專利名稱：基板輸送機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基板輸送機(jī)，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及適用于液晶電視等使用 的玻璃基板的輸送的基板輸送機(jī)。
背景技術(shù)：
例如在液晶電視的制造過(guò)程中，玻璃基板經(jīng)過(guò)各種工序加工成液晶面板。
在玻璃基板的工序間的移動(dòng)使用稱為箱體(力iry卜)的容器，容器是將多 個(gè)玻璃基板在上下方向上隔開間隔并分別以水平狀態(tài)將其收納的容器。
在各工序中，基板輸送機(jī)配置在箱體與加工裝置之間，該基板輸送機(jī)從 箱體接受玻璃基板，將接受來(lái)的玻璃基板交付給加工裝置。而且，在加工裝 置中當(dāng)玻璃基板的處理結(jié)束時(shí)，該基板輸送機(jī)從加工裝置接受玻璃基板且將 接受的玻璃基板再次交付到箱體(例如參照專利文獻(xiàn)1 )。
具體來(lái)說(shuō)，例如(日本)特開2006-335518號(hào)公報(bào)公開的基板輸送機(jī)(基 板輸送裝置)具有手部(八乂 K)、交接用傳送帶及中間傳送帶。手部可以在 上下方向及水平方向移動(dòng)，在與加工裝置之間執(zhí)行玻璃基板的交接。交接用 傳送帶及中間傳送帶在與箱體之間執(zhí)行玻璃基板的交接，玻璃基板在輸送過(guò) 程中從手部及傳送帶的一方向另一方轉(zhuǎn)接。
在上述公報(bào)的基板輸送機(jī)中，基板輸送機(jī)與箱體的間隔是一定的。在該 間隔寬的情況下，存在可能由于交接的玻璃基板的撓曲而使在玻璃輸送機(jī)與 箱體之間的傳送帶的玻璃基板的交接不能順利進(jìn)行的問題。特別是，在將一 個(gè)基板輸送機(jī)可移動(dòng)地設(shè)置，在與多個(gè)箱體進(jìn)行玻璃基板的交接中使用的情 況下，有時(shí)會(huì)使基板移送裝置與各箱體的間隔設(shè)定地較寬，增加了產(chǎn)生該問 題的可能。
另外，在上述公報(bào)的基板輸送機(jī)中，中間傳送帶和手部設(shè)為一體，結(jié)構(gòu) 復(fù)雜。特別是中間傳送帶由氣墊裝置構(gòu)成的情況下，壓縮空氣的供給管道的 配管變得繁雜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種具有簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)且可使基板的交接順利進(jìn)行的 基板輸送機(jī)。
為了實(shí)現(xiàn)所述的目的，根據(jù)本發(fā)明，提供一種基板輸送機(jī)，用于將在相 互分離的一側(cè)及相反側(cè)中的一方側(cè)接受到的基板輸送，并交付到另 一方側(cè)，
其特征在于，具備移動(dòng)工作臺(tái)，其在水平方向可移動(dòng)地配置在基座上，且 在所述一側(cè)交接基板時(shí)位于所述一側(cè)；支承裝置，其配置在所述移動(dòng)工作臺(tái) 上，且具有用于在所述水平方向可移動(dòng)地支承所述基板的支承區(qū)域；移動(dòng)裝 置，其用于在所述一側(cè)交接所述基板，并橫穿所述一側(cè)的所述支承區(qū)域的前 端而使所述支承區(qū)域上的基板在所述水平方向上移動(dòng)；立設(shè)在所述基座上的 支柱；手部，其在所述相反側(cè)交接所述基板，且在與所述支承裝置之間交接 輸送過(guò)程的所述基板，在所述水平方向可移動(dòng)并從上下方向看橫穿所述支承 區(qū)域且可升降地安裝于所述支柱上，所述支承區(qū)域在所述一側(cè)具有從所述移 動(dòng)工作臺(tái)露出的延出部。
