專利名稱：空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體和空氣吹出單元、以及包含這些部件的空氣懸浮輸 ...的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及利用空氣使液晶顯示器面板用玻璃基板等薄板懸浮從而進(jìn)行輸送的
空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體和空氣吹出單元、以及具備這些部件的空氣懸浮輸送裝置。
背景技術(shù)：
以往，在空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體中，為了使來(lái)自空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出部(以規(guī)定的間隔形成有多個(gè)吹出孔)的空氣的流速或者流量在整個(gè)面上達(dá)到均勻，在上壁部件中的吹出孔的下面?zhèn)扰渲糜卸嗫踪|(zhì)材料(參照專利文獻(xiàn)1、圖1、圖2)。
該上壁部件具有對(duì)不具有剛性和平面度的多孔質(zhì)材料進(jìn)行加強(qiáng)和保護(hù)的目的。
圖11是示出現(xiàn)有的空氣懸浮輸送裝置F中的作為空氣室的腔室101、多孔質(zhì)材料102、以及上壁部件103的配置的示意圖。示出通過(guò)多孔質(zhì)材料102的壓力損失使腔室101內(nèi)的壓力均勻化，并利用遍及整面均勻地吹出的空氣使玻璃基板104均勻地懸浮的狀態(tài)。
然而，在現(xiàn)有的使用多孔質(zhì)材料102、上壁部件103的懸浮輸送中，存在如下的問(wèn)題當(dāng)玻璃基板104破裂時(shí)，如圖12所示，破損基板的碎片105的除去和上壁部件103的清掃的維護(hù)作業(yè)困難。即，在專利文獻(xiàn)1中，作為上壁部件103例如使用如下的金屬板該金屬板具有能夠發(fā)揮能夠支承被懸浮物的強(qiáng)度的厚度，并且以規(guī)定的間隔呈交錯(cuò)狀地形成有多個(gè)小徑、例如1 10mm左右的孔徑的空氣噴出孔H。因此，如圖12所示，在現(xiàn)有的空氣懸浮輸送裝置F中，當(dāng)除去碎片105時(shí)，雖然嘗試用掃帚106等清掃工具來(lái)清掃碎片105，但是碎片105進(jìn)入空氣吹出孔H中從而難以完全除去。 并且，在該空氣懸浮輸送裝置F中，使玻璃基板的兩端部與配置在玻璃基板的兩側(cè)的多個(gè)輸送輥接觸從而擔(dān)負(fù)該基板的一部分自重并使輸送輥旋轉(zhuǎn)，由此在使該玻璃基板懸浮的狀態(tài)下進(jìn)行輸送。 但是，通過(guò)使玻璃基板懸浮，輸送輥所擔(dān)負(fù)的基板的自重極低。因此，在縮短輸送
時(shí)間的情況下，當(dāng)提高基于該輥的輸送速度、或者突然降低輸送速度時(shí)，在起動(dòng)或停止時(shí)會(huì)
發(fā)生滑動(dòng)，基板的定位精度下降，因此存在無(wú)法提高(上升)基于輸送輥的基板輸送的加減
速度，從而難以縮短輸送時(shí)間的問(wèn)題。[專利文獻(xiàn)1]日本特開(kāi)2004-345744號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種維護(hù)容易的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體、具有該空氣吹出構(gòu)造體的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出單元、以及包含這些部件的空氣懸浮輸送裝置。 對(duì)于本發(fā)明的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體，在利用空氣使薄板懸浮從而
進(jìn)行輸送的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體中，其特征在于，所述空氣吹出構(gòu)造體由
