專利名稱：基板輸送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在收納玻璃基板、液晶基板、PDP基板等基板的收納盒和對所述基 板進(jìn)行處理的處理裝置之間輸送基板的輸送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在薄型顯示器等制造設(shè)備中，玻璃基板等基板被收納在收納盒內(nèi)。然后，在處理基 板時，向處理裝置輸送基板，若處理結(jié)束，則再次被收納在收納盒內(nèi)。在這樣的制造設(shè)備中， 需要在收納盒和處理裝置之間輸送基板的輸送系統(tǒng)?；宓妮斔拖到y(tǒng)要求具有與處理裝置 的基板的處理能力相應(yīng)的輸送能力。例如，在處理裝置的基板的處理能力超過輸送系統(tǒng)的 輸送能力的情況下，在處理裝置中產(chǎn)生等待基板的輸送的時間，制造效率變差。因此，希望 輸送系統(tǒng)的基板的輸送能力超過處理裝置的基板的處理能力。在日本特開2005-60110號公報中，公開了從多個收納盒選擇性地向處理裝置輸 送基板的系統(tǒng)。在此系統(tǒng)中，基板的輸送能力取決于收納盒的數(shù)量。因此，例如在將基板在 一個收納盒和處理裝置之間進(jìn)行輸送的情況下，存在基板的輸送能力比處理裝置的處理能 力差的情況。在日本特開平9-132309號公報中，公開了同時輸送多張基板，在輸送的過程中處 理多張基板的系統(tǒng)。在此系統(tǒng)中，需要處理裝置能夠同時傳遞多張基板。但是，在薄型顯示 器等的制造設(shè)備中，大多采用一張一張地進(jìn)行基板的傳遞的處理裝置。此系統(tǒng)難以適應(yīng)于 采用了一張一張地進(jìn)行基板的傳遞的處理裝置的制造設(shè)備。另外，在此系統(tǒng)中，每個收納盒 都需要傳送器，傳送器的數(shù)量增多。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種與一張一張地進(jìn)行基板的傳遞的處理裝置對應(yīng)，使傳送 器的數(shù)量更少，同時，提高了基板的輸送能力的基板輸送系統(tǒng)。 根據(jù)本發(fā)明，提供一種基板輸送系統(tǒng)，所述基板輸送系統(tǒng)在收納基板的第一以及 第二收納盒和對所述基板進(jìn)行處理的處理裝置之間輸送基板，所述處理裝置在與所述第一 以及第二收納盒的配置方向正交的方向與所述第一以及第二收納盒分離地配置，其特征在 于具備同時輸送傳送器、傳送器移動組件、個別輸送傳送器、定位組件，所述同時輸送傳送 器具有能夠在與所述基板的輸送方向正交的方向排列地載置多張所述基板的寬度，能夠在 所述輸送方向同時輸送所述多張所述基板；所述傳送器移動組件在第一位置和第二位置之 間在所述配置方向移動所述同時輸送傳送器，所述第一位置是在與所述第一收納盒之間進(jìn) 行所述基板的移載的位置，所述第二位置是在與所述第二收納盒之間進(jìn)行所述基板的移載 的位置；所述個別輸送傳送器配置在所述同時輸送傳送器和所述處理裝置之間，具有能夠 在與所述輸送方向正交的方向排列地載置所述多張所述基板的寬度，能夠在所述輸送方向 個別地輸送所述多張基板；所述定位組件進(jìn)行所述個別輸送傳送器上的所述基板和所述處 理裝置的定位。
在本發(fā)明的基板輸送系統(tǒng)中，通過設(shè)置了所述同時輸送傳送器，能夠在基板的輸 送途中并列輸送多張基板，能夠提高輸送能力。另外，通過設(shè)置了所述傳送器移動組件，能 夠由所述第一收納盒和所述第二收納盒共用所述同時輸送傳送器。因此，能夠使傳送器的 數(shù)量更少。而且，通過設(shè)置了所述個別輸送傳送器以及所述定位組件，能夠?qū)λ鎏幚硌b置 一張一張地進(jìn)行基板的傳遞。因此，能夠與一張一張地進(jìn)行基板的傳遞的處理裝置對應(yīng)。另外，根據(jù)本發(fā)明，提供一種基板輸送系統(tǒng)，所述基板輸送系統(tǒng)在收納基板的第一以及第二收納盒和對所述基板進(jìn)行處理的處理裝置之間輸送基板，所述處理裝置在與所述 第一以及第二收納盒的配置方向正交的方向與所述第一以及第二收納盒分離地配置，其特 征在于具備第一同時輸送傳送器、傳送器移動組件、個別輸送傳送器、第二同時輸送傳 送器、基板移動單元、升降單元，所述第一同時輸送傳送器具有能夠在與所述基板的輸送方 向正交的方向排列地載置多張所述基板的寬度，能夠在所述輸送方向同時輸送所述多張所 述基板；所述傳送器移動組件在第一位置和第二位置之間在所述配置方向移動所述第一同 時輸送傳送器，所述第一位置是在與所述第一收納盒之間進(jìn)行所述基板的移載的位置，所 述第二位置是在與所述第二收納盒之間進(jìn)行所述基板的移載的位置；所述個別輸送傳送 器配置在所述第一同時輸送傳送器和所述處理裝置之間，具有能夠在與所述輸送方向正交 的方向排列地載置所述多張所述基板的寬度，能夠在所述輸送方向個別地輸送所述多張基 板；所述第二同時輸送傳送器相對于所述個別輸送傳送器在與所述輸送方向正交的方向并 列配置，具有能夠在與所述輸送方向正交的方向排列地載置所述多張所述基板的寬度，能 夠在所述輸送方向同時輸送所述多張基板；所述基板移動單元具有載置所述個別輸送傳送 器以及所述第二同時輸送傳送器上的所述基板的載置部，在所述個別輸送傳送器以及所述 第二同時輸送傳送器上在與所述輸送方向正交的方向移動所述基板；所述升降單元相對地 升降所述載置部和所述個別輸送傳送器以及所述第二同時輸送傳送器。在本發(fā)明的基板輸送系統(tǒng)中，通過設(shè)置了所述第一同時輸送傳送器，能夠在基板 的輸送途中并列輸送多張基板，能夠提高輸送能力。另外，通過設(shè)置了所述傳送器移動組 件，能夠由所述第一收納盒和所述第二收納盒共用所述第一同時輸送傳送器。因此，能夠使 傳送器的數(shù)量更少。而且，通過設(shè)置了所述個別輸送傳送器、所述基板移動組件以及所述升 降單元，能夠?qū)λ鎏幚硌b置一張一張地進(jìn)行基板的傳遞。因此，能夠與一張一張地進(jìn)行基 板的傳遞的處理裝置對應(yīng)。


圖1是表示有關(guān)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)A的布局的俯視圖。圖2是基板輸送系統(tǒng)A的側(cè)視圖。圖3是收納盒10的立體圖。圖4是表示構(gòu)成各傳送器30、31以及32的輥傳送器單元100以及110的立體圖。圖5是表示收納盒10中的玻璃基板W的收納狀態(tài)以及移載傳送器32上的玻璃基 板W的位置的例子(二例)的俯視圖。圖6是一對升降裝置80的立體圖。圖7是升降裝置80的分解立體圖。圖8是將玻璃基板W從收納盒10輸出的情況下的由升降裝置80進(jìn)行的收納盒10的升降動作的圖。圖9是傳送器移動單元1的分解立體圖。圖10是表示基板輸 送系統(tǒng)A的控制裝置200的結(jié)構(gòu)的框圖。圖11是表示在移載傳送器32和同時輸送傳送器30之間輸送玻璃基板Wl的例子 的圖。圖12是表示在移載傳送器32和同時輸送傳送器30之間輸送玻璃基板Wl的例子 的圖。圖13是表示從移載傳送器32向同時輸送傳送器30輸送玻璃基板Wl的例子的圖。圖14是表示從移載傳送器32向同時輸送傳送器30輸送玻璃基板Wl的例子的圖。圖15是表示在同時輸送傳送器30和個別輸送傳送器31之間輸送玻璃基板Wl的 例子的圖。圖16是表示從個別輸送傳送器31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板Wl的 例子的圖。圖17是表示從個別輸送傳送器31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板Wl的 例子的圖。圖18是表示從個別輸送傳送器31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板Wl的 例子的圖。圖19是表示從個別輸送傳送器31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板W2的 例子的圖。圖20是表示從個別輸送傳送器31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板W2的 例子的圖。圖21是表示從個別輸送傳送器31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板W2的 例子的圖。圖22是表示有關(guān)本發(fā)明的其它實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)B的布局的俯視圖。圖23是表示同時輸送傳送器以及傳送器移動單元的其它例子的俯視圖。圖24是表示有關(guān)本發(fā)明的其它實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)C的布局的俯視圖。圖25是基板輸送系統(tǒng)C的側(cè)視圖。圖26是載置部件56以及57的立體圖。圖27是表示升降單元60的升降動作和與之相伴的載置部件56的升降的圖。圖28是表示在同時輸送傳送器30和個別輸送傳送器31’之間輸送玻璃基板Wl 的例子的圖。圖29是表示從個別輸送傳送器31’向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板Wl 的例子的圖。圖30是表示從個別輸送傳送器31’向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板Wl 的例子的圖。圖31是表示從個別輸送傳送器31’向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板Wl 的例子的圖。圖32是表示從個別輸送傳送器31’向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板W2 的例子的圖。
