專利名稱：搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、搬運(yùn)夾具以及搬運(yùn)臺(tái)車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)施方式涉及在處理室間移載電氣部件或電子部件等工件(work)時(shí)，在維持例如干燥狀態(tài)等規(guī)定氣氛的狀態(tài)下進(jìn)行搬出搬入的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、搬運(yùn)夾具以及搬運(yùn)臺(tái)車。
背景技術(shù)：
例如，在處理室內(nèi)對(duì)構(gòu)成二次電池的電氣部件或半導(dǎo)體部件等工件進(jìn)行規(guī)定的處理的情況下，處理室維持為一定的干燥狀態(tài)。另一方面，在處理室間移載工件時(shí)，利用具有氣密構(gòu)造的特殊的搬運(yùn)器(carrier)進(jìn)行搬運(yùn)。此外，搬運(yùn)器在從各處理室將工件搬出搬入時(shí)，為了將工件維持在干燥氣氛中，從利用了具有雙重門的加載互鎖(load lock)方式的搬出搬入口將工件搬出搬入。在這樣的加載互鎖方式中，設(shè)置雙重門來進(jìn)行氣氛的更換，所以機(jī)構(gòu)復(fù)雜，而且為了置換需要再次投入干燥氣氛，從而成本高。因此，希望即使不采用需要復(fù)雜機(jī)構(gòu)及置換氣體的加載互鎖方式，也能夠在維持規(guī)定的氣氛的狀態(tài)下搬運(yùn)工件的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、搬運(yùn)夾具以及搬運(yùn)臺(tái)車。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實(shí)施方式提供即使不采用需要復(fù)雜機(jī)構(gòu)及置換氣體的加載互鎖方式，也能夠在維持規(guī)定的氣氛的狀態(tài)下搬運(yùn)工件的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)、搬運(yùn)夾具以及搬運(yùn)臺(tái)車。一實(shí)施方式的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，在使開口部側(cè)相互對(duì)置配置的處理室和搬運(yùn)箱之間，一邊維持氣密狀態(tài)一邊交接工件，其中，具備處理室蓋部，使上述處理室的開口部開閉自由且氣密地覆蓋上述處理室的開口部，并且在上述搬運(yùn)箱側(cè)具有凹部；引導(dǎo)機(jī)構(gòu)，向上述處理室的內(nèi)部側(cè)引導(dǎo)該處理室蓋部；工件支撐部，設(shè)置于上述處理室內(nèi)；搬運(yùn)箱蓋部，使上述搬運(yùn)箱的開口部開閉自由且氣密地覆蓋上述搬運(yùn)箱的開口部，并且氣密地嵌入上述凹部；以及結(jié)合部，上述處理室的開口部周圍的前面部與上述搬運(yùn)箱的開口部周圍的前面部氣密地結(jié)合而成。一實(shí)施方式的搬運(yùn)夾具，具備有底筒狀的容置室；內(nèi)筒體，設(shè)置成與該容置室同軸；外筒體，設(shè)置成能夠插入該內(nèi)筒體的外周面或與該內(nèi)筒體的外周面分離，并且保持工件；蓋部，設(shè)置于該外筒體的外周面，使上述容置室的開口部開閉自由且氣密地覆蓋上述容置室的開口部；突出部，設(shè)置成在上述內(nèi)筒體內(nèi)部沿著軸向自由往復(fù)移動(dòng)；以及卡合部，設(shè)置于該突出部，與上述外筒體卡合。一實(shí)施方式的搬運(yùn)臺(tái)車，具備容置室，用于容置工件；開口部，設(shè)置于該容置室的側(cè)面；軸構(gòu)件，該軸構(gòu)件的基端部設(shè)置于上述容置室，前端部從上述開口部向外部突出并且在與上述開口部正交的方向上延伸；夾緊機(jī)構(gòu)，通過來自上述容置室外的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行開閉；
