專利名稱：光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)尤其是涉及一種在一光 罩放置裝置的一殼罩上設(shè)置至少一進氣單元及至少一排氣單元，以供該光罩 放置裝置充氣的光罩放置裝置之充氣結(jié)構(gòu)。.
背景技術(shù)：
一般而言，市場上所使用的光罩片由于結(jié)構(gòu)較為精細，若直接運送該光 罩片，則容易于運送途中因碰撞等各種因素對該光罩片造成損壞，也可能在 該光罩片表面附著各種粒子及雜質(zhì)，進而在后續(xù)使用時對該光罩片的表現(xiàn)造 成影響。為避免上述情形發(fā)生，因此該光罩片通常放置于一光罩放置裝置中 進行運送。
該光罩放置裝置形成一密閉空間，并將該光罩放置于該密閉空間中，以 避免其它雜質(zhì)進入該光罩放置裝置中，進而污染該光罩片的表面。為避免該 光罩放置裝置內(nèi)的氣體含有過重的濕氣及其它有害該光罩片的氣體，進而影 響該光罩片的性能，因此，該光罩放置裝置優(yōu)選設(shè)置一充氣結(jié)構(gòu)，并充入一
填充氣體〔例如氮氣〕于該光罩放置裝置中，利用該填充氣體將位于該光 罩放置裝置中的氣體及濕氣置換出來，以維持該光罩放置裝置中的環(huán)境，進 而降低對該光罩片的影響。
現(xiàn)有的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，如中國臺灣公告第1238804號「傳送 盒之填充裝置改良」實用新型專利，其具有一蓋體及一座體。該蓋體覆蓋于 該座體的上方。該蓋體內(nèi)具有一容置空間，以供置放一光罩片于其內(nèi)。該座 體內(nèi)設(shè)有數(shù)個透孔。該透孔內(nèi)設(shè)置有一填充裝置。該填充裝置內(nèi)具有一中空 通道。該中空通道的一端形成一開合部，其另一端形成一導引斜面。
當使用該現(xiàn)有光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)時，首先，將該光罩片放置于該 座體上，并將該蓋體覆蓋于該座體上。接著，將一充氣管通過該中空通道并
頂?shù)钟谠撻_合部，再施予一外力即可使該充氣管穿過該開合部，并進入該容 置空間中。接著，經(jīng)由該充氣管將該填充氣體充入該容置空間中。待填充完 成后，將該充氣管抽出，而該開合部將于該充氣管抽出同時自行閉合，以避 免該光罩放置裝置內(nèi)的光罩片受到外界空氣的污染，進而保持該光罩放置裝 置內(nèi)的環(huán)境。
一般而言，該現(xiàn)有的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)于實際使用時仍具有下列
缺點，例如該現(xiàn)有的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)的填充裝置由該座體的下方 進氣，而該光罩片由于放置于該座體上，因此該光罩片將阻擋該填充氣體的 循環(huán)流動，使得該填充氣體不易置換該光罩放置裝置的上方空間中的氣體， 進而造成其具有氣體置換率不好及充填效率低的缺點。另外，該開合部通常 由一彈性材料制成〔例如橡膠材料〕，長期使用后，該充氣管將磨損該開 合部，致使該開合部的活頁無法密合，造成該填充裝置壽命短。而且，該填
充裝置并無濾氣功能，使得其無法濾除該填充氣體中的雜質(zhì)，造成其具有填 充氣體潔凈度低的缺點。
新型內(nèi)容
本實用新型的主要目的是提供一種光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，其在一光 罩放置裝置的一殼罩上設(shè)置至少一進氣單元及至少一排氣單元，使得本實用 新型具有提高該光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)的充填效率及氣體置換率的效果。
本實用新型的次要目的是提供一種光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，其通過另 設(shè)置數(shù)個過濾組件分別與該進氣及排氣單元相連接，使得本實用新型具有提 高充填氣體潔凈度的效果。
為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案， 一種光罩放置裝置的 充氣結(jié)構(gòu)，其包含一底座、 一殼罩、至少一進氣單元及至少一排氣單元。該 殼罩結(jié)合于該底座的上方，該進氣及排氣單元設(shè)置于該殼罩上。利用該進氣
