專利名稱：輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本新型涉及一種輸送裝置，特別涉及一種輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
連續(xù)輸送裝置被廣泛的運(yùn)用在許多領(lǐng)域中，特別被應(yīng)用至需要連續(xù)加工的工藝。 以運(yùn)用在半導(dǎo)體制造業(yè)、光電業(yè)、電子業(yè)等的濺鍍技術(shù)工藝為例，為了提高鍍膜產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng) 力、降低設(shè)備與操作成本、縮短周期時(shí)間(cycle time)、提高產(chǎn)能效率以及提升鍍膜質(zhì)量與 產(chǎn)品良率，連續(xù)式(in-line)多腔體(multi-chambers)真空濺鍍?cè)O(shè)備便從其它濺鍍?cè)O(shè)備中 脫穎而出。此連續(xù)式多腔體真空濺鍍?cè)O(shè)備其特點(diǎn)便是使用一連續(xù)輸送裝置。連續(xù)式真空濺 鍍?cè)O(shè)備通常包含一入料腔體、一鍍膜腔體、一出料腔體以及一連續(xù)輸送裝置，其中入料腔體 以及出料腔體的真空度低于鍍膜腔體的真空度。待加工的一基板是借由連續(xù)輸送裝置一片 接一片地連續(xù)輸入或輸出上述腔體，并在腔體內(nèi)進(jìn)行濺鍍加工的動(dòng)作。連續(xù)式多腔體真空濺鍍?cè)O(shè)備中，最常使用的便是一直立式連續(xù)輸送裝置。一般的 直立式連續(xù)輸送裝置是由一滑軌、一滑塊、一承載工具以及多個(gè)滾輪所組成。其搭配方式如 下承載工具的一上緣與滑塊接合，而滑塊則置于滑軌內(nèi)。滾輪置于承載工具的一下緣，目 的是提供動(dòng)力使承載工具能往前進(jìn)。當(dāng)承載工具往前進(jìn)時(shí)，便會(huì)因承載工具與滑塊間的結(jié) 合，而連帶使承載工具順著滑軌的一軌道移動(dòng)。但是，以往的現(xiàn)有技術(shù)會(huì)有滑塊與滑軌間磨擦干涉以及偏移的問(wèn)題存在。原因在 于滑塊與滑軌之間的搭配是接觸式的，所以滑塊與滑軌間必須要有適當(dāng)?shù)囊婚g隙才能使滑 塊順利在滑軌上移動(dòng)。然而連續(xù)式多腔體真空濺鍍?cè)O(shè)備的每個(gè)腔體的溫度均不同，并且每 個(gè)腔體內(nèi)的溫度分部亦不平均。而滑塊與滑軌間的運(yùn)動(dòng)皆在上述腔體內(nèi)進(jìn)行，因此滑塊與 滑軌在冷縮熱脹下，滑塊與滑軌間的間隙便會(huì)有大有小。滑塊與與滑軌間的間隙太大時(shí)，此 間隙會(huì)造成滑塊在運(yùn)行中偏移，而滑塊的偏移會(huì)連帶使承載工具在輸送上也產(chǎn)生偏移；滑 塊與滑軌間的間隙太小，便會(huì)造成滑塊與滑軌間的磨擦與干涉，損耗輸送裝置的壽命。

實(shí)用新型內(nèi)容鑒于以上的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，借 以解決現(xiàn)有技術(shù)所存在滑軌與滑塊間偏移與磨擦干涉的問(wèn)題。本實(shí)用新型所揭露的輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，其輸送裝置具有一承載工具，此 承載工具被多個(gè)滾輪輸送前進(jìn)。而磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)包含一滑座及一軌道。其中，滑座連接于 承載工具的一側(cè)邊，并于滑座內(nèi)部設(shè)置有至少一第一磁性組件。軌道具有二彼此相對(duì)的槽 狀框件，并使滑座位于二槽狀框件之間且相隔一距離，此二槽狀框件內(nèi)部分別設(shè)置有至少 一第二磁性組件及至少一第三磁性組件。當(dāng)滑座相對(duì)于軌道移動(dòng)時(shí)，使其第二磁性組件與 第三磁性組件分別相斥于第一磁性組件，令滑座非接觸于二槽狀框件。在本實(shí)用新型所揭露的一實(shí)施例，其中二槽狀框件分別具有一溝槽，各溝槽分別 用以承載第二磁性組件與第三磁性組件。[0008]在本實(shí)用新型所揭露的一實(shí)施例，其中滑座具有一凹陷，凹陷位于滑座內(nèi)部中央。 凹陷用來(lái)承載容納第一磁性組件。在本實(shí)用新型所揭露的一實(shí)施例，其中該磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)具有一垂直軸向，該承載 工具沿著該垂直軸向設(shè)置在該多個(gè)滾輪上，該承載工具與該多個(gè)滾輪之間保持一垂直角度。