專利名稱：薄板狀材料輸送用氣動工作臺以及薄板狀材料輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及非接觸地支撐薄板狀材料的薄板狀材料輸送用氣動工作臺以及包括該氣動工作臺的薄板狀材料輸送裝置，所述薄板狀材料是例如用于液晶顯示屏(LCD)、等離子顯示器(PDP)等的平板顯示器(FPD)的大型薄玻璃基板。
背景技術(shù)：
對于液晶顯示器、等離子顯示器等平板顯示器的玻璃基板，稍微一點(diǎn)損傷或塵埃都會大大影響其品質(zhì)，因此在這樣的玻璃基板的輸送過程中，要求將玻璃基板保持為近似平面的形狀并且沿著預(yù)定輸送面平滑地輸送，以使得在玻璃基板表面不產(chǎn)生損傷并且不附著異物。
另一方面，在液晶顯示器中，玻璃基板的尺寸日趨大型化，例如在第8代中，相對于W2200mm×L2500mm的大小，厚度約為0.5～0.7mm，是非常薄的，因此在水平輸送玻璃基板時，如果僅支撐其外周端部而不支撐其更內(nèi)側(cè)部分，則中央部會嚴(yán)重下垂。
由此，玻璃基板輸送裝置正在力求盡可能均勻地支撐玻璃基板的整個平面，并且保持近似平面的形狀以進(jìn)行輸送。
已知下述的輸送裝置，例如，在輸送面的輸送方向以及與輸送方向垂直的寬度方向上以適當(dāng)?shù)拈g距設(shè)置多個輥?zhàn)?，用所述的多個輥?zhàn)訌南路街尾ＡЩ宀Ⅱ?qū)動。
但是，在用多個輥?zhàn)訌南路街尾Ⅱ?qū)動玻璃基板的輸送裝置中，隨著玻璃基板的大型化，輥?zhàn)?、軸、軸承等部件的件數(shù)或裝配工時數(shù)增加，因此存在制造成本增加的問題。而且，由于部件件數(shù)的增加，還存在維護(hù)費(fèi)用增加的問題。此外，因?yàn)椴ＡЩ迮c輥?zhàn)拥慕佑|和與輥?zhàn)拥姆蛛x往復(fù)進(jìn)行，從而產(chǎn)生振動，由此引起噪音或塵埃，有時對玻璃基板的表面產(chǎn)生損傷，并且由于輥?zhàn)拥脑黾?，存在更容易產(chǎn)生噪音或塵埃的問題。此外，由于軸的長度變長而導(dǎo)致的軸的平直度下降和彎曲量增加，從而輥?zhàn)拥男D(zhuǎn)精度下降，由于這一點(diǎn)，也存在容易產(chǎn)生噪音或塵埃且玻璃基板的表面容易損傷的問題。
與此相對照，已知下述的輸送裝置使用在上表面部形成有多個微孔的氣動工作臺，使玻璃基板上浮并且借助空氣的壓力進(jìn)行驅(qū)動從而進(jìn)行非接觸地輸送(例如參見特開平10-139160號公報(bào)、特開平11-268830號公報(bào)、特開平11-268831號公報(bào))。此外，由陶瓷等多孔質(zhì)材料構(gòu)成上表面部的氣動工作臺也是已知的(例如參見特開平2004-307152號公報(bào))。
此外，已知下述這樣的輸送裝置(例如特開2003-63643號公報(bào)、特開2005-29359號公報(bào))，在玻璃基板的寬度方向的中央附近設(shè)置氣動工作臺以抑制玻璃基板的中央部的下垂，并且在玻璃基板的垂直于輸送方向的寬度方向的兩端附近用輥?zhàn)訌南路竭M(jìn)行支撐從而驅(qū)動玻璃基板。
在用氣動工作臺輸送玻璃基板的輸送裝置中，或者在玻璃基板寬度方向的中央附近設(shè)置氣動工作臺以抑制玻璃基板的中央部下垂、并且在玻璃基板的垂直于輸送方向的寬度方向的兩端附近用輥?zhàn)訌南路竭M(jìn)行支撐從而驅(qū)動玻璃基板的輸送裝置中，由于用均勻的壓力且非接觸地對玻璃基板進(jìn)行支撐，因而可以期待抑制由于與輸送裝置接觸而產(chǎn)生的玻璃基板的振動或玻璃基板的損傷、以及抑制異物附著到玻璃基板上。
