專利名稱：自由滾珠軸承、軸承裝置、支承臺(tái)、搬運(yùn)設(shè)備、轉(zhuǎn)臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及自由滾珠軸承，其為突出有在全方向自如旋轉(zhuǎn)的一個(gè)滾珠(主球)的構(gòu)造，適用于物品的搬運(yùn)或定位使用的支承臺(tái)、轉(zhuǎn)臺(tái)等。本發(fā)明涉及適于在例如對(duì)半導(dǎo)體基板及印刷配線基板的加工、電子零件的安裝、 平板的制造、半導(dǎo)體元件及半導(dǎo)體封裝等電子零件的制造、食品及醫(yī)藥品的制造等中采用的清潔室內(nèi)使用的自由滾珠軸承、使用該軸承的軸承裝置、支承臺(tái)、搬運(yùn)設(shè)備、轉(zhuǎn)臺(tái)。
背景技術(shù)：
例如，搬運(yùn)物品的搬運(yùn)設(shè)備多采用如下構(gòu)成，S卩，使用在全方向上自如旋轉(zhuǎn)的一個(gè)滾珠(主球)突出的構(gòu)造的自由滾珠軸承，可移送地支承搬運(yùn)的物品。這樣的搬運(yùn)設(shè)備中，為了使搬運(yùn)中的物品的移動(dòng)停止或減速，除自由滾珠軸承之外還設(shè)有使物品沖撞的限制器、緩沖器、使物品接觸的引導(dǎo)部件等。另外，近年來(lái)提出有自由滾珠軸承自身可對(duì)搬運(yùn)中的物品施加制動(dòng)力的構(gòu)成(例如，專利文獻(xiàn)1)。使用了這樣的自由滾珠軸承的搬運(yùn)設(shè)備具有可以不需要限制器、緩沖器、引導(dǎo)部件等的設(shè)置的優(yōu)點(diǎn)。上述專利文獻(xiàn)1的圖1 (a)、(b)記載的自由滾珠軸承(移送用球體支承裝置)具備經(jīng)由多個(gè)副球在凹球面旋轉(zhuǎn)自如地支承主球的凹球面部件、具有使上述主球的上部伸入的內(nèi)孔的蓋部件，能夠在主球的自由運(yùn)動(dòng)狀態(tài)和主球的制動(dòng)狀態(tài)之間進(jìn)行切換，所述主球的自由運(yùn)動(dòng)狀態(tài)為在所述內(nèi)孔的緣部與所述主球之間保持微小間隙而接近的狀態(tài)，所述主球的制動(dòng)狀態(tài)為所述內(nèi)孔的緣部按壓接觸所述主球的狀態(tài)。另外，在專利文獻(xiàn)1的圖2(a)、(b)中，公開(kāi)有如下構(gòu)成的自由滾珠軸承(移送用球體支承裝置)，即，通過(guò)驅(qū)動(dòng)裝置(具體而言，由電磁線圈構(gòu)成的電磁鐵34)使具有環(huán)狀的副球接觸部的加壓部件升降，在所述加壓部件下降時(shí)，使所述副球接觸部與副球組的上緣部接觸，由此限制副球的轉(zhuǎn)動(dòng)而對(duì)主球的旋轉(zhuǎn)施加制動(dòng)作用。專利文獻(xiàn)1 (日本)特開(kāi)2004-19877號(hào)公報(bào)在上述專利文獻(xiàn)1的圖1 (a)、(b)記載的自由滾珠軸承(移送用球體支承裝置) 那樣地使蓋部件與主球接觸而進(jìn)行主球制動(dòng)的構(gòu)成中，存在以下問(wèn)題，即，由于長(zhǎng)期使用而損壞主球，由于形成于主球表面的槽成為與物品之間的間隙而難以對(duì)移動(dòng)的物品施加移動(dòng)阻力。如專利文獻(xiàn)1的圖2(a)、(b)那樣，通過(guò)升降的加壓部件壓入副球的構(gòu)成在可長(zhǎng)期穩(wěn)定地維持對(duì)物品施加所期望的移動(dòng)阻力的性能方面是有利的。但是，作為在例如對(duì)半導(dǎo)體基板及印刷配線基板的加工、電子零件的安裝、平板的制造、半導(dǎo)體元件及半導(dǎo)體封裝等電子零件的制造、食品及醫(yī)藥品的制造等中采用的清潔室內(nèi)使用的自由滾珠軸承，對(duì)揚(yáng)塵要求高，要求高的防塵性。上述專利文獻(xiàn)1的圖1 (a)、(b)記載的自由滾珠軸承(移送用球體支承裝置)由于蓋部件與主球的接觸而產(chǎn)生微量粉塵，專利文獻(xiàn)1的圖2(a)、(b)記載的自由滾珠軸承 (移送用球體支承裝置)由于在蓋部件(專利文獻(xiàn)1中符號(hào)如)的下側(cè)升降的加壓部件與副球的接觸而產(chǎn)生微量粉塵。因此，為了維持清潔室的清潔度，要求防止粉塵飛散。對(duì)此，例如也可采用如下對(duì)策(下壓吹送d0Wn blow)，即，作為安裝自由滾珠軸承的臺(tái)，采用形成有多個(gè)通氣孔的構(gòu)成，在清潔室內(nèi)形成從上述臺(tái)的上方經(jīng)由上述通氣孔向上述臺(tái)的下側(cè)流動(dòng)的氣流，從而防止粉塵的飛散。但是，如專利文獻(xiàn)1的圖2(a)、(b)記載的自由滾珠軸承(移送用球體支承裝置)，通過(guò)在蓋部件的下側(cè)升降的加壓部件壓入副球的構(gòu)成難以將在支承主球及副球使其旋轉(zhuǎn)自如的凹球面部件與蓋部件之間產(chǎn)生的粉塵回收，在穩(wěn)定維持潔凈度方面是不利的。另外，例如專利文獻(xiàn)1的圖1(a)、(b)記載的自由滾珠軸承(移送用球體支承裝置)的構(gòu)成中，如將缸部13與蓋部件5結(jié)合而成的流體壓力缸12那樣沿支承主球及副球使其旋轉(zhuǎn)自如的凹球面部件的外周面滑動(dòng)移動(dòng)的筒狀體(專利文獻(xiàn)1的圖1(a)、(b)記載的發(fā)明中的流體壓力缸1 通過(guò)氣壓等流體壓力而進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。該情況下，就多個(gè)自由滾珠軸承而言，在同時(shí)實(shí)現(xiàn)主球的旋轉(zhuǎn)抑制(旋轉(zhuǎn)阻力的增大)方面是有利的。該構(gòu)成也可適用于專利文獻(xiàn)1的圖2(a)、(b)記載的自由滾珠軸承(移送用球體支承裝置)的加壓部件的移動(dòng)。專利文獻(xiàn)1的圖1 (a)、(b)記載的技術(shù)為了提高凹球面部件的外周面與筒狀部之間的密封性，在凹球面部件的外周設(shè)有0型環(huán)。但是，這樣使用0型環(huán)將氣壓等的流體壓力作為驅(qū)動(dòng)源進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的機(jī)構(gòu)通常為了降低可動(dòng)部件(專利文獻(xiàn)1的圖1(a)、(b)中的流體壓力缸12)的移動(dòng)阻力而需要使用潤(rùn)滑脂，具有潤(rùn)滑脂的揮發(fā)成分造成清潔室內(nèi)污染的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述課題而提出的，其目的在于提供一種自由滾珠軸承、使用該軸承的軸承裝置、支承臺(tái)、搬運(yùn)設(shè)備、轉(zhuǎn)臺(tái)，該自由滾珠軸承可防止粉塵向清潔室內(nèi)飛散，并且，通過(guò)不使用潤(rùn)滑脂的無(wú)潤(rùn)滑脂方式將用于壓入支承球來(lái)增大主球的旋轉(zhuǎn)阻力的支承球扣環(huán)的移動(dòng)阻力抑制得較低。為了解決上述課題，本發(fā)明提供以下的構(gòu)成。