在本實(shí)用新型所揭露的一實(shí)施例，其中該磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)具有一垂直軸向，該承載 工具沿一傾斜軸向設(shè)置在該多個(gè)滾輪上，該承載工具沿著該傾斜軸向與該垂直軸向之間保 持一傾斜角度，該傾斜角度小于15°。本實(shí)用新型所還揭露另一實(shí)施例的輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，其輸送裝置具有一 承載工具，此承載工具被多個(gè)滾輪輸送前進(jìn)。而磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)包含一滑座、一軌道及一磁性 控制設(shè)備。其中，滑座連接于承載工具的一側(cè)邊，并于滑座內(nèi)部設(shè)置有至少一第一磁性組 件。軌道具有二彼此相對(duì)的槽狀框件，并使滑座位于二槽狀框件之間且相隔一距離，此二槽 狀框件內(nèi)部分別設(shè)置有至少一第二磁性組件及至少一第三磁性組件。磁性控制設(shè)備分別電 性連接于第二磁性組件和第三磁性組件。當(dāng)滑座相對(duì)于軌道移動(dòng)時(shí)，第二磁性組件與第三磁性組件分別相斥于第一磁性組 件，并借由磁性控制設(shè)備調(diào)整第二磁性組件和第三磁性組件的相斥力，令滑座恒保持在二 槽狀框件的中間位置。在本實(shí)用新型所揭露的一實(shí)施例，其中該二槽狀框件分別具有一溝槽，各該溝槽 分別用以承載該第二磁性組件與該第三磁性組件。在本實(shí)用新型所揭露的一實(shí)施例，其中該滑座具有一凹陷，該凹陷位于該滑座內(nèi) 部中央，該凹陷用以承載該第一磁性組件。在本實(shí)用新型所揭露的一實(shí)施例，磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)還包括一光發(fā)射器及一感應(yīng)芯 片。光發(fā)射器用以發(fā)出一光束，使其光束與承載工具的一軌道路徑相互平行。感應(yīng)芯片設(shè)置 在承載工具，并且感應(yīng)芯片與磁性控制設(shè)備相互電性連接。當(dāng)感應(yīng)芯片接收光發(fā)射器所發(fā) 出的光束時(shí)，感應(yīng)芯片可檢測(cè)光束與軌道路徑之間的偏移量，使得感應(yīng)芯片依據(jù)偏移量發(fā) 出一信號(hào)至磁性控制設(shè)備，令磁性控制設(shè)備調(diào)整第二磁性組件和第三磁性組件的相斥力。根據(jù)上述本實(shí)用新型所揭露的實(shí)施例，由于滑座與軌道間借由磁力相斥，故不會(huì) 互相接觸。且滑座與軌道因互不接觸，滑座與軌道不被外在的熱脹冷縮環(huán)境所影響，并能使 滑座位于軌道兩側(cè)邊的中央而不易有偏移。因此綜合上述，本實(shí)用新型所揭露的實(shí)施例可 以避免滑座與軌道間的磨擦，增加輸送裝置使用的壽命；并且克服滑座偏移以及現(xiàn)有技術(shù) 因摩擦所產(chǎn)生的微塵所造成的產(chǎn)品瑕疵的問(wèn)題，并提升輸送上的穩(wěn)定性。另外，本實(shí)用新型 所揭露的實(shí)施例中若軌道兩側(cè)的磁性組件為電磁鐵，且再搭配磁控導(dǎo)正設(shè)備，本實(shí)用新型 所揭露的實(shí)施例便可以控制磁力大小，使滑座恒保持于軌道的中央。如此一來(lái)可使輸送上 的穩(wěn)定性更加提升。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述，但不作為對(duì)本實(shí)用新型 的限定。

圖1為根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例的輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)的概要結(jié)構(gòu)圖；[0019]圖2為說(shuō)明圖1的軌道與滑座的局部詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖；圖3為說(shuō)明于圖2中的滑座的概要分解圖；圖4為說(shuō)明于圖1中一實(shí)施例的軌道與滑座的剖面圖；圖5為說(shuō)明于圖1中另一實(shí)施例的軌道與滑座的剖面圖；以及圖6為搭配圖1的直立式連續(xù)輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)的額外配備的磁控導(dǎo)正設(shè) 備的連結(jié)示意圖。其中，附圖標(biāo)記[0025]100磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)[0026]110軌道[0027]112第一槽狀框件[0028]114第二槽狀框件[0029]116溝槽[0030]120滑座[0031]122凹陷[0032]124上蓋[0033]126滑座下殼[0034]129距離[0035]130第一磁性組件[0036]140第二磁性組件[0037]150第三磁性組件[0038]160滾輪[0039]170承載工具[0040]180磁控導(dǎo)正設(shè)備[0041]182感應(yīng)晶[0042]184光發(fā)射器[0043]186磁性控制設(shè)備[0044]188光束[0045]500傾斜角度
