專(zhuān)利名稱(chēng)：?jiǎn)纹占{容器及使用于其上的緩沖支撐部件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種收納半導(dǎo)體晶片、存儲(chǔ)盤(pán)片、液晶玻璃基板等薄板以使用于保存、輸送、制造工程等的單片收納容器及使用于其上的緩沖支撐部件。
背景技術(shù)：
一般公知有收納半導(dǎo)體晶片等薄板以進(jìn)行保存、輸送等的單片收納容器。作為該單片收納容器的一例有日本特表平5-508747號(hào)公報(bào)記載的機(jī)器人用包裝箱。在該機(jī)器人用包裝箱中，具有收納晶片的分隔間。晶片被插入該分隔間內(nèi)，從而進(jìn)行保管、輸送等。
另外，也有由淺盤(pán)狀的容器本體和蓋體構(gòu)成的單片收納容器。
但是，在采用上述這種機(jī)器人用包裝箱時(shí)，相對(duì)分隔間取出裝入晶片不是很容易，操作性差。
與此相對(duì)，在采用由淺盤(pán)狀的容器本體和蓋體構(gòu)成的單片收納容器時(shí)，雖然與上述機(jī)器人用包裝箱相比，晶片的取出裝入變得容易，但此時(shí)仍然需要從上方取出晶片。在容器本體為盤(pán)狀時(shí)，由于在所收納的晶片的周?chē)哂腥萜鞅倔w的壁部，故搬送裝置的真空鑷子不能橫向插入。因此，需要從上方取出晶片，存在其操作性差的問(wèn)題。
另外，當(dāng)晶片較薄且較大時(shí)，由于強(qiáng)度問(wèn)題，很難僅支撐晶片周緣部就將其向上方抬起，從這點(diǎn)來(lái)說(shuō)，也存在操作性差的問(wèn)題。
尤其是處理極薄的硅晶片的收納容器，不僅取出裝入作業(yè)存在問(wèn)題，而且在單片收納容器內(nèi)保持的方法也存在問(wèn)題。即，由于硅晶片的厚度非常薄，為25～400μm左右，所以其強(qiáng)度很小，會(huì)像紙那樣容易撓曲，因此，若單純地支撐硅晶片的周緣部，會(huì)導(dǎo)致硅晶片大幅撓曲，存在硅晶片破損、形成在硅晶片表面上的精細(xì)電路受損等問(wèn)題。
對(duì)于這種極薄的硅晶片，通常在其兩表面上覆蓋保護(hù)膜進(jìn)行處理。該保護(hù)膜可對(duì)晶片的強(qiáng)度進(jìn)行補(bǔ)強(qiáng)，同時(shí)可使處理變得容易。但是，即便是此時(shí)，若僅支撐硅晶片的周緣部，則如上所述，仍然會(huì)導(dǎo)致硅晶片大幅撓曲，產(chǎn)生形成在硅晶片表面上的電路破損等問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種可安全、確保氣密性且可靠地保持上述極薄的硅晶片(Thin Wafer)、同時(shí)可容易進(jìn)行取出裝入的單片收納容器。
為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的單片收納容器包括內(nèi)部收納可容易撓曲且極薄的一片薄板的容器本體、以及安裝在該容器本體上的蓋體，其特征在于，包括位于所述容器本體側(cè)并從底面?zhèn)葘?duì)所述薄板進(jìn)行面支撐的底面支撐部件、以及位于所述蓋體側(cè)并從上側(cè)表面?zhèn)葘?duì)所述薄板進(jìn)行面、線或點(diǎn)支撐的表面支撐部件，關(guān)閉所述蓋體后，所述底面支撐部件從底面?zhèn)扰c所述薄板抵接對(duì)其進(jìn)行支撐，而且，所述表面支撐部件從上側(cè)表面?zhèn)扰c所述薄板抵接對(duì)其進(jìn)行支撐。
優(yōu)選方式為，所述底面支撐部件包括對(duì)所述薄板的中央部分從底面?zhèn)冗M(jìn)行面支撐的中央支撐部、對(duì)所述薄板的外周部分從底面?zhèn)冗M(jìn)行面支撐的外周支撐部、與所述薄板的周緣抵接并從徑向外側(cè)支撐該薄板的周緣支撐部、以及將所述中央支撐部和外周支撐部結(jié)合成一體的環(huán)狀板部。另外，優(yōu)選方式為，所述表面支撐部件包括抵接部，與承載在所述底面支撐部件上的所述薄板的表面彈性抵接，并與該底面支撐部件一起夾持所述薄板使其得到支撐；以及設(shè)在所述蓋體側(cè)、彈性支撐該抵接部的彈性支撐部。另外，優(yōu)選方式為，所述抵接部構(gòu)包括周緣抵接部，與所述底面支撐部件的外周支撐部相對(duì)設(shè)置，與該外周支撐部一起夾持所述薄板使其得到支撐；以及中間抵接部，與所述底面支撐部件的中央支撐部相對(duì)設(shè)置，且與該中央支撐部一起夾持所述薄板使其得到支撐。
由此，可利用所述底面支撐部件和所述表面支撐部件上下夾持極薄的硅晶片等薄板對(duì)其進(jìn)行支撐。
具體而言，由所述彈性支撐部彈性支撐的周緣抵接部和所述底面支撐部件的外周支撐部一起夾持所述薄板對(duì)其進(jìn)行支撐。另外，由彈性支撐部彈性支撐的中間抵接部和所述底面支撐部件的中央支撐部一起夾持所述薄板對(duì)其進(jìn)行支撐。
根據(jù)本發(fā)明的單片收納容器及其上使用的緩沖支撐部件，由于底面支撐部件從底面?zhèn)戎嗡霰“?，表面支撐部件從表面?zhèn)戎嗡霰“?，故可安全、確保氣密性且可靠地保持極薄的硅晶片等薄板。


圖1是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的緩沖支撐部件的主要部分剖視圖；
圖2是以截面狀態(tài)表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的立體圖；圖3是從鉤子側(cè)表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的立體圖；圖4是從鉸鏈側(cè)表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的立體圖；圖5是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的容器本體的立體圖；圖6是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的容器本體主要部分的主視圖；圖7是從背面表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的容器本體的立體圖；圖8是表示在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的容器本體上承載半導(dǎo)體晶片時(shí)的狀態(tài)的立體圖；圖9是以截面狀態(tài)表示在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的容器本體上承載半導(dǎo)體晶片時(shí)的狀態(tài)的立體圖；圖10是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的容器本體主要部分的放大立體圖；圖11是從正面?zhèn)缺硎靖鶕?jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的鉸鏈的立體圖；圖12是從背面?zhèn)缺硎靖鶕?jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的鉸鏈的立體圖；
