專利名稱：空氣浮起單元、運送方法以及空氣浮起運送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體襯底、液晶基板等的薄板的運送裝置，特別是涉及利用空氣浮起而能無破損和損傷地進行運送的空氣浮起單元、運送方法以及空氣浮起運送裝置。
背景技術(shù)：
一般，將液晶基板等薄的平面基板利用氣體浮起并運送的裝置被提出有多種。
例如，在圖4所示的空氣浮起運送裝置中，朝向平面基板1的下面噴出空氣的多個噴嘴2的空氣浮起單元3隔開規(guī)定間隔配置。這樣的結(jié)構(gòu)的空氣浮起運送裝置中，由圖外的送給機構(gòu)將平面基板1向箭頭A方向運送時，平面基板1的剛性小的情況下，如圖所示在空氣浮起單元3的非連續(xù)部分的不噴出空氣的位置產(chǎn)生撓曲量T。因此，平面基板1越過空氣浮起單元3的間隙時，與空氣浮起單元3干涉，可能使平面基板1破損或受傷。
另外，如圖5所示，在配置成多個的空氣浮起單元3的高度調(diào)整不充分而出現(xiàn)高度偏移H的情況下，即使平面基板1的剛性足夠大而幾乎不產(chǎn)生撓曲時，平面基板1和空氣浮起單元3也有可能干涉。
為解決該缺陷而考慮圖6所示的結(jié)構(gòu)的空氣浮起運送裝置。該空氣浮起運送裝置考慮到平面基板1的撓曲量T或高度偏移H，要將平面基板1的整體的浮起量提高，為此而將來自噴嘴2的空氣噴出量設(shè)定得大。
另外，如特開2003-292153號公報、特開2002-151571號公報、特開2002-151570號公報中公開了與上述技術(shù)相關(guān)的內(nèi)容。
但是，這些現(xiàn)有的技術(shù)中，即將來自噴嘴的空氣噴出量設(shè)定得大而增大平面基板整體的浮起量的空氣浮起運送裝置中，存在空氣消耗量顯著增加的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而研發(fā)的，其提供抑制空氣消耗量的增加，防止平面基板的撓曲及空氣浮起單元的高度位置偏移而造成平面基板和空氣浮起單元干涉的空氣浮起單元、運送方法以及空氣浮起運送裝置。
本發(fā)明的空氣浮起單元，其從運送面噴出空氣而使被浮起物浮起，其特征在于，設(shè)置有從單元的運送面、從被浮起物的下面和單元端部朝中央部噴出空氣的噴嘴。
本發(fā)明的運送方法，其特征在于，在從運送面噴出空氣而使被浮起物浮起的浮起單元中，從單元的運送面、從被浮起物的下面和單元端部朝中央部噴出空氣，并運送被浮起物。
本發(fā)明的空氣浮起運送裝置，其從配置在平面基板的下方和/或側(cè)方的空氣浮起單元噴出空氣，使平面基板浮起，并由送給機構(gòu)向前方移送，其特征在于，位于上述平面基板的移送方向的前端的空氣浮起單元的下游端附近設(shè)置增大上述平面基板的浮起量的機構(gòu)。
另外，本發(fā)明的上述空氣浮起運送裝置，其特征在于，上述增大浮起量的機構(gòu)是空氣噴出量大的噴嘴。
另外，本發(fā)明的上述空氣浮起運送裝置，其特征在于，上述增大浮起量的機構(gòu)是具有與上述平面基板的移送方向反向的流動成分的噴嘴。
另外，本發(fā)明的上述空氣浮起運送裝置，其特征在于，上述增大浮起量的機構(gòu)是從空氣浮起單元的下游端朝中央噴出空氣的噴嘴。
另外，本發(fā)明的上述空氣浮起運送裝置，其特征在于，上述增大浮起量的機構(gòu)是設(shè)于空氣浮起單元的下游端附近的分立的噴出噴嘴。另外，本發(fā)明的上述空氣浮起運送裝置，其特征在于，上述空氣浮起單元設(shè)置多個，該浮起單元的某一個的浮起力與其他浮起單元的浮起力不同。
由于上述結(jié)構(gòu)，本發(fā)明具有以下效果。
根據(jù)本發(fā)明，空氣浮起運送裝置從配置在平面基板的下方的空氣浮起單元噴出空氣而使平面基板浮起，并由送給機構(gòu)向前方移送，由于在位于上述平面基板的移送方向的前端的空氣浮起單元的下游端附近設(shè)置增大上述平面基板的浮起量的機構(gòu)，故可防止平面基板的撓曲和空氣浮起單元的高度偏移造成的平面基板和空氣浮起單元干涉而損傷的問題。另外，可抑制空氣消耗量的增加。
另外，本發(fā)明中，由于上述增大浮起量的機構(gòu)是空氣噴出量大的噴嘴，所以平面基板的前端部大幅度浮起而不會在空氣浮起單元的間隙與下一個空氣浮起單元接觸，不會損壞平面基板。
