專利名稱：一種吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于太陽能硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種將整齊疊放在一起的硅片一 片一片取出，并放置在輸送帶上輸送出，以配合硅片在加工生產(chǎn)過程中流轉(zhuǎn)的設(shè)備，具體是 一種吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在太陽能硅片生產(chǎn)過程中，整齊疊放在一起的硅片需要一片一片取出，并放置在 輸送帶上輸送出，以配合后續(xù)的生產(chǎn)制作步驟。在現(xiàn)有技術(shù)中，這種操作通常是手工操作， 即工作人員用手拿著簡(jiǎn)易吸盤去吸取硅片，然后將吸出的硅片一片一片地放置在輸送帶上 輸送出。這種操作的缺點(diǎn)在于取片操作不方便，容易導(dǎo)致硅片掉落、碰傷，硅片損壞率高； 取片效率低，無法使每片硅片放置的位置一致，導(dǎo)致輸送出的硅片間隔不等、排列不齊；手 工操作的勞動(dòng)強(qiáng)度高，需要的人力多，且不穩(wěn)定。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、巧妙合 理、自動(dòng)化程度及取片效率高、硅片損壞率低的吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)。按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)包括機(jī)架、安裝在機(jī)架 上的升降裝置、移動(dòng)式吸盤裝置和硅片輸送裝置；機(jī)架上設(shè)有上臺(tái)板和下臺(tái)板；升降裝置 安裝在機(jī)架下臺(tái)板上，升降裝置左右各有一個(gè)，用于將疊放在一起的硅片按指定距離抬升； 移動(dòng)式吸盤裝置安裝在機(jī)架上臺(tái)板上，移動(dòng)式吸盤裝置與升降裝置相對(duì)應(yīng)，用于左右交替 地吸取升降裝置上的硅片，并交替地將硅片放置在硅片輸送裝置上；硅片輸送裝置安裝在 機(jī)架下臺(tái)板上，硅片輸送裝置設(shè)置在左右兩個(gè)升降裝置的中間，用于將移動(dòng)式吸盤裝置吸 取的硅片輸送出。所述升降裝置包括有硅片座、升降桿、第二直線導(dǎo)軌、第二絲桿、第二軸承、支撐 座、電機(jī)支撐桿和第二伺服電機(jī)，支撐座安裝在下臺(tái)板的下表面上，第二絲桿通過第二軸承 豎直安裝在支撐座上，第二伺服電機(jī)通過電機(jī)支撐桿固定在支撐座的下端，第二伺服電機(jī) 的輸出軸通過第二聯(lián)軸器與第二絲桿連接，第二絲桿上裝配有豎直移動(dòng)塊，第二絲桿與豎 直移動(dòng)塊構(gòu)成螺紋傳動(dòng)副；第二直線導(dǎo)軌固定在支撐座上，第二直線導(dǎo)軌起到導(dǎo)正豎直移 動(dòng)塊的作用，在第二直線導(dǎo)軌上安裝有第二滑塊，第二滑塊與豎直移動(dòng)塊連接；升降桿與第 二滑塊相連接，在下臺(tái)板上開設(shè)有孔，升降桿穿過該孔，升降桿的上端安裝硅片座。所述移動(dòng)式吸盤裝置包括有絲桿固定座、第一絲桿、第一直線導(dǎo)軌、固定板、氣缸、 真空吸盤、吸盤固定板、連接桿和第一伺服電機(jī)，絲桿固定座固定在上臺(tái)板上，第一絲桿通 過第一軸承安裝在絲桿固定座上，第一伺服電機(jī)通過連接桿固定在其中一個(gè)絲桿固定座的 外側(cè)，第一伺服電機(jī)的輸出軸與第一絲桿連接；第一絲桿上裝配有水平移動(dòng)塊，第一絲桿與 水平移動(dòng)塊構(gòu)成螺紋傳動(dòng)副；第一直線導(dǎo)軌固定在上臺(tái)板上，第一直線導(dǎo)軌起支撐并導(dǎo)正 水平移動(dòng)塊的作用，在第一直線導(dǎo)軌上安裝有第一滑塊，水平移動(dòng)塊與第一滑塊連接；固定板連接在第一滑塊上；氣缸的缸體尾端固定在固定板的前端兩側(cè)，氣缸的活塞桿端向下連 接有吸盤固定板，在吸盤固定板上安裝有至少一個(gè)真空吸盤。