專利名稱：氣態(tài)往復式封存裝置及方法
技術領域：
本發(fā)明是有關一種氣態(tài)封存的裝置及方法，特別是有關一種氣態(tài)往復式封存裝置及方法。
背景技術：
產業(yè)陷入尖端技術更迭追逐戰(zhàn)之際，除了技術本身上的提升外，外圍設備與環(huán)境的配合也成為產業(yè)整體持續(xù)進步的最大動力，而純水的應用范圍相當?shù)膹V泛，例如在生物技術產業(yè)、半導體產業(yè)等等。在生物技術產業(yè)中，多數(shù)的實驗與制造流程中，為了提供樣品的培養(yǎng)與產品產出的高品質，對所使用的清潔或是作為溶劑的水質，有細菌數(shù)目的控制、無重金屬污染的需求、不導電的電性特質等等高規(guī)格的特殊要求；另外，在半導體產業(yè)中，則由于半導體設計愈來愈趨向積集密度高的微小圖案組件發(fā)展，因此，晶圓表面的微小缺陷和微量雜質將更嚴重影響其性能，而這些缺陷會劣化組件的特性與可靠度，進而降低生產的良率，而晶圓表面污染不只損害晶圓基板與組件的品質，也導致微小圖案邊緣位置的偏差、氧化引起的堆積障礙、和氧化物崩潰缺陷等，更甚的是，在組件受到缺陷和污染合并的結果將導致嚴重的漏電流效應，對組件的損害可可說是十分嚴重。
因此，為了保持最終產品的品質，并提升生產線的良率，在制程中均是使用超高潔凈度的純水或是超純水以作為清潔之用，確保每一制程步驟中產品的潔凈度、化學穩(wěn)定度等特性，且隨著集成電路的集積度增加，對于所使用的純水或是超純水的新鮮度與純凈度要求亦相對地提高。
然而，就純水本身的特性而言，其為一種十分接近理論純水的液體，意即，在此液體中的內含成分是以氫離子與氫氧離子為最主要的組成，幾乎沒有任何電解質存在，故，純水的電性將隨著其純度的提高而漸趨向絕緣的特性，且除了微塵粒子外，任何有機物、細菌、二氧化硅以及其它雜質也將盡可能地被移除，因此，在這樣的高純度狀態(tài)下，純水是具有高溶解度的非飽和水(unsaturated water)，同時，也因為水的純度增加而使其更加容易產生靜電作用，因而，對于純水所直接接觸到的傳輸管路或儲存槽體的表面電性質，將會對其產生顯著的影響。基于上述純水的基本特性可得知，愈是高純度的水，其與周遭物質發(fā)生反應的活性愈強，因此，一般在儲存高純度水時，為了避免純水的純度與活性降低，最常見的保存方式即為使用惰性氣體封存，請參考圖1所示，是提供一種現(xiàn)有的惰性氣體封存純水的裝置示意圖，此封存裝置中包含一槽體10，在此槽體的下方具有一水泵11、一液位感應器12，而在槽體10的上方則連接有一氣體壓力檢測器13、一氣體補充閥門14、一液體補充泵15與一保護管路16，此保護管路16更連接一液封槽體17，并在保護管路16上，更設有簡易的壓力檢測裝置18，以供管理人員以目視來進行槽體10內部壓力的監(jiān)控。在儲存純水的槽體10上方注入一定量的惰性氣體以達到一設定的內部壓力值，通常此內部壓力會略高于外部的壓力，以避免外部氣體進入而使得純水與未經處理的空氣接觸，造成純度降低而影響其特征；每當自水泵11進行取用槽體10中的純水時，連接于槽體10外部的液位感應器12即檢測到液位發(fā)生下降的變化，同時，上方的氣體壓力檢測器13亦檢測到氣體壓力發(fā)生下降的變化，因而啟動氣體補充閥門14將持續(xù)增加槽體10中的惰性氣體量，直至槽體10的內部壓力恢復原有的微正壓值為止；然而，當液位感應器12感測到槽體10內部的液位降低至一低液位(未繪示于圖中)時，隨即啟動上方的液體補充泵15以進行純水的補充，隨著液位的上升，槽體10內部用以儲存惰性氣體的空間被擠壓的愈來愈小，為了維持槽體10內部的壓力恒定，被擠壓的惰性氣體可自槽體10上方的保護管路16排出至液封槽體17中，直到補充的純水液位到達設定的一高液位(未繪示于圖中)時，液位感應器12則會關閉液體補充泵15以停止純水的補充，然而，若此時的槽體10內部壓力略低于設定的微正壓值，則氣體壓力感應器13將再次通知氣體補充閥門14補充適量的惰性氣體，以維持槽體10內部的壓力。