圖33是表示從個別輸送傳送器31’向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板W2 的例子的圖。圖34是表示從個別輸送傳送器31’向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板W2 的例子的圖。圖35是表示從個別輸送傳送器31’向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板W2 的例子的圖。圖36是表示從處理裝置20向個別輸送傳送器31，一張一張地輸送玻璃基板Wl， 在個別輸送傳送器31’上，在Y方向排列多張玻璃基板Wl的例子的圖。圖37是表示從處理裝置20向個別輸送傳送器31，一張一張地輸送玻璃基板Wl， 在個別輸送傳送器31’上，在Y方向排列多張玻璃基板Wl的例子的圖。圖38是表示從處理裝置20向個別輸送傳送器31，一張一張地輸送玻璃基板Wl， 在個別輸送傳送器31’上，在Y方向排列多張玻璃基板Wl的例子的圖。圖39是表示從處理裝置20向個別輸送傳送器31，一張一張地輸送玻璃基板Wl， 在個別輸送傳送器31’上，在Y方向排列多張玻璃基板Wl的例子的圖。圖40是表示從處理裝置20向個別輸送傳送器31，一張一張地輸送玻璃基板W2， 在個別輸送傳送器31’上，在Y方向排列多張玻璃基板W2的例子的圖。圖41是表示從處理裝置20向個別輸送傳送器31 —張一張地輸送玻璃基板W2，在 個別輸送傳送器31’上，在Y方向排列多張玻璃基板W2的例子的圖。圖42是表示從處理裝置20向個別輸送傳送器31，一張一張地輸送玻璃基板W2， 在個別輸送傳送器31’上，在Y方向排列多張玻璃基板W2的例子的圖。圖43是表示從處理裝置20向個別輸送傳送器31，一張一張地輸送玻璃基板W2， 在個別輸送傳送器31’上，在Y方向排列多張玻璃基板W2的例子的圖。圖44是表示有關(guān)本發(fā)明的其它實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)D的布局的俯視圖。圖45是在兩個個別輸送傳送器31’上的玻璃基板W的輸送狀態(tài)的說明圖。圖46是表示載置部件56以及57的移動機(jī)構(gòu)的其它例子的圖。
具體實(shí)施例方式為了實(shí)施發(fā)明的優(yōu)選方式[第一實(shí)施方式][整體結(jié)構(gòu)]圖1是表示有關(guān)本發(fā)明的一個實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)A的布局的俯視圖，圖2 是基板輸送系統(tǒng)A的側(cè)視圖。另外，在各圖中，箭頭X、Y表示相互正交的水平方向，箭頭Z 表示上下方向(鉛直方向)。在本實(shí)施方式的情況下，基板輸送系統(tǒng)A在收納方形薄板狀的 玻璃基板W的收納盒10和對玻璃基板W進(jìn)行處理的處理裝置20 (僅圖示了其一部分)之 間輸送玻璃基板W。另外，玻璃基板W在圖2中由虛線圖示，圖1中省略了圖示。處理裝置20進(jìn)行例如玻璃基板的清洗、干燥、其它的處理。處理裝置20能夠在其 內(nèi)部收納多張玻璃基板，例如能夠在收納盒10內(nèi)收納多張玻璃基板W。另外，在處理裝置 20中，進(jìn)行一張一張玻璃基板W的輸入、輸出。另外，在本實(shí)施方式中，以玻璃基板為輸送對 象，但本發(fā)明也可以適用于液晶基板、PDP基板等其它的基板。
本實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)A在兩個收納盒10和一個處理裝置20之間輸送玻璃 基板W。另外，也可以以在3個以上的收納盒10和一個處理裝置20之間輸送玻璃基板W的 方式構(gòu)成。兩個收納盒10在Y方向分離地配置，這些收納盒10的配置方向是Y方向。各收 納盒10和處理裝置20在X方向分離地配置。因此，在本實(shí)施方式的情況下，基板輸送系統(tǒng) A的基板的輸送方向是X方向，與輸送方向正交的方向是Y方向。兩個收納盒10以這些玻璃基板W的輸入輸出部朝向+X方向的方式配置，處理裝 置20以所述玻璃基板W的輸入輸出部朝向-X方向的方式配置?；遢斔拖到y(tǒng)A具備同時輸送傳送器30、個別輸送傳送器31、對每個這些傳送器 30以及31設(shè)置的兩個傳送器移動單元1、兩個移載傳送器32、移載傳送器70、一對升降裝 置80。[收納盒]圖3是收納盒10的立體圖。收納盒10是能夠在Z方向多段地收納玻璃基板W的 盒。另外，圖3是表示未收納玻璃基板W的狀態(tài)。在本實(shí)施方式的情況下，收納盒10由多 個柱部件11、梁部件12形成大致長方體形狀的框架體。柱部件11的配設(shè)間隔以及梁部件 12的配設(shè)間隔以移載傳送器32能夠從收納盒10的下方進(jìn)入到收納盒10內(nèi)的方式設(shè)定。柱部件11在X方向配設(shè)多個，同時，在Y方向分離地并列設(shè)置相同數(shù)量的柱部件 11。在沿Y方向分離的一對柱部件11之間，在Z方向排列且以規(guī)定的間距鋪設(shè)了線材13。 各線材13的上下之間的空間形成收納玻璃基板W的縫隙，玻璃基板W以大致水平姿勢被載 置在線材13上。這樣，與在Z方向排列的線材13的數(shù)量相應(yīng)地形成縫隙。在本實(shí)施方式的情況下，在一個縫隙內(nèi)在Y方向排列地收納多張玻璃基板W。但 是，也可以在Y方向以及X方向排列地收納多張玻璃基板W，進(jìn)而，還可以在一個縫隙內(nèi)收納 一個玻璃基板W。另外，雖然在本實(shí)施方式中由線材形成縫隙，但是當(dāng)然也可以采用其它的 方式。不過，通過使用線材，能夠縮小被收納的基板之間的間隔，能夠提高收納盒10的收納 效率。[傳送器]接著，說明同時輸送傳送器30、個別輸送傳送器31以及移載傳送器32的結(jié)構(gòu)。在 本實(shí)施方式的情況下，這些傳送器均將多個輥傳送器配置成矩陣狀而構(gòu)成。但是，也可以使 用皮帶傳送器等其它形式的傳送器。圖4是表示構(gòu)成各傳送器30、31以及32的輥傳送器單元100以及110的立體圖。 如該圖所示，在本實(shí)施方式中，通過使用大小不同的兩種輥傳送器單元100以及110，能夠 由相同的系統(tǒng)輸送尺寸不同的玻璃基板W。輥傳送器單元100具備載置玻璃基板W(圖4中未圖示)的多個輥101、內(nèi)置了輥 101的驅(qū)動裝置的驅(qū)動箱102、檢測輥101上的玻璃基板W的傳感器103。輥101繞Y方向 的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，在X方向輸送玻璃基板W。輥傳送器單元110具備載置玻璃基板W的多個輥111、內(nèi)置了輥111的驅(qū)動裝置的 驅(qū)動箱112、檢測輥111上的玻璃基板W的傳感器113。輥111繞Y方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，在 X方向輸送玻璃基板W。輥傳送器單元110的Y方向的寬度是輥傳送器單元100的Y方向 的寬度的大約一半。各輥傳送器單元100以及各輥傳送器單元110分別能夠獨(dú)立驅(qū)動。