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)原理和工作原理作具體的描述請(qǐng)參照?qǐng)D1、圖2與圖3，其為根據(jù)本實(shí)用新型一實(shí)施例的輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī) 構(gòu)100。其磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)100包含一軌道110、一滑座120、多個(gè)第一磁性組件130、多個(gè)第 二磁性組件140及多個(gè)第三磁性組件150。接著參照?qǐng)D2，其中上述軌道110具有彼此相對(duì) 的一第一槽狀框件112與一第二槽狀框件114，第一槽狀框件112與第二槽狀框件114分別 具有一溝槽116。這些溝槽116分別用來(lái)承載第二磁性組件140與第三磁性組件150。請(qǐng)參照?qǐng)D2，滑座120置于軌道110的第一槽狀框件112與第二槽狀框件114之 間。且滑座120分別與該第一槽狀框件112與該第二槽狀框件114相隔一距離129，也就是 滑座120與軌道110之間不互相接觸。請(qǐng)參照?qǐng)D3，滑座120包含一上蓋124以及一底座126，其中底座126具有一凹陷122。凹陷122被上蓋124覆蓋。凹陷122用來(lái)承載第一磁 性組件130，使第一磁性組件130位于滑座120內(nèi)部中央。參照?qǐng)D2以及圖3，第一磁性組件130固定于滑座120內(nèi)；第二磁性組件140固定 于第一槽狀框件112的溝槽116內(nèi)；第三磁性組件150固定于第二槽狀框件114的溝槽116 內(nèi)。且此三種磁性組件的磁力相對(duì)關(guān)系為第二磁性組件140與第一磁性組件130相斥，并 且第三磁性組件150與第一磁性組件130也相斥。另外，第一磁性組件130、第二磁性組件 140以及第三磁性組件150可以是一永久磁鐵。此外，由圖1所示，滑座120連接固定于一承載工具170上緣，而承載工具170下緣 則與多個(gè)滾輪160接觸。滾輪160可提供一動(dòng)力并且?guī)?dòng)承載工具170形成一垂直移動(dòng)。 并使承載工具170帶動(dòng)滑座120 —起移動(dòng)。而滑座120則順著軌道110的軌道移動(dòng)，并借 由滑座120內(nèi)部的第一磁性組件130分別與軌道110的第一槽狀框件112與第二槽狀框件 114的第二磁性組件140及第三磁性組件150相斥，使滑座120不與軌道110接觸。如此 一來(lái)便可免去現(xiàn)有技術(shù)存在滑軌容易產(chǎn)生摩擦的問(wèn)題。并且由于滑座120會(huì)保持位于軌道 110的兩槽狀框件112、114中央，故本實(shí)施例不會(huì)因軌道110的冷縮熱脹變形而使軌道110 與滑座120間的間隙大小有所影響。如此一來(lái)也可免去現(xiàn)有技術(shù)存在因滑軌與滑塊之間產(chǎn) 生偏移，而導(dǎo)致滑軌與滑塊之間容易產(chǎn)生摩擦甚至卡止等問(wèn)題。接著參照?qǐng)D4為圖1中輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)100的側(cè)向剖面圖，并由圖可知 滑座120分別于軌道110的第一槽狀框件112與第二槽狀框件114保持一距離129，亦即 滑座120非接觸于軌道110。且其中磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)100具有一垂直軸向，并使承載工具170 沿著垂直軸向設(shè)置在多滾輪160上，以使承載工具170與多滾輪160之間保持一垂直角度。參照?qǐng)D5為圖1中輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)100的另一實(shí)施例的側(cè)向剖面圖，并 由圖可知滑座120分別于軌道110的第一槽狀框件112與第二槽狀框件114保持一距離 129，亦即滑座120非接觸于軌道110。