專利名稱：電控操作器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電控操作器。更特別地，本發(fā)明涉及用于抓取和松開物體的電控操作器。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體加工工藝中，經(jīng)常使用電控操作器來抓取和松開物體。例如，所述電控操作器可被配置為將物體放入一個(gè)處理室中，并且，在該物體在該處理室中被處理之后將處理后的物體取出。處理前的物體和處理后的物體可能具有不同的性質(zhì)(例如，不同的清潔程度、不同的涂層等)。為了不使處理前的物體和處理后的物體相互污染，在現(xiàn)有技術(shù)中提出了圖Ia和Ib所示出的電控操作器。圖Ia示出了現(xiàn)有技術(shù)的電控操作器100的示意性透視圖。所述電控操作器100具有基盤110。基盤110與第一爪組101 (在圖I中以帶陰影的方式表示)和第二爪組102 (在圖I中以不帶陰影的方式表示)耦接。圖Ib示出了沿圖Ia的C-C’線所取的截面圖。如圖Ia和Ib所示，第一爪組101被設(shè)置為從基盤110的第一表面111側(cè)抓取物體，而第二爪組102被設(shè)置為從基盤110的與第一表面111相反的第二表面112側(cè)抓取物體。在該電控操作器100的工作中，所述第一爪組101被配置為將物體放入處理室中，而在該物體在該處理室中被處理之后，基盤110翻轉(zhuǎn)，由另一側(cè)的第二爪組102將處理后的物體取出。由此，處理前的物體和處理后的物體由不同的爪組進(jìn)行取放，避免了處理前的物體和處理后的物體之間的相互污染。所述物體例如可以是晶片。

發(fā)明內(nèi)容
然而，根據(jù)圖Ia所示的現(xiàn)有技術(shù)，對(duì)于每個(gè)處理室的處理，放入和取出物體需要分別使用在第一表面111側(cè)進(jìn)行取放的第一爪組101和在第二表面112側(cè)進(jìn)行取放的第二爪組102。因此，為了交替使用第一爪組101和第二爪組102，基盤110需要頻繁翻轉(zhuǎn)180°，用于驅(qū)動(dòng)基盤以使其翻轉(zhuǎn)的馬達(dá)(未示出)也需要頻繁工作。這導(dǎo)致所使用的零件磨損嚴(yán)重且壽命縮短而需要頻繁更換零件。因此，需要一種新的技術(shù)來解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，本發(fā)明提供一種電控操作器，該電控操作器包括基盤；與基盤耦接的第一爪組，所述第一爪組包括至少三個(gè)爪，所述第一爪組中的爪被配置為能夠協(xié)同地抓取物體并且能夠協(xié)同地松開物體；與基盤耦接的第二爪組，所述第二爪組包括至少三個(gè)爪，所述第二爪組中的爪被配置為能夠協(xié)同地抓取物體并且能夠協(xié)同地松開物體；其中，所述第一爪組和第二爪組被分別地控制，使得在所述第一爪組和第二爪組中的一組協(xié)同地抓取物體時(shí)，另一組處于松開物體的狀態(tài)，以及所述第一爪組和第二爪組被配置為從所述基盤的同一表面?zhèn)茸ト∥矬w。根據(jù)一種實(shí)施方式，所述第一爪組中的爪與所述第二爪組中的爪可以被交替地布置在所述基盤上。根據(jù)一種實(shí)施方式，所述爪可以圍繞所述基盤被布置，所述第一爪組中的相鄰爪之間可以具有相等的角度，所述第二爪組中的相鄰爪之間可以具有相等的角度。根據(jù)一種實(shí)施方式，所述第一爪組和第二爪組中的每一個(gè)可以被配置為通過回縮而協(xié)同地抓取物體并且通過伸出而協(xié)同地松開物體。根據(jù)一種實(shí)施方式，所述爪中的每一個(gè)可以經(jīng)由相應(yīng)的氣缸與所述基盤耦接，并且可以包括與該氣缸相連的爪臂，此外，取決于所述爪臂在氣缸中的位置，相應(yīng)的爪可以處于回縮狀態(tài)或者伸出狀態(tài)。