專(zhuān)利名稱(chēng)：一種高純度三氯氧磷使用裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種高純度三氯氧磷的使用裝置。
背景技術(shù)：
高純度的三氯氧磷(99. 9999% 99. 99999% )是生產(chǎn)制造光纖預(yù)制棒的主要原材料之一，也是集成電路、太陽(yáng)能電池、電子元器件生產(chǎn)過(guò)程的擴(kuò)散、摻雜工藝中的主要原料，被廣泛運(yùn)用于光伏、IC產(chǎn)業(yè)。但其屬于強(qiáng)腐蝕性、強(qiáng)氧化性、劇毒、遇水劇烈反應(yīng)的無(wú)色透明化學(xué)品。目前高純度三氯氧磷的使用方法是用高純石英容器(0. 4 1. 5L)盛裝，進(jìn)出氮?dú)夤懿捎肞FA閥門(mén)密封、連接，1/4英寸口徑管為進(jìn)氮?dú)夤埽?/8英寸管為出氮?dú)獾臄U(kuò)散管，在20°C恒溫水浴下(將石英瓶放入水浴鍋中)利用氮?dú)鈱⑷妊趿讕С鲋翑U(kuò)散爐。作為運(yùn)輸和使用容器，其缺點(diǎn)是玻璃容器易碎、換瓶頻繁、操作危險(xiǎn)(三氯氧磷遇水會(huì)產(chǎn)生爆炸)、泄漏風(fēng)險(xiǎn)高、人力成本高、物流成本高；另一種是使用19L不銹鋼SS316L儲(chǔ)罐，其缺點(diǎn)是操作煩瑣、裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜、工作壓力高(需用氮?dú)鈮毫ψ鳛閯?dòng)力源)、裝置自身成本高、維護(hù)成本高(需專(zhuān)業(yè)維護(hù)人員)，且不能徹底杜絕金屬雜質(zhì)對(duì)物料的污染。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安全可靠、無(wú)泄漏、無(wú)污染、使用方便，運(yùn)行成本低的高純度三氯氧磷使用裝置。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐放在恒溫箱內(nèi)的稱(chēng)重器上，三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐頂部連接有帶氮?dú)膺M(jìn)氣閥的氮?dú)膺M(jìn)氣管和帶氮?dú)獬鰵忾y的氮?dú)獬鰵夤?，恒溫箱?nèi)有溫度重量顯示儀表。氮?dú)膺M(jìn)氣管一端插入三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐的底部，另一端連接有氮?dú)忾y。由于本實(shí)用新型采用了上述結(jié)構(gòu)，增強(qiáng)了操作使用的連續(xù)性，簡(jiǎn)化操作、減少勞動(dòng)強(qiáng)度；徹底杜絕了三氯氧磷遇水產(chǎn)生的爆炸危險(xiǎn)，極大提高了三氯氧磷使用過(guò)程中的安全性；極大地減少了三氯氧磷使用方的生產(chǎn)、維護(hù)成本和三氯氧磷供應(yīng)方的物流成本；全PFA 材料徹底杜絕了玻璃材料和其他材料的金屬雜質(zhì)溶出風(fēng)險(xiǎn)。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)圖。圖中1恒溫箱、2三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐、3稱(chēng)重器、4溫度重量顯示儀表、5氮?dú)膺M(jìn)氣管、6 氮?dú)獬鰵夤堋?氮?dú)膺M(jìn)氣閥、8氮?dú)獬鰵忾y、9氮?dú)忾y。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐2放在恒溫箱1內(nèi)的稱(chēng)重器3上，三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐2頂部連接有帶氮?dú)膺M(jìn)氣閥7的氮?dú)膺M(jìn)氣管5和帶氮?dú)獬鰵忾y8的氮?dú)獬鰵夤?，恒溫箱1內(nèi)有溫度重量顯示儀表4，氮?dú)膺M(jìn)氣管5 —端插入三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐2的底部，另一端連接有氮?dú)忾y9。三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐2為進(jìn)口高純PFA材料制成，容積為20L，該裝置的所有閥門(mén)均為進(jìn)口高純PFA材料制成，防止了物料泄漏并方便安裝管道。