專利名稱：應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明提供一種可有效確保阻隔氣體，以利進(jìn)行料帶的真空制程加工，且可減少上、下密封件及側(cè)密封件的磨耗，以提升真空密閉性及使用壽命的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置。
背景技術(shù)：
軟性基板產(chǎn)品通常需結(jié)合大氣狀態(tài)下的制程(如涂布、網(wǎng)印等)與真空狀態(tài)下的制程(如濺鍍、薄膜等)，而于各制程的連續(xù)生產(chǎn)線中，一般是利用輸送裝置將基板的料帶由大氣環(huán)境的工作站連續(xù)輸送至真空制程設(shè)備中，以于真空環(huán)境下進(jìn)行加工。請(qǐng)參閱圖1、圖2、圖3所示，為現(xiàn)有的真空制程設(shè)備1，該真空制程設(shè)備1的輸入端及輸出端分別依序連接有相對(duì)的多組送料裝置10，以供連續(xù)輸送進(jìn)入真空制程設(shè)備1中進(jìn)行真空制程加工的料帶20，該送料裝置10設(shè)有具有容槽111的上座11及具有容槽121 的下座12，該上座11的容槽111內(nèi)樞設(shè)有上滾輪13，下座12的容槽121內(nèi)則樞設(shè)可由動(dòng)力源驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的下滾輪14，并使該上滾輪13及下滾輪14夾抵料帶20，以進(jìn)行連續(xù)送料，該上、下座11、12的容槽111、121兩側(cè)槽壁上并分別設(shè)有可貼抵上、下滾輪13、14環(huán)面的第一密封件15，容槽111、121的另兩側(cè)槽壁則分別設(shè)有可穿伸上、下滾輪13、14軸桿的第二密封件16，并使該第二密封件16貼抵上、下滾輪13、14的端緣，另該下座12于下滾輪14的兩側(cè)方分別設(shè)有連接至真空泵的通道122、123，以供進(jìn)行抽氣；于進(jìn)行連續(xù)輸送料帶20時(shí)， 該送料裝置10的一側(cè)連接另一送料裝置，即以兩個(gè)送料裝置10的第一密封件15及第二密封件16進(jìn)行阻隔外部的氣體，而于送料裝置10的上、下滾輪13、14及另一送料裝置10的上、下滾輪13、14間形成一真空輔助腔室101，進(jìn)而使真空制程設(shè)備1的輸入端及輸出端分別依序由外而內(nèi)逐漸降壓至真空狀態(tài)，以利真空制程設(shè)備1于真空環(huán)境下進(jìn)行料帶20的真空制程加工；然而，該送料裝置10于使用上，仍有如下的缺弊1、該送料裝置10于輸送料帶20時(shí)，其上、下滾輪13、14即與第一、二密封件15、16 相互摩擦，將使得該第一、二密封件15、16逐漸產(chǎn)生磨耗現(xiàn)象，由于該第一、二密封件15、16 分別直接裝設(shè)固定于該上、下座11、12的容槽111、121各側(cè)槽壁上，并無法進(jìn)行調(diào)整保持貼抵上、下滾輪13、14，而與上、下滾輪13間產(chǎn)生間隙，氣體即經(jīng)由該間隙不斷地流入腔室101 內(nèi)，進(jìn)而影響設(shè)備的密封效果。2、由于該第一、二密封件15、16分別直接裝設(shè)固定于該上、下座11、12的容槽111、 121各側(cè)槽壁上，并無法進(jìn)行調(diào)整貼抵上、下滾輪13、14的壓力，因此，若第一、二密封件15、 16與上、下滾輪13、14的貼抵壓力較大時(shí)，將使第一、二密封件15、16加速磨耗，進(jìn)而大幅降低第一、二密封件15、16的使用壽命。有鑒于此，本發(fā)明人遂以其多年從事相關(guān)行業(yè)的研發(fā)與制作經(jīng)驗(yàn)，針對(duì)目前所面臨的問題深入研究，經(jīng)過長期努力的研究與試作，終究研創(chuàng)出一種應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，并以此大幅改善現(xiàn)有技術(shù)的缺弊，此即為本發(fā)明的設(shè)計(jì)宗旨。