3工件支撐構(gòu)件，配置成相對(duì)于上述軸構(gòu)件自由往復(fù)移動(dòng)，用于支撐上述工件；卡合部，設(shè)置于該工件支撐構(gòu)件，通過上述夾緊機(jī)構(gòu)的開閉而與上述夾緊機(jī)構(gòu)脫離或卡合；以及蓋部，設(shè)置于上述工件支撐部，從上述容置室的外部側(cè)開閉自由地封閉上述開口部。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，即使不采用需要復(fù)雜的機(jī)構(gòu)及置換氣體的加載互鎖方式，也能夠在維持規(guī)定的氣氛的狀態(tài)下搬運(yùn)工件。


圖1是示意地表示安裝有第一實(shí)施方式的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)的處理機(jī)構(gòu)的說明圖。圖2是示意地表示通過該搬運(yùn)機(jī)構(gòu)向處理機(jī)構(gòu)搬入工件的搬入工序的說明圖。圖3是示意地表示通過該搬運(yùn)機(jī)構(gòu)向處理機(jī)構(gòu)搬入工件的搬入工序的說明圖。圖4是示意地表示通過該搬運(yùn)機(jī)構(gòu)向處理機(jī)構(gòu)搬入工件的搬入工序的說明圖。圖5是示意地表示通過該搬運(yùn)機(jī)構(gòu)向處理機(jī)構(gòu)搬入工件的搬入工序的說明圖。圖6是表示第二實(shí)施方式的搬運(yùn)夾具以及第一處理室的剖視圖。圖7是表示通過該搬運(yùn)夾具從第一處理室搬出的搬出工序的說明圖。圖8是表示通過該搬運(yùn)夾具從第一處理室搬出的搬出工序的說明圖。圖9是表示通過該搬運(yùn)夾具向第二處理室搬入的搬入工序的說明圖。圖10是表示通過該搬運(yùn)夾具向第二處理室搬入的搬入工序的說明圖。圖11是表示通過該搬運(yùn)夾具向第二處理室搬入的搬入工序的說明圖。圖12是表示通過該搬運(yùn)夾具向第二處理室搬入的搬入工序的說明圖。圖13是表示通過該搬運(yùn)夾具向第二處理室搬入的搬入工序的說明圖。圖14是表示通過該搬運(yùn)夾具向第二處理室搬入的搬入工序的說明圖。圖15是表示第三實(shí)施方式的搬運(yùn)臺(tái)車的縱剖視圖。圖16是表示通過該搬運(yùn)臺(tái)車容置工件的容置工序的說明圖。圖17是表示通過該搬運(yùn)臺(tái)車容置工件的容置工序的說明圖。
具體實(shí)施例方式[第一實(shí)施方式]圖1是示意地表示安裝有第一實(shí)施方式的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20的處理機(jī)構(gòu)10的說明圖， 圖2 圖5是示意地表示通過搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20向處理機(jī)構(gòu)10搬入工件W的搬入工序的說明圖。 另外，后述的處理室12以及搬運(yùn)箱41的內(nèi)部都維持為干燥氣氛(例如，露點(diǎn)-60°C )，外部為通常的氣氛(例如，露點(diǎn)_20°C)。此外，這些圖中的M表示工作者。處理機(jī)構(gòu)10具備載置在地面上的架臺(tái)11和在該架臺(tái)11上設(shè)置的氣密地設(shè)置的處理室12。在處理室12中設(shè)置有對(duì)后述的框體32進(jìn)行支撐的支撐臺(tái)13。搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20具備設(shè)置在處理室12側(cè)的接受機(jī)構(gòu)30和與處理室12對(duì)置配置的工件搬運(yùn)部40。接受機(jī)構(gòu)30具備開口部31，設(shè)置在處理室12的前面?zhèn)龋豢蝮w32，沿著該開口部 31的內(nèi)框氣密地嵌入該開口部31 ；處理室蓋部33，與該框體32形成一體，并且封閉該開口部31 ；以及引導(dǎo)機(jī)構(gòu)34，從處理室12側(cè)支撐該處理室蓋部33，沿著水平方向從開口部31朝向處理室12內(nèi)部側(cè)引導(dǎo)該處理室蓋部33。在框體32的圖1中的右側(cè)形成有凹部32a，通過0型環(huán)32b在該凹部32a中氣密地嵌入有后述的搬運(yùn)箱蓋部43。
4