且其中磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)100具有一垂直軸向，并使承 載工具170沿著一傾斜軸向設(shè)置在多滾輪160上，以使承載工具170沿著傾斜軸向與垂直 軸向之間保持一傾斜角度500。其中傾斜角度500至少小于15°，最佳角度約可為7° 10°之間。另外上述的第二磁性組件140以及第三磁性組件150除了可以是永久磁鐵外亦可 以為電磁鐵。當(dāng)?shù)诙判越M件140以及第三磁性組件150是電磁鐵時(shí)，磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)100可 以額外搭配一磁控導(dǎo)正設(shè)備180。此磁控導(dǎo)正設(shè)備180用來(lái)控制電磁鐵的磁力大小，以提升 承載工具170輸送上的穩(wěn)定性。請(qǐng)參照?qǐng)D6，此磁控導(dǎo)正設(shè)備180包含一光發(fā)射器184、一 感應(yīng)芯片182以及一磁性控制設(shè)備186。其中光發(fā)射器184可發(fā)射一光束188，且光束188 與承載工具170的軌道路徑相互平行。另外感應(yīng)芯片182置于承載工具170上，且位于光 束188的一路徑上。當(dāng)光束188打在感應(yīng)芯片182上會(huì)形成一光點(diǎn)，而感應(yīng)芯片182則可 檢測(cè)此光點(diǎn)在承載工具170輸送途中是否有一偏移量，并將此偏移量轉(zhuǎn)換為一信號(hào)。另外， 磁性控制設(shè)備186則分別連結(jié)第二磁性組件140和第三磁性組件150，且磁性控制設(shè)備186 另與感應(yīng)芯片182連接。當(dāng)承載工具170于輸送途中有偏移時(shí)，于承載工具170上的感應(yīng) 芯片182上的光點(diǎn)便會(huì)發(fā)生偏移。此時(shí)感應(yīng)芯片182檢測(cè)到光點(diǎn)的偏移量，便使偏移量轉(zhuǎn) 換為信號(hào)，并使信號(hào)傳送至磁性控制設(shè)備186。磁性控制設(shè)備186針對(duì)接收到的信號(hào)調(diào)整第 二磁性組件140和第三磁性組件150對(duì)滑座120相斥的磁力大小，使滑座120可以恒保持軌道110的兩槽狀框件的中央。如此一來(lái)，可以使輸送過(guò)程中的穩(wěn)定度大大提升。根據(jù)上述本實(shí)用新型所揭露的實(shí)施例，由于滑座與軌道間借由磁力相斥，故不會(huì) 互相接觸。且滑座與軌道因互不接觸，滑座與軌道不被外在的熱脹冷縮環(huán)境所影響，并能使 滑座位于軌道兩側(cè)邊的中央而不易有偏移。因此綜合上述，本實(shí)用新型所揭露的實(shí)施例可 以避免滑座與軌道間的磨擦，增加輸送裝置使用的壽命；并且克服滑座偏移以及現(xiàn)有技術(shù) 因摩擦所產(chǎn)生的微塵所造成的產(chǎn)品瑕疵的問(wèn)題，并提升輸送上的穩(wěn)定性。另外，本實(shí)用新型 所揭露的實(shí)施例中若軌道兩側(cè)的磁性組件為電磁鐵，且再搭配磁控導(dǎo)正設(shè)備，本實(shí)用新型 所揭露的實(shí)施例便可以控制磁力大小，使滑座恒保持于軌道的中央。如此一來(lái)可使輸送上 的穩(wěn)定性更加提升。當(dāng)然，本實(shí)用新型還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本實(shí)用新型精神及其實(shí)質(zhì)的 情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本實(shí)用新型作出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些 相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求一種輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，該輸送裝置具有一承載工具，該承載工具被多個(gè)滾輪輸送前進(jìn)，其特征在于，該磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)包含一滑座，連接于該承載工具的一側(cè)邊，該滑座內(nèi)部設(shè)置有至少一第一磁性組件；以及一軌道，具有二彼此相對(duì)的槽狀框件，該滑座位于該二槽狀框件之間且相隔一距離，該二槽狀框件內(nèi)部分別設(shè)置有至少一第二磁性組件及至少一第三磁性組件；其中，該第二磁性組件、該第三磁性組件的磁性為分別與該第一磁性組件的磁性相斥。