專利名稱：基板收納裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板收納裝置，特別涉及一種用于大型基板的搬 運(yùn)的基板收納裝置。
背景技術(shù)：
以往，有如日本實(shí)用新型登錄第3105536號(hào)公報(bào)(圖1)所記載的 基板收納裝置。該基板收納裝置通過將由框體圍成的基板的收容室在 平面方向上并排多個(gè)并配設(shè)成格子狀，能夠同時(shí)搬運(yùn)多個(gè)基板。但是，上述基板收納裝置在搬運(yùn)小型基板時(shí)可以適用，但要搬運(yùn) 大型基板等時(shí)，不得不使各收容室的面積加大。因此，收納裝置整體 的面積變大，但是，由于在基板搬運(yùn)時(shí)必須將收納裝置搭載在卡車等 的承載臺(tái)上進(jìn)行搬運(yùn)，所以必須將收納裝置的面積控制在某種程度的 范圍之內(nèi)，這樣，收容室的個(gè)數(shù)受到限制，結(jié)果，不能搬運(yùn)大量的基發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明基于上述情況而完成，其目的在于提供一種能夠搬運(yùn)大量 大型基板的基板收納裝置。用于解決上述課題的手段是以下的發(fā)明。(1) 一種基板收納裝置，其特征在于，包括將基板包含在內(nèi)部 的收容體；和剛體板，該剛體板以將多個(gè)上述收容體疊層在該剛體板 的上面的狀態(tài)對(duì)多個(gè)上述收容體進(jìn)行支撐，上述收容體包括保持上 述基板的緩沖材料部；和配置在上述緩沖材料部的周邊，承受上述收 容體疊層時(shí)的載荷的載荷承受部。(2) 如上述(1)所述的基板收納裝置，其特征在于，上述載荷 承受部被配置在上述緩沖材料部的整個(gè)周邊。(3) 如上述(1)或(2)所述的基板收納裝置，其特征在于，上 述收容體的端部通過支撐件安裝在上述剛體板上，上述收容體被安裝成在將多個(gè)上述收容體上下疊層的疊層狀態(tài)、和通過將上側(cè)的上述收 容體展開而能夠相對(duì)于下側(cè)的上述收容體取出和放入上述基板的展開 狀態(tài)之間能夠轉(zhuǎn)變。(4) 如上述(1)至(3)中任一項(xiàng)所述的基板收納裝置，其特 征在于，上述支撐件由裝訂件構(gòu)成。(5) 如上述(1)至(4)中任一項(xiàng)所述的基板收納裝置，其特征在于，上述緩沖材料部具有準(zhǔn)導(dǎo)電性。(6) 如上述(1)至(5)中任一項(xiàng)所述的基板收納裝置，其特征 在于，在上述緩沖材料部的與上述基板接觸的一側(cè)配設(shè)有用于保護(hù)基 板的基板保護(hù)層。(7) 如上述(6)所述的基板收納裝置，其特征在于，上述基板 保護(hù)層由纖維素形成。發(fā)明效果根據(jù)上述(1)所述的基板收納裝置，上下進(jìn)行疊層的收容體的 載荷由載荷承受部支撐，并能夠由最下層的剛體板承受收容體的全部 載荷，因此，載荷不會(huì)作用于被包含在收容體內(nèi)部的基板。由此，能 夠?qū)⑹杖萦谢宓拇罅渴杖蒹w進(jìn)行疊層并同時(shí)進(jìn)行搬運(yùn)，因此，能夠 搬運(yùn)大量基板。根據(jù)上述(2)所述的基板收納裝置，載荷承受部將由緩沖材料部 保持的基板的整個(gè)周邊包圍，因此，基板收納裝置能夠更可靠地保護(hù) 基板。根據(jù)上述(3)所述的基板收納裝置，收容體由支撐件保持成能夠 在疊層狀態(tài)和展開狀態(tài)之間轉(zhuǎn)變，因此，在展開狀態(tài)下，相對(duì)于收容 體取出和放入基板變得容易，并且，在收容基板后能夠轉(zhuǎn)變到疊層狀 態(tài)，因此能夠提高操作效率。