專利名稱：處理設(shè)備、輸送控制裝置以及輸送控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種具有在多個(gè)處理裝置之間存在多個(gè)基板等被輸送物的輸送路徑時(shí)，在這些輸送路徑上輸送被輸送物的輸送單元的處理設(shè)備、控制該處理設(shè)備的輸送單元的輸送控制裝置、控制該處理設(shè)備的輸送單元的輸送控制方法。
背景技術(shù)：
目前，具有這樣一種處理設(shè)備在多個(gè)處理裝置之間存在多個(gè)具有基板等被輸送物的分支或合流的輸送路徑，并具有在這些輸送路徑上輸送被輸送物的輸送單元，使多個(gè)被輸送物對(duì)應(yīng)于一個(gè)輸送單元。作為具有存在這樣的分支或合流的輸送路徑的處理設(shè)備，一般是在各層設(shè)置有處理裝置的房間內(nèi)具有在各層之間升降的升降機(jī)，橫跨各個(gè)處理裝置之間對(duì)每個(gè)貯存箱輸送被輸送物的處理設(shè)備。此外，作為一片一片地輸送基板等被輸送物的薄板輸送的處理設(shè)備，如在專利文獻(xiàn)1中記載的那樣，提出了一種在各層設(shè)置有處理裝置的房間內(nèi)具有在各層之間升降的升降機(jī)，橫跨各處理裝置之間輸送被輸送物的處理設(shè)備。此外，如在專利文獻(xiàn)2中記載的那樣，提出了這樣一種多級(jí)結(jié)構(gòu)的處理設(shè)備，該多級(jí)結(jié)構(gòu)的處理設(shè)備具有具有升降功能的薄板輸送車、以及進(jìn)行該薄板輸送車以及處理裝置之間的被輸送物傳遞的裝載端口。在該處理設(shè)備中，還可以進(jìn)行垂直地排列處理裝置的節(jié)省安裝空間的布局。并且，如在專利文獻(xiàn)3中記載的那樣，提出了這樣一種處理設(shè)備，該處理設(shè)備具有可以連續(xù)地進(jìn)行輸送的薄板輸送機(jī)；以及設(shè)置在該薄板輸送機(jī)以及處理裝置之間，能夠保管被輸送物的保管架。并且，在這樣的處理設(shè)備中，為了實(shí)現(xiàn)高效的處理，關(guān)于將哪個(gè)被輸送物輸送給哪個(gè)處理裝置，需要恰當(dāng)?shù)乜刂戚斔蛦卧?。在現(xiàn)有的輸送控制方法中，輸送單元，按照到達(dá)該輸送單元的順序，根據(jù)到達(dá)時(shí)亥|J、輸送時(shí)間以及等待時(shí)間等預(yù)約的順序，或者按照根據(jù)負(fù)荷狀況等預(yù)先調(diào)度的順序，輸送被輸送物。例如，在專利文獻(xiàn)4中公開(kāi)了一種使用以下技術(shù)的輸送裝置，亦即，在可以通過(guò)多個(gè)輸送路徑將被輸送物輸入到加工處理裝置的設(shè)備中，在短時(shí)間內(nèi)選擇最佳的運(yùn)行調(diào)度， 由此使輸送鋼板在各個(gè)設(shè)備中的滯留成為最小的限度，來(lái)提高各個(gè)處理設(shè)備的運(yùn)行效率。 該輸送裝置，具有在生成設(shè)置在各個(gè)輸送路徑中的輸送裝置的運(yùn)行調(diào)度時(shí)，一邊修正已生成的調(diào)度的不良點(diǎn)一邊生成多個(gè)調(diào)度，從多個(gè)調(diào)度中選擇最佳的調(diào)度的運(yùn)行調(diào)度裝置。此外，在專利文獻(xiàn)5中提出了一種與下述這樣的服務(wù)單元的調(diào)度有關(guān)的技術(shù)，該服務(wù)單元在對(duì)被輸送物進(jìn)行預(yù)定處理的多階段工序中，根據(jù)來(lái)自各個(gè)工序的服務(wù)請(qǐng)求進(jìn)行預(yù)定服務(wù)。該技術(shù)能夠進(jìn)行使整個(gè)系統(tǒng)的處理效率優(yōu)先的調(diào)度。即，通過(guò)累計(jì)等待時(shí)間計(jì)算部對(duì)每個(gè)被輸送物計(jì)算出在各個(gè)工序中的等待時(shí)間的累計(jì)，然后，關(guān)于處于等待狀態(tài)的各個(gè)服務(wù)請(qǐng)求，通過(guò)允許等待時(shí)間計(jì)算部求出提出了服務(wù)請(qǐng)求的工序中的處理時(shí)間和每個(gè)工序的處理時(shí)間的最大值的偏差。并且，例如，將與緊急度相對(duì)應(yīng)的修正值輸入優(yōu)先度修正值輸入部。然后，通過(guò)優(yōu)先度計(jì)算部求出優(yōu)先度，按照該優(yōu)先度選擇一個(gè)服務(wù)請(qǐng)求。并且，在專利文獻(xiàn)6中，公開(kāi)了一種以按照被制造物的到達(dá)順序進(jìn)行處理的先入先出方式為基本的，要解決在工期不穩(wěn)定的基礎(chǔ)上生產(chǎn)量降低等課題的半導(dǎo)體工廠的物流控制裝置。在該物流控制裝置中，作為延遲時(shí)間計(jì)算當(dāng)前時(shí)刻和基準(zhǔn)時(shí)刻的差，所述當(dāng)前時(shí)刻是前級(jí)的物流控制單位的處理結(jié)束時(shí)刻，所述基準(zhǔn)時(shí)刻是基于根據(jù)理論工期和實(shí)際的處理時(shí)間的比計(jì)算出的處理計(jì)劃時(shí)間而計(jì)算出的時(shí)刻。然后，該物流控制裝置通過(guò)從該延遲時(shí)間最大的被制造物開(kāi)始優(yōu)先進(jìn)行處理，這樣可以使被制造物的工期、單位時(shí)間的生產(chǎn)量穩(wěn)定。此外，在專利文獻(xiàn)7中，公開(kāi)了一種具有一邊進(jìn)行路徑選擇，一邊使在制品、產(chǎn)品等被輸送物在幾個(gè)工序之間流動(dòng)的多個(gè)工序的物流控制方法。在該物流控制方法中，設(shè)定以下的狀態(tài)方程式使用在當(dāng)前的各個(gè)工序中正在處理以及進(jìn)行等待的被輸送物數(shù)量的信息、以及在預(yù)定時(shí)間內(nèi)可以向下一個(gè)工序輸送的被輸送物的信息，根據(jù)向下一個(gè)工序的輸送指令預(yù)測(cè)下一時(shí)刻的各個(gè)工序的材料數(shù)量。根據(jù)使關(guān)于各個(gè)工序的被輸送物數(shù)量以及控制指令的評(píng)價(jià)函數(shù)為最小的解，來(lái)求出輸送指令值。