專利名稱：Transfer apparatus, vacuum processing apparatus and transfer method的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板的搬運(yùn)裝置、真空處理裝置、以及搬運(yùn)方法。
背景技術(shù)：
在大型FPD (Flat Panel Display)的生產(chǎn)工序中利用了各種真空處理裝置，這些 真空處理裝置用于對基板實(shí)施成膜處理和加熱處理。在真空處理裝置中，由于須要適合于 基板尺寸的真空空間，所以隨著基板尺寸不斷地大型化，為形成真空空間會耗費(fèi)很多時間。 于是，在以往的真空處理裝置中，為了降低真空空間的形成頻度，提出了能夠?qū)⒍鄠€處理室 互相連通的真空空間。專利文獻(xiàn)1中記載的真空處理裝置具備多個處理室、一對搬送通道、以及搬送室， 所述多個處理室沿著一列方向連結(jié)，所述一對搬送通道貫穿各個處理室并沿所述列方向延 伸，所述搬送室將位于一條搬送通道(往路)上的搬送托架向另一條搬送通道(復(fù)路)搬 送。該真空處理裝置在往路上使搬送托架往動之后，將往路上的搬送托架向復(fù)路搬送，并且 在復(fù)路上使該搬送托架復(fù)動。由此，專利文獻(xiàn)1所記載的真空處理裝置在可連通的多個真 空空間內(nèi)可以依次實(shí)行不同的處理工序。專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-39157號公報圖4(a) (d)以及圖5(a) (d)分別為示意性地顯示專利文獻(xiàn)1所述的真空處 理裝置的搬送工序的圖。在搬送室50上配設(shè)有使搬送托架51升降的升降機(jī)構(gòu)52，將搬送 托架51以非接觸的方式保持在搬送通道上的保持機(jī)構(gòu)53，以及使搬送托架51在往路Rl和 復(fù)路R2之間滑動的滑動機(jī)構(gòu)54。在圖4(a)中，首先，以豎立狀態(tài)來支承基板的搬送托架51被沿著往路Rl搬入搬 送室50中。如下所述，搬送室50通過使搬送托架51的升降動作與搬送托架51的保持動 作同步，使得搬送工序中的基板位置保持穩(wěn)定。也就是說，在圖4(b)中，搬送托架51被搬入之后，升降機(jī)構(gòu)52和保持機(jī)構(gòu)53在 保持搬送托架51和保持磁石53a之間距離的同時，暫且使搬送托架51和保持磁石53a上 升，使得搬送托架51從往路Rl脫離。如圖4(c)所示，搬送托架51從往路Rl脫離之后，滑 動機(jī)構(gòu)54就會使托架平臺54f滑動，將掛鉤54a向設(shè)置在搬送托架51上的突片51a的下
方配置。在圖4(d)中，掛鉤54a被配置在突片51a的下方之后，升降機(jī)構(gòu)52和保持機(jī)構(gòu)53 在保持搬送托架51和保持磁石53a之間距離的同時，暫且使搬送托架51和保持磁石53a 下降。接著，通過突片51a和掛鉤54a的扣接，搬送托架51被吊掛在托架平臺54f上。在圖5(a)中，在搬送托架51被吊掛在托架平臺54f上之后，保持機(jī)構(gòu)53使保持 磁石53a充分離開搬送托架51，解除搬送托架51的拘束(保持)。如圖5(b)所示，搬送托 架51的拘束被解除后，滑動機(jī)構(gòu)54使托架平臺54f滑動，將搬送托架51向復(fù)路R2的上方 配置。在圖5(c)中，搬送托架51被向復(fù)路R2的上方配置之后，由于升降機(jī)構(gòu)52會再次上升，而保持機(jī)構(gòu)53會使保持磁體53a再次下降，所以搬送托架51就會被再次保持在復(fù)路 R2上方的升降機(jī)構(gòu)52上。如圖5(d)所示，搬送托架51被再次保持之后，升降機(jī)構(gòu)52和保 持機(jī)構(gòu)53在保持搬送托架51和保持磁石53a之間距離的同時，使搬送托架51和保持磁石 53a上升，解開突片51a和掛鉤54a的扣接。由此，搬送室50可以通過搬送托架51的升降與保持磁石53a的升降的同步，提高 搬送托架51升降時的基板位置的穩(wěn)定性。另外，搬送室50可以通過突片51a和掛鉤54a 的扣接，提高處于搬送通道之間的基板位置的穩(wěn)定性。然而，在專利文獻(xiàn)1的搬送工序中，由于在每次搬送基板時，使固設(shè)在托架平臺 54f上的掛鉤54a與搬送托架51的突片51a扣接，所以必須使托架平臺54f經(jīng)過多次升降。 其結(jié)果，在基板的搬送工序中，搬送托架51的多次升降需要很多時間，從而會出現(xiàn)大幅度 影響基板處理的裝卸效率的問題。并且，該問題不僅限于專利文獻(xiàn)1的搬送裝置，須要使搬 送基板的托架多次升降的其他以往的搬送裝置也會發(fā)生同樣的問題。另外，在專利文獻(xiàn)1的搬送裝置中，在滑動機(jī)構(gòu)54上掛鉤54a與突片51a扣接的 位置被預(yù)先固定(圖4a)。因此，須要留有在將搬送托架51向搬送室50搬送的時候能使滑 動機(jī)構(gòu)54以搬送托架51不與掛鉤54a接觸的形式移動的空間，從而會出現(xiàn)裝置的體積變 大的問題。