專利名稱：板狀部件的輸送裝置及板狀部件的輸送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種板狀部件的輸送裝置及板狀部件的輸送方法，其 用于輸送例如顯示器中使用的玻璃基板等板狀部件。
背景技術(shù)：
當前，為了輸送顯示器中使用的玻璃基板等板狀部件，已知一種 基板輸送裝置(例如參照專利文獻l)。
專利文獻1中，利用形成有多個空氣孔的飄浮模塊，使玻璃基板 飄浮，利用吸附墊吸附飄浮的玻璃基板的沿基板輸送方向的下游側(cè)的 背面，從而進行保持， 一邊牽引一邊輸送。
專利文獻l:專利公表2003—86917

發(fā)明內(nèi)容
顯示器中使用的玻璃基板，大多在輸送路徑的中途， 一邊經(jīng)過對 該玻璃基板進行規(guī)定處理的處理部， 一邊進行輸送。作為該處理部， 可以例舉對玻璃基板的表面(向上的一面)的周緣部進行曝光處理的 工序等。
一般地，顯示器中使用的玻璃基板很薄，而在這種處理部中，要 求玻璃基板表面具有極高的平坦度。
但是，前述專利文獻l，由于多個飄浮模塊沿玻璃基板的輸送方 向平行設(shè)置且沿相對于輸送方向正交的方向以規(guī)定間隔排列，所以換 言之，在各飄浮模塊之間形成空隙。
艮P，專利文獻1在對玻璃基板的表面進行曝光處理的處理部中， 由于基板的背面存在不接觸氣流的部位，其結(jié)果玻璃基板的表面產(chǎn)生 波浪狀起伏，存在不能進行高精度曝光的問題。
另外，通常在沿矩形形狀的玻璃基板的周緣部以框狀進行曝光處理的情況下，大多首先對相互平行的一對邊緣部進行曝光處理，然后 以沿厚度方向的線作為中心，使玻璃基板轉(zhuǎn)動規(guī)定角度，對剩下的一 對邊緣部進行曝光處理。即，在沿矩形形狀的玻璃基板的周緣部以框 狀進行曝光處理的情況下，使玻璃基板轉(zhuǎn)動規(guī)定角度的工序是必不可 少的。
但是，在前述專利文獻1中，由于利用吸附墊吸附沿玻璃基板的 輸送方向的下游側(cè)的背面而進行支撐，因此必須在使玻璃基板轉(zhuǎn)動規(guī) 定角度的工序之前，暫時使吸附墊離開玻璃基板，在使玻璃基板轉(zhuǎn)動 規(guī)定角度的工序以后，再次使吸附墊吸附在玻璃基板上，存在不能縮 短生產(chǎn)節(jié)拍的問題。
上述問題，不僅在輸送顯示器中使用的玻璃基板時進行曝光處理 的情況下產(chǎn)生，而且在輸送板狀部件時，在輸送路徑的中途對板狀部 件進行要求表面平坦度的處理的情況下也會產(chǎn)生。
本發(fā)明就是為了解決前述問題而提出的，目的在于提供一種板狀 部件的輸送裝置及板狀部件的輸送方法，其在輸送路徑的中途，可以 高精度地對板狀部件進行要求表面平坦度的處理。
另外，本發(fā)明的目的還在于提供一種板狀部件的輸送裝置及板狀 部件的輸送方法，其在將沿厚度方向的線作為中心使板狀部件轉(zhuǎn)動的 情況下，也可以縮短生產(chǎn)節(jié)拍。
本發(fā)明的板狀部件的輸送裝置，其具有飄浮單元，其沿前述板 狀部件的輸送方向，平行地排列多個飄浮部件，該飄浮部件通過從多 個噴射口向上方噴射氣體而使板狀部件飄浮；輸送單元，其在前述板 狀部件利用前述飄浮單元從前述飄浮部件飄浮的狀態(tài)下，保持前述板狀 部件，同時沿前述輸送方向，向下游側(cè)輸送前述板狀部件；以及處理部， 其在前述輸送單元的輸送路徑的中途，對前述板狀部件進行要求表面平 坦度的處理，其特征在于，在前述飄浮單元的與前述處理部相對應(yīng)的區(qū) 域，設(shè)置前述板狀部件的表面平坦度提高單元。
在本發(fā)明中，由于在對板狀部件進行要求表面平坦度的處理的處 理部中，設(shè)置板狀部件的表面平坦度提高單元，因此與現(xiàn)有技術(shù)相比， 在處理部中板狀部件的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的問題減少，可以高精度地進行例如曝光處理等。
另外，本發(fā)明的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述表面平 坦度提高單元具有橫置飄浮部件，其沿與前述輸送方向相交叉的方向 設(shè)置。
在本發(fā)明中，通過沿與前述輸送方向相交叉的方向設(shè)置橫置飄浮 部件，可以使噴射口的密度均勻，從而在處理部中，可以可靠地減少 板狀部件的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的問題。
進而，本發(fā)明的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述飄浮部件， 沿與前述輸送方向正交的方向以規(guī)定的間隔排列多個，同時，前述表面 平坦度提高單元具有在前述各飄浮部件之間排列的區(qū)間飄浮部件。