對(duì)于該輸送指令為正值且大于預(yù)定的值，并且被輸送物是可輸送的，輸出輸送指令，特別是在路徑的分支點(diǎn)或合流點(diǎn)，對(duì)輸送指令值最大的，輸出輸送指令。專利文獻(xiàn)1特開(kāi)平07-022488號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特許第4209572號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3特開(kāi)2005-167083號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4特開(kāi)平06_3沘112號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5特開(kāi)2000-033542號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)6特開(kāi)平9-123041號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)7特許第3400851號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
但是，在所述對(duì)每個(gè)貯存箱進(jìn)行輸送的現(xiàn)有的處理設(shè)備中，因?yàn)楫?dāng)在貯存箱內(nèi)沒(méi)有插入一定數(shù)量的被輸送物時(shí)不進(jìn)行輸送，所以存在在制品量增加，研制周期變長(zhǎng)的問(wèn)題。此外，在垂直地排列在專利文獻(xiàn)1中記載的處理裝置時(shí)，因?yàn)槭潜“遢斔?，所以存在升降機(jī)的輸送次數(shù)變多，升降動(dòng)作次數(shù)和升降動(dòng)作距離變長(zhǎng)的問(wèn)題。此外，在專利文獻(xiàn)2中記載的具備薄板輸送車的多級(jí)結(jié)構(gòu)的處理設(shè)備中，存在由于薄板輸送車的能力限制了輸送能力的問(wèn)題。并且，因?yàn)樾枰糜谘b載端口的空間，所以存在處理設(shè)備大型化的問(wèn)題。并且，在專利文獻(xiàn)3中記載的具備薄板輸送機(jī)的處理設(shè)備中，因?yàn)樵谌康奶幚硌b置之前需要保管架的空間，所以存在處理設(shè)備大型化的問(wèn)題。
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此外，在所述專利文獻(xiàn)4或?qū)＠墨I(xiàn)5中記載的輸送控制方法中，因?yàn)榘凑照{(diào)度預(yù)先決定了各個(gè)被輸送物的輸送目的地(處理順序)，所以即使在被輸送物的輸送目的地的負(fù)荷高的情況下，也按照已決定的輸送順序進(jìn)行處理。因此，有可能產(chǎn)生被輸送物的阻塞， 難以縮短整個(gè)輸送控制的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。此外，在專利文獻(xiàn)6或者專利文獻(xiàn)7中記載的輸送控制裝置或方法中，特別是在每次輸送一個(gè)被輸送物的所謂的薄板輸送線中，需要進(jìn)行運(yùn)算處理的數(shù)據(jù)量巨大。因此，因?yàn)闊o(wú)法縮短運(yùn)算處理所需要的時(shí)間，所以難以縮短作為處理裝置的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。此外，還需要大規(guī)模的運(yùn)算處理裝置。因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種不會(huì)大型化、在制品量不會(huì)增益、以及研制周期不會(huì)變長(zhǎng)，可以確保足夠的輸送能力的處理設(shè)備。并且，本發(fā)明的目的在于，提供一種輸送控制裝置以及輸送控制方法，即使在被輸送物的輸送目的地的負(fù)荷高的情況下，也可以縮短整個(gè)處理裝置的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間，即使在所謂的薄板輸送線中也不會(huì)增大需要進(jìn)行運(yùn)算處理的數(shù)據(jù)量，并且不需要大規(guī)模的運(yùn)算處理裝置，運(yùn)算處理所需要的時(shí)間也不會(huì)變長(zhǎng)。為了解決上述的課題，達(dá)成上述目的，本發(fā)明具有以下某種結(jié)構(gòu)。(結(jié)構(gòu)1)本發(fā)明的處理設(shè)備在多個(gè)處理裝置之間存在多個(gè)被輸送物的輸送路徑，并具有沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送單元，使多個(gè)被輸送物與一個(gè)所述輸送單元對(duì)應(yīng)，該處理設(shè)備具備升降單元，該升降單元具有跨越所述多個(gè)輸送單元之間使被輸送物升降的功能，所述輸送單元，被配置成多級(jí)，在所述處理裝置之間輸送被輸送物。所述升降單元具有緩沖存取功能，能夠用作向所述處理裝置投入前后的緩沖器。(結(jié)構(gòu)2)本發(fā)明的處理設(shè)備，在具有結(jié)構(gòu)1的處理設(shè)備中，對(duì)應(yīng)同一級(jí)的所述輸送單元并列配置進(jìn)行連續(xù)的處理的所述處理裝置，通過(guò)同一級(jí)的所述輸送單元輸送所述被輸送物。(結(jié)構(gòu)3)本發(fā)明的處理設(shè)備，在具有結(jié)構(gòu)1的處理設(shè)備中，對(duì)應(yīng)同一級(jí)的輸送單元并列配置被推定為輸送量多的處理裝置，由同一級(jí)的所述輸送單元輸送所述被輸送物。