另外，可在上述的槽體10的液位感應器12、液體補充泵15、氣體壓力感應器13或是氣體補充閥門14其中的任一或多個裝置發(fā)生失效，而引起槽體10內部壓力突然發(fā)巨變時，保護管體16除了可將過多的氣體排放出來，亦可在槽體10的內壓過低時，適時地將液封槽體17中的液體吸入，并將外界的空氣吸入，以破真空使得槽體10內、外壓達到平衡，進而保護槽體10。
綜合以上所述，當現(xiàn)有的惰性氣體封存裝置應用在對環(huán)境敏感度極高的純水保存時，即周而復始地以上述的作動進行純水的封存，因此，在每一次在取用純水時，便必須自外部補充某一特定體積的惰性氣體，而在補充純水時，又必須排除某一特定體積的惰性氣體至外部，甚至在最后微調整槽體內部壓力時，仍需再次補充或是排除部分惰性氣體，以達到最終的內壓設定值。而在純水使用率相當頻繁的產業(yè)中，如半導體產業(yè)生產制程中，為了保持產品的物理、化學、電性等性質，將純水應用在清潔晶圓或是其它組件的情況可說是用量頗大且操作頻繁，因而，在累積現(xiàn)有純水封存裝置的每一次作動后，將造成極大量的惰性氣體的浪費，不但是耗費了資源，更無謂地增加了生產成本。
有鑒于此，本發(fā)明是針對上述的問題，提出一種氣態(tài)往復式封存裝置及方法，透過往復式的操作方法以重復利用封存用氣體，使封存用氣體的用量得以大幅降低，最終，可達到節(jié)省生產制程成本的目標。

發(fā)明內容
本發(fā)明的主要目的，是提供一種氣態(tài)往復式封存裝置及方法，其是利用液位感應裝置以控制封存用的壓控液體，并配合具有可流通緩沖空間的封存用惰性氣體，使得裝置在進行被封存液體取用或補充的步驟時，得以在儲存槽體與緩沖槽體間進行往復式運動，提升惰性氣體的利用率，且降低惰性氣體的排放量以降低生產制程成本。
為達到上述目的，本發(fā)明包括一儲存槽體，其內部連通的第一上容置空間與第一下容置空間構成，在儲存槽體的下方是設置有一液位感應裝置，于儲存槽體的上方是利用一氣體管體與一緩沖槽體連接，緩沖槽體的內部是由連通的第二上容置空間與第二下容置空間構成，且在緩沖槽體的下方則是利用兩液體管體與一壓控液體控制裝置連接，于兩液體管體上分別設置有一輸出泵與一輸入泵。在儲存槽體中的第一下容置空間中存放有一液體，而惰性氣體則填充在第一上容置空間與第二上容置空間中，用以封存其下方的液體，在第二下容置空間中則存放有一壓控液體，此壓控液體是可通過由兩液體管體與流通于緩沖槽體與壓控液體控制裝置之間；此外，液體的補充可利用一液體輸入裝置以進行液體的注入，而惰性氣體的壓力則是為透過氣體壓力感應裝置以感測其壓力變化，并可利用氣體補充裝置與排放裝置以進行惰性氣體的更新。
另外，本發(fā)明更提供一種氣態(tài)往復式封存的方法，當液體正在進行取用時，首先，液體自儲存槽體流出造成其上方的惰性氣體流動至第一上容置空間內，使緩沖槽體內部壓力下降，同時，液位感應裝置感應到液位下降的變化，因此，發(fā)送一液壓信號至壓控液體控制裝置中，啟動液體管體上的輸出泵，以將壓控液體自壓控液體控制裝置輸送至緩沖槽體的第二下容置空間內，直到緩沖槽體的內部壓力恢復至原始設定的壓力值為止。而當液體正在進行補充時，首先，液體自液體輸入裝置輸送至儲存槽體內，因此，隨著液體的補充，其上方的惰性氣體自第一上容置空間流動至第二上容置空間中，使得緩沖槽體的內部壓力上升，同時，液壓感應裝置感應到液位上升的變化而發(fā)送一液壓信號至壓控液體控制裝置中，啟動令一氣體管體上的輸出泵，以將壓控液體自緩沖槽體輸送至壓控液體控制裝置，直到緩沖槽體的內部壓力恢復至原始設定的壓力值為止。利用本發(fā)明所提出于上述的裝置與方法，是可提供惰性氣體與壓控液體在不同液體液壓的變化狀態(tài)下，透過可流動于緩沖空間的方式，以達成調整裝置內部壓力至一恒定設定值的目的，可有效降低惰性氣體的用量，節(jié)省龐大的生產制程成本支出。
