像裝置103、105、106所得到的畫(huà)像數(shù)據(jù)來(lái)控制后述的進(jìn)退機(jī)構(gòu)及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。此外，作為攝像機(jī)構(gòu)103、105、106，可以應(yīng)用包含CCD元件、CMOS元件的裝置、或包含低成本的光學(xué)式傳感器的裝置。
上述移載機(jī)構(gòu)6是組合了同一規(guī)格的2個(gè)移載機(jī)構(gòu)6a、6b的機(jī)構(gòu)。而且，各移載機(jī)構(gòu)6a(6b)如圖3～圖5所示，是組合3個(gè)同軸旋轉(zhuǎn)體10而構(gòu)成。移載機(jī)構(gòu)6a(6b)如圖3及圖4所示，具有構(gòu)造構(gòu)件60a、60b、60c和配置在同軸上的4個(gè)軸承80、82、84、86。而且，在各軸承80、82、84、86的內(nèi)周側(cè)配置有作為構(gòu)造構(gòu)件的中空軸60。而且，在該中空軸60的外周配置有用于支承同軸旋轉(zhuǎn)體10的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的軸承件61、63、65。
移載機(jī)構(gòu)6a(6b)具有各同軸旋轉(zhuǎn)體10相互地支承其他同軸旋轉(zhuǎn)體10的構(gòu)造。具備地說(shuō)，經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件91、93、95將在軸方向鄰接的軸承中的一個(gè)內(nèi)環(huán)與另一個(gè)外環(huán)一體地連結(jié)。而且，在經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件91、93、95連結(jié)的內(nèi)環(huán)與外環(huán)的組合中，同軸旋轉(zhuǎn)體10一體地固定在內(nèi)環(huán)的內(nèi)周側(cè)，驅(qū)動(dòng)輪92、94、96外插于外環(huán)而固定。
在如上所述而構(gòu)成的本例的移載機(jī)構(gòu)6a(6b)中，從以旋轉(zhuǎn)軸CL為中心的周方向上的等間隔的3個(gè)方向?qū)⑿D(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力供給到上述3個(gè)驅(qū)動(dòng)輪92、94、96。由此，將朝向各同軸旋轉(zhuǎn)體10的驅(qū)動(dòng)輪92、94、96的軸心的外壓抵消。另外，在上述移載機(jī)構(gòu)6a(6b)中，分別獨(dú)立地將通用的伺服控制系統(tǒng)原動(dòng)機(jī)(外部馬達(dá))結(jié)合到各驅(qū)動(dòng)輪92、94、96。由此，能夠進(jìn)行各同軸旋轉(zhuǎn)體10(末端執(zhí)行器71、73、75(72、74、76))的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的獨(dú)立控制。
各同軸旋轉(zhuǎn)體10如圖5所示，分別具備1個(gè)末端執(zhí)行器。末端執(zhí)行器71、73、75(72、74、76)如圖3及圖4所示，是與旋轉(zhuǎn)軸CL大致平行、偏心配置的棒狀材。末端執(zhí)行器71、73、75(72、74、76)可圍繞旋轉(zhuǎn)軸CL旋轉(zhuǎn)地被旋轉(zhuǎn)支承。
此外，本例的移載機(jī)構(gòu)6a(6b)，在其構(gòu)造上驅(qū)動(dòng)輪92、94、96的外周側(cè)設(shè)為開(kāi)放空間。因此，能夠在驅(qū)動(dòng)輪92、94、96的外周側(cè)設(shè)置各種機(jī)構(gòu)部。例如也可以取代上述通用的伺服控制系統(tǒng)原動(dòng)機(jī)，而設(shè)置可進(jìn)行更高精度的控制的直接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。在本例中，為了可由同步帶旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，而在驅(qū)動(dòng)輪92、94、96的外周面設(shè)有傳導(dǎo)用嚙合槽(精密齒輪等)。
同軸旋轉(zhuǎn)體10如圖5及圖8所示，分別具有1個(gè)末端執(zhí)行器71～76。末端執(zhí)行器71、73、75(72、74、76))如圖2及圖3所示，是與旋轉(zhuǎn)軸CL大致平行、偏心配置的棒狀材。末端執(zhí)行器71，73、75(72、74、76))可圍繞旋轉(zhuǎn)軸CL旋轉(zhuǎn)地被旋轉(zhuǎn)支承。末端執(zhí)行器71、73、75(72、74、76))如圖4所示，在其前端部具有用于吸附保持移載工件2(參照?qǐng)D1)的保持面70s。該保持面70s設(shè)有用于控制空氣壓的孔，可以用負(fù)壓來(lái)吸附移載工件2而加以保持。另一方面，在將移載工件2移送到第二搬送機(jī)構(gòu)5時(shí)，將保持面70s的孔調(diào)整為大氣壓或正壓。此外，對(duì)于用于實(shí)現(xiàn)保持面70s的孔的壓力控制的構(gòu)造將在后面敘述。