在本發(fā)明中，通過在各飄浮部件之間排列區(qū)間飄浮部件，可以使 噴射口的密度均勻，從而在處理部中可以可靠地減少板狀部件的表面 產(chǎn)生波浪狀起伏的問題。
并且，本發(fā)明的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述飄浮部件， 沿與前述輸送方向正交的方向以規(guī)定的間隔排列多個，同時，前述表面 平坦度提高單元，具有從多個噴射口向上方噴射氣體的多個支承墊，前 述各支承墊鋪設(shè)在前述各飄浮部件之間。
在本發(fā)明中，通過在各飄浮部件之間設(shè)置各支承墊，可以使噴射 口的密度均勻，從而在處理部中可以可靠地減少板狀部件的表面產(chǎn)生 波浪狀起伏的問題。
另外，本發(fā)明的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述表面平 坦度提高單元，在前述飄浮部件的與前述處理部相對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)，具 有噴射吸引部件，該噴射吸引部件具有噴射前述氣體的噴射口及吸引 外部空氣的吸引口。
在本發(fā)明中，由于在與處理部相對應(yīng)的區(qū)域，具有設(shè)置有噴射口 和吸入口的噴射吸入部件，因此在處理部中可以可靠地減少板狀部件 的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的問題。
進而，本發(fā)明的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述飄浮部件， 沿與前述輸送方向正交的方向以規(guī)定的間隔排列多個，同時，前述表面 平坦度提高單元，具有覆蓋前述各飄浮部件之間的間隙的覆蓋部件。
8在本發(fā)明中，由于具有覆蓋各飄浮部件之間的間隙的覆蓋部件， 因此在處理部中可以可靠地減少板狀部件的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的 問題。
并且，本發(fā)明的板狀部件的輸送裝置，其具有飄浮單元，其具有 通過從多個噴射口向上方噴射氣體而使板狀部件飄浮的飄浮部件；以及 輸送單元，其在前述板狀部件利用前述飄浮單元從前述飄浮部件飄浮的 狀態(tài)下，保持前述板狀部件，同時沿前述輸送方向，向下游側(cè)輸送前述 板狀部件，其特征在于，前述輸送單元具有吸附墊，其可以沿前述輸送 方向移動，同時可以以沿前述板狀部件的厚度方向的線為中心旋轉(zhuǎn)，前 述吸附墊吸附在前述板狀部件的平面中央部。
在這里，作為平面中央部，在板狀部件為矩形形狀的情況下，是 指將對角線的交點作為中心，以規(guī)定的半徑所描繪的圓的內(nèi)部。
并且，所謂的規(guī)定半徑為，在進行以沿厚度方向的線作為中心使 板狀部件轉(zhuǎn)動規(guī)定角度的工序的轉(zhuǎn)動工序區(qū)域中，板狀部件的角部不 與其他構(gòu)造物干涉的半徑。
在本發(fā)明中，由于吸附墊吸附在板狀部件的平面中央部，因此與
利用吸附在板狀部件的沿輸送方向的下游側(cè)的背面的情況相比，在進 行以沿厚度方向的線作為中心使板狀部件轉(zhuǎn)動規(guī)定角度的工序時，不 必暫時使吸附墊離開板狀部件后，再次使吸附墊在吸附墊狀部件上， 這樣，可以縮短生產(chǎn)節(jié)拍。
另外，本發(fā)明的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述輸送單元 具有可以沿前述輸送方向移動的旋轉(zhuǎn)軸，前述吸附墊與前述旋轉(zhuǎn)軸連結(jié)。
在本發(fā)明中，由于吸附墊與可以沿輸送方向移動的旋轉(zhuǎn)軸連結(jié)，
因此只要使吸附墊吸附在向輸送方向的上游側(cè)供給的板狀部件上，就 不必在從輸送方向下游側(cè)至搬出板狀部件之前使吸附墊離開、再次吸 附，這樣可以縮短生產(chǎn)節(jié)拍。
進而，本發(fā)明的板狀部件的輸送裝置，其具有維持單元，其將板 狀部件維持為水平；以及輸送單元，其保持前述板狀部件，同時將板狀 部件從輸送方向上游側(cè)輸向輸送方向下游側(cè)輸送，其特征在于，前述輸 送單元具有吸附墊，其可以沿前述輸送方向移動，同時可以吸附在前述板狀部件上；以及支撐部件，其與前述吸附墊聯(lián)動而支撐前述板狀部 件。