另外，在這種情況下，在搬入搬送托架51之后，為了升降搬送托架51須要使掛 鉤54a在搬送通道上移動，從而會出現(xiàn)搬送工序變得復(fù)雜而影響裝卸效率的問題。進(jìn)一步， 由于使搬送托架51升降的升降機(jī)構(gòu)52和使搬送托架51滑動的滑動機(jī)構(gòu)54被分別設(shè)置在 往路Rl的左右兩側(cè)，所以會出現(xiàn)裝置的體積變大的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種，能在不使裝置大型化的情況下提高基板搬送處理的裝卸效率的 搬送裝置和搬送方法，以及具備了該搬送裝置的真空處理裝置。本發(fā)明的一個形態(tài)為一種搬送基板的搬送裝置。搬送裝置具備搬送托架，其在將 所述基板以豎立狀態(tài)支承的同時，在第1搬送通道和第2搬送通道之間搬送所述基板；能夠 支承所述搬送托架的托架平臺；升降機(jī)構(gòu)，其使所述托架平臺上升而使所述搬送托架從所 述各個搬送通道脫離，并且使所述托架平臺下降而將所述搬送托架載置到所述各個搬送通 道上；和滑動機(jī)構(gòu)，其使所述升降機(jī)構(gòu)在所述第1以及第2搬送通道之間移動，所述升降機(jī) 構(gòu)包括鎖定機(jī)構(gòu)，該鎖定機(jī)構(gòu)與所述托架平臺的上升動作聯(lián)動將所述搬運(yùn)托架鎖定在所述 托架平臺上，并且與所述托架平臺的下降動作聯(lián)動來解除所述搬送托架的鎖定狀態(tài)。本發(fā)明的其他的形態(tài)為真空處理裝置。真空處理裝置具備搬送托架，其將基板以 豎立狀態(tài)支承；第1以及第2搬送通道，其可以移動所述搬送托架；真空處理室，其設(shè)置在 所述第1以及第2搬送通道上，并且在真空狀態(tài)下對由所述搬送托架支承的所述基板進(jìn)行 處理；和搬送室，其設(shè)置在所述第1以及第2搬送通道上并與所述真空處理室連結(jié)，為了所 述搬送托架將所述基板以豎立狀態(tài)支承的同時在所述第1搬送通道和所述第2搬送通道之 間搬送所述基板而被使用，所述搬送室包括能夠支承所述搬送托架的托架平臺；升降機(jī) 構(gòu)，其使所述托架平臺上升而使所述搬送托架從所述各個搬送通道脫離，并且使所述托架 平臺下降而將所述搬送托架載置到所述各個搬送通道上；和滑動機(jī)構(gòu)，其使所述升降機(jī)構(gòu) 在所述第1以及第2搬送通道之間移動，所述升降機(jī)構(gòu)包括鎖定機(jī)構(gòu)，該鎖定機(jī)構(gòu)與所述托架平臺的上升動作聯(lián)動而將所述搬運(yùn)托架鎖定在所述托架平臺上，并且與所述托架平臺的 下降動作聯(lián)動來解除所述搬送托架的鎖定狀態(tài)。本發(fā)明的進(jìn)一步的其他的形態(tài)為一種搬送方法，該方法使將基板以豎立狀態(tài)支承 的搬送托架從第1搬送通道向第2搬送通道移動。這種搬送方法具備以下步驟將托架平臺 配置在所述第1搬送通道上；使所述托架平臺上升，將位于所述第1搬送通道上的所述搬送 托架載置到所述托架平臺上；使所述托架平臺從所述第1搬送通道向所述第2搬送通道移 動；使所述托架平臺下降，將所述托架平臺上的所述搬送托架載置到所述第2搬送通道上， 使所述托架平臺上升的步驟，包括通過與所述托架平臺的上升動作聯(lián)動的鎖定機(jī)構(gòu)在其上 升時將所述搬送托架鎖定在所述托架平臺上；使所述托架平臺下降的步驟，包括通過與所 述托架平臺的下降動作聯(lián)動的所述鎖定機(jī)構(gòu)，在該下降時解除所述搬送托架的鎖定狀態(tài)。


圖1是示意性地顯示真空處理裝置的整體的透視圖。圖2是顯示橫動裝置的側(cè)視圖。圖3(a) (b)是分別顯示采用了橫動裝置的搬送工序的圖。圖4(a) (b)是分別顯示采用了以往例的橫動裝置的搬送工序的圖。圖5(a) (b)是分別顯示采用了以往例的橫動裝置的搬送工序的圖。符號說明Rl 作為搬送通道的一個例子的往路；R2 作為搬送通道的一個例子的復(fù)路；S 基板；10 真空處理裝置；13 作為真空處理室的一個例子的第一處理室；14 作為真空處理室的一個例子的第二處理室；15 搬送室；17:搬送托架；17a 作為被扣接部的凸部；30 作為搬送裝置的橫動裝置31 滑動裝置；32 升降機(jī)構(gòu)；37 作為扣接部的一個例子的掛鉤；38 托架平臺；39 作為聯(lián)桿的一個例子的聯(lián)桿部件。
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖對本發(fā)明的一個實(shí)施方式的搬送裝置進(jìn)行說明。圖1是示意性地 顯示具備搬送裝置30的真空處理裝置10的透視圖。如圖1所示，在真空處理裝置10中， 裝卸室11、裝載/卸下室(以下稱為LL室12。)、第一處理室13、第二處理室14、以及搬送 室15分別通過閘門閥16連接在一起。