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的提供一種應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其是于一本體的兩端分別設(shè)有供穿置料帶的槽道，且于內(nèi)部架設(shè)具上、下滾輪的滾輪組，以供夾抵輸送料帶， 該滾輪組與本體的槽道間并設(shè)有密封機(jī)構(gòu)，該密封機(jī)構(gòu)于本體的槽道上方側(cè)壁設(shè)有可彈性接抵上滾輪環(huán)面的上密封件，且于槽道的下方側(cè)壁設(shè)有可彈性接抵下滾輪環(huán)面的下密封件，另該槽道的左、右側(cè)方則分別設(shè)有側(cè)密封件，并使該兩側(cè)密封件可分別彈性貼抵上、下滾輪的端緣及上、下密封件的側(cè)緣，以形成連接抽氣裝置的真空輔助腔室，而可裝設(shè)于真空制程設(shè)備的輸入端及輸出端，以進(jìn)行真空制程的連續(xù)輸送料帶；由此，利用上、下滾輪與本體的槽道間的密封機(jī)構(gòu)，使該上、下密封件及側(cè)密封件可保持適當(dāng)?shù)膲毫Φ纸由?、下滾輪， 即可有效確保阻隔氣體，以利進(jìn)行料帶的真空制程加工，進(jìn)而達(dá)到提升真空密閉性的實(shí)用目的。本發(fā)明的次一目的提供一種應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其中，該密封機(jī)構(gòu)的上、下密封件及兩側(cè)密封件連結(jié)設(shè)有彈力調(diào)整組，以使該上、下密封件及側(cè)密封件可保持適當(dāng)?shù)慕拥謮毫Γ詼p少磨耗，進(jìn)而達(dá)到提升使用壽命的實(shí)用目的。為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供一種應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其包含有一本體，于兩端分別設(shè)有槽道，以供穿置一料帶；一滾輪組，架設(shè)于本體的內(nèi)部，且設(shè)有供夾抵輸送該料帶的一上滾輪及一下滾輪；一密封機(jī)構(gòu)，于該本體的槽道上方側(cè)壁設(shè)有具有第一側(cè)緣及第二側(cè)緣的上密封件，并使該上密封件的第一側(cè)緣能夠彈性接抵該上滾輪的環(huán)面，該槽道的下方側(cè)壁設(shè)有具有第一側(cè)緣及第二側(cè)緣的下密封件，并使該下密封件的第一側(cè)緣能夠彈性接抵該下滾輪的環(huán)面，該槽道的左、右側(cè)方則分別設(shè)有側(cè)密封件，并使該兩側(cè)密封件能夠分別彈性貼抵上、下滾輪的端緣及上、下密封件的第二側(cè)緣，以形成一真空輔助腔室。所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其中，該本體的槽道一側(cè)設(shè)有一管路，以供該真空輔助腔室連接于一抽氣裝置。 所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其中，該本體的頂面設(shè)有一開口，且以一蓋板蓋合密封。所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其中，該本體的槽道上方側(cè)壁上開設(shè)有一穿槽，以供穿設(shè)該上密封件，該槽道的下方側(cè)壁上則開設(shè)有另一穿槽，以供穿設(shè)該下密封件。所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其中，該滾輪組的上滾輪環(huán)面上包覆具有彈性的密封層，以供彈性夾抵該料帶。所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其中，該滾輪組以一上軸承座架置樞設(shè)有該上滾輪，以及以下軸承座架置樞設(shè)有該下滾輪。