在本發(fā)明中，即使存在為了使吸附墊移動而無法配置維持單元的 區(qū)域，也可以通過與吸附墊聯(lián)動的支撐部件，在可靠地支撐板狀部件 的狀態(tài)下進行輸送。
并且，本發(fā)明的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述支撐單元 具有飄浮部件，其通過從多個噴射口向上方噴射氣體而使前述板狀部件 飄浮，前述支撐部件是具有與前述飄浮部件相同功能的移動飄浮部件。
在本發(fā)明中，通過將支撐部件作為移動飄浮部件，可以以可靠地 使板狀部件飄浮的狀態(tài)進行輸送。
另外，本發(fā)明的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述支撐部 件具有轉(zhuǎn)動體，其與前述板狀部件接觸，同時可以轉(zhuǎn)動。
在本發(fā)明中，通過在支撐部件上具有可以轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動體，從而使 轉(zhuǎn)動體與板狀部件接觸，可以以可靠地支撐板狀部件的狀態(tài)進行輸 送。
進而，本發(fā)明的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述支撐部 件沿著前述輸送方向，同時隔著前述吸附墊設(shè)置于輸送方向的上游側(cè) 及輸送方向的下游側(cè)。
在本發(fā)明中，由于支撐部件隔著前述吸附墊而設(shè)置于輸送方向上 游側(cè)及輸送方向下游側(cè)，因此即使在使吸附墊吸附墊狀部件的平面中 央部的情況下，也可以均勻地支撐板狀部件。
另外，在本發(fā)明的板狀部件的輸送方法中，將板狀部件放入飄浮單 元的輸送方向上游側(cè)，該飄浮單元由多個飄浮部件沿輸送方向平行設(shè)置、 且沿與前述輸送方向正交的方向以規(guī)定間隔排列而成，該多個飄浮部件 從多個噴射口向上方噴射氣體，在前述板狀部件利用前述飄浮單元從前 述飄浮部件飄浮的狀態(tài)下，在前述各飄浮部件之間，通過使吸附墊吸附 在前述板狀部件下表面的中央部，從而進行保持，然后，通過使前述吸 附墊、和隔著前述吸附墊而設(shè)置于輸送方向的上游側(cè)及輸送方向的下游 側(cè)的移動飄浮部件，從前述輸送方向上游側(cè)向前述輸送方向下游側(cè)移動， 輸送前述板狀部件，在前述輸送單元的輸送路徑的中途，利用設(shè)置有前
10述板狀部件的表面平坦度提高單元的區(qū)域， 一邊使前述板狀部件的表面 平坦化， 一邊利用處理部對前述板狀部件的表面進行規(guī)定的處理，在經(jīng) 過前述處理部后，使前述輸送單元的前述吸附墊轉(zhuǎn)動，從而使前述板狀 部件轉(zhuǎn)動。
在本發(fā)明中，由于吸附墊吸附在板狀部件的平面中央部，因此在 進行以沿厚度方向的線作為中心使板狀部件轉(zhuǎn)動規(guī)定角度的工序時， 可以不必暫時使吸附墊離開板狀部件后，再次使吸附墊在吸附墊狀部 件上。
進而，本發(fā)明的板狀部件的輸送方法，其特征在于，在使前述吸 附部件向前述輸送方向下游側(cè)移動的期間，將下一個板狀部件放入前述 輸送方向上游側(cè)。
在本發(fā)明中，通過在使吸附墊移動期間放入下一個板狀部件，可
以進行連續(xù)的作業(yè)，從而可以實現(xiàn)工序生產(chǎn)節(jié)拍的縮短。 發(fā)明的效果
由于本發(fā)明在對板狀部件進行要求表面平坦度的處理的處理部 中，設(shè)置板狀部件的表面平坦度提高單元，因此與現(xiàn)有的裝置相比， 在處理部中，板狀部件的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的擔心減少，可以高精 度地進行例如曝光處理等。
另外，在本發(fā)明中，由于吸附墊被吸附在板狀部件的平面中央部， 因此在進行以沿厚度方向的線作為中心而使板狀部件轉(zhuǎn)動規(guī)定角度 的工序時，不必暫時使吸附墊離開板狀部件后，再次使吸附墊吸附在 板狀部件上，由此可以縮短生產(chǎn)節(jié)拍。


圖1是表示本發(fā)明涉及的第1實施方式的輸送裝置的俯視圖。
圖2是表示第1實施方式的輸送單元的要部斜視圖。
圖3是表示第1實施方式的處理部的側(cè)視圖。
圖4是表示板狀部件的中央部的概念的示意俯視圖。
圖5 (A)是取代第1實施方式的電動機而表示變形例1的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的斜視圖，(B)是表示變形例2的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的斜視圖，(C)
