專利名稱：單片存放容器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于存放半導(dǎo)體晶片、存儲光盤、液晶玻璃基板等薄板、并在保管、輸送、加工等過程中使用的單片存放容器。
背景技術(shù)：
一種用于存放半導(dǎo)體晶片等薄板、并保管、輸送等的單片存放容器已廣為人知。作為該單片存放容器的一個(gè)實(shí)例，特表平5-508747號文獻(xiàn)中披露了一種機(jī)器人用包裝件。該機(jī)器人用包裝件中包括用于存放晶片的倉。將晶片插入到該倉內(nèi)進(jìn)行保管、輸送等作業(yè)。
而且，還有一種包括淺盤狀的容器主體和蓋體的單片存放容器。
但是，對于上述機(jī)器人用包裝件，不容易從倉中取出、放入晶片，所以作業(yè)性差。
對此，對于包括淺盤狀的容器主體和蓋體的單片存放容器，相比較上述機(jī)器人用包裝件而言，晶片的取出、放入更為容易，但是，這時(shí)，仍需要從上方取出晶片。對于盤狀的容器主體，在已存放的晶片的周圍有容器主體的壁部，故無法從橫向插入輸送裝置的真空鑷子。由此，存在必須從上方取出晶片、其作業(yè)性差的技術(shù)缺陷。
此外，如果擴(kuò)大晶片的尺寸，那么從強(qiáng)度上來考慮的話，不容易做到僅支承晶片的周邊部、并將其向上方拿起，因此，這點(diǎn)也帶來了作業(yè)性差的技術(shù)缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述技術(shù)缺陷，本發(fā)明提供一種使已存放的晶片的取出、放入更為容易的單片存放容器。
因此，根據(jù)本發(fā)明的單片存放容器包括容器主體，在內(nèi)部存放有一張薄板；以及蓋體，安裝于該容器主體上。上述容器主體包括放置上述薄板的底板部、以及形成于該底板部的周圍的四周壁部，并且，上述底板部通過隆起到高于上述四周壁部的位置而形成，而且，上述蓋體包括頂板部，從上側(cè)覆蓋放置于上述容器主體的底板部上的上述薄板；以及四周壁部，設(shè)置于該頂板部的周圍，用于形成存放上述薄板的空間。
通過使上述底板部隆起到高于上述周壁部的位置而形成，從而清除了放置于上述底板部上的上述薄板周圍的妨礙物。這樣，可從橫向?qū)⑤斔脱b置的真空鑷子等插入到薄板的下側(cè)并抬起。
在上述容器主體的底板部，優(yōu)選包括多個(gè)薄板支承凸條，用于以上述薄板與上述底板部之間留出間隙的狀態(tài)支承上述薄板。
由此，可將輸送裝置的真空鑷子等插入上述薄板和底板部之間的間隙中，從而拿起薄板。
這樣，在根據(jù)本發(fā)明的單片存放容器中，即使是直徑較大的薄板，仍可容易地從該單片存放容器中取出、放入，并可靠地支承該薄板。


圖1為以剖面狀態(tài)示出本發(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的立體圖；圖2為從鉤側(cè)示出本發(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的立體圖；圖3為從合葉側(cè)示出本發(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的立體圖；圖4為表示本發(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的容器主體的立體圖；圖5為表示本發(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的容器主體的主要部分的正視圖；圖6為從里面示出本發(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的容器主體的立體圖；圖7為表示在本發(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的容器主體上放置有半導(dǎo)體晶片的狀態(tài)的立體圖；圖8為以剖面狀態(tài)示出在本發(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的容器主體上放置有半導(dǎo)體晶片的狀態(tài)的立體圖；圖9為表示本發(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的容器主體的主要部分的放大立體圖；圖10為從正面?zhèn)仁境霰景l(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的合葉的立體圖；