圖13是從正面?zhèn)缺硎靖鶕?jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的鉤子的立體圖；圖14是從背面?zhèn)缺硎靖鶕?jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的鉤子的立體圖；圖15是從上側(cè)表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的蓋體的立體圖；圖16是從下側(cè)表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的蓋體的立體圖；圖17是從上側(cè)表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的保持架的立體圖；圖18是從下側(cè)表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的保持架的立體圖；圖19是從上側(cè)表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的底面支撐部件的立體圖；圖20是從下側(cè)表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的底面支撐部件的立體圖；圖21是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的底面支撐部件的俯視圖；圖22是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的底面支撐部件的仰視圖；以及圖23是從下側(cè)表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的單片收納容器的表面支撐部件的立體圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。本發(fā)明的單片收納容器是對(duì)大直徑的半導(dǎo)體晶片等薄板進(jìn)行收納以便保管、輸送等的容器。本發(fā)明的單片收納容器的特征在于內(nèi)部安裝有緩沖支撐部件。在此，作為薄板以半導(dǎo)體晶片為例進(jìn)行說(shuō)明。用本發(fā)明的單片收納容器進(jìn)行處理的晶片是厚度為25～400μm左右的極薄的薄晶片(thin wafer)。即，是一種若保持晶片的周緣部則容易撓曲而不能維持平面狀態(tài)程度的沒(méi)有強(qiáng)度且極薄的薄晶片。為此，若保持薄晶片的周緣部，則薄晶片會(huì)彎折而損傷，致使在其表面上形成的精細(xì)電路損傷。因此，根據(jù)本實(shí)施例的單片收納容器是分別與用保護(hù)薄膜覆蓋上下兩面的極薄薄晶片的上側(cè)表面和下側(cè)表面抵接、對(duì)薄晶片進(jìn)行面支撐的收納容器。下面，首先對(duì)單片收納容器進(jìn)行說(shuō)明，然后對(duì)安裝在其內(nèi)部的緩沖支撐部件進(jìn)行說(shuō)明。再者，以下說(shuō)明的單片收納容器是收納通常厚度的晶片的單片收納容器。將收納通常厚度的晶片的單片收納容器構(gòu)成為如下單片收納容器以原樣使用即可收納極薄的薄晶片。
如圖2～圖4所示，單片收納容器1主要包括容器本體2和蓋體3，形成為四角倒圓角的四角形狀。這些容器本體2和蓋體3由非帶電性的透明高分子材料制成。由于是非帶電性的，故可防止塵埃等的吸附。另外，由于采用透明高分子材料，故可確認(rèn)內(nèi)部的狀態(tài)。再者，除了容器本體2和蓋體3這兩者都采用非帶電性的高分子材料外，也可僅使其中任意一個(gè)由非帶電性的高分子材料制成。另外，除了兩者都由透明高分子材料制成外，也可僅使蓋體3由透明高分子材料制成。只要至少蓋體3以透明高分子材料制成，即可確認(rèn)內(nèi)部的狀態(tài)。
容器本體2是用于收納作為薄板的一片半導(dǎo)體晶片4的部件。如圖5～圖10所示，該容器本體2包括承載后述底面支撐部件35的底板部5、以及在該底板部5周?chē)纬傻闹鼙诓?。
底板部5是支撐所收納的半導(dǎo)體晶片4的部分。該底板部5是通過(guò)鼓起到高出周壁部6的位置而形成的。這是為了在將半導(dǎo)體晶片4放置到底板部5上時(shí)及取出承載在底板部5上的半導(dǎo)體晶片4時(shí)不受到周壁部6的妨礙。即，是為了在將由搬送裝置的真空鑷子(未圖示)等支撐的半導(dǎo)體晶片4放置到底板部5上后從該半導(dǎo)體晶片4和底板部5之間橫向拔出真空鑷子等時(shí)，以及從承載在底板部5上的半導(dǎo)體晶片4的橫向向該半導(dǎo)體晶片4的下側(cè)插入真空鑷子等并抬起時(shí)，不會(huì)受到周壁部6的妨礙。
在底板部5的上側(cè)面設(shè)置有薄板支撐凸條8和卡扣片9。
薄板支撐凸條8是用于以半導(dǎo)體晶片4和底板部5之間留有間隙的狀態(tài)對(duì)半導(dǎo)體晶片4進(jìn)行支撐的部件。薄板支撐凸條8在底板部5的周緣部設(shè)置有多條(本實(shí)施例中為八條)。各薄板支撐凸條8是從底板部5的周緣部向中心呈放射狀延伸形成的。薄板支撐凸條8形成為從底板部5的周緣部向中心變細(xì)的楔狀。再者，薄板支撐凸條8在圓周方向上的截面形狀形成為朝向與半導(dǎo)體晶片4接觸的部分變細(xì)的大致三角形狀。由于薄板支撐凸條8的截面形狀形成為大致三角形狀，故與半導(dǎo)體晶片4的周緣部為點(diǎn)接觸。再者，該接觸部分除點(diǎn)接觸外，也可以為線接觸或面接觸。在考慮薄板支撐凸條8的形狀、半導(dǎo)體晶片4的尺寸、所要求的強(qiáng)度等的基礎(chǔ)上設(shè)定薄板支撐凸條8的形成，使其盡可能以最小面積與半導(dǎo)體晶片4接觸。
由此，使薄板支撐凸條8作用在半導(dǎo)體晶片4上的力均勻化，產(chǎn)生在半導(dǎo)體晶片4上作用均勻的保持力的效果。其理由如下。首先，薄板支撐凸條8與保持架(retainer)24一起具有使半導(dǎo)體晶片4配置在底板部5中心的功能。即，由于薄板支撐凸條8形成為楔狀且傾斜，故在半導(dǎo)體晶片4的周緣部承載于該薄板支撐凸條8上時(shí)，會(huì)對(duì)該半導(dǎo)體晶片4作用朝向底板部5中心方向的作用力。另外，保持架24也對(duì)半導(dǎo)體晶片4作用朝向底板部5中心方向的作用力。保持架24將半導(dǎo)體晶片4的周緣部向下方和徑向內(nèi)側(cè)推壓，其中向下方推壓的力作用在承載于薄板支撐凸條8的楔狀傾斜部分上的半導(dǎo)體晶片4的周緣部上，故產(chǎn)生將半導(dǎo)體晶片4向底板部5的中心方向推壓的力。再者，該力隨著半導(dǎo)體晶片4遠(yuǎn)離保持架24而變?nèi)酰S著靠近而變強(qiáng)。保持架24本身具有的將半導(dǎo)體晶片4向徑向內(nèi)側(cè)推壓的力也是同樣。另一方面，因?yàn)楸“逯瓮箺l8和半導(dǎo)體晶片4的接觸面積小，所以摩擦阻力也小，故通過(guò)上述推壓力可以很容易地使半導(dǎo)體晶片4移動(dòng)。因此，半導(dǎo)體晶片4利用在其周?chē)渲玫亩鄠€(gè)各保持架24和薄板支撐凸條8而移動(dòng)到推壓力平衡的位置上。
其結(jié)果是利用上述保持架24本身和薄板支撐凸條8本身具有的朝向徑向內(nèi)側(cè)的推壓力、以及保持架24和薄板支撐凸條8協(xié)助動(dòng)作產(chǎn)生的朝向徑向內(nèi)側(cè)的推壓力，使半導(dǎo)體晶片4向底板部5的中心移動(dòng)達(dá)到平衡后，作用在半導(dǎo)體晶片4上的力為均勻化，在半導(dǎo)體晶片4上作用有均勻的保持力。因此，通過(guò)薄板支撐凸條8和保持架24協(xié)助動(dòng)作，使得作用在半導(dǎo)體晶片4上的力均勻化，產(chǎn)生在半導(dǎo)體晶片4上作用有均勻的保持力的效果。
薄板支撐凸條8在四角形底板部5的各邊上分別設(shè)置兩條。在相鄰的兩條薄板支撐凸條8之間設(shè)定成比搬送裝置的真空鑷子等寬的間隔。由此，搬送裝置的真空鑷子可在相鄰的兩條薄板支撐凸條8之間經(jīng)過(guò)對(duì)半導(dǎo)體晶片4進(jìn)行取出裝入。再者，薄板支撐凸條8在底板部5的周緣部設(shè)置有八條，但只要不妨礙真空鑷子進(jìn)行取出裝入則也可以是小于等于七條或大于等于九條。再者，薄板支撐凸條8設(shè)置在底板部5的周緣部附近，但只要不妨礙真空鑷子進(jìn)行取出裝入則也可設(shè)置在底板部5的整個(gè)表面上。