所述硅片輸送裝置包括有前滾輪軸、后滾輪軸、第三軸承、前滾輪、后滾輪、輸送 帶、支撐板、第四軸承、平鍵、傳動(dòng)輪、傳動(dòng)、支撐桿和第三伺服電機(jī)，支撐板固定在下臺(tái)板 上，第三伺服電機(jī)通過支撐桿固定在支撐板上，傳動(dòng)軸通過第四軸承安裝在支撐板上，第三 伺服電機(jī)的輸出軸通過第三聯(lián)軸器與傳動(dòng)軸連接，在傳動(dòng)軸上安裝有傳動(dòng)輪，傳動(dòng)輪與傳 動(dòng)軸通過平鍵連接傳動(dòng)；在傳動(dòng)軸上前方和上后方的支撐板上分別安裝有前滾輪軸和后滾 輪軸，前滾輪軸和后滾輪軸上分別通過第三軸承安裝有前滾輪和后滾輪；傳動(dòng)輪、前滾輪和 后滾輪配裝有輸送帶，傳動(dòng)輪帶動(dòng)輸送帶轉(zhuǎn)動(dòng)，輸送帶將放置在其上的硅片輸送出。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)還包括用于將被吸的硅片 與其他硅片分開的噴氣裝置，噴氣裝置設(shè)置在升降裝置的外側(cè)，噴氣裝置包括有固定塊、噴 氣管和氣管接頭，固定塊固定在下臺(tái)板上，噴氣管安裝在固定塊上，噴氣管上開設(shè)有徑向的 噴氣孔；噴氣管的一端連接氣管接頭，氣管接頭與氣源相連通。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述真空吸盤為4個(gè)，4個(gè)真空吸盤安裝在吸盤固 定板的四角上。本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊合理；克服了手工操作的 難處，大大提高取片效率，且能保證輸出的硅片間隔相等、方向一致、排列整齊；大大減少了 人力，降低了硅片損壞率，有助硅片在流轉(zhuǎn)中的質(zhì)量保證；提高了產(chǎn)能，從而間接降低了生 產(chǎn)成本。

圖1為本實(shí)用新型的正面視圖。圖2為圖1中的A-A剖視圖。圖3為圖1的俯視圖附圖標(biāo)記說明1_絲桿固定座、2-第一絲桿、3-第一直線導(dǎo)軌、4-上臺(tái)板、5-固定 板、6-氣缸、7-真空吸盤、8-吸盤固定板、9-機(jī)架、10-固定塊、11-硅片、12-硅片座、13-下 臺(tái)板、14-升降桿、15-第二直線導(dǎo)軌、16-第二絲桿、17-第二軸承、18-支撐座、19-第二聯(lián) 軸器、20-電機(jī)支撐桿、21-第二伺服電機(jī)、22a-前滾輪軸、22b_后滾輪軸、23-第三軸承、 24a-前滾輪、24b-后滾輪、25-輸送帶、26-支撐板、27-第四軸承、28-平鍵、29-傳動(dòng)輪、 30-傳動(dòng)軸、31-支撐桿、32-第三聯(lián)軸器、33-第三伺服電機(jī)、34-噴氣管、35-氣管接頭、 36-連接桿、37-第一伺服電機(jī)、38-第一聯(lián)軸器、39-第一軸承、40-水平移動(dòng)塊、41-豎直移 動(dòng)塊、42-噴氣孔、43-第一滑塊、44-第二滑塊。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。如圖所示，本實(shí)用新型主要由機(jī)架9以及安裝在機(jī)架9上的升降裝置、移動(dòng)式吸盤 裝置、噴氣裝置和硅片輸送裝置組成。