3編織絲網(wǎng)和具有多孔性的加強(qiáng)部件構(gòu)成，所述編織絲網(wǎng)配置在構(gòu)造體的最上部，所述加強(qiáng) 部件配置在該編織絲網(wǎng)的下部。 優(yōu)選配置在所述編織絲網(wǎng)的下部的加強(qiáng)部件與所述編織絲網(wǎng)接合。 優(yōu)選所述編織絲網(wǎng)是平紋編織密紋絲網(wǎng)或者斜紋編織密紋絲網(wǎng)。 優(yōu)選所述加強(qiáng)部件形成為多層構(gòu)造。 優(yōu)選對(duì)所述加強(qiáng)部件之一使用加強(qiáng)金屬。 優(yōu)選所述編織絲網(wǎng)的織眼的有效開(kāi)口尺寸為1 y m 200 ii m。 并且，對(duì)于本發(fā)明的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出單元，其特征在于，所述空氣吹 出單元具備所述空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體；吹出腔，其配設(shè)在該空氣吹出構(gòu)
造體的下方，由固定該空氣吹出構(gòu)造體的周邊部的外壁包圍；以及軸流式風(fēng)扇，其將空氣送 入該吹出腔。 優(yōu)選在所述吹出腔中具備除去所述空氣的灰塵的過(guò)濾器。 進(jìn)一步，對(duì)于本發(fā)明的空氣懸浮輸送裝置，其特征在于，所述空氣懸浮輸送裝置具 備單元組，其通過(guò)排列設(shè)置多個(gè)所述的空氣吹出單元形成；輸送輥，其在該單元組的兩側(cè) 部的位置處沿所述薄板的輸送方向排列有多個(gè)；驅(qū)動(dòng)單元，其驅(qū)動(dòng)該輸送輥；以及抽吸單 元，其在所述單元組的兩側(cè)端面和該輸送輥之間對(duì)所述薄板的兩端部賦予吸引力。
優(yōu)選所述抽吸單元具備空氣吸入構(gòu)造體，其由配置在吸入側(cè)的最上部的編織絲 網(wǎng)和配置在該編織絲網(wǎng)的下部的具有多孔性的加強(qiáng)部件構(gòu)成；抽吸腔，其配設(shè)在該空氣吸 入構(gòu)造體的下方，由固定該空氣吸入構(gòu)造體的周邊部的外壁包圍；以及軸流式風(fēng)扇，其被配 置于所述抽吸腔來(lái)抽吸空氣。 優(yōu)選在所述軸流式風(fēng)扇中具備除去所述空氣的灰塵的過(guò)濾器。 根據(jù)本發(fā)明，與在最上部使用具有較大的1mm以上的孔的材料的現(xiàn)有的空氣吹出
構(gòu)造體相比，配置在最上部的編織絲網(wǎng)形成為織眼的有效開(kāi)口尺寸極小的構(gòu)造，因此除去
清掃玻璃基板碎片時(shí)的維護(hù)作業(yè)變得容易。 并且，如果使用本發(fā)明的空氣吹出單元，與以往那樣連接導(dǎo)管并使用容量大的鼓
風(fēng)機(jī)或者空氣壓縮機(jī)來(lái)供給空氣的情況相比，不需要使用特別的空氣導(dǎo)管，因此空氣懸浮
輸送裝置的制造變得容易。并且，如果具備軸流式風(fēng)扇，則能夠確保在低壓、低電力條件下
的流量，因此在空氣懸浮輸送裝置中能夠節(jié)約能量。進(jìn)一步，能夠?qū)崿F(xiàn)安靜的運(yùn)轉(zhuǎn)。 進(jìn)一步，根據(jù)本發(fā)明的空氣懸浮輸送裝置，通過(guò)具備對(duì)薄板的兩端部賦予吸引力
的抽吸單元，能夠使薄板的兩端部可靠地與輸送輥接觸。因此，能夠提高基于輸送輥的加減
速度，從而能夠縮短薄板的輸送時(shí)間。


圖1是示出本發(fā)明的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出單元的實(shí)施例的概要剖視圖。
圖2是圖1的空氣吹出部的放大圖，是示出本發(fā)明的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹 出構(gòu)造體的概要剖視圖。 圖3是示出空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出部的其他的構(gòu)造的概要剖視圖。
圖4是本發(fā)明的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出部的清掃時(shí)的剖視概要圖。
圖5是示出使用了本發(fā)明的空氣吹出單元的空氣懸浮輸送裝置的實(shí)施例的概要