以下通過由具體實施例配合所附的圖式詳加說明，當更容易了解本發(fā)明的目的、技術內容、特點及其所達成的功效。


圖1為現(xiàn)有的氣態(tài)封存裝置示意圖；圖2為本發(fā)明的氣態(tài)往復式封存裝置架構示意圖；圖3(a)為本發(fā)明的氣態(tài)往復式封存裝置取用液體的操作流程圖；圖3(b)為本發(fā)明的氣態(tài)往復式封存裝置補充液體的操作流程圖。
圖號說明10槽體11水泵12液位感應器 13氣體壓力檢測器14液體補充閥門15液體補充泵
16氣體導出管路17液封槽體18壓力檢測裝置20儲存槽體201 第一上容置空間 202 第一下容置空間21液位感應裝置221 液體輸出裝置222 液體輸入裝置23氣體管體24緩沖槽體241 第二上容置空間242 第二下容置空間 25壓控液體控制裝置26壓控液體儲存槽體27輸出液體管體271 輸出泵 28輸入液體管體281 輸入泵 29殺菌裝置30保護管體31液封槽體32氣體壓力感應裝置33氣體補充裝置34氣體排放裝置50低液位控制接口51高液位控制接口具體實施方式
隨著科技的提升與進步，產品品質的要求也愈來愈嚴苛，除了必須不斷提升制造流程的生產良率外，維持良好的制造環(huán)境也是一項相當重要的課題，例如在生產過程中，時常使用到高純度的溶劑、溶液或是純水等高純度要求的液體，一般而言，為了在使用過程中保持其純度與新鮮度，經常是以惰性氣體封存的技術，以達到保鮮的目的，然而，雖然此方法確實可維持欲封存液體的純度與新鮮度，卻必須使用大量的惰性氣體以完成此目的，因此，本發(fā)明是提出一種氣態(tài)往復式封存的裝置及方法，透過類似呼吸的往復式作動，達到封存高純度的新鮮液體的目的。
在漸趨繁復的制程下，為了因應液體用量大幅增加而造成封存用的惰性氣體大量消耗的問題，本發(fā)明提出一種氣態(tài)往復式封存裝置及方法，請參考圖2所示的本發(fā)明的裝置架構示意圖，其是包含用以存放封存液體的儲存槽體20，其內是由連通的第一上、下容置空間201、202構成，在第一上、下容置空間201、202中分別存放有一定體積的惰性氣體與欲封存的液體，而另一槽體為緩沖槽體24，其內亦由連通的第二上、下容置空間241、242構成，在第二上、下容置空間241、242中則是分別存放有一定體積的惰性氣體與壓控液體，此緩沖槽體24利用氣體管體23與儲存槽體20相連接其內部的第一上容置空間201與第二上容置空間241，以提供惰性氣體流通的空間，另外，壓控液體控制裝置25與緩沖槽體24連接，其中，壓控液體控制裝置25包含有壓控液體儲存槽體26，其內儲存有壓控液體，并透過輸出液體管體27與輸入液體管體28與緩沖槽體24相連接，以達成壓控液體的傳輸。
由于為了保證儲存槽體20中的液體可隨時保持一定的儲存量，因此，液體的液位是設定有最低高度與最高高度的限制，即稱為低液位控制接口50(以粗短虛線表示)與高液位控制接口51(以粗長虛線表示)，而第二上容置空間241體積的設計，需至少為由此低液位控制接口50與高液位控制接口51所涵蓋總空間體積的兩倍，提供足夠的空間以存放足量的惰性氣體并使其可進行流動。
