專利名稱：基板移載裝置及方法
基板移載裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明關(guān)于一種基板移載裝置及方法，特別是關(guān)于制程機臺的制作過程 中的基板移載裝置及方法。
背景技術(shù)：
液晶顯示器現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于監(jiān)視器、筆記型計算機、數(shù)字相機及投影機 等具成長潛力的電子產(chǎn)品，在液晶顯示面板的制造過程中，需經(jīng)多道制程 將顯示面板的電路制作于玻璃基板上。玻璃基板主要應(yīng)用在平面顯示器上 的薄膜晶體管及彩色濾光片二處。在液晶顯示面板制作過程中，玻璃基板 需經(jīng)過拋光、研磨等加工步驟，以去除不必要的應(yīng)力集中現(xiàn)象，進而確保 玻璃基板的品質(zhì)。
圖1顯示一己有的玻璃基板移載裝置的示意圖，其是應(yīng)用于玻璃基板研 磨后的傳送，且主要是利用真空吸取方式移送玻璃基板。為求圖式簡潔， 圖1僅繪示相關(guān)的主要構(gòu)件，而以示意圖方式表示。
玻璃基板移載裝置10包含移載桿11、撈爪12、載臺13及傳送桿 (Conveyor) 14。玻璃基板移載裝置10包含3個移載桿11，各移載桿11 上設(shè)有復(fù)數(shù)個均勻分布的真空吸孔16，用以吸附玻璃基板15。撈爪12用 以夾取玻璃基板15的兩側(cè)，進一步確保玻璃基板15不致掉落。移載桿11 搭配撈爪12將置放于載臺13的玻璃基板15拾起后，移動至傳送桿14上 方，之后將玻璃基板15置放于傳送桿14上，完成將玻璃基板15自載臺 13換載至傳送桿14。之后，輸送桿14再將玻璃基板15傳送至后續(xù)機臺， 繼續(xù)液晶顯示面板的制作。如前述，移載桿11是采用真孔吸孔16的設(shè)計，用以吸取玻璃基板15。
因此，真空吸孔16必須另外搭配真空幫浦及相關(guān)配管(圖未示)，以產(chǎn)生
真空吸附的效果。
隨著世代演進，目前玻璃基板15的尺寸相當龐大，且仍將逐漸加大其 尺寸。因此，需要利用龍門機構(gòu)驅(qū)動移載桿11及撈爪12，以將玻璃基板 15移送至傳送桿14之上。如此一來，以撈爪搭配真空吸附方式移載玻璃 基板15所需的機構(gòu)不僅龐大而且復(fù)雜，而將增加玻璃基板15破片的可能 及機構(gòu)的建置成本。

發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問題，本發(fā)明提供一種基板移載裝置，可簡化移載機構(gòu)的復(fù) 雜度，進而有效降低相關(guān)機構(gòu)的建置成本，且可降低因機器故障造成基板 毀損的機率。
本發(fā)明揭示一種基板移載裝置，其主要包含一載臺及一移載機構(gòu)。該載 臺具有至少一承載面，以承載自制程機臺送出的基板(例如玻璃基板)，該 移載機構(gòu)具有至少一移載面，并利用移載機構(gòu)的移載面與載臺的承載面之 間于垂直于該移載面的垂直方向交錯移動，將該基板自該載臺換載至該移 載機構(gòu)。
本發(fā)明的基板移載方法可大致歸納為包含以下步驟首先，將基板自制 程機臺移載至載臺，且該基板是由該載臺包含的一承載面承載。之后利用 移載機構(gòu)的一移載面與該載臺的承載面之間于垂直于該移載面的垂直方 向交錯移動，將該基板自該載臺換載至該移載機構(gòu)上。


圖1是現(xiàn)有的基板移載裝置的示意圖。
圖2是本發(fā)明的基板移載裝置之上視示意圖。
圖3至6是本發(fā)明一實施例的基板移載裝置于各運作步驟的狀態(tài)示意圖。
圖7是本發(fā)明另一實施例的基板移載裝置的移載機構(gòu)。 圖8是本發(fā)明一實施例的基板移載方法的流程示意圖。
主要組件符號說明
10玻璃基板移載裝置11移載桿
12撈爪13載臺
14傳送桿15玻璃基板
16真空吸孔
20基板移載裝置21制程機臺
22基板23載臺
24移載機構(gòu)25承載面
26移載面231側(cè)桿
232中央桿241傳送桿
242傳送帶S81'、84 步驟
具體實施方式
以下將搭配圖式詳細說明本發(fā)明的基板移載裝置及方法的技術(shù)特征。以 下實施例的基板是關(guān)于液晶顯示面板的應(yīng)用，特別是關(guān)于液晶顯示面板制 作過程中，玻璃基板經(jīng)研磨后的相關(guān)移載技術(shù)。但是以下實施例僅是例示， 并不限制本發(fā)明的請求范圍。
圖2繪示本發(fā)明一實施例的基板移載裝置20之上視示意圖。本實施例 中，基板22是經(jīng)制程機臺21完成制程后送出至載臺23。在載臺23之后 設(shè)置有移載機構(gòu)24，用以將基板22傳送移載至后續(xù)處理機臺，以進行液 晶顯示面板的下一道制程。本實施例的基板22是玻璃基板，該制程機臺 21為研磨機臺，且其制作流程中，基板22是由右向左移動。
