專利名稱：一種搬運(yùn)車的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及機(jī)械領(lǐng)域，特別涉及一種搬運(yùn)車。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制造，尤其是液晶面板生產(chǎn)領(lǐng)域，Array (陣列)工序-Photo (成像)工藝的曝光這一步驟需要采用掩模板(mask)對基板進(jìn)行曝光?；遢^大，面積可能是掩模板的幾倍，所以每次曝光都需對掩模板在基板上進(jìn)行幾次掃描。如果掩模板上有Particle (微粒)，那么每次掃描在基板上都會形成defect (瑕疵)，從而造成R印eat Defect (重復(fù)性不良)。而這種重復(fù)性不良在成像時(shí)進(jìn)行的自動(dòng)光學(xué)檢測(AOI)中往往不能被發(fā)現(xiàn)，直到對陣列進(jìn)行電學(xué)測試時(shí)才能發(fā)現(xiàn)，但此時(shí)會給生產(chǎn)造成較大損失。目前在生產(chǎn)制造時(shí)，在掩模板用于生產(chǎn)曝光前首先人工用Air gun(空氣槍)對其進(jìn)行清潔。由于掩模板除了曝光時(shí)裸露在紫外線下，平時(shí)都是裝在cassette (盒子)里，盒子由上蓋和托盤組成，在清潔時(shí)需打開盒子的上蓋，并盡量在最短的時(shí)間內(nèi)用空氣槍對掩模板進(jìn)行清潔，然后蓋上盒子的上蓋。而以上的操作都是在用人力搬運(yùn)車將裝有掩模板的盒子從曝光設(shè)備中取出后進(jìn)行的。現(xiàn)有技術(shù)中已有的一種手推搬運(yùn)車，通過液壓缸配合各機(jī)構(gòu)部件，使手推搬運(yùn)車的擱物架可進(jìn)行升降，既能使其快速上升，又能控制其下降速度，當(dāng)裝卸地點(diǎn)高于擱物架時(shí)，能方便地控制擱物架的高度與裝卸地點(diǎn)等高，再進(jìn)行裝卸，減少了向上搬和向下搬的勞動(dòng)，從而減輕勞動(dòng)強(qiáng)度，節(jié)省人力和時(shí)間。但目前的手動(dòng)搬運(yùn)車一次只能搬運(yùn)一個(gè)掩模板， 如需清潔多個(gè)掩模板還需進(jìn)行多次搬運(yùn)，不僅占用空間、時(shí)間，而且浪費(fèi)人力。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種搬運(yùn)車，解決了同一搬運(yùn)車不能同時(shí)搬運(yùn)多個(gè)掩模板的問題。一種搬運(yùn)車，包括底板，還包括與底板相對固定的至少一個(gè)支撐架，每個(gè)支撐架上連接有至少兩個(gè)第一擱物臺。本實(shí)用新型實(shí)施例中搬運(yùn)車包括底板，還包括與底板相對固定的至少一個(gè)支撐架，每個(gè)支撐架上連接有至少兩個(gè)第一擱物臺。本實(shí)用新型實(shí)施例通過使支撐架支撐多個(gè)第一擱物臺，從而可以通過一個(gè)搬運(yùn)車運(yùn)載多個(gè)掩模板。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例中搬運(yùn)車的詳細(xì)結(jié)構(gòu)圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例中支撐體的俯視圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例中吸盤的仰視圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例中吸盤的側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型實(shí)施例中搬運(yùn)車包括底板和與底板相對固定的至少一個(gè)支撐架，每個(gè)支撐架上連接有至少兩個(gè)第一擱物臺。本實(shí)用新型實(shí)施例通過使支撐架支撐多個(gè)第一擱物臺，從而可以通過一個(gè)搬運(yùn)車運(yùn)載多個(gè)物品，以下以物品為盛放掩模板的盒子為例進(jìn)行詳細(xì)說明。