(結(jié)構(gòu)4)本發(fā)明的輸送控制裝置，在多個(gè)處理裝置之間存在多個(gè)被輸送物的輸送路徑，具有沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送單元，使多個(gè)被輸送物與一個(gè)所述輸送單元對(duì)應(yīng)的處理設(shè)備中，控制所述輸送單元，具備控制所述各輸送單元的控制單元，所述控制單元， 對(duì)各時(shí)刻的所述各被輸送物的待機(jī)時(shí)間、所述各被輸送物的輸送目的地處理裝置的負(fù)荷狀態(tài)、以及所述各被輸送物的輸送區(qū)域內(nèi)全體的負(fù)荷狀態(tài)的各自進(jìn)行預(yù)定的加權(quán)，使用所述加權(quán)計(jì)算所述各被輸送物的輸送處理的優(yōu)先度，根據(jù)該計(jì)算結(jié)果決定應(yīng)該將各被輸送物中的哪個(gè)被輸送物輸送到哪個(gè)處理裝置，根據(jù)該決定控制所述輸送單元。(結(jié)構(gòu)5)本發(fā)明的輸送控制單元，在具有結(jié)構(gòu)4的輸送控制單元中，還對(duì)所述各被輸送物的輸送源處理裝置的負(fù)荷狀態(tài)以及各個(gè)輸送單元的負(fù)荷狀態(tài)的各自進(jìn)行預(yù)定的加權(quán)。(結(jié)構(gòu)6)本發(fā)明的輸送控制裝置，在具有結(jié)構(gòu)4或5的輸送控制裝置中，登錄一個(gè)加權(quán)模式圖，對(duì)應(yīng)輸送區(qū)域內(nèi)的狀況變動(dòng)所述加權(quán)模式圖內(nèi)部的值來(lái)使加權(quán)變動(dòng)。(結(jié)構(gòu)7)本發(fā)明的輸送控制裝置，在具有結(jié)構(gòu)4或5的輸送控制裝置中，登錄多個(gè)加權(quán)模式圖，對(duì)應(yīng)輸送區(qū)域內(nèi)的狀況選擇一個(gè)加權(quán)模式圖，由此使加權(quán)變動(dòng)。(結(jié)構(gòu)8)本發(fā)明的輸送控制方法，在多個(gè)處理裝置之間存在多個(gè)被輸送物的輸送路徑，具有沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送單元，使多個(gè)被輸送物與一個(gè)所述輸送單元對(duì)應(yīng)的處理設(shè)備中，控制所述輸送單元，對(duì)各時(shí)刻的所述各被輸送物的待機(jī)時(shí)間、所述各被輸送物的輸送目的地處理裝置的負(fù)荷狀態(tài)、以及所述各被輸送物的輸送區(qū)域內(nèi)全體的負(fù)荷狀態(tài)的各自進(jìn)行預(yù)定的加權(quán)，使用所述加權(quán)計(jì)算所述各被輸送物的輸送處理的優(yōu)先度，根據(jù)所述計(jì)算結(jié)果決定應(yīng)該將所述被輸送物中的哪個(gè)被輸送物輸送到哪個(gè)處理裝置，根據(jù)該決定控制所述輸送單元。(結(jié)構(gòu)9)本發(fā)明的輸送控制方法，在具有結(jié)構(gòu)8的輸送控制方法中，還對(duì)所述各被輸送物的輸送源處理裝置的負(fù)荷狀態(tài)以及各個(gè)輸送單元的負(fù)荷狀態(tài)的各自進(jìn)行預(yù)定的加權(quán)。(結(jié)構(gòu)10)本發(fā)明的輸送控制方法，在具有結(jié)構(gòu)8或9的輸送控制方法中，登錄一個(gè)加權(quán)模式圖，對(duì)應(yīng)輸送區(qū)域內(nèi)的狀況變動(dòng)所述加權(quán)模式圖內(nèi)部的值來(lái)使加權(quán)變動(dòng)。(結(jié)構(gòu)11)本發(fā)明的輸送控制方法，在具有結(jié)構(gòu)8或9的輸送控制方法中，登錄多個(gè)加權(quán)模式圖，對(duì)應(yīng)輸送區(qū)域內(nèi)的狀況選擇一個(gè)加權(quán)模式圖，由此使加權(quán)變動(dòng)。根據(jù)具有結(jié)構(gòu)1的處理設(shè)備，可以一邊進(jìn)行輸送(例如薄板輸送)，一邊減少在制品量，減少研制周期時(shí)間，并且某且節(jié)省空間。此外，因?yàn)榭梢钥s短升降單元的移動(dòng)距離，所以可以謀求節(jié)省能量。并且，因?yàn)樯祮卧哂芯彌_存取功能，所以即使在由于維修等導(dǎo)致停止時(shí)也可以吸收輸送處理的波動(dòng)。根據(jù)具有結(jié)構(gòu)2的本發(fā)明的處理設(shè)備，可以減少在制品量，減少研制周期時(shí)間。根據(jù)具有結(jié)構(gòu)3的本發(fā)明的處理設(shè)備，可以減少在制品量。減少研制周期時(shí)間。根據(jù)具有結(jié)構(gòu)4的本發(fā)明的輸送控制裝置，可以降低阻塞的發(fā)生頻度，實(shí)現(xiàn)整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內(nèi)的總和生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。根據(jù)具有結(jié)構(gòu)5的本發(fā)明的輸送控制裝置，可以降低阻塞的發(fā)生頻度，實(shí)現(xiàn)整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內(nèi)的總和生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。根據(jù)具有結(jié)構(gòu)6的本發(fā)明的輸送控制裝置，可以選擇與輸送區(qū)域內(nèi)的狀態(tài)對(duì)應(yīng)的最佳的輸送指示，可以降低阻塞的產(chǎn)生頻度。因此，可以實(shí)現(xiàn)整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內(nèi)的總和生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。根據(jù)具有結(jié)構(gòu)8的本發(fā)明的輸送控制方法，可以降低阻塞的發(fā)生頻度，實(shí)現(xiàn)整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內(nèi)的總和生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。