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，其特征在于，該二槽狀框件分別 具有一溝槽，各該溝槽分別用以承載該第二磁性組件與該第三磁性組件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，其特征在于，該滑座具有一凹陷， 該凹陷位于該滑座內(nèi)部中央，該凹陷用以承載該第一磁性組件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，其特征在于，該磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)具 有一垂直軸向，該承載工具沿著該垂直軸向設(shè)置在該多個(gè)滾輪上，該承載工具與該多個(gè)滾 輪之間保持一垂直角度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，其特征在于，該磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)具 有一垂直軸向，該承載工具沿一傾斜軸向設(shè)置在該多個(gè)滾輪上，該承載工具沿著該傾斜軸 向與該垂直軸向之間保持一傾斜角度，該傾斜角度小于15°。
6.一種輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，該輸送裝置具有一承載工具，該承載工具被多個(gè)滾 輪輸送前進(jìn)，其特征在于，該磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)包含一滑座，連接于該承載工具的一側(cè)邊，該滑座內(nèi)部設(shè)置有至少一第一磁性組件； 一軌道，具有二彼此相對(duì)的槽狀框件，該滑座位于該二槽狀框件之間且相隔一距離，該 二槽狀框件內(nèi)部分別設(shè)置有至少一第二磁性組件及至少一第三磁性組件；以及 一磁性控制設(shè)備，分別電性連接于該第二磁性組件和該第三磁性組件； 其中，該第二磁性組件、該第三磁性組件的磁性為分別與該第一磁性組件的磁性相斥， 并借由該磁性控制設(shè)備調(diào)整該第二磁性組件和該第三磁性組件的相斥力，令該滑座恒保持 在該二槽狀框件的中間位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，其特征在于，該二槽狀框件分別 具有一溝槽，各該溝槽分別用以承載該第二磁性組件與該第三磁性組件。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，其特征在于，該滑座具有一凹陷， 該凹陷位于該滑座內(nèi)部中央，該凹陷用以承載該第一磁性組件。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，其特征在于，該磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)還 包括用以發(fā)出與該承載工具的一軌道路徑相互平行的光束的一光發(fā)射器；以及 一感應(yīng)芯片，設(shè)置在該承載工具，并且該感應(yīng)芯片與該磁性控制設(shè)備相互電性連接； 其中，該感應(yīng)芯片為用于接收該光發(fā)射器所發(fā)出的該光束，并且檢測(cè)該光束與該軌道 路徑之間的偏移量的感應(yīng)芯片，該感應(yīng)芯片依據(jù)該偏移量發(fā)出令該磁性控制設(shè)備調(diào)整該第 二磁性組件和該第三磁性組件的相斥力的一信號(hào)至該磁性控設(shè)備制。
專利摘要一種輸送裝置的磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)，其輸送裝置具有一承載工具，此承載工具以直立方式被多個(gè)滾輪輸送前進(jìn)。磁性導(dǎo)正機(jī)構(gòu)具有一滑座及一軌道，并使滑座與承載工具相互連接，且滑座內(nèi)部設(shè)置有至少一第一磁性組件。而軌道則具有二彼此相對(duì)的槽狀框件，以供滑座置入二槽狀框件之間且相隔一距離。此二槽狀框件內(nèi)部分別設(shè)置有一第二磁性組件及一第三磁性組件，借由第二磁性組件與第三磁性組件分別相斥于第一磁性組件，令滑座非接觸式的于軌道內(nèi)移動(dòng)，以提供更佳的輸送穩(wěn)定性與更長(zhǎng)的使用壽命。
文檔編號(hào)B65G35/00GK201729483SQ201020214148
公開(kāi)日2011年2月2日 申請(qǐng)日期2010年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月1日
發(fā)明者陳朝鐘 申請(qǐng)人:勤友企業(yè)股份有限公司