在真空處理裝置10上設(shè)有第一搬送通道(以下稱往路Rl。)和第二搬送通道(以 下稱復(fù)路R2。)，往路Rl從裝卸室11向搬送室15延伸，而復(fù)路R2從搬送室15向裝卸室 11延伸。本實(shí)施方式中的往路Rl和復(fù)路R2互相平行。在往路Rl以及復(fù)路R2上，多個搬送托架17分別被齒輪齒條機(jī)構(gòu)搬送。優(yōu)選地， 各個搬送托架17形成為圍繞基板S外緣的長方形框體狀，在這種情況下，通過設(shè)置在搬送 托架17下側(cè)的齒條18與被分配在往路Rl以及復(fù)路R2上的齒輪19相扣合，且各個齒輪19 進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，搬送托架17被沿往路Rl以及復(fù)路R2搬送。在各個搬送托架17的左右兩側(cè)(在搬送方向的前側(cè)以及后側(cè))，分別設(shè)有作為被 扣接部的凸部17a。各個凸部17a用于在搬送托架17的搬送工序中將該搬送托架17鎖定 在托架平臺38上(參照圖2)。另外，在各個搬送托架17的上側(cè)配設(shè)有托架磁石21。在第 一處理室13、第二處理室14、以及搬送室15中各自配設(shè)有保持裝置22，該保持裝置22與 搬送托架17的托架磁石21產(chǎn)生磁性作用。搬送托架17的托架磁石21通過在該搬送托架 17的搬送過程中與各個保持裝置22的保持磁石產(chǎn)生磁性作用，將該搬送托架17以非接觸 的形式拘束在各個搬送通道的上方。在本實(shí)施方式中，將處于往路Rl上的搬送托架17的搬送方向稱為X方向。另外， 將垂直于水平面的方向稱為Z方向，將與X方向以及Z方向垂直的方向、且從往路Rl朝向 復(fù)路R2的方向稱為Y方向。裝卸室11將從外部放入的處理前的基板S安裝在搬送托架17上，并將該基板S 以豎立狀態(tài)向LL室12搬出。另外，裝卸室11將安裝在搬送托架17上的、處理后的基板S 從搬送托架17上卸下，并向真空處理裝置10的外部搬出。裝卸室11在大氣壓下進(jìn)行上述 基板S的裝卸。LL室12將其室內(nèi)設(shè)成大氣壓，并將搬送托架17從裝卸室11沿著往路Rl搬入， 之后，通過對室內(nèi)進(jìn)行減壓，將該搬送托架17沿著往路Rl向第一處理室13搬出。另外，LL 室12對室內(nèi)進(jìn)行減壓，將搬送托架17從第1處理室13沿著復(fù)路R2搬入，之后，通過使室 內(nèi)向大氣開放，將該搬送托架17沿著復(fù)路R2向裝卸室11搬出。第一處理室13將搬送托架17從LL室12沿著往路Rl搬入，通過保持裝置22產(chǎn) 生的磁性作用，將該搬送托架17拘束在往路Rl上。第一處理室13在對安裝在搬送托架17 上的基板S施行成膜處理或熱處理等各種處理之后，解除由保持裝置22產(chǎn)生的所述拘束作 用，將該搬送托架17沿著往路Rl向第二處理室14搬出。另外，第一處理室13將搬送托架17從第二處理室14沿著復(fù)路R2搬入，通過保持 裝置22產(chǎn)生的磁性作用，將該搬送托架17拘束在復(fù)路R2上。第一處理室13在對安裝在 搬送托架17上的基板S施行成膜處理或熱處理等各種處理之后，解除由保持裝置22產(chǎn)生 的所述拘束作用，將該搬送托架17沿著復(fù)路R2向LL室12搬出。第一處理室13在減壓的 狀態(tài)下對上述搬送托架17進(jìn)行搬入·搬出。第二處理室14將搬送托架17從第一處理室13沿著往路Rl搬入，通過保持裝置 22產(chǎn)生的磁性作用，將該搬送托架17拘束在往路Rl上。第二處理室14在對安裝在搬送托 架17上的基板S施行成膜處理或熱處理等各種處理之后，解除由保持裝置22產(chǎn)生的所述 拘束，將該搬送托架17沿著往路Rl向搬送室15搬出。另外，第二處理室14將搬送托架17從搬送室15沿著復(fù)路R2搬入，通過保持裝置22產(chǎn)生的磁性作用，將該搬送托架17拘束在復(fù)路R2上。第二處理室14在對安裝在搬送托 架17上的基板S施行成膜處理或熱處理等各種處理之后，解除由保持裝置22產(chǎn)生的所述 拘束，將該搬送托架17沿著復(fù)路R2向第一處理室13搬出。第二處理室14在減壓的狀態(tài) 下對上述搬送托架17進(jìn)行搬入·搬出。在搬送室15的X方向的兩側(cè)(在搬送方向的前側(cè)以及后側(cè))，搭載有作為搬送裝 置的一對橫動裝置30。搬送室15將搬送托架17從第二處理室14沿著往路Rl搬入，通過 保持裝置22產(chǎn)生的磁性作用，將該搬送托架17暫且拘束在往路Rl上。搬送室15在解除 位于往路Rl上的搬送托架17磁性拘束的同時，通過使用橫動裝置30而進(jìn)行的搬送處理， 將該搬送托架17從往路Rl向復(fù)路R2搬送。搬送室15將載置到復(fù)路R2上的搬送托架17 沿著復(fù)路R2向第二處理室14搬出。搬送室15在減壓的狀態(tài)下對搬送托架17進(jìn)行從往路Rl到復(fù)路R2的搬送。另 外，搬送室15在將搬送托架17從往路Rl向復(fù)路R2搬送的期間，通過橫動裝置30的鎖定 功能，將該搬送托架17鎖定在托架平臺38上(參照圖2)。