單元充氣，使得本實用新型具有提高該光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)的充填效率 及氣體置換率的效果。
本實用新型改進了上述現(xiàn)有的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)的缺點，其能有 效提升高該光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)額氣體置換率、充填效率及充填氣體潔 凈度。


圖1:光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2:光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)的上視圖。
圖3:光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)的分解立體圖。
圖4:光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)的部分剖視圖。
圖5:光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)的閉合狀態(tài)示意圖。
圖6:光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)的開放狀態(tài)示意圖。
圖7:光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)的使用狀態(tài)示意圖。
主要組件符號說明
1 殼罩11殼體111第一凸部12內(nèi)罩
121第二凸部2底座3進氣單元31第一管體
311第一頂持壁3111第一通孔32第一活動件321第一頂?shù)植?br> 322第一閉合部33第一墊圈34第一彈性組件35第三墊圈
36 過濾組件4排氣單元41第二管體411第二頂持壁
4111第二通孔42第二活動件421第二頂?shù)植?22第二閉合部
43 第二墊圈44第二彈性組件進氣管6排氣管
7 頂?shù)旨?br> 具體實施方式
為讓本實用新型的上述及其它目的、特征及優(yōu)點能更明顯易懂，下文特
舉本實用新型的優(yōu)選實施例，并配合附圖，作詳細說明如下
請參照圖1至圖3所示，本實用新型優(yōu)選實施例公開的光罩放置裝置的
充氣結(jié)構(gòu)包含一殼罩l、 一底座2、至少一進氣單元3及至少一排氣單元4。 該殼罩1位于該底座2的上方，且該殼罩1周緣與該底座2的周緣相結(jié)合， 使得該殼罩1與該底座2之間形成一容置空間以容置一光罩片〔未標示〕。 該底座2可供承托置放該光罩片。該進氣及排氣單元3、 4設(shè)置于該殼罩1 上。該進氣單元3用于充入一填充氣體，并利用該填充氣體置換該光罩放置 裝置內(nèi)的氣體及濕氣，進而使位于該光罩放置裝置內(nèi)的氣體及濕氣由該排氣 單元4排出。該進氣及排氣單元3、 4優(yōu)選設(shè)置于該殼罩1的上方，以便該 填充氣體可快速置換該光罩放置裝置內(nèi)的氣體。該進氣及排氣單元3、 4優(yōu) 選位于該殼罩1的對角位置，以避免該進氣及排氣單元3、 4的設(shè)置位置過 于接近，使得由該進氣單元3充入的填充氣體尚未置換該裝置內(nèi)的氣體，即 直接由該排氣單元4排出，而造成該填充氣體的浪費。
請參照圖3至圖5所示，本實用新型優(yōu)選實施例公開的光罩放置裝置的 充氣結(jié)構(gòu)的殼罩1包含一殼體11及一內(nèi)罩12。該進氣及排氣單元3、 4可選 擇設(shè)置于該殼體11上、該殼體11及內(nèi)罩12之間或該內(nèi)罩12上。該殼體11 的周緣與該底座2的周緣相結(jié)合。該內(nèi)罩12與該殼體ll相結(jié)合，且該內(nèi)罩 12位于該殼體11及底座2之間，以經(jīng)由該內(nèi)罩12定位該光罩片的位置。該 殼體11上向外凸出設(shè)置至少兩第一凸部111,且該凸部111的中央形成一第 一穿孔〔未標示〕，以供該填充氣體通過。該內(nèi)罩12對應(yīng)該第一凸部111的 位置向該容置空間凸出設(shè)置至少兩第二凸部121,且該第二凸部121的中央 形成一第二穿孔〔未標示〕，以供該填充氣體通過。該第一及第二凸部lll、 121之間形成一空間〔未標示〕，以分別設(shè)置該進氣及出氣單元3、 4。