圖11為從里面?zhèn)仁境霰景l(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的合葉的立體圖；圖12為從正面?zhèn)仁境霰景l(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的鉤的立體圖；圖13為從里面?zhèn)仁境霰景l(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的鉤的立體圖；圖14為從上側(cè)示出本發(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的蓋體的立體圖；圖15為從下側(cè)示出本發(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的蓋體的立體圖；圖16為從上側(cè)示出本發(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的保持架的立體圖；圖17為從下側(cè)示出本發(fā)明實(shí)施例涉及的單片存放容器的保持架的立體圖。
具體實(shí)施例方式
下面根據(jù)附圖，對本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行描述。本發(fā)明的單片存放容器是用于存放直徑較大的半導(dǎo)體晶片等薄板、并對其進(jìn)行保管、輸送等容器。
如圖1～3所示，單片存放容器1主要包括容器主體2和蓋體3，形成使四個(gè)角部為圓弧狀的四邊形狀。該容器主體2和蓋體3由非帶電性的透明高分子材料形成。由于其非帶電性，從而防止吸附灰塵等。而且，由于采用透明高分子材料，所以可確認(rèn)內(nèi)部的狀態(tài)。另外，對于容器主體2和蓋體3，除兩者均由非帶電性的高分子材料形成的情況以外，也可以只是其中的任一個(gè)由非帶電性的高分子材料形成。而且，除兩者均由透明高分子材料形成的情況以外，也可以只是蓋體3由透明高分子材料形成。只要至少蓋體3由透明高分子材料形成，就可確認(rèn)內(nèi)部的狀態(tài)。
容器主體2是用于存放作為薄板的一張半導(dǎo)體晶片4的部件。如圖4～9所示，該容器主體2包括放置半導(dǎo)體晶片4的底板部5、以及形成于該底板部5周圍的四周壁部6。
底板部5是用于支承存放的半導(dǎo)體晶片4的部分。該底板部5通過隆起到高于四周壁部6的位置而形成。其目的在于，在將半導(dǎo)體晶片4放置于底板部5時(shí)以及取出放置于底板部5上的半導(dǎo)體晶片4時(shí)，不使四周壁部6妨礙動作。即，其目的在于在將由輸送裝置的真空鑷子(圖中未示出)等保持的半導(dǎo)體晶片4放置于底板部5上后，從該半導(dǎo)體晶片4和底板部5之間，沿橫向抽出真空鑷子等，或從放置于底板部5上的半導(dǎo)體晶片4的橫向?qū)⒄婵砧囎拥炔迦朐摪雽?dǎo)體晶片4的下側(cè)，再將其拿起時(shí)，不使四周壁部6造成妨礙。
在底板部5的上側(cè)面，設(shè)置薄板支承凸條8和卡合片9。
該薄板支承凸條8是用于以在半導(dǎo)體晶片4和底板部5之間留出空隙的狀態(tài)支承半導(dǎo)體晶片4的部件。多根(在本實(shí)施例中，為8根)薄板支承凸條8設(shè)置于底板部5的周邊部。各薄板支承凸條8從底板部5的周邊部朝著中心延伸成輻射狀而形成。該薄板支承凸條8形成從底板部5的周邊部朝著中心變細(xì)的楔狀。而且，為使朝向與半導(dǎo)體晶片4接觸的部分變細(xì)，薄板支承凸條8的圓周方向的截面形狀形成大致三角形狀。由于使該薄板支承凸條8的截面形狀大致為三角形狀，所以，可與半導(dǎo)體晶片4的周邊部實(shí)現(xiàn)點(diǎn)接觸。而且，該接觸部分除點(diǎn)接觸以外，也可為線接觸或面接觸。在考慮該薄板支承凸條8的形狀、半導(dǎo)體晶片4的尺寸、以及所要求的強(qiáng)度等因素的基礎(chǔ)上，為了以盡可能最小的面積接觸而設(shè)定薄板支承凸條8的形狀。
由此，在薄板支承凸條8上，產(chǎn)生使作用于半導(dǎo)體晶片4的力均勻、且在半導(dǎo)體晶片4上作用均勻的保持力的效果。其原因如下。首先，薄板支承凸條8具有與保持架24相互配合、使半導(dǎo)體晶片4放置于底板部5的中心的功能。即，由于使薄板支承凸條8形成楔狀并傾斜，所以，當(dāng)將半導(dǎo)體晶片4的周邊部放置于該薄板支承凸條8時(shí)，則在該半導(dǎo)體晶片4上作用有向底板部5的中心方向移動的力。而且，通過保持架24，也在半導(dǎo)體晶片4上作用向底板部5的中心方向移動的力。該保持架24將半導(dǎo)體晶片4的周邊部向下方和徑向內(nèi)側(cè)方向推壓，但是其中向下方推壓的力作用于放置于薄板支承凸條8的楔狀傾斜部分上的半導(dǎo)體晶片4的周邊部上，所以，產(chǎn)生將半導(dǎo)體晶片4朝向底板部5的中心方向推壓的力。而且，如果半導(dǎo)體晶片4離開該保持架24，則該力變小，如果接近該保持架24，則該力變大。保持架24本身具有的、將半導(dǎo)體晶片4朝徑向內(nèi)側(cè)方向推壓的力也是同樣。另一方面，由于薄板支承凸條8和半導(dǎo)體晶片4的接觸面積小，摩擦阻力也小，故半導(dǎo)體晶片4可容易地通過上述推壓力而移動。由此，半導(dǎo)體晶片4通過設(shè)置于其周圍的多個(gè)保持架24和薄板支承凸條8，移動到推壓力平衡的位置。