機(jī)架9上設(shè)有上臺(tái)板4和下臺(tái)板13 ；升降裝置安裝 在機(jī)架9下臺(tái)板13上，升降裝置左右各有一個(gè)，用于將疊放在一起的硅片11按指定距離抬 升，以便于移動(dòng)式吸盤裝置吸取硅片11 ；移動(dòng)式吸盤裝置安裝在上臺(tái)板4上，移動(dòng)式吸盤裝置與升降裝置相對(duì)應(yīng)，用于左右交替地吸取升降裝置上的硅片11，并交替地將硅片11放置 在硅片輸送裝置上；噴氣裝置安裝在下臺(tái)板13上，噴氣裝置設(shè)置在升降裝置的外側(cè)，用于 將被吸的硅片11與其他硅片分開，防止在吸片的時(shí)候影響其它硅片；硅片輸送裝置安裝在 下臺(tái)板13上，硅片輸送裝置設(shè)置在左右兩個(gè)升降裝置的中間，用于將移動(dòng)式吸盤裝置吸取 的硅片11輸送出。如圖1 圖3所示，所述升降裝置主要由硅片座12、升降桿14、第二直線導(dǎo)軌15、 第二絲桿16、第二軸承17、支撐座18、第二聯(lián)軸器19、電機(jī)支撐桿20和第二伺服電機(jī)21組 成，支撐座18安裝在下臺(tái)板13的下表面上，第二絲桿16通過第二軸承17豎直安裝在支撐 座18上，支撐座18的下端利用電機(jī)支撐桿20安裝第二伺服電機(jī)21，第二伺服電機(jī)21的輸 出軸通過第二聯(lián)軸器19與第二絲桿16連接，第二絲桿16上裝配有豎直移動(dòng)塊41，第二絲 桿16與豎直移動(dòng)塊41構(gòu)成螺紋傳動(dòng)副；第二直線導(dǎo)軌15固定在支撐座18上，第二直線導(dǎo) 軌15起到導(dǎo)正豎直移動(dòng)塊41的作用，在第二直線導(dǎo)軌15上安裝有第二滑塊44，第二滑塊 44與豎直移動(dòng)塊41連接；升降桿14與第二滑塊44相連接，在下臺(tái)板13上開設(shè)有孔，升降 桿14穿過該孔，在升降桿14的上端安裝硅片座12。具體動(dòng)作原理為第二伺服電機(jī)21帶 動(dòng)第二絲桿16轉(zhuǎn)動(dòng)，第二絲桿16通過螺紋傳動(dòng)帶動(dòng)豎直移動(dòng)塊41，豎直移動(dòng)塊41帶動(dòng)第 二滑塊44沿著第二直線導(dǎo)軌15上下升降移動(dòng)，連接在第二滑塊44上的升降桿14隨第二 絲桿16的轉(zhuǎn)動(dòng)上下升降，從而使安裝在升降桿14頂端的硅片座12同時(shí)升降，以便于移動(dòng) 式吸盤裝置吸取放置在硅片座12上的硅片11。當(dāng)一疊硅片11取光之后，升降裝置再下降 至原始位置，以備放置另一疊硅片，實(shí)現(xiàn)反復(fù)工作。如圖1 圖3所示，所述移動(dòng)式吸盤裝置主要由絲桿固定座1、第一絲桿2、第一直 線導(dǎo)軌3、固定板5、氣缸6、真空吸盤7、吸盤固定板8、連接桿36、第一伺服電機(jī)37、第一聯(lián) 軸器38和第一軸承39組成，絲桿固定座1固定在上臺(tái)板4上，第一絲桿2通過第一軸承39 安裝在絲桿固定座1上，在其中一個(gè)絲桿固定座1的外側(cè)利用連接桿36連接固定有第一伺 服電機(jī)37，第一伺服電機(jī)37的輸出軸通過第一聯(lián)軸器38與第一絲桿2連接；第一絲桿2上 裝配有水平移動(dòng)塊40，第一絲桿2與水平移動(dòng)塊40構(gòu)成螺紋傳動(dòng)副；第一直線導(dǎo)軌3固定 在上臺(tái)板4上，在第一直線導(dǎo)軌3上安裝有第一滑塊43，水平移動(dòng)塊40與第一滑塊43連 接，第一直線導(dǎo)軌3起支撐并導(dǎo)正水平移動(dòng)塊40的作用；固定板5固定在第一滑塊43上； 氣缸6的缸體尾端固定在固定板5的前端兩側(cè)，氣缸6的活塞桿端向下連接有吸盤固定板 8，在吸盤固定板8的四角上安裝有真空吸盤7。具體動(dòng)作原理為第一伺服電機(jī)37帶動(dòng)第 一絲桿2轉(zhuǎn)動(dòng)，第一絲桿2通過螺紋傳動(dòng)帶動(dòng)水平移動(dòng)塊40，水平移動(dòng)塊40帶動(dòng)第一滑塊 43沿著第一直線導(dǎo)軌3左右移動(dòng)，安裝在第一滑塊43上的固定板5及安裝在固定板5上的 氣缸6隨之左右移動(dòng)，氣缸6活塞桿端的真空吸盤7左右交替地吸取硅片11，并交替將吸取 的硅片11放置在輸送裝置的輸送帶25上。