參見圖1，為本實(shí)用新型實(shí)施例中搬運(yùn)車的剖面圖，其以一個(gè)支撐架101為例進(jìn)行說明。本實(shí)用新型實(shí)施例中搬運(yùn)車包括底板，還包括與底板相對固定的至少一個(gè)支撐架 101，每個(gè)支撐架101上連接有至少兩個(gè)第一擱物臺102。本實(shí)用新型實(shí)施例中搬運(yùn)車還包括第一連接塊103、支撐體104、滑塊105、充氣氣囊106、噴嘴107、吸盤108、第一撐塊109、 第二撐塊110、螺栓111、充氣機(jī)112、承重氣囊113、上升手柄114、下降螺栓115。其中，圖1 中還畫出了一個(gè)放置在第一擱物臺102上的放置有掩模板118的盒子，其中該盒子具有托臺116和上蓋117，該盒子中放有待搬運(yùn)的掩模板118。該盒子和掩模板118不屬于本實(shí)用新型實(shí)施例中的搬運(yùn)車，只是該搬運(yùn)車可運(yùn)載的貨物的一種。其中，本實(shí)用新型實(shí)施例中的搬運(yùn)車可以是手推搬運(yùn)車。其中，圖1中只對位于支撐架101最上部的第一擱物臺102及其相應(yīng)部件做出了標(biāo)注，其余兩個(gè)第一擱物臺102均與其相同，未一一標(biāo)注。支撐架101用于支撐第一擱物臺102。本實(shí)用新型實(shí)施例中，支撐架101的外壁可以帶有螺紋，便于固定中空且?guī)в邢鄳?yīng)內(nèi)螺紋的部件。一個(gè)所述搬運(yùn)車至少包括一個(gè)支撐架101。當(dāng)所述搬運(yùn)車包括兩個(gè)或更多支撐架101時(shí)，支撐架101之間可以通過橫桿相連。 較佳的，所述搬運(yùn)車包括兩個(gè)支撐架101。當(dāng)所述搬運(yùn)車包括兩個(gè)支撐架101時(shí)，每個(gè)支撐架101上所支撐的第一擱物臺102的數(shù)目可以相等，且空間位置分別對應(yīng)。第一連接塊103用于連接支撐架101與第一擱物臺102。第一連接塊103可以是套在支撐架101上的中空塊體，例如所述中空塊體可以是中空柱體或中空球體，或者也可以是中空的其它形狀塊體，第一連接塊103上開有第一通孔，所述通孔可以是螺孔，支撐架 101從該螺孔中穿過，因支撐架101外壁有螺紋，因此可以使第一連接塊103固定在支撐架 101上。第一擱物臺102的一端與第一連接塊103固定連接。螺栓111用于在擰緊時(shí)將第一連接塊103固定在支撐架101上，及在擰松時(shí)使第一連接塊103沿支撐架101上下移動(dòng)。第一連接塊103上還可以開設(shè)有第二通孔，該第二通孔也可以是螺孔，螺栓111通過該螺孔旋進(jìn)后一端頂在支撐架101上從而將第一連接塊 103壓緊固定在支撐架101上。當(dāng)打開螺栓111時(shí)，第一連接塊103可以沿著支撐架101上升或下降。即在用承重氣囊113帶動(dòng)其上端的第一連接塊103上升或下降時(shí)，需首先打開該第一連接塊103上的螺栓111。本實(shí)用新型實(shí)施例中，如果所述搬運(yùn)車只包括一個(gè)第一擱物臺102，則與該第一擱物臺102相連的第一連接塊103上可以沒有螺栓111，如果所述搬運(yùn)車包括不止一個(gè)第一擱物臺102，則與位于支撐架101最底部的第一擱物臺102連接的第一連接塊103上可以沒有螺栓111。沒有螺栓111的第一連接塊103與所述第一擱物臺102 —端固定連接。本實(shí)用新型實(shí)施例中底板一般水平設(shè)置，支撐架101可以垂直固定于所述底板上，第一擱物臺102可以與所述底板平行。支撐架101底部即靠近所述搬運(yùn)車底板的一端， 頂部即遠(yuǎn)離所述搬運(yùn)車底板的一端。支撐架101的長度可以是位于支撐架101最底部的第二連接塊119到支撐體104頂端的距離。 當(dāng)一個(gè)搬運(yùn)車包括多個(gè)第一擱物臺102時(shí)，多個(gè)第一擱物臺102可以上下排列。圖1中以一個(gè)支撐架101上有三個(gè)第一擱物臺102為例。第一擱物臺102通過第一連接塊103與支撐架101相連，用于承載需要搬運(yùn)的掩模板118。