(1)本發(fā)明第一方面，提供一種自由滾珠軸承，其具備主體，其具有球支承部，該球支承部形成有以半球狀凹面為內(nèi)面的球支承用凹部；多個(gè)支承球、及主球，所述多個(gè)支承球配置在所述主體的所述半球狀凹面，所述主球的直徑比所述支承球的直徑大，所述主球經(jīng)由所述支承球被旋轉(zhuǎn)自如地支承；罩部，其在確保規(guī)定的內(nèi)側(cè)空間的同時(shí)包圍所述主體的所述球支承部；支承球扣環(huán)，其具有環(huán)狀按壓片，該按壓片插入所述主體的所述半球狀凹面與所述主球之間，按壓所述支承球，所述支承球扣環(huán)在按壓所述支承球的按壓位置與釋放所述支承球的釋放位置之間，可沿所述球支承用凹部的深度方向在所述內(nèi)側(cè)空間內(nèi)移動(dòng)；按壓解除機(jī)構(gòu)，其對(duì)所述支承球扣環(huán)施加位移力，使所述支承球扣環(huán)從所述按壓位置移動(dòng)到所述釋放位置，在所述罩部形成具有比所述主球的直徑小的直徑的開(kāi)口部，所述主球的局部從所述開(kāi)口部朝向前端側(cè)突出，在所述主體及/或所述罩部形成與所述內(nèi)側(cè)空間連通且在所述前端側(cè)的相反側(cè)即基端側(cè)開(kāi)口的氣體吸引孔，所述支承球扣環(huán)具有配置在所述球支承部的外周面與所述罩部的內(nèi)周面之間的驅(qū)動(dòng)用環(huán)部，所述驅(qū)動(dòng)用環(huán)部具有隔著可流通氣體的第一間隙而與所述球支承部的外周面接近配置的內(nèi)周面、隔著可流通氣體的第二間隙而與所述罩部的內(nèi)周面接近配置的外周面，在所述驅(qū)動(dòng)用環(huán)部的所述內(nèi)周面及/或所述外周面設(shè)有沿其周向延伸的槽或磨損環(huán)，所述第一間隙及所述第二間隙的大小如下設(shè)定，即，在經(jīng)由所述氣體吸引孔吸引所述內(nèi)側(cè)空間內(nèi)的氣體時(shí)，對(duì)所述支承球扣環(huán)施加向所述內(nèi)側(cè)空間的基端側(cè)的位移力。(2)在上述⑴所述的自由滾珠軸承中，作為所述按壓解除機(jī)構(gòu)，可以在所述內(nèi)側(cè)空間還具有用于對(duì)所述支承球扣環(huán)施加位移力，從所述按壓位置向所述釋放位置對(duì)所述支承球扣環(huán)進(jìn)行彈性施力的彈簧。(3)在上述⑴或⑵所述的自由滾珠軸承中，可以構(gòu)成為，所述主體還具有在所述球支承部的基端側(cè)突出設(shè)置的絲杠軸，所述氣體吸引孔形成于所述主體，在所述絲杠軸的軸心方向上貫通所述絲杠軸，并在所述球支承部的外周面開(kāi)口。(4)在上述(1)或⑵所述的自由滾珠軸承中，所述罩部可以具有環(huán)狀基端側(cè)罩部件，其螺紋安裝在所述主體的所述絲杠軸；環(huán)狀帽，其嵌合或螺紋安裝在所述基端側(cè)罩部件的外周部，形成有所述主球突出用開(kāi)口部。(5)本發(fā)明第二方面，提供一種軸承裝置，其具有上述(1)或( 所述的自由滾珠軸承；與所述自由滾珠軸承的所述氣體吸引孔連接的吸引裝置。(6)本發(fā)明第三方面，提供一種支承臺(tái)，其設(shè)有上述(5)所述的軸承裝置，將所述軸承裝置的所述自由滾珠軸承安裝在水平基臺(tái)的多處，用于將所述吸引裝置與所述自由滾珠軸承的所述氣體吸引孔可進(jìn)行氣體吸引地連接的配管從所述基臺(tái)的下側(cè)與所述氣體吸引孔連接。(7)本發(fā)明第四方面，提供一種搬運(yùn)設(shè)備，其具有上述(6)所述的支承臺(tái)。(8)本發(fā)明第五方面，提供一種轉(zhuǎn)臺(tái)，其具有基體部件、可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述基體部件上的旋轉(zhuǎn)臺(tái)、使所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，通過(guò)安裝于所述基體部件及/或所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的上述(1)或( 所述的自由滾珠軸承，相對(duì)于所述基體部件可旋轉(zhuǎn)地支承所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)，所述吸引裝置與各自由滾珠軸承連接。根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)經(jīng)由形成于自由滾珠軸承的主體及/或罩部的氣孔(以下也稱為氣體吸引孔)吸引所述內(nèi)側(cè)空間內(nèi)的氣體，可對(duì)支承球扣環(huán)作用向自由滾珠軸承內(nèi)側(cè)空間的基端側(cè)的位移力。由此，可通過(guò)在支承球扣環(huán)突出設(shè)置的環(huán)狀按壓片壓入支承球來(lái)增大主球的旋轉(zhuǎn)阻力。在進(jìn)行來(lái)自氣孔的氣體吸引時(shí)，以將支承球扣環(huán)的驅(qū)動(dòng)用環(huán)部向自由滾珠軸承內(nèi)側(cè)空間的基端側(cè)吸引的方式，對(duì)支承球扣環(huán)施加向內(nèi)側(cè)空間的基端側(cè)的位移力。支承球扣環(huán)的驅(qū)動(dòng)用環(huán)部的槽或磨損環(huán)對(duì)支承球扣環(huán)的位移力的產(chǎn)生具有有效地作用。另外，所述支承球扣環(huán)的驅(qū)動(dòng)用環(huán)部的內(nèi)周面隔著可流通氣體的微小間隙而接近配置在所述球支承部的外周面，外周面隔著可流通氣體的微小間隙而接近配置在隔著所述內(nèi)側(cè)空間與球支承部的外周面相對(duì)的罩部的內(nèi)周面。因此，在從氣孔吸引所述內(nèi)側(cè)空間內(nèi)的氣體時(shí)，在所述間隙形成氣流。在使用磨損環(huán)的情況下，通過(guò)磨損環(huán)的切縫狀不連續(xù)部來(lái)確保所述間隙的氣流。因此，在從氣孔吸引所述內(nèi)側(cè)空間內(nèi)的氣體時(shí)，在自由滾珠軸承的內(nèi)側(cè)空間，也可以從所述支承球扣環(huán)的驅(qū)動(dòng)用環(huán)部吸引釋放端側(cè)(主球突出用開(kāi)口部、球支承用凹部側(cè))的氣體。由此，可防止伴隨支承球扣環(huán)的移動(dòng)而產(chǎn)生的、揚(yáng)塵從罩部向外側(cè)排出ο
而且，本發(fā)明的自由滾珠軸承由于在所述球支承部及所述罩部與支承球扣環(huán)之間不設(shè)有潤(rùn)滑脂，故而可將支承球扣環(huán)的向球支承部高度方向的移動(dòng)阻力抑制得較低。因此， 通過(guò)來(lái)自氣孔的氣體吸引等可容易地實(shí)現(xiàn)支承球扣環(huán)的移動(dòng)。另外，由于不使用潤(rùn)滑脂，故而可避免由于潤(rùn)滑脂的揮發(fā)成分而污染清潔室內(nèi)的不良情況。


圖IA是表示本發(fā)明一實(shí)施方式的自由滾珠軸承的構(gòu)成的局部剖面圖，表示未進(jìn)行基于支承球扣環(huán)的、支承球制動(dòng)的狀態(tài)；圖IB是圖IA的自由滾珠軸承，表示基于支承球扣環(huán)進(jìn)行的支承球的制動(dòng)狀態(tài)；圖2是表示圖1A、IB的自由滾珠軸承的支承球扣環(huán)的驅(qū)動(dòng)用環(huán)部附近的放大剖面圖；圖3是說(shuō)明應(yīng)用了本發(fā)明的自由滾珠軸承、使用該自由滾珠軸承的軸承裝置、使用該自由滾珠軸承的支承臺(tái)的搬運(yùn)設(shè)備即基板處理設(shè)備之一例的俯視圖；圖4是說(shuō)明圖3的基板處理設(shè)備的支承臺(tái)的正面圖；圖5是說(shuō)明圖3的基板處理設(shè)備的支承臺(tái)的俯視圖；圖6是表示對(duì)圖1A、1B的自由滾珠軸承的摩擦阻力進(jìn)行探討后的試驗(yàn)結(jié)果的圖；圖7是表示本發(fā)明一實(shí)施方式的自由滾珠軸承的構(gòu)成的圖，是表示支承球扣環(huán)的驅(qū)動(dòng)用環(huán)部附近的放大剖面一例的立體圖； 例的側(cè)面圖。圖8是表示磨損環(huán)之
圖9是表示轉(zhuǎn)臺(tái)之一
標(biāo)記說(shuō)明
1 基板
10自由滾珠軸承
11內(nèi)側(cè)空間
20主體
23球支承部
30罩部
41支承球
42主球
50支承球扣環(huán)。