其結(jié)果是，通過上述保持架24本身和薄板支承凸條8本身所具有的朝徑向內(nèi)側(cè)方向的推壓力、以及保持架24和薄板支承凸條8共同作用而產(chǎn)生的朝徑向內(nèi)側(cè)方向的推壓力，使半導(dǎo)體晶片4移到底板部5的中心時(shí)平衡，并使作用于半導(dǎo)體晶片4上的力均勻，從而在半導(dǎo)體晶片4上作用均勻的保持力。因此，在薄板支承凸條8上，由于與保持架24的共同作用而產(chǎn)生通過使作用于半導(dǎo)體晶片4的力均勻而在半導(dǎo)體晶片4上作用均勻的保持力的效果。
在四邊形的底板部5的各條邊上各設(shè)有兩根薄板支承凸條8。相鄰的兩個(gè)薄板支承凸條8間隔被設(shè)定成比輸送裝置的真空鑷子等還寬的間距。由此，輸送裝置的真空鑷子從相鄰的兩根薄板支承凸條8之間通過，進(jìn)行半導(dǎo)體晶片4的取出、放入。而且，雖然在底板部5的周邊部上設(shè)有八根薄板支承凸條8，但是，在不妨礙真空鑷子進(jìn)出的范圍內(nèi)，也可設(shè)置小于等于七根或大于等于九根的薄板支承凸條。而且，雖然薄板支承凸條8設(shè)置于底板部5的周邊部附近，但是，在不妨礙真空鑷子的進(jìn)出的范圍內(nèi)，也可設(shè)置于整個(gè)底板部5上。
卡合片9是用于抵靠放置于各薄板支承凸條8上的半導(dǎo)體晶片4的周邊部以防止半導(dǎo)體晶片4的橫向滑動的部件。該卡合片9設(shè)置于薄板支承凸條8的端部。該卡合片9設(shè)置在比放置于薄板支承凸條8上的半導(dǎo)體晶片4的外徑稍大的圓周上的位置。而且，卡合片9的抵靠面沿半導(dǎo)體晶片4的周邊彎曲地形成。在半導(dǎo)體晶片4橫向滑動的情況下，該卡合片9的彎曲的抵靠面與半導(dǎo)體晶片4的周邊部抵靠，從而防止橫向滑動。
底板部5被設(shè)置成其中間部的壁厚大于周邊部的壁厚。其目的在于確保底板部5所要求的強(qiáng)度，并設(shè)定成與所要求的強(qiáng)度相對應(yīng)的壁厚。而且，也可隨著壁厚的變化彎曲并形成圓錐狀等形狀。比如，使中心位置的最大壁厚為5mm、周邊部的最小壁厚為2mm，這樣，通過使其壁厚平緩地變化而構(gòu)成底板部5。此時(shí)，根據(jù)需要，伴隨壁厚的變化而彎曲并形成圓錐狀等形狀。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，可形成為在確保所要求的強(qiáng)度的狀態(tài)下，省略底板部5里面的加強(qiáng)筋，并且沒有凹凸部分，從而容易清洗、且不易存留液體的良好的形狀。即，實(shí)現(xiàn)了清洗效率的提高。
如圖9所示，四周壁部6通過從底板部5的周邊部向下方下垂而形成。四周壁部6通過設(shè)有兩級階梯部而形成。在第一級6A的階梯部的頂面，在整個(gè)一周的范圍內(nèi)設(shè)有密封槽12，在該密封槽12中安裝有密封件13。通過將蓋體3覆蓋于容器主體2上，蓋體3的四周壁部22的第一級22A中的階梯的下面抵靠密封件13，將該密封件13壓癟，于是，嚴(yán)密地密封單片存放容器1的內(nèi)部。該四周壁部6的第一級6A構(gòu)成與后述的蓋體3的凹狀配合部(22B)配合的凸?fàn)钆浜喜俊?br> 第二級6B構(gòu)成與后述的蓋體3的凸?fàn)钆浜喜?22A)配合的凹狀配合部。如圖4～圖7所示，在第二級6B的階梯部，設(shè)置有合葉安裝部15、和鉤安裝部16。在該合葉安裝部15上，裝配相對于容器主體2可旋轉(zhuǎn)地支承蓋體3的后述的合葉17。該合葉安裝部15由與后述的合葉17的安裝片17A基本相同的尺寸形成的凹部構(gòu)成。合葉17的安裝片17A裝配在該合葉安裝部15中，并牢固地連接。
鉤安裝部16是用于裝配后述的鉤18的凹部。將鉤18裝配在該鉤安裝部16和后述的蓋體3的鉤安裝部29之間，從而將蓋體3固定于容器主體2上。該鉤安裝部16由以基本與鉤18相同的尺寸形成的凹部構(gòu)成。通過將容器主體2的鉤安裝部16和蓋體3的鉤安裝部29對合，形成與鉤18基本相同的形狀的凹部。在鉤安裝部16的兩側(cè)壁，設(shè)有圓柱狀的裝配突起19。該裝配突起19與后述的鉤18的安裝凹部18B配合，從而將容器主體2和蓋體3固定。
如圖10和圖11所示，合葉17包括二個(gè)安裝片17A、17B、以及各安裝片17A、17B之間的薄壁部17C。各安裝片17A、17B是用于分別與各合葉安裝部15、28配合并將容器主體2和蓋體3相互連接的部件。薄壁部17C是用于去掉滑動部分后防止灰塵等產(chǎn)生、并以可轉(zhuǎn)動地支承蓋體3的部件。
在蓋體3相對于容器主體2為90～180度的開啟角時(shí)，合葉17可與蓋體3和容器主體2分離，或與它們接合。具體來說，在蓋體3相對于容器主體2的開啟角為90～180度時(shí)，合葉17可相對于容器主體2和蓋體3的各合葉安裝部15、28進(jìn)行裝卸。在合葉17發(fā)生破損等情況下，更換為新的合葉17。即，在合葉17發(fā)生破損等情況下，只需對該合葉17進(jìn)行部件更換即可。
鉤18是用于通過分別裝配在容器主體2的鉤安裝部16和蓋體3的鉤安裝部29中而將容器主體2和蓋體3相互連接的部件。如圖12和圖13所示，鉤18包括主體部18A、安裝凹部18B、以及把手部18C構(gòu)成。主體部18A形成大致四邊形板狀，可以裝配在容器主體2的鉤安裝部16和蓋體3的鉤安裝部29形成的四方形的凹部。