圖2為示意性地顯示橫動裝置30 (僅顯示一個)的圖，圖3 (a) (b)是分別顯示 采用了橫動裝置30的搬送工序的工序圖。在圖2中，橫動裝置30具備滑動機(jī)構(gòu)31和升降 機(jī)構(gòu)32。在滑動機(jī)構(gòu)31上設(shè)有滑動電動機(jī)Ml和傳達(dá)部33，該傳達(dá)部33與滑動電動機(jī)Ml 的驅(qū)動軸相連結(jié)。在傳達(dá)部33的上側(cè)設(shè)有沿Y方向延伸的導(dǎo)軌33a，在導(dǎo)軌33a上安裝有 升降機(jī)構(gòu)32。傳達(dá)部33通過花鍵軸等動力傳動軸接受滑動電動機(jī)Ml的驅(qū)動力，將滑動電 動機(jī)Ml的驅(qū)動力轉(zhuǎn)換成升降機(jī)構(gòu)32的移動力。滑動機(jī)構(gòu)31在滑動電動機(jī)Ml正轉(zhuǎn)的時候，通過滑動電動機(jī)Ml的驅(qū)動力，使升降 機(jī)構(gòu)32向Y方向移動(在圖2中為從雙點(diǎn)劃線位置向?qū)嵕€位置移動)。另外，滑動機(jī)構(gòu)31 在滑動電動機(jī)Ml反轉(zhuǎn)的時候，通過滑動電動機(jī)Ml的驅(qū)動力，使升降機(jī)構(gòu)32向Y方向的相 反方向移動(在圖2中為從實(shí)線位置向雙點(diǎn)劃線位置移動)。在本實(shí)施方式中，從X方向來看，將在托架平臺38位于往路Rl的上方或者下方時 的升降機(jī)構(gòu)32的位置稱作往路位置。另外，從X方向來看，將在托架平臺38位于復(fù)路R2 的上方或者下方時的升降機(jī)構(gòu)32的位置稱作復(fù)路位置?；瑒訖C(jī)構(gòu)31在往路位置和復(fù)路位 置之間移動升降機(jī)構(gòu)32。在升降機(jī)構(gòu)32上設(shè)有升降電動機(jī)M2和傳達(dá)部35，該傳達(dá)部35與升降電動機(jī)M2 的驅(qū)動軸相連結(jié)。在傳達(dá)部35Y方向的端部設(shè)有沿Z方向延伸的支承支架36，在該支承支 架36的Y方向的端部設(shè)有沿Z方向延伸的導(dǎo)軌35a。在導(dǎo)軌35a上安裝有能夠沿著Z方向 往復(fù)移動的托架平臺38。傳達(dá)部35通過花鍵軸等動力傳動軸接受升降電動機(jī)M2的驅(qū)動 力，將升降電動機(jī)M2的驅(qū)動力轉(zhuǎn)換成托架平臺38的移動力。在升降電動機(jī)M2正轉(zhuǎn)的時候，升降機(jī)構(gòu)32通過升降電動機(jī)M2的驅(qū)動力，使托架 平臺38向Z方向移動(在圖2中為從實(shí)線位置向雙點(diǎn)劃線位置移動)。另外，升降機(jī)構(gòu)32 在升降電動機(jī)M2反轉(zhuǎn)的時候，通過升降電動機(jī)M2的驅(qū)動力，使托架平臺38向Z方向的相 反方向移動(在圖2中為從雙點(diǎn)劃線位置向?qū)嵕€位置移動)。在本實(shí)施方式中，將托架平臺38在Z方向上位于比往路Rl或復(fù)路R2更靠下方時 的該托架平臺38的位置稱為待機(jī)位置。另外，將在Z方向上，托架平臺38位于比往路Rl或復(fù)路R2更靠上方時的該托架平臺38的位置稱為脫離位置(搬送托架17從搬送通道R1、 R2脫離的位置)。升降機(jī)構(gòu)32使托架平臺38在待機(jī)位置和脫離位置之間移動。在升降機(jī)構(gòu)32的支承支架36的頂端上(上端附近)，呈帶狀的掛鉤37的基端被 支承為沿X方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸36a為中心轉(zhuǎn)動自如的形式。在掛鉤37的前端上形成有缺 口 37a，該缺口 37a能夠與搬送托架17的凸部17a相扣接。在搬送托架17位于托架平臺 38的上方的狀態(tài)下，使掛鉤37在該缺口 37a和凸部17a分離的位置，與該缺口 37a和凸部 17a扣接的位置之間(圖2中的雙點(diǎn)劃線位置)轉(zhuǎn)動。在缺口 37a與凸部17a扣接的狀態(tài) 下，搬送托架17被鎖定在托架平臺38上。另外，在缺口 37a與凸部17a分離的狀態(tài)下，搬 送托架17的鎖定狀態(tài)被解除。在本實(shí)施方式中，將缺口 37a與凸部17a扣接的掛鉤37的位置稱為鎖定位置。另 外，將缺口 37a與凸部17a分離的掛鉤37的位置、且掛鉤37從搬送托架17的移動軌跡離 開的位置稱為解除位置。另外，圖2中的掛鉤37的實(shí)線位置顯示了鎖定位置和解除位置之 間的位置。在掛鉤37的前端上，以沿X方向延伸的軸Cl為中心轉(zhuǎn)動自如地支承有呈棒狀的 聯(lián)桿部件39，該聯(lián)桿部件39沿Z方向的相反方向延伸。聯(lián)桿部件39的下端以沿X方向延 伸的軸C2為中心轉(zhuǎn)動自如地被托架平臺38的上端所支承。