另外，本發(fā)明由于上述增大浮起量的機構(gòu)是具有與上述平面基板的移送方向反向的流動成分的噴嘴，所以通過與平面基板的前進反向反向的空氣而使前端部大幅度浮起，不會在空氣浮起單元的間隙與下一個空氣浮起單元接觸。另外，噴嘴的空氣消耗量也不會增加。
另外，本發(fā)明中，上述增大浮起量的機構(gòu)是從空氣浮起單元的下游端朝中央噴出空氣的噴嘴，所以平面基板的前端附近的空氣的噴出被妨礙，滯留的空氣量增加，平面基板的浮起量增加。而且，噴嘴的空氣消耗量也不會增加。另外，由于上述增大浮起量的機構(gòu)是設(shè)于空氣浮起單元的下游端附近的獨立的噴出噴嘴，空氣浮起單元自身的結(jié)構(gòu)不改變，而能夠防止平面基板的撓曲和空氣浮起單元的高度偏移造成的平面基板和空氣浮起單元干涉而損傷的問題。另外，空氣浮起單元的浮起力存在差異，而在由柔性材料構(gòu)成被運送物的情況下，則使其變形成所希望的形狀，并且進行運送或支承。
另外，由于在位于平面基板的運送反向上的空氣浮起單元的下游端附近設(shè)有增大平面基板的浮起量的機構(gòu)，所以可實現(xiàn)防止平面基板的撓曲和空氣浮起單元的高度偏移造成的平面基板和空氣浮起單元干涉而損傷的目的。
本發(fā)明的上述目的、其他目的、特征、優(yōu)點等，根據(jù)附圖和實施例的記載，本領(lǐng)域技術(shù)人員可清楚明白。


圖1是表示本發(fā)明的空氣浮起運送裝置的第一實施例的立體圖；圖2是表示該空氣浮起運送裝置的第二實施例的立體圖；圖3是表示該空氣浮起運送裝置的第三實施例的立體圖；圖4是表示用空氣浮起運送裝置運送剛性小的平面基板的情況的說明圖；圖5是表示空氣浮起運送裝置高度調(diào)整不充分的情況下的說明圖；圖6是表示空氣浮起運送裝置中增加來自全部噴嘴的空氣噴出量的情況的說明圖；
圖7是表示本發(fā)明的空氣浮起運送裝置的第四實施例的立體圖。
具體實施例方式
以下參照附圖詳細說明實施例。
(第一實施例)圖1是表示本發(fā)明的空氣浮起運送裝置的第一實施例的說明圖。在此，空氣浮起運送裝置從配置在平面基板10的下方的空氣浮起單元11噴出空氣將平面基板10浮起，并且由圖外的送給機構(gòu)向前方運送，位于平面基板10的運送方向A的前端的空氣浮起單元11的下游端附近11a設(shè)置增大平面基板10的浮起量的機構(gòu)即具有與平面基板10的運送方向A反向的流動成分的傾斜噴嘴12。
本實施例中，空氣浮起單元11具有朝上開設(shè)的多個垂直噴嘴13。從空氣供給管14向垂直噴嘴13一并提供空氣。另外，空氣浮起單元11的下游端附近11a設(shè)置的傾斜噴嘴12也同樣從空氣供給管14提供空氣。傾斜噴嘴12從空氣浮起單元11的下游端朝中央部噴出空氣。
下面說明以上構(gòu)成的空氣浮起運送裝置的動作和運送方法。首先，如圖1所示，在空氣浮起單元11的下游端設(shè)置傾斜噴嘴12，故向平面基板10的運送方向A的空氣流動被阻止，并且由反向的空氣流使其附近滯留的空氣量增加，平面基板10的前端向上升起L的量。因此，即使平面基板10的剛性小而產(chǎn)生撓曲或空氣浮起單元11的高度調(diào)整不充分，平面基板10在越過空氣浮起單元的間隙時也不會與空氣浮起單元11接觸而破損。另外，傾斜噴嘴12的空氣噴出量由于與垂直噴嘴13的空氣噴出量相同，故不會導(dǎo)致裝置整體的空氣消耗量的增加。
(第二實施例)另外，圖2是表示本發(fā)明的空氣浮起運送裝置的第二實施例的立體圖。該實施例中，如圖2所示在空氣浮起單元21的下游設(shè)有增大平面基板10的浮起量的機構(gòu)即分體的噴出噴嘴15。噴出噴嘴15從空氣浮起單元21的下游端朝中央部噴出空氣。
在具有上述那樣的結(jié)構(gòu)的空氣浮起運送裝置中，也是從空氣浮起單元21的下游端朝中央部噴出空氣，向平面基板10的運送反向A的空氣流動被阻止，由反向的空氣流使平面基板10的前端向上升起L的量。因此，即使平面基板10的剛性小而產(chǎn)生撓曲，或空氣浮起單元21的高度調(diào)整不充分，平面基板10在越過空氣浮起單元的間隙時也不會與空氣浮起單元21接觸而破損。另外，傾斜噴嘴15的空氣噴出量由于與垂直噴嘴13的空氣噴出量大致相同，故不會導(dǎo)致空氣消耗量的增加。另外，由于分體設(shè)置有噴出噴嘴15，故可自由調(diào)整噴出方向和噴出量。