根據(jù)本發(fā)明的基板輸送機(jī)，在相對(duì)的機(jī)器(相對(duì)機(jī)器)的一側(cè)交接基板 時(shí)，移動(dòng)工作臺(tái)位于一側(cè)，伴隨于此，超出移動(dòng)工作臺(tái)的支承區(qū)域的延出部 向相對(duì)機(jī)器接近。因此，相對(duì)機(jī)器與支承區(qū)域的間隔縮短，防止在支承區(qū)域 和相對(duì)機(jī)器之間交接的基板的彎曲。結(jié)果是，根據(jù)該基板輸送機(jī)，與相對(duì)機(jī) 器件的基板的交接順利進(jìn)行。
另外，由于支承裝置只配置在移動(dòng)工作臺(tái)上，故而該基板輸送機(jī)具有簡(jiǎn) 單的結(jié)構(gòu)。
優(yōu)選的是，所述移動(dòng)裝置設(shè)于所述支承裝置。在優(yōu)選方式的基板輸送機(jī) 中，由于移動(dòng)裝置設(shè)于支承裝置，故而結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
優(yōu)選的是，所述支承裝置具有相互平行排列且分別向水平方向延伸的 多個(gè)管道、形成于所述管道上面的壓縮空氣的吹出口。
根據(jù)優(yōu)選方式的基板輸送機(jī)，支承裝置利用從吹出口吹出的壓縮空氣而 非接觸地支承基板。用于供給壓縮空氣的氣管與管道連接，但由于管道只配 置在移動(dòng)工作臺(tái)上，故而氣管的配置簡(jiǎn)單。
優(yōu)選的是，所述移動(dòng)裝置包含沿所述支承區(qū)域在所述水平方向延伸的 主軌道、可滑動(dòng)地安裝在所述主軌道上的滑動(dòng)軌道。根據(jù)優(yōu)選方式的基板輸 送機(jī)，移動(dòng)裝置由主軌道及輔助軌道構(gòu)成，能通過(guò)簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)移動(dòng)基板。優(yōu)選的是，基板輸送機(jī)具備相互上下分離的兩個(gè)所述手部。 優(yōu)選方式的基板輸送才幾即使具有兩個(gè)手部也具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。另 一方面， 由于具有兩個(gè)手部，因此，在另一側(cè)交接基板時(shí)，用一手部接受基板之后可 以交付預(yù)先載置在另一手部的基板。結(jié)果是，根據(jù)該基板輸送機(jī)，大幅縮短 基板的輸送時(shí)間。


圖1是液晶面板的生產(chǎn)系統(tǒng)的一部分的示意圖2是從加工裝置側(cè)看到的適用于圖1的系統(tǒng)的一實(shí)施方式的基板輸送 才幾的側(cè)面圖3是從上方看到的圖2的基板輸送機(jī)的平面圖4是在圖2的IV-IV線將一部分切口而表示的正面圖5是從上方看到的圖2的基板輸送機(jī)與加工裝置之間交接玻璃基板時(shí)
的狀態(tài)的平面圖6是將圖5的狀態(tài)的基板輸送機(jī)一部分切口表示的正面圖7是沿基座軌道的方向看到的圖2的基板輸送機(jī)中玻璃基板從手部轉(zhuǎn)
接至支承裝置后的狀態(tài)的正面圖8是從上方看到的圖2的基板輸送機(jī)中移動(dòng)工作臺(tái)向箱體側(cè)移動(dòng)的狀