是表示變形例3的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的斜視圖。
圖6是取代第1實施方式的飄浮部件而表示變形例4的飄浮部件 的斜視圖。
圖7是取代第1實施方式的飄浮部件而表示變形例5的支撐部件 的斜視圖。
圖8是表示本發(fā)明涉及的第2實施方式的表面平坦度提高單元的 俯視圖。
圖9是表示第2實施方式的處理部的側(cè)視圖。
圖IO是表示第3實施方式的處理部的側(cè)視圖。
圖11是表示第3實施方式的表面平坦度提高單元的斜視圖。
圖12是表示第4實施方式的處理部的側(cè)視圖。
圖13是說明由第4實施方式的表面平坦度提高單元進行的氣體
流動的剖面圖。
圖14是表示第5實施方式的處理部的側(cè)視圖。
圖15是說明由第5實施方式的表面平坦度提高單元進行的氣體
流動的剖面圖。
具體實施例方式
下面，基于附圖對本發(fā)明涉及的板狀部件的輸送裝置及板狀部件 的輸送方法的實施方式進行說明。
圖1中所示的第1實施方式的輸送裝置10，用于將顯示器中使 用的板狀部件即玻璃基板11，從圖1中的左側(cè)向右側(cè)輸送。
該輸送裝置IO具有飄浮單元20，其用于使玻璃基板11飄浮； 輸送單元30，其用于輸送玻璃基板ll;以及處理部40，其設(shè)置于輸 送單元30的輸送路徑中途。
飄浮單元20具有多個飄浮部件21，它們通過從多個噴射口向上 方噴射氣體而使玻璃基板11飄浮。
飄浮部件21為大致扁平方筒狀，在上表面以規(guī)則的等間隔設(shè)置 多個噴射口。這些飄浮部件21沿輸送方向(圖l中的左右方向)平
12行設(shè)置，且沿相對于輸送方向正交的方向以規(guī)定間隔排列多個。
此外，該飄浮單元20在中央部設(shè)置空隙22，從而不會與輸送單 元30干涉。
如圖2所示，輸送單元30具有導軌31，其設(shè)置于前述空隙22 的正下方；導向部件32，其可以沿導軌31移動；電動機33，其由導 向部件32支撐，同時使旋轉(zhuǎn)軸36 (參照圖3)垂直地配置；吸附墊 34，其與電動機33的旋轉(zhuǎn)軸36連結(jié)；以及一對移動飄浮部件(支撐 部件)35、 35，它們由導向部件32支撐。
移動飄浮部件35、 35，與前述的飄浮部件相同地為大致扁平方 筒狀，在上表面以規(guī)則的等間隔設(shè)置多個噴射口。這些移動漂浮部件 35、 35沿著輸送方向，同時隔著吸附墊34設(shè)置，可以與吸附墊34 聯(lián)動而沿輸送方向移動。
返回圖1，該輸送單元30配置為，使吸附墊可以吸附在玻璃基 板U的平面中央部。
如圖3所示，處理部40為了對玻璃基板的整個表面(向上的整 個表面)進行曝光處理，具有門型的支撐部件41，其沿相對于輸送 方向正交的方向；以及曝光裝置42，其可以沿支撐部件41移動。
該處理部40，為了對玻璃基板11進行要求表面平坦度的處理， 沿相對于輸送方向交叉的方向，使噴射口的密度均勻。
具體地講，處理部40沿支撐部件41，即相對于輸送方向交叉的 方向，避開空隙22而設(shè)置一對橫置飄浮部件(表面平坦度提高單元) 43， 43。
下面，對上述的輸送裝置10的輸送順序進行說明。 如圖l所示，在預(yù)先使空氣從飄浮部件21的噴射口噴射的狀態(tài) 下，從圖1中的左上方向下方，將玻璃基板11放入飄浮單元20的輸 送方向的上游側(cè)(圖l中的左側(cè))，在玻璃基板11利用飄浮單元20 從飄浮部件21飄浮的狀態(tài)下，通過使配置于空隙22中的吸附墊34 吸附在玻璃基板U的下表面的中央部而進行保持。
如圖4所示，被吸附墊吸附的玻璃基板的下表面中的中央部，是 指以對角線的交點為中心，以規(guī)定的半徑描繪的圓A內(nèi)。
13圖4中的圓B，表示在使吸附墊吸附在玻璃基板的中心，即對角
線的交點并進行轉(zhuǎn)動的情況下的玻璃基板角部的軌跡，圖4中圓C是
考慮到安全，玻璃基板不會與其他構(gòu)造物干涉的半徑。
并且，圖4中圓A的半徑設(shè)定為下述距離，g卩，即使吸附墊吸 附在相對于玻璃基板的中心偏離的位置上，玻璃基板的角部的軌跡也 不會從圖4中的圓C突出(參照圖4中的圓D)
再次返回圖1，在通過使輸送單元30的吸附墊34轉(zhuǎn)動而使玻璃 基板U轉(zhuǎn)動規(guī)定角度后，通過使吸附墊34和隔著吸附墊34設(shè)置于 輸送方向的上游側(cè)及下游側(cè)的移動漂浮部件35、 35，沿輸送方向從上 游側(cè)向下游側(cè)移動，從而輸送玻璃基板H， 一邊利用沿處理部40的 支撐部件41設(shè)置的橫置飄浮部件43、 43使玻璃基板U的表面平坦 化， 一邊利用處理部40進行曝光處理。