但是，實(shí)際上玻璃基板的上浮量(玻璃基板與氣動工作臺的上表面之間的間隙)約為0.1～0.5mm，比較小，因此難以可靠地防止玻璃基板與氣動工作臺的接觸，從而存在可靠性的問題。另外，為了可靠地防止玻璃基板與氣動工作臺的接觸，上浮量優(yōu)選為1mm以上。此外，因?yàn)樯细×啃?，在并列設(shè)置多個氣動工作臺的情況下，必須使它們的上表面的高度以相應(yīng)的高精度保持一致，從而存在設(shè)置操作復(fù)雜、設(shè)置工時數(shù)大的問題。此外，雖然玻璃基板的輸送裝置在無塵室內(nèi)使用的情況很多，但無塵室的潔凈空氣的下降氣流的流速約為500mm/sec，與此相對，從氣動工作臺噴射的空氣的流速約為900～2500mm/sec，遠(yuǎn)遠(yuǎn)快于無塵室的潔凈空氣的下降氣流，因此存在使無塵室內(nèi)產(chǎn)生空氣紊流的問題。另外，為了抑制無塵室內(nèi)的空氣紊流，優(yōu)選將從氣動工作臺噴射的空氣的流速限制為比無塵室的潔凈空氣的下降氣流的流速小。此外，由于這樣的空氣紊流，有時塵埃等異物反而容易附著到玻璃基板上。另外，在由陶瓷等多孔質(zhì)材料構(gòu)成上表面部的氣動工作臺中，由于通風(fēng)阻力大、噴出的空氣流量小，因此雖然無塵室內(nèi)的空氣紊流得到抑制，但是存在上浮量比上述的更小的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而作出的，其目的是提供薄板狀材料輸送用氣動工作臺和包括該氣動工作臺的薄板狀材料的輸送裝置，所述氣動工作臺能抑制無塵室內(nèi)的空氣紊流，并且得到薄板狀材料的大的上浮量的可靠性較高。
本發(fā)明通過一種薄板狀材料輸送用氣動工作臺來實(shí)現(xiàn)上述目的，所述氣動工作臺的特征在于，具有外壁部、隔壁部、和氣流均勻分配衰減器；其中，所述外壁部是上表面部為大致平坦的箱狀體，且在所述上表面部上形成了多個用于對薄板狀材料的下表面供給氣體的給氣孔；所述隔壁部設(shè)置在該外壁部內(nèi)，以將該外壁部的內(nèi)側(cè)分隔為用于向該外壁部內(nèi)導(dǎo)入所述氣體的下側(cè)室以及與所述給氣孔鄰接的上側(cè)室，并且，所述隔壁部形成有在上下方向貫通的多個中間通氣孔；所述氣流均勻分配衰減器設(shè)置在所述上側(cè)室內(nèi)，以使從所述中間通氣孔到所述給氣孔的氣流的分配均勻化，并且使該氣流的速度衰減。
在設(shè)想本發(fā)明的過程中，為了使薄板狀材料的上浮量增加，發(fā)明者們試作了各種結(jié)構(gòu)的氣動工作臺，當(dāng)在實(shí)際中輸送薄板狀材料并對薄板狀材料的上浮量進(jìn)行測定時，例如通過增加壓縮空氣的壓力等，使從氣動工作臺的上表面的給氣孔的供給氣體的流速增大，由此能夠使薄板狀材料的上浮量增加。但是，由于像這樣增加供給氣體的流速，使得無塵室內(nèi)的空氣紊流變大，因此發(fā)明者們反復(fù)進(jìn)一步認(rèn)真研究并發(fā)現(xiàn)，即使不增大從氣動工作臺的上表面的給氣孔的供給氣體的流速，只要使從氣動工作臺的上表面的給氣孔的供給氣體的流量增大，就可以使薄板狀材料的上浮量增加。具體而言，通過降低在氣動工作臺內(nèi)的氣體流路的阻力，就可以使供給到薄板狀材料的下表面的氣體的流量增加，從而使薄板狀材料的上浮量增加，進(jìn)而發(fā)現(xiàn)，通過用形成有中間通氣孔的隔壁部將氣動工作臺內(nèi)分隔為用于導(dǎo)入氣體的下側(cè)室以及與給氣孔鄰接的上側(cè)室，并且通過包括氣流均勻分配衰減器，其使隔壁部中的氣流的分布在一定程度上均勻化且使上側(cè)室內(nèi)從中間通氣孔到給氣孔的氣流的分配均勻化并且使該氣流的速度衰減，由此能夠降低從給氣孔向薄板狀部件的下表面供給的氣體的流速，從而抑制在無塵室內(nèi)的空氣紊流。
像這樣，本發(fā)明是基于下述概念的發(fā)明，即抑制從氣動工作臺的上表面的給氣孔供給到薄板狀部件的下表面的氣體的流速但使氣體的流量增大，其完全不同于通過增大氣體的流速而使薄板狀材料的上浮量增加的技術(shù)。
而且所述氣流均勻分配衰減器可以構(gòu)建為例如具有均勻開口部件，所述均勻開口部件是網(wǎng)狀體和形成有在厚度方向上貫通的多個衰減用通氣孔的板狀體中的任何一種，且開口面積比率比所述隔壁部大，并且設(shè)置為在上下方向分隔所述上側(cè)室內(nèi)。
在這種情況下，所述氣流均勻分配衰減器也可以構(gòu)建成在與所述隔壁部的中間通氣孔的正上方相當(dāng)?shù)膮^(qū)域中的至少一部分具有用于阻礙所述氣體從所述中間通氣孔向正上方流動的障壁部。