進(jìn)而，末端執(zhí)行器71、73、75(72、74、76)如圖4所示，具備用于使保持面70s旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、及用于使保持面70s沿旋轉(zhuǎn)軸CL進(jìn)退的進(jìn)退機(jī)構(gòu)。
末端執(zhí)行器71如圖5所示，其前端側(cè)(保持面70s側(cè))固定在軸承件61的外環(huán)61b的外周，并且后端側(cè)固定在軸承80的內(nèi)環(huán)80a的內(nèi)周。軸承80的內(nèi)環(huán)80a經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件91與軸方向上相鄰的軸承82的外環(huán)82b一體地連結(jié)。在外環(huán)82b的外周側(cè)經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件91的一部分而固定有驅(qū)動(dòng)輪92。
末端執(zhí)行器73如圖5所示，其前端側(cè)(保持面70s側(cè))固定在軸承件63的外環(huán)63b的外周，并且后端側(cè)固定在軸承82的內(nèi)環(huán)82a的內(nèi)周。軸承82的內(nèi)環(huán)82a經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件93與軸方向上相鄰的軸承84的外環(huán)84b一體地連結(jié)。在外環(huán)84b的外周側(cè)經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件93的一部分而固定有驅(qū)動(dòng)輪94。
末端執(zhí)行器75如圖5所示，其前端側(cè)(保持面70s側(cè))固定在軸承件65的外環(huán)65b的外周，并且后端側(cè)固定在軸承84的內(nèi)環(huán)84a的內(nèi)周。軸承84的內(nèi)環(huán)84a經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件95與軸方向上相鄰的軸承86的外環(huán)86b一體地連結(jié)。在外環(huán)86b的外周側(cè)經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件95的一部分而固定有驅(qū)動(dòng)輪96。
進(jìn)退機(jī)構(gòu)如圖4及圖7所示，具有成為末端執(zhí)行器71～76的本體部分的支承構(gòu)件702、將保持面70s支承于保持臺(tái)座703的滑動(dòng)構(gòu)件701、固定于該滑動(dòng)構(gòu)件701的馬達(dá)705(在圖4中省略了馬達(dá)705)?；瑒?dòng)構(gòu)件701可滑動(dòng)地插入到支承構(gòu)件702的內(nèi)周的中空部。在支承構(gòu)件702的外周面設(shè)有齒條702L。相對(duì)于該齒條702L，嵌合于馬達(dá)705的輸出軸的蝸輪705W與其齒輪卡合。而且，根據(jù)馬達(dá)705的旋轉(zhuǎn)控制能夠控制滑動(dòng)構(gòu)件701的進(jìn)退。
旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)如圖4、圖6及圖7所示，具有保持臺(tái)座703和固定于滑動(dòng)構(gòu)件701的馬達(dá)704(在圖4中省略了馬達(dá)704)，所述保持臺(tái)座703具有保持面70s，并且可旋轉(zhuǎn)地支承于滑動(dòng)構(gòu)件701。保持臺(tái)座703是在外周面設(shè)有齒輪703G的大致圓板狀的構(gòu)件。相對(duì)于保持臺(tái)座703的齒輪703G，嵌合于馬達(dá)704的輸出軸的齒輪704P與其卡合。而且，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)可根據(jù)馬達(dá)704的旋轉(zhuǎn)控制使保持臺(tái)座703旋轉(zhuǎn)而使保持面70s旋轉(zhuǎn)。
本例的搬送裝置1如圖9所示，組合有2個(gè)移載機(jī)構(gòu)6a、6b。移載機(jī)構(gòu)6a具備末端執(zhí)行器71、73、75。移載機(jī)構(gòu)6b具備末端執(zhí)行器72、74、76。而且，如同圖所示，以所有的末端執(zhí)行器71～76在同一圓周上旋轉(zhuǎn)的方式將這2個(gè)移載機(jī)構(gòu)6a、6b相對(duì)配置。
在如上所述所構(gòu)成的移載機(jī)構(gòu)6中，各末端執(zhí)行器71～76在同一圓周上旋轉(zhuǎn)。各末端執(zhí)行器71～76一邊分別維持相互的旋轉(zhuǎn)順序，一邊與第一搬送機(jī)構(gòu)3的搬送動(dòng)作同步，在相對(duì)速度大致為零的狀態(tài)下從第一搬送機(jī)構(gòu)3接收工件2。之后，各末端執(zhí)行器71～76與第二搬送機(jī)構(gòu)5的搬送動(dòng)作同步，在相對(duì)速度大致為零的狀態(tài)下將工件2移送到第二搬送機(jī)構(gòu)5。