根據(jù)一種實(shí)施方式，該電控操作器還可以包括閥，所述閥被配置為控制所述爪臂在氣缸中的位置；和控制器，被配置為利用控制信號(hào)來控制所述閥，以便控制所述爪臂在氣缸中的位置。根據(jù)一種實(shí)施方式，每個(gè)所述爪臂與所述基盤之間連接有彈性部件。根據(jù)一種實(shí)施方式，所述閥具有第一通路和第二通路，所述第一通路用來控制所述第一爪組中的爪的爪臂在氣缸中的位置，所述第二通路用來控制所述第二爪組中的爪的爪臂在氣缸中的位置。根據(jù)一種實(shí)施方式，所述閥可以是電磁閥。根據(jù)一種實(shí)施方式，所述爪中的每一個(gè)可以具有爪末端，所述爪末端在基盤側(cè)具有凹陷。根據(jù)一種實(shí)施方式，該電控操作器還可以包括爪臂位置傳感器，所述爪臂位置傳感器中的每一個(gè)可以與一個(gè)爪臂對(duì)應(yīng)，用于感測該爪臂在氣缸中的位置。根據(jù)一種實(shí)施方式，該電控操作器還可以包括告警裝置，當(dāng)所述爪臂位置傳感器感測的爪臂在氣缸中的位置與所述控制信號(hào)所指示的爪臂在氣缸中的位置不一致時(shí)，所述告警裝置能夠發(fā)出告警信號(hào)。根據(jù)一種實(shí)施方式，所述基盤可以具有圓形形狀，所述第一爪組可以包括三個(gè)爪，所述第二爪組可以包括三個(gè)爪，所述爪中的每一個(gè)可以沿所述基盤的徑向延伸，并且，所述物體可以是晶片。根據(jù)本發(fā)明的電控操作器，由于全部爪組均從所述基盤的同一表面?zhèn)茸ト∥矬w(放入和取出物體)，因此對(duì)于各處理室，放入(松開)和取出(抓取)物體均在基盤的同一表面?zhèn)冗M(jìn)行，避免了基盤110的翻轉(zhuǎn)。進(jìn)一步地，由于基盤110不必反轉(zhuǎn)，從而減輕了諸如馬達(dá)之類的零件的損壞，以避免零件的頻繁更換。進(jìn)一步地，根據(jù)本發(fā)明的一些優(yōu)選方式，在電控操作器的基盤上最少可以僅使用6個(gè)爪而非圖Ia所示的現(xiàn)有技術(shù)中使用的12個(gè)爪。由此，可減少零件成本。通過以下參照附圖對(duì)本發(fā)明的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述，本發(fā)明的其它特征及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚。


·構(gòu)成說明書的一部分的附圖描述了本發(fā)明的實(shí)施例，并且連同說明書一起用于說明本發(fā)明的原理。
在附圖中，通過舉例的方式而不是通過限制的方式圖示了本發(fā)明。參照附圖根據(jù)下面的詳細(xì)描述，可以更加清楚地理解本發(fā)明。其中圖Ia示出了現(xiàn)有技術(shù)的電控操作器的示意性透視圖。圖Ib示出了沿圖Ia的C-C’線所取的截面圖。圖2是示出根據(jù)本公開的第一實(shí)施例的電控操作器的示意圖。圖3示出根據(jù)第一實(shí)施例的示例性實(shí)施方式的沿圖2中的A-A’線所取的截面圖。圖4示出了用于說明根據(jù)第一實(shí)施例的電控操作器的一種示例性操作的示意圖。圖5示出了用于說明根據(jù)第一實(shí)施例的電控操作器的該示例性操作的示意圖。