然后，通過使輸送單元30的吸附墊34轉(zhuǎn)動，使玻璃基板ll轉(zhuǎn) 動，輸送至下一工序。
此外，在輸送單元30向輸送方向的下游側(cè)移動的期間，在輸送 方向的上游側(cè)放入下一個玻璃基板11，以玻璃基板11利用飄浮單元 20從飄浮部件21飄浮的狀態(tài)待機，直至輸送單元30復原至初始位置 (上游側(cè))。
根據(jù)上述的第1實施方式，在對玻璃基板11進行要求表面平坦 度的處理的處理部40中，由于沿相對于輸送方向交叉的方向，使噴 射口的密度均勻，因此與現(xiàn)有的情況相比，在處理部40中，可以可 靠地減少玻璃基板11的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的問題。
另外，由于吸附墊34吸附在玻璃基板11的平面中央部，因此在 進行以沿厚度方向的線為中心而使玻璃基板11轉(zhuǎn)動規(guī)定角度的工序 時，不必暫時使吸附墊34離開玻璃基板11后，再次使吸附墊34吸 附玻璃基板ll,從而可以縮短生產(chǎn)節(jié)拍。
特別地，由于吸附墊34與可以沿輸送方向移動的電動機33的旋 轉(zhuǎn)軸36 (參照圖3)連結(jié)，因此在將向輸送方向的上游側(cè)供給的玻璃 基板11從輸送方向下游側(cè)搬出之前，不必使吸附墊34離開后再次吸 附，由此可以進一步縮短生產(chǎn)節(jié)拍。并且，通過在輸送單元30向輸送方向的下游側(cè)移動的期間，在 輸送方向的上游側(cè)放入下一個玻璃基板11，可以進行連續(xù)的作業(yè)，從 而可以進一步縮短生產(chǎn)節(jié)拍。
另外，由于輸送單元30具有可以與吸附墊34聯(lián)動而沿輸送方向 移動的移動漂浮部件35、 35，因此即使在輸送路徑上具有空隙22， 也可以在可靠地使玻璃基板11飄浮的狀態(tài)下進行輸送。
特別地，由于隔著吸附墊34設(shè)置一對移動漂浮部件35、 35，因 此即使在使吸附墊34吸附在玻璃基板11的平面中央部上的情況下， 也可以使玻璃基板11均勻地飄浮。
下面，基于圖5至圖7對相對于第1實施方式的輸送裝置10的 變形例1至變形例5進行說明。此外，在變形例1至變形例5中，對 與輸送裝置IO相同或相似的部件標注相同的標號，省略其說明。 (變形例1)
第1實施方式的輸送裝置10，作為使旋轉(zhuǎn)軸36旋轉(zhuǎn)的單元，對 利用電動機33使旋轉(zhuǎn)軸36直接旋轉(zhuǎn)的直接驅(qū)動結(jié)構(gòu)進行說明，但也 可以使用圖5 (A)所示的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)50。
旋轉(zhuǎn)機構(gòu)50是使電動機51及齒輪52組合而成。根據(jù)旋轉(zhuǎn)機構(gòu) 50,通過使電動機51旋轉(zhuǎn)，齒輪52進行旋轉(zhuǎn)，通過齒輪52旋轉(zhuǎn)， 吸附墊34隨旋轉(zhuǎn)軸36 —起旋轉(zhuǎn)。
根據(jù)變形例1的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)50，由于不必使用直接驅(qū)動電動機， 因此獲得可以降低輸送裝置10的制造成本的效果。 (變形例2)
另外，也可以取代第1實施方式的輸送裝置10中使用的直接驅(qū) 動電動機結(jié)構(gòu)，而使用圖5 (B)所示的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)55。
旋轉(zhuǎn)機構(gòu)55是使氣體驅(qū)動源56及齒輪57組合。根據(jù)旋轉(zhuǎn)機構(gòu) 55,通過驅(qū)動空氣驅(qū)動源56，齒輪57旋轉(zhuǎn)，通過齒輪57旋轉(zhuǎn)，吸附 墊34隨旋轉(zhuǎn)軸36 —起旋轉(zhuǎn)。
根據(jù)變形例2的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)55，由于不必使用直接驅(qū)動電動機， 因此獲得可以降低輸送裝置10的制造成本的效果。 (變形例3)此外，也可以取代第1實施方式的輸送裝置10中使用的直接驅(qū)
動電動機結(jié)構(gòu)，使用圖5 (C)所示的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)60。
旋轉(zhuǎn)機構(gòu)60是使電動機61及環(huán)狀帶62組合。根據(jù)旋轉(zhuǎn)機構(gòu)60， 通過使電動機61旋轉(zhuǎn)，環(huán)狀帶62進行旋轉(zhuǎn)，通過環(huán)狀帶62旋轉(zhuǎn)， 吸附墊34隨旋轉(zhuǎn)軸36 —起旋轉(zhuǎn)。