各末端執(zhí)行器71～76在同一圓周上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，在包含接收與移送在內(nèi)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)期間分別獨(dú)立地進(jìn)行周期變速控制。具體地說(shuō)，在末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)軌道上進(jìn)行用于接收與移送工件2的時(shí)序調(diào)整(旋轉(zhuǎn)位置調(diào)整)及用于此時(shí)的速度調(diào)整的周期變速控制。
其次，參照?qǐng)D1說(shuō)明本例的同軸旋轉(zhuǎn)體中的保持面70s的吸附機(jī)構(gòu)(孔的壓力控制機(jī)構(gòu))。例如圖1所示的轉(zhuǎn)移裝置1的狀態(tài)是末端執(zhí)行器71從第一搬送機(jī)構(gòu)3接收工件2(旋轉(zhuǎn)位置Q1)。另一方面，末端執(zhí)行器72、73處于朝向第二搬送機(jī)構(gòu)5的移動(dòng)中(旋轉(zhuǎn)位置Q2、Q3)，是末端執(zhí)行器74朝向第二搬送機(jī)構(gòu)5移送工件2的時(shí)刻(旋轉(zhuǎn)位置Q4)。另外，末端執(zhí)行器75、76處于移動(dòng)旋轉(zhuǎn)中的狀態(tài)(各旋轉(zhuǎn)位置Q5、Q6)。
另一方面，在上述移載機(jī)構(gòu)6a(b)的中空軸60的端面，如圖4所示，沿旋轉(zhuǎn)軸CL設(shè)有貫通孔70b。而且，將未圖示的泵的吸入口連接到該貫通孔70b。因此，中空軸60的中空部在上述泵的作用下維持在負(fù)壓。另外，在中空軸60的外周壁面設(shè)有在徑方向上貫通的貫通孔70a。進(jìn)而，在軸承件61、63、65中與上述貫通孔70a連通地設(shè)有在徑方向上貫通而與末端執(zhí)行器71、73、75的中空部連通的孔。
特別是本例的貫通孔70a與位于從上述旋轉(zhuǎn)位置Q1(嚴(yán)格來(lái)說(shuō)在旋轉(zhuǎn)位置Q1處保持面70s吸附工件2的Q1的近前的位置)到上述旋轉(zhuǎn)位置Q4(嚴(yán)格來(lái)說(shuō)在旋轉(zhuǎn)位置Q3處保持面70s釋放工件2的Q4的近前的位置)的旋轉(zhuǎn)區(qū)間的末端執(zhí)行器連通，而設(shè)在中空軸60的外周壁面的規(guī)定的周方向位置。
另一方面，當(dāng)末端執(zhí)行器位于旋轉(zhuǎn)位置Q4時(shí)，經(jīng)由軸承件61的孔導(dǎo)入大氣壓，由此在中空軸60的外周壁面的規(guī)定的周方向位置設(shè)有大氣壓導(dǎo)入口(省略圖示)。由此，在本例的移載機(jī)構(gòu)6a中，根據(jù)伴隨各末端執(zhí)行器71、73、75的旋轉(zhuǎn)的軸承件61、63、65的旋轉(zhuǎn)，自動(dòng)地實(shí)施保持面70s的孔的壓力控制。
其次，參照?qǐng)D10說(shuō)明末端執(zhí)行器71～76的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。圖10表示末端執(zhí)行器71～76的旋轉(zhuǎn)角度的時(shí)間變化。各曲線C1～C6對(duì)應(yīng)于圖1中的各末端執(zhí)行器71～76的運(yùn)動(dòng)。另外，在時(shí)間t1時(shí)的曲線上的點(diǎn)q1～q6對(duì)應(yīng)于圖1中的旋轉(zhuǎn)位置Q1～Q6。將圖1中的第一搬送機(jī)構(gòu)3與移載機(jī)構(gòu)6相接的位置(旋轉(zhuǎn)位置Q1)設(shè)成旋轉(zhuǎn)角度θ的原點(diǎn)，旋轉(zhuǎn)方向如圖1所示設(shè)成逆時(shí)針?lè)较颉?br> 圖10中的周期T1是第一搬送機(jī)構(gòu)3將移載工件2供給到移載機(jī)構(gòu)6的周期(工件供給周期)。此外，該工件供給周期是根據(jù)第一搬送機(jī)構(gòu)3的搬送速度與輸送帶31上的移載工件2的間隔確定的周期。另外，周期T2為各末端執(zhí)行器旋轉(zhuǎn)的周期。在短時(shí)間內(nèi)成立T26×T1的關(guān)系，而在長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)平均為T2＝6×T1。在本例中，利用了獨(dú)立地被旋轉(zhuǎn)控制的6個(gè)末端執(zhí)行器71～76。因此，在本例的移載機(jī)構(gòu)6中，能夠相對(duì)于各末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)速度與約6倍的工件供給速度相對(duì)應(yīng)。