安裝凹部18B是用于通過與各鉤安裝部16、29的各裝配突起19、30配合而將蓋體3固定于容器主體2側(cè)的部件。該安裝凹部18B包括旋轉(zhuǎn)用安裝凹部18B1、和連接用安裝凹部18B2。旋轉(zhuǎn)用安裝凹部18B1是用于通過與安裝突起19、30配合而可旋轉(zhuǎn)地支承鉤18的部分。該旋轉(zhuǎn)用安裝凹部18B1的內(nèi)側(cè)面形狀呈圓弧狀，并且在其兩端部設(shè)置有延展部20，在與裝配突起19、30配合的狀態(tài)下很難脫出。由此，將鉤18可旋轉(zhuǎn)地安裝于容器主體2側(cè)。
連接用安裝凹部18B2是用于在將蓋體3固定于容器主體2上時(shí)，與裝配突起19、30配合，并且在打開蓋體3時(shí)，從裝配突起19、30脫離的部分。由于該連接用安裝凹部18B2相對于裝配突起19、30可容易地安裝、脫離，同時(shí)必須將蓋體3牢固地固定于容器主體2上，所以，僅僅在外側(cè)面(圖12的上側(cè)面)設(shè)置延展部20。使內(nèi)側(cè)面為平坦面形狀，從而不會妨礙裝配突起19、30的進(jìn)出。由此，當(dāng)沿蓋體3相對容器主體2打開的方向施加作用力時(shí)，防止延展部20從外側(cè)覆蓋著支承裝配突起19、30而使鉤18脫開。而且，在安裝、取下鉤18時(shí)，只是僅設(shè)置于一方的延展部20對裝配突起19、30造成輕微妨礙，故以較小的力就可以容易地進(jìn)行安裝、取下。
把手部18C是在安裝、取下鉤18時(shí)用于手指把持的部分。用手指把持該把手部18C，使連接用安裝凹部18B2與裝配突起19、30配合，從而或?qū)⑸w體3固定于容器主體2上，或從裝配突起19、30上拆下連接用安裝凹部18B2，打開蓋體3。
而且，鉤18既可朝上安裝上述把手部18C，也可朝下安裝該把手部18C。
如圖14和圖15所示，蓋體3形成大致與容器主體2相同的形狀。由此，在將單片存放容器1疊置時(shí)，上側(cè)的單片存放容器1的容器主體2嵌入下側(cè)的單片存放容器1的蓋體3，從而可穩(wěn)定而緊湊地疊置。比如，在本實(shí)施例的單片存放容器1的一個(gè)實(shí)例中，在整體高度為41mm時(shí)，2層疊置后則為76mm。相反，在現(xiàn)有的單片存放容器中，在單片存放容器的整體高度為49.5mm時(shí)，2層疊置后則為90mm。由此，如果疊置的張數(shù)增加，則與現(xiàn)有技術(shù)相比較，可大幅度地減小疊置高度。
蓋體3具體包括頂板部21、四周壁部22、以及蓋體導(dǎo)向件23構(gòu)成。該頂板部21是用于從上側(cè)覆蓋放置于容器主體2的底板部5上的半導(dǎo)體晶片4的部件。該頂板部21與底板部5同樣，使其中間部的壁厚大于周邊部的壁厚。這樣構(gòu)成的目的在于確保頂板部21所要求的強(qiáng)度，并設(shè)置成與所要求的強(qiáng)度相對應(yīng)的厚度。由此，可省略頂板部21里面的增強(qiáng)肋，并且沒有凹凸部分，從而實(shí)現(xiàn)了清洗效率的提高。
在蓋體3的頂板部21的里側(cè)面上，設(shè)有安裝后述的保持架24的保持架裝配部(圖中未示出)。八個(gè)保持架裝配部被設(shè)置于頂板部21的里側(cè)面。各保持架裝配部面對頂板部21的里側(cè)面中放置于容器主體2的底板部5上的半導(dǎo)體晶片4的周邊部而設(shè)置。
四周壁部22通過從頂板部21的周圍向下方下垂而形成。該四周壁部22與容器主體2的四周壁部6相同，通過設(shè)有兩級階梯部而形成。由此，在蓋體3覆蓋于容器主體2上的狀態(tài)下，通過該容器主體2的底板部5和蓋體3的頂板部21及四周壁部22，形成存放半導(dǎo)體晶片4的空間。第一級22A構(gòu)成從下側(cè)與容器主體2的凹狀配合部(6B)配合的凸?fàn)钆浜喜?。第二?2B構(gòu)成從上側(cè)與容器主體2的凸?fàn)钆浜喜?6A)配合的凹狀配合部。
在四周壁部22的階梯部中的第一級22A的下面，在其整個(gè)一周的范圍內(nèi)設(shè)有抵靠面。該抵靠面與容器主體2側(cè)的密封件13抵靠，從而將單片存放容器1的內(nèi)部嚴(yán)密地封閉。第二級22B的外周面形成與形成于容器主體2上的階梯部的第二級6B的外周面在同一平面上。即，形成為在容器主體2和蓋體3相互關(guān)閉的狀態(tài)(參照圖1)下，它們的對合部分在同一平面上。這是因?yàn)榇嬖诓辉O(shè)置密封件13、而是在同一平面上的對合部分粘貼密封用膠帶的情況。