卡扣片9是與承載在各薄板支撐凸條8上的半導(dǎo)體晶片4的周緣部抵接、用于防止半導(dǎo)體晶片4橫向滑動(dòng)的部件?？燮?設(shè)置在薄板支撐凸條8的端部?？燮?配置在比承載在薄板支撐凸條8上的半導(dǎo)體晶片4的外徑稍大的圓周上的位置。再者，卡扣片9的抵接面沿著半導(dǎo)體晶片4的周緣彎曲地形成。在半導(dǎo)體晶片4橫向滑動(dòng)時(shí)，該卡扣片9的彎曲的抵接面與半導(dǎo)體晶片4的周緣部抵接以防止其橫向滑動(dòng)。再者，卡扣片9也具有防止底面支撐部件35橫向滑動(dòng)及旋轉(zhuǎn)的功能。具體而言，是卡扣片9基部的基座部9A具有該功能?；?A與后述底面支撐部件35的外周支撐部38的定位用突起38B抵接，從而對(duì)底面支撐部件35進(jìn)行定位、支撐。定位用突起38B以一邊各兩個(gè)、四邊共計(jì)八個(gè)的形態(tài)進(jìn)行設(shè)置，這些定位用突起38B抵接在各基座部9A上，從而進(jìn)行定位、支撐。由此，防止底面支撐部件35橫向滑動(dòng)及旋轉(zhuǎn)。
底板部5設(shè)定為其中央部的壁厚比周緣部的壁厚厚。這是為了確保底板部5所要求的強(qiáng)度而設(shè)定為與所要求的強(qiáng)度對(duì)應(yīng)的壁厚。也可以使壁厚變化且彎曲形成為圓錐形狀等。例如，如此構(gòu)成底板部5，使其中心位置的最大壁厚為5mm，使周緣部的最小壁厚為2mm，且使壁厚平滑地變化。此時(shí)，根據(jù)需要使壁厚變化且彎曲形成為圓錐形狀等。由于采用該構(gòu)成，從而在確保所要求強(qiáng)度的狀態(tài)下，可省去底板部5背面的補(bǔ)強(qiáng)肋，形成為無(wú)凹凸部分、易于洗凈且液體排干性良好的形狀。即，可實(shí)現(xiàn)洗凈效率的提高。
如圖9所示，周壁部6從底板部5的周緣部向下方垂下而形成。周壁部6構(gòu)成為設(shè)置有二級(jí)臺(tái)階。在第一級(jí)6A的臺(tái)階上表面沿其整個(gè)周長(zhǎng)設(shè)置有密封槽12，在該密封槽12中裝有密封材料13。通過(guò)將蓋體3蓋在容器本體2上，蓋體3的周壁部22的第一級(jí)22A的臺(tái)階下面抵接于密封材料13，并壓壞該密封材料13，從而對(duì)單片收納容器1內(nèi)進(jìn)行氣密封。該周壁部6的第一級(jí)6A形成為與后述蓋體3的凹狀嵌合部(22B)嵌合的凸?fàn)钋逗喜俊?br> 第二級(jí)6B形成為與后述蓋體3的凸?fàn)钋逗喜?22A)嵌合的凹狀嵌合部。如圖4～圖7所示，在第二級(jí)6B的臺(tái)階上設(shè)置有鉸鏈嵌合部15和鉤子嵌合部16。在鉸鏈嵌合部15上嵌合有后述的鉸鏈17，該鉸鏈17支撐蓋體3使其相對(duì)容器本體2可轉(zhuǎn)動(dòng)。該鉸鏈嵌合部15由尺寸與后述鉸鏈17的嵌合片17A基本相同的凹部構(gòu)成。在該鉸鏈嵌合部15上嵌合有鉸鏈17的嵌合片17A，且緊密結(jié)合。
鉤子嵌合部16是用于嵌合后述鉤子18的凹部。在該鉤子嵌合部16和后述的蓋體3的鉤子嵌合部29之間嵌合鉤子18，將蓋體3固定在容器本體2上。鉤子嵌合部16由尺寸與鉤子18基本相同的凹部構(gòu)成。使容器本體2的鉤子嵌合部16和蓋體3的鉤子嵌合部29對(duì)準(zhǔn)，從而構(gòu)成為形狀與鉤子18基本相同的凹部。在鉤子嵌合部16的兩側(cè)壁上設(shè)置有圓柱狀的嵌合突起19。該嵌合突起19與后述鉤子18的嵌合凹部18B嵌合，從而對(duì)容器本體2和蓋體3進(jìn)行固定。
如圖11及圖12所示，鉸鏈17包括兩個(gè)嵌合片17A、17B以及各嵌合片17A、17B間的薄壁部17C。各嵌合片17A、17B是分別嵌合在各鉸鏈嵌合部15、28上、用于互相連接容器本體2和蓋體3的部件。薄壁部17C是用于消除滑動(dòng)部分、抑制產(chǎn)生塵埃等、可轉(zhuǎn)動(dòng)地支撐蓋體3的部件。
在蓋體3相對(duì)容器本體2打開(kāi)90度～180度的打開(kāi)角時(shí)，鉸鏈17相對(duì)蓋體3及容器本體2可分離或接合。具體而言，在蓋體3相對(duì)容器本體2打開(kāi)90度～180度的打開(kāi)角時(shí)，鉸鏈17相對(duì)容器本體2及蓋體3的各鉸鏈嵌合部15、28可自由拆裝。在該鉸鏈17破損等時(shí)，可更換新的鉸鏈17。即，在鉸鏈17破損等時(shí)，僅對(duì)該鉸鏈17進(jìn)行零件更換即可。
鉤子18是分別嵌合在容器本體2的鉤子嵌合部16和蓋體3的鉤子嵌合部29上、用于互相結(jié)合容器本體2和蓋體3的部件。如圖13及圖14所示，鉤子18包括本體部18A、嵌合凹部18B及把手部18C。本體部18A大致形成為四角形板狀，與由容器本體2的鉤子嵌合部16和蓋體3的鉤子嵌合部29形成的四角形的凹部嵌合。
嵌合凹部18B是與各鉤子嵌合部16、29的各嵌合突起19、30嵌合、用于將蓋體3固定在容器本體2側(cè)的部件。該嵌合凹部18B包括轉(zhuǎn)動(dòng)用嵌合凹部18B1和結(jié)合用嵌合凹部18B2。轉(zhuǎn)動(dòng)用嵌合凹部18B1是與嵌合突起19、30嵌合、用于可轉(zhuǎn)動(dòng)地支撐鉤子18的部分。該轉(zhuǎn)動(dòng)用嵌合凹部18B1的內(nèi)側(cè)面形狀形成為圓弧狀，且在其兩端部設(shè)置有蔓延部20，從而在與嵌合突起19、30嵌合的狀態(tài)下很難拔出。由此，鉤子18可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在容器本體2側(cè)。
結(jié)合用嵌合凹部18B2是在將蓋體3固定在容器本體2上時(shí)與嵌合突起19、30嵌合、并且在打開(kāi)蓋體3時(shí)從嵌合突起19、30上卸下用的部分。該結(jié)合用嵌合凹部18B2需要相對(duì)嵌合突起19、30可容易嵌合、卸下，且需要將蓋體3牢固地固定在容器本體2上，故僅在外側(cè)面(圖13的上側(cè)面)設(shè)置有蔓延部20。內(nèi)側(cè)面形成為平坦面狀，在出入嵌合突起19、30時(shí)不會(huì)成為妨礙。由此，在向相對(duì)容器本體2打開(kāi)蓋體3的方向作用有力時(shí)，以蔓延部20從外側(cè)覆蓋嵌合突起19、30的狀態(tài)進(jìn)行支撐，以防止鉤子18脫出。另外，在嵌合、卸下鉤子18時(shí)，僅設(shè)置在一側(cè)的蔓延部20只會(huì)稍微對(duì)嵌合突起19、30造成妨礙，從而以極輕的力即可容易地進(jìn)行嵌合、卸下。
把手部18C是在嵌合、卸下鉤子18時(shí)用手指把持的部分。用手指把持該把手部18C，將結(jié)合用嵌合凹部18B2嵌合在嵌合突起19、30上，從而將蓋體3固定在容器本體2上，或者從嵌合突起19、30上卸下結(jié)合用嵌合凹部18B2而打開(kāi)蓋體3。
再者，鉤子18C的把手部18可朝上安裝，也可朝下安裝。
如圖15及圖16所示，蓋體3形成為形狀與容器本體2基本相同。由此，在層疊單片收納容器1時(shí)，上側(cè)的單片收納容器1的容器本體2可嵌入下側(cè)的單片收納容器1的蓋體3，可穩(wěn)定且緊湊地進(jìn)行層疊。例如，在本實(shí)施例的單片收納容器1的一例中，在其總高度為41mm時(shí)，層疊兩層的高度為76mm。與此相對(duì)，在現(xiàn)有的單片收納容器中，在單片收納容器的總高為49.5mm時(shí)，層疊兩層的高度為90mm。由此，與現(xiàn)有技術(shù)相比，當(dāng)層疊數(shù)量增加時(shí)，可大幅降低其層疊高度。
具體而言，蓋體3包括頂板部21、周壁部22和蓋體導(dǎo)向件23。頂板部21是對(duì)承載在容器本體2的底板部5上的半導(dǎo)體晶片4從其上側(cè)進(jìn)行覆蓋的部件。頂板部21與底板部5相同，其中央部的壁厚比周緣部的壁厚厚。這是為了確保頂板部21所要求的強(qiáng)度而設(shè)定為與所要求的強(qiáng)度對(duì)應(yīng)的壁厚。由此，可省去頂板部21背面的補(bǔ)強(qiáng)肋，消除凹凸部分，實(shí)現(xiàn)洗凈效率的提高。