根據(jù)上述(4)所述的基板收納裝置，能夠通過簡單的結(jié)構(gòu)將收容 體安裝在剛體板上。根據(jù)上述(5)所述的基板收納裝置，緩沖材料部具有準(zhǔn)導(dǎo)電性， 因此能夠防止基板帶電。由此，能夠防止由于靜電等而使灰塵附著到 基板上，并且，能夠防止對(duì)基板和基板的安裝部件產(chǎn)生電的影響。5根據(jù)上述(6)所述的基板收納裝置，基板以與基板保護(hù)層接觸的 狀態(tài)被收容，因此，能夠防止搬運(yùn)時(shí)的基板的損傷。根據(jù)上述(7)所述的基板收納裝置，基板保護(hù)層由纖維素形成， 因此能夠更可靠地保護(hù)基板。另外，基板保護(hù)層具有耐久性，能夠經(jīng) 得起重復(fù)使用。進(jìn)一步，纖維素中幾乎不含有通常的樹脂類材料中所 含有的增塑劑等有機(jī)物，即使與基板直接接觸，也能夠防止這些有機(jī) 物附著到基板上。


圖1為實(shí)施方式1的基板收納裝置的疊層狀態(tài)的立體圖。圖2為基板收納裝置的展開狀態(tài)的立體圖。圖3為基板收納裝置的截面圖。圖4為收容體的截面圖。圖5為實(shí)施方式2的收容體的截面圖。圖6為實(shí)施方式3的收容體的截面圖。符號(hào)說明10 基板收納裝置15 剛體板20 收容體21 緩沖材料部22 載荷承受部23 基板保護(hù)層30環(huán)狀支撐件(支撐件) S 基板具體實(shí)施方式
<實(shí)施方式1>根據(jù)圖1至圖4對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式1進(jìn)行說明。如圖1所示，本實(shí)施方式的基板收納裝置10通過在剛體板15的上面疊層多個(gè)收容體20而形成。剛體板15通過在上下相對(duì)的兩塊金屬板之間并列設(shè)置多個(gè)梁而構(gòu) 成，具有充分的剛性?；迨占{裝置10構(gòu)成為通過支撐該剛體板15而進(jìn)行基板收納裝置10的搬運(yùn)。例如，通過在貫穿剛體板15側(cè)面的 空洞中插入叉車的叉子，能夠容易地進(jìn)行基板收納裝置10的搬運(yùn)。另外，在本實(shí)施方式中，剛體板15由不銹鋼形成，具有充分的剛 性和防銹性。收容體20包括緩沖材料部21和載荷承受部22。緩沖材料部21由添加有碳的聚丙烯形成為薄板狀，具有彈性和準(zhǔn) 導(dǎo)電性(1011 1012Q左右的電阻)。緩沖材料部21在其中央部分載 置基板S，由此，彈性地支撐基板S，防止沖擊等作用于基板S，并且， 防止基板S帶電。進(jìn)一步，在緩沖材料部21的上面配設(shè)有纖維素制的 基板保護(hù)層23，緩沖材料部21使基板S與該基板保護(hù)層23的上面接 觸，由此防止在基板S上附著樹脂成分和產(chǎn)生損傷等。載荷承受部22是鋁制的，在緩沖材料部21的背面?zhèn)鹊耐庵苓叡?形成為框狀。S卩，載荷承受部22沿著緩沖材料部21的背面?zhèn)鹊恼麄€(gè) 周邊被配置成框狀。并且，由該載荷承受部22對(duì)收容體20整體進(jìn)行 支撐。另外，收容體20以該載荷承受部22與下側(cè)的收容體20的上面接 觸的方式進(jìn)行疊層。此時(shí)，載荷承受部22成為被載置在下側(cè)的收容體 20的緩沖材料部21的上面的外周邊的狀態(tài)。由此，載荷承受部22將 被載置在下側(cè)的收容體20中的基板S的周圍包圍，防止基板S與外部 的其他部件等接觸，以保護(hù)基板S。本實(shí)施方式的收容體20通過環(huán)狀支撐件30安裝在剛體板15上。