聯(lián)桿部件39在托架平臺38上 升的時候，將托架平臺38的上升動作傳向掛鉤37，使掛鉤37向順時針方向轉(zhuǎn)動。另外，聯(lián) 桿部件39在托架平臺38下降的時候，將托架平臺38的下降動作傳向掛鉤37，使掛鉤37向 逆時針方向轉(zhuǎn)動。詳細(xì)地說，如果在搬送托架17位于托架平臺38的上方的狀態(tài)下，托架平臺38從 待機(jī)位置向脫離位置朝上方移動的話，掛鉤37就會通過聯(lián)桿部件39，與托架平臺38的上 升動作聯(lián)動而從解除位置向鎖定位置移動。也就是說，如果托架平臺38上升的話，搬送托 架17就被鎖定在托架平臺38上。相反，如果在搬送托架17被載置在托架平臺38的狀態(tài) 下，托架平臺38從解除位置向待機(jī)位置朝下方移動的話，掛鉤37就會通過聯(lián)桿部件39，與 托架平臺38的下降動作聯(lián)動從鎖定位置向解除位置移動。也就是說，如果托架平臺38下 降的話，搬送托架17的鎖定狀態(tài)就會被解除。在本實(shí)施方式中，鎖定機(jī)構(gòu)由這些掛鉤37和聯(lián)桿部件39構(gòu)成。圖3(a) (d)是顯示采用了橫動裝置30的基板S的搬送工序的圖。首先，如圖 3(a)所示，在搬送室15的內(nèi)部，托架平臺38被配置在往路Rl的位置上(以下稱為初期位 置。)。另外，掛鉤37被配置在解除位置上，并從搬送托架17的移動軌跡離開。如果從這個狀態(tài)，將搬送托架17從第二處理室14搬入搬送室15之后，如圖3(b) 所示，橫動裝置30驅(qū)動升降機(jī)構(gòu)32，使托架平臺38從初期位置向脫離位置(箭頭方向)上 方移動。由此，搬送托架17被載置在托架平臺38上，從往路Rl脫離。此時，保持裝置22使保持磁石MG上升，使保持磁石MG上升托架平臺38已上升的 量，繼續(xù)保持保持磁石MG和托架磁石21之間的距離。因此，保持裝置22繼續(xù)利用磁性將 搬送托架17拘束在往路Rl的上方。并且，升降機(jī)構(gòu)32與托架平臺38的上升動作聯(lián)動，使 掛鉤37從解除位置向鎖定位置移動。也就是說，橫動裝置30在使搬送托架17從往路Rl 脫離的同時，將該搬送托架17鎖定在托架平臺38上。如圖3(c)所示，在搬送托架17被鎖定在托架平臺38上之后，保持裝置22進(jìn)一步使保持磁石MG上升，并使保持磁石MG與托架磁石21之間分開充分的距離。因此，保持裝 置22解除對于搬送托架17的磁性拘束。搬送托架17的拘束被解除之后，橫動裝置30驅(qū) 動滑動機(jī)構(gòu)31，將升降機(jī)構(gòu)32從往路位置向復(fù)路位置(向箭頭方向)移動。由此，托架平 臺38被配置在復(fù)路R2的正上方。在此期間，由于搬送托架17不會受到由保持裝置22產(chǎn)生的磁性拘束，而會受到由 橫動裝置30的鎖定機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的機(jī)械的拘束，所以保持對于托架平臺38的相對位置。其結(jié) 果，在不會引起相對于托架平臺38的位置偏移的情況下，搬送托架17被從往路Rl的正上 方向復(fù)路R2的正上方搬送。如圖3 (d)所示，升降機(jī)構(gòu)32到達(dá)復(fù)路位置之后，橫動裝置30驅(qū)動升降機(jī)構(gòu)32，使 托架平臺38從脫離位置向初期位置(箭頭方向)下方移動。由此，搬送托架17從托架平 臺38被載置到復(fù)路R2上。在這種情況下，保持裝置22通過使保持磁石MG下降，來縮短保持磁石MG和托架 磁石21之間的距離，從而將搬送托架17磁性拘束在復(fù)路R2的上方。另外，升降機(jī)構(gòu)32與 托架平臺38的下降動作聯(lián)動，使掛鉤37從鎖定位置向解除位置移動。也就是說，橫動裝置 在將搬送托架17載置到復(fù)路R2上的同時，解除該搬送托架17的鎖定狀態(tài)。如果搬送托架17被載置到復(fù)路R2上的話，橫動裝置30就會驅(qū)動滑動機(jī)構(gòu)31，使 升降機(jī)構(gòu)32從復(fù)路位置向初期位置移動。由此，托架平臺38從復(fù)路R2上被搬送到往路Rl 上。以后同樣，每次搬送室15將搬送托架17從第二處理室14搬入，都會驅(qū)動保持裝置22 和橫動裝置30，將往路Rl上的搬送托架17向復(fù)路R2搬送。上述實(shí)施方式的搬送裝置30(真空處理裝置10)具有以下的優(yōu)點(diǎn)。(1)橫動裝置30具有升降機(jī)構(gòu)32和滑動機(jī)構(gòu)31，所述升降機(jī)構(gòu)32通過托架平臺 38的下降和上升，選擇性地進(jìn)行相對于該搬送通道R1、R2的搬送托架17的載置和脫離，所 述滑動機(jī)構(gòu)31使升降機(jī)構(gòu)32在搬送通道R1、R2之間移動。并且，升降機(jī)構(gòu)32具有鎖定機(jī) 構(gòu)(在一個實(shí)施例中為掛鉤37以及聯(lián)桿39)，該鎖定機(jī)構(gòu)與托架平臺38的上升動作聯(lián)動 將搬送托架17鎖定在托架平臺38上，并且與托架平臺38的下降動作聯(lián)動來解除搬送托架 17的鎖定狀態(tài)。