工件搬運(yùn)部40具備長(zhǎng)方體的搬運(yùn)箱41、設(shè)置在該搬運(yùn)箱41的前面?zhèn)鹊拈_口部 42、以及使該開口部42開閉自由且氣密地覆蓋該開口部42的搬運(yùn)箱蓋部43。在搬運(yùn)箱41 內(nèi)部容置有工件W和保持該工件W且安裝在搬運(yùn)箱蓋部43上的工件保持部H。另外，處理室12的開口部31與搬運(yùn)箱41的開口部42相互對(duì)置配置。處理室12的開口部31周圍的前面部31a與搬運(yùn)箱41的開口部42周圍的前面部 42a形成進(jìn)行抵接的氣密地結(jié)合的結(jié)合部50。另外，結(jié)合部50具有0型環(huán)51。另外，處理室蓋部33以及搬運(yùn)箱蓋部43的材質(zhì)，例如為氟樹脂、非晶質(zhì)聚烯烴樹脂、SUS實(shí)心件、SUS拋光(bright)成品、鋁實(shí)心件等，或者對(duì)它們實(shí)施了氟涂層后的材質(zhì)。 這些材質(zhì)或?qū)λ鼈儗?shí)施了氟涂層后的材質(zhì)水分吸附量少，能夠?qū)?nèi)部維持為干燥氣氛。這樣構(gòu)成的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20如下所述那樣，在維持干燥氣氛的狀態(tài)下，將搬運(yùn)箱41內(nèi)的工件W搬入處理室12內(nèi)。即，在工作者M(jìn)—邊受到未圖示的搬運(yùn)臺(tái)車輔助一邊使工件搬運(yùn)部40的搬運(yùn)箱41接近接受機(jī)構(gòu)30。然后，如圖2所示，使搬運(yùn)箱蓋部43嵌入凹部3 內(nèi)。同時(shí)，處理室12的前面部31a與搬運(yùn)箱41的前面部4 抵接，形成結(jié)合部50而氣密地結(jié)合。此時(shí)，處理室蓋部33與搬運(yùn)箱蓋部43相互緊貼。接著，如圖3所示，若通過引導(dǎo)機(jī)構(gòu)34使處理室蓋部33移動(dòng)，則經(jīng)過框體32使搬運(yùn)箱蓋部43 —體地向圖中左方移動(dòng)。由于在搬運(yùn)箱蓋部43上安裝有工件保持部H，所以工件W也被搬入處理室12內(nèi)部。另外，由于處理室12的前面部31a與搬運(yùn)箱41的前面部 4 氣密地抵接，所以外部氣體不流入處理室12內(nèi)部。進(jìn)而，如圖4所示，若通過引導(dǎo)機(jī)構(gòu)34移動(dòng)至處理室12的里面，則框體32被支撐臺(tái)13夾緊(chuck)而停止移動(dòng)。進(jìn)而，如圖5所示，引導(dǎo)機(jī)構(gòu)34向圖中左方移動(dòng)，與處理室蓋部33分離。在此狀態(tài)下，對(duì)工件W的處理開始。這樣，在本實(shí)施方式的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)20中，使處理室蓋部33與搬運(yùn)箱蓋部43緊貼， 由此消除了產(chǎn)生向外部氣體暴露的暴露部分的余部，能夠維持干燥氣氛地進(jìn)行工件W的搬入。另外，在搬出的情況下按照相反的順序進(jìn)行。因此，不需要使用設(shè)置有雙重門的加載互鎖方式，以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)且不使用置換氣體，就能夠維持規(guī)定的環(huán)境地以低成本搬運(yùn)工件。[第二實(shí)施方式]圖6是表示第二實(shí)施方式的搬運(yùn)夾具100的剖視圖。搬運(yùn)夾具100具有在維持干燥氣氛的同時(shí)從第一處理室200向第二處理室210搬運(yùn)工件W的功能。另外，圖中Q表示搬運(yùn)臺(tái)車。搬運(yùn)夾具100具備有底筒狀的容置室110，被搬運(yùn)臺(tái)車Q支撐；內(nèi)筒體120，相對(duì)于容置室110，同軸且氣密地設(shè)置；突出部150，設(shè)置為在該內(nèi)筒體120內(nèi)部沿著軸向自由往復(fù)地移動(dòng)；以及卡合部160，設(shè)置在該突出部150內(nèi)部，卡合或分離自由地與外筒體130卡