圖6是示出用于說明根據(jù)第一實(shí)施例的電控操作器的一種示例性驅(qū)動(dòng)方式的示意圖。圖7示出本公開的第二實(shí)施例的電控操作器的示意圖。圖8示出本公開的第三實(shí)施例的電控操作器的示意圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在將參照附圖來詳細(xì)描述本公開的各種示例性實(shí)施例。應(yīng)注意到除非另外明確說明，否則在這些實(shí)施例中闡述的部件和步驟的相對(duì)布置、數(shù)字表達(dá)式和數(shù)值不限制本發(fā)明的范圍。在以下的描述中，出于說明的目的而闡述了大量的具體細(xì)節(jié)以便提供對(duì)本發(fā)明的更透徹的理解。但是很顯然，可以在缺少這些具體細(xì)節(jié)中的一個(gè)或多個(gè)的情況下實(shí)施本發(fā)明。此外，為了避免過于冗長的描述掩蓋、混淆或模糊本發(fā)明的實(shí)質(zhì)，不詳細(xì)描述已公知的結(jié)構(gòu)和設(shè)備。同時(shí)，應(yīng)當(dāng)明白，為了便于描述，附圖中所示出的各個(gè)部分的尺寸并不一定是按照實(shí)際的比例關(guān)系繪制的。以下對(duì)至少一個(gè)示例性實(shí)施例的描述實(shí)際上僅僅是說明性的，決不作為對(duì)本發(fā)明及其應(yīng)用或使用的任何限制。對(duì)于相關(guān)領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的技術(shù)、方法和設(shè)備可能不作詳細(xì)討論，但在適當(dāng)情況下，所述技術(shù)、方法和設(shè)備應(yīng)當(dāng)被視為專利說明書的一部分。在這里示出和討論的所有示例中，任何具體值應(yīng)被解釋為僅僅是示例性的，而不是作為限制。因此，示例性實(shí)施例的其它示例可以具有不同的值。此外，應(yīng)注意到相似的標(biāo)號(hào)和字母在附圖中表示類似項(xiàng)，因此一旦某一項(xiàng)在一個(gè)附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步討論。在本發(fā)明中，術(shù)語“連接”和“通信”不僅包含直接連接和直接通信，也包含經(jīng)由其它部件進(jìn)行的連接和通信。圖2是示出根據(jù)本公開的第一實(shí)施例的電控操作器200的示意圖。如圖2所示，電控操作器200具有基盤210。基盤210與第一爪組201 (在圖2中以帶陰影的方式表示)和第二爪組202 (在圖2中以不帶陰影的方式表示)耦接。第一爪組201和第二爪組202可以被大致設(shè)置在同一個(gè)平面上，但是本發(fā)明并不限于此。在該電控操作器200的工作中，所述第一爪組201可被配置為協(xié)同地將物體放入處理室中，而在該物體在該處理室中被處理之后，基盤210無需翻轉(zhuǎn)，由第二爪組202協(xié)同地將處理后的物體取出。由此，處理前的物體和處理后的物體由不同的爪組進(jìn)行取放，避免了處理前的物體和處理后的物體之間的相互污染。所述物體例如可以是晶片。各爪組中的爪可具有類似或相同的結(jié)構(gòu)。更具體地，第一爪組201可包括至少三個(gè)爪，并且，第一爪組201中的爪被配置為能夠協(xié)同地抓取物體并且能夠協(xié)同地松開物體。類似地，第二爪組202可包括至少三個(gè)爪，并且，第二爪組202中的爪被 配置為能夠協(xié)同地抓取物體并且能夠協(xié)同地松開物體。其中，第一爪組201和第二爪組202被分別地控制，使得在所述第一爪組201和第二爪組202中的一組協(xié)同地抓取物體時(shí)，另一組處于松開物體的狀態(tài)(伸出的狀態(tài))。要指出的是，根據(jù)本發(fā)明的第一爪組201和第二爪組202被配置為從所述基盤210的同一表面?zhèn)茸ト∥矬w(即，放入和取出物體)。根據(jù)一種實(shí)施方式，所述爪可被布置為圍繞所述基盤。為了更加可靠地抓取物體，第一爪組201中的爪與第二爪組202中的爪可以被交替地布置在基盤210上。然而，取決于要被抓放的物體的性質(zhì)和爪的形狀，也可采用其他的爪組布置方式。例如，可連續(xù)布置第一爪組中的爪并且連續(xù)布置第二爪組中的爪。