根據(jù)具有結(jié)構(gòu)9的本發(fā)明的輸送控制方法，可以降低阻塞的發(fā)生頻度，實(shí)現(xiàn)整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內(nèi)的總和生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。根據(jù)具有結(jié)構(gòu)10的本發(fā)明的輸送控制方法，可以選擇與輸送區(qū)域內(nèi)的狀態(tài)對(duì)應(yīng)的最佳的輸送指示，可以降低阻塞的產(chǎn)生頻度。因此，可以實(shí)現(xiàn)整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內(nèi)的總和生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。根據(jù)具有結(jié)構(gòu)11的本發(fā)明的輸送控制方法，可以選擇與輸送區(qū)域內(nèi)的狀態(tài)對(duì)應(yīng)的最佳的輸送指示，可以降低阻塞的產(chǎn)生頻度。因此，可以實(shí)現(xiàn)整體效率高的輸送，并且可以謀求縮短輸送區(qū)域內(nèi)的總和生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。S卩，本發(fā)明提供一種不會(huì)大型化、在制品量不會(huì)增益、以及研制周期不會(huì)變長(zhǎng)，可以確保足夠的輸送能力的處理設(shè)備。此外，根據(jù)本發(fā)明，即使在被輸送物的輸送目的地的負(fù)荷高的情況下，也可以縮短整個(gè)處理裝置的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。并且，本發(fā)明提供一種即使在所謂的薄板輸送線中也不會(huì)增大需要進(jìn)行運(yùn)算處理的數(shù)據(jù)量，并且作為運(yùn)算處理裝置不需要大規(guī)模的裝置，運(yùn)算處理所需要的時(shí)間也不會(huì)變長(zhǎng)的輸送控制裝置以及輸送控制方法。


圖1是表示本發(fā)明的處理裝置的第一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。圖2是表示本發(fā)明的處理裝置的第二實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。圖3是表示本發(fā)明的處理裝置的第三實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。圖4是表示執(zhí)行本發(fā)明的輸送控制方法的處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)的方框圖。圖5是表示應(yīng)用了本發(fā)明的輸送控制裝置的處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)的(a)平面圖以及 (b)側(cè)面圖。圖6是表示本發(fā)明的輸送控制裝置的結(jié)構(gòu)的方框圖。圖7是表示本發(fā)明的輸送控制裝置的指示管理部的動(dòng)作的流程圖。圖8是表示本發(fā)明的輸送控制裝置的最佳化處理的流程圖。符號(hào)說(shuō)明1控制單元；2工序管理部；3輸送指示部；4指示管理部；5設(shè)備管理部；6設(shè)備狀態(tài)部；102處理裝置(處理B) ； 103處理裝置(處理C) ； 104處理裝置(處理D) ； 106輸送單元；107輸送單元
具體實(shí)施例方式以下根據(jù)

本發(fā)明的實(shí)施方式。(處理設(shè)備的第一實(shí)施方式)圖1是表示本發(fā)明的處理設(shè)備的第一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖在本實(shí)施方式的處理設(shè)備中，如圖1所示，在多個(gè)處理裝置101、102、103、104之間存在多個(gè)被輸送物的輸送路徑。此外，沿著該輸送路徑，設(shè)置有輸送基板(被輸送物)111 的多個(gè)帶有岔路功能的輸送機(jī)(以下稱為岔路輸送機(jī)，F(xiàn)CV 輸送單元)107a、7、107b、107c、 107d。使多個(gè)基板111對(duì)應(yīng)于各個(gè)岔路輸送機(jī)107a、7、107b、107c、107d。在該處理設(shè)備中，多級(jí)地設(shè)置了各處理裝置101、102、103、104以及各岔路輸送機(jī) 107a、7、107b、107c、107d。在上級(jí)設(shè)置第一處理裝置101以及第三處理裝置103，在下級(jí)設(shè)置第二處理裝置102以及第四處理裝置104。并且，在上級(jí)設(shè)置第一 第三岔路輸送機(jī) 107a、7、107b、107c，在下級(jí)設(shè)置第四以及第五岔路輸送機(jī)107d、107e。在該處理設(shè)備中，從工序之外經(jīng)由送入輸送機(jī)106a將基板111送入到第一岔路輸送機(jī)107a。該第一岔路輸送機(jī)107a可以與第一處理裝置101進(jìn)行基板111的傳遞。在該第一岔路輸送機(jī)107a和第二以及第四岔路輸送機(jī)107b、107d之間，設(shè)置了帶有第一縱向輸送(升降)功能的輸送機(jī)(以下稱為縱向輸送機(jī)，縱向CV ·升降機(jī)升降單元)108。第四岔路輸送機(jī)107d可以與第二處理裝置102進(jìn)行基板111的傳遞。在該第二以及第四岔路輸送機(jī)107b、107d和第三以及第五岔路輸送機(jī)107c、107e之間，設(shè)置了第二縱向輸送機(jī)109。第三岔路輸送機(jī)107c可以與第三處理裝置103進(jìn)行基板111的傳遞。此外，第五岔路輸送機(jī)107e可以與第四處理裝置104進(jìn)行基板111的傳遞。在第三以及第五岔路輸送機(jī)107c、107e和向工序外送出基板111的送出輸送機(jī)106b之間，設(shè)置了第三縱向輸送機(jī) 110。在該處理設(shè)備中，第一以及第二縱向輸送機(jī)108、109具有緩沖存取功能，可以用作向各處理裝置101、102、103、104投入基板前后的緩沖器。