4側(cè)視圖。 圖6是示出使用了本發(fā)明的空氣吹出單元的空氣懸浮輸送裝置的實(shí)施例的概要 俯視圖。 圖7是示出本發(fā)明的實(shí)施方式所涉及的空氣懸浮輸送裝置的概要俯視圖。 圖8是圖7的概要側(cè)視圖。 圖9是將圖8的主要部分放大后的剖視圖。 圖10是對(duì)圖9的輸送輥和驅(qū)動(dòng)軸的磁鐵進(jìn)行說(shuō)明的圖。 圖11是現(xiàn)有的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出部的剖視概要圖。 圖12是現(xiàn)有的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出部的清掃時(shí)的剖視概要圖。 標(biāo)號(hào)說(shuō)明 1...吹出腔；2...加強(qiáng)部件；3...編織絲網(wǎng)；4...薄板；4a、4b...薄板的兩端 部；6、23...過(guò)濾器；7、22...軸流式風(fēng)扇；21...抽吸腔；21a...排出口 ；26. ..O型圈；31、 34...磁鐵；32...驅(qū)動(dòng)軸；33...電動(dòng)機(jī)；D...驅(qū)動(dòng)單元；F...空氣懸浮輸送裝置；G...單 元組；Ga、 Gb...單元組的兩側(cè)部；Gla、 Glb...單元組的兩側(cè)端面；M...磁鐵驅(qū)動(dòng)輸送器； R...輸送輥；Rl...輸送輥的輥軸；U...空氣吹出單元；V...抽吸單元；Vl...空氣吸入構(gòu)
造體；W、W1...外壁。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體能夠應(yīng)用于利用空氣使薄板懸浮
并利用輸送輥進(jìn)行輸送的空氣懸浮輸送裝置，該空氣吹出構(gòu)造體由配置在構(gòu)造體的最上部 的編織絲網(wǎng)和配置在該編織絲網(wǎng)的下部的具有多孔性的加強(qiáng)部件構(gòu)成。 此處，對(duì)在本發(fā)明中使用的用語(yǔ)的意思進(jìn)行說(shuō)明。在本發(fā)明中，所謂空氣懸浮輸送
裝置包括具備以非接觸的方式使液晶顯示器面板或等離子顯示器面板等平板顯示器中使 用的大型且非常薄的玻璃基板懸浮并進(jìn)行支承的單元的裝置，或者具備上述單元并利用輸 送輥進(jìn)行輸送的裝置。 所謂空氣吹出構(gòu)造體是指具有多孔性的構(gòu)造體，該構(gòu)造體能夠?qū)⒖諝獯党鰡卧?br> 腔室內(nèi)壓力空氣供給到單元上表面部(薄板的下表面?zhèn)?。 所謂薄板是指像液晶顯示器面板用的玻璃基板、或者等離子顯示器用的玻璃基板
這樣的相對(duì)于縱橫尺寸來(lái)說(shuō)極其薄且撓曲大的平板材料。 所謂輸送輥是指支承由空氣懸浮支承的玻璃基板的兩端部的下表面并驅(qū)動(dòng)輸送 的旋轉(zhuǎn)體。 所謂編織絲網(wǎng)是指平紋編織絲網(wǎng)、斜紋編織絲網(wǎng)、平紋編織密紋絲網(wǎng)、斜紋編織密 紋絲網(wǎng)等。之所以使用編織絲網(wǎng)作為多孔質(zhì)材料是因?yàn)?，與樹(shù)脂制和陶瓷制的多孔質(zhì)材料 相比較，編織絲網(wǎng)廉價(jià)且富于變化(線徑或者織眼的有效開(kāi)口尺寸)。因此，容易進(jìn)行懸浮 所需的空氣流量的設(shè)計(jì)。 所謂平紋編織絲網(wǎng)是指經(jīng)線和緯線保持恒定的間隔并一根一根地交叉編織而成 的絲網(wǎng)。 所謂斜紋編織絲網(wǎng)是指經(jīng)線和緯線保持恒定的間隔并每次交叉一根以上編織而 成的絲網(wǎng)。