請參照圖5及圖6所示，該進氣單元3具有一第一管件31、 一第一活動 件32、 一第一墊圈33及一第一彈性組件34。該第一活動件32設(shè)置于該第 一管件31中。該第一墊圏33及第一彈性組件34分別套設(shè)于該第一活動件
32的兩端。該第一管件31內(nèi)形成一第一頂持壁311,以供一頂?shù)旨?頂?shù)?該第一活動件32。該第一頂持壁311中央形成一第一通孔3111,以供氣體 通過。該第一活動件32的一端徑向延伸形成一第一頂?shù)植?21，其另一端徑 向延伸形成一第一閉合部322。該第一活動件32可活動的設(shè)置于該第一通孔 3111中，使得該第一頂?shù)植?21及第一閉合部322分別位于該第一頂持壁 311的相對兩側(cè)。該第一通孔3111的直徑略大于該第一活動件32的直徑， 使得該第一通孔3111可連通該第一頂持壁311相對兩側(cè)的空間，以供氣體 流通。該第一墊圈33位于該第一閉合部322與第一頂持壁311之間。該第 一彈性組件34位于該第一頂?shù)植?21與第一頂持壁311之間。該第一墊圈 33的直徑優(yōu)選大于該第一通孔3111的直徑，且小于該第一閉合部322的直 徑。該第一彈性組件34優(yōu)選自一彈簧，且其直徑小于該第一頂?shù)植?21的 直徑。這樣，該第一彈性組件34將提供一彈性偏壓推抵該第一頂?shù)植?21, 使得該第一閉合部322向該第一頂持壁311移動至該第一墊圏33同時與該 第一頂持壁311及第一閉合部322相抵接。如此便可通過該第一墊圈33及 第一閉合部322封閉該第一頂持壁311相對兩側(cè)空間的連通。
請再參照圖3所示，該排氣單元4的結(jié)構(gòu)與該進氣單元3相同，因此， 該排氣單元4具有一第二管件41、 一第二活動件42、 一第二墊圈43及一第 二彈性組件44。該第二管件41內(nèi)形成一第二頂持壁411，且該第二頂持壁 411中央形成一第二通孔4111。該第二活動件42兩端分別形成一第二頂?shù)?部421及一 第二閉合部422。
請再參照圖5及圖6所示，該進氣單元3設(shè)置于該第一及第二凸部111、 121之間。該第一管體31相對該頂4氐部321的一端與該第一凸部111相^氐接， 該第一管體31的相對另一端則與該第二凸部121相接。優(yōu)選分別設(shè)置一第 三墊圈35于該第一管體31與第一凸部111之間及該第一管體31與第二凸 部121之間，以增強本實用新型的氣密度。另外，該第三墊圏35與第二凸部121之間優(yōu)選設(shè)置一過濾組件36,以濾除該填充氣體中的雜質(zhì)，進而使得 本實用新型可以提高充填氣體潔凈度。如圖3所示，該排氣單元4的設(shè)置方 法與該進氣單元3相同。
請參照圖3、圖5至圖7所示，組裝完成后光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)， 由于該第一彈性組件34所產(chǎn)生的彈性偏壓推抵該第一頂?shù)植?21，使得該第 一閉合部322向該第一頂持壁311移動至該第一墊圈33同時與該第一頂持 壁311及第一閉合部322相抵接。這樣，該容置空間即形成一密閉空間。當 使用本光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)時，將至少一進氣管5及至少一排氣管6分 別與該進氣單元3及排氣單元4相接。該進氣管5及排氣管6內(nèi)皆設(shè)置該頂 抵件7,以供分別頂?shù)衷摰谝患暗诙數(shù)植?21、 421。通過施加一外力于該 頂?shù)旨?上，以頂?shù)衷摰谝患暗诙數(shù)植?21、 421并克服該彈性偏壓，使 得該第一及第二活動件32、 42移動。此時，該容置空間即可經(jīng)由該第一及 第二通孔3111、 4111與該進氣管5及排氣管6相通，再由該進氣管充填該 填充氣體于該容置空間內(nèi)，以置換該容置空間內(nèi)原有的氣體及濕氣。由于該 進氣及出氣單元3、 4設(shè)置于該殼罩1上，因此該填充氣體充入該容置空間 后，其對流不易受到該光罩片的阻擋，使得該填充氣體可快速置換該容置空 間內(nèi)之氣體，并經(jīng)由該排氣單元4及排氣管6排出。待該容置空間內(nèi)的氣體 濕度降低至一定標準后，即可停止進氣，并將該進氣管5及排氣管6拆卸。 此時，該進氣及排氣單元3、 4將回復成閉合狀態(tài)，使該容置空間再度形成 一密閉空間，以避免外界的氣體污染該容置空間內(nèi)的光罩片。