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明的一實(shí)施方式。(第一實(shí)施方式)首先，參照?qǐng)D1A、1B說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施方式的自由滾珠軸承。另外，在圖1A、1B中，關(guān)于該自由滾珠軸承10，以主球向上突出的設(shè)置方式為例， 以垂直上側(cè)為上、垂直下側(cè)為下進(jìn)行說(shuō)明。該自由滾珠軸承10相對(duì)垂直方向也可以朝向上述以外的任意方向設(shè)置。
如圖3、圖4所示，在此說(shuō)明的自由滾珠軸承10可安裝在將例如液晶用母玻璃、硅基板(晶圓)等基板1精密地定位的基板用定位臺(tái)80 (支承臺(tái))的水平基臺(tái)81上如圖3所示，上述基板定位用臺(tái)80設(shè)置在對(duì)基板1進(jìn)行加膜等的處理設(shè)備的清潔室82內(nèi)。在清潔室82內(nèi)設(shè)置有進(jìn)行成膜、抗蝕劑涂敷、曝光、蝕刻等處理的多個(gè)處理室 83(腔室)。上述基板定位用臺(tái)80設(shè)于清潔室82內(nèi)的各處理室83的基板搬入搬出門(mén)(可開(kāi)關(guān)的閘門(mén)83a)的外側(cè)，起到如下的作用，即，在清潔室82內(nèi)將由在每個(gè)處理室83都設(shè)置的搬運(yùn)裝置84搬入的基板1，在被處理室83內(nèi)的基板搬運(yùn)裝置(處理室內(nèi)搬運(yùn)裝置)搬運(yùn)之前進(jìn)行定位。上述搬運(yùn)裝置84分別設(shè)置在設(shè)于清潔室82內(nèi)的中央機(jī)械手(七 > 夕一 α # 7 卜)85與對(duì)應(yīng)于各處理室83設(shè)置的基板定位用臺(tái)80之間，進(jìn)行在中央機(jī)械手85與基板定位用臺(tái)80之間的基板1的搬運(yùn)。中央機(jī)械手85進(jìn)行在搬運(yùn)裝置84之間的基板1的轉(zhuǎn)移、 及基板1相對(duì)于對(duì)清潔室82的搬入搬出用的、在搬入搬出裝置86與搬運(yùn)裝置84間的基板 1的轉(zhuǎn)移。搬入到基臺(tái)81的基板1以載置于主球42 (后述)上的狀態(tài)被水平支承，所述主球 42在突出設(shè)置于基臺(tái)81上的多處的自由滾珠軸承10的上部突出。而且，如圖5所示，在該狀態(tài)下，設(shè)于基板定位用臺(tái)80的定位裝置的L形的一對(duì)定位部件87與矩形板狀基板1的四角隅角部中位于對(duì)角線上的一組角部抵接，通過(guò)從兩側(cè)夾持基板1而對(duì)基板1進(jìn)行定位。如圖5中箭頭標(biāo)記G所示，上述一對(duì)定位部件87通過(guò)設(shè)于定位裝置的驅(qū)動(dòng)裝置而進(jìn)行移動(dòng)，相互間隔方向的距離可變。上述一對(duì)定位部件87在從兩側(cè)夾持基板1進(jìn)行定位后，以相互分離的方式移動(dòng)，避讓到不妨礙基板1的下一搬運(yùn)動(dòng)作的位置。如圖1Α、1Β所示，在此說(shuō)明的自由滾珠軸承10包括以下部分。主體20具有形成有以半球狀凹面21為內(nèi)面的球支承用凹部22的塊狀(具體而言為圓柱狀)球支承部23及從該球支承部23的上述球支承用凹部22的開(kāi)口部相反側(cè)(基端側(cè))的端部突出的絲杠軸 24。殼體狀的罩部30以包圍該主體20的上述球支承部23的方式設(shè)置。多個(gè)支承球41配置于上述球支承部23的上述半球狀凹面21。主球42形成為直徑比該支承球41大，經(jīng)由上述支承球41旋轉(zhuǎn)自如地支承于上述半球狀凹面21。支承球扣環(huán)50在由上述球支承部23 與上述罩部30之間確保的內(nèi)側(cè)空間11內(nèi)，可在與上述球支承用凹部22的深度方向一致的方向即球支承部高度方向(圖1Α、1Β中的上下方向)移動(dòng)。彈簧60 (按壓解除機(jī)構(gòu))組裝在上述罩部30的內(nèi)側(cè)，將上述支承球扣環(huán)50向上述球支承部高度方向上的、與上述內(nèi)側(cè)空間的基端側(cè)相反的方向彈性施力。上述主球42的一部分從在上述罩部30形成的主球突出用開(kāi)口部31突出。通過(guò)上述罩部30防止上述主球42的飛出。上述罩部30的主球突出用開(kāi)口部31的內(nèi)徑比主球42的外徑小。如圖1Α、1Β所示，在主球42被與主體20的球支承部23的半球狀凹面21接觸的多個(gè)支承球41支承且未從上述支承球41浮起的狀態(tài)下，該主球突出用開(kāi)口部31的內(nèi)徑大小為，在主球突出用開(kāi)口部31的內(nèi)周面與主球42之間可確保主球42浮動(dòng)的間隙C。圖1Α、1Β中，符號(hào)20a表示的假想線是上述主體20的絲杠軸M的中心軸線。上述主體20的上述球支承用凹部22的開(kāi)口部中央及上述球支承用凹部22的最深部位于符號(hào)20a表示的假想線即上述中心軸線20a上。以下，也將上述中心軸線20a稱作主體軸線。在圖4中，該自由滾珠軸承10在基板定位用臺(tái)80的基臺(tái)81上擰入絲杠軸24，以
8球支承用凹部22的開(kāi)口部位于球支承部23上部的方式以主體軸線20a垂直的朝向進(jìn)行固定。但是，該自由滾珠軸承10也可以以球支承用凹部22的開(kāi)口部位于球支承部23的上部的方式以主體軸線20a傾斜的朝向而使用，另外，也可以以球支承部高度方向水平的朝向而使用。例如，即使在以支承部高度方向水平的朝向使用的情況下，主球42被支承球41支承，也可全方向地旋轉(zhuǎn)，如后所述，只要不由支承球扣環(huán)60壓入支承球41，則主球42的旋轉(zhuǎn)阻力小，主球42能夠以輕力順暢地旋轉(zhuǎn)。圖1A、1B中，作為本發(fā)明的自由滾珠軸承10的主體20、罩部30、支承球41及主球 42、支承球扣環(huán)50可采用金屬制或塑料制等。另外，從防止在基板1與主球42接觸時(shí)基板1上的靜電引起的電火花的產(chǎn)生的觀點(diǎn)出發(fā)，作為主球42采用以具有103 1010 Ω / □的表面電阻率的方式由導(dǎo)電性(狹義的導(dǎo)電性)及半導(dǎo)電性樹(shù)脂構(gòu)成，而且，優(yōu)選形成具有與該主球42相接的接地用通電部的構(gòu)成。例如，采用上述具有103 1010 Ω / □的表面電阻率的主球42，采用由不銹鋼等導(dǎo)電性金屬形成的支承球41，而且，作為主體20，采用由不銹鋼等導(dǎo)電性金屬形成的構(gòu)成，或在由塑料等絕緣材料構(gòu)成的基材內(nèi)具有由電線等構(gòu)成的通電電路(包括與支承球41相接來(lái)確保電導(dǎo)通的接觸部)的構(gòu)成，由此，可得到具有由支承球41和主體20構(gòu)成的接地用通電部的構(gòu)成的自由滾珠軸承。通過(guò)將接地用通電部與自由滾珠軸承的外部的接地用電路連接， 可防止基板1與主球滾珠42相接時(shí)的電火花的產(chǎn)生。由于電火花的產(chǎn)生是造成基板1損傷的原因，故而通過(guò)采用上述構(gòu)成的自由滾珠軸承10可防止由電火花引起的基板1的損傷， 可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品成品率的提高等。支承球41、主體20也可以由半導(dǎo)電性樹(shù)脂構(gòu)成。另外，圖示例的自由滾珠軸承10將作為安裝部的絲杠軸M與主體20 —體成形。 因此，絲杠軸M為與主體20相同的導(dǎo)電性或半導(dǎo)電性樹(shù)脂，但也可以將絲杠軸獨(dú)立構(gòu)成。 該情況下，也可由導(dǎo)電性金屬構(gòu)成絲杠軸的一部分。