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所謂平紋編織密紋絲網(wǎng)是指以如下的方法編織的絲網(wǎng)通過(guò)緯線以相切的方式排 列并使其一根一根地交叉的編織方式，使縱向的網(wǎng)眼比橫向的網(wǎng)眼少，經(jīng)線并不彎曲而是 以筆直的狀態(tài)編織，緯線像草席面那樣鄰接。 所謂斜紋編織密紋絲網(wǎng)是指以如下的方法編織的絲網(wǎng)通過(guò)緯線以相切的方式排 列并使其交替地每次跨越兩根以上的線的編織方式，使縱向的網(wǎng)眼比橫向的網(wǎng)眼少，經(jīng)線 并不彎曲而是以筆直的狀態(tài)編織，緯線像草席面那樣鄰接。 所謂具有多孔性的加強(qiáng)部件是指用于對(duì)配置在懸浮側(cè)的最上部的編織絲網(wǎng)的強(qiáng) 度進(jìn)行補(bǔ)充的具有多個(gè)沿板厚方向貫通的通氣孔的網(wǎng)狀體或者板狀體。例如是指膨脹合 金、加強(qiáng)金屬、絲網(wǎng)。 所謂織眼的有效開(kāi)口尺寸是指依據(jù)使粒子透過(guò)由經(jīng)線和緯線形成的平面式的織 眼和三維形狀的織眼的試驗(yàn)，例如95%的粒子通過(guò)時(shí)的有效直徑。 在本發(fā)明中，作為結(jié)合編織絲網(wǎng)和加強(qiáng)部件的接合方法，除了基于粘接劑或焊接
的結(jié)合之外，還可以舉出通過(guò)燒結(jié)加工使整面一體化的擴(kuò)散接合等。所謂擴(kuò)散接合是指如
下的固相接合方法在真空或者惰性氣體中，不使母材熔融，在固相狀態(tài)下以不會(huì)產(chǎn)生塑性
變形的程度進(jìn)行加熱和加壓，通過(guò)使接合部的原子擴(kuò)散來(lái)進(jìn)行接合。作為該擴(kuò)散接合的優(yōu)
點(diǎn)能夠舉出如下的優(yōu)點(diǎn)由于美觀性比焊接結(jié)合好、結(jié)合比利用粘接劑進(jìn)行的結(jié)合牢固且
均勻，因此結(jié)合的可靠性高、壓力損失的偏差小、并且能夠遍及整面地使空氣均勻地分散。
所謂"加強(qiáng)部件為多層構(gòu)造"是指如下的構(gòu)造重疊多片(例如2到5片左右)上
述有效開(kāi)口尺寸比最上部的編織絲網(wǎng)大的編織絲網(wǎng)或者開(kāi)口部比最上部的編織絲網(wǎng)大的
絲網(wǎng)并進(jìn)行接合的構(gòu)造；將加強(qiáng)金屬組合在重疊有規(guī)定的片數(shù)的上述編織絲網(wǎng)的構(gòu)造中的
構(gòu)造；在重疊有規(guī)定的片數(shù)的上述絲網(wǎng)的構(gòu)造上進(jìn)一步重合加強(qiáng)金屬的構(gòu)造；或者在重合
了規(guī)定片數(shù)的上述編織絲網(wǎng)和絲網(wǎng)的構(gòu)造上進(jìn)一步重合加強(qiáng)金屬的構(gòu)造等。通過(guò)形成多層
構(gòu)造，壓力損失的偏差小，能夠使空氣均勻地分散。并且，容易對(duì)空氣流進(jìn)行設(shè)計(jì)。 所謂"對(duì)加強(qiáng)部件之一使用加強(qiáng)金屬"是指作為加強(qiáng)部件單獨(dú)使用加強(qiáng)金屬，或者
是在多層構(gòu)造的加強(qiáng)部件的情況下，與加強(qiáng)金屬一起使用開(kāi)口部比最上部的編織絲網(wǎng)大的絲網(wǎng)。 之所以"編織絲網(wǎng)的織眼的有效開(kāi)口尺寸為liim 200iim"，是因?yàn)楫?dāng)不足liim
時(shí)難以確保使玻璃基板懸浮所需的流量，因此需要較高的壓力。 當(dāng)織眼的有效開(kāi)口尺寸超過(guò)200iim時(shí)，當(dāng)玻璃基板破裂時(shí)，細(xì)小的玻璃碎片進(jìn)入
空氣吹出部的孔中，從而不便除去破裂的玻璃。并且難以使腔室內(nèi)的壓力均勻化。 所謂空氣吹出單元是指具備空氣吹出構(gòu)造體的使玻璃基板懸浮的單元。并且，是
指在該空氣吹出單元中具備送入空氣的軸流式風(fēng)扇，或者具備該軸流式風(fēng)扇和除去空氣的
灰塵的過(guò)濾器的結(jié)構(gòu)。 所謂除去空氣的灰塵的過(guò)濾器是在潔凈室內(nèi)用于抑制空氣吹出單元的風(fēng)扇驅(qū)動(dòng) 而產(chǎn)生灰塵的對(duì)策，優(yōu)選為HEPA過(guò)濾器(High EfficiencyParticulate Air filter ;能夠 除去99. 7%以上的0. 3 ii m的粒子的過(guò)濾器)或者ULPA過(guò)濾器(Ultra Low Penetration Air Filter ;能夠除去99. 999%以上的O. liim的粒子的過(guò)濾器)。另外，過(guò)濾器可以外裝 在腔室上，也可以內(nèi)置在腔室中。 所謂腔室是指用于使供給到空氣吹出單元內(nèi)的空氣的流量遍及吹出部整體達(dá)到