此外，所述氣流均勻分配衰減器也可以構(gòu)建成具有翅片狀的均勻開口部件，其是將以大致垂直的狀態(tài)配置的多個薄板部件以微小的間隔大致平行地并列設(shè)置而成的。
此外，所述氣流均勻分配衰減器也可以構(gòu)建成具有絮狀的均勻開口部件，其被設(shè)置為覆蓋所述隔壁部的上側(cè)。
在這些情況中，也可以構(gòu)建成在所述外壁部的底板部的中央附近設(shè)置用于導(dǎo)入所述氣體的導(dǎo)入孔，且在所述隔壁部中，周邊部的所述中間通氣孔的開口面積比率大于中央部。
此外，也可以在所述氣流均勻分配衰減器的上側(cè)設(shè)置用于保護(hù)所述氣流均勻分配衰減器的保護(hù)部件，它是網(wǎng)狀體和形成有多個通氣孔的板狀體中的任何一種，其開口面積比率大于所述隔壁部。
此外，本發(fā)明通過一種薄板狀材料輸送裝置來實(shí)現(xiàn)上述目的，其特征在于包括以上任意一項(xiàng)記載的薄板狀材料輸送用氣動工作臺。
根據(jù)本發(fā)明，可以實(shí)現(xiàn)能抑制無塵室內(nèi)的空氣紊流、并且能高可靠性地獲得薄板狀材料的大的上浮量的薄板狀材料輸送用氣動工作臺以及包括該氣動工作臺的薄板狀材料輸送裝置。


圖1是包括表示根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施方案的薄板狀輸送裝置的局部框圖的主視圖。
圖2是表示該薄板材料輸送裝置的薄板狀材料輸送用氣動工作臺的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖3是表示根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施方案的薄板狀材料輸送用氣動工作臺的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖4是表示該薄板狀材料輸送用氣動工作臺的氣流均勻分配衰減器的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖5是表示根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施方案的薄板狀材料輸送用氣動工作臺的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
具體實(shí)施例方式
以下參照附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案進(jìn)行詳細(xì)的說明。
如圖1所示，本發(fā)明的第一實(shí)施方案的薄板狀材料輸送裝置10是通過薄板狀材料輸送用氣動工作臺14非接觸地支撐并輸送例如大型LCD用的玻璃基板(薄板狀材料)12的輸送裝置，其特征在于薄板狀材料輸送用氣動工作臺14的結(jié)構(gòu)。
如圖2所示，薄板狀材料輸送用氣動工作臺14具有外壁部20、隔壁部28、和氣流均勻分配衰減器30；其中，所述外壁部20是上表面部16為大致平坦的箱狀體，并且在上表面部16上形成了用于對玻璃基板12的下表面供給空氣(氣體)的多個給氣孔18；所述隔壁部28設(shè)置在外壁部20內(nèi)，以將外壁部20的內(nèi)側(cè)分隔為將空氣導(dǎo)入外壁部20內(nèi)的下側(cè)室22以及與給氣孔18鄰接的上側(cè)室24，并且在所述隔壁部28上形成了在上下方向貫通的多個中間通氣孔26；所述氣流均勻分配衰減器30設(shè)置在上側(cè)室24內(nèi)，以使從中間通氣孔26到給氣孔18的氣流的分配得到均勻化，并且使該氣流的速度衰減。
另外，在垂直于玻璃基板12的輸送方向的寬度方向上，可以包括多個(在本發(fā)明的第一實(shí)施方案中是4臺)薄板狀材料輸送用氣動工作臺14。
外壁部20具有大致為長方體并且上方開口的箱體的基部32、第一框架34、第二框架36和第三框架38。這些第一框架34、第二框架36和第三框架38都與基部32的內(nèi)側(cè)面內(nèi)接，并且以此順序從基部32的底板部40開始向上側(cè)重疊而配置。另外，第二框架36包括格子部件36A，它被設(shè)置成將上側(cè)室24分隔成分割格子狀。此外，第三框架38也包括格子部件38A，其位于與格子部件36A的正上方相當(dāng)?shù)奈恢?。第三框?8的上端比基部32的上端更向上方突出，在此第三框架38的上端安裝所述上表面部16。