三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐2通過(guò)聯(lián)合國(guó) UN組織安全認(rèn)證，可保證運(yùn)輸?shù)陌踩?，外部可配有高?qiáng)度硬質(zhì)帶蓋塑料桶。恒溫箱1為密閉空間，依靠空氣作為熱交換介質(zhì)，需恒定溫度的精確度在0.31、均勻度在0.51，箱體上開(kāi)2個(gè)恒溫部分與外界連接的孔(用于氮?dú)獾倪M(jìn)出)，并做到管道連接后管道與恒溫箱1 的箱體完全密封，恒溫箱1內(nèi)設(shè)置可稱(chēng)量三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐2重量的稱(chēng)重器。使用時(shí)，三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐2在三氯氧磷供應(yīng)方廠家完成灌裝并安全運(yùn)送到三氯氧磷使用方廠家。將三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐2放置入恒溫箱1內(nèi)，通過(guò)三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐2上的氮?dú)膺M(jìn)氣閥7連接氮?dú)膺M(jìn)氣管5(氮?dú)膺M(jìn)氣管另一端連接氮?dú)忾y9)、氮?dú)獬鰵忾y8連接氮?dú)獬鰵夤? (氮?dú)獬鰵夤?另一端連接到擴(kuò)散爐)。打開(kāi)氮?dú)膺M(jìn)氣閥7、氮?dú)獬鰵忾y8，然后開(kāi)啟恒溫箱1的恒溫系統(tǒng)，將溫度設(shè)置在20°C，通過(guò)溫度數(shù)顯表觀察箱內(nèi)溫度直至溫度恒定在 20°C后，打開(kāi)本裝置所連接的氮?dú)忾y9即可進(jìn)行使用。
權(quán)利要求1.一種高純度三氯氧磷使用裝置，其特征是三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐放在恒溫箱內(nèi)的稱(chēng)重器上，三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐頂部連接有帶氮?dú)膺M(jìn)氣閥的氮?dú)膺M(jìn)氣管和帶氮?dú)獬鰵忾y的氮?dú)獬鰵夤?，恒溫箱?nèi)有溫度重量顯示儀表。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高純度三氯氧磷使用裝置，其特征是氮?dú)膺M(jìn)氣管一端插入三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐的底部，另一端連接有氮?dú)忾y。
專(zhuān)利摘要一種高純度三氯氧磷使用裝置，三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐放在恒溫箱內(nèi)的稱(chēng)重器上，三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐頂部連接有帶氮?dú)膺M(jìn)氣閥的氮?dú)膺M(jìn)氣管和帶氮?dú)獬鰵忾y的氮?dú)獬鰵夤?，恒溫箱?nèi)有溫度重量顯示儀表，氮?dú)膺M(jìn)氣管一端插入三氯氧磷儲(chǔ)運(yùn)罐的底部，另一端連接有氮?dú)忾y。由于本實(shí)用新型采用了上述結(jié)構(gòu)，增強(qiáng)了操作使用的連續(xù)性，簡(jiǎn)化操作、減少勞動(dòng)強(qiáng)度；徹底杜絕了三氯氧磷遇水產(chǎn)生的爆炸危險(xiǎn)，極大提高了三氯氧磷使用過(guò)程中的安全性；極大地減少了三氯氧磷使用方的生產(chǎn)、維護(hù)成本和三氯氧磷供應(yīng)方的物流成本；全PFA材料徹底杜絕了玻璃材料和其他材料的金屬雜質(zhì)溶出風(fēng)險(xiǎn)。
文檔編號(hào)B65D81/20GK202080602SQ20112016376
公開(kāi)日2011年12月21日 申請(qǐng)日期2011年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月16日
發(fā)明者向東, 姜盛君, 舒驍驥 申請(qǐng)人:向東