另外，本發(fā)明的裝置中亦設置有液體、氣體的壓力檢測與輸送的裝置設計，在儲存槽體20上設有液位感應裝置21、液體輸出裝置221、液體輸入裝置222、氣體補充裝置33、氣體壓力感應裝置32，在緩沖槽體24上設有保護管體30、氣體排放裝置34，而在壓控液體控制裝置25中的輸出液體管體27、輸入液體管體28上分別設置有輸出泵271與輸入泵281；其中，液體輸出裝置221與液體輸入裝置222是分別用以取出與補充欲封存的液體；液位感應裝置21是用以檢測欲封存液體的液位變化，并傳送相對應的液壓信號至輸出泵271或輸入泵281以調整壓控液體的輸送，此外，液體輸出裝置221與液體輸入裝置222，亦可透過液位感應裝置21加以控制其作動；氣體壓力感應裝置32是可檢測儲存槽體20與緩沖槽體24內部惰性氣體壓力的微壓變化，以準確地控制內部氣壓以達到設定的值；而氣體補充裝置33、氣體排放裝置34則可相互配合以進行惰性氣體的補充與排放，以更新惰性氣體使其可保持新鮮度。
除此之外，保護管體30更與一液封槽體31連接，其主要的功能是在儲存槽體20與緩沖槽體24的內部突然發(fā)生壓力驟變的狀況下，利用保護管體30、液封槽體31與外界的連通關系，可在緊急狀況發(fā)生時，平衡儲存槽體20與緩沖槽體24的內、外壓力；而另一功能則為利用液封槽體31將保護管體30接觸于外界的一終端，透過與液封液體接觸而得以密封整個保護管體30的管路，避免外部空氣進入緩沖槽體24中，造成儲存槽體20中的液體被污染。
另外，在輸入壓控液體至緩沖槽體24前，由壓控液體儲存槽體26流出的壓控液體更可透過殺菌裝置29，以控制輸入緩沖槽體24中的壓控液體的細菌含量，確保本裝置整體的潔凈度。
上述為本發(fā)明的裝置架構介紹，以下說明本發(fā)明的裝置取用液體的操作流程，此操作流程圖是如圖3(a)所示，在此，請同時參考圖2與圖3(a)所示，在步驟S01中，于儲存槽體20中，液體自液體輸出裝置221取出；在步驟S02中，在液體上方的惰性氣體隨即從緩沖槽體24流動至儲存槽體20，同時，液位感應裝置21檢測到液位的下降而產生液壓信號并傳送至輸出泵271(信號傳輸電路未繪示于圖中)；在步驟S03中，輸出泵271接收到液壓信號后隨即啟動以補充適量的壓控液體，使其自壓控液體儲存槽體26流至緩沖槽體24中，輸入緩沖槽體24的壓控液體量則是隨著取出的液體量而隨的調整，當壓控液體流入緩沖槽體24時，儲存槽體20與緩沖槽體24內部的壓力逐漸回復至原始的設定值；在步驟S04中，當儲存槽體20與緩沖槽體24的內部壓力已達到設定值時，液位感應裝置21不再送出液壓信號，因此，輸出泵271立刻停止作動而不再輸送壓控液體至緩沖槽體24中。
另外，于上述的操作步驟S03流程中，當輸出泵271將壓控液體自壓控液體儲存槽體26內輸出至緩沖槽體24時，為了避免污染儲存槽體20與緩沖槽體24中的惰性氣體與儲存液體，更可將欲送入緩沖槽體24內的壓控液體先經過殺菌裝置29，例如可利用紫外線殺菌裝置，先將流經過的壓控液體進行殺菌步驟后，再將殺菌完畢的壓控液體送入至緩沖槽體24內。
詳述完本發(fā)明的裝置取用液體的操作流程后，以下將再接續(xù)介紹本發(fā)明的裝置補充液體的操作流程，流程圖式是繪示于圖3(b)，為了更完整說明此操作流程，仍請同時參考圖2與圖3(b)所示，在步驟S11中，當液位感應裝置21檢測到液體的液位低于設定的低液位控制接口50時，即表示壓降信號是為低液位控制點，此時經由液體輸入裝置222自動將液體輸入至儲存槽體20內；在步驟S12中，液體上方的惰性氣體因為受到擠壓而由儲存槽體20流動至緩沖槽體24；在步驟S13中，液位感應裝置21將液壓信號傳送至輸入泵281(信號傳輸電路未繪示于圖中)，以開啟輸入泵281的作動，以抽取緩沖槽體24內的壓控液體并回傳至壓控液體儲存槽體26，以維持儲存槽體20與緩沖槽體24內部的壓力；在步驟S14中，當補充的液體液位回復至設定的高液位控制接口51時，即表示壓降信號是為高液位控制點，液體輸入裝置222將停止注入液體于儲存槽體20中，并且，因為液位感應裝置21所檢測到的液位已無發(fā)生變化，因此，液位感應裝置21不再送出液壓信號，輸入泵281亦立刻關閉，不再進行抽取緩沖槽體24中壓控液體的作動。