所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其中，該滾輪組的上滾輪連結(jié)設(shè)有一壓力調(diào)整結(jié)構(gòu)，該壓力調(diào)整結(jié)構(gòu)于該上滾輪的上軸承座連結(jié)設(shè)有具有伸縮桿的壓缸，而以該壓缸的伸縮桿帶動(dòng)該上軸承座位移，以供調(diào)整該上滾輪與下滾輪的間距，并使該上滾輪與下滾輪以適當(dāng)?shù)膲毫A抵輸送料帶。所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其中，該密封機(jī)構(gòu)的側(cè)密封件上開設(shè)有供穿置上滾輪軸桿的長槽，以及供穿置下滾輪軸桿的槽孔，另于貼抵該上、下滾輪端緣的側(cè)面上凹設(shè)有環(huán)槽，且于該環(huán)槽內(nèi)置入一密封環(huán)。
所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其中，該密封機(jī)構(gòu)的上密封件、下密封件及側(cè)密封件分別連結(jié)設(shè)有彈力調(diào)整組。所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其中，該彈力調(diào)整組設(shè)有承架，該承架的一端固設(shè)于該本體上，且于另一端設(shè)有一架置部，以供穿設(shè)一軸桿，另于該軸桿上旋合一調(diào)整旋鈕，且套設(shè)有一彈性元件，并使該彈性元件能夠往內(nèi)推抵該調(diào)整旋鈕及軸桿。


圖1為現(xiàn)有真空制程設(shè)備的制程示意圖；圖2為現(xiàn)有送料裝置的組合剖視圖；圖3為圖2的I-I剖視圖；圖4為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為圖4的A-A剖視圖；圖6為圖4的B-B剖視圖；圖7為本發(fā)明彈力調(diào)整組的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本發(fā)明連接真空制程設(shè)備的示意圖。附圖標(biāo)記說明
背景技術(shù)：
1-真空制程設(shè)備；10-送料裝置；101-真空輔助腔室；11-上座； 111-容槽；12-下座；121-容槽；122-通道；123-通道；13-上滾輪；14-下滾輪；15-第一密封件；16-第二密封件；20-料帶；本發(fā)明部分30-連續(xù)送料裝置；30a-連續(xù)送料裝置；301真空輔助腔室；301a_真空輔助腔室；31-本體；311-槽道；311a-槽道；312-管路；313-開口 ；314-蓋板；315-穿槽；316-穿槽；32-上滾輪；32a-上滾輪；321-上軸承座；322-密封層；322a_密封層； 323-壓缸；33-下滾輪；33a-下滾輪；331-下軸承座；332-傳動(dòng)組；333-馬達(dá)；34-上密封件；34a-上密封件；341-第一側(cè)緣；342-第二側(cè)緣；35-下密封件；35a_下密封件；351-第一側(cè)緣；352-第二側(cè)緣；36-側(cè)密封件；36a-側(cè)密封件；361-長槽；362-槽孔；363-環(huán)槽；364-密封環(huán)；37-彈力調(diào)整組；37a-彈力調(diào)整組；371-承架；372-架置部；373-軸桿； 374-調(diào)整旋鈕；375-彈性元件；40-真空制程設(shè)備；50-料帶。
具體實(shí)施例方式為對(duì)本發(fā)明有進(jìn)一步的深入了解，茲例舉一較佳實(shí)施例，并配合

如后請(qǐng)參閱圖4 圖7所示，本發(fā)明應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置30，其是于一中空的本體31兩端分別設(shè)有槽道311，以供穿置料帶，且于該槽道311的一側(cè)設(shè)有管路312，以供連接抽氣裝置，另于頂面設(shè)有開口 313，且以一蓋板314蓋合密封；另于該本體31的內(nèi)部裝設(shè)一滾輪組，該滾輪組是于本體31的內(nèi)部以上軸承座321架置樞設(shè)有上滾輪32，以及以下軸承座331架置樞設(shè)有下滾輪33，而以該上滾輪32及下滾輪33上、下夾抵輸送料帶；其中，該上滾輪32的環(huán)面上包覆具有彈性的密封層322，以供彈性夾抵料帶；在本實(shí)施例中， 