即，在第一以及第二縱向輸送機(jī)108、109中暫時(shí)滯留從某個(gè)處理裝置直到向下一個(gè)處理裝置進(jìn)行輸送為止的期間的基板 111。在該處理裝置中，最好與同一級(jí)的岔路輸送機(jī)對(duì)應(yīng)地并列設(shè)置進(jìn)行連續(xù)的處理的處理裝置，使用同一級(jí)的岔路輸送機(jī)輸送基板111。通過(guò)如此地配置處理裝置，可以減少在制品量，并且可以減少研制周期。此外，在該處理設(shè)備中，最好與同一級(jí)的岔路輸送機(jī)對(duì)應(yīng)地并列設(shè)置被推定為輸送量多的處理裝置，使用同一級(jí)的岔路輸送機(jī)輸送基板111。通過(guò)如此地配置處理裝置，可以減少在制品量，并且可以減少研制周期。在該處理裝置中，通過(guò)各個(gè)岔路輸送機(jī)107a、107b、107c、107d以及各縱向輸送機(jī) 108、109，把從輸入輸送機(jī)106a送入的基板111輸送到任意的處理裝置101、102、103、104。 此外，從各處理裝置101、102、103、104送出基板111。在各處理裝置101、102、103、104中，
對(duì)基板111實(shí)施預(yù)定處理(檢查)。各縱向輸送機(jī)108、109根據(jù)需要進(jìn)行升降動(dòng)作(輸送路徑的分支)，將基板111輸送給同級(jí)或者其他級(jí)的岔路輸送機(jī)。(處理設(shè)備的第二實(shí)施方式)圖2是表示本發(fā)明的處理設(shè)備的第二實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。在本實(shí)施方式的處理設(shè)備中，如圖2所示，在相同的一側(cè)配置了基板111的送入口和送出口。即，在該處理設(shè)備中，在上級(jí)設(shè)置第一 第三處理裝置101、102、103，在下級(jí)設(shè)置第四 第六處理裝置104、115、116。并且，在上級(jí)設(shè)置第一 第三岔路輸送機(jī)107a、107b、 107c，在下級(jí)設(shè)置第四 第六岔路輸送機(jī)107d、107e、107f。在該處理設(shè)備中，從工序外對(duì)第一岔路輸送機(jī)107a送入基板111。此外，從第六岔路輸送機(jī)107f向工序外送出基板111。第一岔路輸送機(jī)107a可以與第一處理裝置101進(jìn)行基板111的傳遞。此外，第二岔路輸送機(jī)107b可以與第二處理裝置102進(jìn)行基板111的傳遞。第三岔路輸送機(jī)107c可以與第三處理裝置103進(jìn)行基板111的傳遞。第四岔路輸送機(jī)107d可以與第四處理裝置 104進(jìn)行基板111的傳遞。第五岔路輸送機(jī)107e可以與第五處理裝置115進(jìn)行基板111的傳遞。第六岔路輸送機(jī)107f可以與第六處理裝置116進(jìn)行基板111的傳遞。在第一以及第六岔路輸送機(jī)107a、107f和第二以及第五岔路輸送機(jī)107b、107e之間配置了第一縱向輸送機(jī)108。此外，在第二以及第五岔路輸送機(jī)107b、107e和第三以及第四岔路輸送機(jī)107c、 107d之間設(shè)置了第二縱向輸送機(jī)109。并且，在第三以及第四岔路輸送機(jī)107c、107d的端部設(shè)置了第三縱向輸送機(jī)110。在該處理設(shè)備中，第一 第三縱向輸送機(jī)108、109、110具有緩沖存取功能，可以用作向各處理裝置101、102、103、104、115、116投入基板前后的緩沖器。在該處理裝置中，最好與同一級(jí)的岔路輸送機(jī)對(duì)應(yīng)地并列設(shè)置進(jìn)行連續(xù)的處理的處理裝置，使用同一級(jí)的岔路輸送機(jī)輸送基板111。通過(guò)如此地配置處理裝置，可以減少在制品量，并且可以減少研制周期。此外，在該處理設(shè)備中，最好與同一級(jí)的岔路輸送機(jī)對(duì)應(yīng)地并列設(shè)置被推定為輸送量多的處理裝置，使用同一級(jí)的岔路輸送機(jī)輸送基板111。通過(guò)如此地配置處理裝置，可以減少在制品量，并且可以減少研制周期。在該處理裝置中，通過(guò)各個(gè)岔路輸送機(jī)107a、107b、107c、107d、107e、107f以及各縱向輸送機(jī)108、109、110，把送入到第一岔路輸送機(jī)107a中的基板111輸送到任意的處理裝置 101、102、103、104、115、116。此外，從各處理裝置 101、102、103、104、115、116 送出基板
111。在各處理裝置101、102、103、104、115、116中，對(duì)基板111實(shí)施預(yù)定處理(檢查)。各縱向輸送機(jī)108、109、110根據(jù)需要進(jìn)行升降動(dòng)作(輸送路徑的分支)，將基板111輸送給同級(jí)或者其他級(jí)的岔路輸送機(jī)。(處理設(shè)備的第三實(shí)施方式)圖3是表示本發(fā)明的處理設(shè)備的第三實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的側(cè)面圖。在本實(shí)施方式的處理設(shè)備中，如圖3所示，分三級(jí)地設(shè)置了處理裝置以及岔路輸送機(jī)。即，在該處理設(shè)備中，在上級(jí)設(shè)置第一以及第二處理裝置101、102，在中級(jí)設(shè)置第三以及第四處理裝置103、104，在下級(jí)設(shè)置第五以及第六處理裝置115、116。并且，在上級(jí)設(shè)置第一 第三岔路輸送機(jī)107a、107b、107c，在中級(jí)設(shè)置第四 第六岔路輸送機(jī)107d、107e、 107f，在下級(jí)設(shè)置第七 第九岔路輸送機(jī)107g、107h、107i。在該處理設(shè)備中，從工序外對(duì)第一岔路輸送機(jī)107a送入基板111。此外，從第四或第七岔路輸送機(jī)107d、107g向工序外送出基板111。第一岔路輸送機(jī)107a可以與第一處理裝置101進(jìn)行基板111的傳遞。