專利名稱：5片盒整體傳輸結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種基片傳輸裝置，屬于自動(dòng)化檢測(cè)傳輸領(lǐng)域，尤其涉及ー種5片盒整體傳輸結(jié)構(gòu)。
技術(shù)背景在半導(dǎo)體集成電路制造行業(yè)，特別設(shè)計(jì)LED生產(chǎn)和太陽(yáng)能電池芯片的生產(chǎn)過(guò)程中，對(duì)基片的平整度，翹曲度這些指標(biāo)有很高的要求，因此經(jīng)常需要檢測(cè)基片的平整度與厚度，在這過(guò)程中，將基片傳輸分類的過(guò)程就需要額外的。目前，市場(chǎng)上主要采用的通過(guò)人工完成相關(guān)的基片檢測(cè)工作。這主要是因?yàn)槿斯こ杀镜偷木壒?。人工檢測(cè)時(shí)，在傳輸分類過(guò)程中難免會(huì)造成晶片受到污染，這樣増加了次品率，不利于降低成本。因此，提供一種成本低廉，通過(guò)又能自動(dòng)化傳輸分類基片的裝置就顯得尤為重要了。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是避免現(xiàn)有技術(shù)中的傳輸設(shè)備成本過(guò)高的問(wèn)題，通過(guò)簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)來(lái)降低設(shè)備的制造成本，保證設(shè)備在提高生產(chǎn)效率的同時(shí)，極大降低對(duì)晶片污染并提高良品率。本實(shí)用新型公開(kāi)ー種5片盒整體傳輸結(jié)構(gòu)，包括機(jī)架，其中掃描工作臺(tái)，設(shè)置在所述機(jī)架的一端，所述掃描工作臺(tái)上設(shè)置有承片臺(tái)；5個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)，呈單列設(shè)置在所述機(jī)架的另一端；導(dǎo)軌系統(tǒng)，在所述掃描臺(tái)和所述片盒升降機(jī)構(gòu)之間。上述的傳輸結(jié)構(gòu)，其中，所述導(dǎo)軌系統(tǒng)頂部設(shè)置有ー旋轉(zhuǎn)機(jī)械手，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)械手包括兩個(gè)直臂，所述兩直臂夾角大于90度。上述的傳輸結(jié)構(gòu)，其中，所述導(dǎo)軌系統(tǒng)包括第一向?qū)к壓偷诙驅(qū)к墸龅诙驅(qū)к壩挥谒龅谝幌驅(qū)к壣?，所述第一向?qū)к壓偷诙驅(qū)к壴谒矫嫔匣ハ啻怪薄Ｉ鲜龅膫鬏斀Y(jié)構(gòu)，其中，所述5個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)環(huán)繞所述導(dǎo)軌系統(tǒng)的ー側(cè)。上述的傳輸結(jié)構(gòu)，其中，所述機(jī)架上套有ー個(gè)透明罩體，所述罩體與所述機(jī)架接合處密封。上述的傳輸結(jié)構(gòu)，其中，所述片盒升降機(jī)構(gòu)包括片架升降電機(jī)，設(shè)置在所述機(jī)架里；片架升降絲杠，底端連接所述片架升降電機(jī)，頂端豎直；片盒，其底端豎直方向上設(shè)置有螺紋，連接所述片架升降絲杠。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置5個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)方便用于分選不同的基片，導(dǎo)軌系統(tǒng)通過(guò)第一向和第二向?qū)к壱苿?dòng)，使導(dǎo)軌系統(tǒng)頂端的機(jī)械手靠近所述5個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)中的任意一個(gè)或掃描工作平臺(tái)。

通過(guò)閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型及其特征、外形和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯。在全部附圖中相同的標(biāo)記指示相同的部分。并未刻意按照比例繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本實(shí)用新型的主在附圖中，為清楚明了，放大了部分部件。圖I示出了根據(jù)本實(shí)用新型的，ー種5片盒整體傳輸結(jié)構(gòu)的俯視圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一歩詳細(xì)說(shuō)明。此處所描述的具體實(shí)施方式
僅用于解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。參考圖I示出了根據(jù)本實(shí)用新型的，ー種5片盒整體傳輸結(jié)構(gòu)的俯視圖。其中，機(jī)架100上設(shè)置有掃描工作臺(tái)4，掃描工作臺(tái)4設(shè)置在所述機(jī)架100的一端，所述掃描工作臺(tái)4上設(shè)置有承片臺(tái)I ;5個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)6，設(shè)置在所述機(jī)架100的另一端；導(dǎo)軌系統(tǒng)9，設(shè)置在所述掃描臺(tái)4和所述片盒升降機(jī)構(gòu)6之間。進(jìn)ー步地，所述導(dǎo)軌系統(tǒng)9頂部設(shè)置有ー旋轉(zhuǎn)機(jī)械手8，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)械手8包括兩個(gè)直臂，所述兩直臂夾角大于90度。旋轉(zhuǎn)機(jī)械手8可以通過(guò)導(dǎo)軌系統(tǒng)9在掃描工作臺(tái)4和片盒升降機(jī)構(gòu)6之間移動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)基片(圖I中未標(biāo)示)的傳輸。在一個(gè)優(yōu)選例中，所述導(dǎo)軌系統(tǒng)9包括第一向?qū)к?和第二向?qū)к?，所述第二向?qū)к?位于所述第一向?qū)к?上,所述第一向?qū)к?和第二向?qū)к?在水平面上互相垂直。旋轉(zhuǎn)機(jī)械手8的底端固定在所述第二向?qū)к?上，第二向?qū)к?設(shè)置在第一向?qū)к?上，所述機(jī)架100上設(shè)置有一第一向滑槽，第一向?qū)к?連接所述第一向滑槽，使得所述第一向?qū)к?可沿第一向移動(dòng)，所述第一向?qū)к?上設(shè)置有第二向滑槽，使得所述第二向?qū)к?可沿第二向移動(dòng)，這樣，旋轉(zhuǎn)機(jī)械手8就可以移動(dòng)至ニ維平面上需要的位置。