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      用于濕式工藝的基板輸送裝置的制作方法

      文檔序號(hào):4329972閱讀:122來源:國(guó)知局
      專利名稱:用于濕式工藝的基板輸送裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及基板輸送裝置,尤指一用于承載玻璃或其它透光材質(zhì)的透明基板
      輸送進(jìn)行刻蝕或清洗等濕式工藝的基板輸送裝置。
      背景技術(shù)
      如應(yīng)用于觸控面板中的玻璃基板于加工工藝中,通常必須經(jīng)過刻蝕設(shè)備進(jìn)行圖案化的刻蝕步驟,及清洗設(shè)備進(jìn)行表面清洗步驟等濕式工藝。 由于前述玻璃基板進(jìn)行刻蝕及清洗等濕式工藝前,玻璃基板通常已切割成預(yù)定尺寸的單元面積,因玻璃基板于切割后,其側(cè)邊均會(huì)產(chǎn)生銳利的毛邊,故當(dāng)具有毛邊的玻璃基板經(jīng)過刻蝕設(shè)備或清洗設(shè)備的基板輸送輪組輸送時(shí),玻璃基板的毛邊因與輸送輪組的輸送輪擋邊接觸摩擦,易自毛邊處產(chǎn)生嚴(yán)重的破裂情形。 此外,該些玻璃基板為觸控面板用的基板,其厚度約為0. 5 0. 8mm,其厚度薄而易碎,在進(jìn)行刻蝕或清洗等濕式工藝中,現(xiàn)有刻蝕設(shè)備或清洗設(shè)備等僅是提供輸送輪組作為基板輸送的用途,對(duì)該些玻璃基板在輸送過程中并末提供良好的防護(hù)機(jī)制,加以觸控面板用的玻璃基板的輸出入電極成形于玻璃基板側(cè)端邊緣處,故玻璃基板通過輸送輪組輸送的過程中,玻璃基板切割產(chǎn)生毛邊常與輸送輪擋邊接觸摩擦造成毛邊受損,并會(huì)傷及玻璃基板的輸出入電極完整性,致使基板成品良率偏低。

      實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種用于濕式工藝的基板輸送裝置,通過此設(shè)計(jì),解決現(xiàn)有基板輸送輪組的輸送輪擋邊與基板周邊的毛邊接觸摩擦而受損的情形。[0006] 為達(dá)成前揭目的,本實(shí)用新型所設(shè)計(jì)的用于濕式工藝的基板輸送裝置包含[0007] —輸送載板,包含一板體,該板體中形成至少一基板定位孔,于所述基板定位孔周邊孔壁上形成多個(gè)止擋凸部,該多個(gè)止擋凸部頂緣至板體頂面間具有一間距,提供基板置入基板定位孔中,并為該多個(gè)止擋凸部支撐定位;以及 多個(gè)輸送輪組,所述輸送輪組包含二輸送輪及一傳動(dòng)軸,每一輸送輪組上的二輸送輪間隔組設(shè)傳動(dòng)軸上,該多個(gè)輸送輪組呈一列平行排列,用以外接動(dòng)力供應(yīng)源及提供輸送載板置于其上,而以輸送輪僅與輸送載板接觸磨擦而輸送該承載基板的輸送載板。[0009] 本實(shí)用新型以前揭基板輸送裝置設(shè)計(jì),其特點(diǎn)在于該基板輸送裝置該多個(gè)輸送輪組設(shè)置于刻蝕、清洗等濕式工藝設(shè)備中,用以外接動(dòng)力供應(yīng)源(如馬達(dá)等機(jī)構(gòu)),另利用輸送載板作為基板的輸送載具,使基板經(jīng)由該輸送載板與輸送輪組的輸送輪接觸磨擦而被推動(dòng)輸送,故可有效避免現(xiàn)有基板濕工藝中,基板周邊毛邊與輸送輪直接接觸磨擦而受損的情況。 本實(shí)用新型的次一 目的,令該基板輸送裝置包括多個(gè)限位輪組,該多個(gè)限位輪組成一列平行組設(shè)于該列輸送輪組上方,使輸送載板得以通過該列限位輪組與該列輸送輪組之間,每一限位輪組包含一輪軸以及二個(gè)間隔組設(shè)于輪軸上的限位輪,每一限位輪位于置放輸送載板中的基板邊緣上方,且限位輪與基板間具有一間距。 所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其中,所述輸送輪外周面形成一環(huán)擋邊,每一對(duì)輸送輪以其環(huán)擋邊于輸送載板兩側(cè)邊止擋限位。 所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其中,該些輸送輪組中于傳動(dòng)軸上的二輪
      送輪間之間設(shè)置至少一輔助輪,該輔助輪可磨擦接觸該輸送載板中段部位。 所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其中,該基板輸送裝置包含多個(gè)限位輪組,