此外，第二岔路輸送機(jī)107b可以與第二處理裝置102進(jìn)行基板111的傳遞。第四岔路輸送機(jī)107d可以與第四處理裝置104進(jìn)行基板111的傳遞。第六岔路輸送機(jī)107f可以與第三處理裝置 103進(jìn)行基板111的傳遞。第八岔路輸送機(jī)10 可以與第五處理裝置115進(jìn)行基板111的傳遞。第九岔路輸送機(jī)107i可以與第六處理裝置116進(jìn)行基板111的傳遞。在第一、第四以及第七岔路輸送機(jī)107a、107d、107g和第二、第五以及第八岔路輸送機(jī)107b、107e、107h之間配置了第一縱向輸送機(jī)108。此外，在第二、第五以及第八岔路輸送機(jī)107b、107e、l(^h和第三、第六以及第九岔路輸送機(jī)107c、107f、107i之間設(shè)置了第二縱向輸送機(jī)109。并且，在第三、第六以及第九岔路輸送機(jī)107c、107f、107i的端部設(shè)置了第三縱向輸送機(jī)110。并且，在第一、第四以及第七岔路輸送機(jī)107a、107d、107g的端部(送入口和送出口)設(shè)置了送入送出縱向輸送機(jī)
112。
在該處理設(shè)備中，第一 第三縱向輸送機(jī)108、109、110具有緩沖存取功能，可以用作向各處理裝置101、102、103、104、115、116投入基板前后的緩沖器。在該處理裝置中，最好與同一級(jí)的岔路輸送機(jī)對(duì)應(yīng)地并列設(shè)置進(jìn)行連續(xù)的處理的處理裝置，使用同一級(jí)的岔路輸送機(jī)輸送基板111。通過(guò)如此地配置處理裝置，可以減少在制品量，并且可以減少研制周期。此外，在該處理設(shè)備中，最好與同一級(jí)的岔路輸送機(jī)對(duì)應(yīng)地并列設(shè)置被推定為輸送量多的處理裝置，使用同一級(jí)的岔路輸送機(jī)輸送基板111。通過(guò)如此地配置處理裝置，可以減少在制品量，并且可以減少研制周期。在該處理裝置中，通過(guò)各個(gè)岔路輸送機(jī)107a、107b、107c、107d、107e、107f、107g、 107h、107i以及各縱向輸送機(jī)108、109、110，把送入到第一岔路輸送機(jī)107a中的基板111 輸送到任意的處理裝置101、102、103、104、115、116。此外，從各處理裝置101、102、103、 104、115、116送出基板111。在各處理裝置101、102、103、104、115、116中，對(duì)基板111實(shí)施
預(yù)定處理(檢查)。各縱向輸送機(jī)108、109、110對(duì)應(yīng)輸送路徑的分支等，并且根據(jù)需要進(jìn)行升降動(dòng)作，將基板111輸送給同級(jí)或者其他級(jí)的岔路輸送機(jī)。(輸送控制方法的實(shí)施方式)圖4是表示執(zhí)行本發(fā)明的輸送控制方法的處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)的方框圖。如圖4所示，本實(shí)施方式的輸送控制方法是在處理設(shè)備(例如所述第一 第三實(shí)施方式的處理設(shè)備)中控制輸送單元的輸送控制方法，該處理設(shè)備在多個(gè)處理裝置101、 102、103、104之間存在多個(gè)被輸送物的輸送路徑，具有沿著該輸送路徑進(jìn)行被輸送物的輸送的多個(gè)輸送單元，使多個(gè)被輸送物對(duì)應(yīng)一個(gè)輸送單元。在該處理設(shè)備中，按照從上位系統(tǒng)取得的處理裝置101、102、103、104(處理A、處理B、處理C、處理D)之間的輸送信息，依次在處理裝置101、102、103、104之間輸送線內(nèi)的被輸送物(例如，F(xiàn)PD或在半導(dǎo)體中使用的玻璃基板等)。本實(shí)施方式的輸送控制方法改善這樣的處理設(shè)備的輸送效率。在這樣的處理設(shè)備中，投入到出入口 105的被輸送物，依次被輸送到各處理裝置
101、102、103、104，實(shí)施預(yù)定處理，并且再次返回到出入口105。但是，在該處理設(shè)備中，有可能對(duì)應(yīng)各處理裝置中的處理結(jié)果(例如，檢查結(jié)果)變更下一個(gè)輸送到的處理裝置(工序)。此外，在該處理裝置中，因?yàn)橛袝r(shí)將多個(gè)被輸送物輸送到同一處理裝置(例如檢查裝置)，所以在各個(gè)處理裝置之間存在多個(gè)分支或合流。本實(shí)施方式的輸送控制方法，特別適合于每次輸送一張被輸送物的薄板輸送線。 在薄板輸送線中，因?yàn)橥瑫r(shí)進(jìn)行輸送控制的被輸送物的數(shù)量變得巨大，所以在現(xiàn)有的輸送控制方法中控制極為困難。(輸送控制裝置的結(jié)構(gòu))圖5是表示應(yīng)用了本發(fā)明的輸送控制裝置的處理設(shè)備的結(jié)構(gòu)的(a)平面圖以及 (b)側(cè)面圖。在應(yīng)用了本實(shí)施方式的輸送控制裝置的處理設(shè)備中，如圖5(a)所示，從成為出入口 105的端口 A E投入被輸送物。通過(guò)輸送機(jī)(輸送單元)106、107在多個(gè)處理裝置101、
102、103、104之間輸送被輸送物。如圖5(b)所示，輸送機(jī)107由岔路輸送機(jī)(FCV) 107和縱向輸送機(jī)(縱向CV) 108、