因此，橫動裝置30只要使托架平臺38上升1次，就能夠使搬送托架17從往路Rl 上脫離，并且能夠?qū)崴屯屑?7鎖定在托架平臺38上。另外，橫動裝置30只要使托架平臺 38下降1次，就能夠解除搬送托架17的鎖定狀態(tài)，并且能夠?qū)崴屯屑?7載置到復(fù)路R2 上。換句話說，為了將搬送托架17鎖定在托架平臺38上所須的搬送托架17的移動僅為1 次上升動作，而為了解除搬送托架17和托架平臺38的鎖定所須的搬送托架17的移動僅為 1次下降動作。其結(jié)果，由于橫動裝置30將在搬送處理期間的托架平臺38的升降次數(shù)、進(jìn) 而將搬送托架17的升降次數(shù)控制到最少，所以可提高裝卸效率。加之，由于鎖定機(jī)構(gòu)(37、 39)與托架平臺38的上升動作以及下降動作聯(lián)動來進(jìn)行驅(qū)動，所以與將鎖定機(jī)構(gòu)的驅(qū)動源 通過其他方法設(shè)定的情況相比較，可以達(dá)到鎖定機(jī)構(gòu)的省空間化，進(jìn)而達(dá)到裝置30的小型 化。(2)掛鉤37在鎖定位置和解除位置之間轉(zhuǎn)動，鎖定位置為通過使掛鉤37與搬送 托架17的凸部17a相扣接而將搬送托架17鎖定的位置，解除位置為通過使掛鉤37從凸部 17a離開來解除搬送托架17的鎖定狀態(tài)而從搬送托架17的移動軌跡離開的位置。另外，聯(lián)桿部件39被連結(jié)在托架平臺38和掛鉤37之間，將托架平臺38的上升動作和下降動作傳 向掛鉤37，從而使掛鉤37向鎖定位置和解除位置移動。因此，在橫動裝置30中，托架平臺38的上下移動通過聯(lián)桿部件39轉(zhuǎn)換為掛鉤37 的轉(zhuǎn)動。其結(jié)果，橫動裝置30只要使搬送托架17從往路Rl脫離就可鎖定搬送托架17，并 且只要將搬送托架17載置到復(fù)路R2上就可解除搬送托架17的鎖定狀態(tài)。于是，由于該橫 動裝置30將在搬送處理期間的托架平臺38的升降次數(shù)控制到最少，所以可提高裝卸效率。 另外，如果掛鉤37移動到解除位置上而解除與搬送托架17的鎖定的話，掛鉤37就會從搬 送托架17的移動軌跡脫離。由此，可以預(yù)先將托架平臺38配置到往路Rl上的待機(jī)位置。 這是因?yàn)?，在托架平臺38位于待機(jī)位置的時候，搬送托架17的移動不會受到托架平臺38 以及掛鉤37的阻礙的緣故。由此，可以減少用于使托架平臺38從往路Rl退避的升降機(jī)構(gòu) 32的移動空間。進(jìn)而能夠達(dá)到搬送室15或真空處理裝置10的小型化。(3)由于鎖定機(jī)構(gòu)(37、39)將托架平臺38的上下移動轉(zhuǎn)換為掛鉤37的轉(zhuǎn)動，所以 與將托架平臺38的上下移動只作為掛鉤37的上下移動來利用的情況相比較，可以擴(kuò)大掛 鉤37(缺口 37a)的變位范圍。因此，橫動裝置30可以擴(kuò)大搬送托架17的尺寸或形狀的適 用范圍、進(jìn)而可以擴(kuò)大基板S的尺寸或形狀的適用范圍。(4)掛鉤37沒有固定在滑動機(jī)構(gòu)31上，而是與托架平臺38的上下移動動作聯(lián)動 產(chǎn)生轉(zhuǎn)動。所以，在搬送位于基板處理室14以及搬送室15之間的搬送托架17的時候，為 了避免掛鉤37和搬送托架17的接觸，也可以不使滑動機(jī)構(gòu)31移動。因此，由于可以縮小 滑動機(jī)構(gòu)31的移動的空間，所以能夠達(dá)到裝置的小型化。(5)可以將搬送托架17直接搬入在搬送通道(往路Rl)的位置待機(jī)的托架平臺 38上。所以，在搬入基板S之后不須使托架平臺38移動至往路Rl上為止。從而，可以縮短 搬送處理的生產(chǎn)間隔時間而提高裝卸效率。(6)由于將升降機(jī)構(gòu)32設(shè)置在滑動機(jī)構(gòu)的上部，所以能夠縮小搬送室15內(nèi)的空 間，進(jìn)而能夠達(dá)到裝置的小型化。(7)由于在搬送室15內(nèi)搭載橫動裝置30，所以真空處理裝置10將在搬送處理期 間的托架平臺38 (搬送托架17)的升降次數(shù)控制到最少，進(jìn)而能夠在基板S的一系列處理 工序中，提高裝卸效率。另外，上述實(shí)施方式也可以按照以下的形態(tài)來實(shí)施。掛鉤37也可構(gòu)成為，接受托架平臺38的上下移動動作來進(jìn)行上下移動的形式。也 就是說，掛鉤37也可構(gòu)成為，與托架平臺38的上下移動動作聯(lián)動，在鎖定搬送托架17的鎖 定位置和解除搬送托架17的鎖定狀態(tài)的解除位置之間(例如沿著支承支架36上下)移動 的形式。在這種情況下，優(yōu)選地，在使掛鉤37向下方移動的同時，或者向下方移動之后，使 該掛鉤37避開搬送托架17的移動軌跡。也可以用被扣接部，例如搬送托架17具有的凹部來代替凸部17a。