      該多個(gè)限位輪組成一列平行組設(shè)于該列輸送輪組上方,使輸送載板得以通過該列限位輪組
      與該列輸送輪組之間,每一限位輪組包含一輪軸以及二個(gè)間隔組設(shè)于輪軸上的限位輪,每
      一限位輪位于置放輸送載板中的基板上方,且限位輪與基板間具有一間距。 所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其中,所述限位輪組包含二載板限位輪,并
      組設(shè)于輪軸上,且位于輸送載板側(cè)邊上方接觸輸送載板頂面。 所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其中,所述基板定位孔為矩形,該基板用輸送載板于矩形基板定位孔四角處分別形成內(nèi)凹的邊角保護(hù)凹部。 所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其中,所述基板定位孔為矩形,該基板用輸送載板于矩形基板定位孔四角處分別形成內(nèi)凹的邊角保護(hù)凹部。 所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其中,該基板用輸送載板于基板定位孔二相對(duì)側(cè)孔壁形成內(nèi)凹的取置孔。 所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其中,該基板用輸送載板于基板定位孔二相對(duì)側(cè)孔壁形成內(nèi)凹的取置孔。 所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其中,該基板用輸送載板于基板定位孔二相對(duì)側(cè)孔壁形成內(nèi)凹的取置孔。 本實(shí)用新型的有益效果是,所提供的用于濕式工藝的基板輸送裝置,在基板進(jìn)行刻蝕或清洗等濕工藝時(shí),當(dāng)液體由下方向上方基板噴灑,或是清洗后利用風(fēng)力由下方向上方基板吹送時(shí),可通過限位輪的限位,使基板不會(huì)上浮而脫離輸送載板。

      圖1為本實(shí)用新型基板輸送裝置的一較佳實(shí)施例的立體示意圖; 圖2為本實(shí)用新型基板輸送裝置較佳實(shí)施例中的輸送載板與基板的立體示意圖; 圖3為本實(shí)用新型基板輸送裝置中的輸送載板置放基板的剖面示意圖; 圖4為本實(shí)用新型基板輸送裝置中的輸送載板置放輸送輪組上的平面示意圖; 圖5、圖6為本實(shí)用新型基板輸送裝置中的輸送載板位于輸送輪組與限位輪組間
      的平面示意圖(一)、(二); 圖7 圖10為本實(shí)用新型基板輸送裝置中的輸送載板承載基板于輸送輪組與限
      位輪間輸送進(jìn)行濕工藝作業(yè)的使用狀態(tài)參考圖。主要元件符號(hào)說明
      1輸送載板 10板體 ll基板定位孔 12止擋凸部 13邊角保護(hù)凹部 14取置孔 2輸送輪組 20傳動(dòng)軸
      4[0032] 21輸送輪 211環(huán)擋邊 22輔助輪 3限位輪組 30輪軸 31基板限位輪 32載板限位輪 4基板
      具體實(shí)施方式請(qǐng)參閱圖1所示,揭示本實(shí)用新型用于濕式工藝的基板載送裝置的多個(gè)較佳實(shí)施 例,由該些圖中可以見及,該基板輸送裝置包含一輸送載板l以及多個(gè)輸送輪組2,其中 如圖1、圖2所示,該輸送載板1包含一板體10,該板體10中形成至少一基板定位 孔ll,于所述基板定位孔11周邊孔壁上形成多個(gè)止擋凸部12,該多個(gè)止擋凸部12頂緣至 板體10頂面間具有一間距,提供基板4置入基板定位孔11中,并為該多個(gè)止擋凸部12支 撐定位。 前述的輸送載板1中,所述止擋凸部12可為半圓形、圓弧形、多邊形如三角 形….等幾何形狀的凸粒,其中以足以對(duì)基板4側(cè)邊提供必要的支撐以及體積小為佳,所述 止擋凸部12體積較小時(shí),可減少遮蔽基板4底面的面積。 如圖1、圖2所示的較佳實(shí)施例中,所述基板定位孔11可為矩形,該板體10上形成 多個(gè)間隔排列的基板定位孔ll,該多個(gè)基板定位孔11的尺寸形狀可為相同,或是該多個(gè)基 板定位孔11包含至少兩種不同尺寸形狀等設(shè)計(jì),使該輸送載板1可以同時(shí)承載多個(gè)相同尺 寸規(guī)格的基板4,或是同時(shí)承載多個(gè)至少兩種不同尺寸規(guī)格的基板4。 前述輸送載板1中,尚可于所述矩形基板定位孔11的四角處分別形成內(nèi)凹的邊角 保護(hù)凹部13,所述邊角保護(hù)凹部13可為圓形或其它幾何形狀,使置入基板定位孔11中的基 板4各端角分別伸入所述邊角保護(hù)凹部13中,而避免基板4端角與基板定位孔11孔壁發(fā) 生碰撞而破裂的情形。 