根據(jù)變形例3的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)60，由于不必使用直接驅(qū)動電動機， 因此獲得可以降低輸送裝置10的制造成本的效果。 (變形例4)
第1實施方式的輸送裝置10，隔著吸附墊34在輸送方向的上游 側(cè)及輸送方向的下游側(cè)設(shè)置一對移動漂浮部件35、 35，但不限于此， 例如如圖6所示，也可以在輸送方向的上游側(cè)并列配置多根移動漂浮 部件35、 35，且在輸送方向下游側(cè)并列配置多根移動漂浮部件35、 35。
根據(jù)變形例4，由于在輸送方向上游側(cè)及輸送方向下游側(cè)分別并 列地配置多根移動漂浮部件35、 35，因此可以確保飄浮部件21之間 的較大間隙，其結(jié)果，可以增大吸附墊34，從而可以提高對玻璃基板 11的吸附力。
另外，由此還可以使更大的玻璃基板11旋轉(zhuǎn)。 (變形例5)
另外，也可以取代第1實施方式的輸送裝置10的移動漂浮部件 35、 35，如圖7 (A) 、 (B)所示，使用支撐部件65。
支撐部件65具有多個轉(zhuǎn)動體66，其與玻璃基板ll接觸，同時 可以轉(zhuǎn)動；以及底座67，其可旋轉(zhuǎn)地支撐多個轉(zhuǎn)動體66。
根據(jù)變形例5，由于不使用飄浮部件，因此可以降低部件的成本， 同時可以抑制空氣消耗量。
下面，基于圖8至圖15對第2實施方式至第5實施方式的板狀 部件的輸送裝置及板狀部件的輸送方法進行說明。此外，在2實施方 式至第5實施方式中，對與第1實施方式的輸送裝置10相同或相似 的部件標注相同的標號，省略其說明。 (第2實施方式)圖8、圖9所示的第2實施方式的輸送裝置70，取代第1實施方 式的橫置飄浮部件43、 43而具有表面平坦度提高單元71,其他結(jié)構(gòu) 與第1實施方式的輸送裝置IO相同。
表面平坦度提高單元71在處理部40中，沿相對于輸送方向正交 的方向以規(guī)定間隔連續(xù)地排列多個飄浮部件21，在飄浮部件21之間 具有區(qū)間飄浮部件72。
區(qū)間飄浮部件72如圖8所示，長度尺寸L形成得較短，從而配 置于處理部40的區(qū)域40A中。
該區(qū)間飄浮部件72與第1實施的橫置飄浮部件43、 43相同地， 具有通過從上表面72A的多個噴射口向上方噴射氣體而使玻璃基板 11飄浮的功能。
因此，由于在飄浮部件21之間具有區(qū)間飄浮部件72，因此與第 1實施的橫置飄浮部件43、 43相同地，使噴射口的密度均勻，在處理 部40中，可以可靠地減少玻璃基板11的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的問題。
這樣，根據(jù)第2實施方式的輸送裝置70，與第1實施方式相同 地，在對玻璃基板11進行要求表面平坦度的處理的處理部40中，玻 璃基板11的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的問題減少，可以高精度地進行曝 光處理。
(第3實施方式)
圖10、圖11所示的第3實施方式的輸送裝置80，取代第1實施 方式的橫置飄浮部件43、 43，具有表面平坦度提高單元81，其他結(jié) 構(gòu)與第1實施方式的輸送裝置IO相同。
表面平坦度提高單元81在處理部40中，沿相對于輸送方向正交 的方向以規(guī)定間隔連續(xù)地排列多個飄浮部件21，同時具有多個從多個 噴射口向上方噴射氣體的支承墊82，各支承墊82鋪設(shè)于各飄浮部件 21之間。
各支承墊82僅配置于處理部40的區(qū)域40A (參照圖8)中。 該支承墊82與第1實施的橫置飄浮部件43、 43相同地，具有通
過從上表面82A的多個噴射口向上方噴射氣體而使玻璃基板11飄浮
的功能。
17因此，由于在飄浮部件21之間鋪設(shè)多個支承墊82，因此與第1
實施的橫置飄浮部件43、 43相同地，使噴射口的密度均勻，在處理 部40中可以可靠地減少玻璃基板11的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的問題。 這樣，根據(jù)第3實施方式的輸送裝置80，與第1實施方式相同 地，在對玻璃基板11進行要求表面平坦度的處理的處理部40中，玻 璃基板11的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的問題減少，可以髙精度地進行曝 光處理。
(第4實施方式)