上表面部16是網(wǎng)狀體或形成有在厚度方向貫通的給氣孔的板狀體等，同時承擔(dān)用于保護(hù)氣流均勻分配衰減器30的保護(hù)部件的作用。另外，給氣孔的形狀可以例示為圓孔、方孔、長孔、狹縫等。此外，在基部32的底板部40的中央附近設(shè)置用于導(dǎo)入空氣的導(dǎo)入孔42。導(dǎo)入孔42通過給氣管44與鼓風(fēng)機(jī)或壓縮機(jī)等給氣單元46以及空氣過濾器48連接，使得用空氣過濾器48除去了異物的空氣從上表面部16的給氣孔18供給到上方。
隔壁部28是與外壁部20的基部32的內(nèi)側(cè)面內(nèi)接的板狀體，并且被第一框架34和第二框架36夾持以保持在外壁部20的上表面部16與底板部40之間。另外，隔壁部28也可以是網(wǎng)狀體。在本發(fā)明的第一實(shí)施方案中，隔壁部28的中間通氣孔26的開口面積比率在整個面中是均勻的。
氣流均勻分配衰減器30具有網(wǎng)狀體的均勻開口部件50，其被設(shè)置為在上下方向分隔上側(cè)室24的內(nèi)部。均勻開口部件50具有多個衰減用通氣孔51。均勻開口部件50被第二框架36和第三框架38夾持并保持在外部壁20的上表面部16和隔壁部28之間。另外，形成有厚度方向貫通的多個衰減用通氣孔的板狀體也可以用作均勻開口部件。均勻開口部件50的衰減用通氣孔51的開口面積比率優(yōu)選為大于隔壁部28。
此外，在氣流均勻分配衰減器30中，在與隔壁部28的中間通氣孔26的正上方相當(dāng)?shù)膮^(qū)域，具有用于阻礙氣體從中間通氣孔26向正上方流動的障壁部52。障壁部52是比中間通氣孔26大一些的小片，其被安裝在均勻開口部件50的下面。另外，作為將障壁部52安裝在網(wǎng)狀體的均勻開口部件50上而構(gòu)成的氣流均勻分配衰減器30的替代，也可以采用例如一體結(jié)構(gòu)的氣流均勻分配衰減器，它是形成有通氣孔的板狀體，在與隔壁部28的中間通氣孔26的正上方相當(dāng)?shù)牟糠质遣婚_口的障壁部。
此外，薄板狀材料輸送裝置10包括用于在輸送方向驅(qū)動玻璃基板12的驅(qū)動單元54。
驅(qū)動單元54具有與玻璃基板12的下表面接觸并且在輸送方向上驅(qū)動玻璃基板12的多個輥?zhàn)?6。這些輥?zhàn)?6被設(shè)置在多個并列設(shè)置的薄板狀材料輸送用氣動工作臺14的寬度方向的兩側(cè)，在輸送方向上以適當(dāng)間距設(shè)置數(shù)對輥?zhàn)?6。輥?zhàn)?6包括與玻璃基板12的下表面接觸的輥?zhàn)硬?6A以及比其更靠寬度方向外側(cè)而設(shè)置的凸緣部56B，并與未圖示出的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動源連接。而且，在驅(qū)動單元54中，輥?zhàn)?6的輥?zhàn)硬?6A的上端被設(shè)置成比薄板狀材料輸送用氣動工作臺14的上表面部16高出約數(shù)毫米。
以下，對薄板狀材料輸送裝置10的作用進(jìn)行說明。
在薄板狀材料輸送裝置10中，例如通過擴(kuò)大薄板狀材料輸送用氣動工作臺14的上表面部16的開口面積比率等，從而降低薄板狀材料輸送用氣動工作臺14中的空氣流路的阻力，由此可以得到玻璃基板12的較大的上浮量。
此外，從導(dǎo)入孔42導(dǎo)入到薄板狀材料輸送用氣動工作臺14的外壁部20內(nèi)的空氣，由于穿過隔壁部28的中間通氣孔26，因此氣流的分布在一定程度上被均勻化。而且，借助于氣流均勻分配衰減器30的障壁部52，穿過中間通氣孔26而上升的空氣的流速被降低，并且由于穿過均勻開口部件50，使氣流的分布進(jìn)一步得到均勻化。由于像這樣氣流的分布被均勻化、流速被降低后的空氣從薄板狀材料輸送用氣動工作臺14的上表面部16的給氣孔18供給到玻璃基板12的下表面，因此即使增大供給氣體的流量以使玻璃基板12的上浮量增加，但從給氣孔18供給的空氣的流速較低，從而可以抑制無塵室內(nèi)的空氣紊流。另外，在圖2中表示氣流的箭頭的一部分穿過均勻開口部件50的非開口部，但是圖2的均勻開口部件50的圖示是示意性的，實(shí)際上氣流穿過均勻開口部件50的衰減用通氣孔51。