通過使棒狀部件彎曲成大致U字型，并將其頂端(U字的開口側(cè) 的頂端)部分插入剛體板15中進(jìn)行固定，作為整體形成為環(huán)狀，從而 形成環(huán)狀支撐件30。 g卩，環(huán)狀支撐件30由能夠裝訂多個(gè)收容體20的 環(huán)狀的裝訂件構(gòu)成。環(huán)裝支撐件30插通在收容體20的短邊側(cè)的外邊緣部穿設(shè)的貫穿 孔24。由此，收容體20能夠沿著環(huán)狀支撐件30移動(dòng)。在此，如圖1所示，將收容體20重疊在下側(cè)的收容體20的上面 的狀態(tài)稱為疊層狀態(tài)。另一方面，將收容體20與下側(cè)的收容體20分離并向圖2的左上方展開的狀態(tài)稱為展開狀態(tài)。S卩，在疊層狀態(tài)下， 由上下的收容體20將基板S包含在內(nèi)部，由此能夠收容基板S。另一方面，在展開狀態(tài)下，下側(cè)的收容體20的緩沖部件21的上面露出， 能夠取出和放入基板S。當(dāng)收容體20的保持結(jié)構(gòu)形成為將棒狀部件插通貫穿孔24的結(jié)構(gòu) 時(shí)，在各個(gè)保持部位穿設(shè)有貫穿孔24的部件(收容體20)只能夠沿著 棒狀部件(環(huán)狀支撐件30)的延伸方向(圖3的上下方向)和以棒狀 部件為軸的旋轉(zhuǎn)方向進(jìn)行移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，由于將這樣的棒狀 部件(環(huán)狀支撐件30)平行配設(shè)有多個(gè)，所以收容體20在以環(huán)狀支撐 件30為軸的旋轉(zhuǎn)方向的移動(dòng)被限制，只能在環(huán)狀支撐件30的延伸方 向移動(dòng)。因此，當(dāng)使本實(shí)施方式的收容體20從展開狀態(tài)轉(zhuǎn)變到疊層狀 態(tài)時(shí)，收容體20成為在平面方向上的移動(dòng)受到限制的狀態(tài)。因此，能 夠更可靠地進(jìn)行成為疊層狀態(tài)時(shí)的收容體20的定位。另外，在本實(shí)施方式中，環(huán)狀支撐件30配設(shè)在4個(gè)部位，由多個(gè) 環(huán)狀支撐件30來保持收容體20，由此，使收容體20的保持力增強(qiáng)。對(duì)由上述那樣形成的基板收納裝置IO進(jìn)行的基板S的收納和搬運(yùn) 方法進(jìn)行說明。首先，將基板S載置在收容體20的上面(緩沖材料部21的上面) 的中央部分(參照?qǐng)D2)。此時(shí)，將基板S的安裝面朝向下側(cè)(緩沖材 料部21側(cè))進(jìn)行載置，由于在緩沖材料部21的上面設(shè)置有基板保護(hù) 層23、并使安裝面與該基板保護(hù)層23接觸，所以，基板S(的安裝面) 不會(huì)產(chǎn)生損傷，另外，通過將安裝面向下進(jìn)行載置，能夠防止落下的 灰塵等附著在安裝面上。然后，使處于展開狀態(tài)的其他收容體20重合在載置有基板S的收 容體20的上側(cè)，形成疊層狀態(tài)。于是，重合在上側(cè)上的收容體20的載荷承受部22將基板S的周 圍包圍，并且，上側(cè)的緩沖材料部21將基板S的上方包圍，基板S整 體被上下的收容體20包圍在內(nèi)部，成為與外部隔離的狀態(tài)。在此，在本實(shí)施方式的基板收納裝置10中，當(dāng)已將收容體20疊 層時(shí)，載荷承受部22使收容體20整體的載荷作用在下側(cè)的收容體20 的外周邊。