由此可觀察出本發(fā)明的氣態(tài)往復式封存裝置及方法，是可提供高惰性氣體利用率的氣態(tài)封存是統(tǒng)，同時，更再重復利用的操作流程中兼顧了封存裝置內部的潔凈度。然而，重復使用了一段時間的惰性氣體仍需定期進行更新，以確保封存的效果，因此，在本發(fā)明中亦針對惰性氣體的更換部分，設計一套氣體更換的裝置，請再次參考圖2所示，其中，在緩沖槽體24上裝設保護管體30與氣體排放裝置34，且同時配合位于儲存槽體20上的氣體補充裝置33，氣體排放裝置34可以手動開啟或設定為定期開啟的模式，以排放儲存槽體20與緩沖槽體24內一定體積的惰性氣體，并配合氣體補充裝置33以填充新鮮的惰性氣體進入儲存槽體20與緩沖槽體24中，同時，利用設置在儲存槽體20的氣體壓力感應裝置32以檢測并控制惰性氣體的壓力，一般而言，惰性氣體的壓力通常會設定于略高于室壓以使裝置內部呈現(xiàn)微正壓的狀態(tài)，如此即可避免外界空氣流入裝置內部而造成液體的污染，且為了提高氣體壓力檢測的精準度，氣體壓力感應裝置32可采用高靈敏度的微壓型氣壓感應器。另外，在上述的儲存槽體20、緩沖槽體24上所設置的液位感應裝置21、液體輸出裝置221、液體輸入裝置222、氣體補充裝置33、氣體壓力感應裝置32、氣體排放裝置34中，若其中的任一或多個裝置發(fā)生失效，而造成儲存槽體20或緩沖槽體24的內部壓力突然發(fā)巨變時，保護管體30除了可將過多的氣體排放出來，亦可在儲存槽體20或緩沖槽體24的內壓過低時，適時地將液封槽體31中的液體吸入，并在液封槽體31中的液體到達低液位時，將外界的空氣吸入以破真空使得儲存槽體20或緩沖槽體24內、外壓達到平衡，進而保護儲存槽體20或緩沖槽體24的結構不致因內、外壓力的差異而遭受損壞。然而，上述的保護管體30、氣體補充裝置33、氣體排放裝置34、氣體壓力感應裝置32所設置的位置是可任意裝設在儲存槽體20上或是緩沖槽體24上，均可達到相同的功效。
依據上述所揭示本發(fā)明的裝置架構與操作流程可知，本發(fā)明所提供的氣態(tài)往復式封存裝置及方法是在維持高潔凈度的要求下，有效地利用壓控液體在緩沖槽體與壓控液體控制裝置間適時地輸入與輸出，以達到重復利用惰性氣體的目的，并同時使被封存的液體得以獲得良好的封存效果。因此，本發(fā)明所具有的效益在使用純水相當頻繁的產業(yè)中，像是生物技術產業(yè)、半導體產業(yè)等，尤更可利用本發(fā)明所揭露以壓控液體進行儲存槽體與緩沖槽體內部壓力的控制裝置與方法，而達成反復使用惰性氣體，以提高惰性氣體的利用率并節(jié)省下龐大生產制程成本的支出。
以上所述是通過由實施例說明本發(fā)明的特點，其目的在使熟習該技術者能暸解本發(fā)明的內容并據以實施，而非限定本發(fā)明的專利范圍，故，凡其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神所完成的等效修飾或修改，仍應包含在以下所述的申請專利范圍中。
權利要求