在本實(shí)施方式的情況下，在Y方向的兩端部各配置一個輥傳送器單元100，在這些 輥傳送器單元100之間配置兩個輥傳送器單元110。在Y方向排列的這四個輥傳送器單元 100以及110也稱為“輥傳送器單元組”。圖4是表示在X方向排列了三個“輥傳送器單元 組”的狀態(tài)。參照圖1以及圖2，在本實(shí)施方式中，同時輸送傳送器30、個別輸送傳送器31以及 移載傳送器32均在X方向排列了三個“輥傳送器單元組”而構(gòu)成。即，與圖4所示的輥傳 送器單元100以及110的配置排列相同。移載傳送器32、同時輸送傳送器30以及移載傳送器32在X方向配置，可由這些傳送器在X方向連續(xù)地輸送玻璃基板W。另外，同時輸送傳送器30、個別輸送傳送器31以及移載傳送器32均具有能夠在與 玻璃基板W的輸送方向(X方向)正交的Y方向排列地載置多張玻璃基板W的寬度(Y方向 的寬度)。圖5是表示收納盒10中的玻璃基板W1、W2的收納狀態(tài)以及移載傳送器32上的 玻璃基板Wl、W2的位置的例子(二例)的俯視圖。對每個收納盒10都設(shè)置了移載傳送器 32。圖5中的上方的例子是在收納盒10的各縫隙內(nèi)收納了兩張玻璃基板Wl的例子， 移載傳送器32能夠在Y方向載置兩張玻璃基板Wl。圖5中的下方的例子是在收納盒10的 各縫隙內(nèi)收納了三張玻璃基板W2的例子，移載傳送器32能夠在Y方向載置三張玻璃基板 W2。玻璃基板W2是與玻璃基板Wl相比Y方向的寬度小的玻璃基板。在以玻璃基板Wl為輸送對象的情況下，與移載傳送器32同樣，在同時輸送傳送器 30以及個別輸送傳送器31上能夠在Y方向載置兩張玻璃基板W1。另外，在以玻璃基板W2 為輸送對象的情況下，與移載傳送器32同樣，在同時輸送傳送器30以及個別輸送傳送器31 上能夠在Y方向載置三張玻璃基板W2。返回到圖1以及圖2，移載傳送器70是由單一的輥傳送器單元構(gòu)成的輥傳送器。 移載傳送器70進(jìn)行處理裝置20和個別輸送傳送器31之間的玻璃基板W的傳遞。另外，也 可以不設(shè)置移載傳送器70，在個別輸送傳送器31和處理裝置20之間直接傳遞玻璃基板W。[升降裝置]圖6是一對升降裝置80的立體圖，圖7是升降裝置80的分解立體圖。在本實(shí)施 方式中，通過由升降裝置80在Z方向升降收納盒10，在Z方向相對地移動收納盒10和移載 傳送器32。但是，也可以做成在Z方向升降移載傳送器32的結(jié)構(gòu)。另外，在做成了升降移 載傳送器32的結(jié)構(gòu)的情況下，將做成也升降同時輸送傳送器30的結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施方式的情況下，升降裝置80分別以夾著收納盒10的方式被配設(shè)在收納 盒10的相互相向的Y方向的兩側(cè)部，單臂支承收納盒10。根據(jù)此結(jié)構(gòu)，能夠使升降裝置80 更加薄型化。升降裝置80具備載置收納盒10的底部的梁部件12的橫梁部件81。通過各升降 裝置80的各橫梁部件81在Z方向同步移動來升降收納盒10。升降裝置80具備在Z方向 延伸的支柱82，在支柱82的內(nèi)側(cè)表面固定著在Z方向延伸的一對軌道部件83以及齒條84。 在各升降裝置80之間，在支柱82的上端架設(shè)著梁部件80a。橫梁部件81經(jīng)托架85a固定地支承在支承板85的一側(cè)面上。在支承板85的另 一側(cè)面上固定能夠沿軌道部件83移動的四個滑動部件86，橫梁部件81以及支承板85通過軌道部件83的引導(dǎo)上下移動。驅(qū)動單元87由馬達(dá)87a和減速機(jī)87b構(gòu)成，被固定地支承 在支承板88的一側(cè)面上。減速機(jī)87b的輸出軸貫通支承板88，與配設(shè)在支承板88的另一 側(cè)面上的小齒輪89a連接。支承板85和支承板88隔著規(guī)定的間隔相互固定，在支承板85和支承板88的空 隙中配設(shè)了小齒輪89b至89d。小齒輪89b至89d在支承板85和支承板88之間可旋轉(zhuǎn)地 被軸支承，小齒輪89b以及小齒輪89c從動于小齒輪89a的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。小齒輪89d從動 于小齒輪89c的旋轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)。小齒輪89b至89d是彼此相同規(guī)格的小齒輪，兩個小齒輪89b 以及89d與各齒條84嚙合。于是，若對驅(qū)動單元87進(jìn)行驅(qū)動，則小齒輪89a旋轉(zhuǎn)，通過其驅(qū)動力，驅(qū)動單元87、 支承板85以及88、滑動部件86以及橫梁部件81成為一體，向上方或下方移動，能夠升降載 置在橫梁部件81上的收納盒10。在各升降裝置80上，檢測彼此的橫梁部件81的升降高度 的偏差的傳感器81a設(shè)置在橫梁部件81的端部。傳感器81a例如是具備發(fā)光部和受光部的光傳感器，如圖6所示，相互在Y方向照 射光，判定是否接受了光。在接受了光的情況下，彼此的橫梁部件81的升降高度沒有偏差， 在沒有接受到光的情況下，升降高度有偏差。若由傳感器81a檢測出升降高度的偏差，則通 過馬達(dá)87a的控制進(jìn)行控制，以便消除偏差。通過設(shè)置傳感器81a，控制橫梁部件81的升降 高度的偏差，能夠防止在升降時收納盒10傾斜，更穩(wěn)定地升降收納盒10。另外，設(shè)置在各橫梁部件81上的兩個傳感器81a也可以做成其一方具有發(fā)光部和 受光部的任意一方，其另一方具有發(fā)光部和受光部的另一方的結(jié)構(gòu)。另外，不限于光傳感 器，也可以采用其它的傳感器。圖8是表示從收納盒10輸出玻璃基板W的情況下的由升降裝置80(圖8中未圖 示)進(jìn)行的收納盒10的升降動作的圖。玻璃基板W的輸出從被收納在收納了玻璃基板W 的縫隙中的最下方的縫隙的玻璃基板W開始依次進(jìn)行。首先，如圖8的左上圖所示，從收納盒10位于移載傳送器32的上方的狀態(tài)開始， 由升降裝置80使收納盒10下降，如圖8的右上圖所示，將作為輸送對象的玻璃基板W載置 在移載傳送器32上。此時，移載傳送器32從下方進(jìn)入到收納盒10內(nèi)，作為輸送對象的玻 璃基板W成為從收納盒10的線材13浮起的狀態(tài)，并成為僅由移載傳送器32支承的狀態(tài)。 接著，驅(qū)動移載傳送器32，如圖8的左下圖所示，將作為輸送對象的玻璃基板W從收納盒10 輸出。下面同樣地反復(fù)進(jìn)行收納盒10的下降和移載傳送器32的驅(qū)動(圖8的右下圖)，從 下方側(cè)依次輸出玻璃基板W。在將玻璃基板W向收納盒10輸入的情況下，是與所述的輸出時的動作大致相反的 動作。玻璃基板W的輸入從沒有收納玻璃基板W的縫隙中的最下方的縫隙開始依次進(jìn)行。[傳送器移動單元]傳送器移動單元1分別設(shè)置在同時輸送傳送器30和個別輸送傳送器31上，在Y 方向移動同時輸送傳送器30和個別輸送傳送器31。移動同時輸送傳送器30的傳送器移動 單元1進(jìn)行同時輸送傳送器30和兩個收納盒10之間的定位。移動個別輸送傳送器31的 傳送器移動單元1進(jìn)行個別輸送傳送器31和處理裝置20之間的定位。進(jìn)而，各傳送器移 動單元1進(jìn)行同時輸送傳送器30和個別輸送傳送器31之間的定位。圖9是傳送器移動單元1的分解立體圖。傳送器移動單元1具備搭載同時輸送傳送器30或個別輸送傳送器31的支承板2。在支承板2的下面上設(shè)置了在一對軌道部件5 上滑動的多個滑動部件2b。一對軌道部件5在X方向分離地平行地設(shè)置，分別在Y方向延 伸。通過由軌道部件5引導(dǎo)滑動部件2b，支承板2能夠在Y方向移動。在一對軌道部件5之間，在Y方向分離地架設(shè)多個梁部件6，由這些梁部件6從下 方支承齒條7。齒條7在Y方向延伸，在其側(cè)面具有齒7b，在其上面上具有用于檢測支承板 2的Y方向的位置的標(biāo)記帶7a。支承板2上設(shè)置了開口部2a。馬達(dá)3插入在開口部2a內(nèi)。在馬達(dá)3上設(shè)置了安 裝板3a，經(jīng)安裝板3a，馬達(dá)3被固定在支承板2上。在馬達(dá)3的輸出軸上安裝了與齒條7 的齒7b嚙合的小齒輪3b。另外，在安裝板3a的下面上設(shè)置了檢測標(biāo)記帶7a上的各個標(biāo)記 的傳感器4。傳感器4例如是光傳感器。具有這樣的齒條_小齒輪機(jī)構(gòu)的傳送器移動單元1，通過驅(qū)動馬達(dá)3，支承板2在 軌道部件5上移動，能夠在Y方向移動同時輸送傳送器30、個別輸送傳送器31。另外，通過 傳感器4檢測標(biāo)記帶7a上的標(biāo)記，能夠特定同時輸送傳送器30、個別輸送傳送器31的Y方 向的位置。另外，雖然在本實(shí)施方式中，作為移動同時輸送傳送器30以及個別輸送傳送器31 的機(jī)構(gòu)，使用了齒條_小齒輪機(jī)構(gòu)，但是，也可以采用皮帶傳動機(jī)構(gòu)、線性馬達(dá)等其它的機(jī) 構(gòu)。