于是，下側(cè)的收容體20通過載荷承受部22承受由上側(cè)的收容體20作用的載荷和自重，并且，(下側(cè)的收容體20的)載荷承受部22進(jìn)一步使這些載荷作用在下側(cè)的收容體20的外周邊。從而，最 終由最下側(cè)的剛體板15承受收容體20整體的載荷。因此，各個(gè)收容 體20的載置基板S的緩沖材料部21的中央部分，不會(huì)被作用基板S 的重量以外的載荷。由此，能夠?qū)⒍鄠€(gè)收容體20重疊。并且，當(dāng)在全部的收容體20中都收容有基板S時(shí)，通過利用叉車 等支撐剛體板15而對(duì)基板收納裝置IO進(jìn)行搬運(yùn)。這樣，根據(jù)本實(shí)施方式的基板收納裝置10，不會(huì)對(duì)被收容在收容 體20中的基板S作用來自其他部件的載荷，因此，能夠形成疊層多個(gè) 收容體20的結(jié)構(gòu)，從而能夠搬運(yùn)大量的基板S。在這種情況下，尤其 當(dāng)收容大型的基板S時(shí)，基板S本身的重量增大，但是即使在這樣的 情況下，因?yàn)槭杖蒹w20整體的載荷通過載荷承受部22傳遞到收容體 20的外周邊，最終由剛體板15承受，所以不會(huì)對(duì)基板S作用過大的載 荷，即使在收容大型的基板S時(shí)，也能夠進(jìn)行大量的基板S的搬運(yùn)。進(jìn)一步，在本實(shí)施方式中，上側(cè)的載荷承受部22將被保持在下側(cè) 的收容體20中的基板S的整個(gè)周圍包圍，由上下的收容體20將基板S 包圍在內(nèi)部，因此，能夠更可靠地保護(hù)基板S。另外，收容體20由多個(gè)環(huán)狀支撐件30保持，即使在從展開狀態(tài) 向疊層狀態(tài)轉(zhuǎn)變時(shí)也被定位，因此，基板S的取出和放入操作變得容 易，能夠提高操作效率。進(jìn)一步，由于緩沖材料部21具有準(zhǔn)導(dǎo)電性，所以能夠防止基板S 帶電，從而能夠防止由于靜電等使灰塵附著到基板S上，并且能夠防 止對(duì)基板S和基板S的安裝部件產(chǎn)生電的影響。另外，在本實(shí)施方式中，由于基板S (的安裝面)與纖維素制的基 板保護(hù)層23接觸地被收容，所以能夠防止搬運(yùn)時(shí)的基板S的損傷等。另外，由于這樣的基板保護(hù)層23由纖維素形成，所以將更可靠地 保護(hù)基板S，并且基板保護(hù)層23具有耐久性，能夠經(jīng)得起反復(fù)使用。 進(jìn)一步，在纖維素中幾乎不含有通常的樹脂類材料中所含有的增塑劑 等有機(jī)物，即使采用如本實(shí)施方式那樣使纖維素制的基板保護(hù)層23直 接與基板S接觸的結(jié)構(gòu)，也能夠防止那樣的有機(jī)物附著到基板S上。<實(shí)施方式2>下面，根據(jù)圖5對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式2進(jìn)行說明。 本實(shí)施方式有關(guān)收容體20的結(jié)構(gòu)，在緩沖材料部21被固著在載荷承受部22的下面這點(diǎn)上與上述實(shí)施方式1不同。對(duì)于其他的相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo)注相同的符號(hào)，省略重復(fù)的說明。本實(shí)施方式的緩沖材料部21具有在載置有基板S時(shí)能夠彎曲的程度的彈性。由此，能夠更加緩和對(duì)基板S的沖擊，因此，基板收納裝置10能 夠更可靠地保護(hù)基板S。<實(shí)施方式3>本發(fā)明的實(shí)施方式3如圖6所示。