10109、110構(gòu)成。岔路輸送機(jī)107水平地輸送被輸送物，并且與處理裝置101、102、103、104進(jìn)行被輸送物的傳遞?？v向輸送機(jī)108、109、110具有緩沖存取功能。在該處理裝置中，上下裝載地配置了處理A的處理裝置101和處理D的處理裝置 104，此外，上下裝載地配置了處理B的處理裝置102和處理C的處理裝置103。并且，分別在輸送線的起始端以及終端、處理裝置101以及處理裝置104和處理裝置102以及處理裝置103之間，設(shè)置了縱向輸送機(jī)108、109、110。在這些縱向輸送機(jī)108、109、110中暫時(shí)滯留從某個(gè)處理裝置直到向下一個(gè)處理裝置進(jìn)行輸送為止的期間的被輸送物。在該處理裝置中，通過(guò)本實(shí)施方式的輸送控制裝置控制輸送機(jī)106、107，由此將各個(gè)被輸送物輸送到各處理裝置101、102、103、104以及各縱向輸送機(jī)108、109、110這樣的任意場(chǎng)所，在各處理裝置101、102、103、104中對(duì)各個(gè)被輸送物實(shí)施預(yù)定處理(檢查)。圖6是表示本實(shí)施方式的輸送控制裝置的結(jié)構(gòu)的方框圖。如圖6所示，本實(shí)施方式的輸送控制裝置具有控制輸送單元106、107的控制單元 1。該控制單元1具有從上位系統(tǒng)201接收處理之間的輸送信息的工序管理部2。該工序管理部2生成被輸送物的輸送區(qū)域內(nèi)的處理裝置之間的輸送指示信息，并積存在輸送指示部3中。通過(guò)指示管理部4讀出積存在輸送指示部3中的輸送指示信息，發(fā)送給設(shè)備管理部5。另一方面，從各輸送單元106、107送出動(dòng)作結(jié)果信息以及設(shè)備狀態(tài)信息(跟蹤數(shù)據(jù))，經(jīng)由設(shè)備管理部5積存在設(shè)備狀態(tài)部(跟蹤數(shù)據(jù)DB)6中。由指示管理部4讀出積存在設(shè)備狀態(tài)部6中的動(dòng)作結(jié)果信息以及設(shè)備狀態(tài)信息，將其用于生成輸送指示信息。設(shè)備管理部5，根據(jù)接收到的輸送指示信息，生成控制各輸送單元106、107的動(dòng)作指示信息，并將其發(fā)送給各輸送單元106、107。然后，根據(jù)動(dòng)作指示信息控制各輸送單元 106、107來(lái)使其進(jìn)行動(dòng)作。在該輸送控制裝置中，指示管理部4在生成輸送指示信息時(shí)計(jì)算被輸送物的處理優(yōu)先度，進(jìn)行應(yīng)該將多個(gè)被輸送物中的哪個(gè)被輸送物輸送給哪個(gè)處理裝置的最佳化處理。在該最佳化處理中，在計(jì)算被輸送物的處理優(yōu)先度時(shí)，從各輸送單元106、107的動(dòng)作結(jié)果信息以及設(shè)備狀態(tài)信息中抽出決定優(yōu)先度的多個(gè)項(xiàng)目，并且對(duì)這些項(xiàng)目中的每個(gè)項(xiàng)目設(shè)定加權(quán)。關(guān)于加權(quán)的設(shè)定，登錄一個(gè)模式圖，對(duì)應(yīng)輸送區(qū)域內(nèi)的狀況變動(dòng)該一個(gè)模式圖?；蛘呖梢缘卿浂鄠€(gè)模式圖，對(duì)應(yīng)輸送區(qū)域內(nèi)的狀況選擇一個(gè)模式圖。S卩，指示管理部4對(duì)各時(shí)刻的各個(gè)被輸送物的待機(jī)時(shí)間、各個(gè)被輸送物的輸送目的地處理裝置101、102、103. 104的負(fù)荷狀態(tài)、各個(gè)被輸送物的輸送源處理裝置101、102、 103、104的負(fù)荷狀態(tài)、各被輸送物的輸送區(qū)域內(nèi)全體的負(fù)荷狀態(tài)、以及各輸送單元的負(fù)荷狀態(tài)的各自進(jìn)行預(yù)定的加權(quán)(對(duì)應(yīng)輸送區(qū)域內(nèi)的狀況使加權(quán)變動(dòng))，計(jì)算出各個(gè)被輸送物的輸送處理的優(yōu)先度。然后，指示管理部4根據(jù)該計(jì)算結(jié)果，決定把各個(gè)被輸送物中的哪個(gè)被輸送物輸送給哪個(gè)處理裝置101、102、103、104，根據(jù)該決定控制輸送單元106、107。(輸送控制裝置的動(dòng)作(輸送控制方法))圖7是表示輸送控制裝置的指示管理部4的動(dòng)作的流程圖。在步驟Stl中，確認(rèn)在設(shè)備狀態(tài)部6中積存的動(dòng)作結(jié)果信息以及設(shè)備狀態(tài)信息。在步驟st2中，判斷有無(wú)處理已完成的被輸送物。如果具有處理已完成的被輸送物，則進(jìn)入到步驟st9，如果沒(méi)有處理已完成的被輸送物，進(jìn)入到步驟st3。在步驟st9中，將輸送指示已完成的被輸送物的狀態(tài)信息變更為“完成”。在步驟st3中，判斷有無(wú)待機(jī)中的被輸送物，如果存在待機(jī)中的被輸送物，則進(jìn)入到步驟st4，如果沒(méi)有待機(jī)中的被輸送物，則進(jìn)入到步驟stl3中處理結(jié)束。在步驟st4中，確認(rèn)輸送單元106、107的狀態(tài)。在步驟st5中，判斷是否需要進(jìn)行輸送單元106、107的最佳化處理。如果需要進(jìn)行最佳化處理，則進(jìn)入到步驟StlO中，如果不需要進(jìn)行最佳化處理則進(jìn)入到步驟Ste中。在步驟StlO中，進(jìn)行最佳化處理。在該最佳化處理中，如后述那樣，從各個(gè)輸送單元106、107的動(dòng)作結(jié)果信息以及設(shè)備狀態(tài)信息中抽出決定優(yōu)先度的多個(gè)項(xiàng)目，對(duì)這些項(xiàng)目中的每個(gè)項(xiàng)目設(shè)定加權(quán)。在步驟still中，變更輸送指示信息中的輸送目的地。在步驟Ste中，決定針對(duì)移動(dòng)單元106、107的作業(yè)命令中的輸送目的地。在步驟 st7中，生成針對(duì)移動(dòng)單元106、107的作業(yè)命令。在步驟st8中，判斷輸送指示信息是否為待機(jī)中。如果是待機(jī)中，則進(jìn)入步驟 stl2,如果不是待機(jī)中，則進(jìn)入步驟stl3，處理結(jié)束。在步驟stl2中，將開(kāi)始了輸送指示的被輸送物的狀態(tài)信息變更為“輸送中”，進(jìn)入到步驟stl3中處理結(jié)束。圖8是表示輸送控制裝置中的最佳化處理(圖7的stlO)的流程圖。如圖8所示，所述的最佳化處理在步驟st21中受理最佳化請(qǐng)求。在步驟st22中， 讀取各種信息數(shù)據(jù)。然后，在步驟st23中，抽出針對(duì)成為對(duì)象的輸送單元106、107的各個(gè)輸送指示。然后，在步驟StM中，確認(rèn)可否執(zhí)行輸送指示。然后，如果能夠執(zhí)行輸送指示，則在步驟st25中，臨時(shí)決定輸送指示中的輸送目的地。然后，在步驟中，計(jì)算輸送指示的優(yōu)先度。然后，在步驟st27中，選擇要執(zhí)行的輸送指示。然后，在步驟中，輸出要執(zhí)行的輸送指示，最佳化處理結(jié)束。如以下的表(1)所示，對(duì)每個(gè)項(xiàng)目進(jìn)行加權(quán)，根據(jù)該加權(quán)計(jì)算優(yōu)先度。被輸送物的前后的優(yōu)先度條件