第一擱物臺102可以垂直于支撐架101，以使掩模板118放置的更穩(wěn)。在一個(gè)搬運(yùn)車中可以有多個(gè)第一擱物臺 102。其中，圖1中第一擱物臺102與支撐架101垂直相連。支撐體104可以為中空結(jié)構(gòu)，例如可以是中空柱體，每一個(gè)支撐架101可以固定在一個(gè)支撐體104中。支撐體104的一端固定在所述底板上，支撐架101的兩端可以分別固定在支撐體104的兩端。支撐體104用于將支撐架101、第一連接塊103、螺栓111及承重氣囊113包覆在內(nèi)。例如，如果支撐體104和支撐架101均為長方體結(jié)構(gòu)，如圖2所示為支撐體104俯視圖，其中陰影部分為支撐架101。每兩個(gè)第一擱物臺102之間設(shè)有一承重氣囊113，該承重氣囊113包覆在支撐架 101外側(cè)，承重氣囊113內(nèi)部由充氣機(jī)112向其充氣，承重氣囊113的下端與第一連接塊103 相連，并隨著第一連接塊103的運(yùn)動(dòng)而運(yùn)動(dòng)，上端與第一連接塊103可以接觸也可以不接觸。對承重氣囊113充氣，承重氣囊113則可以推動(dòng)其上端的第一連接塊103上升，從而使第一擱物臺102上升，再對該承重氣囊113泄氣，則其上端的第一連接塊103下降，從而使第一擱物臺102下降。在第一擱物臺102上表面設(shè)有第一撐塊109及第二撐塊110，第一撐塊109可以通過支撐腳固定于所述第一擱物臺103上表面，其可以位于第一擱物臺102上表面靠近支撐架101的一端，第二撐塊110可以直接貼附于所述第一擱物臺103上表面，其可以位于第一擱物臺102上表面較為遠(yuǎn)離支撐架101的一端。第一撐塊109及第二撐塊110用于對放置在第一擱物臺102上的盒子進(jìn)行固定，其中該盒子中裝有掩模板118，該盒子具有托臺116 及上蓋117。第一撐塊109用于支撐盒子，使盒子不會向靠近支撐架101的方向滑動(dòng)，托臺 116的中部有一塊凸起，將盒子放置在第一擱物臺102之上時(shí)，第二撐塊110恰好卡在該凸起中，如此可以將盒子固定在第一擱物臺102上，避免盒子與擱物臺發(fā)生相對運(yùn)動(dòng)。其中， 上表面是指遠(yuǎn)離水平面的一側(cè)的表面，即靠近所述搬運(yùn)車頂部的一側(cè)表面。當(dāng)?shù)谝粩R物臺102不是位于支撐架101最底部的第一擱物臺102時(shí)，第一擱物臺 102下表面設(shè)有滑軌，有滑塊通過所述滑軌與第一擱物臺102滑動(dòng)連接，用于在滑動(dòng)時(shí)帶動(dòng)清潔裝置對掩模板進(jìn)行清潔?；夁h(yuǎn)離支撐架101的一端的延伸長度可以與第一擱物臺 102相齊?；瑝K105可以通過手動(dòng)進(jìn)行推拉，或者也可以通過其上放置的充氣氣囊106的反作用力帶動(dòng)其產(chǎn)生滑動(dòng)。充氣氣囊106和噴嘴107與滑塊105相連，用于對掩模板118進(jìn)行清潔。噴嘴107 連通于充氣氣囊106，其可以位于充氣氣囊106遠(yuǎn)離支撐架101的一端。充氣氣囊106和噴嘴107可以設(shè)置在滑塊105下表面靠近支撐架101的一側(cè)。其中，下表面是指靠近水平面的一側(cè)的表面。打開噴嘴107時(shí)，手動(dòng)推動(dòng)滑塊105向遠(yuǎn)離支撐架101的方向運(yùn)動(dòng)，噴嘴 107會均勻吹出氣體，從而清潔下端擱物臺上的掩模板118。噴嘴107中可以有過濾材料， 對充氣氣囊106中的氣體進(jìn)行過濾，并且可以設(shè)置噴嘴107的吹氣角度，因此可以對掩模板 118進(jìn)行較好的清潔。其中，充氣氣囊106和噴嘴107稱為清潔裝置。所述搬運(yùn)車還可以包括和所述清潔裝置并行連接在滑塊105上的吸盤108，其貼附于滑塊105下表面，用于吸附盛放掩模板118的盒子的上蓋117。其中吸盤108的數(shù)目可以根據(jù)需要設(shè)定。例如，放置掩模板118的盒子的長度越長，第一擱物臺102的長度也越長， 則吸盤108的數(shù)目也可以相應(yīng)增多。本實(shí)用新型實(shí)施例中以兩個(gè)吸盤108為例。