如上所述，相較于圖1所示的現(xiàn)有的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)的填充裝 置由該座體的下方進氣，造成其氣體置換率不高及充填效率低等缺點。另夕卜， 該開合部于長期使用后，容易受到磨損，造成該填充裝置的壽命低。另外， 該現(xiàn)有的填充裝置并無濾氣功能，使得其無法濾除該填充氣體中的雜質(zhì)，造 成其填充氣體潔凈度低。本實用新型在該殼罩1上設(shè)置至少一進氣單元3及
至少一排氣單元4，使得該光罩放置裝置可由該進氣單元3進氣，并經(jīng)由該 排氣單元4將該光罩放置裝置中的氣體排出，因此能提高該光罩放置裝置的 充氣結(jié)構(gòu)的氣體置換率、充填效率及充填氣體潔凈度。另外設(shè)置該過濾組件
46分別與該進氣及排氣單元3、 4相連接，可以提高該充填氣體的潔凈度。
權(quán)利要求1、一種光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，其包含一個底座，其用于承托一個光罩片；一個殼罩，其結(jié)合于該底座的上方；至少一個進氣單元，其設(shè)置于該殼罩上；及至少一個排氣單元，其設(shè)置于該殼罩上。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該 殼罩包含一個殼體及一個內(nèi)罩。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該 殼體設(shè)置至少兩個第一凸部，且該內(nèi)罩設(shè)置至少兩個第二凸部。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該 第 一及第二凸部之間形成一個空間，且該進氣及排氣單元分別設(shè)置于該空間 內(nèi)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該 進氣單元與該第一凸部之間設(shè)有一個第三墊圈。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該 第三墊圏與第 一 凸部之間系設(shè)有 一 個過濾組件。
7、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該 排氣單元與該第二凸部之間設(shè)有一個第三墊圏。
8、 根據(jù)權(quán)利要求7所述的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該 第三墊圏與第二凸部之間設(shè)有 一 個過濾組件。
9、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該 進氣單元包含一個第一管件、 一個第一活動件、 一個第一墊圏及一個第一彈 性組件，該第一活動件設(shè)置于該第一管件中，且該第一墊圈及第一彈性組件 分別套設(shè)于該第 一活動件的兩端。
10、根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該排氣單元包含一個第二管件、 一個第二活動件、 一個第二墊圏及一個第二彈 性組件，該第二活動件設(shè)置于該第二管件中，且該第二墊圈及第二彈性組件 分別套設(shè)于該第二活動件的兩端。
專利摘要一種光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)，其包含一底座、一殼罩、至少一進氣單元及至少一排氣單元。該殼罩結(jié)合于該底座的上方，該進氣及排氣單元設(shè)置于該殼罩上。利用該進氣單元充氣，使得本實用新型具有提高該光罩放置裝置的充氣結(jié)構(gòu)充填效率及氣體置換率的效果。
文檔編號B65D81/20GK201068279SQ200720140969
公開日2008年6月4日 申請日期2007年4月2日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月2日
發(fā)明者盧詩文, 廖莉雯, 陳俐殷 申請人:億尚精密工業(yè)股份有限公司