6均勻化的空氣室或者抽吸到抽吸單元內(nèi)的空氣室。 以下，根據(jù)附圖對(duì)發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明。圖1是示出本發(fā)明的空氣懸浮輸送裝置F的空 氣吹出單元U的實(shí)施例的概要剖視圖。圖2是圖1的空氣噴出部的放大圖，是示出本發(fā)明 的空氣懸浮輸送裝置F的空氣吹出構(gòu)造體的概要剖視圖。 在圖1和圖2中，在固定于形成吹出腔1的外壁W的上表面的空氣吹出構(gòu)造體上， 利用從空氣導(dǎo)入口 8導(dǎo)入的空氣(以箭頭示出該空氣的流動(dòng))使作為薄板的玻璃基板4懸 浮。將編織絲網(wǎng)3配置在懸浮側(cè)的最上部，將具有多孔性的作為加強(qiáng)部件2的加強(qiáng)金屬配 置在編織絲網(wǎng)3的下部。 此處，編織絲網(wǎng)3使用密紋編織絲網(wǎng)。由于密紋編織絲網(wǎng)利用多根金屬線材(諱 線線材3b)來(lái)支承以比平紋編織的曲率大的曲率彎曲的金屬線材(例如經(jīng)線線材3a)，因此 不存在像普通的平紋編織絲網(wǎng)那樣的平面的"網(wǎng)眼的開(kāi)口部"(織眼)，對(duì)于空間區(qū)域，由于 經(jīng)線線材3a和緯線線材3b的交叉部的間隙成為三維的開(kāi)口部(織眼)，因此具有剛性高且 難以變形的特征。進(jìn)一步，緯線線材3b與經(jīng)線線材3a間在兩點(diǎn)上接觸并緊貼，密度為普通 的密紋編織絲網(wǎng)的兩倍，是最致密且牢固的絲網(wǎng)。 圖3是示出空氣懸浮輸送裝置F的空氣吹出構(gòu)造體的其他的構(gòu)造的概要剖視圖。 在圖3中，將編織絲網(wǎng)3配置在懸浮側(cè)的最上部，將具有多孔性的加強(qiáng)部件2配置在編織絲 網(wǎng)3的下部。此處的加強(qiáng)部件形成為絲網(wǎng)2A和加強(qiáng)金屬2B的層疊構(gòu)造。在本實(shí)施方式中， 作為該絲網(wǎng)2A使用平紋編織絲網(wǎng)，但是，在本發(fā)明中并不限于此。 此處，作為結(jié)合編織絲網(wǎng)和加強(qiáng)部件的接合方法，通過(guò)燒結(jié)加工使整面一體化。
由此，由于美觀性比焊接結(jié)合好，并且結(jié)合比基于粘接劑的結(jié)合牢固且均勻，因此 壓力損失的偏差小，能夠遍及整面使空氣均勻地分散。 圖4示出除去本發(fā)明的實(shí)施方式中的空氣吹出構(gòu)造體上的玻璃基板的碎片15的 狀態(tài)。由于在空氣吹出構(gòu)造體的最上部沒(méi)有比lmm大的孔，因此，與以往相比，利用掃帚16 等清掃工具進(jìn)行的玻璃基板碎片的除去清掃極其容易。
以下，對(duì)使用上述結(jié)構(gòu)的情況下的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。 在圖1中，在固定于形成吹出腔l的外壁W的上表面的空氣吹出構(gòu)造體上，利用圖 5所示的輸送輥R來(lái)輸送作為薄板的玻璃基板4。 此時(shí)，如圖1所示，利用軸流式風(fēng)扇7從空氣導(dǎo)入口 8送入空氣，利用過(guò)濾器6除 去空氣的灰塵，通過(guò)吹出腔1、具有多孔性的加強(qiáng)部件2以及配置在懸浮側(cè)的最上部的編織 絲網(wǎng)3后的空氣(以箭頭示出該空氣的流動(dòng))使玻璃基板4懸浮。 另外，對(duì)于本發(fā)明的空氣懸浮輸送裝置F中的吹出腔1內(nèi)的空氣，通過(guò)作為加強(qiáng)部 件2的加強(qiáng)金屬以及編織絲網(wǎng)3的壓力損失使腔室內(nèi)的壓力均勻化，利用遍及整面均勻地 吹出的空氣使玻璃基板均勻地懸浮。 以下，對(duì)使用了上述的空氣吹出構(gòu)造體和空氣吹出單元U的空氣懸浮輸送裝置F 進(jìn)行說(shuō)明。圖5是示出使用了本發(fā)明的空氣吹出單元U的空氣懸浮輸送裝置F的實(shí)施方式 的概要側(cè)視圖。并且，圖6是其概要俯視圖。 在圖5中，空氣吹出單元U在設(shè)置框架(未圖示)上排列有五個(gè)，且分別形成為圖 1所示的結(jié)構(gòu)。并且，在排列的單元U的兩端具備輸送輥R，通過(guò)輸送輥R的旋轉(zhuǎn)來(lái)輸送玻 璃基板4。此處，當(dāng)驅(qū)動(dòng)各個(gè)空氣吹出單元U所具備的軸流式風(fēng)扇7時(shí)，軸流式風(fēng)扇7送入空氣。在過(guò)濾器6中除去了灰塵后的空氣通過(guò)吹出腔1、具有多孔性的加強(qiáng)部件2以及配置在懸浮側(cè)的最上部的編織絲網(wǎng)3，從而使玻璃基板4懸浮。圖中利用箭頭示出空氣的流動(dòng)。