圖12、圖13所示的第4實施方式的輸送裝置90，取代第1實施 方式的橫置飄浮部件43、 43而具有表面平坦度提高單元91，其他結(jié) 構(gòu)與第1實施方式的輸送裝置IO相同。
表面平坦度提高單元91在飄浮單元20的與處理部40相對應(yīng)的 區(qū)域40A(對照圖8)中，具有噴射吸引部件92，其在上表面92A分 別具有向上方噴射氣體的噴射口及吸引外部空氣的吸引口。
由于在噴射吸引部件92上具有吸引外部空氣的吸引口，因此可 以適當?shù)乇３植ＡЩ?1下方的氣體，在區(qū)域40A中可以可靠地減 少玻璃基板11的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的問題。
這樣，根據(jù)第4實施方式的輸送裝置90，與第1實施方式相同 地，在對玻璃基板11進行要求表面平坦度的處理的處理部40中，玻 璃基板11的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的問題減少，可以高精度地進行曝 光處理。
(第5實施方式)
圖14、圖15所示的第5實施方式的輸送裝置100，取代第1實 施方式的橫置飄浮部件43、 43而具有表面平坦度提高單元101，其他 結(jié)構(gòu)與第1實施方式的輸送裝置IO相同。
表面平坦度提高單元101在飄浮單元20的與處理部40相對應(yīng)的 區(qū)域40A(對照圖8)中，沿相對于輸送方向正交的方向以規(guī)定間隔 排列多個飄浮部件21，同時具有覆蓋各飄浮部件21之間的間隙的覆 蓋部件102。
由于具有覆蓋各飄浮部件21之間的間隙的覆蓋部件102，因此
18可以適當?shù)乇３植ＡЩ?1下方的氣體，在區(qū)域40A中可以可靠地 減少玻璃基板11的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的問題。
這樣，根據(jù)第5實施方式的輸送裝置100，與第1實施方式相同 地，在對玻璃基板11進行要求表面平坦度的處理的處理部40中，玻 璃基板11的表面產(chǎn)生波浪狀起伏的問題減少，可以高精度地進行曝 光處理。
此外，本發(fā)明不限于前述實施方式，可以對在前述實施方式中示 出的板狀部件、飄浮部件、飄浮單元、輸送單元、處理部、吸附墊、 電動機、移動漂浮部件、旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、支撐部件、以及表面平坦度提高 單元等進行適當?shù)淖冃?、改進。
權(quán)利要求
1.一種板狀部件的輸送裝置，其具有飄浮單元，其沿前述板狀部件的輸送方向，平行地排列多個飄浮部件，該飄浮部件通過從多個噴射口向上方噴射氣體而使板狀部件飄??；輸送單元，其在前述板狀部件利用前述飄浮單元從前述飄浮部件飄浮的狀態(tài)下，保持前述板狀部件，同時沿前述輸送方向，向下游側(cè)輸送前述板狀部件；以及處理部，其在前述輸送單元的輸送路徑的中途，對前述板狀部件進行要求表面平坦度的處理，其特征在于，在前述飄浮單元的與前述處理部相對應(yīng)的區(qū)域，設(shè)置前述板狀部件的表面平坦度提高單元。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述表面平坦度提高單元具有橫置飄浮部件，其沿與前述輸送方向相交叉的方向設(shè)置。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述飄浮部件，沿與前述輸送方向正交的方向以規(guī)定的間隔排列多個，同時，前述表面平坦度提高單元具有在前述各飄浮部件之間排列的區(qū)間飄浮部件。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述飄浮部件，沿與前述輸送方向正交的方向以規(guī)定的間隔排列多個，同時，前述表面平坦度提高單元，具有從多個噴射口向上方噴射氣體的多個支承墊，前述各支承墊鋪設(shè)在前述各飄浮部件之間。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述表面平坦度提高單元，在前述飄浮部件的與前述處理部相對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)，具有噴射吸引部件，該噴射吸引部件具有噴射前述氣體的噴射口及吸引外部空氣的吸引口。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述飄浮部件，沿與前述輸送方向正交的方向以規(guī)定的間隔排列多個，同時，前述表面平坦度提高單元，具有覆蓋前述各飄浮部件之間的間隙的覆蓋部件。