1.一種氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，包括至少一儲存槽體，其內是以連通的一第一上容置空間與一第一下容置空間構成，且該第一上、下方容置空間是分別儲存一惰性氣體與一液體；至少一液位感應裝置，其是與該儲存槽體連接，該液位感應裝置是用以感應該儲存槽體內的該液體的液位并可產生相對應的一液壓信號；至少一緩沖槽體，其是與該儲存槽體連接，該緩沖槽體是以連通的一第二上容置空間與一第二下容置空間構成，且該第二上、下容置空間是分別儲存該惰性氣體與一壓控液體，該惰性氣體是隨該液壓信號的變化，而流通于該第一上容置空間與第二上容置空間之間；以及一壓控液體控制裝置，其是與該緩沖槽體相連接，該壓控液體控制裝置依據該液壓信號，以與該第二下容置空間進行該壓控液體的傳輸。
2.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該液位感應裝置是為壓差式液位感應器。
3.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該第一上容置空間與該第二上容置空間是透過一氣體管體以連接。
4.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該緩沖槽體更與一氣體接收槽體連接，該氣體接收槽體中是存放有水以接收來自該緩沖槽體排出的微量該惰性氣體。
5.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該壓控液體控制裝置與該緩沖槽體是透過至少二液體管體以連接。
6.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該壓控液體控制裝置是更包含至少一壓控液體儲存槽體，其是用以產生或暫存該壓控液體；至少一輸出泵，其是與該壓控液體儲存槽體連接，該輸出泵是在該儲存槽體內的該液壓信號降低時，將該壓控液體自該壓控液體控制裝置輸送至該緩沖槽體內；以及至少一輸入泵，其是與該壓控液體儲存槽體連接，該輸入泵是在該儲存槽體內的該液壓信號上升時，將該壓控液體自該緩沖槽體輸送至該壓控液體控制裝置內。
7.如權利要求6所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該輸出泵是為變頻控制泵。
8.如權利要求6所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該輸入泵是為變頻控制泵。
9.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該液體管體更包含一輸出液體管體與一輸入液體管體。
10.如權利要求9所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該輸出液體管體上是設置有該輸出泵。
11.如權利要求9所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該輸出液體管體上在該輸出泵與該緩沖槽體間設置一殺菌裝置。
12.如權利要求11所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該殺菌裝置是為紫外線殺菌裝置。
13.如權利要求9所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該輸入液體管體上是設置有該輸入泵。
14.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該液位感應裝置是分別與該輸出泵、該輸入泵電連接，且該輸出泵與該輸入泵是接收該液壓信號，以執(zhí)行該等壓控液體泵的開關作動。
15.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該液體的液位是介于一低液位控制接口與一高液位控制接口之間。