態(tài)的平面圖9是將圖8的狀態(tài)的基板輸送機(jī)一部分切口表示的正面圖； 圖IO是從上方看到的圖2的基板輸送機(jī)中輔助軌道向箱體側(cè)移動(dòng)的狀態(tài) 的平面圖ll是將圖IO的狀態(tài)的基板輸送機(jī)一部分切口表示的正面圖； 圖12是從上方看到的圖2的基板輸送機(jī)與箱體之間交接玻璃基板時(shí)的狀 態(tài)的平面圖13是將圖12的狀態(tài)的基板輸送機(jī)一部分切口表示的正面圖。
具體實(shí)施例方式
圖1是大致表示適用了一實(shí)施方式的基板輸送機(jī)的液晶電視(液晶面板) 的生產(chǎn)系統(tǒng)的一部分。該生產(chǎn)系統(tǒng)的一部分設(shè)在無(wú)塵室內(nèi)，具備圖中右側(cè)排 列成一列的多個(gè)箱體CS、和左側(cè)排列成一列的多個(gè)加工裝置PM。基板輸機(jī)可行駛地配置在箱體CS的列與加工裝置PM的列之間延伸的基軌10上。
詳細(xì)而言，如圖2-4所示，基板輸送機(jī)具有經(jīng)由基座滑塊12配置在基 軌上10的基座14?；?4具有俯視為四邊形的形狀，在基座14的上面立有 支柱16。
在支柱16上安裝有升降滑塊18,升降滑塊18相對(duì)于支柱16可在上下方 向上升降。在升降滑塊18上安裝有兩個(gè)橫梁20。橫梁20相互上下分離，且 分別向與基軌IO垂直的水平方向，換言之，連結(jié)成對(duì)的加工裝置PM和箱體 CS的水平方向(輸送方向)延伸。
箱體CS側(cè)的^f黃梁20的端部20a/人輸送方向看比基座14的端部更突出。 另一方面，加工裝置PM側(cè)的橫梁20的端部20b配置在與基座14的端部大 致相同的位置。
各橫梁20上安裝連結(jié)板22的根部，連結(jié)板22可以從橫梁20的一端部 20a貫穿另 一端部20b向輸送方向移動(dòng)。連結(jié)板22在與輸送方向垂直的水平 方向、即基軌10的軸線方向是長(zhǎng)的。
例如5根支承棒24的基端部固定在連結(jié)板22上。支承棒24相互在自身 的寬度方向上分離且平行，且分別向輸送方向延伸。即，支承棒24排列為梳 齒狀。在輸送方向上的支承棒24的長(zhǎng)度比橫梁20的長(zhǎng)度短，但比基座l4的 長(zhǎng)度長(zhǎng)。
在支承棒24從連結(jié)板22向加工裝置PM延伸，連結(jié)板22位于橫梁20 的一端部20a側(cè)的升降位置時(shí)，從輸送方向看，支承棒24的前端部被定位在 與橫梁20的另 一端部20b大致相同的位置。在連結(jié)板22位于橫梁20的另一 端部20b側(cè)的交接位置時(shí)，支承棒24從橫梁20的另 一端部20b及基座14的 端部突出，支承;溱24的前端部進(jìn)入加工裝置PM內(nèi)。
支承棒24相互協(xié)動(dòng)可以從下部支承1張玻璃基板，伴隨升降滑塊18的 升降及連結(jié)板22的水平移動(dòng)而輸送玻璃基板G。因此，將支承棒24及連結(jié) 板22統(tǒng)稱為手部H。另外，在平面圖中，用實(shí)線表示玻璃基板G的外緣，透 過(guò)玻璃基板G描繪其下部的結(jié)構(gòu)。
另外，在基座14上配置有固定臺(tái)26。固定臺(tái)26位于支柱16的前方，固 定臺(tái)26及手部H相對(duì)于支柱16位于相同的位置。從輸送方向看，固定臺(tái)26 的頂板26a的長(zhǎng)度比基座14的長(zhǎng)度長(zhǎng)，箱體CS側(cè)的頂板26a的端部從基座 14的端部突出。但是，頂板26a的突出長(zhǎng)度比橫梁20的突出長(zhǎng)度短。在固定臺(tái)26的頂板26a上配置有兩個(gè)工作臺(tái)導(dǎo)軌28,這些工作臺(tái)導(dǎo)軌 28遍及頂板26的大致全長(zhǎng)并分別向輸送方向延伸，在基軌10的軸線方向相 互分離。在工作臺(tái)導(dǎo)軌28上經(jīng)由工作臺(tái)滑塊30配置移動(dòng)工作臺(tái)32，移動(dòng)工 作臺(tái)32可以在輸送方向移動(dòng)。