如圖1 圖3所示，所述硅片輸送裝置主要由前滾輪軸22a、后滾輪軸22b、第三軸 承23、前滾輪24a、后滾輪24b、輸送帶25、支撐板26、第四軸承27、平鍵28、傳動(dòng)輪29、傳動(dòng) 軸30、支撐桿31、第三聯(lián)軸器32和第三伺服電機(jī)33組成，支撐板26固定在下臺(tái)板13上， 第三伺服電機(jī)33通過支撐桿31連接固定在支撐板26上，傳動(dòng)軸30通過第四軸承27安裝 在支撐板26上，第三伺服電機(jī)33的輸出軸通過第三聯(lián)軸器32與傳動(dòng)軸30連接，在傳動(dòng)軸 30上安裝有傳動(dòng)輪29，傳動(dòng)輪29與傳動(dòng)軸30通過平鍵28連接傳動(dòng)；在傳動(dòng)軸30上前方和上后方的支撐板26上分別安裝有前滾輪軸22a和后滾輪軸22b，前滾輪軸22a和后滾輪 軸22b上分別通過第三軸承23安裝有前滾輪24a和后滾輪24b ；傳動(dòng)輪29、前滾輪24a和 后滾輪24b配裝有輸送帶25，傳動(dòng)輪29帶動(dòng)輸送帶25轉(zhuǎn)動(dòng)，輸送帶25將放置在其上的硅 片11輸送出。具體動(dòng)作原理為第三伺服電機(jī)33帶動(dòng)傳動(dòng)軸30轉(zhuǎn)動(dòng)，傳動(dòng)軸30通過平鍵 28帶動(dòng)傳動(dòng)輪29傳動(dòng)，傳動(dòng)輪29帶動(dòng)左右兩條輸送帶25運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)輸送硅片11的操 作。如圖1、圖3所示，所述噴氣裝置由固定塊10、噴氣管34和氣管接頭35組成，固定 塊10固定在下臺(tái)板13上，噴氣管34安裝在固定塊10上，噴氣管34上開設(shè)有徑向的噴氣 孔42 ；噴氣管34的一端連接氣管接頭35，氣管接頭35與氣源相連通。具體動(dòng)作原理為氣 源中的氣體通過氣管接頭35進(jìn)入噴氣管34內(nèi)，然后從噴氣孔42噴出，將被吸的一片硅片 11與其他硅片分開，防止在吸片的時(shí)候影響其它硅片。本實(shí)用新型的工作過程如下移動(dòng)式吸盤裝置移動(dòng)至機(jī)架9的右端(見圖1)，連接在氣缸6活塞桿端的右側(cè)真 空吸盤7在氣缸6的作用下下降一定距離，同時(shí)右側(cè)的升降裝置使硅片11上升一定距離后 停止，此時(shí)右側(cè)的真空吸盤7開始吸硅片11，同時(shí)右側(cè)的噴氣管34噴氣，一片硅片11被真 空吸盤7吸起來，氣缸6的活塞桿回縮，硅片11被真空吸盤7吸著上升一定距離，第一伺服 電機(jī)37反轉(zhuǎn)，將兩側(cè)的真空吸盤7移動(dòng)至機(jī)架9的左端后停止，此時(shí)左側(cè)的真空吸盤7對(duì)準(zhǔn) 左側(cè)硅片11，右側(cè)的真空吸盤7對(duì)準(zhǔn)輸送裝置，然后左右兩側(cè)的真空吸盤7在氣缸6的作用 下下降一定距離，右側(cè)的真空吸盤7將吸著的硅片11釋放，硅片11放置在輸送帶25上，隨 輸送帶25的運(yùn)轉(zhuǎn)被輸送出，左側(cè)的真空吸盤7同步進(jìn)行吸左側(cè)的硅片11的操作，左側(cè)的噴 氣裝置也同時(shí)噴氣；至此，就完成了一片硅片11的流轉(zhuǎn)操作。然后，移動(dòng)式吸盤裝置再次右 移，左側(cè)的真空吸盤7釋放硅片11在輸送帶25上，右側(cè)的真空吸盤7吸取右側(cè)的硅片11， 如此交替動(dòng)作，從而將左右兩側(cè)硅片座12上的硅片11全部輸送出；然后，升降裝置中的升 降桿14下降到原始位置，以便災(zāi)放置硅片繼續(xù)工作。