一實施例中，載臺23包含兩側(cè)桿231及一中央桿232，中央桿232的長度短于側(cè)桿231。側(cè)桿231作為主要承載基板22的構(gòu)件。移載機構(gòu)24 包含兩傳送桿241，傳送桿241的縱向方向與側(cè)桿231的縱向方向相互平 行，且兩傳送桿241之間距A大于兩側(cè)桿231形成的寬度B。
圖3繪示圖2的載臺23及傳送裝置24的立體示意圖，此時基板22是 由載臺23的側(cè)桿231及中央桿232承載。申言的，兩側(cè)桿231的頂部構(gòu) 成承載面25，而兩傳送桿241的頂部則構(gòu)成移載面26，以承載及移載該 基板22。傳送桿241的周緣設(shè)有傳送帶242，可沿傳送桿241的周緣旋轉(zhuǎn) 而輸送其上的承載件。其中承載面25與移載面26可為相互平行。
參照圖4，基板22位于載臺23上的髙度至少高于傳送帶242的頂面。 載臺23可通過如導螺桿/滑軌等機械驅(qū)動裝置(圖未示)向左移動。據(jù)此， 因兩傳送桿241之間距A大于兩側(cè)桿231形成的寬度B，且基板22的水平 高度高于傳送帶242的頂面，如此一來兩側(cè)桿231和中央桿232可移動至 兩傳送桿241之間，此時基板22被傳送至兩傳送桿241上方。
參照圖5，兩傳送桿241是由一垂直傳送機構(gòu)(圖未示)向上移動頂起 基板22，亦即基板22脫離兩側(cè)桿231及中央桿232。申言之，該承載面 25與該移載面26之間于垂直于該移載面的垂直方向交錯移動，將該基板 22自該載臺23換載至該移載機構(gòu)24。
一實施例中，傳送桿241上設(shè)置的傳送帶242可將基板22向左或向后 傳送，如圖6所示。之后，基板22傳送至后續(xù)機臺以進行后續(xù)制程。
按圖6所示，基板22經(jīng)換載至移載機構(gòu)24后，基板22被傳送至不同 的平面高度(本實施例中，基板22被提高)。因此若后續(xù)制程的機臺接受 基板的高度與制程機臺的高度不同，按圖5及6的設(shè)計可將移載基板22 與變換高度于同一步驟中完成，具有簡化流程，提升制作效率的效果。
若后續(xù)制程的機臺接受基板的高度與制程機臺的高度相同，移載機構(gòu) 24亦可將基板22頂起后，載臺23將向右回復(fù)原來位置。之后，再降低移 載機構(gòu)24，即可將基板22調(diào)整至相當于載臺23所承載的基板22的高度。
再參圖2，該兩傳送桿241之間距A可依基板22的大小作調(diào)整。若基板22較大或較寬，可增加兩傳送桿241之間距A。反之，則減小其之間距。
若基板22的寬度更寬時，其中心處可能因其自身的重量而產(chǎn)生撓曲 (deflection)。為防止此現(xiàn)象，移載機構(gòu)24可采包含三條傳送桿241搭 配傳送帶242的設(shè)計，其中傳送桿241頂面是構(gòu)成移載面26，如圖7所示。
三條移載桿于實際運作時，載臺的二側(cè)桿可移至相鄰二傳送桿之間，將 基板移至該三傳送桿上方。
上述實施例的基板移載可大致歸納為如圖8所示的流程圖。步驟S81 中，首先基板自制程機臺21移載至載臺23。步驟S82中，載臺23于水平 方向移動將基板22移至移載機構(gòu)24上方。步驟S83中，移載機構(gòu)24的 移載面26及載臺23的承載面25于垂直于該移載面26的垂直方向交錯移 動，例如向上頂起基板22，使基板22自載臺23換載至移載機構(gòu)24。步 驟S84中，移載機構(gòu)24移送基板22向后移動，以進行后續(xù)制程。
實際操作上，載臺23和移載機構(gòu)24間是采水平向和垂直向的相對運動， 藉此即可將基板22由載臺23換載至移載機構(gòu)24，之后再進一步移送至后 續(xù)機臺進行后續(xù)制程。上述實施例僅是例示，并未限定由移載機構(gòu)24頂 起承載基板22，或由載臺23朝移載機構(gòu)24方向移動。換言的，載臺23 亦可下降讓基板22換載至移載機構(gòu)24;移載機構(gòu)24亦可朝載臺23方向 移動。
按現(xiàn)有技術(shù)利用真空吸取的方式，萬一真空幫浦斷電，可能導致基板掉 落。本發(fā)明的基板移載裝置的基板是采用本身重力置放于移載機構(gòu)上方， 因此即使運送過程中斷電，雖然移載機構(gòu)的動作停止，基板仍將置放于移 載機構(gòu)上，而不可能掉落毀損。
本發(fā)明的基板移載裝置是利用基板自身的重力承載該基板，無須真空幫 浦及管線等復(fù)雜設(shè)計，而可降低建置的成本。
本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容及技術(shù)特點已揭示如上，然而熟悉本項技術(shù)的人士仍 可能基于本發(fā)明的教示及揭示而作種種不背離本發(fā)明精神的替換及修飾。 因此，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)不限于實施例所揭示者，而應(yīng)包括各種不背離本發(fā)明的替換及修飾，并為以下的申請專利范圍所涵蓋。
權(quán)利要求