本實(shí)施方式在使收容體20的緩沖材料部21與載荷承受部22形成 為一體這點(diǎn)上與上述實(shí)施方式l、 2不同。對(duì)于其他的相同的結(jié)構(gòu)，標(biāo) 注相同的符號(hào)，省略重復(fù)的說明。通過利用這樣的收容體20，基板收納裝置10能夠減少部件數(shù)量， 經(jīng)濟(jì)性優(yōu)異。<其它實(shí)施方式>本發(fā)明并不限于根據(jù)上述記載和附圖進(jìn)行說明的實(shí)施方式，例如 下述的實(shí)施方式也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)，進(jìn)一步，除了下述的 實(shí)施方式以外，在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變更而加 以實(shí)施。(1) 在上述實(shí)施方式中，緩沖材料部21是聚丙烯制的，但是， 并不限于此，也可以是聚乙烯等具有緩沖性的材料。(2) 在上述實(shí)施方式中，以包圍基板S整個(gè)周圍的方式配設(shè)載荷 承受部22，但是，并不限于此，例如，可以將載荷承受部22配設(shè)在相 對(duì)的兩邊上，此時(shí)，可以配置在長邊側(cè)，也可以配置在短邊側(cè)。(3) 在上述實(shí)施方式中，利用環(huán)狀支撐件30保持收容體20的短 邊側(cè)，但是，并不限于此，也可以是在長邊側(cè)進(jìn)行保持的結(jié)構(gòu)。另外，環(huán)狀支撐件30在4個(gè)部位進(jìn)行保持，但是，并不限于此，也可以在2個(gè)部位、3個(gè)部位或者5個(gè)以上的部位進(jìn)行保持。另外，在上述實(shí)施方式中，環(huán)狀支撐件30等間隔地配設(shè)，但是， 并不限于此，例如可以靠近中央側(cè)配設(shè)，也可以向外側(cè)分開配設(shè)。(4) 在上述實(shí)施方式中，基板保護(hù)層23使用纖維素，但是，并 不限于此，例如也可以使用紙漿紙等。另外，在上述實(shí)施方式中，由 于基板保護(hù)層23使用具有耐久性的纖維素，所以可以重復(fù)使用。但是 例如也可以使用在每次搬運(yùn)基板S時(shí)進(jìn)行更換的所謂的一次性物品。 此時(shí)，基板保護(hù)層23可以使用例如紙等。(5) 剛體板15只要是具有剛性的板狀部件，并不限于上述實(shí)施 方式的剛體板，例如可以由壁厚的金屬板構(gòu)成。產(chǎn)業(yè)上的可利用性本發(fā)明涉及能夠搬運(yùn)大量大型基板的基板收納裝置，具有產(chǎn)業(yè)上 利用的可能性。
權(quán)利要求
1.一種基板收納裝置，其特征在于，包括將基板包含在內(nèi)部的收容體；和剛體板，該剛體板以將多個(gè)所述收容體疊層在該剛體板的上面的狀態(tài)對(duì)多個(gè)所述收容體進(jìn)行支撐，所述收容體包括保持所述基板的緩沖材料部；和配置在所述緩沖材料部的周邊，承受所述收容體疊層時(shí)的載荷的載荷承受部。
2. 如權(quán)利要求1所述的基板收納裝置，其特征在于 所述載荷承受部被配置在所述緩沖材料部的整個(gè)周邊。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的基板收納裝置，其特征在于 所述收容體的端部通過支撐件安裝在所述剛體板上， 所述收容體被安裝成在將多個(gè)所述收容體上下疊層的疊層狀態(tài)、和通過將上側(cè)的所述收容體展開而能夠相對(duì)于下側(cè)的所述收容體取出 和放入所述基板的展開狀態(tài)之間能夠轉(zhuǎn)變。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的基板收納裝置，其特征在于 所述支撐件由環(huán)狀的裝訂件構(gòu)成。