權(quán)利要求一種吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其特征在于包括機(jī)架(9)、安裝在機(jī)架(9)上的升降裝置、移動(dòng)式吸盤裝置和硅片輸送裝置；機(jī)架(9)上設(shè)有上臺(tái)板(4)和下臺(tái)板(13)；升降裝置安裝在機(jī)架(9)下臺(tái)板(13)上，升降裝置左右各有一個(gè)，用于將疊放在一起的硅片(11)按指定距離抬升；移動(dòng)式吸盤裝置安裝在上臺(tái)板(4)上，移動(dòng)式吸盤裝置與升降裝置相對(duì)應(yīng)，用于左右交替地吸取升降裝置上的硅片(11)，并交替地將硅片(11)放置在硅片輸送裝置上；硅片輸送裝置安裝在下臺(tái)板(13)上，硅片輸送裝置設(shè)置在左右兩個(gè)升降裝置的中間，用于將移動(dòng)式吸盤裝置吸取的硅片(11)輸送出。
2.如權(quán)利要求1所述的吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其特征還在于，所述升降裝置包括有硅片 座(12)、升降桿(14)、第二直線導(dǎo)軌(15)、第二絲桿(16)、第二軸承(17)、支撐座(18)、第 二聯(lián)軸器(19)、電機(jī)支撐桿(20)和第二伺服電機(jī)(21)，支撐座(18)安裝在下臺(tái)板(13) 的下表面上，第二絲桿(16)通過第二軸承(17)豎直安裝在支撐座(18)上，第二伺服電機(jī) (21)利用電機(jī)支撐桿(20)安裝在支撐座(18)的下端，第二伺服電機(jī)(21)的輸出軸通過第 二聯(lián)軸器(19)與第二絲桿(16)連接，第二絲桿(16)上裝配有豎直移動(dòng)塊(41)，第二絲桿 (16)與豎直移動(dòng)塊(41)構(gòu)成螺紋傳動(dòng)副；第二直線導(dǎo)軌(15)固定在支撐座(18)上，第二 直線導(dǎo)軌(15)起到導(dǎo)正豎直移動(dòng)塊(41)的作用，在第二直線導(dǎo)軌(15)上安裝有第二滑塊 (44)，第二滑塊(44)與豎直移動(dòng)塊(41)連接；升降桿(14)與第二滑塊(44)相連接，在下 臺(tái)板(13)上開設(shè)有孔，升降桿(14)穿過該孔，升降桿(14)的上端安裝硅片座(12)。
3.如權(quán)利要求1所述的吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其特征還在于，所述移動(dòng)式吸盤裝置包括 有絲桿固定座(1)、第一絲桿(2)、第一直線導(dǎo)軌(3)、固定板(5)、氣缸(6)、真空吸盤(7)、 吸盤固定板(8)、第一伺服電機(jī)(37)和第一軸承39組成，絲桿固定座(1)固定在上臺(tái)板(4) 上，第一絲桿(2)通過第一軸承(39)安裝在絲桿固定座(1)上，在其中一個(gè)絲桿固定座(1) 的外側(cè)固定有第一伺服電機(jī)(37)，第一伺服電機(jī)(37)的輸出軸與第一絲桿(2)連接；第一 絲桿(2)上裝配有水平移動(dòng)塊(40)，第一絲桿(2)與水平移動(dòng)塊(40)構(gòu)成螺紋傳動(dòng)副；第 一直線導(dǎo)軌(3)固定在上臺(tái)板(4)上，在第一直線導(dǎo)軌(3)上安裝有第一滑塊(43)，水平 移動(dòng)塊(40)與第一滑塊(43)連接，第一直線導(dǎo)軌(3)起支撐并導(dǎo)正水平移動(dòng)塊(40)的作 用；固定板(5)連接在第一滑塊(43)上；氣缸(6)的缸體尾端固定在固定板(5)的前端兩 側(cè)，氣缸(6)的活塞桿端向下連接有吸盤固定板(8)，在吸盤固定板(8)上安裝有至少一個(gè) 真空吸盤(7)。