該密封層322可為氟橡膠材質(zhì)(VITON)；該上滾輪31連結(jié)設(shè)有壓力調(diào)整結(jié)構(gòu)，以供調(diào)整上滾輪32與下滾輪33的間距，并使上滾輪32與下滾輪33可以適當(dāng)?shù)膲毫A抵輸送料帶；在本實(shí)施例中，該壓力調(diào)整結(jié)構(gòu)于上滾輪32的上軸承座321連結(jié)設(shè)有具有伸縮桿的壓缸323，而可調(diào)整該壓缸323的伸縮桿帶動(dòng)上軸承座321位移，以供調(diào)整上滾輪32與下滾輪33的間距及夾抵輸送料帶的壓力；另該下滾輪33的一端以一傳動(dòng)組332(例如連軸器)連接一可為馬達(dá)333的動(dòng)力源，以供驅(qū)動(dòng)下滾輪33旋轉(zhuǎn)，而以上、下夾抵料帶的上滾輪32與下滾輪33進(jìn)行連續(xù)輸送料帶；在該滾輪組與本體31的槽道311間設(shè)有密封機(jī)構(gòu)，該密封機(jī)構(gòu)于本體31的槽道311上方側(cè)壁上開設(shè)有穿槽315，以供穿設(shè)具第一側(cè)緣341及第二側(cè)緣342 的上密封件34，并使該上密封件34的第一側(cè)緣341可彈性接抵于上滾輪32的環(huán)面，于該本體31的槽道311下方側(cè)壁上開設(shè)有另一穿槽316，以供穿設(shè)具第一側(cè)緣351及第二側(cè)緣 352的下密封件35，并使該下密封件35的第一側(cè)緣351可彈性接抵于下滾輪33的環(huán)面；另于該槽道311的左、右側(cè)方分別設(shè)有側(cè)密封件36，并使該兩側(cè)密封件36可分別貼抵該上、 下滾輪32、33的端緣及上、下密封件34、35的第二側(cè)緣342、352，以形成連接抽氣裝置的真空輔助腔室301 ；在本實(shí)施例中，該側(cè)密封件36上分別開設(shè)有供穿置上滾輪32軸桿的長槽 361，以及供穿置下滾輪33軸桿的槽孔362，另于貼抵該上、下滾輪32、33端緣的側(cè)面上凹設(shè)有概呈8字型的環(huán)槽363，且于該環(huán)槽363內(nèi)置入一密封環(huán)364，以加強(qiáng)該側(cè)密封件36的密封效果；又于該上密封件34、下密封件35及一側(cè)密封件36上分別連結(jié)設(shè)有彈力調(diào)整組37， 以使該上密封件34的第一側(cè)緣341可彈性接抵于上滾輪32的環(huán)面，另使該下密封件35的第一例緣351可彈性接抵于下滾輪33的環(huán)面，而該側(cè)密封件36則可彈性貼抵該上、下滾輪 32,33的端緣及上、下密封件34、35的第二側(cè)緣342、352 ；在本實(shí)施例中，該彈力調(diào)整組37 設(shè)有一承架371，該承架371的一端固設(shè)于本體31上，且于另一端設(shè)有架置部372，以供穿設(shè)一軸桿373，另于該軸桿373上旋合一調(diào)整旋鈕374，且套設(shè)一可為壓縮彈簧的彈性元件 375，并使該彈性元件375可往內(nèi)推抵調(diào)整旋鈕374及軸桿373，于該軸桿373連結(jié)上密封件 34時(shí)，即可使上密封件34的第二側(cè)緣342保持彈性接抵于上滾輪32的環(huán)面，另連結(jié)下密封件35時(shí)，可使下密封件35的第二側(cè)緣352保持彈性接抵于下滾輪33的環(huán)面，而于該軸桿 373連結(jié)側(cè)密封件36時(shí)，則可使側(cè)密封件36保持彈性貼抵于該上、下滾輪32、33的端緣及上、下密封件34、35的第二側(cè)緣342、352，另可旋動(dòng)該調(diào)整旋鈕374，以調(diào)整該彈性元件375 推抵調(diào)整旋鈕374的彈力，進(jìn)而使該上、下密封件34、35及側(cè)密封件36可保持適當(dāng)?shù)慕拥謮毫?，以減少上、下滾輪32、33傳動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的磨耗。 