移動(dòng)工作臺(tái)32具有四邊形的底板34,從輸送方向看，底板34的長(zhǎng)度比 基座14的長(zhǎng)度短。在移動(dòng)工作臺(tái)32位于加工裝置PM側(cè)的轉(zhuǎn)接位置時(shí)，加 工裝置PM側(cè)的底板34的端部位于與頂板26a的端部大致相同的位置。在移 動(dòng)工作臺(tái)32位于轉(zhuǎn)接位置時(shí)，箱體CS側(cè)的底板34的端部位于工作臺(tái)導(dǎo)軌 28的中間，但伴隨移動(dòng)工作臺(tái)32在輸送方向的移動(dòng)，會(huì)超過(guò)基座14的端部
而移動(dòng)o
在移動(dòng)工作臺(tái)32的底板34上，在其兩端以規(guī)定的間隔立有例如各六根 支承構(gòu)件36。支承構(gòu)件36分別向上下方向延伸，支承支承裝置S。
支承裝置S是例如氣墊式的支承裝置，具有六根管道38。管道38相互 分離且平行，分別在輸送方向延伸。各管道38通過(guò)兩個(gè)支承構(gòu)件36支承， 管道38的數(shù)量與在底板34的各端的支承構(gòu)件36的數(shù)量對(duì)應(yīng)。管道38的橫 截面形狀為空心的長(zhǎng)方形，各管道38的上面為平坦。這些管道38的上面在
水平基準(zhǔn)面上配置為同一表面。
在各管道38上，例如在其下面連接氣管(未圖示)的前端，氣管的根部 與鼓風(fēng)裝置40連接。鼓風(fēng)裝置40與過(guò)濾裝置42并列配置在基座14上。
在各管道38的上面，遍及整個(gè)區(qū)域形成有多個(gè)的吹出口 44,這些吹出口 44排列在管道38的長(zhǎng)度方向上。當(dāng)鼓風(fēng)裝置40動(dòng)作時(shí)，由過(guò)濾裝置42凈化 的壓縮空氣通過(guò)氣管供給管道38內(nèi)，壓縮空氣從各吹出口 44朝向大致上方 吹出。通過(guò)該吹出的壓縮空氣，可以將玻璃基板G非接觸地支承在管道38 上。即，規(guī)定管道38的上面為非接觸地支承玻璃基板G的支承區(qū)域。
另外，移動(dòng)工作臺(tái)32具有用于使管道38上的玻璃基板G向輸送方向移 動(dòng)的移動(dòng)裝置(裝置)T，移動(dòng)裝置T具有兩根主軌道46。主軌道46經(jīng)由托 架分別由6組支承構(gòu)件36中兩側(cè)的兩組的支承構(gòu)件36支承，各主軌道46在 輸送方向延伸。主軌道46的長(zhǎng)度比移動(dòng)工作臺(tái)32的底板34的長(zhǎng)度長(zhǎng)一些。 箱體CS側(cè)的主軌道46的端部與底板34的端部對(duì)齊，加工裝置PM側(cè)的主軌 道46的端部比底板34的端部突出一些。
在主軌道46上配置有比主軌道46短的輔助4九道48。輔助軌道48沿主軌道46延伸，可以相對(duì)于主軌道46在輸送方向移動(dòng)。
在主軌道48上，在輸送方向可移動(dòng)地安裝有吸盤50。吸盤50可以吸附 于玻璃基板G的背面，在吸附于玻璃基板G的狀態(tài)下，可以在輔助軌道48 的兩端部間移動(dòng)。