此外，由于并不增大向玻璃基板12的下表面供給的氣體的流速，而是增大氣體的流量以使玻璃基板12的上浮量增加，因此沒有必要使用高壓的壓縮氣體，有助于降低包含了給氣單元46的裝置的制造成本。
此外，在薄板狀材料輸送裝置10中，雖然驅(qū)動單元54的多個輥?zhàn)?6與玻璃基板12的下表面接觸并且在輸送方向上驅(qū)動玻璃基板12，但是由于薄板狀材料輸送用氣動工作臺14是非接觸地支撐玻璃基板12，因此在與輥?zhàn)?6的接觸部處對玻璃基板12的作用力較小，從而可以抑制由于與輥?zhàn)?6接觸而導(dǎo)致的表面損傷或異物附著。
此外，與通過空氣的壓力而施加驅(qū)動力的輸送裝置相比，本發(fā)明由于只要提供僅對玻璃基板12進(jìn)行支撐的低壓空氣就足夠了，因此，這一點(diǎn)也有助于降低裝置的制造成本，而且，不需要對空氣進(jìn)行復(fù)雜控制，從而結(jié)構(gòu)簡單。
像這樣，在薄板狀材料輸送裝置10中，由于通過薄板狀材料輸送用氣動工作臺14以較大的上浮量非接觸地支撐玻璃基板12，因此可以防止玻璃基板12與薄板狀材料輸送用氣動工作臺14的接觸，而且，由于可以抑制無塵室內(nèi)的空氣的紊流，因此難以在玻璃基板12的表面產(chǎn)生損傷或附著異物，可以實(shí)現(xiàn)高可靠性的輸送。
此外，由于獲得了玻璃基板12的較大的上浮量，在并列設(shè)置多個薄板狀材料輸送用氣動工作臺14時，它們的上表面部16的高度的偏差允許值相應(yīng)地增大，有助于減少設(shè)置工時數(shù)。
以下，對本發(fā)明的第二實(shí)施方案進(jìn)行說明。
如圖3和圖4所示，本發(fā)明的第二實(shí)施方案的薄板狀材料輸送用氣動工作臺60的特征在于包括氣流均勻分配衰減器64以替代第一實(shí)施方案的氣流均勻分配衰減器30，所述氣流均勻分配衰減器64具有將以大致垂直的狀態(tài)配置的多個薄板部件62A以微小的間隔大致平行地并列設(shè)置而成的翅片狀的均勻開口部件62，薄板部件62A之間的間隙部構(gòu)成衰減用通氣孔。
由于其它結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方案相同，對于相同的結(jié)構(gòu)用與圖1和圖2相同的附圖標(biāo)記，因此省略其說明。另外，在圖3中，為了方便起見，隔壁部28用線繪出，但是隔壁部28與上述第一實(shí)施方案相同，可以是形成有中間通氣孔26的板狀體，也可以是網(wǎng)狀體。
均勻開口部件62具有在厚度方向上貫穿多個薄板狀部件62A的多個管件62B，這些管件62B的兩端安裝到外壁部20的基部32上。另外，在本發(fā)明的第二實(shí)施方案中，外壁部20不包括第一框架34、第二框架36和第三框架38，上表面部16被安裝在基部32的上端。
薄板狀材料輸送用氣動工作臺60也與上述第一實(shí)施方案的薄板狀材料輸送用氣動工作臺14相同，在上側(cè)室24內(nèi)包括使從中間通氣26到給氣孔18的氣流的分配均勻化并且使該氣流的速度衰減的氣流均勻分配衰減器64，因此，即使增大供給到玻璃基板12的下表面的空氣流量以使玻璃基板12的上浮量增加，但是從給氣孔18供給的空氣的流速較低，從而可以抑制無塵室內(nèi)的空氣紊流。
另外，為了使從外壁部20的上表面部16的空氣均勻地供給，隔壁部28優(yōu)選構(gòu)建成中間通氣孔26的開口面積比率在周邊部比在中央部(導(dǎo)入孔42的正上方)高。
以下，對本發(fā)明的第三實(shí)施方案進(jìn)行說明。