(第三實施例)圖3表示本發(fā)明的空氣浮起運送裝置的第三實施例的說明圖。該實施例中，增大浮起量的機構(gòu)是設(shè)于空氣浮起單元31的下游端附近的空氣噴出量大的噴嘴30。噴嘴30與配置于空氣浮起單元31的空氣供給管32連通，垂直噴出空氣。另外，垂直噴嘴13也分別與空氣供給管32連通。另外，也可以代替空氣噴出量大的噴嘴30，增大垂直噴嘴13的配置密度，增大噴出空氣量。
其次，具有上述結(jié)構(gòu)的空氣浮起運送裝置在空氣浮起單元31的下游端噴出空氣量增加，故平面基板10的前端向上升起L的量。因此，即使平面基板10的剛性小而產(chǎn)生撓曲，或空氣浮起單元21的高度調(diào)整不充分，平面基板10在越過空氣浮起單元的間隙時也不會與空氣浮起單元21接觸而破損。
另外，與增大空氣浮起單元整體的空氣噴出量、整體增大平面基板10的浮起量的方法比較，可減少空氣消耗量。
另外，在本發(fā)明的第二實施例中，分體的噴出噴嘴15也可以是垂直噴出空氣的噴出空氣量大的噴嘴。
(第四實施例)圖7表示本發(fā)明的第四實施例。
該第四實施例中，在平面基板10的周圍的四個方向分別設(shè)置空氣浮起單元31，從這些空氣浮起單元31，從平面基板10的下面的外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)噴出空氣。
該第四實施例中，也能夠由噴出的空氣浮起平面基板10。
另外，在上述第一～第四實施例中，通過對多個空氣浮起單元的空氣的浮起力(空氣的風(fēng)量和/或壓力)賦予強弱，則例如柔性材料形成的被運送物可在彎成規(guī)定形狀的狀態(tài)下進行運送。
上面參照特定的實施例詳細記載和圖示了本發(fā)明，但是該記載并不意味著是對本發(fā)明的限定。即，圖示的實施例的各種變形和本發(fā)明的其他實施例可參照本發(fā)明的說明書被本領(lǐng)域技術(shù)人員知曉。因此，只要不脫離本發(fā)明權(quán)利要求書記載的發(fā)明范圍，可進行各種變更。
另外，本發(fā)明主張2005年2月9日在日本申請的專利申請第2005-033040號的優(yōu)先權(quán)，并援引其內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種空氣浮起單元，其從運送面噴出空氣而使被浮起物浮起，其特征在于，設(shè)置有從單元的運送面、從被浮起物的下面和單元端部朝中央部噴出空氣的噴嘴。
2.一種運送方法，其特征在于，在從運送面噴出空氣而使被浮起物浮起的浮起單元中，從單元的運送面、從被浮起物的下面和單元端部朝中央部噴出空氣，并運送被浮起物。
3.一種空氣浮起運送裝置，其從配置在平面基板的下方和/或側(cè)方的空氣浮起單元噴出空氣，使平面基板浮起，并由送給機構(gòu)向前方移送，其特征在于，位于上述平面基板的移送方向前端的空氣浮起單元的下游端附近設(shè)置增大上述平面基板的浮起量的機構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的空氣浮起運送裝置，其特征在于，上述增大浮起量的機構(gòu)是空氣噴出量大的噴嘴。
5.如權(quán)利要求3所述的空氣浮起運送裝置，其特征在于，上述增大浮起量的機構(gòu)是具有與上述平面基板的移送方向反向的流動成分的噴嘴。
6.如權(quán)利要求3所述的空氣浮起運送裝置，其特征在于，上述增大浮起量的機構(gòu)是從空氣浮起單元的下游端朝中央噴出空氣的噴嘴。
7.如權(quán)利要求3所述的空氣浮起運送裝置，其特征在于，上述增大浮起量的機構(gòu)是設(shè)于空氣浮起單元的下游端附近的獨立的噴出噴嘴。
8.如權(quán)利要求3所述的空氣浮起運送裝置，其特征在于，上述空氣浮起單元設(shè)置多個，該浮起單元的某一個的浮起力與其他浮起單元的浮起力不同。
全文摘要
一種空氣浮起運送裝置，從配置在平面基板的下方的空氣浮起單元噴出空氣，將平面基板浮起，并由送給機構(gòu)向前方移送，其中，位于上述平面基板的移送方向的前端的空氣浮起單元的下游端附近設(shè)置增大上述平面基板的浮起量的機構(gòu)。
文檔編號B65G49/06GK1817767SQ20061000430
公開日2006年8月16日 申請日期2006年2月6日 優(yōu)先權(quán)日2005年2月9日
發(fā)明者鈴木健介, 北澤保良 申請人:神鋼電機株式會社