另外，個別輸送傳送器31的Y方向的位置的特定，除使用傳感器4和標(biāo)記帶7a的組合 以外，也可以使用其它的位置檢測組件(例如檢測馬達(dá)3的旋轉(zhuǎn)量的編碼器)。[控制裝置]圖10是表示基板輸送系統(tǒng)A的控制裝置200的結(jié)構(gòu)的框圖?？刂蒲b置200具備 負(fù)責(zé)基板輸送系統(tǒng)A的整體的控制的CPU201、提供CPU201的工作區(qū)域并且存儲可變數(shù)據(jù)等 的RAM202、存儲控制程序、控制數(shù)據(jù)等固定性的數(shù)據(jù)的R0M203。RAM202、R0M203也可以采 用其它的存儲組件。輸入接口(I/F)204是CPU201和各種傳感器(例如，傳感器4、81a等)的接口， CPU201經(jīng)輸入I/F204取得各種傳感器的檢測結(jié)果。輸出接口(I/F)205是CPU201和各種 馬達(dá)(例如，馬達(dá)3、87a、驅(qū)動箱102、112內(nèi)的馬達(dá)等)的接口，CPU201經(jīng)輸出I/F205控制 各種馬達(dá)。通信接口(I/F)206是控制包括基板輸送系統(tǒng)A在內(nèi)的基板處理設(shè)備整體的主計 算機(jī)300和CPU201的接口，CPU201與來自主計算機(jī)300的指令相應(yīng)地控制基板輸送系統(tǒng) A0[由基板輸送系統(tǒng)A進(jìn)行的基板的輸送例][同時輸送傳送器的輸送例]圖11以及圖12是表示在移載傳送器32和同時輸送傳送器30之間輸送玻璃基板 W1的例子的圖。通過同步驅(qū)動各“輥傳送器單元組”，能夠在Y方向排列多張玻璃基板W1而 在X方向同時輸送。另外，這里雖然以玻璃基板W1為例進(jìn)行列舉，但是，就玻璃基板W2而 言也同樣。圖11是表示在兩個收納盒10中的一方的收納盒10和同時輸送傳送器30之間同 時移載多張玻璃基板W1的例子。在此情況下，首先由傳送器移動單元1將同時輸送傳送器 30向進(jìn)行一方的收納盒10和玻璃基板W1的移載的位置移動。具體地說，以同時輸送傳送器30以及移載傳送器32的各輥傳送器單元100以及110在X方向連續(xù)的方式，將同時輸 送傳送器30向規(guī)定的位置移動。然后，通過驅(qū)動同時輸送傳送器30以及移載傳送器32的 各輥傳送器單元100以及110，能夠同時移載多張玻璃基板W。圖12是表示在兩個收納盒10中的另一方的收納盒10和同時輸送傳送器30之間 同時移載多張玻璃基板W1的例子。在此情況下，首先由傳送器移動單元1將同時輸送傳送 器30向進(jìn)行另一方的收納盒10和玻璃基板W1的移載的位置移動，然后，通過驅(qū)動同時輸 送傳送器30以及移載傳送器32的各輥傳送器單元100以及110，能夠同時移載多張玻璃基 板W1。在本實(shí)施方式中，能夠像這樣在同時輸送傳送器30和移載傳送器32之間在Y方 向排列多張玻璃基板而同時進(jìn)行輸送，能夠提高針對收納盒10的玻璃基板的輸出、輸入的效率。雖然在本實(shí)施方式中，由獨(dú)立驅(qū)動的多個輥傳送器單元100以及110構(gòu)成了同時 輸送傳送器30和移載傳送器32，但是，若僅在Y方向排列多張玻璃基板而同時進(jìn)行輸送，則 也可以像移載傳送器70的那樣，由單一的輥傳送器單元分別構(gòu)成同時輸送傳送器30、移載 傳送器32。但是，通過像本實(shí)施方式的這樣，由獨(dú)立驅(qū)動的多個輥傳送器單元100以及110構(gòu) 成了同時輸送傳送器30和移載傳送器32，具有輸送狀態(tài)的變化增多的優(yōu)點(diǎn)。例如，還可以 選擇性地采用一張一張地輸送玻璃基板的輸送狀態(tài)。另外，例如還可以選擇性地采用在+Y 側(cè)將玻璃基板向+X方向，在-Y側(cè)將玻璃基板向-X方向輸送這樣地將多張玻璃基板相互反 向地輸送的輸送狀態(tài)。圖13以及圖14是表示在移載傳送器32和同時輸送傳送器30之間一張一張地輸 送玻璃基板W1的例子的圖。圖13表示從移載傳送器32將第一張玻璃基板W1向同時輸送 傳送器30輸送的狀態(tài)。從此狀態(tài)開始，如圖14所示，由傳送器移動單元1將同時輸送傳送 器30向+Y方向移動規(guī)定量而停止，將第二張玻璃基板W1向同時輸送傳送器30輸送。在此情況下，輥傳送器單元100以及110與玻璃基板的尺寸、輸送位置相應(yīng)地被選 擇性地驅(qū)動。例如，在圖13的狀態(tài)下，移載傳送器32以及同時輸送傳送器30的輥傳送器 單元100以及110中的+Y方向側(cè)的一半的輥傳送器單元100以及110被驅(qū)動。在圖14的 狀態(tài)下，移載傳送器32的輥傳送器單元100以及110中的+Y方向側(cè)的一半的輥傳送器單 元100以及110被驅(qū)動，同時輸送傳送器30的輥傳送器單元100以及110中的-Y方向側(cè) 的一半的輥傳送器單元100以及110被驅(qū)動。另外，從圖13的狀態(tài)到圖14的狀態(tài)的同時 輸送傳送器30的移動量也與玻璃基板的大小、輸送位置相應(yīng)地被設(shè)定。通過這樣做，能夠在移載傳送器32和同時輸送傳送器30之間一張一張地輸送玻 璃基板W1。因此，例如即使是在移載傳送器32只能一張一張地輸送玻璃基板，在收納盒10 的各縫隙內(nèi)只能一張一張地收納玻璃基板的情況下，也可以適用本實(shí)施方式的基板輸送系 統(tǒng)A。[同時輸送傳送器和個別輸送傳送器之間的玻璃基板的輸送例]圖15是表示在同時輸送傳送器30和個別輸送傳送器31之間輸送玻璃基板W1的 例子的圖。另外，雖然這里列舉了玻璃基板W1的例子，但是，就玻璃基板W2而言，也同樣。在將玻璃基板W1在同時輸送傳送器30和個別輸送傳送器31之間進(jìn)行輸送的情況下，使至少任意一方的傳送器移動單元1移動，進(jìn)行同時輸送傳送器30和個別輸送傳送 器31的定位。具體地說，以同時輸送傳送器30以及個別輸送傳送器31的各輥傳送器單元 100以及110在X方向連續(xù)的方式，將同時輸送傳送器30或個別輸送傳送器31的任意一方 向規(guī)定的位置移動。然后，如圖15所示，通過驅(qū)動同時輸送傳送器30以及個別輸送傳送器 31的各輥傳送器單元100以及110，能夠同時輸送多張玻璃基板W1。這樣，在本實(shí)施方式中，能夠由同時輸送傳送器30并列輸送多張玻璃基板。即，能 夠在Y方向排列多張玻璃基板，同時輸送這些玻璃基板。由此，能夠提高收納盒10和處理 裝置20之間的玻璃基板的輸送中的輸送能力。另外，通過設(shè)置傳送器移動單元1，由兩個收 納盒10共用同時輸送傳送器30，能夠進(jìn)一步減少傳送器的數(shù)量。另外，在本實(shí)施方式中，也可以由同時輸送傳送器30和傳送器移動單元1，不經(jīng)個 別輸送傳送器31，在兩個收納盒10之間傳遞玻璃基板。此時，由于能夠同時輸送多張玻璃 基板，所以，能夠迅速傳遞玻璃基板。[個別輸送傳送器的輸送例]在本實(shí)施方式的情況下，處理裝置20 —張一張地輸入、輸出玻璃基板。因此，在將 從同時輸送傳送器30同時輸送到個別輸送傳送器31的多張玻璃基板從個別輸送傳送器31 向處理裝置20輸送時，需要將輸送張數(shù)從多張變換為一張。個別輸送傳送器31和傳送器 移動單元1進(jìn)行此輸送張數(shù)的變換。由此，能夠?qū)μ幚硌b置20 —張一張地進(jìn)行玻璃基板的 傳遞。圖16至圖18是表示從個別輸送傳送器31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基 板W1的例子的圖。圖16表示在個別輸送傳送器31上載置著兩張玻璃基板W1的狀態(tài)。在 此狀態(tài)下，進(jìn)行任意一方的玻璃基板W1和處理裝置20的定位，即，進(jìn)行玻璃基板W1和處理 裝置20的輸入輸出位置的對位。在本實(shí)施方式的情況下，假想處理裝置20的Y方向中央 部分為玻璃基板W1的輸入輸出位置的情況。在本實(shí)施方式的情況下，此定位由傳送器移動單元1進(jìn)行。如圖16所示，若玻璃 基板W1和處理裝置20的定位結(jié)束，則驅(qū)動個別輸送傳送器31和移載傳送器70，如圖17所 示，將第一張玻璃基板W1向處理裝置20輸送。此時，個別輸送傳送器31的各輥傳送器單 元100以及110，與玻璃基板W1的尺寸以及在個別輸送傳送器31上的位置相應(yīng)地被選擇性 地驅(qū)動。在圖17的例子的情況下，-Y側(cè)的一半的輥傳送器單元100以及110被驅(qū)動。接著，按照與第一張玻璃基板W1相同的順序輸送第二張玻璃基板W1。如圖18所 示，由傳送器移動單元1向-Y方向移動個別輸送傳送器31，進(jìn)行第二張玻璃基板和處理裝 置20的定位，在定位結(jié)束后，驅(qū)動個別輸送傳送器31和移載傳送器70，如圖18所示，將第 二張玻璃基板W1向處理裝置20輸送。