在此，各管道38的長(zhǎng)度比移動(dòng)工作臺(tái)32的地板34的長(zhǎng)度長(zhǎng)，從輸送方 向看，加工裝置PM側(cè)的管道38的端部及底板34的端部的位置大致對(duì)齊。
隨移動(dòng)工作臺(tái)32向箱體CS側(cè)移動(dòng)，可超出橫梁20的端部而突出。換言之，
部，該延出部伴隨移動(dòng)工作臺(tái)32的移動(dòng)可超出橫梁20的端部而突出。
對(duì)于輔助軌道48的可動(dòng)范圍，加工裝置PM側(cè)的輔助軌道48的端部不 超出主軌道46的端部而突出。另一方面，箱體CS側(cè)的輔助軌道48的端部伴 隨輔助軌道48的移動(dòng)可超出主軌道46的端部而突出，進(jìn)一步，也可超出支 承裝置S的管道38的端部而突出。
吸盤50的可動(dòng)范圍相對(duì)于輔助軌道48遍及其大致全長(zhǎng)。因此，通過(guò)吸 盤50自身、輔助軌道48及移動(dòng)工作臺(tái)32的移動(dòng)組合，從輸送方向看，吸盤 50可超出箱體CS側(cè)的管道38的端部及橫梁20的端部而突出。
下面，以將玻璃基板G從加工裝置PM輸送到箱體CS的情況為例，對(duì) 上述的基板輸送機(jī)的動(dòng)作(使用方法)進(jìn)行說(shuō)明。
使基板輸送機(jī)在基軌10上移動(dòng)，且使基板輸送機(jī)位于用于輸送玻璃基板 G的箱體CS與加工裝置PM之間。然后，如圖5及圖6所示，比支承裝置S 的管道38更靠上方的手部H向加工裝置PM側(cè)的接受位置移動(dòng)，.由此，手部 H即支承棒24進(jìn)入加工裝置PM內(nèi)。然后，通過(guò)使升降滑塊18上升，在支 承棒24上載置玻璃基板G。即，基板輸送機(jī)的手部H在加工裝置PM內(nèi)接受 玻璃基板G。
接受玻璃基板G后，手部H如上述的圖2~圖4所示，向箱體CS側(cè)的 升降位置移動(dòng)。然后，如圖7所示，升降滑塊18使手部H的支承棒24下降 到比支承裝置S的支承區(qū)域的更靠下方的位置，支承棒24橫穿支承區(qū)域時(shí)， 支承棒24上的玻璃基板G在支承領(lǐng)域上移動(dòng)。即，玻璃基板G從手部H向 支承裝置S轉(zhuǎn)接。
另夕卜，轉(zhuǎn)接時(shí)，移動(dòng)工作臺(tái)32、輔助軌道48及吸盤50相對(duì)于固定臺(tái)26、主軌道46及輔助軌道48分別位于最靠近加工裝置PM側(cè)的位置(轉(zhuǎn)接位置)， 手部H的連結(jié)板22不會(huì)與管道38及輔助軌道48碰撞。另外，俯視看各支承 棒24位于管道38之間的間隙或管道38與輔助軌道48之間的間隙位置，支 承棒24從上方進(jìn)入這些間隙，從而可以橫穿支承領(lǐng)域。
另外，轉(zhuǎn)接時(shí)，從管道38的吹出口 44吹出壓縮空氣，轉(zhuǎn)接到支承裝置S 的玻璃基板G通過(guò)管道38被非接觸支承。另一方面，吸盤50從下方在該加 工裝置PM側(cè)的端部吸附轉(zhuǎn)接的玻璃基板G。
玻璃基板G轉(zhuǎn)接到支承裝置S后，如圖8及圖9所示，移動(dòng)工作臺(tái)32 向固定臺(tái)26上最靠近箱體CS側(cè)的位置移動(dòng)，且支承裝置S的管道38的端部 配置在箱體CS的附近。另外，伴隨移動(dòng)工作臺(tái)32的移動(dòng)，玻璃基板G與支 承區(qū)域一起向箱體CS側(cè)移動(dòng)，且玻璃基板G的端部也配置在箱體CS的附近。