在此，以末端執(zhí)行器71為例來(lái)說(shuō)明其旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。圖11表示末端執(zhí)行器71的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中的旋轉(zhuǎn)角度的時(shí)間變化。末端執(zhí)行器71在時(shí)刻t＝t1、旋轉(zhuǎn)角度θ＝0時(shí)，以速度V1從第一搬送機(jī)構(gòu)3接收移載工件2。而且，當(dāng)時(shí)刻t＝t2、旋轉(zhuǎn)角度θ＝θ1(＝π)時(shí)，以速度V2將移載工件2移送到第二搬送機(jī)構(gòu)5。之后，當(dāng)時(shí)刻t＝t3(＝t1+T2)、旋轉(zhuǎn)角度2π時(shí)，回到初始旋轉(zhuǎn)位置。
時(shí)間區(qū)間a1、a3、a5是為了接收或移送移載工件2而與第一搬送機(jī)構(gòu)3的搬送動(dòng)作或第二搬送機(jī)構(gòu)5的搬送動(dòng)作同步的區(qū)間。該些時(shí)間區(qū)間是使與移載工件2的搬送速度的相對(duì)速度大致成為零而將速度大致保持一定的區(qū)間。另一方面，時(shí)間區(qū)間a2、a4是用于將末端執(zhí)行器71的旋轉(zhuǎn)速度進(jìn)行增速或減速的區(qū)間。
另外，在該時(shí)間區(qū)間a2、a4內(nèi)，除了速度調(diào)整之外，還進(jìn)行旋轉(zhuǎn)位置的調(diào)整。該旋轉(zhuǎn)位置調(diào)整如圖11所示，例如在第二搬送機(jī)構(gòu)5的搬送速度產(chǎn)生變動(dòng)時(shí)實(shí)施。為了在第二搬送機(jī)構(gòu)5的搬送速度產(chǎn)生變動(dòng)時(shí)維持一定的搬送間隔，必須要調(diào)整從移載機(jī)構(gòu)6將移載工件2移送到第二搬送機(jī)構(gòu)5的時(shí)序。因此，為了調(diào)整該時(shí)序而實(shí)施各末端執(zhí)行器71～76的旋轉(zhuǎn)位置的控制。
例如，在需要提前時(shí)間Δt來(lái)移送移載工件2時(shí)，通過(guò)提高末端執(zhí)行器71的速度，圖11所示的曲線取代點(diǎn)f而通過(guò)點(diǎn)fl。由此，能夠?qū)⒁戚d工件2精度良好地移載到能夠維持第二搬送機(jī)構(gòu)5的大致一定的搬送間隔的規(guī)定的位置。
然后，說(shuō)明上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)及上述進(jìn)退機(jī)構(gòu)的控制?？刂茩C(jī)構(gòu)對(duì)攝像機(jī)構(gòu)105所得到的畫(huà)像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，從而識(shí)別第二搬送機(jī)構(gòu)5中的目標(biāo)移載位置。另一方面，對(duì)攝像機(jī)構(gòu)106所得到的畫(huà)像數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，從而識(shí)別移載機(jī)構(gòu)6的各保持面70s所保持的各移載工件2的旋轉(zhuǎn)軸CL(參照?qǐng)D4)方向的位置及姿勢(shì)。
本例的轉(zhuǎn)移裝置1的控制機(jī)構(gòu)根據(jù)目標(biāo)移載位置中的旋轉(zhuǎn)軸CL方向的位置、與移載工件2的旋轉(zhuǎn)軸CL方向的位置來(lái)計(jì)算保持面70s的進(jìn)退控制量。另外，控制機(jī)構(gòu)根據(jù)移載工件2的姿勢(shì)來(lái)計(jì)算基于上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的移載工件2的旋轉(zhuǎn)控制量。而且，控制機(jī)構(gòu)根據(jù)所計(jì)算的進(jìn)退控制量來(lái)控制馬達(dá)705，并且根據(jù)所計(jì)算的旋轉(zhuǎn)控制量來(lái)控制馬達(dá)704。
如上所述，本例的搬送裝置1通過(guò)獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)控制各末端執(zhí)行器71～76的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，能夠?qū)崿F(xiàn)高速且高精度的移載。在本例的轉(zhuǎn)移裝置1中，通過(guò)如上所述控制旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)及進(jìn)退機(jī)構(gòu)，能夠以更高的精度來(lái)移載移載工件2。
根據(jù)本例的轉(zhuǎn)移裝置1，能夠在不使移載工件2停止的情況下連續(xù)地搬送，同時(shí)將移載工件2配置在載體工件21上。因此，能夠大量且低成本地制造制造精度高的RF-TAG。此外，本例的轉(zhuǎn)移裝置1并不限定于制造RF-TAG零件，例如也能夠應(yīng)用在電子零件移載或安裝到IC卡零件的情況中。在此，例如能夠?qū)F-TAG用的IC設(shè)為上述移載工件2。進(jìn)而，作為紙尿布或生理用品等衛(wèi)生制品的制程工序中所使用的生產(chǎn)設(shè)備，也可以利用本例的轉(zhuǎn)移裝置1。