作為形成主球滾珠42的導(dǎo)電性樹(shù)脂材料，可采用向基體樹(shù)脂中分散混入有導(dǎo)電性金屬填充劑而成的材料、或向基體樹(shù)脂中添加防帶電聚合物而成的材料等，通過(guò)這樣的材料，具有103 1010 Ω / □的表面電阻率。作為基體樹(shù)脂，可采用Ρ0Μ(聚甲醛)、ΡΑΙ (聚酰胺-酰亞胺)、PBI (聚苯并咪唑)、PCTFE (聚氯三氟乙烯)、PEE K (聚醚醚酮)、PEI (聚醚酰亞胺)、ΡΙ (聚酰亞胺)、PPS (聚苯硫醚)、蜜胺樹(shù)脂、芳香族聚酰胺樹(shù)脂(聚酰胺樹(shù)脂) 等。另外，也可以使用LCP (液晶聚合物)、PBT (聚對(duì)苯二甲酸丁二酯)、PES (聚醚砜)、其它樹(shù)脂。從對(duì)真空裝置內(nèi)的環(huán)境的特性穩(wěn)定性等方面出發(fā)， 7 > (芳香族聚酰胺樹(shù)脂即杜邦公司的注冊(cè)商標(biāo))及PBI合適。主體20及罩部30、支承球扣環(huán)50也可由同樣的導(dǎo)電性樹(shù)脂材料形成。另外，導(dǎo)電性樹(shù)脂是指與絕緣性樹(shù)脂相比廣義的意思，包括所謂的半導(dǎo)電性樹(shù)脂和狹義的導(dǎo)電性樹(shù)脂。通常，體積電阻率為1013 Ω cm程度以下的合成樹(shù)脂可在與絕緣性樹(shù)脂相比的廣義上稱為導(dǎo)電性樹(shù)脂。其中，體積電阻率為105 1013Qcm程度的樹(shù)酯可稱為半導(dǎo)電性樹(shù)脂，另外，體積電阻率為105 IOlOQcm程度的樹(shù)酯作為適于控制靜電妨障礙的半導(dǎo)電性
9樹(shù)脂也被稱為制電性樹(shù)脂(制電樹(shù)脂)。根據(jù)該意思，本發(fā)明的自由滾珠軸承中構(gòu)成主球等的導(dǎo)電性樹(shù)脂(導(dǎo)電性樹(shù)脂成形品)也可稱為導(dǎo)電性及制電性樹(shù)脂。另外，作為本發(fā)明的自由滾珠軸承的主體20、罩部30、支承球41及主球42、支承球扣環(huán)50，可由不具有導(dǎo)電性、半導(dǎo)電性的材質(zhì)(例如金屬、塑料等)形成。如圖1A、1B所示，主體20的絲杠軸M從塊狀(具體而言為圓柱狀)的球支承部 23的基端側(cè)的端面(底面23a)突出。換言之，上述主體20在絲杠軸M的一端突設(shè)有比該絲杠軸M粗的外觀圓柱狀的球支承部23。圖示例的自由滾珠軸承10中，具體而言，上述罩部30在螺紋安裝于上述主體20 的上述絲杠軸M的環(huán)狀基端側(cè)罩部件32的外周部螺紋安裝形成有上述主球突出用開(kāi)口部 31的環(huán)狀帽33而一體化構(gòu)成。上述基端側(cè)罩部件32在環(huán)狀底板32a的外周整周設(shè)有向該底板32a的一面?zhèn)韧怀龅闹鼙诓?2b。而且，該基端側(cè)罩部件32通過(guò)貫通上述底板32a中央部的陰螺紋孔32c 螺紋安裝于上述絲杠軸M的外側(cè)而進(jìn)行安裝，以其周壁部32b包圍主體20的球支承部23 的周圍的方式配置。另外，圖1A、1B中，基端側(cè)罩部件32的底板3 與球支承部23的底面 23a抵接。另外，帽33為在形成有上述主球突出用開(kāi)口部31的環(huán)狀蓋板部33a的外周整周設(shè)有向該蓋板部33a的一面?zhèn)韧怀龅膫?cè)壁部33b的構(gòu)成，將在上述側(cè)壁部33b的內(nèi)周側(cè)形成的內(nèi)螺紋部33c旋入在基端側(cè)罩部件32的周壁部32b的外周側(cè)形成的外螺紋部32d而螺紋安裝于基端側(cè)罩部件32，以通過(guò)蓋板部33a覆蓋上述主體20的球支承部23的球支承用凹部22的開(kāi)口部的周圍的端面(前端面23b)的方式設(shè)置。另外，帽33也可以代替上述構(gòu)成而如下構(gòu)成。在上述側(cè)壁部33b的內(nèi)周側(cè)形成圓環(huán)形內(nèi)側(cè)槽部33c。另外，在基端側(cè)罩部件32的周壁部32b的外周側(cè)形成圓環(huán)形外側(cè)槽部 32d。而且，也可以使上述內(nèi)側(cè)槽部33c和上述外側(cè)槽部32d嵌合(或嚙入、或嵌入)。如圖1A、1B所示，支承球扣環(huán)50是以外插于主體20的球支承部23的方式在上述球支承部23與罩部30之間的內(nèi)側(cè)空間11沿球支承部高度方可移動(dòng)地被收納的環(huán)狀部件。該支承球扣環(huán)50的構(gòu)成具備主體環(huán)53，其由配置在帽33的蓋板部33a與球支承部23的前端面2 之間的環(huán)狀頂板部51及遍及該頂板部51的整個(gè)外周在頂板部51的一面?zhèn)壤郀畹赝怀鲈O(shè)置并配置在帽33的球支承部23的外周面23c與隔著上述內(nèi)側(cè)空間11 面對(duì)該外周面23c的罩部30的內(nèi)周面34之間的圓筒部52構(gòu)成；驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M，其從該主體環(huán)53的圓筒部52側(cè)的端部延伸出且配置在球支承部23的外周面23c與隔著上述內(nèi)側(cè)空間11面對(duì)該外周面23c的罩部30的內(nèi)周面34之間；環(huán)狀按壓片55，其遍及上述主體環(huán) 53的頂板部51的內(nèi)周端整周而肋狀地突出設(shè)置，插入上述主體20的上述半球狀凹面21與上述主球42之間，用于壓入上述支承球41。如圖2所示，上述驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的構(gòu)成為，具有隔著可流通氣體的微小間隙 12a(以下，也稱為內(nèi)周側(cè)微小間隙、或第一間隙)與上述球支承部23的外周面23c接近配置的內(nèi)周面Ma、和隔著可流通氣體的微小間隙12b(以下，也稱為外周側(cè)微小間隙、或第二間隙)與隔著上述內(nèi)側(cè)空間11面對(duì)上述球支承部23的外周面23c的罩部30的內(nèi)周面34 接近配置的外周面Mb，而且，在內(nèi)周面5 及外周面54b分別形成(整周設(shè)置)有沿其周向延伸的槽^c。上述槽5 形成在內(nèi)周面5 及外周面54b各自的驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的中心軸線方向的多處(圖示例為兩處)。內(nèi)周側(cè)微小間隙12a的寬度(球支承部23的外周面23c與驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的內(nèi)周面5 之間的距離)為例如0. 03 0. 07mm程度。外周側(cè)微小間隙12b的寬度(罩部30 的內(nèi)周面34與驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的外周面54b之間的距離)也設(shè)定為同程度大小。內(nèi)周側(cè)微小間隙1 及外周側(cè)微小間隙12b的寬度大小為在經(jīng)由后述的氣孔25吸引內(nèi)側(cè)空間11的氣體時(shí)對(duì)上述支承球扣環(huán)施加向上述內(nèi)側(cè)空間的基端側(cè)的位移力的大小。該大小可根據(jù)彈簧60的彈力等調(diào)整為適度的大小。在上述主體20形成有用于通過(guò)設(shè)置在該自由滾珠軸承10外部的吸引裝置70進(jìn)行內(nèi)側(cè)空間11內(nèi)的氣體吸引的氣孔25(氣體吸引孔)。如圖1A、1B所示，具體而言，上述氣孔25的構(gòu)成具備以從自球支承部23的底面 23a突出的絲杠軸M的突出前端達(dá)到球支承部23的方式穿設(shè)的主孔25a、從該主孔25a的內(nèi)端(球支承部23側(cè)的端部)沿與該主孔2 正交的方向延伸并在球支承部23的外周面 23c開(kāi)口且與內(nèi)側(cè)空間11連通的支孔25b。