吸盤108 可以按照盒子放置的位置在滑塊105下表面進(jìn)行較為均勻的分布。如圖3所示為吸盤108 的仰視圖。其中吸盤108上包括泄壓孔1081。圖4所示為吸盤108的側(cè)視圖。其中包括可堵住泄壓孔1081的孔塞1082。當(dāng)吸盤108接觸到盒子的上蓋116，可以通過按壓擠出吸盤 108與上蓋116之間的空氣，此時(shí)孔塞1082是一直堵著泄壓孔1081的，由于大氣壓強(qiáng)，吸盤牢牢吸附著上蓋116。當(dāng)需要將上蓋116與吸盤108分離時(shí)，可以手動(dòng)加力按下上蓋116。 為防止此操作對吸盤108的損壞，還可以通過拔出泄壓孔1081的孔塞1082來達(dá)到相同目的。充氣機(jī)112位于所述搬運(yùn)車的底板上，可以與第一擱物臺102位于支撐體104同側(cè)，用于向承重氣囊113中充入氣體。上升手柄114位于支撐體104下端沒有支撐架101的位置，可以與第一擱物臺102 位于支撐體104兩側(cè)，用于控制位于支撐架101最下部的第一擱物臺102的上升。下降旋鈕115位于支撐體104下端沒有支撐架101的位置，可以與第一擱物臺102 位于支撐體104兩側(cè)，用于控制位于支撐架101最下部的第一擱物臺102的下降。本實(shí)用新型實(shí)施例的圖1中下降旋鈕115位于上升手柄114上端。較佳的，本實(shí)用新型實(shí)施例中的搬運(yùn)車可以包括兩個(gè)支撐架101，其可以固定于兩個(gè)支撐體104中，兩個(gè)支撐架101可以通過橫桿相連。一個(gè)第一擱物臺102可以由兩個(gè)支撐架101同時(shí)支撐，其可以同時(shí)與分別位于兩個(gè)支撐架101上的兩個(gè)第一連接塊103相連， 該兩個(gè)第一連接塊103可以位于同一水平面上。在圖1中，當(dāng)需要清潔第二擱物臺112上的盒子中放置的掩模板118時(shí)，需要第一擱物臺102上的清潔裝置對其進(jìn)行清潔。在圖1中需要使用的是位于兩個(gè)第一擱物臺102 之間的中間的第一擱物臺102。打開螺栓111，位于中間的第一擱物臺102緩慢下降，直到滑塊105下表面的吸盤108接觸到上蓋117并吸緊(其中，吸緊是指吸盤108內(nèi)表面與上蓋117的上表面完全接觸，中間沒有空氣。通過人工即可進(jìn)行判斷)后，充氣機(jī)112對位于該第一擱物臺102下端的承重氣囊113進(jìn)行充氣，承重氣囊113推動(dòng)其上端的第一連接塊 103上升，從而帶動(dòng)該第一擱物臺102上升，當(dāng)該第一擱物臺102上升到吸附在吸盤108下的上蓋117可以與盒子中的掩模板118進(jìn)行無摩擦的相對運(yùn)動(dòng)時(shí)，擰緊螺栓111，使第一連接塊103及該第一擱物臺102固定在支撐架101上，打開噴嘴107，同時(shí)推動(dòng)滑塊105向遠(yuǎn)離支撐架101的方向運(yùn)動(dòng)。其中，如果噴嘴107位于充氣氣囊106上遠(yuǎn)離支撐架101的一側(cè)，則推動(dòng)滑塊105的方式可以是手工推動(dòng)，如果噴嘴107位于充氣氣囊106上靠近支撐架 101的一側(cè)，則可以依靠噴嘴107吹氣的反作用力推動(dòng)滑塊105向遠(yuǎn)離支撐架101的方向運(yùn)動(dòng)。當(dāng)滑塊105向遠(yuǎn)離支撐架101的方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，吸盤108及其下端吸附的上蓋117、還有與滑塊105相連的充氣氣囊106及噴嘴107會隨著滑塊105 —起運(yùn)動(dòng)，則噴嘴107吹出的氣體可以對位于最下部的第一擱物臺102上的掩模板118進(jìn)行較好的清潔。清潔完畢后，可以手動(dòng)拉回滑塊105至原位置，關(guān)閉噴嘴107。打開螺栓111，承重氣囊113進(jìn)行泄氣，使第一連接塊103緩慢下降，從而帶動(dòng)該第一擱物臺102緩慢下降。當(dāng)上蓋117與托臺116合上后，按下被吸盤108吸附著的上蓋117，可以是手動(dòng)按下，使其與吸盤108分離。