請(qǐng)參閱圖8所示，本發(fā)明的連續(xù)送料裝置30裝設(shè)連接于真空制程設(shè)備40的輸入端及輸出端，以供連續(xù)輸送于真空制程設(shè)備40中進(jìn)行真空制程加工的料帶50 ；在本實(shí)施例中，該真空制程設(shè)備40于輸入端連接裝設(shè)有多組的連續(xù)送料裝置30，而輸出端則連接裝設(shè)有多組的連續(xù)送料裝置30a ；將料帶50由最前端本體31的槽道311輸入，并依序穿置通過連接于真空制程設(shè)備40輸入端的各本體31，而進(jìn)入真空制程設(shè)備40，以進(jìn)行真空制程加工，接著料帶50由真空制程設(shè)備40的輸出端輸出，再依序穿置通過連接于真空制程設(shè)備 40輸入端的各本體31a，而由最后端本體31a的槽道311a輸出料帶50，該料帶50即以各本體31內(nèi)部的上、下滾輪32、33及各本體31a內(nèi)部的上、下滾輪32a、33a進(jìn)行傳動(dòng)，而將料帶50由大氣環(huán)境下連續(xù)輸送至真空制程設(shè)備40的真空環(huán)境中加工，再由真空環(huán)境中連續(xù)輸送至大氣環(huán)境下，而完成料帶50的真空制程加工；而于連續(xù)送料的過程中，該真空制程設(shè)備40的輸入端即利用各本體31內(nèi)部的上、下密封件34、35及兩側(cè)密封件36進(jìn)行阻隔料帶50輸入路徑的上、下、左、右等側(cè)邊的氣體，而由于該上、下密封件34、35及兩側(cè)密封件36 分別連結(jié)彈力調(diào)整組37，而使該上、下密封件34、35及兩側(cè)密封件36保持彈性接抵，以減少上、下滾輪32、33傳動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的磨耗，另該上、下滾輪32、33夾抵料帶50時(shí)，則可利用上滾輪32的密封層322阻隔料帶50兩側(cè)的間隙，而于各本體31內(nèi)形成依序由外而內(nèi)逐漸降壓的真空輔助腔室301 ；另真空制程設(shè)備40的輸出端則相同利用各本體31a內(nèi)部的上、 下密封件34a、3fe及兩側(cè)密封件36a進(jìn)行阻隔料帶50輸出路徑的上、下、左、右等側(cè)邊，而由于該上、下密封件34a、3fe及兩側(cè)密封件36a分別連結(jié)彈力調(diào)整組37a，而使該上、下密封件34a、3fe及兩側(cè)密封件36a保持彈性接抵，以減少上、下滾輪32a、33a傳動(dòng)時(shí)所產(chǎn)生的磨耗，另該上、下滾輪32a、33a夾抵料帶50時(shí)，則可利用上滾輪32a的密封層32 阻隔料帶 50兩側(cè)的間隙，而于各本體31內(nèi)形成依序由外而內(nèi)逐漸降壓的真空輔助腔室301a，以確保真空制程設(shè)備40中的真空環(huán)境，以利進(jìn)行料帶50的真空制程加工，進(jìn)而達(dá)到提升整體設(shè)備真空密閉性的實(shí)用效益。
權(quán)利要求
1.一種應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其特征在于，包含有一本體，于兩端分別設(shè)有槽道，以供穿置一料帶；一滾輪組，架設(shè)于本體的內(nèi)部，且設(shè)有供夾抵輸送該料帶的一上滾輪及一下滾輪；一密封機(jī)構(gòu)，于該本體的槽道上方側(cè)壁設(shè)有具有第一側(cè)緣及第二側(cè)緣的上密封件，并使該上密封件的第一側(cè)緣能夠彈性接抵該上滾輪的環(huán)面，該槽道的下方側(cè)壁設(shè)有具有第一側(cè)緣及第二側(cè)緣的下密封件，并使該下密封件的第一側(cè)緣能夠彈性接抵該下滾輪的環(huán)面， 該槽道的左、右側(cè)方則分別設(shè)有側(cè)密封件，并使該兩側(cè)密封件能夠分別彈性貼抵上、下滾輪的端緣及上、下密封件的第二側(cè)緣，以形成一真空輔助腔室。