如圖1至圖6所示,該多個(gè)輸送輪組2用以組設(shè)于刻蝕、清洗設(shè)備中,并呈一列橫 向平行排列,并外接動(dòng)力供應(yīng)源如馬達(dá)等,提供輸送載板置于其上,通過利用該動(dòng)力供應(yīng)源 驅(qū)動(dòng)該多個(gè)輸送輪21旋轉(zhuǎn)而輸送載板1移動(dòng)。 所述輸送輪組2主要包含二輸送輪21及一傳動(dòng)軸20,每一輸送輪組2的二輸送輪 21間隔組設(shè)于一傳動(dòng)軸20上,并可依輸送載板1的長(zhǎng)度調(diào)整間隔距離,且通過傳動(dòng)軸20連 接動(dòng)力供應(yīng)源而可被驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn),使輸送輪21可磨擦接觸上方的輸送載板1側(cè)邊,而推動(dòng)輸 送載板1沿預(yù)定的基板移動(dòng)路徑移動(dòng),但不接觸置放于輸送載板1中的基板4。 前述的輸送輪組2中,所述輸送輪21外周面尚可形成一環(huán)擋邊211 ,使每一輸送輪 組2成對(duì)的輸送輪21可以其上的環(huán)擋邊211于輸送載板1兩側(cè)邊止擋限位;該些輸送輪組 2中,尚進(jìn)一步于傳動(dòng)軸20上的二輪送輪/間之間設(shè)置至少一輔助輪22,該輔助輪22可磨 擦接觸輸送載板1中段部位而輔助推動(dòng)輸送載板1移動(dòng),但不接觸置放于輸送載板1中的 基板4。 本實(shí)用新型基板輸送裝置尚可進(jìn)一步包含多個(gè)限位輪組3,該多個(gè)用以組設(shè)于刻 蝕、清洗設(shè)備中,該多個(gè)限位輪組3成一列平行組設(shè)于該成一列排列的多個(gè)輸送輪組2上 方,使輸送載板1得以通過該列限位輪組3與該列輸送輪組2之間,所述限位輪組3包含一輪軸30以及二個(gè)間隔組設(shè)于輪軸30上的基板限位輪31,每一基板限位輪31位于置放輸送 載板1中的基板4上方,且基板限位輪31與基板4間具有一間距,用以提供基板4受下方 外力作用而上浮時(shí)的限位功能,以防止基板4上浮而脫離輸送載板1 ;所述限位輪組尚可包 含二載板限位輪32,并組設(shè)于輪軸30上,且位于輸送載板1側(cè)邊上方接觸輸送載板1頂面 且不接觸基板4。 如圖7 圖10所示,本實(shí)用新型輸送載板于使用時(shí),令切割單元尺寸的基板4放 置于該輸送載板1的基板定位孔11中,并為所述基板定位孔11周邊孔壁上的止擋凸部12 所支持而定位,接續(xù)將置放有基板4的輸送載板1移置刻蝕或清洗設(shè)備中,即由所述刻蝕或 清洗設(shè)備中的輸送輪2輸送至設(shè)備內(nèi),進(jìn)行基板4表面的刻蝕或清洗等濕式工藝步驟,于進(jìn) 行前述工藝步驟時(shí),因基板4是通過輸送載板1放置于輸送輪組2上通過被驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的輸 送輪21推送輸送載板1移動(dòng),而為刻蝕或清洗設(shè)備中的刻蝕液體或清洗液體噴灑于其底面 或頂面,進(jìn)行刻蝕或清洗等工藝步驟,如圖3至圖6所示,其中因基板4通過輸送載板1與 輸送輪21接觸磨擦,故可完全避免基板4與輸送輪2接觸磨擦而損壞。 于前述基板4通過輸送載板1為輸送輪組2輸送過程,當(dāng)或清洗后的風(fēng)力吹干步 驟時(shí),如圖5、圖6所示,尚可進(jìn)一步利用設(shè)置于基板4移動(dòng)路徑上方的多個(gè)限位輪組3,通 過在基板4進(jìn)行刻蝕或清洗等濕工藝時(shí),當(dāng)液體由下方向上方基板4噴灑,或是清洗后利用 風(fēng)力由下方向上方基板4吹送時(shí),可通過基板限位輪31的限位,提供防止基板4上浮而脫 離輸送載板1之用,另可通過載板限位輪32自輸送載板1壓抵限位,以防止輸送載板1上 浮。 綜上所述,本實(shí)用新型以前揭創(chuàng)新基板輸送裝置應(yīng)用于如玻璃基板進(jìn)行刻蝕或清 洗等濕工藝中,確可有效防止基板在輸送過程與輸送輪接觸磨擦而受損,以減少產(chǎn)品的不 良率,因此,本實(shí)用新型對(duì)于基板進(jìn)行濕工藝時(shí),確可提供一項(xiàng)極具產(chǎn)業(yè)利用價(jià)值的實(shí)用創(chuàng) 作。