蓋體導(dǎo)向件23是用于在將蓋體3覆蓋于容器主體2上時(shí)，為了不使這些蓋體3和容器主體2相互錯(cuò)位而進(jìn)行引導(dǎo)的導(dǎo)向件。該蓋體導(dǎo)向件23從蓋體3的鉤安裝部29的兩側(cè)向內(nèi)側(cè)伸出形成，并且，在蓋體3覆蓋于容器主體2上時(shí)，相對于容器主體2的四周壁部6，以稍稍空出一點(diǎn)間隙的狀態(tài)對置。由此，蓋體導(dǎo)向件23在當(dāng)蓋體3以合葉17為中心旋轉(zhuǎn)、并覆蓋于容器主體2上時(shí)，在蓋體3發(fā)生錯(cuò)位的情況下進(jìn)行導(dǎo)向。由于蓋體3通過二個(gè)合葉17支承，故通常不會發(fā)生錯(cuò)位，但是，在因某種原因而使蓋體3相對容器主體2錯(cuò)位的情況下，蓋體導(dǎo)向件23通過容器主體2的四周壁部6進(jìn)行導(dǎo)向。另外，蓋體導(dǎo)向件23也可設(shè)置于容器主體2側(cè)。也可設(shè)置于容器主體2和蓋體3的兩側(cè)。
在蓋體3中與容器主體2的合葉安裝部15相對的位置上設(shè)置合葉安裝部28。合葉17裝配在該合葉安裝部28中，該合葉17相對容器主體2可旋轉(zhuǎn)地支承蓋體3。該合葉安裝部28與合葉安裝部15相同，由形成與合葉安裝部17的安裝片17A基本相同尺寸的凹部構(gòu)成。在該合葉安裝部28中，裝配有合葉17的安裝片17A，從而實(shí)現(xiàn)牢固連接。
在蓋體3中與容器主體2的鉤安裝部16相對的位置上設(shè)有鉤安裝部29。該鉤安裝部29以鏡像方式，形成與容器主體2的鉤安裝部16基本相同的結(jié)構(gòu)。通過將該鉤安裝部29和容器主體2的鉤安裝部16相合，形成尺寸和形狀與鉤18基本相同的凹部。
在鉤安裝部29的兩側(cè)壁，設(shè)置與容器主體2的鉤安裝部16的裝配突起19相同的圓柱狀的裝配突起30。該裝配突起30與后述的鉤18的安裝凹部18B配合，將容器主體2和蓋體3固定。
在頂板部21的上側(cè)面的周邊，設(shè)置用于搬運(yùn)單片存放容器1的卡合用凸緣31。該卡合用凸緣31由從頂板部21水平伸出的板材構(gòu)成。在合葉安裝部28和鉤安裝部29所在方向上相對地設(shè)有二個(gè)卡合用凸緣31。對應(yīng)于搬送裝置側(cè)的臂部(圖中未示出)形狀，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定該卡合用凸緣31的設(shè)置位置、形狀等。
保持架24是用于支承放置于容器主體2底板部5上的半導(dǎo)體晶片4的周邊部的部件。該保持架24由具有彈性的合成樹脂形成。如圖16和圖17所示，該保持架24包括基部25和撓曲片26。基部25是裝配在蓋體3的頂板部21的保持架裝配部的部分。該基部25基本呈四方環(huán)狀，在其中的二個(gè)角部設(shè)置突起25A，與保持架裝配部的形狀相對應(yīng)。該基部25裝配在突起狀的保持架裝配部，由此，保持架24可靠地安裝于保持架裝配部上。該保持架裝配部具有設(shè)于蓋體3上的方柱或類似形狀的突起形狀，通過將該突起裝配在上述四方環(huán)狀的基部25中，可將保持架24安裝于蓋體3上。
撓曲片26是通過抵靠半導(dǎo)體晶片4而對其支承的部分。該撓曲片26通過從基部25向半導(dǎo)體晶片4側(cè)伸出而形成。該撓曲片26包括基端片部26A、前端片部26B、和薄壁部26C。由于該撓曲片26由具有彈性的合成樹脂形成，故基端片部26A和前端片部26B也可以撓曲，特別是，薄壁部26C總是彎曲著，于是，基端片部26A和前端片部26B以該薄壁部26C為中心彎曲，從而彈性地支承半導(dǎo)體晶片4。而且，由于使前端片部26B相對基端片部26A傾斜形成，故如果前端片部26B抵靠半導(dǎo)體晶片4的周邊部，則該前端片部26B朝徑向內(nèi)側(cè)方向和下方彈性地推壓半導(dǎo)體晶片4。
如上所述的單片存放容器1的使用如下。
在存放半導(dǎo)體晶片4時(shí)，在半導(dǎo)體晶片輸送裝置的承載臺(圖中未示出)上放置單片存放容器1，取下鉤18，打開蓋體3。在該狀態(tài)下，輸送裝置的真空鑷子夾著半導(dǎo)體晶片4，并移動到底板部5的正上方。接著，該使真空鑷子下降，將半導(dǎo)體晶片4放置于底板部5的薄板支承凸條8上。在該狀態(tài)下，在半導(dǎo)體晶片4和底板部5之間，確保寬于真空鑷子的間隙，從而該真空鑷子可以不與半導(dǎo)體晶片4接觸地直接抽出。接著，合上蓋體3后安裝鉤18。
此時(shí)，在單片存放容器1的內(nèi)部，蓋體3的內(nèi)側(cè)面的保持架24抵靠半導(dǎo)體晶片4的周邊部，從該周邊部支承半導(dǎo)體晶片4。由此，半導(dǎo)體晶片4的上側(cè)由保持架24支承，并且朝徑向內(nèi)側(cè)方向和下方推壓著支承該半導(dǎo)體晶片4。而且，半導(dǎo)體晶片4的下側(cè)由薄板支承凸條8支承。由此，半導(dǎo)體晶片4在上下被夾持的狀態(tài)下，被進(jìn)一步向中心方向推壓。由此，可靠地支承薄而寬的半導(dǎo)體晶片4。
此時(shí)，通過密封件13密封單片存放容器1的內(nèi)部。而且，根據(jù)情況，也可不設(shè)置密封件13，而在將容器主體2和蓋體3相互閉合的狀態(tài)下，在共面的容器主體2和蓋體3對合的部分纏繞膠帶并進(jìn)行封閉。