再次對承重氣囊113進(jìn)行充氣，使第一連接塊103緩慢上升至原位置，帶動(dòng)該第一擱物臺102緩慢上升至原位置，擰緊螺栓111。從而完成了對掩模板118的清潔工作。本實(shí)用新型實(shí)施例中搬運(yùn)車包括底板，還包括與底板相對固定的至少一個(gè)支撐架，每個(gè)支撐架上連接有至少兩個(gè)放置物品的第一擱物臺。本實(shí)用新型實(shí)施例通過在搬運(yùn)車中加裝外壁帶螺紋的支撐架101，使之可以與第一擱物臺102相連，并且支撐架101可以支撐多個(gè)第一擱物臺102，從而可以通過一個(gè)搬運(yùn)車運(yùn)載多個(gè)掩模板118。同時(shí)，當(dāng)包括多個(gè)第一擱物臺101時(shí)，如果第一擱物臺101不是位于支撐架101最底部的第一擱物臺101， 則第一擱物臺102下端均設(shè)有滑軌、滑塊105及清潔裝置，如此可以同時(shí)對多個(gè)掩模板118 進(jìn)行清潔，節(jié)省時(shí)間、空間，節(jié)省人力。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實(shí) 用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種搬運(yùn)車，包括底板，其特征在于，還包括與底板相對固定的支撐架，每個(gè)支撐架上連接有至少兩個(gè)第一擱物臺。
2.如權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)車，其特征在于，所述每個(gè)支撐架一端固定在底板上；或者所述搬運(yùn)車還包括支撐體，所述支撐體為中空結(jié)構(gòu)，一端固定在所述底板上，支撐架位于支撐體內(nèi)，并固定在支撐體上。
3.如權(quán)利要求1所述的搬運(yùn)車，其特征在于，還包括每一個(gè)第一擱物臺與支撐架之間的第一連接塊，所述第一連接塊上開有第一通孔，所述支撐架從所述第一通孔中穿過，所述第一擱物臺一端與第一連接塊固定連接；通過第一連接塊上開設(shè)的第二通孔旋進(jìn)后一端頂在支撐架上從而將第一連接塊壓緊固定在支撐架上的螺栓。
4.如權(quán)利要求3所述的搬運(yùn)車，其特征在于，還包括通過每一個(gè)非最底部第一擱物臺下表面上滑軌和第一擱物臺滑動(dòng)連接的滑塊，連接在滑塊上的清潔裝置。
5.如權(quán)利要求4所述的搬運(yùn)車，其特征在于，還包括和所述清潔裝置并行連接在所述滑塊上的吸盤，貼附于所述滑塊下表面。
6.如權(quán)利要求4或5所述的搬運(yùn)車，其特征在于，所述清潔裝置包括充氣氣囊及噴嘴，所述噴嘴連通所述充氣氣囊。
7.如權(quán)利要求6所述的搬運(yùn)車，其特征在于，所述吸盤上還包括泄壓孔及可堵住所述泄壓孔的孔塞。
8.如權(quán)利要求3所述的搬運(yùn)車，其特征在于，還包括設(shè)于同一個(gè)支撐架的相鄰兩個(gè)第一連接塊之間的承重氣囊，通過承重氣囊充氣帶動(dòng)所述第一連接塊和所述第一擱物臺上升，及通過承重氣囊泄氣帶動(dòng)所述第一連接塊和所述第一擱物臺下降；充氣機(jī)，與承重氣囊相連，為所述承重氣囊充氣。
9.如權(quán)利要求8所述的搬運(yùn)車，其特征在于，還包括位于每一個(gè)第一擱物臺的上表面上的第一撐塊和第二撐塊，其中，第一撐塊通過支撐腳固定于第一擱物臺上表面，第二撐塊貼附于第一擱物臺上表面，第一撐塊相比第二撐塊靠近支撐架。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種搬運(yùn)車，解決了同一搬運(yùn)車不能同時(shí)搬運(yùn)多個(gè)掩模板的問題。所述搬運(yùn)車包括底板和與底板相對固定的至少一個(gè)支撐架，每個(gè)支撐架上連接有至少兩個(gè)第一擱物臺。
文檔編號B65G7/02GK202181064SQ201120306330
公開日2012年4月4日 申請日期2011年8月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月22日
發(fā)明者黎午升 申請人:北京京東方光電科技有限公司