進(jìn)一步，通過(guò)使用本發(fā)明的空氣吹出單元U，不需要使用特殊的空氣導(dǎo)管，空氣懸浮輸送裝置F的制造變得容易，并且能夠在低壓、低電力條件下確保流量，因此在空氣懸浮輸送裝置F中能夠節(jié)約能量。進(jìn)一步，由于具備軸流式風(fēng)扇，因此僅通過(guò)改變各單元的軸流式風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速就能夠容易地對(duì)空氣流進(jìn)行調(diào)節(jié)。 并且，如果使用軸流式風(fēng)扇，則能夠使用lkPa以下的低壓縮空氣，因此能夠抑制壓縮空氣源的電力從而使其廉價(jià)。并且，如果使用軸流式風(fēng)扇，則能夠?qū)崿F(xiàn)安靜的旋轉(zhuǎn)。
另外，作為本發(fā)明的薄板的對(duì)象亦即玻璃基板的大小，可以是從縱橫300mm左右到縱橫3m以上的尺寸，但是，在本發(fā)明中，優(yōu)選應(yīng)用于特別是縱橫2m以上的大型玻璃基板的用途。 下面根據(jù)圖7 10對(duì)使用了上述空氣吹出單元U的本發(fā)明的空氣懸浮輸送裝置F進(jìn)行說(shuō)明。 本實(shí)施方式所涉及的空氣懸浮輸送裝置F具備單元組G，其通過(guò)在設(shè)置框架(未圖示)上排列設(shè)置五臺(tái)上述空氣吹出單元U形成；輸送輥R，其在該單元組G的兩側(cè)部Ga、Gb的位置處沿上述薄板4的輸送方向S排列有多個(gè)；驅(qū)動(dòng)單元D，其驅(qū)動(dòng)該輸送輥R ;以及抽吸單元V，其在上述單元組G的兩側(cè)端面Gla、 Glb和該輸送輥R之間對(duì)上述薄板4的兩端部4a、4b賦予吸引力。 對(duì)于該抽吸單元V，只要是能夠吸引薄板4的兩端部4a、4b從而提高薄板4與輸送輥R之間的接觸力(摩擦力)的構(gòu)造即可，在本發(fā)明中并無(wú)特殊限定，在本實(shí)施方式中，該抽吸單元V由空氣吸入構(gòu)造體V1、配設(shè)在該空氣吸入構(gòu)造體V1的下方的抽吸腔21、以及上述抽吸腔21所具備的抽吸用軸流式風(fēng)扇22構(gòu)成。 作為上述空氣吸入構(gòu)造體V1，也可以使用絲網(wǎng)或者形成有通氣孔的板材等，但是，在本實(shí)施方式中，能夠形成為與在上述空氣吹出單元U中使用的空氣吹出構(gòu)造體相同的結(jié)構(gòu)。即，該空氣吸入構(gòu)造體V1形成為由配置在吸入側(cè)的最上部的編織絲網(wǎng)3和配置在該編織絲網(wǎng)3的下部的具有多孔性的加強(qiáng)部件2構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。 作為上述抽吸腔21，可以形成為由固定上述空氣吸入構(gòu)造體V1的周邊部的外壁Wl包圍、且在下部形成有排出口 21a的構(gòu)造。進(jìn)而，在該排出口 21a中也可以組裝有上述軸流式風(fēng)扇22。上述軸流式風(fēng)扇22只要形成為能夠抽吸空氣的結(jié)構(gòu)即可，并無(wú)特殊限定。