1. 一種基板移載裝置，包含一載臺，具有至少一承載面，該承載面承載一基板；以及一移載機構(gòu)，具有至少一移載面，該移載面用以承載和移動該基板，該承載面與該移載面之間于垂直于該移載面的一垂直方向交錯移動，將該基板自該載臺換載至該移載機構(gòu)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板移載裝置，其特征在于，該移載機構(gòu)是利用 該基板自身的重力承載該基板。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板移載裝置，其特征在于，該載臺與移載機構(gòu) 于水平向相互移動，將該基板移至該移載機構(gòu)上方。
4. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板移載裝置，其特征在于，該移載機構(gòu)是向上 頂起該基板。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板移載裝置，其特征在于，該載臺包含二側(cè)桿， 該二側(cè)桿包含該承載面以承載該基板。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板移載裝置，其特征在于，該移載機構(gòu)包含二傳送桿，該二傳送桿形成該移載面以移載該基板。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板移載裝置，其特征在于，該二側(cè)桿可移至二 傳送桿之間，將該基板移至該二傳送桿上方。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板移載裝置，其特征在于，該二傳送桿是頂起該基板，將該基板由該載臺換載至移載機構(gòu)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板移載裝置，其特征在于，該二傳送桿各包含 傳送帶，以水平移送該基板。
10. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板移載裝置，其特征在于，該移載機構(gòu)包含三 傳送桿，以移載該基板。
11. 一種基板移載方法，包含以下步驟將一基板自一制程機臺移載至一載臺，且該基板是由該載臺包含的一承載面承載；以及利用一移載機構(gòu)包含的一移載面與該載臺的該承載面之間于垂直 于該移載面的一垂直方向交錯移動，將該基板自該載臺換載至該移載 機構(gòu)上。
12. 根據(jù)權(quán)利要求ll的基板移載方法，其特征在于，該移載機構(gòu)是利用基 板自身的重力承載該基板。
13. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的基板移載方法，其另包含該載臺與移載機構(gòu)于 水平向相互移動，將該基板移至該移載機構(gòu)上方的步驟。
14. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的基板移載方法，其特征在于，該移載機構(gòu)的移 載面與該載臺的承載面之間于垂直于該移載面的該垂直方向交錯移動 包含該移載機構(gòu)向上頂起該基板。
15. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的基板移載方法，其特征在于，該載臺的承載面 是由二側(cè)桿構(gòu)成，該移載機構(gòu)的移載面是由二傳送桿構(gòu)成，該二側(cè)桿 可移至二傳送桿之間，將該基板移至該二傳送桿上方。
16. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的基板移載方法，其特征在于，該二傳送桿是頂 起該基板，將該基板由該載臺換載至移載機構(gòu)。
17. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的基板移載方法，其特征在于，該二傳送桿各包 含傳送帶，以水平移送該基板。
18. 根據(jù)權(quán)利要求ll所述的基板移載方法，其特征在于，該載臺的承載面 包含二側(cè)桿，該移載機構(gòu)的移載面包含三傳送桿，該二側(cè)桿可移至相 鄰二傳送桿之間，將基板移至該三傳送桿上方。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種基板移載裝置，其主要包含一載臺及一移載機構(gòu)。該載臺具有一承載面，該移載機構(gòu)具有一移載面。該載臺承載自制程機臺送出的基板，利用移載機構(gòu)的移載面與載臺的承載面之間于垂直于該移載面的垂直方向交錯移動，該基板自該載臺換載至該移載機構(gòu)。一實施例中，利用該載臺與移載機構(gòu)水平向相互移動，將該基板移至該移載機構(gòu)上方，以將該基板自該載臺換載至該移載機構(gòu)。
文檔編號B65G49/06GK101428708SQ20081018681
公開日2009年5月13日 申請日期2008年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2008年12月15日
發(fā)明者余圣智, 劉佳欣 申請人:友達光電股份有限公司