權(quán)利要求
1.一種輸送控制裝置，其用于在下述的處理設(shè)備中控制輸送單元，所述處理設(shè)備在多個(gè)處理裝置之間存在多條被輸送物的輸送路徑，并具有多個(gè)沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送單元，使多個(gè)被輸送物與一個(gè)所述輸送單元對(duì)應(yīng)，該輸送控制裝置的特征在于，具備控制所述各輸送單元的控制單元，所述控制單元，對(duì)各時(shí)刻的所述各被輸送物的待機(jī)時(shí)間、所述各被輸送物的輸送目的地處理裝置的負(fù)荷狀態(tài)、以及所述各被輸送物的輸送區(qū)域內(nèi)全體的負(fù)荷狀態(tài)分別進(jìn)行預(yù)定的加權(quán)，使用所述加權(quán)計(jì)算所述各被輸送物的輸送處理的優(yōu)先度，根據(jù)該計(jì)算結(jié)果決定應(yīng)該將所述各被輸送物中的哪個(gè)被輸送物輸送到哪個(gè)處理裝置，根據(jù)該決定控制所述輸送單兀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送控制裝置，其特征在于，所述控制單元，還對(duì)所述各被輸送物的輸送源處理裝置的負(fù)荷狀態(tài)以及各個(gè)輸送單元的負(fù)荷狀態(tài)分別進(jìn)行預(yù)定的加權(quán)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的輸送控制裝置，其特征在于，所述控制單元，登錄一個(gè)加權(quán)模式圖，對(duì)應(yīng)輸送區(qū)域內(nèi)的狀況使所述加權(quán)模式圖內(nèi)部的值變動(dòng)來(lái)使加權(quán)變動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的輸送控制裝置，其特征在于，所述控制單元，登錄多個(gè)加權(quán)模式圖，對(duì)應(yīng)輸送區(qū)域內(nèi)的狀況選擇一個(gè)加權(quán)模式圖，由此使加權(quán)變動(dòng)。
5.一種輸送控制方法，其用于在下述的處理設(shè)備中控制輸送單元，該處理設(shè)備在多個(gè)處理裝置之間存在多個(gè)被輸送物的輸送路徑，并具有多個(gè)沿著所述輸送路徑輸送被輸送物的輸送單元，使多個(gè)被輸送物與一個(gè)所述輸送單元對(duì)應(yīng)，該輸送控制方法的特征在于，對(duì)各時(shí)刻的所述各被輸送物的待機(jī)時(shí)間、所述各被輸送物的輸送目的地處理裝置的負(fù)荷狀態(tài)、以及所述各被輸送物的輸送區(qū)域內(nèi)全體的負(fù)荷狀態(tài)分別進(jìn)行預(yù)定的加權(quán)，使用所述加權(quán)計(jì)算所述各被輸送物的輸送處理的優(yōu)先度，根據(jù)所述計(jì)算結(jié)果決定應(yīng)該將所述各被輸送物中的哪個(gè)被輸送物輸送到哪個(gè)處理裝置，根據(jù)該決定控制所述輸送單元。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的輸送控制方法，其特征在于，還對(duì)所述各被輸送物的輸送源處理裝置的負(fù)荷狀態(tài)以及各個(gè)輸送單元的負(fù)荷狀態(tài)分別進(jìn)行預(yù)定的加權(quán)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的輸送控制方法，其特征在于，登錄一個(gè)加權(quán)模式圖，對(duì)應(yīng)輸送區(qū)域內(nèi)的狀況變動(dòng)所述加權(quán)模式圖內(nèi)部的值來(lái)使加權(quán)變動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的輸送控制方法，其特征在于，登錄多個(gè)加權(quán)模式圖，對(duì)應(yīng)輸送區(qū)域內(nèi)的狀況選擇一個(gè)加權(quán)模式圖，由此使加權(quán)變動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種處理設(shè)備、輸送控制裝置以及輸送控制方法。處理設(shè)備在各個(gè)處理裝置之間具有多個(gè)輸送路徑。處理設(shè)備對(duì)各時(shí)刻的各被輸送物的待機(jī)時(shí)間、輸送目的地以及輸送源的處理裝置的負(fù)荷狀態(tài)、各被輸送物的輸送區(qū)域內(nèi)全體的負(fù)荷狀態(tài)、以及各輸送單元的負(fù)荷狀態(tài)的各自進(jìn)行加權(quán)，對(duì)應(yīng)輸送區(qū)域內(nèi)的狀況使加權(quán)變動(dòng)來(lái)計(jì)算輸送處理的優(yōu)先度，決定將哪個(gè)被輸送物輸送到哪個(gè)處理裝置來(lái)控制輸送單元。上述處理設(shè)備不會(huì)大型化，不會(huì)增加在制品量和研制周期，具有足夠的輸送能力。根據(jù)上述的處理設(shè)備，在被被輸送物的輸送目的地的負(fù)荷高時(shí)，可以縮短整個(gè)處理裝置的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間。
文檔編號(hào)B65G43/00GK102502201SQ201110358229
公開(kāi)日2012年6月20日 申請(qǐng)日期2009年6月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月20日
發(fā)明者志田倫教 申請(qǐng)人:株式會(huì)社Ihi