進(jìn)一步，在本實(shí)施方式中，與上述空氣吹出單元U相同，在上述軸流式風(fēng)扇22中具備除去上述空氣的灰塵的過(guò)濾器23。 并且，對(duì)于上述輸送輥R，輥軸Rl被軸支承于設(shè)在固定框架24上的軸承25。進(jìn)而，在外周槽中嵌裝有彈性體、例如0型圈26，從而提高通過(guò)與薄板4接觸而產(chǎn)生的摩擦力。進(jìn)而，作為該輸送輥R的驅(qū)動(dòng)單元D，在本發(fā)明中并無(wú)特殊限定，但是，在本實(shí)施方式中，為了保證潔凈度使用非接觸式的磁鐵驅(qū)動(dòng)輸送器M。 該磁鐵驅(qū)動(dòng)輸送器M形成為對(duì)于在各輸送輥R的輥間距(rollerpitch)內(nèi)配置有磁鐵31的一根驅(qū)動(dòng)軸32，利用配置在其軸端的電動(dòng)機(jī)33驅(qū)動(dòng)使之旋轉(zhuǎn)，從而使在沿正交方向配置于該驅(qū)動(dòng)軸32的上部的各輸送輥R的輥軸Rl上所組裝的磁鐵34從動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
例如如圖10所示，上述磁鐵31形成為被磁化為N極和S極的永磁鐵以規(guī)定的傾
8斜角呈螺旋狀地設(shè)于上述驅(qū)動(dòng)軸32的外周的構(gòu)造。并且，上述磁鐵34在上述輥軸Rl的外周形成為與該磁鐵31相同的構(gòu)造。 在該磁鐵31和磁鐵34之間存在間隙，通過(guò)在兩個(gè)磁鐵之間產(chǎn)生的磁力，當(dāng)使驅(qū)動(dòng)軸32旋轉(zhuǎn)時(shí)，輸送輥R相對(duì)于驅(qū)動(dòng)軸32非接觸地旋轉(zhuǎn)。 如以上所說(shuō)明了的那樣，由于本實(shí)施方式所涉及的空氣懸浮輸送裝置F具備抽吸
單元V，因此能夠使薄板4的兩端部4a、4b可靠地與輸送輥R接觸，從而提高了輸送時(shí)的摩
擦力，因此能夠提高輸送輥R的加減速度，能夠縮短薄板4的輸送時(shí)間。本申請(qǐng)是根據(jù)2007年8月24日在日本提出申請(qǐng)的日本特愿2007-218205號(hào)以及
2008年2月15日在日本提出申請(qǐng)的日本特愿2008-03388l號(hào)提出的，上述兩件申請(qǐng)的內(nèi)容
作為本申請(qǐng)的內(nèi)容，形成本申請(qǐng)的一部分。 并且，通過(guò)本說(shuō)明書(shū)的詳細(xì)說(shuō)明能夠進(jìn)一步完全地理解本發(fā)明。但是，詳細(xì)的說(shuō)明和特定的實(shí)施例是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，僅僅是為了說(shuō)明的目的而記載的。這是因?yàn)?，通過(guò)該詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠清楚各種變更、改變。 申請(qǐng)人:并不打算將所有的記載的實(shí)施方式都公之于眾，在公開(kāi)的改變、替代方案中，即便是在語(yǔ)言上并未包含在權(quán)利要求書(shū)中的方案，也是等同論下的發(fā)明的一部分。
在本說(shuō)明書(shū)或者權(quán)利要求書(shū)的記載中，對(duì)于名詞和同樣的指示語(yǔ)的使用，只要沒(méi)有特別的指示、或者不能通過(guò)前后文的關(guān)系明確地否定，都應(yīng)當(dāng)解釋為包含單數(shù)和復(fù)數(shù)雙方。在本說(shuō)明書(shū)中未提供的某個(gè)示例或者示例性的用語(yǔ)(例如"等")的使用，也不過(guò)是為了易于說(shuō)明本發(fā)明，只要不是特意記載在權(quán)利要求書(shū)中，就不對(duì)本發(fā)明的范圍施加限制。
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權(quán)利要求
一種空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體，所述空氣懸浮輸送裝置利用空氣使薄板懸浮從而進(jìn)行輸送，該空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體的特征在于，所述空氣吹出構(gòu)造體由編織絲網(wǎng)和具有多孔性的加強(qiáng)部件構(gòu)成，所述編織絲網(wǎng)配置在構(gòu)造體的最上部，所述加強(qiáng)部件配置在該編織絲網(wǎng)的下部。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體，其特征在于， 配置在所述編織絲網(wǎng)的下部的加強(qiáng)部件與所述編織絲網(wǎng)接合。