在圖2示出的實(shí)施例所示的例子中，基盤具有圓形形狀，并且，每一個(gè)爪沿基盤210的圓周布置并且沿基盤210的徑向延伸。優(yōu)選地，第一爪組201中的相鄰爪之間可具有相等的角度，第二爪組202中的相鄰爪之間可具有相等的角度。在圖2所示的每個(gè)爪組具有3個(gè)爪的情況下，所述相等的角度為120°。然而，即使爪組中的相鄰爪不具有相等的角度也是可以的。圖3示出根據(jù)第一實(shí)施例的一種示例性實(shí)施方式的沿圖2中的A-A’線所取的截面圖。如圖3所示，第一爪組的爪具有爪末端201a，第二爪組的爪具有爪末端202a。爪末端201a和202a在面向基盤的側(cè)具有凹陷，所述凹陷可用于抓取物體(在圖3中用豎線陰影繪出)。雖然圖3中示出的凹陷具有V字形，但是取決于要抓取的物體的形狀，該凹陷也可具有圓弧面形狀或柱面形狀等。圖3示出了第一爪組201抓取物體而第二爪組202處于松開狀態(tài)的例子。在此例子中，第一爪組201中的爪縮回從而通過卡住物體的邊緣而協(xié)同地抓取物體，第二爪組202中的爪松開從而不接觸物體。雖然圖3的截面圖僅圖示了第一爪組201中的一個(gè)爪和第二爪組202中的一個(gè)爪，但是各相應(yīng)爪組中的其它爪也可具有類似或相同的構(gòu)造。圖4和圖5示出了用于說明根據(jù)第一實(shí)施例的電控操作器的一種示例性操作的示意圖。如圖4和圖5所示，第一爪組201的爪具有爪末端201a、爪臂201b和氣缸201c。類似地，第二爪組202的爪具有爪末端202a、爪臂202b和氣缸202c。雖然圖4中僅對(duì)兩個(gè)爪標(biāo)出爪的結(jié)構(gòu)，但是各爪組中的其它爪也可具有類似或相同的結(jié)構(gòu)。根據(jù)此示例性操作，第一爪組201和第二爪組202中的每一個(gè)被配置為通過回縮而協(xié)同地抓取物體并且通過伸出而協(xié)同地松開物體。圖4示出利用第一爪組201抓取物體時(shí)的狀態(tài)。在圖4中，虛線的圓形表示被抓取的物體。如圖4所示，在利用第一爪組201抓取物體時(shí)，第一爪組201中的所有爪均縮回，從而第一爪組201中的爪可通過以爪末端201a上的凹陷卡住物體的邊緣而抓取物體。另一方面，在利用第一爪組201抓取物體時(shí)，第二爪組202中的爪均處于松開狀態(tài)，從而第二爪組202中的爪的爪末端不接觸物體。圖5示出利用第二爪組202抓取物體時(shí)的狀態(tài)。在圖5中，虛線的圓形表示被抓取的物體。如圖5所示，在利用第二爪組202抓取物體時(shí)，第二爪組202中的所有爪均縮回，從而第二爪組202中的爪202a可通過以爪末端202a上的凹陷卡住物體的邊緣而抓取物體。另一方面，在利用第二爪組202抓取物體時(shí)，第一爪組201中的爪均處于松開狀態(tài)，從而第一爪組201中的爪的爪末端201a不接觸物體。根據(jù) 此示例性操作方式，所述爪中的每一個(gè)可經(jīng)由相應(yīng)的氣缸與基盤耦接，并且所述爪包括與該氣缸相連的爪臂。取決于所述爪臂在氣缸中的位置，相應(yīng)的爪處于回縮狀態(tài)或者伸出狀態(tài)。圖6是示出用于說明根據(jù)本公開的第一實(shí)施例的電控操作器的一種示例性驅(qū)動(dòng)方式的示意圖。請(qǐng)注意，圖6中示出的驅(qū)動(dòng)方式僅是示例性的。只要能夠分別驅(qū)動(dòng)根據(jù)本公開的第一爪組201和第二爪組202的伸出(松開物體)和縮回(抓取物體)，也可采用其他驅(qū)動(dòng)方式和/或驅(qū)動(dòng)裝置。如圖6所示，第一爪組201的爪可如上所述包含爪末端201a、爪臂201b和氣缸201c。在爪臂201b與基盤210之間可連接有彈性部件(例如彈簧)，從而爪臂201b可在氣缸201c中(沿圖中的左右方向)往復(fù)運(yùn)動(dòng)。