在該狀態(tài)下，由輸送裝置的臂部與凸緣部31結(jié)合，拿起單片存放容器1后進(jìn)行輸送。
在取出單片存放容器1內(nèi)的半導(dǎo)體晶片4時(shí)，拆下鉤18，打開蓋體3，將真空鑷子插入半導(dǎo)體晶片4和底板部5的間隙中。接著，提升真空鑷子，拿起并移動半導(dǎo)體晶片4。
在對單片存放容器1進(jìn)行清洗時(shí)，從容器主體2和蓋體3這兩者取下鉤18，接著，從容器主體2和蓋體3上抽出并取下合葉17。而且，從保持架裝配部上拆下保持架24。還從密封槽12中取下密封件13。
然后，分別對它們進(jìn)行清洗、干燥，然后，安裝合葉17、鉤18等。
綜上所述，采用單片存放容器1可實(shí)現(xiàn)下述的效果。
(1)由于使容器主體2的底板部5隆起到高于四周壁部6的位置，故可從容器主體2的橫向，將真空鑷子等半導(dǎo)體晶片4的支承機(jī)構(gòu)插入半導(dǎo)體晶片4的下側(cè)。其結(jié)果是，可容易取出、放入單片存放容器1中存放的半導(dǎo)體晶片。
(2)由于在容器主體2的底板部5包括在該底板部5和半導(dǎo)體晶片4之間留有間隙的狀態(tài)下用于支承的薄板支承凸條8，故可可靠地將真空鑷子等插入半導(dǎo)體晶片4的下側(cè)。
(3)由于使薄板支承凸條8傾斜形成為使容器主體2的中心側(cè)低、外周側(cè)高，故可通過只與半導(dǎo)體晶片4的下側(cè)面的周邊部接觸來支承半導(dǎo)體晶片4。
(4)由于薄板支承凸條8延伸成放射狀而形成，故可從周邊部穩(wěn)定地支承半導(dǎo)體晶片4。
(5)由于在容器主體2的底板部5上設(shè)置卡合片9，故該卡合片9抵靠放置于薄板支承凸條8上的半導(dǎo)體晶片4的周邊部而防止半導(dǎo)體晶片4的橫向滑動，從而，在輸送單片存放容器1的過程等中，可防止半導(dǎo)體晶片4錯(cuò)位。
(6)由于在稍大于放置于薄板支承凸條8上的半導(dǎo)體晶片4的外徑的圓周上設(shè)置多個(gè)卡合片9，故在與容器主體2的中心位置一致的狀態(tài)下放置半導(dǎo)體晶片4時(shí)，半導(dǎo)體晶片4和卡合片9不會相互抵靠，而在半導(dǎo)體晶片4錯(cuò)位時(shí)，卡合片9抵靠半導(dǎo)體晶片4的周邊部，從而可防止半導(dǎo)體晶片4的錯(cuò)位。
(7)由于卡合片9的抵靠面沿半導(dǎo)體晶片4的周邊彎曲形成，故即使半導(dǎo)體晶片4急劇錯(cuò)位而使卡合片9和半導(dǎo)體晶片4劇烈接觸，彎曲的卡合片9的抵靠面也可在較大的范圍內(nèi)與半導(dǎo)體晶片4的周邊接觸，從而安全地進(jìn)行支承。
(8)在蓋體3的頂板部21的內(nèi)側(cè)面，包括支承放置于容器主體2的底板部5上的半導(dǎo)體晶片4的周邊部的多個(gè)保持架24，所以，可在蓋體3覆蓋于容器主體2上的狀態(tài)下，從周邊支承放置于薄板支承凸條8上的半導(dǎo)體晶片4，從而防止橫向滑動。
(9)由于保持架24由彈性體形成，并且在蓋體3的頂板部21的內(nèi)側(cè)面，包括安裝保持架24的保持架裝配部，故在使用單片存放容器1時(shí)，可將保持架24安裝于保持架裝配部中，在進(jìn)行清洗時(shí)，可從保持架裝配部取下保持架24，從而提高清洗效率。
(10)保持架24包括基部25，裝配在保持架裝配部中；以及撓曲片26，從基部25向半導(dǎo)體晶片4側(cè)伸出形成，并抵靠半導(dǎo)體晶片4的周邊部，彈性地向其徑向內(nèi)側(cè)方向和下方推壓半導(dǎo)體晶片4。所以，可通過上述撓曲片26，將裝載于容器主體2的薄板支承凸條8上的半導(dǎo)體晶片4朝向徑向內(nèi)側(cè)方向和下方彈性而穩(wěn)定地推壓支承。
(11)由于薄板支承凸條8通過點(diǎn)接觸、線接觸或面接觸以最小面積與半導(dǎo)體晶片4的周邊部接觸，故可防止薄板支承凸條8以超出所需要的程度與半導(dǎo)體晶片4接觸而使半導(dǎo)體晶片4的下側(cè)面損傷。
(12)由于薄板支承凸條8的截面形狀形成朝向與半導(dǎo)體晶片4接觸的部分變細(xì)，故可通過點(diǎn)接觸、線接觸或面接觸，以最小面積與半導(dǎo)體晶片4的周邊部接觸，從而可防止薄板支承凸條8以超出所需要的程度與半導(dǎo)體晶片4接觸而使半導(dǎo)體晶片4的下側(cè)面損傷。
(13)由于容器主體2和蓋體3通過合葉17連接，并通過鉤18固定，故可容易地將蓋體3固定于容器主體2上，并且可容易打開該蓋體3。
(14)由于在容器主體2和蓋體3之間設(shè)有密封件13，且該容器主體2和蓋體3通過合葉17連接，通過鉤18固定，并在該狀態(tài)下，嚴(yán)密封閉內(nèi)部，故在處于存放有半導(dǎo)體晶片4的狀態(tài)時(shí)，僅僅通過將蓋體3覆蓋于容器主體2上并進(jìn)行固定，便可容易而可靠地以密封狀態(tài)保持半導(dǎo)體晶片4。
(15)由于通過合葉17而與容器主體2連接的蓋體3以90～180度的開度角與容器主體2分離，故在清洗作業(yè)時(shí)，可容易地取下蓋體3，對其進(jìn)行清洗。由此，可提高清洗作業(yè)性。