因此，通過(guò)在絲杠軸M的前端(自球支承部23 的突出前端)開(kāi)口的氣孔25的開(kāi)口部即吸引口 25c連接吸引裝置70，可在自由滾珠軸承 10的內(nèi)側(cè)空間11作用吸引裝置70的吸引力。圖4中，自由滾珠軸承10在基板定位用臺(tái)80的基臺(tái)81的螺紋孔81a從該基臺(tái)81 的上側(cè)擰入絲杠軸M而安裝于上述基臺(tái)81。上述絲杠軸M貫通基臺(tái)81，其前端部向基臺(tái) 81的下側(cè)突出。另外，自由滾珠軸承10使基端側(cè)罩部件32的底板3 與基臺(tái)81上表面抵接而安裝于基臺(tái)81。圖4所示的基板定位用臺(tái)80的構(gòu)成為，在基臺(tái)81的多處安裝有上述自由滾珠軸承10，另外，具備經(jīng)由配管71與從各自由滾珠軸承10的絲杠軸M的向基臺(tái)81的下側(cè)突出的前端部連接的吸引裝置70。本發(fā)明的軸承裝置經(jīng)由配管71將吸引裝置70與自由滾珠軸承10的氣孔25連接。示例了圖示例的基板定位用臺(tái)80具備將安裝于基臺(tái)81的多個(gè)自由滾珠軸承 10(其內(nèi)側(cè)空間11)全部經(jīng)由配管71與一個(gè)吸引裝置70連接而成的軸承裝置的構(gòu)成，但不限于此，也可以為在基板定位用臺(tái)設(shè)置多個(gè)吸引裝置70的構(gòu)成，也可以為將安裝于基臺(tái)81 的多個(gè)自由滾珠軸承10與相互不同的吸引裝置連接的構(gòu)成。在該自由滾珠軸承10經(jīng)由配管71、氣孔25可使上述吸引裝置70的吸引力作用于內(nèi)側(cè)空間11。如圖IA所示，在上述吸引裝置70的吸引力未對(duì)內(nèi)側(cè)空間11作用時(shí)，自由滾珠軸承10的支承球扣環(huán)50通過(guò)彈簧60的彈性從按壓片55壓入球支承部23的支承球41的位置(圖IB所示的位置。以下，也稱為支承球按壓位置、或按壓位置)配置于與帽33的蓋板部33a的側(cè)(內(nèi)側(cè)空間11的開(kāi)放端側(cè))分離的位置(也稱為待機(jī)位置或釋放位置；圖IA 所示的位置)。圖示例的自由滾珠軸承10中，在支承球扣環(huán)50的主體環(huán)53與相對(duì)該主體環(huán)53 向其外周側(cè)稍微錯(cuò)開(kāi)的位置的驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M之間的臺(tái)階部分形成的抵接面56 (驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的主體環(huán)側(cè)的端面)通過(guò)彈簧60的彈性從內(nèi)側(cè)空間11的基端側(cè)抵接于向帽33的側(cè)壁部3 的內(nèi)周側(cè)伸出的突壁部35的位置為支承球扣環(huán)50的待機(jī)位置。在支承球扣環(huán)50
11處于待機(jī)位置時(shí)，其頂板部51不與帽33的蓋板部33a抵接，為在帽33的蓋板部33a與頂板部51之間確保微小間隙的位置。在使上述吸引裝置70的吸引力對(duì)自由滾珠軸承10的內(nèi)側(cè)空間11不進(jìn)行作用，支承球扣環(huán)50處于圖IA所示的待機(jī)位置的狀態(tài)下，當(dāng)使上述吸引裝置70的吸引力作用于內(nèi)側(cè)空間11時(shí)，如圖IB所示，對(duì)支承球扣環(huán)50施加向內(nèi)側(cè)空間11的基端側(cè)(圖1A、1B中下側(cè))的位移力，支承球扣環(huán)50從上述待機(jī)位置向內(nèi)側(cè)空間11的基端側(cè)(將支承球41壓入的按壓方向)移動(dòng)，該支承球扣環(huán)50的按壓片55壓入球支承部23的支承球41。其結(jié)果， 抑制球支承部23的支承球41的旋轉(zhuǎn)，與未施加向內(nèi)側(cè)空間11的基端側(cè)的位移力相比，主球42的旋轉(zhuǎn)阻力增大。如上所述，驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的內(nèi)周面5 及外周面54b相對(duì)球支承部23的外周面 23c及罩部30的內(nèi)周面34隔著可流通氣體的微小間隙12a、12b接近配置。另外，如圖IA 所示，在支承球扣環(huán)50處于待機(jī)位置時(shí)，支承球扣環(huán)50的主體環(huán)53的圓筒部52及按壓片 55不與球支承部23的外周面23c或罩部30的內(nèi)周面34緊密接觸，處于在與球支承部23 及罩部30之間確保可流通氣體的間隙(與驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的兩側(cè)的間隙12a、12b連通的間隙)的狀態(tài)。在經(jīng)由氣孔25對(duì)自由滾珠軸承10的內(nèi)側(cè)空間11作用上述吸引裝置70的吸引力時(shí)，存在于內(nèi)側(cè)空間11的比驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M更靠主球突出用開(kāi)口部31側(cè)的氣體通過(guò)間隙 12a、12b向內(nèi)側(cè)空間11的比驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M更靠基端側(cè)的部位流通。而且，在間隙lh、12b 流通的氣流的一部分形成進(jìn)入在驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M形成的槽5 的湍流，產(chǎn)生按壓位于槽5 的特別是驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的前端側(cè)(內(nèi)側(cè)空間11的基端側(cè)。與支承球扣環(huán)50的設(shè)有頂板部51的前端側(cè)相反的后端側(cè))的內(nèi)側(cè)面54d的按壓力。由此，對(duì)支承球扣環(huán)50作用向內(nèi)側(cè)空間11的基端側(cè)的位移力，通過(guò)吸引裝置70的吸引力對(duì)支承球扣環(huán)50作用比彈簧60的彈性大的位移力，由此，如圖IB所示，支承球扣環(huán)50向內(nèi)側(cè)空間11的基端側(cè)(按壓方向) 移動(dòng)。需要進(jìn)一步驗(yàn)證，但可以認(rèn)為，當(dāng)槽5 的數(shù)量多時(shí)，可增強(qiáng)通過(guò)吸引裝置70的吸引力對(duì)支承球扣環(huán)50作用的位移力。另外，上述支承球扣環(huán)50通過(guò)在驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的外周側(cè)及內(nèi)周側(cè)的間隙12a、12b 流通的氣流可穩(wěn)定地確保與球支承部23的外周面23c及罩部30的內(nèi)周面34的非接觸狀態(tài)。因此，可抑制由于與支承球扣環(huán)50的球支承部23及罩部30的接觸引起的移動(dòng)阻力的發(fā)生，所以，與球支承部23及罩部30的接觸引起的移動(dòng)阻力與支承球扣環(huán)50的移動(dòng)基本無(wú)關(guān)。在驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的外周側(cè)及內(nèi)周側(cè)的間隙12a、12b未設(shè)置用于降低支承球扣環(huán) 50的移動(dòng)阻力的潤(rùn)滑用潤(rùn)滑脂。