此外，本例的轉(zhuǎn)移裝置1能夠應(yīng)用在各種的轉(zhuǎn)換機(jī)器(convertingmachine)、印刷機(jī)、ラベニラ一、半導(dǎo)體制造裝置等。例如能夠應(yīng)用在紙尿布、衛(wèi)生棉、棉球、面罩(face mask)的制程工序中。進(jìn)而，還可將作為封條(seal)的標(biāo)簽當(dāng)作移載工件2，將衛(wèi)生制品或小點(diǎn)心等食品等的各種制品當(dāng)作載體工件21而進(jìn)行貼附標(biāo)簽。進(jìn)而，若將衛(wèi)生制品或小點(diǎn)心等食品等的各種制品當(dāng)作移載工件2，將包裝用薄膜當(dāng)作載體工件21，則可進(jìn)行制品的包裝。
進(jìn)而，在本例中，雖然利用了被個(gè)片化的載體工件21，但也可以取代其，利用個(gè)片化前的片狀的長(zhǎng)尺寸材料。而且，此時(shí)，還可預(yù)先在片狀的長(zhǎng)尺寸材料的表面附加用于指示目標(biāo)移載位置的標(biāo)志(mark)，對(duì)該標(biāo)志進(jìn)行畫(huà)像識(shí)別。此時(shí)，根據(jù)標(biāo)志所指示的目標(biāo)移載位置來(lái)控制末端執(zhí)行器71～76的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，由此能夠高精度地將移載工件2移載到連續(xù)片上的載體工件21。此外，在制造RF-TAG時(shí)，形成有多個(gè)天線圖案的長(zhǎng)尺寸片狀的載體工件21能夠?qū)⑻炀€圖案當(dāng)作用于畫(huà)像識(shí)別的標(biāo)志來(lái)使用。即，上述標(biāo)志能夠利用在載體工件21的表面顯現(xiàn)出的圖案。
(實(shí)施例2)本例是以實(shí)施例1的轉(zhuǎn)移裝置為基礎(chǔ)，變更了保持面70s的進(jìn)退機(jī)構(gòu)及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的構(gòu)成的例子。參照?qǐng)D12及圖13來(lái)說(shuō)明該內(nèi)容。
本例的轉(zhuǎn)移裝置1具有用于使末端執(zhí)行器71～76的滑動(dòng)構(gòu)件701滑動(dòng)的導(dǎo)向構(gòu)件707。該導(dǎo)向構(gòu)件707具有對(duì)繞圈旋轉(zhuǎn)的保持臺(tái)座703的旋轉(zhuǎn)軸CL方向的位置進(jìn)行限制的導(dǎo)向槽707m。該導(dǎo)向構(gòu)件707可沿旋轉(zhuǎn)軸CL進(jìn)退地保持于構(gòu)造構(gòu)件60b。而且，起到使末端執(zhí)行器71～76的保持臺(tái)座703的旋轉(zhuǎn)軸CL方向的位置與導(dǎo)向槽707m的位置大體一致的作用。此外，在本例中，通過(guò)配置于構(gòu)造構(gòu)件60b的未圖示的馬達(dá)來(lái)控制導(dǎo)向構(gòu)件707的旋轉(zhuǎn)軸CL方向的位置。
導(dǎo)向構(gòu)件707使導(dǎo)向槽707m位于末端執(zhí)行器71～76的旋轉(zhuǎn)位置中的Q1與Q4(參照?qǐng)D1)之間的區(qū)間而配置。另外，導(dǎo)向槽707m朝向作為旋轉(zhuǎn)方向的上游側(cè)的Q1呈大幅開(kāi)口的彎曲形狀。在本例的移載機(jī)構(gòu)6中，通過(guò)該彎曲形狀與保持臺(tái)座703的抵接，滑動(dòng)構(gòu)件701沿旋轉(zhuǎn)軸CL方向進(jìn)退，從而變更保持臺(tái)座703的旋轉(zhuǎn)軸CL方向的位置。而且，由此變更保持面70s的旋轉(zhuǎn)軸CL方向的位置。
在導(dǎo)向槽707m的面對(duì)面的內(nèi)周面710、720上，如圖13所示，分別配置有多個(gè)朝向?qū)虿?07m適當(dāng)突出且分別獨(dú)立地被空氣壓控制的突出銷711、721。另一方面，本例的保持臺(tái)座703相對(duì)于滑動(dòng)構(gòu)件701，經(jīng)由1刻度為0.5度的棘輪機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)支承。
根據(jù)從第一內(nèi)周面710突出的各突出銷711，能夠使經(jīng)由棘輪機(jī)構(gòu)而被旋轉(zhuǎn)支承的保持臺(tái)座703以一次1個(gè)刻度地沿順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。另外，根據(jù)從第二內(nèi)周面720突出的各突出銷721，能夠使保持臺(tái)座703以一次1個(gè)刻度地沿逆時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn)。
即，在本例的移載裝置6的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)中，根據(jù)從各內(nèi)周面710、720突出的突出銷711、721的數(shù)目來(lái)控制保持臺(tái)座703的旋轉(zhuǎn)位置。而且，通過(guò)控制保持臺(tái)座703的旋轉(zhuǎn)位置變更保持面70s的旋轉(zhuǎn)位置。