16.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該第二上容置空間的總體積應至少為該低液位控制接口與該高液位控制接口間所涵蓋的總體積的兩倍。
17.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該儲存槽體更設有一液體輸出裝置，用以供給該液體至外界。
18.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該儲存槽體更設有一液體輸入裝置，用以將該液體自外界輸入至該儲存槽體內。
19.如權利要求18所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述當該液體的液位下降至該低液位控制接口時，該儲存槽體是透過外接的該液體輸入裝置以補充該液體，直到該液體的液面回復至該高液位控制接口為止。
20.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該儲存槽體更可設置一氣體壓力感應裝置，其是用以檢測該惰性氣體的一氣體壓力。
21.如權利要求20所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該氣體壓力感應裝置是為微壓型氣壓感應器。
22.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該儲存槽體設置一氣體補充裝置，其是依據該氣體壓力與一設定氣體壓力之間的差異，以補充該惰性氣體。
23.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該緩沖槽體是設置有一氣體排放裝置，其是為手動設定或自動設定該惰性氣體的排放周期。
24.如權利要求1或22所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該氣體補充裝置設置于該緩沖槽體。
25.如權利要求1或23所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該氣體排放裝置設置于該儲存槽體。
26.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該緩沖槽體是設置有一保護管體，其是與一液封槽體連接，該保護管體是進行該儲存槽體與該緩沖槽體內部壓力的調節(jié)。
27.如權利要求1或20所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該氣體壓力感應裝置設置于該緩沖槽體上，其是用以檢測該惰性氣體的該氣體壓力。
28.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該惰性氣體是為氮氣。
29.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該液體為純水或超純水。
30.如權利要求1所述的氣態(tài)往復式封存裝置，其特征在于，所述該壓控液體為逆滲透水。
31.一種如權利要求1所述氣態(tài)往復式封存裝置的封存方法，其特征在于，步驟包括當改變該液體的存量時，通過由連接于該儲存槽體的該液位感應裝置以檢測液壓并產生該液壓信號；透過該液位感應裝置傳送該液壓信號至該壓控液體控制裝置，該壓控液體控制裝置是依據該液壓信號，以與該第二下容置空間進行該壓控液體的傳輸；以及配合該壓控液體的傳輸，使該第二上容置空間內該惰性氣體產生流動，以維持該儲存槽體與該緩沖槽體內部壓力的恒定。