之后，如圖IO及圖11所示，輔助軌道48向主軌道46上的最靠近箱體 CS側(cè)的位置移動(dòng)。伴隨輔助軌道48的移動(dòng)，玻璃基板G相對(duì)于支承區(qū)域相 對(duì)移動(dòng)，同時(shí)向箱體CS側(cè)移動(dòng)，而且，玻璃基板G的一部分超過(guò)支承區(qū)域 的端部(前端)，進(jìn)入箱體CS內(nèi)。
在箱體CS內(nèi)，配置有用于交接玻璃基板G的箱體用基板支承裝置60， 箱體用基板支承裝置60支承進(jìn)入箱體CS內(nèi)的玻璃基板G的一部分。箱體用 基板支承裝置60例如由氣墊裝置構(gòu)成。
然后，如圖12及圖13所示，吸盤50移動(dòng)到輔助軌道48上最靠近箱體 CS側(cè)的位置。伴隨吸盤50的移動(dòng)，玻璃基板G進(jìn)一步相對(duì)于支承區(qū)域相對(duì) 移動(dòng)，同時(shí)向箱體CS側(cè)移動(dòng)，最終，玻璃基板整體進(jìn)入箱體CS側(cè)且由箱體 用基板支承裝置60支承。其后，使箱體CS稍稍上升，吸盤50從玻璃基板G 脫離且將玻璃基板G向箱體CS交付。
至此，對(duì)將玻璃基板G從加工裝置PM輸送到箱體CS的情況進(jìn)行了說(shuō) 明。在將收納在箱體CS內(nèi)的玻璃基板G接受并輸送且向加工裝置PM交付 的情況下，可以將上述工序4姿逆方向進(jìn)行。
根據(jù)上述基板輸送裝置，在與箱體CS之間交接基板G時(shí)，移動(dòng)工作臺(tái) 32位于箱體CS側(cè)，伴隨于此，超出移動(dòng)工作臺(tái)32的支承區(qū)域的延出部接近 箱體CS。因此，箱體CS和支承區(qū)域間的間隔縮短，且防止在支承區(qū)域和箱 體CS之間交接的玻璃基板的彎曲。結(jié)果，根據(jù)該基板輸送機(jī)，在與箱體CS 之間可以順利進(jìn)行玻璃基板G的交接。
9另外，在上述基板輸送機(jī)中，支承裝置S只配置在移動(dòng)工作臺(tái)32上，結(jié)
果是，該基板輸送機(jī)具有簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)。特別是在該基板輸送機(jī)構(gòu)中，將壓縮
空氣供給向管道38的氣管的配管也簡(jiǎn)單。
本發(fā)明不受上述的一實(shí)施方式限制，可以有各種變形。 例如在一實(shí)施方式中，支承裝置S為氣墊裝置，但也可為通過(guò)超聲波非 接觸地支承玻璃基板G的超聲波浮起裝置?；蛘撸С醒b置S也可為多個(gè)滾 輪構(gòu)成的滾輪組。滾輪組與玻璃基板G的背面接觸而支承玻璃基板G,且通 過(guò)多個(gè)滾輪規(guī)定支承領(lǐng)域。該情況下，可以旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)滾輪而使?jié)L輪組兼作移 動(dòng)裝置。
在一實(shí)施方式中，基板輸送機(jī)具有兩個(gè)相互上下分離的手部H,但也可 只具有一個(gè)手部H。
但是，如果具有兩個(gè)手部H，則在通過(guò)一個(gè)手部H/人加工裝置PM接受 玻璃基板G之后，可以將另 一個(gè)手部H上預(yù)先載置的玻璃基板G交付到加工 裝置PM。即，在加工裝置PM處理玻璃基板之間，可以從箱體CS接受接著 要處理的玻璃基板G并載置在手部H。由此，玻璃基板G的輸送時(shí)間減小， 而提高液晶電視的生產(chǎn)率。
另外，即使具有兩個(gè)手部，由于支承裝置S只配置在移動(dòng)工作臺(tái)32上， 因此氣管等的結(jié)構(gòu)也不會(huì)復(fù)雜。