圖19至圖21是表示從個別輸送傳送器31向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基 板W2的例子的圖。個別輸送傳送器31具有能夠載置三張玻璃基板W2的寬度，將玻璃基板 W2分三次向處理裝置20輸入。圖19表示在由傳送器移動單元1進(jìn)行了第一張玻璃基板W2和處理裝置20的定 位后，將第一張玻璃基板W2向處理裝置20輸入的狀態(tài)。在此情況下，僅個別輸送傳送器31 的各輥傳送器單元100以及110中的+Y側(cè)的三個輥傳送器單元100被驅(qū)動。圖20表示在由傳送器移動單元1進(jìn)行了第二張玻璃基板W2和處理裝置20的定位后，將第二張玻璃基板W2向處理裝置20輸入的狀態(tài)。在此情況下，僅個別輸送傳送器31的各輥傳送器單元100以及110中的Y方向中央的六個輥傳送器單元110被驅(qū)動。圖19表示在由傳送器移動單元1進(jìn)行了第三張玻璃基板W2和處理裝置20的定 位后，將第三張玻璃基板W2向處理裝置20輸入的狀態(tài)。在此情況下，僅個別輸送傳送器31 的各輥傳送器單元100以及110中的-Y側(cè)的三個輥傳送器單元100被驅(qū)動。這樣，在本實(shí)施方式中，能夠?qū)⒉ＡЩ逡粡堃粡埖叵蛱幚硌b置20輸入。在從處 理裝置20向個別輸送傳送器31輸出玻璃基板的情況下，成為與輸入時大致相反的順序。[玻璃基板的尺寸的特定]在本實(shí)施方式中，如上所述，能夠進(jìn)行尺寸不同的玻璃基板Wl以及W2的輸送。這 是通過與玻璃基板的尺寸以及輸送的位置相應(yīng)地選擇性地驅(qū)動構(gòu)成個別輸送傳送器31的 輥傳送器單元100以及110和通過驅(qū)動傳送器移動單元1來實(shí)現(xiàn)的。在進(jìn)行尺寸不同的玻 璃基板的輸送的情況下，需要特定該玻璃基板的尺寸，在控制裝置200控制的基礎(chǔ)上設(shè)定 尺寸。設(shè)定玻璃基板的尺寸的第一方法是，在各收納盒10中僅收納相同尺寸的玻璃基 板，在控制裝置200的控制基礎(chǔ)上，設(shè)定玻璃基板的尺寸。在此情況下，以在基板輸送系統(tǒng) A上輸送的玻璃基板全部是相同尺寸的玻璃基板為前提。設(shè)定玻璃基板的尺寸的第二方法是，逐一檢測玻璃基板的尺寸，在控制裝置200 的控制基礎(chǔ)上，個別地設(shè)定玻璃基板的尺寸。在此情況下，也可以將在基板輸送系統(tǒng)A上輸 送的玻璃基板不作為全部相同尺寸的玻璃基板，例如，也可以預(yù)先在收納盒10的每個縫隙 中收納不同的尺寸的玻璃基板。另外，還可以預(yù)先將不同的尺寸的玻璃基板收納在一個縫 隙內(nèi)。檢測玻璃基板的尺寸的傳感器例如可以配設(shè)在同時輸送傳送器30、個別輸送傳送器 31以及移載傳送器32、70上。[第二實(shí)施方式]在所述第一實(shí)施方式中，是在同時輸送傳送器30和個別輸送傳送器31之間直接 輸送玻璃基板，但是，也可以使其它的傳送器處于它們之間。圖22是表示有關(guān)本發(fā)明的其 它實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)B的布局的俯視圖。在該圖中，對與基板輸送系統(tǒng)A相同的結(jié) 構(gòu)標(biāo)注相同的參照符號，省略說明，僅說明不同的結(jié)構(gòu)。在基板輸送系統(tǒng)B中，在同時輸送傳送器30和個別輸送傳送器31之間配設(shè)了中 間傳送器300。在該圖的例子中，兩個中間傳送器300在Y方向分離地配置。中間傳送器 300由多個輥傳送器單元100以及110構(gòu)成，它們的配置排列與同時輸送傳送器30、個別輸 送傳送器31以及移載傳送器32相同。在本實(shí)施方式的情況下，在同時輸送傳送器30和個 別輸送傳送器31之間的玻璃基板的輸送經(jīng)中間傳送器300進(jìn)行。在本實(shí)施方式的情況下，傳送器的數(shù)量與所述第一實(shí)施方式相比增加。但是，通過 設(shè)置中間傳送器300，能夠不會產(chǎn)生玻璃基板相對于處理裝置20的輸送等待。[第三實(shí)施方式]在所述第一實(shí)施方式中，將同時輸送傳送器30的寬度構(gòu)成為能夠在Y方向載置多 張玻璃基板的寬度，但是，也可以以不僅在Y方向，而且在X方向也具有能夠載置多張玻璃 基板的長度的方式構(gòu)成。本實(shí)施方式為了不僅在Y方向而且在X方向也能夠載置多張玻璃 基板而構(gòu)成了同時輸送傳送器31的寬度以及長度。圖23是替代所述的同時輸送傳送器30的同時輸送傳送器30’的俯視圖。 同時輸送傳送器30’在X方向排列六個“輥傳送器單元組”而構(gòu)成，具有能夠在玻 璃基板W(圖23中未圖示)的輸送方向(X方向)排列地載置多張玻璃基板W的長度(X方 向的長度)。在本實(shí)施方式的情況下，雖然輥傳送器單元的數(shù)量增加，但是，能夠在同時輸送 傳送器30’上載置更多數(shù)量的玻璃基板，由此，不會產(chǎn)生玻璃基板相對于處理裝置20的輸 送等待。另外，能夠增加一次輸送的張數(shù)，提高輸送能力。[第四實(shí)施方式]雖然在所述第一實(shí)施方式中，通過在Y方向移動個別輸送傳送器31來進(jìn)行個別輸 送傳送器31上的玻璃基板和處理裝置20的定位，但是，也可以是個別輸送傳送器31固定， 在個別輸送傳送器31上在Y方向移動玻璃基板，由此進(jìn)行其定位。圖24是表示有關(guān)本發(fā)明的其它實(shí)施方式的基板輸送系統(tǒng)C的布局的俯視圖，圖25 是基板輸送系統(tǒng)C的側(cè)視圖。在這些圖中，對與基板輸送系統(tǒng)A相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的參 照符號，省略說明，僅說明不同的結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施方式的情況下，替代所述的個別輸送傳送器31，采用個別輸送傳送器 31’。個別輸送傳送器31’是在X方向排列六個“輥傳送器單元組”而構(gòu)成的，除此之外，與 個別輸送傳送器31同樣。在本實(shí)施方式的情況下，個別輸送傳送器31’固定設(shè)置在處理裝置20的前面上， 不存在使之移動的傳送器移動單元1。替代傳送器移動單元1，具備在個別輸送傳送器31’ 上使玻璃基板在Y方向移動的基板移動單元50以及升降單元60。參照圖24以及圖25，基板移動單元50具備分別設(shè)置在個別輸送傳送器31’的Y 方向兩側(cè)的基座部件51。在各基座部件51上搭載了馬達(dá)52、由馬達(dá)52旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的一對驅(qū) 動皮帶輪53、一對從動皮帶輪54。驅(qū)動皮帶輪53和從動皮帶輪54的組合計四組，在各組 的驅(qū)動皮帶輪53和從動皮帶輪54之間纏繞著皮帶55。通過驅(qū)動馬達(dá)52，驅(qū)動皮帶輪53 旋轉(zhuǎn)，皮帶55行走。皮帶55在Y方向跨過個別輸送傳送器31地延伸，每兩根通過相互鄰接的“輥傳送 器單元組”之間的空間。在各皮帶55上固定了載置部件56或57。圖26是載置部件56以 及57的立體圖。載置部件56以及57是在與皮帶55大致相同寬度的板狀的部件上形成了 半球狀的突起56a、57a的部件。在載置部件56的+Y側(cè)的端部形成了比突起56a更突出的 長方體形狀的定位部件56b，在載置部件57的-Y側(cè)的端部形成比突起57a還要突出的長方 體形狀的定位部件57b。載置部件56以及57作為載置個別輸送傳送器31’上的玻璃基板W的載置部發(fā)揮 功能，從下側(cè)支承玻璃基板W。載置部件56以及57通過皮帶55的行走在Y方向移動。玻 璃基板W載置在突起56a、57a上。通過將突起56a、57a做成半球狀，減小玻璃基板W和突 起56a、57a的接觸面積，降低損傷玻璃基板W的情況。定位部件56b以及57b通過其側(cè)面與玻璃基板W的端緣抵接來進(jìn)行玻璃基板W的 定位(玻璃基板W的方向以及位置的調(diào)整)。在本實(shí)施方式的情況下，因為在四根皮帶55 上分別各設(shè)置一個載置部件56或57的任意一個，所以，定位部件56b以及57b合計四個， 在沿X方向以及Y方向分離的四個部位進(jìn)行玻璃基板W的定位。接著，參照圖25，說明升降單元60。升降單元60對每個基座部件51而言都配設(shè)在各基座部件51的下方。因此，在本實(shí)施方式的情況下，升降單元60分別設(shè)置在個別輸送 傳送器31’的Y方向兩側(cè)，合計設(shè)置了兩個。 各升降單元60具備基座部件61。在基座部件61上豎立設(shè)置了多個支柱62，支柱 62支承基座部件51。