在蓋體3的頂板部21的內(nèi)側(cè)面設(shè)置有供后述保持架24嵌入的保持架嵌合部(未圖示)。該保持架嵌合部在頂板部21的內(nèi)側(cè)面上設(shè)置有八個(gè)。各保持架嵌合部在頂板部21的內(nèi)側(cè)面中、與承載在容器本體2的底板部5上的半導(dǎo)體晶片4的周緣部相對(duì)地設(shè)置。
周壁部22是從頂板部21的周?chē)蛳路酱瓜露纬?。與容器本體2的周壁部6相同，該周壁部22是設(shè)置兩級(jí)臺(tái)階而構(gòu)成的。由此，在蓋體3蓋上容器本體2的狀態(tài)下，由該容器本體2的底板部5、蓋體3的頂板部21及周壁部22形成收納半導(dǎo)體晶片4的空間。第一級(jí)22A形成為從下側(cè)嵌合在容器本體2的凹狀嵌合部(6B)上的凸?fàn)钋逗喜?。第二?jí)22B形成為從上側(cè)嵌合在容器本體2的凸?fàn)钋逗喜?6A)上的凹狀嵌合部。
在周壁部22的臺(tái)階中的第一級(jí)22A的下面沿著其整個(gè)周向設(shè)置有抵接面。該抵接面與容器本體2側(cè)的密封材料13抵接，從而對(duì)單片收納容器1內(nèi)進(jìn)行氣密封。第二級(jí)22B的外周面形成為與形成在容器本體2上的臺(tái)階的第二級(jí)6B的外周面位于同一平面。即，在容器本體2和蓋體3互相閉合的狀態(tài)(參照?qǐng)D1)下，兩者的配合部分形成為處于同一平面。這是因?yàn)橛袝r(shí)會(huì)不設(shè)置密封材料13，而在處于同一平面的配合部分上粘貼密封帶。
蓋體導(dǎo)向件23是用于當(dāng)蓋體3蓋在容器本體2上時(shí)進(jìn)行引導(dǎo)使這些蓋體3和容器本體2不互相錯(cuò)開(kāi)的導(dǎo)向件。該蓋體導(dǎo)向件23是從蓋體3的鉤子嵌合部29的兩側(cè)向內(nèi)側(cè)伸出而形成的，在蓋體3蓋在容器本體2上時(shí)，該蓋體導(dǎo)向件23以相對(duì)容器本體2的周壁部6留有一些間隙的狀態(tài)與其相對(duì)配置。由此，當(dāng)蓋體3以鉸鏈17為中心轉(zhuǎn)動(dòng)而蓋在容器本體2上時(shí)，若蓋體3錯(cuò)位則由蓋體導(dǎo)向件23進(jìn)行引導(dǎo)。蓋體3由兩個(gè)鉸鏈17支撐，故通常不會(huì)錯(cuò)位，即使在由于某種原因而導(dǎo)致蓋體3相對(duì)容器本體2錯(cuò)位時(shí)，蓋體導(dǎo)向件23也會(huì)與容器本體2的周壁部6抵接而進(jìn)行引導(dǎo)。再者，蓋體導(dǎo)向件23既可設(shè)置在容器本體2側(cè)，也可設(shè)置在容器本體2及蓋體3的兩側(cè)。
在周壁部22的臺(tái)階中的第一級(jí)22A的下面沿著其整個(gè)周向設(shè)置有抵接面。該抵接面與容器本體2側(cè)的密封材料13抵接，從而對(duì)單片收納容器1內(nèi)進(jìn)行氣密封。第二級(jí)22B的外周面形成為與容器本體2的臺(tái)階的第二級(jí)的外周面位于同一平面。即，在容器本體2和蓋體3互相閉合的狀態(tài)(參照?qǐng)D2)下，兩者的配合部分形成為處于同一平面。這是因?yàn)橛袝r(shí)會(huì)不設(shè)置密封材料13，而在處于同一平面的配合部分上粘貼密封帶。
在蓋體3的與容器本體2的鉸鏈嵌合部15相對(duì)的位置上設(shè)置有鉸鏈嵌合部28。在鉸鏈嵌合部28上嵌合有鉸鏈17，該鉸鏈17支撐蓋體3使其相對(duì)容器本體2可轉(zhuǎn)動(dòng)。與鉸鏈嵌合部15相同，該鉸鏈嵌合部28由尺寸與鉸鏈17的嵌合片17A基本相同的凹部構(gòu)成。在該鉸鏈嵌合部28上嵌合鉸鏈17的嵌合片17A，并緊密結(jié)合。
在蓋體3的與容器本體2的鉤子嵌合部16相對(duì)的位置上設(shè)置有鉤子嵌合部29。鉤子嵌合部29和容器本體2的鉤子嵌合部16作為典型例子具有基本相同的構(gòu)成。將該鉤子嵌合部29和容器本體2的鉤子嵌合部16合起來(lái)可構(gòu)成尺寸及形狀與鉤子18基本相同的凹部。
在鉤子嵌合部29的兩側(cè)壁上設(shè)置有與容器本體2的鉤子嵌合部16的嵌合突起19相同的圓柱狀嵌合突起30。該嵌合突起30與后述鉤子18的嵌合凹部18B嵌合，對(duì)容器本體2和蓋體3進(jìn)行固定。
在頂板部21的上側(cè)面的周緣設(shè)置有搬運(yùn)單片收納容器1用的卡扣用凸緣31。該卡扣用凸緣31由從頂板部21水平伸出的板材構(gòu)成?？塾猛咕?1與鉸鏈嵌合部28及鉤子嵌合部29所處的方向相對(duì)地設(shè)置有兩個(gè)。根據(jù)搬送裝置側(cè)的臂部(未圖示)形狀，適當(dāng)?shù)卦O(shè)定該卡扣用凸緣31的設(shè)置位置、形狀等。
保持架24是用于對(duì)承載在底面支撐部件35上的半導(dǎo)體晶片4的周緣部進(jìn)行支撐的部件。該保持架24由具有彈性的合成樹(shù)脂形成。如圖17及圖18所示，保持架24包括基部25和撓曲片26?；?5是嵌合在蓋體3的頂板部21的保持架嵌合部上的部分?；?5大致形成為四角環(huán)狀，在其兩個(gè)角部上設(shè)有突起25A，以配合保持架嵌合部的形狀。該基部25嵌合在突起狀的保持架嵌合部上，從而保持架24能可靠地安裝在保持架嵌合部上。保持架嵌合部形成為設(shè)置在蓋體3上的四角柱或類(lèi)似形狀的突起形狀，通過(guò)將該突起嵌合在所述四角環(huán)狀的基部25上，可將保持架24安裝在蓋體3上。
撓曲片26是與半導(dǎo)體晶片4抵接以對(duì)其進(jìn)行支撐的部分。撓曲片26是從基部25向半導(dǎo)體晶片4側(cè)延伸而形成的。撓曲片26包括基端片部26A、前端片部26B及薄壁部26C。撓曲片26由具有彈性的合成樹(shù)脂形成，故基端片部26A和前端片部26B也會(huì)撓曲，尤其是薄壁部26C撓曲良好，基端片部26A和前端片部26B以該薄壁部26C為中心發(fā)生撓曲，對(duì)半導(dǎo)體晶片4進(jìn)行彈性支撐。再者，前端片部26B相對(duì)基端片部26A傾斜地形成，故在該前端片部26B與半導(dǎo)體晶片4的周緣部抵接時(shí)，該前端片部26B對(duì)半導(dǎo)體晶片4向其徑向內(nèi)方及下方進(jìn)行彈性推壓。
接著說(shuō)明緩沖支撐部件34。該緩沖支撐部件34是只要承載在上述單片收納容器1的容器本體2上即可使用的部件。緩沖支撐部件34包括底面支撐部件35和表面支撐部件36。
底面支撐部件35位于容器本體2側(cè)，是用于從底面?zhèn)戎伪【牟考?。該底面支撐部?5承載在容器本體2的底板部5上。如圖19～圖22所示，底面支撐部件35包括從底面?zhèn)戎伪【?A(參照?qǐng)D1)的中央部分的中央支撐部37、從底面?zhèn)戎伪【?A的外周部分的外周支撐部38、與薄晶片4A的周緣抵接而從徑向外側(cè)支撐薄晶片4A的周緣支撐部39、以及在中央支撐部37和外周支撐部38之間對(duì)兩者一體地進(jìn)行支撐的環(huán)狀板部40。底面支撐部件35由非帶電性的高分子材料制成。
中央支撐部37是通過(guò)使底面支撐部件35的中央部隆起成圓盤(pán)狀而形成的，用于對(duì)薄晶片4A的中央部進(jìn)行支撐。