4.如權(quán)利要求1所述的吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其特征還在于，所述硅片輸送裝置包括 有前滾輪軸(22a)、后滾輪軸(22b)、第三軸承(23)、前滾輪(24a)、后滾輪(24b)、輸送帶 (25)、支撐板(26)、第四軸承(27)、平鍵(28)、傳動(dòng)輪(29)、傳動(dòng)軸(30)和第三伺服電機(jī) (33)，支撐板(26)固定在下臺(tái)板(13)上，第三伺服電機(jī)(33)固定在支撐板(26)上，傳動(dòng) 軸(30)通過第四軸承(27)安裝在支撐板(26)上，第三伺服電機(jī)(33)的輸出軸與傳動(dòng)軸 (30)連接，在傳動(dòng)軸(30)上安裝有傳動(dòng)輪(29)，傳動(dòng)輪(29)與傳動(dòng)軸(30)通過平鍵(28) 連接傳動(dòng)；在傳動(dòng)軸(30)上前方和上后方的支撐板(26)上分別安裝有前滾輪軸(22a)和 后滾輪軸(22b)，前滾輪軸(22a)和后滾輪軸(22b)上分別通過第三軸承(23)安裝有前滾 輪(24a)和后滾輪(24b)；傳動(dòng)輪(29)、前滾輪(24a)和后滾輪(24b)配裝有輸送帶(25)， 傳動(dòng)輪(29)帶動(dòng)輸送帶(25)轉(zhuǎn)動(dòng)，輸送帶(25)將放置在其上的硅片(11)輸送出。
5.如權(quán)利要求1所述的吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其特征還在于，所述吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)還包括用于將被吸的硅片(11)與其他硅片(11)分開的噴氣裝置，噴氣裝置設(shè)置在升降裝置 的外側(cè)，噴氣裝置包括有固定塊(10)、噴氣管(34)和氣管接頭(35)，固定塊(10)固定在下 臺(tái)板(13)上，噴氣管(34)安裝在固定塊(10)上，噴氣管(34)上開設(shè)有徑向的噴氣孔(42)； 噴氣管(34)的一端連接氣管接頭(35)，氣管接頭(35)與氣源相連通。
6.如權(quán)利要求3所述的吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其特征還在于，所述真空吸盤(7)為4個(gè)， 4個(gè)真空吸盤(7)安裝在吸盤固定板(8)的四角上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種吸盤式取硅片機(jī)構(gòu)，其包括機(jī)架、安裝在機(jī)架上的升降裝置、移動(dòng)式吸盤裝置和硅片輸送裝置；機(jī)架上設(shè)有上臺(tái)板和下臺(tái)板；升降裝置安裝在下臺(tái)板上，升降裝置左右各有一個(gè)，用于將疊放在一起的硅片按指定距離抬升；移動(dòng)式吸盤裝置安裝在上臺(tái)板上，移動(dòng)式吸盤裝置與升降裝置相對(duì)應(yīng)，用于左右交替地吸取升降裝置上的硅片，并交替地將硅片放置在硅片輸送裝置上；硅片輸送裝置安裝在下臺(tái)板上，硅片輸送裝置設(shè)置在左右兩個(gè)升降裝置的中間，用于將移動(dòng)式吸盤裝置吸取的硅片輸送出。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、巧妙合理；自動(dòng)化程度及取片效率高，能保證輸出的硅片間隔相等、方向一致、排列整齊；硅片損壞率低。
文檔編號(hào)B65G47/91GK201626710SQ20102013227
公開日2010年11月10日 申請(qǐng)日期2010年2月10日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月10日
發(fā)明者王燕清 申請(qǐng)人:無錫先導(dǎo)自動(dòng)化設(shè)備有限公司