最后，本發(fā)明的基板輸送機(jī)可以適用于等離子電視等的生產(chǎn)系統(tǒng)中，當(dāng) 然也可適用于玻璃基板以外的基板。即，玻璃輸送機(jī)相互交接基板的相對(duì)機(jī) 器并不限定于加工裝置及箱體。
10
權(quán)利要求
1、一種基板輸送機(jī)，用于將在相互分離的一側(cè)及相反側(cè)中的一方側(cè)接受到的基板輸送，并交付到另一方側(cè)，其特征在于，具備移動(dòng)工作臺(tái)，其在水平方向可移動(dòng)地配置在基座上，且在所述一側(cè)交接基板時(shí)位于所述一側(cè)；支承裝置，其配置在所述移動(dòng)工作臺(tái)上，且具有用于在所述水平方向可移動(dòng)地支承所述基板的支承區(qū)域；移動(dòng)裝置，其用于在所述一側(cè)交接所述基板，并橫穿所述一側(cè)的所述支承區(qū)域的前端而使所述支承區(qū)域上的基板在所述水平方向上移動(dòng)；立設(shè)在所述基座上的支柱；手部，其在所述相反側(cè)交接所述基板，且在與所述支承裝置之間交接輸送過(guò)程的所述基板，在所述水平方向可移動(dòng)并從上下方向看橫穿所述支承區(qū)域且可升降地安裝于所述支柱上，所述支承區(qū)域在所述一側(cè)具有從所述移動(dòng)工作臺(tái)露出的延出部。
2、 如權(quán)利要求1所述的基板輸送機(jī)，其特征在于，所述移動(dòng)裝置設(shè)于 所述支承裝置。
3、 如權(quán)利要求2所述的基板輸送機(jī)，其特征在于，所述支承裝置具有 相互平行排列且分別向所述水平方向延伸的多個(gè)管道、 形成于所述管道上面的壓縮空氣的吹出口。
4、 如權(quán)利要求3所述的基板輸送機(jī)，其特征在于，所述移動(dòng)裝置包含: 沿所述支承區(qū)域在所述水平方向延伸的主軌道、 可滑動(dòng)地安裝在所述主軌道上的滑動(dòng)軌道。
5、 如權(quán)利要求4所述的基板輸送機(jī)，其特征在于，具備相互上下分離 的兩個(gè)所述手部。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種基板輸送機(jī)，具備移動(dòng)工作臺(tái)(32)，其在水平方向可移動(dòng)地配置在基座(14)上，且在一側(cè)交接基板(G)時(shí)位于一側(cè)；支承裝置(S)，其配置在移動(dòng)工作臺(tái)(32)上，且具有用于在水平方向可移動(dòng)地支承基板(G)的支承區(qū)域；移動(dòng)裝置(T)，其用于在一側(cè)交接基板(G)，并橫穿一側(cè)的支承區(qū)域的前端而使支承區(qū)域上的基板(G)在水平方向上移動(dòng)；立設(shè)在基座(14)上的支柱(16)；手部(H)，其在相反側(cè)交接基板(G)，且在與支承裝置(S)之間交接輸送過(guò)程的基板(G)，在水平方向可移動(dòng)并從上下方向看橫穿支承區(qū)域且可升降地安裝于支柱(16)上，支承區(qū)域在一側(cè)具有從移動(dòng)工作臺(tái)(32)露出的延出部。
文檔編號(hào)B65G49/00GK101558001SQ20078004565
公開日2009年10月14日 申請(qǐng)日期2007年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年2月20日
發(fā)明者平田賢輔 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Ihi