也就是說，對于 通過與掛鉤37的扣接將搬送托架17鎖定在托架平臺38上，以及通過從掛鉤37離開來解 除搬送托架17的鎖定狀態(tài)的被扣接部，只要是所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員就可以采用任意構(gòu)成。在上述實(shí)施方式中，通過掛鉤37的缺口 37a與搬送托架17的凸部17a扣接，搬送 托架17被鎖定在托架平臺38上。不僅限于此構(gòu)成，鎖定機(jī)構(gòu)也可以為磁石機(jī)構(gòu)。作為一 個例子，也可以分別將缺口 37a和凸部17a更改為磁石。在這種情況下，通過將設(shè)置在掛鉤37的N極與設(shè)置在搬送托架17的S極接近，搬送托架17被鎖定在托架平臺38上。也就 是說，對于與托架38的上升動作聯(lián)動將搬送托架17鎖定在托架平臺38上，以及與托架平 臺38的動作聯(lián)動來解除搬送托架17的鎖定狀態(tài)的鎖定機(jī)構(gòu)，只要是所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員 就可以采用各種構(gòu)成。鎖定機(jī)構(gòu)也可以僅由掛鉤37構(gòu)成(即，也可以省略聯(lián)桿部件39。)。在這種情況 下，在托架平臺的上升之前使掛鉤37處于解除位置(從搬送托架17的移動軌跡離開的位 置)，在托架平臺38的上升之后使掛鉤37移動到鎖定位置即可。在上述實(shí)施方式中，搬送路由往路Rl和復(fù)路R2構(gòu)成，往路Rl和復(fù)路R2相互平行 設(shè)置。不僅限于此，例如，搬送通道也可以為3條以上，各個搬送通道也可以為交叉的構(gòu)成。雖然在上述實(shí)施方式中的搬送通道采用了齒輪齒條機(jī)構(gòu)，搬送通道也可以是滾子 搬送式、傳送輸送式、或者是將裝有車輪的搬送托架在固定于真空處理室底面的軌道上移 動的軌道搬送式機(jī)構(gòu)，另外也并不僅限于這些搬送方法。在上述實(shí)施方式中的托架平臺38的初期位置以及脫離位置、基于托架平臺38的 搬送托架17的載置位置、以及搬送托架17的扣接位置的高度，可以在從搬送托架17被搬 出或被搬入的真空處理室10的最底端起到最頂端之間進(jìn)行任意更改。這些位置只要是搬 送托架17可以通過橫動裝置30的搬送處理，從一個搬送通道向其他搬送通道搬送的位置 即可。然而，優(yōu)選地，托架平臺38的初期位置被設(shè)定為托架平臺38的表面(支承搬送托架 17底面的一面)比搬送通道R1、R2的表面低的形式。如果這樣實(shí)施的話，即使在將搬送托 架17從第二處理室14向搬送室15搬入的時候，也不會因托架平臺38阻礙搬送托架17的 移動。所以，能夠使托架平臺38從往路Rl到復(fù)路R2的移動距離最小化。然而，該初期位 置不是限制本發(fā)明的條件。這是因?yàn)?，即使為了使托架平臺38避開搬送托架17的移動軌 跡而有必要使托架平臺38向下方移動，也不會使搬送托架17上下移動的次數(shù)增加。在上述實(shí)施方式中，將2個搬送通道由往路Rl和復(fù)路R2構(gòu)成。不僅限于此，也可 以將2個搬送通道各自都作為搬送托架17的往路和復(fù)路來利用。在這種情況下，例如也可 構(gòu)成為，如果將搬送托架17從一條搬送通道向其他搬送通道移載的話，橫動裝置30就使托 架平臺38在所述其他搬送通道上待機(jī)，并再次將位于所述其他搬送通道上的搬送托架17 向所述一條搬送通道移動。 在上述實(shí)施方式中，雖然多個搬送通道由一條往路Rl和一條復(fù)路R2構(gòu)成，但不僅 限于此，也可以由多條往路Rl和多條復(fù)路R2構(gòu)成多個搬送通道。
權(quán)利要求
一種搬送基板的搬送裝置，其特征在于，具備搬送托架，其在將所述基板以豎立狀態(tài)支承的同時，在第1搬送通道和第2搬送通道之間搬送所述基板；能夠支承所述搬送托架的托架平臺；升降機(jī)構(gòu)，其使所述托架平臺上升而使所述搬送托架從所述各個搬送通道脫離，并且使所述托架平臺下降而將所述搬送托架載置到所述各個搬送通道上；和滑動機(jī)構(gòu)，其使所述升降機(jī)構(gòu)在所述第1以及第2搬送通道之間移動，所述升降機(jī)構(gòu)包括鎖定機(jī)構(gòu)，該鎖定機(jī)構(gòu)與所述托架平臺的上升動作聯(lián)動將所述搬運(yùn)托架鎖定在所述托架平臺上，并且與所述托架平臺的下降動作聯(lián)動來解除所述搬送托架的鎖定狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬送裝置，其特征在于，所述托架平臺選擇性地配置在所述第1搬送通道上以及第2搬送通道上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬送裝置，其特征在于，所述托架平臺以能夠上下移動的形式被所述升降機(jī)構(gòu)支承。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的搬送裝置，其特征在于，進(jìn)一步具備聯(lián)桿，其將所述鎖定機(jī)構(gòu)與所述托架平臺連結(jié)，并且與所述托架平臺的上 下移動動作聯(lián)動而使所述鎖定機(jī)構(gòu)動作。