如圖5所示，本發(fā)明的第三實(shí)施方案薄板狀材料輸送用氣動工作臺70的特征在于包括氣流均勻分配衰減器74以替代上述第一實(shí)施方案的氣流均勻分配衰減器30，所述氣流均勻分配衰減器74具有設(shè)置成覆蓋隔壁部28的上側(cè)的絮狀的均勻開口部件72，絮狀的均勻開口部件72的間隙構(gòu)成衰減用通氣孔。其它結(jié)構(gòu)與上述第一實(shí)施方案相同，對同樣的結(jié)構(gòu)用與圖1和圖2中相同的附圖標(biāo)記，因此省略其說明。
均勻開口部件72鋪設(shè)在隔壁部28的上表面的整個面上。此外，氣流均勻分配衰減器74具有從上側(cè)覆蓋均勻開口部件72的網(wǎng)狀部件76，通過該網(wǎng)狀部件76可以防止絮狀的均勻開口部件72的飛散。作為均勻開口部件72，可以使用例如不銹鋼鋼絲或非揚(yáng)塵性的高分子長纖維等。
薄板狀材料輸送用氣動工作臺70也與上述第一實(shí)施方案的薄板狀材料輸送用氣動工作臺14相同，在上側(cè)室24內(nèi)包括使從中間通氣孔26到給氣孔18的氣流的分配均勻化并且使該氣流的速度衰減的氣流均勻分配衰減器74，因此，即使增大供給到玻璃基板12下表面的空氣流量以使玻璃基板12的上浮量增加，但是從給氣孔18供給的空氣的流速較低，從而可以抑制無塵室內(nèi)的空氣紊流。
在本發(fā)明的第三實(shí)施方案中，為了使從外壁部20的上表面部16的空氣均勻地供給，隔壁部28優(yōu)選構(gòu)建成中間通氣孔26的開口面積比率在周邊部比在中央部(導(dǎo)入孔42的正上方)高。
另外，在上述第一至第三實(shí)施方案中，薄板狀材料輸送裝置10構(gòu)建成驅(qū)動單元54的輥?zhàn)?6與玻璃基板12的下表面接觸并且在輸送方向上驅(qū)動玻璃基板12，但是也可以構(gòu)建成下述方式，即通過薄板狀材料輸送用氣動工作臺懸浮支撐玻璃基板的整個面，并且從薄板狀材料輸送用氣動工作臺在相對于輸送方向傾斜的方向上朝著玻璃基板的下表面供給氣體，從而在輸送方向上非接觸地驅(qū)動玻璃基板。
在這種情況中，由于在薄板狀材料輸送用氣動工作臺的上側(cè)室24內(nèi)也包括使從中間通氣孔26到給氣孔18的氣流的分配均勻化并且使該氣流的速度衰減的氣流均勻分配衰減器，因此即使增大供給到玻璃基板12下面的空氣的流量以使玻璃基板的上浮量增加，但是從給氣孔18供給的氣體流速也變低，從而可以抑制無塵室內(nèi)的空氣紊流。
另外，上述第一至第三實(shí)施方案的氣流均勻分配衰減器30、64、74是本發(fā)明的示例，但是也可以在上側(cè)室中包括其它結(jié)構(gòu)的氣流均勻分配衰減器，只要它可以使從隔壁部28的中間通氣孔26到給氣孔18的氣流的分配均勻化，并且使該氣流的速度衰減。
此外，在上述第一至第三實(shí)施方案中，外壁部20的上表面部16是網(wǎng)狀體或形成有給氣孔的板狀體，且承擔(dān)用于保護(hù)氣流均勻分配衰減器的保護(hù)部件的作用，但是例如像上述第一實(shí)施方案的氣流均勻分配衰減器30那樣，在使用即使異物等從上方落下也難以造成損傷的氣流均勻分配衰減器的情況中，也可以采用例如基部32的上端面構(gòu)成上表面部且基部32的上端面的開口部構(gòu)成給氣孔的薄板狀材料輸送用氣動工作臺。
此外，在上述第一至第三實(shí)施方案中，從薄板狀材料輸送用氣動工作臺14、60、70供給到玻璃基板12的下表面的氣體是空氣，但是也可以向玻璃基板12的下表面供給例如氮?dú)?、惰性氣體等其它氣體。
此外，在上述第一至第三實(shí)施方案中，薄板狀材料輸送裝置10包括在寬度方向上的4臺薄板狀材料輸送用氣動工作臺14、60或70，但是根據(jù)玻璃基板12的寬度等，也可以構(gòu)建成包括3臺以下的薄板狀材料輸送用氣動工作臺，也可以構(gòu)建成包括5臺以上的薄板狀材料輸送用氣動工作臺。
此外，上述第一至第三實(shí)施方案是用于輸送玻璃基板12的裝置，但是本發(fā)明也可以適用于輸送其它材料，只要是板的厚度相對于面積而言較薄的所謂“薄板狀材料”就可以。例如，可以適用于輸送金屬薄板材料、樹脂薄板狀材料等容易產(chǎn)生撓曲的材料的情況。
實(shí)施例1如上述第一實(shí)施方案那樣來構(gòu)建薄板狀材料輸送裝置10，并在無塵室內(nèi)輸送玻璃基板12。具體條件如下。