口 O另外，圖6中，130為外筒體，設(shè)置成相對(duì)于插入內(nèi)筒體120的外周面能夠插入或分離，140為蓋部，設(shè)置在外筒體130的外周面，使容置室110的開口部111開閉自由，并且氣密地覆蓋開口部111。另外，外筒體130具有在其外周面保持工件W的功能。在容置室110上設(shè)置有凸緣部112，襯墊(packing) 113配置在開口部111的周圍。在內(nèi)筒體120上，沿著軸向形成有用于使后述的銷(pin) 162穿過的槽部121。在外筒體130的內(nèi)周面形成有供后述的銷162卡合的孔部(未圖示)?？ê喜?60具備一對(duì)動(dòng)作桿161，沿著軸向延伸；銷162，從該動(dòng)作桿161朝向外徑方向突出；以及壓入桿163(參照?qǐng)D12)，在軸向上延伸且能夠沿著軸向移動(dòng)，并且前端與外筒體130的端部對(duì)置。第一處理室200具備氣密地形成的框體201、在該框體201的開口部202設(shè)置的滑動(dòng)門203以及保持工件W的軸狀的工件保持部204。如圖9所示，第二處理室210具備氣密地形成的框體211、在該框體211的開口部 212設(shè)置的滑動(dòng)門213以及保持工件W的軸狀的工件保持部214。這樣構(gòu)成的搬運(yùn)夾具100如下所述那樣將工件W從第一處理室200搬運(yùn)至第二處理室210。另外，在第一處理室200的框體201的工件保持部204上，沿著軸向排列保持有多個(gè)外筒體130。另外，在外筒體130上保持有工件W。如圖6所示，使容置室110與第一處理室200的開口部202對(duì)置。接著，如圖7所示，使容置室110的開口部111與第一處理室200的開口部202對(duì)置。此時(shí)，容置室110的凸緣部112隔著襯墊113與第一處理室200的框體201緊貼，因此，在容置室110與第一處理室200連通的狀態(tài)下維持氣密狀態(tài)。在該狀態(tài)下，打開滑動(dòng)門203，使突出部150與工件保持部204頂接。在此，使銷162向外側(cè)打開，與外筒體130的孔部卡合。接著，如圖8所示，使突出部150向圖中右方移動(dòng)，使外筒體130與內(nèi)筒體120嵌合。此時(shí)，銷162向外徑側(cè)突出，但是，由于在內(nèi)筒體120形成有槽部121，所以外筒體130 如圖所示那樣移動(dòng)至里面?zhèn)取Ｓ纱?，在外筒體130設(shè)置的蓋部140封閉開口部111，容置室 110內(nèi)成為氣密狀態(tài)并且不暴露在外部氣體中，因此維持干燥氣氛。然后，關(guān)閉滑動(dòng)門203。接著，通過搬運(yùn)臺(tái)車Q，使搬運(yùn)夾具100向第二處理室210移動(dòng)。如圖9所示，使容置室Iio與第二處理室210的開口部212對(duì)置。接著，如圖10所示，使容置室110的開口部111與第二處理室210的開口部212對(duì)置。此時(shí)，由于容置室110的凸緣部112隔著襯墊113與第二處理室210的框體211緊貼，所以在容置室110與第二處理室210連通的狀態(tài)下維持氣密狀態(tài)。在該狀態(tài)下，打開滑動(dòng)門213，使突出部150與工件保持部214頂接。在此，如圖11所示，使銷162向內(nèi)側(cè)關(guān)閉而解除與外筒體130的孔部之間的卡合。 進(jìn)而，如圖12所示，通過壓入桿163，按壓外筒體130的端部，使外筒體130向工件保持部 214移載。接著，如圖13所示，使突出部150向圖中右方移動(dòng)。然后，如圖14所示，使搬運(yùn)臺(tái)車Q從第二處理室210離開，關(guān)閉滑動(dòng)門203。這樣，在本實(shí)施方式的搬運(yùn)夾具100中，由于使搬運(yùn)夾具100的開口部110與處理室的開口部對(duì)置，來將蓋部140直接搬入處理室內(nèi)，所以能夠維持干燥氣氛地搬入工件W。因此，不需要使用設(shè)置有雙重門的加載互鎖方式，以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)且不使用置換氣體，就能夠在維持規(guī)定的氣氛的狀態(tài)下以低成本搬運(yùn)工件。[第三實(shí)施方式]圖15是表示第三實(shí)施方式的搬運(yùn)臺(tái)車300的縱剖視圖。搬運(yùn)臺(tái)車300具有在維持干燥氣氛的狀態(tài)下搬運(yùn)工件W的功能。搬運(yùn)臺(tái)車300具備用于容置工件W的容置室310。在容置室310上，在側(cè)面設(shè)置有開口部311，并且在底部設(shè)置有臺(tái)車312。在容置室310中設(shè)置有軸構(gòu)件320。軸構(gòu)件320的基端部321安裝在容置室310