氣缸201c可與設(shè)置在基盤內(nèi)的用于第一爪組201的管道611連通。類似地，第二爪組202的爪可如上所述包含爪末端202a、爪臂202b和氣缸202c。在爪臂202b與基盤210之間可連接有彈性部件(例如彈簧)，從而爪臂202b可在氣缸202c中(沿圖中的左右方向)往復(fù)運(yùn)動(dòng)。氣缸202c可與設(shè)置在基盤內(nèi)的用于第二爪組202的管道612連通。管道611與第一爪組201的所有爪的氣缸201c連通以使得爪臂201b能夠以相同方式移動(dòng)，管道612與第二爪組202的所有爪的氣缸202c連通以使得爪臂202b能夠以相同方式移動(dòng)。如圖6所示，電控操作器200還可包括閥650和控制器630。所述閥650可被配置為控制各爪臂在氣缸中的位置?；P210中的管道611和管道612與閥連接。所述閥650可以是電控閥，其可包括儲(chǔ)氣部件620、閥門622和621以及分別與所述閥門相連的第一通路631和第二通路632。所述第一通路631用來控制所述第一爪組201中的爪的爪臂在氣缸中的位置，并且，所述第二通路632用來控制所述第二爪組202中的爪的爪臂在氣缸中的位置。具體地，管道611經(jīng)由閥650的用于控制第一通路631的閥門621與閥650的儲(chǔ)氣部件620連接，管道612經(jīng)由閥650的用于控制第二通路632的閥門622與閥650的儲(chǔ)氣部件620連接?？刂破?30被配置為利用控制信號(hào)來控制閥650，以便控制爪臂在氣缸中的位置。更具體地，控制器630可被配置為控制閥門621和622的打開與關(guān)閉。所述控制器630可與閥650有線通信或無線通信。所述控制器630可位于閥650的附近或者位于閥650的遠(yuǎn)程位置?？梢砸匀斯し绞较蛩隹刂破鲗?shí)時(shí)輸入命令，也可將命令序列事先存儲(chǔ)在控制器中使得控制器按照命令序列自動(dòng)工作。根據(jù)本公開的驅(qū)動(dòng)方式，控制器630可向閥650發(fā)出閥門621打開并且閥門622關(guān)閉的控制信號(hào)、閥門621關(guān)閉并且閥門622打開的控制信號(hào)、或者閥門621和閥門622均關(guān)閉的控制信號(hào)。更具體地，在第一爪組201要抓取物體且第二爪組202要處于松開狀態(tài)的情況下，控制器發(fā)出使閥門621關(guān)閉并且使閥門622打開的控制信號(hào)。在第二爪組202要抓取物體且第一爪組201要處于松開狀態(tài)的情況下，控制器發(fā)出使閥門622關(guān)閉并且使閥門621打開的控制信號(hào)。在第一爪組201和第二爪組202中的任一個(gè)需要松開物體的情況下或者在電控操作器處于不工作的狀態(tài)的情況下，控制器發(fā)出使閥門622和閥門621均打開的控制信號(hào)。在操作中，閥門622和閥門621不同時(shí)關(guān)閉。如上所述，所述閥650被配置為能夠根據(jù)控制器的控制信號(hào)來控制爪臂201b和202b在氣缸201c和202c中的位置。更具體地，當(dāng)控制器控制閥650以使得閥門621打開時(shí)，第一通路631連通，管道611中的氣壓增大，氣缸臂201b伸出，從而使得第一爪組201處于松開物體的狀態(tài)。當(dāng)控制器控制閥650以使得閥門621關(guān)閉時(shí)，第一通路631關(guān)閉，管道611中的氣壓減小，氣缸臂201b由于彈性部件的彈力而縮回，從而使得第一爪組201抓取物體。類似地，當(dāng)控制器控制閥650以使得閥門622打開時(shí)，第二通路632連通，管道612中的氣壓增大，氣缸臂202b伸出，從而使得第二爪組202處于松開物體的狀態(tài)。