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其特征在于，該本體的槽道一側(cè)設(shè)有一管路，以供該真空輔助腔室連接于一抽氣裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其特征在于，該本體的頂面設(shè)有一開口，且以一蓋板蓋合密封。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其特征在于，該本體的槽道上方側(cè)壁上開設(shè)有一穿槽，以供穿設(shè)該上密封件，該槽道的下方側(cè)壁上則開設(shè)有另一穿槽，以供穿設(shè)該下密封件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其特征在于，該滾輪組的上滾輪環(huán)面上包覆具有彈性的密封層，以供彈性夾抵該料帶。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其特征在于，該滾輪組以一上軸承座架置樞設(shè)有該上滾輪，以及以下軸承座架置樞設(shè)有該下滾輪。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其特征在于，該滾輪組的上滾輪連結(jié)設(shè)有一壓力調(diào)整結(jié)構(gòu)，該壓力調(diào)整結(jié)構(gòu)于該上滾輪的上軸承座連結(jié)設(shè)有具有伸縮桿的壓缸，而以該壓缸的伸縮桿帶動(dòng)該上軸承座位移，以供調(diào)整該上滾輪與下滾輪的間距，并使該上滾輪與下滾輪以適當(dāng)?shù)膲毫A抵輸送料帶。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其特征在于，該密封機(jī)構(gòu)的側(cè)密封件上開設(shè)有供穿置上滾輪軸桿的長槽，以及供穿置下滾輪軸桿的槽孔，另于貼抵該上、下滾輪端緣的側(cè)面上凹設(shè)有環(huán)槽，且于該環(huán)槽內(nèi)置入一密封環(huán)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其特征在于，該密封機(jī)構(gòu)的上密封件、下密封件及側(cè)密封件分別連結(jié)設(shè)有彈力調(diào)整組。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其特征在于，該彈力調(diào)整組設(shè)有承架，該承架的一端固設(shè)于該本體上，且于另一端設(shè)有一架置部，以供穿設(shè)一軸桿， 另于該軸桿上旋合一調(diào)整旋鈕，且套設(shè)有一彈性元件，并使該彈性元件能夠往內(nèi)推抵該調(diào)整旋鈕及軸桿。
全文摘要
一種應(yīng)用于真空制程的連續(xù)送料裝置，其于一本體兩端分別設(shè)有供穿置料帶的槽道，且于內(nèi)部架設(shè)具有上、下滾輪的滾輪組，以供夾抵輸送料帶，該滾輪組與本體的槽道間設(shè)有密封機(jī)構(gòu)，該密封機(jī)構(gòu)設(shè)有上密封件和下密封件，該槽道的左、右側(cè)方則分別設(shè)有側(cè)密封件，并使該兩側(cè)密封件分別彈性貼抵上、下滾輪的端緣及上、下密封件的側(cè)緣，以形成連接抽氣裝置的真空輔助腔室，而可裝設(shè)于真空制程設(shè)備的輸入端及輸出端，以進(jìn)行真空制程的連續(xù)輸送料帶；由此，其不僅可有效確保阻隔氣體，以利進(jìn)行料帶的真空制程加工，且可使上、下密封件及側(cè)密封件可與上、下滾輪保持適當(dāng)?shù)慕拥謮毫?，以減少磨耗，進(jìn)而達(dá)到提升真空密閉性及使用壽命的實(shí)用效益。
文檔編號(hào)B65H20/04GK102530618SQ20101060327
公開日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2010年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月24日
發(fā)明者張凱杰, 楊景富, 許恭銘, 黃建龍 申請(qǐng)人:財(cái)團(tuán)法人金屬工業(yè)研究發(fā)展中心