32.如權利要求31所述的氣態(tài)往復式封存方法，其特征在于，所述該壓控液體控制裝置是更包含至少一壓控液體儲存槽體，其是用以產生或暫存該壓控液體；至少一輸出泵，其是與該壓控液體儲存槽體連接，該輸出泵是在該儲存槽體內的該液壓信號降低時，將該壓控液體自該壓控液體控制裝置輸送至該緩沖槽體內；以及至少一輸入泵，其是與該壓控液體儲存槽體連接，該輸入泵是在該儲存槽體內的該液壓信號上升時，將該壓控液體自該緩沖槽體輸送至該壓控液體控制裝置內。
33.如權利要求32所述的氣態(tài)往復式封存方法，其特征在于，所述該輸出泵的運作步驟更包含取出該液體，使該液位感應裝置檢測該液壓信號為一液壓降低信號，并透過該液位感應裝置傳送該液壓降低信號至該輸出泵；當該輸出泵接收到該液壓降低信號時，該輸出泵是被啟動，以將該壓控液體儲存槽體中的該壓控液體輸送至該第二下容置空間；隨著該壓控液體逐漸進入至該第二下容置空間，經由該管體，將該第二上容置空間中的該惰性氣體輸送至該第一上容置空間中；以及當該液壓降低信號回復至一設定液壓值時，該液位感應裝置將停止輸出信號，該輸出泵亦停止輸送該壓控液體至該第二下容置空間。
34.如權利要求33所述的氣態(tài)往復式封存方法，其特征在于，所述該液壓降低信號是不小于一低液位控制點。
35.如權利要求32所述的氣態(tài)往復式封存方法，其特征在于，所述該輸入泵的運作步驟更包含輸入該液體，使該液位感應裝置檢測該液壓信號為一液壓上升信號，并透過該液位感應裝置傳送該液壓上升信號至該輸入泵；當該輸入泵接收到該液壓上升信號時，該輸入泵是被啟動，以將該壓控液體自該第二下容置空間內輸送至該壓控液體儲存槽體中；隨著該壓控液體逐漸進入至該壓控液體儲存槽體，經由該管體，將該第一上容置空間中的該惰性氣體輸送至該第二上容置空間中；以及當該液壓上升信號回復至該設定液壓值時，該液位感應裝置將停止輸出信號，該輸入泵亦停止輸送該壓控液體至該壓控液體儲存槽體。
36.如權利要求35所述的氣態(tài)往復式封存方法，其特征在于，所述該液壓上升信號是不大于一高液位控制點。
37.如權利要求34所述的氣態(tài)往復式封存方法，其特征在于，所述該壓控液體流經該輸出泵后，經過一殺菌步驟而進入該緩沖槽體。
38.如權利要求37所述的氣態(tài)往復式封存方法，其特征在于，所述該殺菌步驟是利用紫外線以完成殺菌。
39.如權利要求31所述的氣態(tài)往復式封存方法，其特征在于，所述利用該液壓信號以執(zhí)行該輸出泵與該輸入泵的開關作動。
40.如權利要求31所述的氣態(tài)往復式封存方法，其特征在于，所述，檢測該惰性氣體的氣體壓力，是為該惰性氣體在該儲存槽體與該緩沖槽體的氣體壓力總和，且檢測該惰性氣體的氣體壓力是可在該儲存槽體或該緩沖槽體執(zhí)行。
41.如權利要求31所述的氣態(tài)往復式封存方法，其特征在于，所述進行補充該惰性氣體是在該儲存槽體或該緩沖槽體執(zhí)行。
42.如權利要求31所述的氣態(tài)往復式封存方法，其特征在于，所述進行排放該惰性氣體是在該儲存槽體或該緩沖槽體執(zhí)行。
全文摘要
本發(fā)明一種氣態(tài)往復式封存裝置及方法，其是加設一壓控液體控制裝置與一緩沖槽體，利用壓控液體控制裝置以隨著取用或補充液體時的液位變化所造成的壓力改變而進行傳輸壓控液體，同時，配合緩沖槽體提供適當?shù)木彌_空間，以使封存的惰性氣體得以在緩沖空間中流通，而達到調整裝置內部壓力的目的。因此，通過本發(fā)明的氣態(tài)往復式封存裝置及方法，可使頻繁應用被封存的液體的生產制程節(jié)省下大量的惰性氣體用量，提升惰性氣體的利用率，并降低生產制程的成本。
文檔編號B67D7/00GK101033056SQ20061005817
公開日2007年9月12日 申請日期2006年3月8日 優(yōu)先權日2006年3月8日
發(fā)明者鄭宗杰 申請人:中美矽晶制品股份有限公司