(16)由于容器主體2和蓋體3形成基本相同的形狀，且在關(guān)閉蓋體3的狀態(tài)下，上側(cè)的單片存放容器1的容器主體2可嵌入該蓋體3中，疊置為多層，故可容易而穩(wěn)定地將多個(gè)單片存放容器1疊置。而且，由于在下側(cè)的單片存放容器1的蓋體3上，嵌入并疊置上側(cè)的單片存放容器1的容器主體2，故該疊置高度不會太高，可緊湊地疊置。
(17)由于容器主體2和蓋體3形成基本相同的形狀，且在將容器主體2和蓋體3相互關(guān)閉的狀態(tài)下，它們的對合部分在同一平面上，故可將膠帶卷繞于該對合部分上，將單片存放容器1的內(nèi)部封閉。
(18)由于容器主體2或蓋體3中的一個(gè)或兩者由非帶電性的高分子材料形成，故可防止由于吸附灰塵等而污染半導(dǎo)體晶片4。而且，由于至少蓋體3由透明高分子材料形成，故可確認(rèn)存放有半導(dǎo)體晶片4的單片存放容器1的內(nèi)部狀態(tài)。
(19)由于在蓋體3上相對于容器主體2設(shè)有蓋體導(dǎo)向件23，故蓋體導(dǎo)向件23可在蓋體3覆蓋于容器主體2上時(shí)，為了不使蓋體3和容器主體2相互錯(cuò)位而進(jìn)行引導(dǎo)，從而能安全而準(zhǔn)確地關(guān)閉蓋體3。由此，蓋體3側(cè)的保持架24可靠地抵靠容器主體2側(cè)的半導(dǎo)體晶片4的周邊部，從而可以支承半導(dǎo)體晶片4。
(20)在蓋體3的周邊設(shè)置搬運(yùn)用的卡合用凸緣31，所以，可在輸送單片存放容器1時(shí)，通過輸送裝置的臂部抓住卡合用凸緣31，從而可容易地進(jìn)行輸送。
(21)在容器主體2的底板部5、或蓋體3的頂板部21中的一個(gè)或兩者中，中間部的厚度大于周邊部的厚度，所以，無需設(shè)置加強(qiáng)筋，且沒有凹凸部分。其結(jié)果是，形成便于清洗容器主體2和蓋體3、且無殘留液體的良好形狀，可提高清洗效率。
(變形實(shí)例)在上述實(shí)施例中，薄板支承凸條8設(shè)置成放射狀。但是，也可將多根平行設(shè)置的薄板支承凸條為一組，使它們延伸成放射狀而形成。也可以是以不妨礙真空鑷子插入的狀態(tài)排列的薄板支承凸條8。在此情況下，同樣可實(shí)現(xiàn)與前述實(shí)施例相同的作用、效果。
而且，雖然薄板支承凸條8以二根為一組設(shè)置于四邊形的底板部5的各邊(周邊部)的四個(gè)部位，但是，也可在不妨礙真空鑷子的插入的范圍內(nèi)，將薄板支承凸條8從底板部5的中心設(shè)置到周邊，并設(shè)置于底板部5的整個(gè)面上。在此情況下，同樣可實(shí)現(xiàn)與前述實(shí)施例相同的作用、效果。
權(quán)利要求
1.一種單片存放容器，包括內(nèi)部存放有單片薄板的容器主體、以及安裝于所述容器主體上的蓋體，其特征在于所述容器主體包括用于放置所述薄板的底板部、以及形成在該底板部周圍的四周壁部，并且，所述底板部通過隆起到高于所述四周壁部的位置而形成；所述蓋體包括頂板部，從上側(cè)覆蓋放置于所述容器主體的底板部上的所述薄板；以及四周壁部，設(shè)置于所述頂板部的周圍，形成存放所述薄板的空間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片存放容器，其特征在于，包括多根薄板支承凸條，所述薄板支承凸條設(shè)置于所述容器主體的底板部上，用于以所述薄板與所述底板部之間留出間隙的狀態(tài)支承所述薄板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單片存放容器，其特征在于所述薄板支承凸條傾斜形成為使所述容器主體的中心側(cè)低、外周側(cè)高。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單片存放容器，其特征在于所述薄板支承凸條延伸成放射狀而形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單片存放容器，其特征在于以多根平行設(shè)置的所述薄板支承凸條為一組，通過使它們延伸成放射狀而形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單片存放容器，其特征在于在所述容器主體上設(shè)置卡合片，用于抵靠放置于所述薄板支承凸條上的所述薄板的周邊部，防止所述薄板的橫向滑動。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單片存放容器，其特征在于多個(gè)所述卡合片設(shè)置在稍大于放置于所述薄板支承凸條上的所述薄板外徑的圓周上。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單片存放容器，其特征在于所述卡合片的抵靠面沿所述薄板的周邊彎曲。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片存放容器，其特征在于在所述蓋體的頂板部的內(nèi)側(cè)面，包括用于支承放置于所述底板部上的所述薄板的周邊部的多個(gè)保持架。