此外，其他的構(gòu)成及作用效果與實(shí)施例1相同。另外，作為各突出銷711、721的突出機(jī)構(gòu)，可以取代本例的空氣壓控制，而采用液壓控制、或基于螺線管(電磁驅(qū)動(dòng))的控制等的各種驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
(實(shí)施例3)本例是以實(shí)施例1的轉(zhuǎn)移裝置為基礎(chǔ)，將載體工件21變更為連續(xù)片體并且追加了送出層壓薄膜(laminate film)22的機(jī)構(gòu)的例子。參照?qǐng)D14來(lái)說(shuō)明該內(nèi)容。
在本例中，在配置有移載工件2的載體工件21的表面接合層壓薄膜22。根據(jù)層壓薄膜22，能夠得到制品的表面保護(hù)效果的同時(shí)還能夠提高耐氣候性。此時(shí)，也可以預(yù)先將對(duì)位用的標(biāo)志等附加在層壓薄膜22上。此時(shí)，利用攝像裝置107，對(duì)層壓薄膜22上的標(biāo)志進(jìn)行畫(huà)像識(shí)別，由此能夠達(dá)成與載體工件21的高精度對(duì)位。此外，作為攝像裝置107，除了CCD元件或CMOS元件外，還可應(yīng)用低成本的光學(xué)式的傳感器。
此外，其他的構(gòu)成及作用效果與實(shí)施例1相同。
進(jìn)而，作為載體工件21可應(yīng)用構(gòu)成紙尿布的底布的無(wú)紡布所構(gòu)成的連續(xù)體(連續(xù)片材料)，作為載置到該載體工件21的工件2可應(yīng)用由紙漿(pulp)所構(gòu)成的吸水墊。此時(shí)，通過(guò)在層壓薄膜22上印刷圖案，能夠提高紙尿布的外觀設(shè)計(jì)效果。進(jìn)而，還可利用圖案進(jìn)行層壓薄膜22與載體工件21的對(duì)位。即，利用攝像裝置107識(shí)別層壓薄膜22的圖樣，由此能夠檢測(cè)其輸送位置而實(shí)現(xiàn)層壓薄膜22與載體工件21的高精度對(duì)位。
進(jìn)而，此外也可以是，移載工件2為小點(diǎn)心等，載體工件21及層壓薄膜22為聚乙烯等的樹(shù)脂薄膜。此時(shí)，通過(guò)將相互面對(duì)的薄膜狀的載體工件21與層壓薄膜22的緣部接合，能夠?qū)嵤┐鼱畹陌b。
權(quán)利要求
1.一種轉(zhuǎn)移裝置，包括保持并搬送移載工件的第一搬送機(jī)構(gòu)、保持并搬送載體工件的第二搬送機(jī)構(gòu)、及用于從所述第一搬送機(jī)構(gòu)接收所述移載工件并將其移載到所述載體工件的移載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述移載機(jī)構(gòu)具有2個(gè)以上在同一圓周上旋轉(zhuǎn)而搬送所述移載工件的末端執(zhí)行器，該各末端執(zhí)行器與至少任一個(gè)其他的所述末端執(zhí)行器獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)，所述各末端執(zhí)行器具備保持所述移載工件的保持面，且可使所述保持面沿所述各末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)退。
2.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述保持面可圍繞其法線方向的中心軸旋轉(zhuǎn)。
3.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)移裝置具有用于控制所述各末端執(zhí)行器進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)的旋轉(zhuǎn)速度及旋轉(zhuǎn)位置的控制機(jī)構(gòu)，該控制機(jī)構(gòu)進(jìn)行如下控制使得從所述第一搬送機(jī)構(gòu)接收所述工件時(shí)的所述末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)速度與所述第一搬送機(jī)構(gòu)的搬送速度大體一致，且使得將所述工件移送到所述第二搬送機(jī)構(gòu)時(shí)的所述末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)速度與所述第二搬送機(jī)構(gòu)的搬送速度大體一致。