該自由滾珠軸承10中，在支承球扣環(huán)50與球支承部23之間、支承球扣環(huán)50與罩部30之間也可以不設(shè)置潤(rùn)滑脂，如上所述，通過(guò)由在驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的外周側(cè)及內(nèi)周側(cè)的間隙12a、12b流通的氣流穩(wěn)定地確保與球支承部23的外周面23c及罩部30的內(nèi)周面34的非接觸狀態(tài)，可將支承球扣環(huán)50的移動(dòng)阻力抑制得較低。而且，可順暢地進(jìn)行支承球扣環(huán) 50的移動(dòng)。因此，為不使用潤(rùn)滑脂的構(gòu)成，且不需要大幅提高支承球扣環(huán)50的移動(dòng)(從待機(jī)位置向支承球按壓位置的移動(dòng))所需的吸引裝置70的吸引力，可實(shí)現(xiàn)不大幅提高吸引力而進(jìn)行支承球扣環(huán)50的移動(dòng)。另外，因?yàn)槭遣皇褂脻?rùn)滑脂的構(gòu)成，所以，當(dāng)然也不產(chǎn)生由于從潤(rùn)滑脂釋放出的揮發(fā)成分帶來(lái)的清潔室內(nèi)的污染的問(wèn)題。另外，如圖IA所示，在支承球扣環(huán)50的按壓片55與球支承部23之間也確保處于待機(jī)位置的支承球扣環(huán)50與主體20的球支承部23之間的間隙，當(dāng)開(kāi)始吸引裝置70進(jìn)行的內(nèi)側(cè)空間11的氣體吸引時(shí)，經(jīng)由支承球扣環(huán)50與主體20的球支承部23之間的間隙將球支承部23的球支承用凹部22內(nèi)的氣體也吸引到吸引裝置70。上述支承球扣環(huán)50的按壓片55的外徑比球支承用凹部22的開(kāi)口部的內(nèi)徑稍小， 另外，在上述按壓片55位于支承球按壓位置時(shí)，該按壓片55的外周不與球支承用凹部22 的半球狀凹面21接觸，在按壓片55與上述半球狀凹面21之間確保氣體可流通的間隙。因此，吸引裝置70進(jìn)行的球支承用凹部22內(nèi)的氣體吸引在按壓片55處于支承球按壓位置時(shí)也繼續(xù)進(jìn)行。即使由于按壓片陽(yáng)與支承球41接觸產(chǎn)生微量的粉塵(揚(yáng)塵)，也可通過(guò)由吸引裝置70進(jìn)行的球支承用凹部22內(nèi)的氣體吸引將該粉塵回收到吸引裝置70，可防止粉塵從罩部30的主球突出用開(kāi)口部31向外釋放出。另外，在按壓片55處于支承球按壓位置時(shí)，該按壓片55不與主球42接觸。如圖4、圖5所示，基板定位用臺(tái)80在各自由滾珠軸承10的支承球扣環(huán)50處于待機(jī)位置的狀態(tài)下將基板1搬入基臺(tái)81上。而且，在定位裝置的L形的一對(duì)定位部件87進(jìn)行基板1的定位動(dòng)作(通過(guò)一對(duì)定位部件87夾持基板1)后，對(duì)各自由滾珠軸承10的內(nèi)側(cè)空間11作用吸引裝置70的吸引力，通過(guò)支承球扣環(huán)50壓入支承球41而形成抑制支承球 41及主球42的旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)，然后解除由定位裝置的一對(duì)定位部件87進(jìn)行的基板1的夾持?；?(特別是尺寸大的基板)在載置于基臺(tái)81上時(shí)，有時(shí)存在微小的彎曲，通過(guò)多個(gè)定位部件87夾持定位時(shí)，通常也不消除上述彎曲。而且，在殘留這樣的彎曲的狀態(tài)下， 將定位部件彼此之間分離開(kāi)來(lái)解除基板1的夾持時(shí)，有時(shí)由于上述彎曲的影響而產(chǎn)生稍許錯(cuò)位。若基板定位用臺(tái)80上的基板1的錯(cuò)位大，通過(guò)處理室83(參照?qǐng)D幻內(nèi)的基板搬運(yùn)裝置(處理室內(nèi)搬運(yùn)裝置)將其搬入到處理室83內(nèi)后也不消除，則對(duì)在處理室內(nèi)進(jìn)行的處理工藝也帶來(lái)影響，因此，從確?；?的加工等處理精度方面出發(fā)，優(yōu)選縮小或消除在基板定位用臺(tái)80上的基板1的錯(cuò)位。以往，作為基板定位用臺(tái)使用的自由滾珠軸承，希望主球的旋轉(zhuǎn)阻力盡量小。但是，判明了當(dāng)主球的旋轉(zhuǎn)阻力非常小時(shí)，將夾持基板進(jìn)行定位的定位部件彼此之間分離開(kāi)來(lái)解除基板1的夾持時(shí)，存在由基板1的彎曲引起的錯(cuò)位變大的傾向。如上所述，本發(fā)明的發(fā)明者發(fā)現(xiàn)，通過(guò)支承球扣環(huán)50壓入支承球41而形成抑制支承球41及主球42的旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)，然后解除由定位裝置的一對(duì)定位部件87對(duì)基板1的夾持， 由此可抑制或消除解除了定位部件對(duì)基板1的夾持后的基板1的錯(cuò)位。另外，判明了，由支承球扣環(huán)50壓入支承球41進(jìn)行的支承球41及主球42的旋轉(zhuǎn)抑制，與在解除定位部件對(duì)基板1的夾持后以主球42不旋轉(zhuǎn)的方式固定相比，允許主球42 相對(duì)基板1的微動(dòng)的跟隨旋轉(zhuǎn)，通過(guò)主球42的旋轉(zhuǎn)阻力抑制基板1的位移，在抑制定位部件的夾持解除后的基板1的錯(cuò)位方面是理想的。因此，支承球扣環(huán)50對(duì)支承球41的壓入不需要以支承球41不旋轉(zhuǎn)的方式固定支承球41，只要抑制支承球41的旋轉(zhuǎn)，其結(jié)果也可抑制主球42的旋轉(zhuǎn)即可。因此，支承球41的壓入所需的、作用于支承球扣環(huán)50的押壓力(即吸引裝置70 的吸引力)不需要為固定主球42不旋轉(zhuǎn)的強(qiáng)力。本發(fā)明的發(fā)明者制作了在板材上固定有三個(gè)自由滾珠軸承10的試驗(yàn)用支承臺(tái)， 將鋁板載置于該支承臺(tái)的三個(gè)自由滾珠軸承10上，對(duì)不作用吸引裝置的吸引力，支承球扣環(huán)50對(duì)支承球41及主球42不進(jìn)行旋轉(zhuǎn)抑制的狀態(tài)(釋放狀態(tài))；和作用吸引力，支承球扣環(huán)50對(duì)支承球41及主球42進(jìn)行了旋轉(zhuǎn)抑制的狀態(tài)(抑制狀態(tài))的自由滾珠軸承10的摩擦系數(shù)進(jìn)行探討。圖6表示其結(jié)果。作為鋁板，使用重量(工件重量)為300g、500g的兩種板材。另外，通過(guò)吸引裝置作用的自由滾珠軸承10的每一個(gè)的吸引力(相對(duì)大氣壓的真空度)為_(kāi)90kPa、自由滾珠軸承10的每一個(gè)的吸入流量(氣體吸入量)為9. OL/min。支承球扣環(huán)50的內(nèi)周側(cè)、外周側(cè)的微小間隙12a、12b都是0. 05mm。另外，作為自由滾珠軸承10，主體、罩部、主球、支承球按壓部件為POM制，作為支承球，使用不銹鋼滾珠構(gòu)成。如圖6所示，該自由滾珠軸承10在釋放狀態(tài)下作用吸引裝置的吸引力時(shí)，短時(shí)間內(nèi)立即成為抑制狀態(tài)，另外，從抑制狀態(tài)向釋放狀態(tài)的切換也在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行，可得到高的響應(yīng)速度。另外，工件重量在300g的情況下，相對(duì)釋放時(shí)(釋放狀態(tài))的摩擦系數(shù)為0.01，抑制時(shí)(抑制狀態(tài))的摩擦系數(shù)為0. 06，可得到釋放時(shí)的6倍左右的摩擦系數(shù)。