外周支撐部38以一定寬度對(duì)薄晶片4A的外周部分進(jìn)行支撐。該外周支撐部38形成為間斷的圓環(huán)狀。具體而言，構(gòu)成為將圓環(huán)狀分割為四部分。即，外周支撐部38由四個(gè)支撐片38A構(gòu)成。各支撐片38A的間隔設(shè)定得比底板部5上的相鄰薄板支撐凸條8的間隔寬。由此，在將底面支撐部件35承載在容器本體2的底板部5上時(shí)，使上述薄板支撐凸條8位于外周支撐部38的各支撐片38A之間。在外周支撐部38的各支撐片38A的外側(cè)兩端部設(shè)置有定位用突起38B，該定位用突起38B與底板部5的基座部9A抵接而對(duì)底面支撐部件35進(jìn)行定位，防止其橫向滑動(dòng)及旋轉(zhuǎn)。由此，底面支撐部件35的各支撐片38A的定位用突起38B分別與在容器本體2的底板部5的四條邊上各設(shè)置有兩個(gè)的基座部9A抵接，從而相對(duì)容器本體2可正確地定位底面支撐部件35。與此同時(shí)，八個(gè)定位用突起38B分別與八個(gè)基座部9A抵接并被支撐，從而可防止底面支撐部件35的橫向滑動(dòng)及旋轉(zhuǎn)。
周緣支撐部39位于各外周支撐部38的外側(cè)并安裝成一體。由此，周緣支撐部39從徑向外側(cè)對(duì)承載在外周支撐部38上的薄晶片4A進(jìn)行支撐。周緣支撐部39配置在比薄晶片4A的外徑稍大的圓周上。周緣支撐部39的抵接面是沿薄晶片4A的周緣彎曲形成的。周緣支撐部39的平面形狀大致形成為三角形，與容器本體2的底板部5的四個(gè)角部匹配。
環(huán)狀板部40是用于將中央支撐部37和外周支撐部38結(jié)合成一體的部分。該環(huán)狀板部40形成為比中央支撐部37和外周支撐部38低一級(jí)，從而與承載在中央支撐部37和外周支撐部38上的薄晶片4A之間確保有空間41(參照?qǐng)D1)。該空間41是供真空鑷子等從橫向出入的空間。
在底面支撐部件35的背面設(shè)置有用于彈性支撐底面支撐部件35的保持架24。在底面支撐部件35上設(shè)置有保持架嵌合部(未圖示)，該保持架嵌合部在中央支撐部37的背面設(shè)置四個(gè)，在外周支撐部38的各支撐片38A上各設(shè)置一個(gè)，在這些保持架嵌合部上分別安裝有保持架24。該保持架24與設(shè)置在上述蓋體3的內(nèi)側(cè)面上的保持架24相同。在利用該保持架24將底面支撐部件35承載在容器本體2的底板部5上時(shí)，保持架24的撓曲片26與底板部5接觸而撓曲，從而將底面支撐部件35彈性支撐在底板部5上。由此，在薄晶片4A由底面支撐部件35和表面支撐部件36夾持的情況下，利用底面支撐部件35的各保持架24、表面支撐部件36的圓盤(pán)部43以及蓋體3的保持架24，以相對(duì)容器本體2和蓋體3彈性浮起的狀態(tài)支撐薄晶片4A，從而可吸收來(lái)自外部的沖擊。另外，薄晶片4A的徑向也由蓋體3側(cè)的保持架24彈性支撐，從而可吸收來(lái)自外部的沖擊。
表面支撐部件36是安裝在蓋體3側(cè)、用于從表面?zhèn)戎伪【?A的部件。如圖1及圖23所示，該表面支撐部件36包括圓盤(pán)部43、周緣抵接部44及中間抵接部45。
圓盤(pán)部43是從上側(cè)覆蓋薄晶片4A、對(duì)周緣抵接部44和中間抵接部45進(jìn)行彈性支撐的彈性支撐部。在該圓盤(pán)部43中，其中央部分固定在蓋體3的內(nèi)側(cè)面上，外周側(cè)成為可彈性撓曲的自由端。周緣抵接部44和中間抵接部45設(shè)置在可彈性撓曲的外周側(cè)。
周緣抵接部44是用于對(duì)薄晶片4A從其周緣側(cè)進(jìn)行支撐的部分。周緣抵接部44是在圓盤(pán)部43的周緣部向下方設(shè)置的。由此，周緣抵接部44與底面支撐部件35的外周支撐部38相對(duì)設(shè)置。并且，利用這些周緣抵接部44和外周支撐部38夾持薄晶片4A使其得到支撐(參照?qǐng)D1)。
中間抵接部45是用于以中間位置支撐薄晶片4A的部分。中間抵接部45是在圓盤(pán)部43的中間位置向下方設(shè)置的。由此，中間抵接部45與底面支撐部件35的中央支撐部37相對(duì)設(shè)置。并且，利用這些中間抵接部45和中央支撐部37夾持薄晶片4A使其得到支撐(參照?qǐng)D1)。
采用上述這種構(gòu)成的單片收納容器1是按照下述進(jìn)行使用。
在收納薄晶片4A時(shí)，在半導(dǎo)體晶片搬送裝置的承載臺(tái)(未圖示)上設(shè)置單片收納容器1，且卸下鉤子18打開(kāi)蓋體3。此時(shí)，在容器本體2的底板部5上承載底面支撐部件35。底面支撐部件35由于承載在容器本體2的底板部5上，從而其定位用突起38B與底板部5上的基座部9A抵接，正確地被定位并得到支撐。另外，在蓋體3的內(nèi)側(cè)面上安裝表面支撐部件36。
在該狀態(tài)下，搬送裝置的真空鑷子支撐著薄晶片4A移動(dòng)到底板部5的正上方。然后，真空鑷子下降，將薄晶片4A承載在底面支撐部件35的中央支撐部37和外周支撐部38的上側(cè)面上。在該狀態(tài)下，由于在薄晶片4A和底面支撐部件35之間留有比真空鑷子寬的空間41，且由于底板部5隆起到比周壁部6高的位置，故真空鑷子可以在不與薄晶片4A接觸的狀態(tài)下直接橫向拉出。然后，關(guān)閉蓋體3，安裝鉤子18。
此時(shí)，在單片收納容器1內(nèi)，蓋體3內(nèi)側(cè)面的表面支撐部件36覆蓋薄晶片4A的上側(cè)面，表面支撐部件36的周緣抵接部44及中間抵接部45與薄晶片4A的上側(cè)表面抵接。
底面支撐部件35的外周支撐部38位于周緣抵接部44的抵接部分下側(cè)，利用這些周緣抵接部44和外周支撐部38從上下兩側(cè)面夾持薄晶片4A使其得到支撐。底面支撐部件35的中央支撐部37位于中間抵接部45的抵接部分下側(cè)，利用這些中間抵接部45和中央支撐部37從上下兩側(cè)面夾持薄晶片4A使其得到支撐。再者，此時(shí)，周緣抵接部44和中間抵接部45由圓盤(pán)部43彈性支撐，中央支撐部37和外周支撐部38由保持架24彈性支撐，薄晶片4A的周緣部由蓋體3側(cè)的保持架24彈性支撐，因此，薄晶片4A以相對(duì)容器本體2和蓋體3彈性浮起的狀態(tài)被支撐，在不施加過(guò)度的力的情況下，能以適度的力可靠地被支撐。
此時(shí)，單片收納容器1的內(nèi)部由密封材料13進(jìn)行密封。再者，根據(jù)情況不同，也有時(shí)不設(shè)置密封材料13，而對(duì)在容器本體2和蓋體3互相閉合的狀態(tài)下處于同一平面的兩者的配合部分卷繞密封帶進(jìn)行密封。
在該狀態(tài)下，用搬送裝置的臂部結(jié)合凸緣部31，抬起單片收納容器1進(jìn)行搬送。
在取出單片收納容器1內(nèi)的薄晶片4A時(shí)，卸下鉤子18，打開(kāi)蓋體3，將真空鑷子從容器本體2的橫向插入空間41內(nèi)，并在位于薄晶片4A下側(cè)的狀態(tài)下抬高，抬起薄晶片4A并使其移動(dòng)。
在對(duì)單片收納容器1進(jìn)行洗凈時(shí)，將鉤子18從容器本體2及蓋體3兩者上卸下，并將鉸鏈17從容器本體2及蓋體3上拔出卸下。再者，也將保持架24、底面支撐部件35、表面支撐部件36及密封材料13卸下。
然后，分別對(duì)這些部件進(jìn)行洗凈使其干燥后，安裝鉸鏈17、鉤子18等。
如上所述，采用單片收納容器1的話(huà)，可起到下述效果。
(1)因?yàn)榘ㄎ挥谌萜鞅倔w2側(cè)且從底面?zhèn)葘?duì)薄晶片4A進(jìn)行面支撐的底面支撐部件35、以及位于蓋體3側(cè)且從上側(cè)表面?zhèn)葘?duì)薄晶片4A進(jìn)行支撐的表面支撐部件36，所以可上下夾持極薄的薄晶片4A，安全且可靠地對(duì)其進(jìn)行支撐。
(2)因?yàn)榈酌嬷尾考?5包括從底面?zhèn)葘?duì)薄晶片4A的中央部分進(jìn)行面支撐的中央支撐部37、從底面?zhèn)葘?duì)薄晶片4A的外周部分進(jìn)行面支撐的外周支撐部38、與薄晶片4A的周緣抵接而從徑向外側(cè)支撐薄晶片4A的周緣支撐部39、以及將中央支撐部37和外周支撐部38結(jié)合成一體的環(huán)狀板部40，所以，可利用這些中央支撐部37、外周支撐部38及周緣支撐部39從中央部、外周部及周緣部可靠地支撐薄晶片4A，同時(shí)可在薄晶片4A的下側(cè)留有供真空鑷子等支撐薄晶片4A的部件出入的空間41。