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的搬送裝置，其特征在于，在所述托架平臺下降直到所述搬送托架被載置到所述各個搬送通道上時，所述聯(lián)桿使 所述鎖定機(jī)構(gòu)移動至從所述搬送托架的移動軌跡脫離的位置上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任意一項(xiàng)所述的搬送裝置，其特征在于，所述鎖定機(jī)構(gòu)包括扣接部，該扣接部在鎖定位置和解除位置之間移動，所述鎖定位置 為通過所述扣接部與所述搬送托架的被扣接部相扣接而將所述搬送托架鎖定在所述托架 平臺上的位置，所述解除位置為通過使所述扣接部從所述被扣接部離開來解除所述搬送托 架的鎖定狀態(tài)的位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的搬送裝置，其特征在于，所述扣接部以轉(zhuǎn)動自如的形式被所述升降機(jī)構(gòu)支承，以使所述扣接部選擇性地處于所 述鎖定位置和所述解除位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的搬送裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)包括支承支架，該支承支架以轉(zhuǎn)動自如的形式支承所述扣接部，所述托 架平臺以能夠上下移動的形式被所述支承支架支承。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的搬送裝置，其特征在于，所述鎖定機(jī)構(gòu)包括掛鉤，其起到所述扣接部的作用；和聯(lián)桿，其連結(jié)在所述托架平臺 和所述掛鉤之間，將所述托架平臺的上升和下降傳向所述掛鉤，選擇性地使所述掛鉤向所 述鎖定位置和所述解除位置移動。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的搬送裝置，其特征在于，所述掛鉤在所述鎖定位置和所述解除位置之間轉(zhuǎn)動，所述聯(lián)桿將所述托架平臺的上下 移動轉(zhuǎn)換成所述掛鉤的轉(zhuǎn)動。
11.根據(jù)權(quán)利要求1 10中任意一項(xiàng)所述的搬送裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述滑動機(jī)構(gòu)的上部。
12.—種真空處理裝置，其特征在于，具備 搬送托架，其將基板以豎立狀態(tài)支承；第1以及第2搬送通道，其可以移動所述搬送托架；真空處理室，其設(shè)置在所述第1以及第2搬送通道上，并且在真空狀態(tài)下對由所述搬送 托架支承的所述基板進(jìn)行處理；和搬送室，其設(shè)置在所述第1以及第2搬送通道上并與所述真空處理室連結(jié)，為了所述 搬送托架將所述基板以豎立狀態(tài)支承的同時在所述第1搬送通道和所述第2搬送通道之間 搬送所述基板而被使用， 所述搬送室包括能夠支承所述搬送托架的托架平臺；升降機(jī)構(gòu)，其使所述托架平臺上升而使所述搬送托架從所述各個搬送通道脫離，并且 使所述托架平臺下降而將所述搬送托架載置到所述各個搬送通道上；和滑動機(jī)構(gòu)，其使所述升降機(jī)構(gòu)在所述第1以及第2搬送通道之間移動， 所述升降機(jī)構(gòu)包括鎖定機(jī)構(gòu)，該鎖定機(jī)構(gòu)與所述托架平臺的上升動作聯(lián)動而將所述搬 運(yùn)托架鎖定在所述托架平臺上，并且與所述托架平臺的下降動作聯(lián)動來解除所述搬送托架 的鎖定狀態(tài)。
13.—種搬送方法，該方法使將基板以豎立狀態(tài)支承的搬送托架從第1搬送通道向第2 搬送通道移動，其特征在于，具備以下步驟將托架平臺配置在所述第1搬送通道上；使所述托架平臺上升，將位于所述第1搬送通道上的所述搬送托架載置到所述托架平 臺上；使所述托架平臺從所述第1搬送通道向所述第2搬送通道移動； 使所述托架平臺下降，將所述托架平臺上的所述搬送托架載置到所述第2搬送通道上，使所述托架平臺上升的步驟，包括通過與所述托架平臺的上升動作聯(lián)動的鎖定機(jī)構(gòu)在 其上升時將所述搬送托架鎖定在所述托架平臺上；使所述托架平臺下降的步驟，包括通過與所述托架平臺的下降動作聯(lián)動的所述鎖定機(jī) 構(gòu)，在該下降時解除所述搬送托架的鎖定狀態(tài)。
全文摘要
文檔編號B65G49/06GK101952950SQ20098010598
公開日2011年1月19日 申請日期2009年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月28日
發(fā)明者Yoshida Daisuke 申請人:Ulvac Inc