當(dāng)控制器控 制閥650以使得閥門622關(guān)閉時(shí)，第二通路632關(guān)閉，管道612中的氣壓減小，氣缸臂202b由于彈性部件的彈力而縮回，從而使得第二爪組202抓取物體。雖然以上描述了利用電控閥來控制各爪組的伸出(松開物體)和縮回(抓取物體)，但是也可使用任何其他類型的閥(例如液壓閥、氣控閥)，只要能夠控制爪臂在氣缸中的位置即可。此外，雖然以上描述了利用閥來控制各爪組的伸出(松開物體)和縮回(抓取物體)，但是也可以使用其它已知的手段(例如馬達(dá))。根據(jù)一種示例性實(shí)施方式，爪臂上可設(shè)置有爪臂位置傳感器。爪臂位置傳感器中的每一個(gè)與一個(gè)爪臂對(duì)應(yīng)，用于感測該爪臂在氣缸中的位置。第一爪組201的每個(gè)爪的爪臂位置傳感器可如圖6所示那樣包含用于感測爪臂的第一位置的第一位置傳感器201d和用于感測爪臂的第二位置的第二位置傳感器201e。類似地，第二爪組202的每個(gè)爪的爪臂位置傳感器可如圖6所示那樣包含用于感測爪臂的第一位置的第一位置傳感器202d和用于感測爪臂的第二位置的第二位置傳感器202e。上述的第一位置可以是爪臂處于縮回狀態(tài)時(shí)爪臂的(與彈性部件相連的)末端的位置或其附近位置范圍(第一位置范圍)，上述的第二位置可以是爪臂處于松開狀態(tài)時(shí)爪臂的(與彈性部件相連的)末端的位置或其附近位置范圍(第二位置范圍)。第一位置傳感器可在感測到爪臂末端處于第一位置(或第一位置范圍內(nèi))時(shí)輸出感測信號(hào)。第二位置傳感器可在感測到爪臂末端處于第二位置(或第二位置范圍內(nèi))時(shí)輸出感測信號(hào)。雖然以上結(jié)合圖6描述了爪臂位置傳感器包含第一位置傳感器和第二位置傳感器的例子，但是爪臂位置傳感器可以僅包含一個(gè)傳感器，該傳感器用于輸出表示爪臂位置的信號(hào)。此處的位置傳感器可以是任何已知的位置傳感器，例如檢測爪臂末端對(duì)光線阻擋的光傳感器、檢測爪臂附近磁場變化的磁感應(yīng)傳感器等。除了爪、具有管道的基盤和閥以外，電控操作器200還可包括爪臂位置指示器(未示出)。所述爪臂位置指示器中的每一個(gè)可與一個(gè)爪臂對(duì)應(yīng)，用于指示通過相應(yīng)的爪臂位置傳感器感測到的該爪臂在氣缸中的位置。爪臂位置指示器可采用各種現(xiàn)有技術(shù)，例如可以利用燈泡的點(diǎn)亮和熄滅來表示爪臂在氣缸中的位置(第一位置或第二位置)，或者可以利用不同顏色的發(fā)光二極管的導(dǎo)通來表示該爪臂在氣缸中的位置。爪臂位置指示器可與爪臂位置傳感器集成在一起。根據(jù)一種實(shí)施方式，電控操作器200可包括告警裝置640。在這種情況下，爪臂位置傳感器的感測結(jié)果可通過有線或無線的方式而傳送到控制器630?？刂破?30可將接收到的感測結(jié)果與所發(fā)出的控制信號(hào)進(jìn)行比較。當(dāng)至少一個(gè)爪臂位置傳感器感測的爪臂在氣缸中的位置與前述的控制信號(hào)所指示的爪臂在氣缸中的位置不一致時(shí)，控制器630指示告警裝置640以發(fā)出告警信號(hào)。優(yōu)選地，在控制信號(hào)發(fā)出預(yù)定時(shí)間之后仍有至少一個(gè)爪臂位置傳感器感測的爪臂在氣缸中的位置與控制信號(hào)所指示的爪臂在氣缸中的位置不一致時(shí)，告警裝置640發(fā)出告警信號(hào)。該預(yù)定時(shí)間可根據(jù)具體應(yīng)用而事先設(shè)定。例如，該預(yù)定時(shí)間可以是爪臂響應(yīng)氣缸中的氣壓改變而從第一位置移動(dòng)到第二位置所需要花費(fèi)的時(shí)間。此夕卜，優(yōu)選地，如果在沒有發(fā)出控制信號(hào)的情況下爪臂的位置改變，則告警裝置640發(fā)出告警信號(hào)。 