支柱62例如由缸和桿構(gòu)成，能夠在Z方向伸縮。在基座部件61上搭 載了馬達(dá)63和通過馬達(dá)63的驅(qū)動進(jìn)行轉(zhuǎn)動的一對凸輪板64。凸輪板64的凸輪面與基座 部件51的下面抵接，通過其轉(zhuǎn)動，基座部件51升降。伴隨著基座部件51的升降，支柱62 伸縮。在本實(shí)施方式中，通過同步進(jìn)行由兩個升降單元60產(chǎn)生的升降動作，基板移動單 元50升降。由此，在Z方向相對地移動載置部件56以及57、個別輸送傳送器31’。但是， 通過使個別輸送傳送器31’在Z方向升降，也可以在Z方向相對地移動載置部件56以及57 和個別輸送傳送器31。圖27是表示升降單元60 (圖27中僅表示主要部分)的升降動作和與之相伴的載 置部件56的升降的圖。另外，載置部件57的升降也同樣。升降單元60使載置部件56在 下降位置和上升位置這兩個位置之間升降。圖27的左側(cè)表示載置部件56處于下降位置的情況。在此情況下，升降單元60處 于凸輪板64的頂部朝向Y方向的狀態(tài)。載置部件56處于比構(gòu)成個別輸送傳送器31’的輥 傳送器單元100的輥101輸送玻璃基板W的輸送高度L低的位置。圖27的右側(cè)表示載置部件56處于上升位置的情況。在此情況下，升降單元60處 于凸輪板64的頂部朝向+Z方向的狀態(tài)。S卩，通過馬達(dá)63的驅(qū)動，凸輪板64從圖27的左側(cè) 所示的狀態(tài)轉(zhuǎn)動90度，基座部件51被上推。由此，基板移動單元50上升。載置部件56的 突出部56a處于比輸送高度L高的位置。玻璃基板W離開輥101，被載置在突出部56a上。 另外，皮帶55處于比輸送高度L低的位置。在由基板移動單元50將個別輸送傳送器31’上的玻璃基板W在Y方向移動時，玻 璃基板W被載置在載置部件56和載置部件57這兩者上。然后，通過使載置部件56和載置 部件57向相互反方向(相互接近的方向)移動，由定位部件56b以及57b夾持玻璃基板W。 例如，在圖27的右側(cè)的狀態(tài)下，向-Y方向移動定位部件56b，使定位部件56b與玻璃基板W 的端緣抵接。此時，玻璃基板W在突起56a上滑動。通過由定位部件56b以及57b夾持玻璃基板W，玻璃基板W的方向被調(diào)整(規(guī)定)。 由此，當(dāng)在輸送的過程中玻璃基板W的方向傾斜的情況下，能夠進(jìn)行方向的校正。接著，通 過向相互同方向使載置部件56和載置部件57移動，玻璃基板W以由定位部件56b以及57b 夾持著的狀態(tài)在Y方向移動。[個別輸送傳送器的輸送例]在本實(shí)施方式中，個別輸送傳送器31’、基板移動單元50以及升降單元60進(jìn)行基 板的輸送張數(shù)的變換。由此，能夠?qū)μ幚硌b置20 —張一張地進(jìn)行玻璃基板的傳遞。[玻璃基板向處理裝置的輸入]圖29至圖31是表示從個別輸送傳送器31’向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃 基板Wl的例子的圖。圖29的上側(cè)表示兩張玻璃基板Wl被同時輸送到個別輸送傳送器31’ 上的狀態(tài)。兩張玻璃基板Wl被載置在-X側(cè)的三個“輥傳送器單元組”上。從此狀態(tài)開始，將兩張玻璃基板Wl中的一方的玻璃基板Wl如圖29的下側(cè)所示的那樣向+X方向輸送。此時，各輥傳送器單元100以及110與玻璃基板Wl的尺寸相應(yīng)地被選擇性地驅(qū)動。例如在從圖29的上側(cè)的狀態(tài)向下側(cè)的狀態(tài)輸送玻璃基板Wl的情況下，位 于+Y側(cè)的六個輥傳送器單元100以及六個輥傳送器單元110被驅(qū)動。接著，在Y方向?qū)⒉ＡЩ錡l向與處理裝置20的輸入輸出位置對應(yīng)的位置移動。 因此，首先如圖30的上側(cè)所示，使處于下降位置的載置部件56以及57位于玻璃基板Wl的 端緣附近。載置部件56位于玻璃基板Wl的+Y方向側(cè)的端緣附近，載置部件57位于玻璃 基板Wl的-Y方向側(cè)的端緣附近。此時，多個突起56a以及57a的一部分位于玻璃基板Wl 的下方，定位部件56b以及57b不位于玻璃基板Wl的下方。接著，通過升降單元60 (未圖示)的驅(qū)動，使載置部件56以及57向上升位置上 升。由此，玻璃基板Wl離開輥101以及111而成為位于載置部件56以及57上的狀態(tài)(圖 27的右側(cè)的狀態(tài))。在使載置部件56以及57向上升位置上升后，通過向-Y方向移動載置 部件56，向+Y方向移動載置部件57，由定位部件56b和定位部件57b夾持玻璃基板Wl (圖 30的下側(cè)的狀態(tài))。由此，玻璃基板Wl的方向被調(diào)整。另外，此時，希望定位部件56b以及 定位部件57b的側(cè)面(與玻璃基板Wl的端緣抵接的面)的間隔與玻璃基板Wl的寬度大致 相同或略寬。接著，在Y方向向相互同方向地移動載置部件56以及57，將玻璃基板Wl輸送到與 處理裝置20的輸入輸出位置對應(yīng)的位置(圖31的上側(cè)的圖)。由此，進(jìn)行玻璃基板Wl相 對于處理裝置20的定位。在本實(shí)施方式的情況下，將與處理裝置20的輸入輸出位置對應(yīng) 的位置作為個別輸送傳送器31’的Y方向的大致中央。但是，也可以作為個別輸送傳送器 31，的端部。接著，通過升降單元60(未圖示)的驅(qū)動，使載置部件56以及57下降到下降位置。 然后，如圖31的下側(cè)所示，驅(qū)動位于玻璃基板Wl的下方的六個輥傳送器單元110和移載傳 送器70，向處理裝置20輸送玻璃基板Wl。剩余在個別輸送傳送器31’上的另一方的玻璃基板Wl也同樣地向處理裝置20輸 送。這樣，能夠?qū)⒉ＡЩ錡l —張一張地向處理裝置20輸送。在將圖5中的下圖所示的玻璃基板W2向處理裝置20輸入的情況下，雖然也可以 采用同樣的順序，但是，也可以采用圖32至圖35所示的順序。圖32至圖35是表示從個別 輸送傳送器31’向處理裝置20 —張一張地輸送玻璃基板W2的例子的圖。圖32的上側(cè)表示三張玻璃基板W2被同時輸送到個別輸送傳送器31’上的狀態(tài)。 三張玻璃基板W2載置在-X側(cè)的三個“輥傳送器單元組”上。從此狀態(tài)開始，將三張玻璃基 板W2如圖32的下側(cè)所示的那樣向+X方向同時輸送。接著，將中央的玻璃基板W2定位在與處理裝置20的輸入輸出位置對應(yīng)的位置。因 此，在使處于下降位置的載置部件56以及57位于中央的玻璃基板W2的端緣附近后，使之 上升到上升位置，由載置部件56以及57載置中央的玻璃基板W2。然后，如圖33的上側(cè)所 示，通過向-Y方向移動載置部件56，向+Y方向移動載置部件57，由定位部件56b和定位部 件57b夾持玻璃基板W2，進(jìn)行玻璃基板W2的定位。接著，通過升降單元60(未圖示)的驅(qū)動，使載置部件56以及57下降到下降位置。 然后，如圖33的下側(cè)所示，驅(qū)動位于玻璃基板W2的下方的六個輥傳送器單元110和移載傳 送器70，向處理裝置20輸送玻璃基板W2。
接著，將剩余在個別輸送傳送器31上的兩張玻璃基板W2依次向處理裝置20輸 送。首先，將一方的玻璃基板W2載置在載置部件56以及57上，由定位部件56b以及57b 夾持，如圖34的上側(cè)所示，向與處理裝置20的輸入輸出位置對應(yīng)的位置移動。此后，如圖 34的下側(cè)所示，驅(qū)動位于玻璃基板W2的下方的六個輥傳送器單元110和移載傳送器70，向 處理裝置20輸送玻璃基板W2。