      權(quán)利要求一種用于濕式工藝的基板輸送裝置,其特征在于包含一輸送載板,包含一板體,該板體中形成至少一基板定位孔,于所述基板定位孔周邊孔壁上形成多個(gè)止擋凸部,該多個(gè)止擋凸部頂緣至板體頂面間具有一間距,提供基板置入基板定位孔中,并為該多個(gè)止擋凸部支撐定位;以及多個(gè)輸送輪組,所述輸送輪組包含二輸送輪及一傳動(dòng)軸,每一輸送輪組上的二輸送輪間隔組設(shè)傳動(dòng)軸上,該多個(gè)輸送輪組呈一列平行排列,用以外接動(dòng)力供應(yīng)源及提供輸送載板置于其上,而以輸送輪與輸送載板接觸磨擦而輸送該承載基板的輸送載板。
      2. 如權(quán)利要求1所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其特征在于,所述輸送輪外周面形成一環(huán)擋邊,每一對(duì)輸送輪以其環(huán)擋邊于輸送載板兩側(cè)邊止擋限位。
      3. 如權(quán)利要求2所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其特征在于,該些輸送輪組中于傳動(dòng)軸上的二輪送輪間之間設(shè)置至少一輔助輪,該輔助輪可磨擦接觸該輸送載板中段部位。
      4. 如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其特征在于,該基板輸送裝置包含多個(gè)限位輪組,該多個(gè)限位輪組成一列平行組設(shè)于該列輸送輪組上方,使輸送載板得以通過該列限位輪組與該列輸送輪組之間,每一限位輪組包含一輪軸以及二個(gè)間隔組設(shè)于輪軸上的限位輪,每一限位輪位于置放輸送載板中的基板上方,且限位輪與基板間具有一間距。
      5. 如權(quán)利要求4所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其特征在于,所述限位輪組包含二載板限位輪,并組設(shè)于輪軸上,且位于輸送載板側(cè)邊上方接觸輸送載板頂面。
      6. 如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其特征在于,所述基板定位孔為矩形,該基板用輸送載板于矩形基板定位孔四角處分別形成內(nèi)凹的邊角保護(hù)凹部。
      7. 如權(quán)利要求5所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其特征在于,所述基板定位孔為矩形,該基板用輸送載板于矩形基板定位孔四角處分別形成內(nèi)凹的邊角保護(hù)凹部。
      8. 如權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其特征在于,該基板用輸送載板于基板定位孔二相對(duì)側(cè)孔壁形成內(nèi)凹的取置孔。
      9. 如權(quán)利要求5所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其特征在于,該基板用輸送載板于基板定位孔二相對(duì)側(cè)孔壁形成內(nèi)凹的取置孔。
      10. 如權(quán)利要求7所述的用于濕式工藝的基板輸送裝置,其特征在于,該基板用輸送載板于基板定位孔二相對(duì)側(cè)孔壁形成內(nèi)凹的取置孔。
      專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于濕式工藝的基板輸送裝置,其包含一輸送載板以及一輸送輪組,該輸送載板以其上的基板定位孔,使基板可置放其中,并為基板定位孔周邊孔壁的多個(gè)止擋凸部支撐定位,所述輸送輪組用以設(shè)置于該濕工藝設(shè)備中,提供輸送載板輸送的推力,通過此,利用該輸送載板作為基板進(jìn)行刻蝕、清洗等濕式工藝輸送時(shí)的載具,使基板通過該輸送載板于輸送輪上移動(dòng),而避免基板與輸送輪直接接觸磨擦而受損的情況;或者,亦可增設(shè)排列于輸送輪組上方的限位輪組,防止基板于濕工藝中受到由下往上的力量而上浮脫離輸送載板。
      文檔編號(hào)B65G49/06GK201530618SQ20092016650
      公開日2010年7月21日 申請(qǐng)日期2009年7月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年7月29日
      發(fā)明者楊延鴻, 鐘添達(dá) 申請(qǐng)人:揚(yáng)博科技股份有限公司
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