(3)因?yàn)楸砻嬷尾考?6包括與承載在底面支撐部件35上的薄晶片4A的表面彈性抵接、與底面支撐部件35一起上下夾持著薄晶片4A使其得到支撐的抵接部44、45，因此，可彈性且可靠地支撐易于撓曲的極薄的薄晶片4A。
另外，除上述抵接部44、45以外，表面支撐部件36還包括設(shè)在蓋體3側(cè)、作為彈性支撐抵接部44、45的彈性支撐部的圓盤(pán)部43，因此，與薄晶片4A彈性抵接的抵接部44、45由圓盤(pán)部43彈性支撐，能可靠地支撐易于撓曲的極薄的薄晶片4A。
(4)再者，抵接部包括與底面支撐部件35的外周支撐部38相對(duì)設(shè)置且與該外周支撐部38一起夾持薄晶片4A使其得到支撐的周緣抵接部44、以及與底面支撐部件35的中央支撐部37相對(duì)設(shè)置且與該中央支撐部37一起夾持薄晶片4A使其得到支撐的中間抵接部45，因此，可用該周緣部和中間部支撐極薄的薄晶片4A，能可靠地支撐易于撓曲的極薄的薄晶片4A。
(5)因?yàn)榘ㄔO(shè)置在底面支撐部件35的背面、在底面支撐部件35承載在容器本體2的底板部5上的狀態(tài)下對(duì)底面支撐部件35進(jìn)行彈性支撐的保持架24，因此，該保持架24可直接地彈性支撐底面支撐部件35，間接地彈性支撐承載在底面支撐部件35上的薄晶片4A。
(6)在表面支撐部件36的圓盤(pán)部43中，其中央部分固定在蓋體3的內(nèi)側(cè)面上，其外周側(cè)成為可彈性撓曲的自由端，且該圓盤(pán)部43對(duì)周緣抵接部44和中間抵接部45進(jìn)行彈性支撐，從而可彈性支撐薄晶片4A。由此，薄晶片4A由底面支撐部件35從下側(cè)彈性支撐，由表面支撐部件36從上側(cè)彈性支撐，因此，可上下夾持著薄晶片4A以相對(duì)容器本體2和蓋體3彈性浮起的狀態(tài)可靠地進(jìn)行支撐。
其結(jié)果是，可安全且可靠地支撐薄型且大直徑的薄晶片4A。
(7)底面支撐部件35的中央支撐部37形成為圓形形狀，外周支撐部38形成為間斷的圓環(huán)狀，周緣支撐部39形成為間斷的圓環(huán)狀，因此，可支撐薄晶片4A下側(cè)的中央部、外周部及周緣部。其結(jié)果是，可安全且可靠地支撐薄型、大直徑的薄晶片4A。
(8)在容器本體2上包括與底面支撐部件35抵接以防止該底面支撐部件35橫向滑動(dòng)及旋轉(zhuǎn)的卡扣片9(基座部9A)，而且，在底面支撐部件35上包括與容器本體2的卡扣片9(基座部9A)抵接以防止底面支撐部件35橫向滑動(dòng)及旋轉(zhuǎn)的定位用突起38B，因此，僅需將底面支撐部件35承載在容器本體2上，即可對(duì)底面支撐部件35進(jìn)行定位使其得到支撐，且定位用突起38B與各卡扣片9(基座部9A)抵接，可防止底面支撐部件35橫向滑動(dòng)及旋轉(zhuǎn)。
(9)容器本體2的底板部5形成為隆起到比周壁部6高的位置，因此，可與底面支撐部件35的空間41相互作用，使真空鑷子等支撐薄晶片4A的部件從容器本體2的橫向插入薄晶片4A的下側(cè)。其結(jié)果是，可容易地取出裝入收納在單片收納容器1內(nèi)的薄晶片4A。
(10)周緣支撐部39在比承載在底面支撐部件35上的薄晶片4A的外徑稍大的圓周上配置有多個(gè)，因此，在薄晶片4A以與容器本體2的中心位置一致的狀態(tài)進(jìn)行承載時(shí)，薄晶片4A和卡扣片9不互相接觸，在薄晶片4A錯(cuò)位時(shí)，卡扣片9可與薄晶片4A的周緣部接觸以防止薄晶片4A錯(cuò)位。
(11)周緣支撐部39的抵接面沿著薄晶片4A的周緣彎曲，因此，即使在薄晶片4A嚴(yán)重錯(cuò)位而卡扣片9與薄晶片4A深度接觸時(shí)，彎曲的卡扣片9的抵接面也以寬范圍接觸薄晶片4A的周緣，可安全地進(jìn)行支撐。
(12)在蓋體3的內(nèi)側(cè)面包括對(duì)承載在底面支撐部件35上的薄晶片4A的周緣部進(jìn)行支撐的多個(gè)保持架24，因此，在蓋體3覆蓋容器本體2的狀態(tài)下，可對(duì)承載在底面支撐部件35上的薄晶片4A從其周緣進(jìn)行支撐，防止其橫向滑動(dòng)。
(13)保持架24由彈性體形成，且在蓋體3的頂板部21的內(nèi)側(cè)面包括安裝保持架24的保持架嵌合部，因此，在使用單片收納容器1時(shí)，可將保持架24安裝在保持架嵌合部上，在洗凈時(shí)，可從保持架嵌合部上卸下保持架24，提高了洗凈效率。
(14)保持架24包括嵌合在保持架嵌合部上的基部25和撓曲片26，該撓曲片26是從基部25向薄晶片4A側(cè)延伸形成的，并與薄晶片4A的周緣部抵接，將薄晶片4A向其徑向內(nèi)方及下方彈性推壓，因此，可由上述撓曲片26對(duì)承載在底面支撐部件35上的薄晶片4A向其徑向內(nèi)方及下方彈性且穩(wěn)定地進(jìn)行推壓、支撐。再者，設(shè)置在底面支撐部件35下側(cè)的保持架24可相對(duì)容器本體2的底板部5彈性支撐底面支撐部件35。
(15)容器本體2和蓋體3利用鉸鏈17結(jié)合，并利用鉤子18進(jìn)行固定，因此，可容易地將蓋體3固定在容器本體2上，且可容易地打開(kāi)。
(16)在容器本體2和蓋體3之間設(shè)置有密封材料13，用于在這些容器本體2和蓋體3利用鉸鏈17結(jié)合、并利用鉤子18固定的狀態(tài)下對(duì)內(nèi)部進(jìn)行氣密封，因此，僅需在收納有薄晶片4A的狀態(tài)下將蓋體3蓋在容器本體2上進(jìn)行固定，即可容易且可靠地將薄晶片4A保持為氣密狀態(tài)。
(17)因?yàn)槔勉q鏈17結(jié)合在容器本體2上的蓋體3以90度到180度的打開(kāi)角從容器本體2上分離，因此，在進(jìn)行洗凈作業(yè)時(shí)，可容易地卸下蓋體3進(jìn)行洗凈。由此，可提高洗凈操作性。
(18)容器本體2和蓋體3大致形成為相同形狀，在關(guān)閉蓋體3的狀態(tài)下，可在該蓋體3上嵌入上側(cè)單片收納容器1的容器本體2進(jìn)行多層重疊，因此，可容易且穩(wěn)定地重疊多個(gè)單片收納容器1。再者，因?yàn)樵谙聜?cè)單片收納容器1的蓋體3上嵌入上側(cè)單片收納容器1的容器本體2進(jìn)行重疊，故其重疊高度不會(huì)過(guò)高，可緊湊地進(jìn)行重疊。
(19)容器本體2和蓋體3大致形成為相同形狀，在這些容器本體2和蓋體3互相閉合的狀態(tài)下，兩者的配合部分處于同一平面，因此，通過(guò)在該配合部分上卷繞密封帶，可對(duì)單片收納容器1內(nèi)進(jìn)行密封。
(20)在蓋體3上與容器本體2相對(duì)地設(shè)置有蓋體導(dǎo)向件23，因此，在蓋體3覆蓋容器本體2時(shí)，該蓋體導(dǎo)向件23對(duì)這些蓋體3和容器本體2進(jìn)行引導(dǎo)使其不互相錯(cuò)位，可安全且正確地關(guān)閉蓋體3。由此，可使蓋體3側(cè)的保持架24可靠地與容器本體2側(cè)的薄晶片4A的周緣部抵接，對(duì)薄晶片4A進(jìn)行支撐。
(21)容器本體2或蓋體3中的一個(gè)或兩者由非帶電性的高分子材料制成，因此，可防止吸附塵埃等使薄晶片4A受到污染。再者，至少蓋體3由透明高分子材料制成，因此，可確認(rèn)收納有薄晶片4A的單片收納容器1的內(nèi)部狀態(tài)。
另外，底面支撐部件38和表面支撐部件36兩者都由非帶電性的高分子材料制成，因此，可防止塵埃等吸附使薄晶片4A受到污染。
(22)在蓋體3的周緣設(shè)置有搬運(yùn)用的卡扣用凸緣31，因此，在搬送單片收納容器1時(shí)，可用搬送裝置的臂部抓住卡扣用凸緣31容易地進(jìn)行搬送。
(23)容器本體2的底板部5或蓋體3的頂板部21中的一個(gè)或兩者形成為中央部的壁厚比周緣部的壁厚厚，因此，不需設(shè)置補(bǔ)強(qiáng)肋，可消除凹凸部分。其結(jié)果是，容器本體2及蓋體3形成為易于洗凈且液體排干性良好的形狀，可提高洗凈效率。