告警裝置640可以是能夠發(fā)出告警聲音的發(fā)生器，也可以是發(fā)出告警顏色的燈泡或發(fā)光二極管等。雖然圖6示出告警裝置640位于閥650附近，但是告警裝置640也可位于控制器630附近。通過爪臂位置傳感器、爪臂位置指示器和/或告警裝置，操作員能夠直觀地獲知各爪臂的位置，并且在電控操作器的操作與控制信號(hào)不一致的情況下，能夠及時(shí)獲知該情況。以上參照?qǐng)D2-6描述了根據(jù)本公開的第一實(shí)施例的電控操作器200及其示例性操作和驅(qū)動(dòng)方式。雖然圖2中示出第一爪組201和第二爪組202中的每一個(gè)均具有三個(gè)爪，但是本發(fā)明不限于此。第一爪組201和第二爪組202中的每一個(gè)也可具有多于三個(gè)的爪。雖然圖2中示出適于取放圓形物體(例如晶片)的電控操作器200的配置，但是本發(fā)明不限于此?？扇Q于要被取放的物體的形狀來設(shè)計(jì)基盤210的形狀以及各爪的布置方式。圖7示出本公開的第二實(shí)施例的電控操作器700的示意圖。在本實(shí)施例中，要被取放的物體是正方形(如圖7中的虛線方框所示)，因此基盤210也為正方形，第一爪組201和第二爪組202中的每一個(gè)可包含四個(gè)爪。正方形基盤210的每條邊上都布置有一個(gè)第一爪組201的爪和一個(gè)第二爪組202的爪，如圖7所示。圖7示出了由第一爪組201抓取著物體時(shí)的狀態(tài)。第二實(shí)施例中的電控操作器700除了基盤的形狀和爪的布置方式不同以外，爪的結(jié)構(gòu)、爪組的操作以及電控操作器的驅(qū)動(dòng)方式均可與第一實(shí)施例中的相同。圖8示出本公開的第三實(shí)施例的電控操作器800的示意圖。在本實(shí)施例中，要被取放的物體是矩形(如圖8中的虛線矩形框所示)，并且基盤210也為矩形。第一爪組201和第二爪組202中的每一個(gè)可包含如圖8所示那樣布置的六個(gè)爪。圖8示出了由第一爪組201抓取著物體時(shí)的狀態(tài)。第三實(shí)施例中的電控操作器800除了基盤的形狀和爪的布置方式不同以外，爪的結(jié)構(gòu)、爪組的操作以及電控操作器的驅(qū)動(dòng)方式均可與第一實(shí)施例中的相同。根據(jù)本發(fā)明的電控操作器，由于全部爪組均從所述基盤的同一表面?zhèn)茸ト∥矬w(即，放入和取出物體)，因此對(duì)于各處理室，放入和取出物體均在基盤的同一表面?zhèn)冗M(jìn)行，避免了基盤的翻轉(zhuǎn)，從而也避免了頻繁更換零件。進(jìn)一步地，根據(jù)本發(fā)明的一些優(yōu)選方式，在電控操作器的基盤上最少可以僅使用6個(gè)爪而非圖Ia所示的現(xiàn)有技術(shù)中使用的12個(gè)爪。由此，可減少零件成本。要注意，雖然一些附圖中示出了電控操作器抓取物體或松開物體時(shí)的狀態(tài)，但是物體并不是電控操作器的一部分。
雖然已經(jīng)通過示例對(duì)本發(fā)明的一些特定實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，以上示例僅是為了進(jìn)行說明，而不是為了限制本發(fā)明的范圍。本領(lǐng)域的技 術(shù)人員應(yīng)該理解，可在不脫離本發(fā)明的范圍和精神的情況下，對(duì)以上實(shí)施例進(jìn)行修改。本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求來限定。
權(quán)利要求