在工件重量為500g的情況下，相對(duì)釋放時(shí)(釋放狀態(tài))的摩擦系數(shù)為0.01，抑制時(shí)(抑制狀態(tài))的摩擦系數(shù)為0. 08，可得到釋放時(shí)的8倍左右的摩擦系數(shù)。該自由滾珠軸承10在抑制時(shí)可得到比釋放時(shí)格外高的摩擦系數(shù)，所以，顯然也可使用在抑制時(shí)將主球固定不旋轉(zhuǎn)的使用方法。(第二實(shí)施方式)以下，說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施方式。如圖7、圖8所示，在此說(shuō)明的實(shí)施方式的自由滾珠軸承為在上述第一實(shí)施方式的自由滾珠軸承10的支承球扣環(huán)50的驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的外周面54b側(cè)安裝磨損環(huán)(々工7 >>7)13的構(gòu)成。上述磨損環(huán)13從驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的外周面54b突出，并與罩部30的內(nèi)周面34抵接。而且，該實(shí)施方式的自由滾珠軸承通過(guò)使磨損環(huán)13在罩部30的內(nèi)周面34滑動(dòng)，使支承球扣環(huán)50沿球支承部高度方向移動(dòng)。在對(duì)自由滾珠軸承的內(nèi)側(cè)空間11作用吸引裝置70的吸引力時(shí)，將作用于外周側(cè)微小間隙12b的吸引力通過(guò)磨損環(huán)13變換為支承球扣環(huán)50的位移力(向基端側(cè)的位移力)。如圖8所示，磨損環(huán)13為具有切縫13a(切斷部)的不連續(xù)的環(huán)狀部件。在對(duì)自由滾珠軸承的內(nèi)側(cè)空間11作用吸引裝置70的吸引力時(shí)，經(jīng)由上述切縫13a 在外周側(cè)微小間隙12b形成氣流。另外，在內(nèi)周側(cè)微小間隙12a形成氣流的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式相同。另外，作為磨損環(huán)13，優(yōu)選其外周面的摩擦阻力小，例如，可適宜采用聚酰亞胺等塑料制。作為磨損環(huán)13的材質(zhì)，只要抑制外周面的摩擦阻力較低即可，沒(méi)有特別限定。另外，該上述磨損環(huán)13因?yàn)樵谥С星蚩郗h(huán)50的中心軸線方向的兩端部具有倒角部13b，該倒角部1 對(duì)摩擦阻力(滑動(dòng)阻力)的降低很有效。由此，該實(shí)施方式的自由滾珠軸承構(gòu)成為不使用潤(rùn)滑脂(無(wú)潤(rùn)滑脂)而可實(shí)現(xiàn)支承球扣環(huán)的順暢移動(dòng)。本發(fā)明中，磨損環(huán)13可設(shè)于支承球扣環(huán)50 (詳細(xì)而言為驅(qū)動(dòng)用環(huán)部的內(nèi)周側(cè)，另外，也可設(shè)于外周側(cè)和內(nèi)周側(cè)的兩方。另外，上述磨損環(huán)13也可以在驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的內(nèi)周側(cè)及/或外周側(cè)，設(shè)于驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的中心軸線方向的多處。另外，作為本發(fā)明的支承球扣環(huán)，也采用槽5 只在驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M的內(nèi)周側(cè)及外周側(cè)的一方形成于驅(qū)動(dòng)用環(huán)部討的中心軸線方向的一處或多處的構(gòu)成、在驅(qū)動(dòng)用環(huán)部M 的內(nèi)周側(cè)及外周側(cè)雙方一個(gè)個(gè)地形成槽^c的構(gòu)成，而且，也可采用這樣的在支承球扣環(huán)的內(nèi)周側(cè)及/或外周側(cè)設(shè)置有磨損環(huán)13的構(gòu)成。(第三實(shí)施方式)以下，參照?qǐng)D9說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式。圖9表示使用將吸引裝置70經(jīng)由配管71與本發(fā)明的自由滾珠軸承10、多個(gè)自由滾珠軸承10的氣孔25連接而成的軸承裝置構(gòu)成的轉(zhuǎn)臺(tái)90。該轉(zhuǎn)臺(tái)90具有板狀基體部件91、安裝于該基體部件91且通過(guò)突設(shè)于該基體部件 91上的多個(gè)(3個(gè)以上)自由滾珠軸承10支承并可旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)93、使該旋轉(zhuǎn)臺(tái)93旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置92 (電動(dòng)機(jī))。如上所述，各自由滾珠軸承10經(jīng)由配管71與吸引裝置70 連接，因此，通過(guò)使吸引裝置70的吸引力作用在內(nèi)側(cè)空間11，可進(jìn)行旋轉(zhuǎn)臺(tái)93的旋轉(zhuǎn)的抑
制、停止等。另外，作為轉(zhuǎn)臺(tái)，可采用將自由滾珠軸承10安裝于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的構(gòu)成、也可采用安裝于旋轉(zhuǎn)臺(tái)和基體部件的構(gòu)成。作為本發(fā)明的支承臺(tái)，可將與上述基板定位用臺(tái)80相同的構(gòu)成作為用于搬運(yùn)基板及其它物品的搬運(yùn)裝置的一部分使用。作為本發(fā)明的自由滾珠軸承、支承臺(tái)，除了可廣泛使用于例如對(duì)半導(dǎo)體基板及印刷配線基板的加工、電子零件的安裝、平板的制造、半導(dǎo)體元件及半導(dǎo)體封裝等電子零件的制造外，還可廣泛使用于食品及醫(yī)藥品的制造等、清潔室內(nèi)的物品的搬運(yùn)(例如作為搬運(yùn)裝置的部分使用)、定位等。另外，本發(fā)明的自由滾珠軸承也可以如下構(gòu)成，其特征在于，具備主體，其具有形成有將半球狀凹面作為內(nèi)面的球支承用凹部的球支承部；多個(gè)支承球及主球，該多個(gè)支承球配置于該主體的上述半球狀凹面，該主球形成為直徑比該支承球大且經(jīng)由上述支承球支承并旋轉(zhuǎn)自如；蓋狀的罩部，其以包圍上述主體的上述球支承部的方式設(shè)置；支承球扣環(huán)， 其具有插入上述主體的上述半球狀凹面與上述主球之間且通過(guò)壓入上述支承球來(lái)增大上述主球的旋轉(zhuǎn)阻力的環(huán)狀按壓片，在上述球支承部與上述罩部之間確保的內(nèi)側(cè)空間內(nèi)沿與上述球支承用凹部的深度方向一致的方向即球支承部高度方向可移動(dòng)地設(shè)置；按壓解除機(jī)構(gòu)，其用于對(duì)該支承球扣環(huán)施加與在上述球支承部高度方向通過(guò)上述按壓片壓入上述支承球的按壓方向相反方向的位移力，將支承球扣環(huán)配置在與通過(guò)上述按壓片壓入上述支承球