〔變形例〕在上述實(shí)施例中，直接使用可收納通常厚度的晶片的單片收納容器，將其底面支撐部件35承載在容器本體2的底板部5上，但也可以將底面支撐部件35固定在容器本體2的底板部5上。也可安裝成一體。另外，表面支撐部件36可裝卸自如地安裝在蓋體3的背面，也可以固定。考慮到洗凈的話(huà)，則最好將表面支撐部件36可裝卸自如地安裝在蓋體3的背面，但在不需考慮洗凈時(shí)，也可以固定。
在上述實(shí)施例中，在緩沖支撐部件34的圓盤(pán)部43上設(shè)置有周緣抵接部44和中間抵接部45這兩個(gè)抵接部，但根據(jù)需要也可設(shè)置一個(gè)或三個(gè)以上。此時(shí)，底面支撐部件35的中央支撐部37和外周支撐部38設(shè)置在與抵接部配合的相對(duì)位置上。
另外，周緣抵接部44和中間抵接部45形成為圓環(huán)狀，但也可形成為間斷的圓環(huán)狀。另外，也可以為其他形狀。再者，周緣抵接部44和中間抵接部45是與晶片線接觸的，但也可構(gòu)成為點(diǎn)接觸或面接觸。只要排列成可從上側(cè)面安全且可靠地支撐薄晶片4A即可。此時(shí)，最好排列成可均等或大致均等地支撐薄晶片4A。此時(shí)，底面支撐部件35側(cè)的中央支撐部37等也與抵接部配合地形成。
此時(shí)也可起到與上述實(shí)施例相同的作用、效果。
再者，在上述實(shí)施例中，底面支撐部件35的中央支撐部37形成為圓形形狀，外周支撐部38形成為間斷的圓環(huán)狀，周緣支撐部39形成為間斷的圓環(huán)狀，但只要是能整體、均等地支撐薄晶片4A的形狀即可，可以是圓環(huán)狀，也可以是間斷的圓環(huán)狀。也可以是隔開(kāi)間隔排列的突起等其他形狀。也可根據(jù)表面支撐部件36的形狀進(jìn)行形成。
此時(shí)也可起到與上述實(shí)施例相同的作用、效果。
在上述實(shí)施例中，作為對(duì)周緣抵接部44和中間抵接部45進(jìn)行彈性支撐的彈性支撐部，設(shè)置了圓盤(pán)部43，但并不局限于圓盤(pán)狀。只要是能對(duì)周緣抵接部44和中間抵接部45進(jìn)行彈性支撐的結(jié)構(gòu)即可，可根據(jù)周緣抵接部44和中間抵接部45進(jìn)行構(gòu)成。例如，在周緣抵接部44和中間抵接部45由與晶片點(diǎn)接觸的突起構(gòu)成時(shí)，使支撐各突起的棒狀部件呈點(diǎn)對(duì)稱(chēng)且放射狀地配置多個(gè)。
在上述實(shí)施例中，底面支撐部件38和表面支撐部件36兩者都由非帶電性的高分子材料制成，但也可僅其中的任一個(gè)由非帶電性的高分子材料制成。只要是能防止塵埃等吸附、防止薄晶片4A受到污染的形態(tài)即可。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明。在上述實(shí)施例中，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種單片收納容器，包括內(nèi)部收納可容易撓曲的極薄的一片薄板的容器本體、以及安裝在所述容器本體上的蓋體，其特征在于包括位于所述容器本體側(cè)并從底面?zhèn)葘?duì)所述薄板進(jìn)行面支撐的底面支撐部件、以及位于所述蓋體側(cè)并從上側(cè)表面?zhèn)葘?duì)所述薄板進(jìn)行面支撐、線支撐或點(diǎn)支撐的表面支撐部件；關(guān)閉所述蓋體后，所述底面支撐部件從底面?zhèn)鹊纸印⒅嗡霰“?，同時(shí)所述表面支撐部件從上側(cè)表面?zhèn)鹊纸?、支撐所述薄板?br> 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于所述底面支撐部件包括中央支撐部，從底面?zhèn)葘?duì)所述薄板的中央部分進(jìn)行面支撐；外周支撐部，從底面?zhèn)葘?duì)所述薄板的外周部分進(jìn)行面支撐；周緣支撐部，與所述薄板的周緣抵接，從徑向外側(cè)支撐所述薄板；以及環(huán)狀板部，將所述中央支撐部和外周支撐部結(jié)合成一體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于所述表面支撐部件包括抵接部，所述抵接部與承載在所述底面支撐部件上的所述薄板的表面彈性抵接，并與所述底面支撐部件一起夾持所述薄板對(duì)其進(jìn)行支撐。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于所述表面支撐部件包括抵接部，與承載在所述底面支撐部件上的所述薄板的表面彈性抵接，并與所述底面支撐部件一起夾持所述薄板對(duì)其進(jìn)行支撐；以及彈性支撐部，設(shè)置在所述蓋體側(cè)，對(duì)所述抵接部進(jìn)行彈性支撐。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的單片收納容器，其特征在于所述抵接部包括周緣抵接部，與所述底面支撐部件的外周支撐部相對(duì)設(shè)置，并與所述外周支撐部一起夾持所述薄板對(duì)其進(jìn)行支撐；以及中間抵接部，與所述底面支撐部件的中央支撐部相對(duì)設(shè)置，并與所述中央支撐部一起夾持所述薄板對(duì)其進(jìn)行支撐。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于還包括保持架，所述保持架設(shè)置在所述底面支撐部件的背面，在所述底面支撐部件承載在所述容器本體上的狀態(tài)下，所述保持架對(duì)所述底面支撐部件進(jìn)行彈性支撐。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單片收納容器，其特征在于所述表面支撐部件的彈性支撐部的中央部分固定在所述蓋體的內(nèi)側(cè)面上，所述表面支撐部件的彈性支撐部的外周側(cè)成為可彈性撓曲的自由端，且所述彈性支撐部對(duì)所述抵接部進(jìn)行彈性支撐。
8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單片收納容器，其特征在于所述底面支撐部件的中央支撐部形成為圓形，所述外周支撐部形成為圓環(huán)狀或間斷的圓環(huán)狀，所述周緣支撐部形成為圓環(huán)狀或間斷的圓環(huán)狀。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于在所述容器本體上具有卡扣片，所述卡扣片與所述底面支撐部件抵接以防止所述底面支撐部件橫向滑動(dòng)及旋轉(zhuǎn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的單片收納容器，其特征在于在所述底面支撐部件上具有定位用突起，所述定位用突起與所述容器本體的卡扣片抵接以防止所述底面支撐部件橫向滑動(dòng)及旋轉(zhuǎn)。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于所述容器本體包括承載所述薄板的底板部、以及形成在所述底板部的周?chē)闹鼙诓浚宜龅装宀渴锹∑鸬奖人鲋鼙诓扛叩奈恢枚纬傻?；所述蓋體包括從上側(cè)覆蓋承載在所述容器本體的底板部上的所述薄板的頂板部、以及設(shè)置在所述頂板部的周?chē)纬墒占{所述薄板的空間的周壁部。
12.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單片收納容器，其特征在于所述周緣支撐部配置在比所述薄板的外徑稍大的圓周上。