接著，將剩余在個別輸送傳送器31上的一張玻璃基板W2向處理裝置20輸送。首 先，將玻璃基板W2載置在載置部件56以及57上，由定位部件56b以及57b夾持，如圖35的 上側(cè)所示，向與處理裝置20的輸入輸出位置對應(yīng)的位置移動。此后，如圖35的下側(cè)所示， 驅(qū)動位于玻璃基板W2的下方的六個輥傳送器單元110和移載傳送器70，向處理裝置20輸 送玻璃基板W2。[玻璃基板從處理裝置的輸出]圖36至圖39是表示從處理裝置20向個別輸送傳送器31，一張一張地輸送玻璃 基板W1，在個別輸送傳送器31’上，在Y方向排列多張玻璃基板Wl的例子的圖。圖36的上側(cè)表示第一張玻璃基板Wl從處理裝置20被輸出的狀態(tài)。在此情況下， 驅(qū)動移載傳送器70和個別輸送傳送器31’的+X側(cè)的六個輥傳送器單元110，使玻璃基板 Wl位于個別輸送傳送器31’的+X側(cè)的六個輥傳送器單元110上。接著，在Y方向移動玻璃基板Wl。因此，首先如圖36的下側(cè)所示，使處于下降位置 的載置部件56以及57位于玻璃基板Wl的端緣附近。然后，通過升降單元60 (未圖示)的 驅(qū)動，使載置部件56以及57向上升位置上升。由此，玻璃基板Wl離開輥101以及111而 成為位于載置部件56以及57上的狀態(tài)。在使載置部件56以及57向上升位置上升后，通 過向-Y方向移動載置部件56，向+Y方向移動載置部件57，由定位部件56b和定位部件57b 夾持玻璃基板Wl (圖37的上側(cè)的狀態(tài))。由此，玻璃基板Wl的方向被調(diào)整。接著，在Y方向向相互同方向移動載置部件56以及57，在Y方向移動玻璃基板W1。 玻璃基板Wl與其尺寸相應(yīng)地向能夠并列輸送多張玻璃基板Wl的位置移動。在圖37的下 側(cè)所示的例子中，將玻璃基板Wl向+Y方向移動，向個別輸送傳送器31’的+Y方向的端部 移動。接著，通過升降單元60(未圖示)的驅(qū)動，使載置部件56以及57下降到下降位置。 然后，如圖38的上側(cè)所示，將玻璃基板Wl向-X方向移動，使玻璃基板Wl位于三個輥傳送 單元100以及三個輥傳送器單元110上，所述三個輥傳送單元100以及三個輥傳送器單元 110位于個別輸送傳送器31’的-X側(cè)且+Y側(cè)。在此移動時，驅(qū)動位于+Y側(cè)的六個輥傳送 器單元100以及六個輥傳送器單元110。接著，如圖38的下側(cè)所示，從處理裝置20輸出第二張玻璃基板W1。與第一張玻 璃基板Wl的輸送同樣，驅(qū)動移載傳送器70和個別輸送傳送器31’的+X側(cè)的六個輥傳送器 單元110，使第二張玻璃基板Wl位于個別輸送傳送器31’的+X側(cè)的六個輥傳送器單元110上。 接著，通過升降單元60 (未圖示)以及基板移動單元50的驅(qū)動，在Y方向移動第 二張玻璃基板W1。第二張玻璃基板W1，如圖39的上側(cè)所示，向與第一張玻璃基板Wl相反 方向(-Y方向)移動。接著，使第二張玻璃基板Wl向-X方向移動，使玻璃基板Wl位于三 個輥傳送器單元100以及三個輥傳送器單元110上，所述三個輥傳送器單元100以及三個輥傳送器單元Iio位于個別輸送傳送器31’的-X側(cè)且-Y側(cè)。由此，兩張玻璃基板Wl在個別輸送傳送器31’上成為在Y方向排列地載置的狀態(tài)。此后，將兩張玻璃基板Wl同時向同 時輸送傳送器30輸送。在將圖5中的下圖所示的玻璃基板W2從處理裝置20輸出的情況下，雖然也能夠采用同樣的順序，但是，也可以采用圖40至圖43所示的順序。圖40至圖43是表示從處理 裝置20向個別輸送傳送器31’ 一張一張地輸送玻璃基板W2，在個別輸送傳送器31’上，在 Y方向排列多張玻璃基板W2的例子的圖。首先，如圖40的上側(cè)所示，從處理裝置20輸出第一張玻璃基板W2。在此情況下， 驅(qū)動移載傳送器70和個別輸送傳送器31’的+X側(cè)的六個輥傳送器單元110，使第一張玻璃 基板W2位于個別輸送傳送器31’的+X側(cè)的六個輥傳送器單元110上。接著，通過升降單元60 (未圖示)以及基板移動單元50的驅(qū)動，如圖40的下側(cè)所 示，調(diào)整第一張玻璃基板W2的方向。然后，如圖41的上側(cè)所示，通過基板移動單元50的驅(qū) 動，在Y方向移動玻璃基板W2。在圖41的上側(cè)的例子中，向+Y方向移動玻璃基板W2，使第 一張玻璃基板W2位于三個輥傳送器單元100上。接著，如圖41的下側(cè)所示，從處理裝置20輸出第二張玻璃基板W2。與第一張玻 璃基板W2的輸送同樣，驅(qū)動移載傳送器70和個別輸送傳送器31’的+X側(cè)的六個輥傳送器 單元110，使第二張玻璃基板W2位于個別輸送傳送器31’的+X側(cè)的六個輥傳送器單元110上。接著，通過升降單元60 (未圖示)以及基板移動單元50的驅(qū)動，如圖42的上側(cè)所 示，調(diào)整第二張玻璃基板W2的方向。然后，如圖42的下側(cè)所示，通過基板移動單元50的驅(qū) 動，在Y方向移動第二張玻璃基板W2。在圖42的下側(cè)的例子中，向-Y方向移動玻璃基板 W2,使第二張玻璃基板W2位于三個輥傳送器單元100上。接著，如圖43的上側(cè)所示，從處理裝置20輸出第三張玻璃基板W2。與第一張以及 第二張玻璃基板W2的輸送同樣，驅(qū)動移載傳送器70和個別輸送傳送器31’的+X側(cè)的六個 輥傳送器單元110，使第三張玻璃基板W2位于個別輸送傳送器31’的+X側(cè)的六個輥傳送器 單元110上。接著，通過升降單元60 (未圖示)以及基板移動單元50的驅(qū)動，如圖43的下側(cè)所 示，調(diào)整第三張玻璃基板W2的方向。由此，三張玻璃基板W2在個別輸送傳送器31’上成為 在Y方向排列地載置的狀態(tài)。三張玻璃基板W2被載置在+X側(cè)的三個“輥傳送器單元組” 上。然后，三張玻璃基板W2經(jīng)-X側(cè)的三個“輥傳送器單元組”，同時向同時輸送傳送器30 輸送。[玻璃基板的尺寸的特定]在本實(shí)施方式中，如上所述，能夠進(jìn)行尺寸不同的玻璃基板Wl以及W2的輸送。這 是通過與玻璃基板的尺寸以及輸送的位置相應(yīng)地選擇性地驅(qū)動構(gòu)成個別輸送傳送器31’的 輥傳送器單元100以及110和通過驅(qū)動基板移動單元50來實(shí)現(xiàn)的。在進(jìn)行尺寸不同的玻 璃基板的輸送的情況下，需要特定該玻璃基板的尺寸，在控制裝置200的控制基礎(chǔ)上設(shè)定 尺寸。設(shè)定玻璃基板的尺寸的第一方法是，在一個收納盒10中僅收納相同尺寸的玻璃 基板，按照收納盒10單位，在控制裝置200的控制基礎(chǔ)上，設(shè)定玻璃基板的尺寸。在此情況下，以在基板輸送系統(tǒng)A上輸送的玻璃基板全部是相同尺寸的玻璃基板為前提。設(shè)定玻璃基板的尺寸的第二方法是，在個別輸送傳送器31’中逐一檢測玻璃基板的尺寸，在控制裝置200的控制基礎(chǔ)上，個別地設(shè)定玻璃基板的尺寸。在此情況下，也可以 將在基板輸送系統(tǒng)A上輸送的玻璃基板不作為全部相同尺寸的玻璃基板，例如，也可以在 收納盒10的每個縫隙中收納不同的尺寸的玻璃基板。另外，還可以預(yù)先將不同的尺寸的玻 璃基板收納在一個縫隙內(nèi)。檢測玻璃基板的尺寸的傳感器可以設(shè)置在個別輸送傳送器31’的X方向的兩端 部。例如，如圖24所示，可以設(shè)置傳感器90、91。傳感器90檢測從處理裝置20輸出的玻璃 基板的尺寸。在圖24中，傳感器90在Y方向分離地設(shè)置了一對，在輸出了玻璃基板Wl的 情況下，雙方為0N，在輸出了玻璃基板W2的情況下，僅一方為ON或雙方為OFF。傳感器91 檢測從同時輸送傳送器30向個別輸送傳送器31’輸送的玻璃基板的尺寸。傳感器91也在 Y方向分離地設(shè)置了一對，在輸出了玻璃基板Wl的情況下，雙方為0N，在輸送了玻璃基板W2 的情況下，僅一方為ON或雙方為OFF。[第五實(shí)施方式]雖然在所述第四實(shí)施方式中，將個別輸送傳送器31’作為一個，但是也可以對每個 收納盒10都設(shè)置個別輸送傳送器31’。圖44是表示有關(guān)本發(fā)明的其它實(shí)施方式的基板輸 送系統(tǒng)D的布局的俯視圖。在該圖中，對與基板輸送系統(tǒng)C相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的參照符 號，省略說明，僅說明不同的結(jié)構(gòu)。在基板輸送系統(tǒng)D中，個別輸送傳送器31’在Y方向分離地設(shè)置了兩個。個別輸 送傳送器31’對每個收納盒10都設(shè)置，并配置在與各移載傳送器32在X方向分離的位置?；逡苿訂卧?0跨在兩個個別輸送傳送器31’上配置。即，在一對基座部件51 之間配置了兩個個別輸送傳送器31’，各皮帶55橫跨兩個個別輸送傳送器31’。由此，被固 定在各皮帶55上的合計四個載置部件56以及57能夠在兩個個別輸送傳送器31’上移動。 另外，在各基座部件51的下方，配設(shè)未圖示的升降單元60。在基板輸送系統(tǒng)D中，基板移動單元50不僅在一個個別輸送傳送器31’上在Y方 向移動玻璃基板，還在兩個個別輸送傳送器31’、31’之間在Y方向移動玻璃基板。圖45是 在兩個個別輸送傳送器31’上的玻璃基板W的輸送狀態(tài)的說明圖。如該圖所示，個別輸送傳送器31’在X方向輸送玻璃基板W，基板移動單元50在Y 方向移動玻璃基板W。基板移動單元50在個別輸送傳送器31’、31’之間也移動玻璃基板 W。在個別輸送傳送器31’上的輸送張數(shù)的變換與所述第四實(shí)施方式同樣。在本實(shí)施方式中，通過將基板移動單元50跨在兩個個別輸送傳送器31’上設(shè)置， 在個別輸送傳送器31’、31’之間使玻璃基板W移動，能夠在處理裝置20和兩個收納盒10 之間分別輸送玻璃基板W，能夠進(jìn)一步提高玻璃基板W的輸送能力。另外，在本實(shí)施方式中，雖然使收納盒10為兩個，與之相伴，使個別輸送傳送器 31’也為兩個，但是也可以將收納盒10以及個別輸送傳送器31’設(shè)置三個以上。