所述5個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)環(huán)繞所述導(dǎo)軌系統(tǒng)的ー側(cè)，如圖I所示，這樣的設(shè)計(jì)使得旋轉(zhuǎn)機(jī)械手8和每ー個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)的距離都相近，避免旋轉(zhuǎn)機(jī)械手8做大幅度的位移，參考圖I中特別標(biāo)示的第一片盒升降機(jī)構(gòu)10和第二片盒升降機(jī)構(gòu)7，這兩個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)是5個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)中最兩端的片盒升降機(jī)構(gòu)，其傾斜一定角度，正對(duì)所述旋轉(zhuǎn)機(jī)械手8，旋轉(zhuǎn)機(jī)械手8相距第一片盒升降機(jī)構(gòu)10、相距第二片盒升降機(jī)構(gòu)7約等于旋轉(zhuǎn)機(jī)械手8相距另外三個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)的距離，再又一個(gè)優(yōu)選例中，5個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)的排布成類似圓弧狀。為了保證本實(shí)用新型在傳輸過(guò)程中與外界隔離，機(jī)架100上套有ー個(gè)透明罩體(圖I中未標(biāo)示)，所述罩體與所述機(jī)架接合處密封，不僅可以避免基片被污染，同時(shí)也方便工作人員觀察本實(shí)用新型的工作狀態(tài)。更進(jìn)一歩地，所述片盒升降機(jī)構(gòu)6包括片架升降電機(jī)(圖I中未標(biāo)示)，設(shè)置在所述機(jī)架100里；片架升降絲杠(圖I中未標(biāo)示)，其底端連接所述片架升降電機(jī)；片盒5，其底 端豎直方向上設(shè)置有螺紋，連接所述片架升降絲杠的頂端。本實(shí)用新型使用吋，首先，旋轉(zhuǎn)機(jī)械手8從ー個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)6中的片盒5里取出基片，旋轉(zhuǎn)移動(dòng)到掃描平臺(tái)4的承片臺(tái)I的位置。由旋轉(zhuǎn)機(jī)械手8將基片放置到承片臺(tái)I上。然后完成需要的檢測(cè)步驟，檢測(cè)完畢后，由旋轉(zhuǎn)機(jī)械手8將基片放置在設(shè)定的片盒升降機(jī)構(gòu)6中一個(gè)機(jī)構(gòu)的片盒5里，片盒在升降系統(tǒng)電機(jī)的帶動(dòng)升降，片盒5中放置的基片逐次被裝滿或取空，更具需要再更換空片盒或裝有帶檢測(cè)基片的片盒。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置5個(gè)片盒用于分類基片，可以根據(jù)需要將基片的類別設(shè)置成5種，通過(guò)機(jī)械手的設(shè)置可以高效完成傳輸過(guò)程，又因?yàn)樵O(shè)置有ー個(gè)透明罩體蓋住本實(shí)用新型，因此在傳輸過(guò)程中可以很好的防止人工操作時(shí)會(huì)發(fā)生的基片污染。 本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)以及上述實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)所述變化例，在此不予贅述。這樣的變化例并不影響本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容，在此不予贅述。以上對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本實(shí)用新型并不局限于上述特定實(shí)施方式，其中未盡詳細(xì)描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實(shí)施；任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述掲示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例，這并不影響本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.ー種5片盒整體傳輸結(jié)構(gòu)，包括機(jī)架，其特征在干 掃描工作臺(tái)，設(shè)置在所述機(jī)架的一端，所述掃描工作臺(tái)上設(shè)置有承片臺(tái)； 5個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述機(jī)架的另一端； 導(dǎo)軌系統(tǒng)，在所述掃描臺(tái)和所述片盒升降機(jī)構(gòu)之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)軌系統(tǒng)頂部設(shè)置有一旋轉(zhuǎn)機(jī)械手，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)械手包括兩個(gè)直臂，所述兩直臂夾角大于90度。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述導(dǎo)軌系統(tǒng)包括第一向?qū)к壓偷诙驅(qū)к?，所述第一向?qū)к壓偷诙驅(qū)к壴谒矫嫔匣ハ啻怪薄?br> 4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述5個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)環(huán)繞所述導(dǎo)軌系統(tǒng)的ー側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述機(jī)架上套有ー個(gè)透明罩體，所述罩體與所述機(jī)架接合處密封。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳輸結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述片盒升降機(jī)構(gòu)包括 片架升降電機(jī)，設(shè)置在所述機(jī)架里； 片架升降絲杠，底端連接所述片架升降電機(jī)，頂端豎直； 片盒，其底端豎直方向上設(shè)置有螺紋，連接所述片架升降絲杠。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種5片盒整體傳輸結(jié)構(gòu)，包括機(jī)架，其特征在于還包括掃描工作臺(tái)，設(shè)置在所述機(jī)架的一端，所述掃描工作臺(tái)上設(shè)置有承片臺(tái)；5個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述機(jī)架的另一端；導(dǎo)軌系統(tǒng)，在所述掃描臺(tái)和所述片盒升降機(jī)構(gòu)之間。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置5個(gè)片盒升降機(jī)構(gòu)方便用于分選不同的基片。
文檔編號(hào)B65G49/06GK202389946SQ20112026544
公開(kāi)日2012年8月22日 申請(qǐng)日期2011年7月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月26日
發(fā)明者丁天祥, 李正賢 申請(qǐng)人:上海卓晶半導(dǎo)體科技有限公司