15的支承球按壓位置分離的待機(jī)位置，上述主球的局部從形成于上述罩部的主球突出用開(kāi)口部突出的同時(shí)，由上述罩部防止上述主球的飛出，在上述主體及/或上述罩部，在上述內(nèi)側(cè)空間的上述球支承部高度方向上在上述罩部的主球突出用開(kāi)口部相反側(cè)的基端側(cè)開(kāi)口形成上述內(nèi)側(cè)空間內(nèi)的氣體吸引用氣孔，上述支承球扣環(huán)具有配置于上述球支承部的外周面與隔著上述內(nèi)側(cè)空間面對(duì)上述球支承部的外周面的上述罩部的內(nèi)周面之間的驅(qū)動(dòng)用環(huán)部， 上述驅(qū)動(dòng)用環(huán)部具有隔著可流通氣體的微小間隙與上述球支承部的外周面接近配置的內(nèi)周面、隔著可流通氣體的微小間隙與上述罩部的內(nèi)周面接近配置的外周面，而且，在內(nèi)周面及/或外周面設(shè)有沿其周向延伸的槽或磨損環(huán)，通過(guò)經(jīng)由上述氣孔吸引上述內(nèi)側(cè)空間內(nèi)的氣體而對(duì)上述支承球扣環(huán)施加向上述內(nèi)側(cè)空間的基端側(cè)的位移力，使上述支承球扣環(huán)從上述待機(jī)位置向上述支承球按壓位置移動(dòng)，在未進(jìn)行上述內(nèi)側(cè)空間內(nèi)的氣體吸引時(shí)通過(guò)上述按壓解除機(jī)構(gòu)將上述支承球扣環(huán)配置于上述待機(jī)位置。產(chǎn)業(yè)上的可利用性根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)經(jīng)由形成于自由滾珠軸承的主體及/或罩部的氣孔吸引上述內(nèi)側(cè)空間內(nèi)的氣體，對(duì)支承球扣環(huán)可作用向自由滾珠軸承的內(nèi)側(cè)空間的基端側(cè)的位移力，由此，可通過(guò)突設(shè)于支承球扣環(huán)的環(huán)狀按壓片壓入支承球來(lái)增大主球的旋轉(zhuǎn)阻力。本申請(qǐng)基于2009年4月14日在日本提出申請(qǐng)的特愿2009-098501號(hào)主張優(yōu)先權(quán)， 在此引用其內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種自由滾珠軸承，其特征在于，具備主體，其具有球支承部，該球支承部形成有以半球狀凹面為內(nèi)面的球支承用凹部； 多個(gè)支承球、及主球，所述多個(gè)支承球配置在所述主體的所述半球狀凹面，所述主球的直徑比所述支承球的直徑大，所述主球經(jīng)由所述支承球被旋轉(zhuǎn)自如地支承； 罩部，其在確保規(guī)定的內(nèi)側(cè)空間的同時(shí)包圍所述主體的所述球支承部； 支承球扣環(huán)，其具有環(huán)狀按壓片，該按壓片插入所述主體的所述半球狀凹面與所述主球之間，按壓所述支承球，所述支承球扣環(huán)在按壓所述支承球的按壓位置與釋放所述支承球的釋放位置之間，可沿所述球支承用凹部的深度方向在所述內(nèi)側(cè)空間內(nèi)移動(dòng)；按壓解除機(jī)構(gòu)，其對(duì)所述支承球扣環(huán)施加位移力，使所述支承球扣環(huán)從所述按壓位置移動(dòng)到所述釋放位置，在所述罩部形成具有比所述主球的直徑小的直徑的開(kāi)口部， 所述主球的局部從所述開(kāi)口部朝向前端側(cè)突出，在所述主體及/或所述罩部形成與所述內(nèi)側(cè)空間連通且在所述前端側(cè)的相反側(cè)即基端側(cè)開(kāi)口的氣體吸引孔，所述支承球扣環(huán)具有配置在所述球支承部的外周面與所述罩部的內(nèi)周面之間的驅(qū)動(dòng)用環(huán)部，所述驅(qū)動(dòng)用環(huán)部具有隔著可流通氣體的第一間隙而與所述球支承部的外周面接近配置的內(nèi)周面、隔著可流通氣體的第二間隙而與所述罩部的內(nèi)周面接近配置的外周面，在所述驅(qū)動(dòng)用環(huán)部的所述內(nèi)周面及/或所述外周面設(shè)有沿其周向延伸的槽或磨損環(huán)， 所述第一間隙及所述第二間隙的大小如下設(shè)定，即，在經(jīng)由所述氣體吸引孔吸引所述內(nèi)側(cè)空間內(nèi)的氣體時(shí)，對(duì)所述支承球扣環(huán)施加向所述內(nèi)側(cè)空間的基端側(cè)的位移力。
2.如權(quán)利要求1所述的自由滾珠軸承，其特征在于，作為所述按壓解除機(jī)構(gòu)，在所述內(nèi)側(cè)空間還具有用于對(duì)所述支承球扣環(huán)施加位移力， 從所述按壓位置向所述釋放位置對(duì)所述支承球扣環(huán)進(jìn)行彈性施力的彈簧。
3.如權(quán)利要求1或2所述的自由滾珠軸承，其特征在于， 所述主體還具有在所述球支承部的基端側(cè)突出設(shè)置的絲杠軸，所述氣體吸引孔形成于所述主體，在所述絲杠軸的軸心方向上貫通所述絲杠軸，并在所述球支承部的外周面開(kāi)口。
4.如權(quán)利要求1或2所述的自由滾珠軸承，其特征在于， 所述罩部具有環(huán)狀基端側(cè)罩部件，其螺紋安裝在所述主體的所述絲杠軸；環(huán)狀帽，其嵌合或螺紋安裝在所述基端側(cè)罩部件的外周部，形成有所述主球突出用開(kāi)口部。
5.一種軸承裝置，其特征在于，具有 權(quán)利要求1或2所述的自由滾珠軸承；與所述自由滾珠軸承的所述氣體吸引孔連接的吸引裝置。
6.一種支承臺(tái)，其特征在于，設(shè)有權(quán)利要求5所述的軸承裝置，將所述軸承裝置的所述自由滾珠軸承安裝在水平基臺(tái)的多處，用于將所述吸引裝置與所述自由滾珠軸承的所述氣體吸引孔可進(jìn)行氣體吸引地連接的配管從所述基臺(tái)的下側(cè)與所述氣體吸引孔連接。
7.一種搬運(yùn)設(shè)備，其特征在于， 具有權(quán)利要求6所述的支承臺(tái)。
8.一種轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于，具有基體部件、可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述基體部件上的旋轉(zhuǎn)臺(tái)、使所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，通過(guò)安裝于所述基體部件及/或所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)的權(quán)利要求1或2所述的自由滾珠軸承， 相對(duì)于所述基體部件可旋轉(zhuǎn)地支承所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)，所述吸引裝置與各自由滾珠軸承連接。
全文摘要
一種自由滾珠軸承、軸承裝置、支承臺(tái)、搬運(yùn)設(shè)備及轉(zhuǎn)臺(tái)。本發(fā)明的自由滾珠軸承具備具有球支承部(23)的主體、配設(shè)于球支承部的多個(gè)支承球(41)、由支承球旋轉(zhuǎn)自如地支承的主球(42)、確保規(guī)定的內(nèi)側(cè)空間并包圍球支承部的罩部(32、33)、在按壓支承球的按壓位置與釋放支承球的釋放位置之間可移動(dòng)地設(shè)置的支承球扣環(huán)(50)、與內(nèi)側(cè)空間連通的氣孔(25a)，支承球扣環(huán)具備配置于球支承部的外周面與罩部的內(nèi)周面之間的圓筒部(52)，在圓筒部的內(nèi)周面與球支承部的外周面之間、及圓筒部的外周面與罩部的內(nèi)周面之間，分別形成可流通氣體的間隙(12a、12b)，兩間隙的大小形成為在經(jīng)由氣孔吸引內(nèi)側(cè)空間內(nèi)的氣體時(shí)，對(duì)支承球扣環(huán)施加向按壓位置側(cè)的位移力的尺寸。
文檔編號(hào)B65G39/02GK102395518SQ20108001629
公開(kāi)日2012年3月28日 申請(qǐng)日期2010年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月14日
發(fā)明者井口薰 申請(qǐng)人:株式會(huì)社井口機(jī)工制作所