玻璃基板12的尺寸W1500mm×L1800mm×t0.7mm無塵室內(nèi)的下降氣流的流速約500mm/sec薄板狀材料輸送用氣動工作臺14的外形尺寸W300mm×L700mm×H40mm第二框架36和第三框架38的分割格子尺寸90mm×25mm第二框架36和第三框架38的分割格子數(shù)3列×23行中間通氣孔26的大小和間距φ3.5×P15mm隔壁部28的開口面積比率4.2％氣流均勻分配衰減器30的均勻開口部件50的材料金屬網(wǎng)氣流均勻分配衰減器30的開口面積比率37％外壁部20的上表面部16的材料金屬網(wǎng)外壁部20的上表面部16的開口面積比率60％在以上的條件下，測量在玻璃基板12的中央附近的上浮量，上浮量為2～6mm。
此外，測量從薄板狀材料輸送用氣動工作臺14向上方供給的空氣的流速，流速最大值約為220mm/sec。
實(shí)施例2如上述第二實(shí)施方案那樣來構(gòu)建薄板狀材料輸送裝置10，并在無塵室內(nèi)輸送玻璃基板12。具體條件如下。
薄板狀材料輸送用氣動工作臺60的外形尺寸W300mm×L700mm×H50mm隔壁部28的材料膨脹合金隔壁部28的開口面積比率65％氣流均勻分配衰減器64的外形尺寸W280mm×L680mm×H22mm薄板部件62A的材料鋁薄板薄板部件62A的厚度×并列設(shè)置間距T0.11mm×P22mm另外，玻璃基板12的尺寸、無塵室的下降氣流的流速、外壁部20的上表面部16的材料、開口面積比率與實(shí)施例1相同。
在以上的條件下，測量在玻璃基板12的中央附近的上浮量，上浮量為3～6mm。
此外，測量從薄板狀材料輸送用氣動工作臺60向上方供給的空氣的流速，流速最大值約為140mm/sec。
實(shí)施例3如上述第三實(shí)施方案那樣來構(gòu)建薄板狀材料輸送裝置10，并在無塵室內(nèi)輸送玻璃基板12。具體條件如下。
薄板狀材料輸送用氣動工作臺60的外形尺寸W300mm×L700mm×H50mm隔壁部28的材料膨脹合金隔壁部28的開口面積比率65％氣流均勻分配衰減器74的均勻開口部件72的堆積高度18mm氣流均勻分配衰減器74的均勻開口部件72的填充率約3重量％另外，外壁部20的上表面部16的材料、開口面積比率、玻璃基板12的尺寸、無塵室的下降氣流的流速與實(shí)施例1相同。
在以上條件下，測量在玻璃基板12的中央附近的上浮量，上浮量為2.5～5mm。
此外，測量從薄板狀材料輸送用氣動工作臺70向上方供給的空氣的流速，流速最大值約為120mm/sec。
實(shí)施例1～3的測定結(jié)果在表1中進(jìn)行對比表示。
表1

如表1所示，在實(shí)施例1～3中，玻璃基板12的上浮量都為2mm以上，由此可以獲得足夠的上浮量以防止玻璃基板與薄板狀材料輸送用氣動工作臺的接觸。
此外，在實(shí)施例1～3中，從薄板狀材料輸送用氣動工作臺供給的空氣的流速都在220mm/sec以下，并且均是無塵室的下降氣流的流速即500mm/sec的一半以下，由此可以確認(rèn)充分抑制無塵室內(nèi)的空氣紊流的效果。
本發(fā)明能夠用于輸送例如用于液晶顯示器、等離子顯示器等平板顯示器的大型薄玻璃基板那樣的薄板狀材料。
權(quán)利要求
1.一種薄板狀材料輸送用氣動工作臺，其特征在于，具有外壁部、隔壁部、和氣流均勻分配衰減器；其中，所述外壁部是上表面部為大致平坦的箱狀體，且在所述上表面部上形成了多個用于對薄板狀材料的下表面供給氣體的給氣孔；所述隔壁部設(shè)置在該外壁部內(nèi)，以將該外壁部的內(nèi)側(cè)分隔為用于向該外壁部內(nèi)導(dǎo)入所述氣體的下側(cè)室以及與所述給氣孔鄰接的上側(cè)室，并且，所述隔壁部形成有在上下方向貫通的多個中間通氣孔；所述氣流均勻分配衰減器設(shè)置在所述上側(cè)室內(nèi)，以使從所述中間通氣孔到所述給氣孔的氣流的分配均勻化，并且使該氣流的速度衰減。