4.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述移載機(jī)構(gòu)具有將一體地旋轉(zhuǎn)的1或2個(gè)以上的所述末端執(zhí)行器一體地保持的同軸旋轉(zhuǎn)體、及將至少2個(gè)以上的所述同軸旋轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)支承而在軸方向相鄰配置在同軸上的3個(gè)以上的軸承，該各軸承由大致圓筒狀的內(nèi)環(huán)、外插于該內(nèi)環(huán)而配置的大致圓筒狀的外環(huán)、及能夠?qū)崿F(xiàn)所述內(nèi)環(huán)與所述外環(huán)的相對(duì)旋轉(zhuǎn)的軸承件機(jī)構(gòu)所構(gòu)成，所述各軸承中在軸方向的中間配置的1或2個(gè)以上的中間軸承的所述內(nèi)環(huán)與相鄰的其他所述軸承的所述外環(huán)連結(jié)而構(gòu)成一體地旋轉(zhuǎn)，并且將所述同軸旋轉(zhuǎn)體的任一個(gè)一體地保持，所述各軸承中在軸方向的端部配置的所述軸承中的一個(gè)，所述內(nèi)環(huán)與相鄰的其他所述軸承的所述外環(huán)連結(jié)而構(gòu)成一體地旋轉(zhuǎn)，并且將所述同軸旋轉(zhuǎn)體的任一個(gè)一體地保持，且所述外環(huán)固定于所述移載機(jī)構(gòu)的構(gòu)造構(gòu)件，所述各軸承中在軸方向的端部配置的所述軸承中的另一個(gè)，所述外環(huán)與相鄰的其他所述軸承的所述內(nèi)環(huán)連結(jié)而構(gòu)成一體地旋轉(zhuǎn)，且所述內(nèi)環(huán)固定于所述移載機(jī)構(gòu)的構(gòu)造構(gòu)件，在所述各外環(huán)中，與相鄰的所述軸承的所述內(nèi)環(huán)一體地連結(jié)的所述外環(huán)，分別與被獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)控制的外部馬達(dá)的輸出軸連結(jié)。
5.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，具備用于檢測(cè)由所述第一搬送機(jī)構(gòu)所搬送的所述移載工件的搬送位置及搬送速度的第一計(jì)測(cè)部。
6.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，具備用于檢測(cè)所述第二搬送機(jī)構(gòu)的所述載體工件的表面的目標(biāo)移載位置及其移動(dòng)速度的第二計(jì)測(cè)部。
7.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，具備用于檢測(cè)保持于所述末端執(zhí)行器的所述保持面的所述移載工件的姿勢(shì)及位置的第三計(jì)測(cè)部。
8.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述第一及第二搬送機(jī)構(gòu)具有自轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)體或并進(jìn)的輸送帶，在所述旋轉(zhuǎn)體或所述輸送帶的表面載置所述移載工件或所述載體工件并搬送。
9.如權(quán)利要求1所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述移載工件是安裝RF-TAG用的IC芯片的同時(shí)形成了從該IC芯片的電極電性延伸設(shè)置的放大電極的插入機(jī)構(gòu)，所述載體工件是在片基板上形成有無(wú)線通信用的天線圖案的天線片。
10.一種轉(zhuǎn)移裝置，包括保持并搬送移載工件的第一搬送機(jī)構(gòu)、保持并搬送載體工件的第二搬送機(jī)構(gòu)、及用于從所述第一搬送機(jī)構(gòu)接收所述移載工件并將其移載到所述載體工件的移載機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述移載機(jī)構(gòu)具有2個(gè)以上在同一圓周上旋轉(zhuǎn)而搬送所述移載工件的末端執(zhí)行器，該各末端執(zhí)行器與至少任一個(gè)其他的所述末端執(zhí)行器獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)，所述各末端執(zhí)行器具備保持所述移載工件的保持面，且該保持面可圍繞其法線方向的中心軸旋轉(zhuǎn)。
11.如權(quán)利要求10所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)移裝置具有用于控制所述各末端執(zhí)行器進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)的旋轉(zhuǎn)速度及旋轉(zhuǎn)位置的控制機(jī)構(gòu)，該控制機(jī)構(gòu)進(jìn)行如下控制使得從所述第一搬送機(jī)構(gòu)接收所述工件時(shí)的所述末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)速度與所述第一搬送機(jī)構(gòu)的搬送速度大體一致，且使得將所述工件移送到所述第二搬送機(jī)構(gòu)時(shí)的所述末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)速度與所述第二搬送機(jī)構(gòu)的搬送速度大體一致。