1.一種電控操作器，包括 基盤； 與基盤耦接的第一爪組，所述第一爪組包括至少三個(gè)爪，所述第一爪組中的爪被配置為能夠協(xié)同地抓取物體并且能夠協(xié)同地松開物體； 與基盤耦接的第二爪組，所述第二爪組包括至少三個(gè)爪，所述第二爪組中的爪被配置為能夠協(xié)同地抓取物體并且能夠協(xié)同地松開物體； 其中，所述第一爪組和第二爪組被分別地控制，使得在所述第一爪組和第二爪組中的一組協(xié)同地抓取物體時(shí)，另一組處于松開物體的狀態(tài)，以及 所述第一爪組和第二爪組被配置為從所述基盤的同一表面?zhèn)茸ト∥矬w。
2.如權(quán)利要求I所述的電控操作器，其中 所述第一爪組中的爪與所述第二爪組中的爪被交替地布置在所述基盤上。
3.如權(quán)利要求I所述的電控操作器，其中 所述爪圍繞所述基盤被布置，所述第一爪組中的相鄰爪之間具有相等的角度，所述第二爪組中的相鄰爪之間具有相等的角度。
4.如權(quán)利要求I所述的電控操作器，其中 所述第一爪組和第二爪組中的每一個(gè)被配置為通過回縮而協(xié)同地抓取物體并且通過伸出而協(xié)同地松開物體。
5.如權(quán)利要求4所述的電控操作器，其中 所述爪中的每一個(gè)經(jīng)由相應(yīng)的氣缸與所述基盤耦接，并且包括與該氣缸相連的爪臂，以及 取決于所述爪臂在氣缸中的位置，相應(yīng)的爪處于回縮狀態(tài)或者伸出狀態(tài)。
6.如權(quán)利要求5所述的電控操作器，還包括 閥，所述閥被配置為控制所述爪臂在氣缸中的位置；和 控制器，被配置為利用控制信號(hào)來控制所述閥，以便控制所述爪臂在氣缸中的位置。
7.如權(quán)利要求5所述的電控操作器，其中 每個(gè)所述爪臂與所述基盤之間連接有彈性部件。
8.如權(quán)利要求6所述的電控操作器，其中 所述閥具有第一通路和第二通路，所述第一通路用來控制所述第一爪組中的爪的爪臂在氣缸中的位置，所述第二通路用來控制所述第二爪組中的爪的爪臂在氣缸中的位置。
9.如權(quán)利要求6所述的電控操作器，其中 所述閥是電磁閥。
10.如權(quán)利要求I所述的電控操作器，其中 所述爪中的每一個(gè)具有爪末端，所述爪末端在基盤側(cè)具有凹陷。
11.如權(quán)利要求6所述的電控操作器，還包括 爪臂位置傳感器，所述爪臂位置傳感器中的每一個(gè)與一個(gè)爪臂對(duì)應(yīng)，用于感測該爪臂在氣缸中的位置。
12.如權(quán)利要求11所述的電控操作器，還包括 告警裝置，當(dāng)所述爪臂位置傳感器感測的爪臂在氣缸中的位置與所述控制信號(hào)所指示的爪臂在氣缸中的位置不一致時(shí)，所述告警裝置能夠發(fā)出告警信號(hào)。
13.如權(quán)利要求1-12中的任一項(xiàng)所述的電控操作器，其中 所述基盤具有圓形形狀，所述第一爪組包括三個(gè)爪，所述第二爪組包括三個(gè)爪，所述爪中的每一個(gè)沿所述基盤的徑向延伸，并且，所述物體是晶片。
全文摘要
本發(fā)明提供一種電控操作器。該電控操作器包含與基盤耦接的第一爪組和第二爪組。所述第一爪組中的爪被配置為能夠協(xié)同地抓取物體并且能夠協(xié)同地松開物體，所述第二爪組中的爪被配置為能夠協(xié)同地抓取物體并且能夠協(xié)同地松開物體，并且在所述第一爪組和第二爪組中的一組協(xié)同地抓取物體時(shí)，另一組處于松開物體的狀態(tài)。所述第一爪組和第二爪組被配置為從所述基盤的同一表面?zhèn)确湃牒腿〕鑫矬w。通過本發(fā)明，由于第一爪組合第二爪組從基盤的同一表面?zhèn)确湃牒腿〕鑫矬w，因此避免了操作中的基盤翻轉(zhuǎn)。
文檔編號(hào)B65G47/90GK102935942SQ20111023438
公開日2013年2月20日 申請(qǐng)日期2011年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月16日
發(fā)明者吳良輝 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司