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄板狀材料輸送用氣動工作臺，其特征在于，所述氣流均勻分配衰減器構(gòu)建成具有均勻開口部件，所述均勻開口部件是網(wǎng)狀體和形成有在厚度方向上貫通的多個衰減用通氣孔的板狀體中的任何一種，且開口面積比率比所述隔壁部大，并且設(shè)置為在上下方向分隔所述上側(cè)室內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄板狀材料輸送用氣動工作臺，其特征在于，所述氣流均勻分配衰減器在與所述隔壁部的中間通氣孔的正上方相當(dāng)?shù)膮^(qū)域中的至少一部分具有用于阻礙所述氣體從所述中間通氣孔向正上方流動的障壁部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄板狀材料輸送用氣動工作臺，其特征在于，所述氣流均勻分配衰減器構(gòu)建成具有翅片狀的均勻開口部件，該均勻開口部件是將以大致垂直的狀態(tài)配置的多個薄板部件以微小的間隔大致平行地并列設(shè)置而成的。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄板狀材料輸送用氣動工作臺，其特征在于，所述氣流均勻分配衰減器構(gòu)建成具有絮狀的均勻開口部件，該均勻開口部件被設(shè)置為覆蓋所述隔壁部的上側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的薄板狀材料輸送用氣動工作臺，其特征在于，在所述外壁部的底板部的中央附近設(shè)置有用于導(dǎo)入所述氣體的導(dǎo)入孔，且在所述隔壁部中，周邊部的所述中間通氣孔的開口面積比率大于中央部。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的薄板狀材料輸送用氣動工作臺，其特征在于，在所述外壁部的底板部的中央附近設(shè)置有用于導(dǎo)入所述氣體的導(dǎo)入孔，且在所述隔壁部中，周邊部的所述中間通氣孔的開口面積比率大于中央部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的薄板狀材料輸送用氣動工作臺，其特征在于，在所述氣流均勻分配衰減器的上側(cè)設(shè)置有用于保護(hù)所述氣流均勻分配衰減器的保護(hù)部件，該保護(hù)部件是網(wǎng)狀體和形成有多個通氣孔的板狀體中的任何一種，且開口面積比率大于所述隔壁部。
9.一種薄板狀材料輸送裝置，其特征在于包括權(quán)利要求1～7中任一項(xiàng)所述的薄板狀材料輸送用氣動工作臺。
10.一種薄板狀材料輸送裝置，其特征在于包括權(quán)利要求8所述的薄板狀材料輸送用氣動工作臺。
全文摘要
本發(fā)明提供一種抑制無塵室內(nèi)的空氣紊流、并且高可靠性地獲得薄板狀材料的較大的上浮量的薄板狀材料輸送用氣動工作臺以及包括該氣動工作臺的薄板狀材料輸送裝置。薄板狀材料輸送用氣動工作臺(14)具有外壁部(20)、隔壁部(28)、和氣流均勻分配衰減器(30)；其中，外壁部(20)是上表面部(16)為大致平坦的箱狀體，且在所述上表面部(16)上形成了多個給氣孔(18)以對玻璃基板(12)的下表面供給氣體；所述隔壁部(28)設(shè)置在該外壁部(20)內(nèi)，以將該外壁部(20)的內(nèi)側(cè)分隔為用于向該外壁部(20)內(nèi)導(dǎo)入所述氣體的下側(cè)室(22)以及與所述給氣孔(18)鄰接的上側(cè)室(24)，并且，所述隔壁部(28)形成有在上下方向貫通的多個中間通氣孔(26)；所述氣流均勻分配衰減器(30)設(shè)置在所述上側(cè)室(24)內(nèi)，用于使從所述中間通氣孔(26)到所述給氣孔(18)的氣流的分配均勻化，并且使該氣流的速度衰減。
文檔編號B65G51/03GK1948107SQ20061014237
公開日2007年4月18日 申請日期2006年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月11日
發(fā)明者名倉成之, 濱中亮明, 弓場說治, 鳥山典之, 小栗勤, 牧野勉, 福田丈二 申請人:株式會社日本設(shè)計(jì)工業(yè), 芝浦機(jī)械電子裝置股份有限公司