6的內(nèi)壁面，并且，軸構(gòu)件320的前端部322從開口部311向外部突出。另外，軸構(gòu)件320的軸向與開口部311正交。在軸構(gòu)件320的外周面配置有設(shè)置成在軸構(gòu)件320的軸向上自由往復(fù)移動(dòng)的筒狀的工件支撐構(gòu)件330。在工件支撐構(gòu)件330的周圍形成有保持部331，該保持部331以保持或解除保持自由的方式保持工件W。此外，在工件支撐構(gòu)件330的圖中左端側(cè)，形成與后述的夾緊機(jī)構(gòu)350卡合的卡合部332。此外，在工件支撐構(gòu)件330的圖中右端側(cè)，安裝有從外側(cè)部封閉開口部311的蓋部340。在軸構(gòu)件320的基端部321側(cè)，與軸構(gòu)件320同軸地設(shè)置有夾緊裝置350。夾緊機(jī)構(gòu)350具備爪部351，通過開閉來與卡合部332脫離和卡合；聯(lián)桿機(jī)構(gòu)352，在關(guān)閉該爪部351的狀態(tài)下，被向前端側(cè)拉近；以及旋轉(zhuǎn)把手353，從容置室310外部驅(qū)動(dòng)該聯(lián)桿機(jī)構(gòu) 352。這樣構(gòu)成的搬運(yùn)臺(tái)車300如下述那樣搬運(yùn)工件W。將搬運(yùn)臺(tái)車300搬入至載置有工件W的處理室(未圖示)中。此時(shí)，沒有安裝工件支撐構(gòu)件330。接著，如圖16所示，轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)把手353，使爪部351在打開狀態(tài)下移動(dòng)至開口部 311。在處理室中，使安裝有工件W的工件支撐構(gòu)件330接近開口部311，使軸構(gòu)件320從工件支撐構(gòu)件330的中空部?jī)?nèi)穿過。接著，轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)把手(handle) 353，如圖17所示，關(guān)閉爪部351，使該爪部351與卡合部332卡合。進(jìn)一步轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)把手353，將爪部351拉入容置室310內(nèi)部。最終，如圖15所示，使工件支撐構(gòu)件330進(jìn)入到蓋部340封閉開口部311的位置。 然后，向其他處理室(未圖示)移動(dòng)。另外，通過在處理室中進(jìn)行蓋部340的開閉，能夠在搬運(yùn)臺(tái)車300的容置室310內(nèi)部也維持處理室中的干燥氣氛。這樣，在本實(shí)施方式的搬運(yùn)臺(tái)車300中，通過直接進(jìn)入處理室內(nèi)并在其內(nèi)部進(jìn)行蓋部340的開閉，能夠在維持干燥氣氛的狀態(tài)下搬入工件W。因此，不需要使用設(shè)置有雙重門的加載互鎖方式，以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)且不使用置換氣體，就能夠在維持規(guī)定的氣氛的狀態(tài)下以低成本搬運(yùn)工件W。說明了本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施方式，但是這些實(shí)施方式為示例，不意欲限定發(fā)明的范圍。這些新的實(shí)施方式能夠以其他各種方式實(shí)施，在不脫離發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)，能夠進(jìn)行各種省略、置換和變更。