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的單片存放容器，其特征在于所述保持架由彈性體形成，并且，在所述蓋體的頂板部的內(nèi)側(cè)面，包括用于安裝所述保持架的保持架裝配部。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的單片存放容器，其特征在于所述保持架包括基部，裝配在所述保持架裝配部中；以及撓曲片，通過從所述基部向所述薄板側(cè)伸出而形成，抵靠所述薄板的周邊部，用于朝徑向內(nèi)側(cè)方向和下方彈性地推壓所述薄板。
12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單片存放容器，其特征在于所述薄板支承凸條通過點(diǎn)接觸、線接觸或面接觸，以最小面積與所述薄板的周邊部接觸。
13.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單片存放容器，其特征在于所述薄板支承凸條的截面形狀形成向著與所述薄板接觸的部分變細(xì)。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片存放容器，其特征在于所述容器主體和蓋體通過合葉結(jié)合，并通過鉤固定。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的單片存放容器，其特征在于在所述容器主體和蓋體之間設(shè)置有密封部件，在這些容器主體和蓋體通過所述合葉結(jié)合后通過所述鉤固定的狀態(tài)下，嚴(yán)密封閉內(nèi)部。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的單片存放容器，其特征在于通過所述合葉而與所述容器主體連接的所述蓋體以90～180度范圍內(nèi)的開啟角與所述容器主體分離。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片存放容器，其特征在于所述容器主體和蓋體形成基本相同的形狀，在關(guān)閉所述蓋體的狀態(tài)下，上側(cè)的單片存放容器的容器主體嵌入到所述蓋體中，疊置成多層。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片存放容器，其特征在于所述容器主體和蓋體形成基本相同的形狀，在這些容器主體和蓋體相互關(guān)閉的狀態(tài)下，它們的對合部分在同一平面。
19.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片存放容器，其特征在于，包括蓋體導(dǎo)向件，與另外一側(cè)相對地設(shè)置于所述蓋體或所述容器主體中的任一個(gè)或兩者上，并在將所述蓋體覆蓋于所述容器主體上時(shí)，為了不使這些蓋體和容器主體相互錯(cuò)位而進(jìn)行引導(dǎo)。
20.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片存放容器，其特征在于，所述容器主體或所述蓋體中的一個(gè)或兩者由非帶電性的高分子材料形成，并且，至少所述蓋體由透明高分子材料形成。
21.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片存放容器，其特征在于，在所述蓋體的周邊設(shè)置用于搬運(yùn)的卡合用凸緣。
22.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片存放容器，其特征在于所述容器主體的底板部或所述蓋體的頂板部中的一個(gè)或兩者的中間部的厚度大于周邊部的厚度。
全文摘要
本發(fā)明提供可以簡單取出、放入存放的半導(dǎo)體晶片(4)的單片存放容器。該單片存放容器(1)包括內(nèi)部存放一張半導(dǎo)體晶片(4)的容器主體(2)、以及安裝于該容器主體(2)上的蓋體(3)。容器主體(2)包括放置半導(dǎo)體晶片(4)的底板部(5)、以及形成于該底板部(5)的周圍的四周壁部(6)，并且，底板部(5)隆起到高于四周壁部(6)的位置而形成。在容器主體(2)的底板部(5)上包括多個(gè)薄板支承凸條(8)，用于以半導(dǎo)體晶片(4)與底板部(5)之間留出間隙的狀態(tài)支承半導(dǎo)體晶片(4)。在蓋體(3)的頂板部(21)內(nèi)側(cè)面上包括多個(gè)保持架(24)，用于支承放置于容器主體(2)的底板部(5)上的半導(dǎo)體晶片(4)的周邊部。
文檔編號B65D85/00GK1855413SQ200610072028
公開日2006年11月1日 申請日期2006年4月4日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月21日
發(fā)明者西坂幸一, 枝村洋一, 大林忠弘 申請人:未來兒株式會社