12.如權(quán)利要求10所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述移載機(jī)構(gòu)具有將一體地旋轉(zhuǎn)的1或2個(gè)以上的所述末端執(zhí)行器一體地保持的同軸旋轉(zhuǎn)體、及將至少2個(gè)以上的所述同軸旋轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)支承而在軸方向相鄰配置在同軸上的3個(gè)以上的軸承，該各軸承由大致圓筒狀的內(nèi)環(huán)、外插于該內(nèi)環(huán)而配置的大致圓筒狀的外環(huán)、及能夠?qū)崿F(xiàn)所述內(nèi)環(huán)與所述外環(huán)的相對(duì)旋轉(zhuǎn)的軸承件機(jī)構(gòu)所構(gòu)成，所述各軸承中在軸方向的中間配置的1或2個(gè)以上的中間軸承的所述內(nèi)環(huán)與相鄰的其他所述軸承的所述外環(huán)連結(jié)而構(gòu)成一體地旋轉(zhuǎn)，并且將所述同軸旋轉(zhuǎn)體的任一個(gè)一體地保持，所述各軸承中在軸方向的端部配置的所述軸承中的一個(gè)，所述內(nèi)環(huán)與相鄰的其他所述軸承的所述外環(huán)連結(jié)而構(gòu)成一體地旋轉(zhuǎn)，并且將所述同軸旋轉(zhuǎn)體的任一個(gè)一體地保持，且所述外環(huán)固定于所述移載機(jī)構(gòu)的構(gòu)造構(gòu)件，所述各軸承中在軸方向的端部配置的所述軸承中的另一個(gè)，所述外環(huán)與相鄰的其他所述軸承的所述內(nèi)環(huán)連結(jié)而構(gòu)成一體地旋轉(zhuǎn)，且所述內(nèi)環(huán)固定于所述移載機(jī)構(gòu)的構(gòu)造構(gòu)件，在所述各外環(huán)中，與相鄰的所述軸承的所述內(nèi)環(huán)一體地連結(jié)的所述外環(huán)，分別與被獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)控制的外部馬達(dá)的輸出軸連結(jié)。
13.如權(quán)利要求10所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，具備用于檢測(cè)由所述第一搬送機(jī)構(gòu)所搬送的所述移載工件的搬送位置及搬送速度的第一計(jì)測(cè)部。
14.如權(quán)利要求10所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，具備用于檢測(cè)所述第二搬送機(jī)構(gòu)的所述載體工件的表面的目標(biāo)移載位置及其移動(dòng)速度的第二計(jì)測(cè)部。
15.如權(quán)利要求10所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，具備用于檢測(cè)保持于所述末端執(zhí)行器的所述保持面的所述移載工件的姿勢(shì)及位置的第三計(jì)測(cè)部。
16.如權(quán)利要求10所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述第一及第二搬送機(jī)構(gòu)具有自轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)體或并進(jìn)的輸送帶，在所述旋轉(zhuǎn)體或所述輸送帶的表面載置所述移載工件或所述載體工件并搬送。
17.如權(quán)利要求10所述的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，所述移載工件是安裝RF-TAG用的IC芯片的同時(shí)形成了從該IC芯片的電極電性延伸設(shè)置的放大電極的插入機(jī)構(gòu)，所述載體工件是在片基板上形成有無(wú)線通信用的天線圖案的天線片。
全文摘要
一種轉(zhuǎn)移裝置(1)，包括保持并搬送進(jìn)行移載的移載工件(2)的第一搬送機(jī)構(gòu)(3)、保持并搬送對(duì)移載工件(2)進(jìn)行移載的對(duì)方的載體工件(21)的第二搬送機(jī)構(gòu)(5)、及從第一搬送機(jī)構(gòu)(3)接收移載工件(2)并將其移載到第二搬送機(jī)構(gòu)(5)的載體工件(21)而構(gòu)成的移載機(jī)構(gòu)(6)。移載機(jī)構(gòu)(6)具有2個(gè)以上在同一圓周上旋轉(zhuǎn)而搬送移載工件(2)的末端執(zhí)行器(71～76)，該各末端執(zhí)行器(71～76)與其他的末端執(zhí)行器獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)。各末端執(zhí)行器(71～76)具備保持移載工件(2)的保持面(70s)，該保持面(70s)可沿末端執(zhí)行器(71～76)的旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)退。
文檔編號(hào)B65G47/80GK101018722SQ20058003023
公開(kāi)日2007年8月15日 申請(qǐng)日期2005年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2004年9月22日
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