這些實(shí)施方式或其變形包含在發(fā)明的范圍和宗旨中，并且包含在權(quán)利要求書中記載的發(fā)明及其等同的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，在使開口部側(cè)相互對(duì)置配置的處理室和搬運(yùn)箱之間，一邊維持氣密狀態(tài)一邊交接工件，其中，具備處理室蓋部，使上述處理室的開口部開閉自由且氣密地覆蓋上述處理室的開口部，并且在上述搬運(yùn)箱側(cè)具有凹部；引導(dǎo)機(jī)構(gòu)，向上述處理室的內(nèi)部側(cè)引導(dǎo)該處理室蓋部； 工件支撐部，設(shè)置于上述處理室內(nèi)；搬運(yùn)箱蓋部，使上述搬運(yùn)箱的開口部開閉自由且氣密地覆蓋上述搬運(yùn)箱的開口部，并且氣密地嵌入上述凹部；以及結(jié)合部，上述處理室的開口部周圍的前面部與上述搬運(yùn)箱的開口部周圍的前面部氣密地結(jié)合而成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，其中，上述處理室蓋部或上述搬運(yùn)箱蓋部由水分吸附量少的材料形成。
3.一種搬運(yùn)夾具，其中，具備 有底筒狀的容置室；內(nèi)筒體，設(shè)置成與該容置室同軸；外筒體，設(shè)置成能夠插入該內(nèi)筒體的外周面或與該內(nèi)筒體的外周面分離，并且保持工件；蓋部，設(shè)置于該外筒體的外周面，使上述容置室的開口部開閉自由且氣密地覆蓋上述容置室的開口部；突出部，設(shè)置成在上述內(nèi)筒體內(nèi)部沿著軸向自由往復(fù)移動(dòng)；以及卡合部，設(shè)置于該突出部，與上述外筒體卡合。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的搬運(yùn)夾具，其中， 上述蓋部由水分吸附量少的材料形成。
5.一種搬運(yùn)臺(tái)車，其中，具備 容置室，用于容置工件；開口部，設(shè)置于該容置室的側(cè)面；軸構(gòu)件，該軸構(gòu)件的基端部設(shè)置于上述容置室，前端部從上述開口部向外部突出并且在與上述開口部正交的方向上延伸設(shè)置；夾緊機(jī)構(gòu)，通過來自上述容置室外的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行開閉；工件支撐構(gòu)件，配置成相對(duì)于上述軸構(gòu)件自由往復(fù)移動(dòng)，用于支撐上述工件； 卡合部，設(shè)置于該工件支撐構(gòu)件，通過上述夾緊機(jī)構(gòu)的開閉而與上述夾緊機(jī)構(gòu)脫離或卡合；以及蓋部，設(shè)置于上述工件支撐部，從上述容置室的外部側(cè)開閉自由地封閉上述開口部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的搬運(yùn)臺(tái)車，其中，上述工件支撐構(gòu)件形成為能夠在上述軸構(gòu)件的外周面滑動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的搬運(yùn)臺(tái)車，其中， 上述夾緊機(jī)構(gòu)形成為與上述軸構(gòu)件同軸。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的搬運(yùn)臺(tái)車，其中， 上述蓋部由水分吸附量少的材料形成。
全文摘要
本實(shí)施方式的一個(gè)方式的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，在相互使開口部側(cè)對(duì)置配置的處理室和搬運(yùn)箱之間，一邊維持氣密狀態(tài)一邊交接工件，其中，具備處理室蓋部，使上述處理室的開口部開閉自由且氣密地覆蓋上述處理室的開口部，并且在上述搬運(yùn)箱側(cè)具有凹部；引導(dǎo)機(jī)構(gòu)，向上述處理室的內(nèi)部側(cè)引導(dǎo)該處理室蓋部；工件支撐部，設(shè)置于上述處理室內(nèi)；搬運(yùn)箱蓋部，使上述搬運(yùn)箱的開口部開閉自由且氣密地覆蓋上述搬運(yùn)箱的開口部，并且氣密地嵌入上述凹部；以及結(jié)合部，上述處理室的開口部周圍的前面部與上述搬運(yùn)箱的開口部周圍的前面部氣密地結(jié)合而成。
文檔編號(hào)B65G47/74GK102417109SQ20111026379
公開日2012年4月18日 申請(qǐng)日期2011年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月24日
發(fā)明者寺口和宏, 木村修一, 深津健太, 高橋正彥 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