在此情況 下，基板移動單元50能夠跨在各個別輸送傳送器31’上移動玻璃基板W。另外，就記載在所述說明的第五實(shí)施方式中的基板輸送系統(tǒng)D而言，不一定要求 兩個個別輸送傳送器31’中的不與處理裝置20鄰接的+Y側(cè)的個別輸送傳送器31’個別輸 送玻璃基板。因此，也可以做成雖然具有能夠并列輸送多張玻璃基板W的寬度但不具有個別輸送玻璃基板W的功能的傳送器(僅作為同時輸送傳送器發(fā)揮功能的傳送器)，來替代 +Y側(cè)的個別輸送傳送器31’。在此情況下，該傳送器可以由單一的輥傳送器單元構(gòu)成，也可 以由在X方向排列的多個輥傳送器單元構(gòu)成。[第六實(shí)施方式]雖然在所述第四以及第五實(shí)施方式中，做成了將基板移動單元50的載置部件56 以及57由皮帶傳動機(jī)構(gòu)移動的結(jié)構(gòu)，但是，也可以采用其它的機(jī)構(gòu)。圖46是表示載置部件 56以及57的移動機(jī)構(gòu)的其它例子的圖。圖46的移動機(jī)構(gòu)使用了滾珠絲杠機(jī)構(gòu)。在Y方向 配設(shè)軌道部件501、滾珠絲杠502，它們規(guī)定載置部件56以及57的移動軌道。在滾珠絲桿 502上旋合著滾珠螺母503，同時，滾珠螺母503能夠在軌道部件501上滑動。載置部件56 以及57被固定在滾珠螺母503上。于是，通過由未圖示的馬達(dá)旋轉(zhuǎn)滾珠絲桿502，載置部件56以及57在Y方向移動。此外，還可以采用使用了線性馬達(dá)的移動機(jī)構(gòu)。另外，在所述第四以及第五實(shí)施方式中，做成了升降單元60升降基板移動單元50 整體的結(jié)構(gòu)，但是，只要載置部件56以及57能夠升降即可。例如，在圖46所示的移動機(jī)構(gòu) 的例子中，也可以以在載置部件56以及57和滾珠螺母503之間設(shè)置能夠在Z方向伸縮的 執(zhí)行器來升降載置部件56以及57的方式構(gòu)成。
權(quán)利要求
一種基板輸送系統(tǒng)，所述基板輸送系統(tǒng)在收納基板的第一以及第二收納盒和對所述基板進(jìn)行處理的處理裝置之間輸送基板，所述處理裝置在與所述第一以及第二收納盒的配置方向正交的方向與所述第一以及第二收納盒分離地配置，其特征在于具備同時輸送傳送器、傳送器移動組件、個別輸送傳送器、定位組件，所述同時輸送傳送器具有能夠在與所述基板的輸送方向正交的方向排列地載置多張所述基板的寬度，能夠在所述輸送方向同時輸送所述多張所述基板；所述傳送器移動組件在第一位置和第二位置之間在所述配置方向移動所述同時輸送傳送器，所述第一位置是在與所述第一收納盒之間進(jìn)行所述基板的移載的位置，所述第二位置是在與所述第二收納盒之間進(jìn)行所述基板的移載的位置；所述個別輸送傳送器配置在所述同時輸送傳送器和所述處理裝置之間，具有能夠在與所述輸送方向正交的方向排列地載置所述多張所述基板的寬度，能夠在所述輸送方向個別地輸送所述多張基板；所述定位組件進(jìn)行所述個別輸送傳送器上的所述基板和所述處理裝置的定位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送系統(tǒng)，其特征在于所述定位組件通過在所述配置 方向移動所述個別輸送傳送器來進(jìn)行所述基板和所述處理裝置的定位。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送系統(tǒng)，其特征在于 所述定位組件具備基板移動單元和升降單元，所述基板移動單元具有載置所述個別輸送傳送器上的所述基板的載置部，在所述個別 輸送傳送器上在與所述輸送方向正交的方向移動所述基板；所述升降單元相對地升降所述載置部和所述個別輸送傳送器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送系統(tǒng)，其特征在于還具備第一移載傳送器、第二移載傳送器、第一升降裝置、第二升降裝置， 所述第一移載傳送器配置在所述第一收納盒的下部，載置被收納在所述第一收納盒內(nèi) 的基板而在所述輸送方向輸送；所述第二移載傳送器配置在所述第二收納盒的下部，載置被收納在所述第二收納盒內(nèi) 的基板而在所述輸送方向輸送；所述第一升降裝置相對地升降所述第一收納盒和所述第一移載傳送器； 所述第二升降裝置相對地升降所述第二收納盒和所述第二移載傳送器； 所述第一以及第二收納盒在上下方向具備多個收納所述基板的縫隙， 在各縫隙中能夠在與所述輸送方向正交的方向收納所述多張所述基板， 所述第一以及第二移載傳送器具有能夠在與所述輸送方向正交的方向排列地載置所 述多張所述基板的寬度，在所述輸送方向同時輸送所述多張所述基板。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基板輸送系統(tǒng)，其特征在于所述個別輸送傳送器具備與所述基板的尺寸相應(yīng)地被選擇性地驅(qū)動的多個傳送器單元；所述基板移動單元將所述基板向與所述基板的尺寸相應(yīng)的位置移動。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送系統(tǒng)，其特征在于所述同時輸送傳送器具有能夠 在所述輸送方向排列地載置多張所述基板的長度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送系統(tǒng)，其特征在于所述同時輸送傳送器以及所述個別輸送傳送器由多個輥傳送器單元構(gòu)成。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板輸送系統(tǒng)，其特征在于所述第一以及第二移載傳送器 由多個輥傳送器單元構(gòu)成。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板輸送系統(tǒng)，其特征在于所述第一以及第二收納盒以它們的所述基板的輸入輸出部朝向所述輸送方向的一方 向的方式配置；所述處理裝置以該所述基板的輸入輸出部朝向所述輸送方向的另一方向的方式配置。
10.一種基板輸送系統(tǒng)，所述基板輸送系統(tǒng)在收納基板的第一以及第二收納盒和對所 述基板進(jìn)行處理的處理裝置之間輸送基板，所述處理裝置在與所述第一以及第二收納盒的 配置方向正交的方向與所述第一以及第二收納盒分離地配置，其特征在于具備第一同時輸送傳送器、傳送器移動組件、個別輸送傳送器、第二同 時輸送傳送器、基板移動單元、升降單元，所述第一同時輸送傳送器具有能夠在與所述基板的輸送方向正交的方向排列地載置 多張所述基板的寬度，能夠在所述輸送方向同時輸送所述多張所述基板；所述傳送器移動組件在第一位置和第二位置之間在所述配置方向移動所述第一同時 輸送傳送器，所述第一位置是在與所述第一收納盒之間進(jìn)行所述基板的移載的位置，所述 第二位置是在與所述第二收納盒之間進(jìn)行所述基板的移載的位置；所述個別輸送傳送器配置在所述第一同時輸送傳送器和所述處理裝置之間，具有能夠 在與所述輸送方向正交的方向排列地載置所述多張所述基板的寬度，能夠在所述輸送方向 個別地輸送所述多張基板；所述第二同時輸送傳送器相對于所述個別輸送傳送器在與所述輸送方向正交的方向 并列配置，具有能夠在與所述輸送方向正交的方向排列地載置所述多張所述基板的寬度， 能夠在所述輸送方向同時輸送所述多張基板；所述基板移動單元具有載置所述個別輸送傳送器以及所述第二同時輸送傳送器上的 所述基板的載置部，在所述個別輸送傳送器以及所述第二同時輸送傳送器上在與所述輸送 方向正交的方向移動所述基板；所述升降單元相對地升降所述載置部和所述個別輸送傳送器以及所述第二同時輸送 傳送器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板輸送系統(tǒng)，所述基板輸送系統(tǒng)在收納基板的第一以及第二收納盒和對所述基板進(jìn)行處理的處理裝置之間輸送基板，所述處理裝置在與所述第一以及第二收納盒的配置方向正交的方向與所述第一以及第二收納盒分離地配置。該基板輸送系統(tǒng)具備同時輸送傳送器、傳送器移動組件、個別輸送傳送器、定位組件，所述同時輸送傳送器能夠同時輸送多張基板；所述傳送器移動組件在所述第一以及第二收納盒之間移動所述同時輸送傳送器；所述個別輸送傳送器能夠個別地輸送所述多張基板；所述定位組件進(jìn)行所述個別輸送傳送器上的所述基板和所述處理裝置的定位。
文檔編號B65G1/00GK101801816SQ20078010071
公開日2010年8月11日 申請日期2007年9月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月19日
發(fā)明者堀健彥, 田中敏治 申請人:平田機(jī)工株式會社