5. 如權(quán)利要求3所述的基板收納裝置，其特征在于 所述支撐件由環(huán)狀的裝訂件構(gòu)成。
6. 如權(quán)利要求1或2所述的基板收納裝置，其特征在于 所述緩沖材料部具有準(zhǔn)導(dǎo)電性。
7. 如權(quán)利要求3所述的基板收納裝置，其特征在于 所述緩沖材料部具有準(zhǔn)導(dǎo)電性。
8. 如權(quán)利要求4所述的基板收納裝置，其特征在于所述緩沖材料部具有準(zhǔn)導(dǎo)電性。
9. 如權(quán)利要求5所述的基板收納裝置，其特征在于 所述緩沖材料部具有準(zhǔn)導(dǎo)電性。
10. 如權(quán)利要求1或2所述的基板收納裝置，其特征在于 在所述緩沖材料部的與所述基板接觸的一側(cè)配設(shè)有用于保護(hù)基板的基板保護(hù)層。
11. 如權(quán)利要求3所述的基板收納裝置，其特征在于 在所述緩沖材料部的與所述基板接觸的一側(cè)配設(shè)有用于保護(hù)基板的基板保護(hù)層。
12. 如權(quán)利要求4所述的基板收納裝置，其特征在于 在所述緩沖材料部的與所述基板接觸的一側(cè)配設(shè)有用于保護(hù)基板的基板保護(hù)層。
13. 如權(quán)利要求5所述的基板收納裝置，其特征在于 在所述緩沖材料部的與所述基板接觸的一側(cè)配設(shè)有用于保護(hù)基板的基板保護(hù)層。
14. 如權(quán)利要求10所述的基板收納裝置，其特征在于 所述基板保護(hù)層由纖維素形成。
15. 如權(quán)利要求ll所述的基板收納裝置，其特征在于 所述基板保護(hù)層由纖維素形成。
16. 如權(quán)利要求12所述的基板收納裝置，其特征在于 所述基板保護(hù)層由纖維素形成。
17. 如權(quán)利要求13所述的基板收納裝置，其特征在于 所述基板保護(hù)層由纖維素形成。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板收納裝置。該基板收納裝置(10)通過在剛體板(15)的上面疊層多個(gè)收容體(20)而形成。收容體(20)包括具有彈性和準(zhǔn)導(dǎo)電性的緩沖材料部(21)、和由框狀體構(gòu)成的載荷承受部(22)，在緩沖材料部(21)的上面設(shè)置有纖維素制的基板保護(hù)層(23)?；迨占{裝置(10)通過將載置有基板(S)的收容體(20)疊層而將基板(S)包含在內(nèi)部，并且，當(dāng)已將收容體(20)疊層時(shí)，載荷承受部(22)使收容體(20)整體的載荷作用在下側(cè)的收容體(20)的外周邊，載荷不會(huì)作用于載置有基板(S)的中央部分。由此，即使將多個(gè)收容體(20)重疊，也不會(huì)對(duì)被包含在各收容體(20)中的基板(S)產(chǎn)生影響，因此，能夠形成將大量的收容體(20)疊層的結(jié)構(gòu)，從而能夠同時(shí)搬運(yùn)大量的基板(S)。
文檔編號(hào)B65D85/86GK101263067SQ200680033729
公開日2008年9月10日 申請(qǐng)日期2006年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月7日
發(fā)明者吉澤武德 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社