7. —種板狀部件的輸送裝置，其具有飄浮單元，其具有通過從多個噴射口向上方噴射氣體而使板狀部件飄浮的飄浮部件；以及輸送單元，其在前述板狀部件利用前述飄浮單元從前述飄浮部件飄浮的狀態(tài)下，保持前述板狀部件，同時沿前述輸送方向，向下游側(cè)輸送前述板狀部件，其特征在于，前述輸送單元具有吸附墊，其可以沿前述輸送方向移動，同時可以以沿前述板狀部件的厚度方向的線為中心旋轉(zhuǎn)，前述吸附墊吸附在前述板狀部件的平面中央部。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述輸送單元具有可以沿前述輸送方向移動的旋轉(zhuǎn)軸，前述吸附墊與前述旋轉(zhuǎn)軸連結(jié)。
9. 一種板狀部件的輸送裝置，其具有維持單元，其將板狀部件維持為水平；以及輸送單元，其保持前述板狀部件，同時將板狀部件從輸送方向上 游側(cè)輸向輸送方向下游側(cè)輸送，其特征在于，前述輸送單元具有吸附墊，其可以沿前述輸送方向移動，同時可以吸附在前述板狀 部件上；以及支撐部件，其與前述吸附墊聯(lián)動而支撐前述板狀部件。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的板狀部件的輸送裝置，其特征在于， 前述支撐單元具有飄浮部件，其通過從多個噴射口向上方噴射氣體而使前述板狀部件飄浮，前述支撐部件是具有與前述飄浮部件相同功能的移動飄浮部件。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述支撐部件具有轉(zhuǎn)動體，其與前述板狀部件接觸，同時可以轉(zhuǎn)動。
12. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的板狀部件的輸送裝置，其特征在于，前述支撐部件沿著前述輸送方向，同時隔著前述吸附墊設(shè)置于輸 送方向的上游側(cè)及輸送方向的下游側(cè)。
13. —種板狀部件的輸送方法，其特征在于， 將板狀部件放入飄浮單元的輸送方向上游側(cè)，該飄浮單元由多個飄浮部件沿輸送方向平行設(shè)置、且沿與前述輸送方向正交的方向以規(guī) 定間隔排列而成，該多個飄浮部件從多個噴射口向上方噴射氣體，在前述板狀部件利用前述飄浮單元從前述飄浮部件飄浮的狀態(tài) 下，在前述各飄浮部件之間，通過使吸附墊吸附在前述板狀部件下表 面的中央部，從而進行保持，然后，通過使前述吸附墊、和隔著前述吸附墊而設(shè)置于輸送方向 的上游側(cè)及輸送方向的下游側(cè)的移動飄浮部件，從前述輸送方向上游 側(cè)向前述輸送方向下游側(cè)移動，輸送前述板狀部件，在前述輸送單元的輸送路徑的中途，利用設(shè)置有前述板狀部件的 表面平坦度提高單元的區(qū)域， 一邊使前述板狀部件的表面平坦化，一 邊利用處理部對前述板狀部件的表面進行規(guī)定的處理，在經(jīng)過前述處理部后，使前述輸送單元的前述吸附墊轉(zhuǎn)動，從而 使前述板狀部件轉(zhuǎn)動。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的板狀部件的輸送方法，其特征在于， 在使前述吸附部件向前述輸送方向下游側(cè)移動的期間，將下一個 板狀部件放入前述輸送方向上游側(cè)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種板狀部件的輸送裝置及板狀部件的輸送方法，其在輸送路徑的中途，可以高精度地對板狀部件進行要求表面平坦度的處理。輸送裝置(10)具有飄浮單元(20)，其沿玻璃基板(11)的輸送方向排列多個使玻璃基板(11)飄浮的飄浮部件(21)；輸送單元(30)，其在玻璃基板(11)利用飄浮單元(20)從飄浮部件(21)飄浮的狀態(tài)下，保持玻璃基板(11)，同時沿輸送方向向下游側(cè)輸送玻璃基板(11)；以及處理部(40)，其在輸送單元(30)中的輸送路徑的中途，對玻璃基板(11)進行曝光處理。在與處理部(40)相對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)，設(shè)置作為表面平坦度提高單元的橫置飄浮部件(43)。
文檔編號B65G51/00GK101562123SQ20081014445
公開日2009年10月21日 申請日期2008年7月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月15日
發(fā)明者尾崎充佳, 森誠樹, 谷川央樹 申請人:東麗工程株式會社