13.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單片收納容器，其特征在于所述周緣支撐部的抵接面沿著所述薄板的周緣彎曲。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于在所述蓋體的內(nèi)側(cè)面具有對(duì)承載在所述底面支撐部件上的所述薄板的周緣部進(jìn)行支撐的多個(gè)保持架。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的單片收納容器，其特征在于所述保持架由彈性體形成；并且在所述蓋體的內(nèi)側(cè)面具有安裝所述保持架的保持架嵌合部。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的單片收納容器，其特征在于所述保持架包括嵌合在所述保持架嵌合部上的基部；以及撓曲片，所述撓曲片是從所述基部向所述薄板側(cè)延伸而形成的，并與所述薄板的周緣部抵接，將所述薄板向徑向內(nèi)側(cè)及下方彈性推壓。
17.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于所述容器本體和蓋體利用鉸鏈結(jié)合，并利用鉤子進(jìn)行固定。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的單片收納容器，其特征在于在所述容器本體和蓋體之間設(shè)置有密封部件，在這些容器本體和蓋體利用所述鉸鏈結(jié)合、并利用所述鉤子固定的狀態(tài)下對(duì)內(nèi)部進(jìn)行氣密封。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的單片收納容器，其特征在于利用所述鉸鏈結(jié)合在所述容器本體上的所述蓋體以90度到180度范圍內(nèi)的打開(kāi)角從所述容器本體上分離。
20.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于所述容器本體和蓋體形成為基本相同的形狀，在關(guān)閉所述蓋體的狀態(tài)下，可在所述蓋體上嵌入上側(cè)的單片收納容器的容器本體進(jìn)行多層重疊。
21.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于所述容器本體和蓋體形成為基本相同的形狀，在這些容器本體和蓋體互相閉合的狀態(tài)下，兩者的配合部分處于同一平面。
22.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于還包括蓋體導(dǎo)向件，所述蓋體導(dǎo)向件在所述蓋體或所述容器本體中的一個(gè)或兩者上與對(duì)方側(cè)相對(duì)地設(shè)置，在所述蓋體蓋在所述容器本體上時(shí)，所述蓋體導(dǎo)向件對(duì)這些蓋體和容器本體進(jìn)行引導(dǎo)使其不互相錯(cuò)位。
23.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于所述底面支撐部件或所述表面支撐部件中的一個(gè)或兩者由非帶電性的高分子材料制成。
24.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于所述容器本體或所述蓋體中的一個(gè)或兩者由非帶電性的高分子材料制成，且至少所述蓋體由透明高分子材料制成。
25.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于在所述蓋體的周緣設(shè)置有用于搬運(yùn)的卡扣用凸緣。
26.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單片收納容器，其特征在于所述容器本體的底板部或所述蓋體的頂板部中的一個(gè)或兩者形成為中央部的壁厚比周緣部的壁厚厚。
27.一種緩沖支撐部件，其特征在于，包括底面支撐部件，位于內(nèi)部收納可容易撓曲的極薄的一片薄板的容器本體側(cè)，從底面?zhèn)葘?duì)所述薄板進(jìn)行面支撐；以及表面支撐部件，位于安裝在所述容器本體上的蓋體側(cè)，從上側(cè)表面?zhèn)葘?duì)所述薄板進(jìn)行面支撐、線支撐或點(diǎn)支撐；關(guān)閉所述蓋體后，所述底面支撐部件從底面?zhèn)鹊纸?、支撐所述薄板，同時(shí)所述表面支撐部件從上側(cè)表面?zhèn)鹊纸?、支撐所述薄板?br> 28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的緩沖支撐部件，其特征在于所述底面支撐部件包括中央支撐部，從底面?zhèn)葘?duì)所述薄板的中央部分進(jìn)行面支撐；外周支撐部，從底面?zhèn)葘?duì)所述薄板的外周部分進(jìn)行面支撐；以及周緣支撐部，與所述薄板的周緣抵接，從徑向外側(cè)支撐所述薄板。
29.根據(jù)權(quán)利要求27所述的緩沖支撐部件，其特征在于所述表面支撐部件具有抵接部，所述抵接部與承載在所述底面支撐部件上的所述薄板的表面彈性抵接，并與所述底面支撐部件一起夾持所述薄板對(duì)其進(jìn)行支撐。
30.根據(jù)權(quán)利要求27所述的緩沖支撐部件，其特征在于所述表面支撐部件包括抵接部，與承載在所述底面支撐部件上的所述薄板的表面彈性抵接，并與所述底面支撐部件一起夾持所述薄板對(duì)其進(jìn)行支撐；以及彈性支撐部，設(shè)置在所述蓋體側(cè)，對(duì)所述抵接部進(jìn)行彈性支撐。
31.根據(jù)權(quán)利要求29所述的緩沖支撐部件，其特征在于所述抵接部包括周緣抵接部，與所述底面支撐部件的外周支撐部相對(duì)設(shè)置，并與所述外周支撐部一起夾持所述薄板對(duì)其進(jìn)行支撐；以及中間抵接部，與所述底面支撐部件的中央支撐部相對(duì)設(shè)置，并與所述中央支撐部一起夾持所述薄板對(duì)其進(jìn)行支撐。
32.根據(jù)權(quán)利要求27所述的緩沖支撐部件，其特征在于還包括保持架，所述保持架設(shè)置在所述底面支撐部件的背面，在所述底面支撐部件承載在所述容器本體上的狀態(tài)下，所述保持架對(duì)所述底面支撐部件進(jìn)行彈性支撐。
33.根據(jù)權(quán)利要求27所述的緩沖支撐部件，其特征在于所述表面支撐部件的彈性支撐部的中央部分固定在所述蓋體的內(nèi)側(cè)面上，所述表面支撐部件的彈性支撐部的外周側(cè)成為可彈性撓曲的自由端，且所述彈性支撐部對(duì)所述抵接部進(jìn)行彈性支撐。
34.根據(jù)權(quán)利要求27所述的緩沖支撐部件，其特征在于所述底面支撐部件的中央支撐部形成為圓形，所述外周支撐部形成為圓環(huán)狀或間斷的圓環(huán)狀，所述周緣支撐部形成為圓環(huán)狀或間斷的圓環(huán)狀。
35.根據(jù)權(quán)利要求27所述的緩沖支撐部件，其特征在于在所述底面支撐部件上具有定位用突起，所述定位用突起與所述容器本體側(cè)抵接以防止所述底面支撐部件橫向滑動(dòng)及旋轉(zhuǎn)。
全文摘要
一種單片收納容器，包括內(nèi)部收納一片薄晶片的容器本體(2)和安裝在容器本體(2)上的蓋體(3)。包括位于容器本體(2)側(cè)并從底面?zhèn)戎伪“宓牡酌嬷尾考?35)、以及位于蓋體(3)側(cè)并從上側(cè)表面?zhèn)冗M(jìn)行支撐的表面支撐部件(36)。底面支撐部件(35)包括支撐薄晶片中央部分的中央支撐部(37)、支撐外周部分的外周支撐部(38)、從徑向外側(cè)進(jìn)行支撐的周緣支撐部(39)、以及將中央支撐部(37)和外周支撐部(38)結(jié)合成一體的環(huán)狀板部(40)。表面支撐部件(36)包括從上側(cè)覆蓋薄晶片的圓盤(pán)部(43)、以及與底面支撐部件(35)一起夾持支撐薄晶片的抵接部(44、45)。由此，可安全且可靠地支撐極薄的薄晶片，并可容易取出裝入。
文檔編號(hào)B65D85/48GK1868830SQ200610078290
公開(kāi)日2006年11月29日 申請(qǐng)日期2006年5月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月25日
發(fā)明者西坂幸一, 枝村洋一, 大林忠弘 申請(qǐng)人:未來(lái)兒株式會(huì)社