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體，其特征在于， 所述編織絲網(wǎng)是平紋編織密紋絲網(wǎng)或者斜紋編織密紋絲網(wǎng)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體，其特征在于， 所述加強(qiáng)部件形成為多層構(gòu)造。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體，其特征在于， 對(duì)所述加強(qiáng)部件之一使用加強(qiáng)金屬。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體，其特征在于， 所述編織絲網(wǎng)的織眼的有效開(kāi)口尺寸為1 y m 200 ii m。
7. —種空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出單元，其特征在于，所述空氣吹出單元具備 權(quán)利要求1至6中的任一項(xiàng)所述的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體；吹出腔，其配設(shè)在所述空氣吹出構(gòu)造體的下方，由固定該空氣吹出構(gòu)造體的周邊部的外壁包圍；以及軸 流式風(fēng)扇，其將空氣送入該吹出腔。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出單元，其特征在于， 在所述吹出腔中具備除去所述空氣的灰塵的過(guò)濾器。
9. 一種空氣懸浮輸送裝置，其特征在于，所述空氣懸浮輸送裝置具備 單元組，其通過(guò)排列設(shè)置多個(gè)權(quán)利要求7或8所述的空氣吹出單元形成；輸送輥，其在該單元組的兩側(cè)部的位置處沿所述薄板的輸送方向排列有多個(gè)；驅(qū)動(dòng)單元，其驅(qū)動(dòng)該輸送 輥；以及抽吸單元，其在所述單元組的兩側(cè)端面和該輸送輥之間對(duì)所述薄板的兩端部賦予 吸引力。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的空氣懸浮輸送裝置，其特征在于， 所述抽吸單元具備空氣吸入構(gòu)造體，其由配置于吸入側(cè)的最上部的編織絲網(wǎng)和配置在該編織絲網(wǎng)的下部 的具有多孔性的加強(qiáng)部件構(gòu)成；抽吸腔，其配設(shè)在該空氣吸入構(gòu)造體的下方，由固定該空氣 吸入構(gòu)造體的周邊部的外壁包圍；以及軸流式風(fēng)扇，其被設(shè)置于所述抽吸腔來(lái)抽吸空氣。
11. 根據(jù)權(quán)利要求io所述的空氣懸浮輸送裝置，其特征在于，在所述軸流式風(fēng)扇中具備除去所述空氣的灰塵的過(guò)濾器。
全文摘要
本發(fā)明的課題在于提供一種維護(hù)容易的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體和空氣吹出單元、以及包含這些部件的空氣懸浮輸送裝置。在利用空氣使作為薄板的玻璃基板(4)懸浮從而進(jìn)行輸送的空氣懸浮輸送裝置的空氣吹出構(gòu)造體中，所述空氣吹出構(gòu)造體由編織絲網(wǎng)(3)和具有多孔性的加強(qiáng)部件(2)構(gòu)成，所述編織絲網(wǎng)(3)配置在構(gòu)造體的最上部，所述加強(qiáng)部件(2)配置在該編織絲網(wǎng)的下部。作為編織絲網(wǎng)(3)能夠使用平紋編織絲網(wǎng)、斜紋編織絲網(wǎng)、平紋編織密紋絲網(wǎng)、斜紋編織密紋絲網(wǎng)等。并且，所述加強(qiáng)部件(2)形成單層或者多層構(gòu)造。
文檔編號(hào)B65G49/06GK101778787SQ20088010054
公開(kāi)日2010年7月14日 申請(qǐng)日期2008年7月24日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月24日
發(fā)明者淺野憲啟, 鹽谷純一 申請(qǐng)人:新東工業(yè)株式會(huì)社;名機(jī)工股份有限公司